JP5665897B2 - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッドに関するものである。

今日、インクジェット記録方式は高精細な画像を高速で記録することができるとともに、特別な処理を施していない記録媒体に対しても記録を行うことができることから広く普及している。このインクジェット記録方式を実現するインクジェット記録ヘッドには種々の吐出方式があり、インクを加熱発泡させたエネルギで吐出させる方式や圧電素子を利用した方式が代表的である。

これらのインクジェット記録ヘッドにおいて、近年さらなる高画質および、記録の高速化の要求がある。そして、記録の高速化のための手段として、インクジェット記録ヘッドのノズル数を増加させることや吐出周波数の向上が従来から提案されている。

インクジェット記録ヘッドの吐出周波数の上限を決めている要因の一つに、インクを吐出させた後にノズル内へインクが供給されてインクで満たされるまでの時間（以下、リフィル時間ともいう）が挙げられる。このリフィル時間が短くなるほど、より高い吐出周波数で記録を行うことが可能になる。

図１１は、従来の記録ヘッドの内部が分かるように示した部分的断面図である。従来のような、ノズル列に沿って開口した単一のインク供給口９５から、ただ１つのインク流路９７を通り圧力室９６へインクが供給されるノズル構造の場合、そのインク流路部分の流抵抗によりリフィル時間が決まってくる。リフィル時間を短縮する技術として特許文献１には、圧力室に複数の流路を形成するよう流路壁を配置しインク流入経路を増やす技術が開示されている。

また今日、高精細かつ高階調の高品位記録画像を得るためには、任意のノズルから吐出される吐出量の変化が少なく、かつヘッド内に複数存在するノズル間の吐出量のばらつきが小さいインクジェット記録ヘッドが求められている。しかしながらインクの発泡によって吐出するインクジェット記録ヘッドでは、吐出口近傍の温度によって、吐出されるインクの吐出量が変化する。特にノズル列内に局所的な温度分布があると、インクの吐出量に温度分布に対応したムラが生じ形成される画像の濃度ムラとして画像品位を劣化させる場合がある。このため、インクジェット記録装置では、マルチパス化や駆動パルス制御など装置本体側での改善が種々なされているが、インク吐出量の安定化は、インクジェット記録ヘッド単体の性能に依存するところが大きい。

特許文献２には、記録ヘッドの中央部に放熱フィンを設けて、記録ヘッドの端部付近の温度と中央部付近の温度とを略均一にすることで、記録ムラを低減することが開示されている。

また、インクジェット記録ヘッドの温度分布上昇による画像劣化を抑えるために特許文献３では、記録ヘッド基板に熱伝導膜を導入し、この伝熱層をインクに放熱する放熱部に接続することで全体の温度上昇を下げる技術が開示されている。また、特許文献４では、記録ヘッドに供給されるインク流によって記録ヘッド基板自体を冷却する効果を得ようとする技術が開示されている。

特開平１０−１８１０２１号公報 特開平１０−１５７１１６号公報 特開２００３−１７０５９７号公報 特開２００３−１１８１２４号公報

従来のインクジェット記録ヘッドは図１１に示すように、ノズル列に沿って単一のインク供給口が開口している。このような構成の場合、気泡生成時に圧力室９６で発生する圧力は、インク流路９７の方向に逃げることになり、発生した圧力を効率よくインクの吐出に用いることが出来ない場合がある。また、圧力がインク流路１７の方向に逃げることから、吐出するインクの吐出方向が、所望の方向に対して曲がってしまうことがある。

また従来の構成では、発熱抵抗体によって発生した熱は、基板を伝わりノズル列外側へと拡散し放熱される。これは、インク供給口を設けた部分は、断熱部となるため発熱抵抗体によって発生した熱はノズル列の外側にしか逃げられないからである。そのため熱が逃げにくい構成だった。発熱抵抗体同士の間隔を広くとることで、熱の逃げる経路を増やすことで、記録ヘッド基板の部分的な温度上昇を低減させることもできるが、その場合、記録ヘッド基板のサイズが大きくなることになる。

よって本発明は、記録素子基板全体の温度上昇を抑えながら記録ヘッドのサイズを小さくすることが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。

そのため本発明のインクジェット記録ヘッドは、基板の一方の面側に形成された、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子が第１の方向に複数配列されてなる複数の素子列と、前記基板の一方の面とその裏面の他方の面とを貫通する前記素子に液体を供給するための矩形の供給口が前記第１の方向に複数配列されてなる複数の供給口列と、を備えるインクジェット記録ヘッドであって、前記第１の方向と交差する第２の方向に関して、前記供給口列と前記複数の素子列とは交互に配され、前記複数の供給口列は、前記第２の方向に関して、前記基板の端部側に配される第１の供給口列と、前記基板の中央部に配される第２の供給口列とを含み、前記第１の供給口列に含まれる供給口間の前記基板の前記第１の方向の最短寸法は、前記第２の供給口列に含まれる供給口間の前記基板の前記第１の方向の最短寸法よりも大きいことを特徴とする。

本発明によれば、複数のノズル列は、共通液室の端部側に位置する第１ノズル列と、共通液室の中央側に位置する第２ノズル列と、を含む。インク供給口は、ノズル列に沿って形成される、共通液室の端部側に位置する第１インク供給口列と、共通液室の中央側に位置する第２インク供給口列と、を含む。第１インク供給口列と第２インク供給口列との間に、第１ノズル列または第２ノズル列の一方が位置する。第１インク供給口列に含まれる互いに隣接するインク供給口の間に位置する基板の部分の熱抵抗は、第２インク供給口列に含まれる互いに隣接するインク供給口の間に位置する基板の部分の熱抵抗よりも小さくする。

これによって、記録素子基板全体の温度上昇を抑えながら記録ヘッドのサイズを小さくすることが可能なインクジェット記録ヘッドを実現することができる。

本実施形態におけるインクジェット記録装置の機構部分の外観を示した図である。 本実施形態のインクジェット記録装置に用いられるヘッドカートリッジの外観を示した図である。 記録ヘッドの外観を示した図である。 本発明の第１の実施形態の記録ヘッドにおけるノズル列群を示した図で有り、記録素子基板の一部の領域を拡大して示した図である。 図４のＤ−Ｄ‘における断面を示した図である。 第１の実施形態に対する比較例を示した図である。 第１の実施形態の変形例を示した図である。 本発明の第２の実施形態の記録ヘッドにおけるノズル列群を示した図で有り、記録素子基板の一部の領域を拡大して示した図である。 第２の実施形態の変形例を示した図である。 本発明の第３の実施形態の記録ヘッドにおけるノズル列群を示した図で有り、記録素子基板の一部の領域を拡大して示した図である。 従来の記録ヘッドの内部が分かるように示した部分的断面図である。

（第１の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第１の実施形態を説明する。
図１は、本実施形態におけるインクジェット記録装置の機構部分の外観を示した図であり、図２は、このインクジェット記録装置に用いられるヘッドカートリッジの外観を示した図である。さらに図３は、その記録ヘッドの外観を示した図である。本実施形態におけるインクジェット記録装置のシャシー１０は、所定の剛性を有する複数の板状金属部材により構成され、このインクジェット記録装置の骨格をなす。シャシー１０には、図示しないシート状の記録媒体をインクジェット記録装置の内部へと自動的に給送する媒体給送部１１が設けられている。更にシャシー１０には、媒体給送部１１から給送される記録媒体を所望の記録位置へ導くと共に記録位置から媒体排出部１２へ導く媒体搬送部１３と、記録媒体に所定の記録動作を行う記録部と、記録部に対する回復処理を行うヘッド回復部１４とが設けられている。

記録部は、キャリッジ軸１５に沿って走査移動可能に支持されたキャリッジ１６と、このキャリッジ１６にヘッドセットレバー１７を介して着脱可能に搭載されるヘッドカートリッジ１８とからなる。

ヘッドカートリッジ１８が搭載されるキャリッジ１６には、インクジェット記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドともいう）１９をキャリッジ１６上の所定の装着位置に位置決めするためのキャリッジカバー２０が設けられている。さらにキャリッジ１６には、記録ヘッド１９のタンクホルダ２１と係合して記録ヘッド１９を所定の装着位置に位置決めするように押圧するヘッドセットレバー１７とが設けられている。本発明の着脱手段としてのヘッドセットレバー１７は、キャリッジ１６の上部に図示しないヘッドセットレバー軸に対して回動可能に設けられている。また記録ヘッド１９との係合部には、ばね付勢される図示しないヘッドセットプレートが設けられ、このヘッドセットプレートのばね力によって記録ヘッド１９を押圧しながらキャリッジ１６に装着するようになっている。

記録ヘッド１９に対するキャリッジ１６の別の係合部には、コンタクトフレキシブル記録ケーブル（以下、コンタクトＦＰＣともいう）２２の一端部が連結されている。そして、このコンタクトＦＰＣ２２の一端部に形成された図示しないコンタクト部と、記録ヘッド１９に設けられた外部信号入力端子であるコンタクト部２３とが電気的に接触し、記録のための各種情報の授受や記録ヘッド１９への電力の供給などを行う。

コンタクトＦＰＣ２２のコンタクト部とキャリッジ１６との間には、図示しないゴム等の弾性部材が設けられている。そして、この弾性部材の弾性力とヘッドセットプレートによる押圧力とによって、コンタクトＦＰＣ２２のコンタクト部と記録ヘッド１９のコンタクト部２３との確実な接触を可能にしている。コンタクトＦＰＣ２２の他端部は、キャリッジ１６の背面に搭載された図示しないキャリッジ基板に接続されている。

本実施形態におけるヘッドカートリッジ１８は、インクを貯留するインクタンク２４と、このインクタンク２４から供給されるインクを記録情報に応じて記録ヘッド１９の吐出口から吐出させる前述の記録ヘッド１９とを有する。本実施形態の記録ヘッド１９は、キャリッジ１６に対して着脱可能に搭載される、いわゆるカートリッジ方式を採用している。

また、本実施形態では写真調の高画質なカラー記録を可能とするため、例えば黒色，淡シアン色，淡マゼンタ色，シアン色，マゼンタ色および黄色の各色インクが独立した６個のインクタンク２４を使用可能としている。各インクタンク２４には、ヘッドカードリッジ１８に対して係止し得る弾性変形可能な取り外し用レバー２６が設けられ、この取り外し用レバー２５を操作することにより、図３に示すように、記録ヘッド１９に対してそれぞれ取り外し可能となっている。従って、取り外し用レバー２６は、本発明の着脱手段の一部として機能するものである。記録ヘッド１９は、後述する記録素子基板、電気配線基板２８、前述のタンクホルダ２１などから構成されている。記録素子基板は、電気配線基板２８に設けられた四角穴２５の部分で、電気配線基板２８と接点を介して電気的に接続されている。

図４は、本発明の第１の実施形態の記録ヘッド１９におけるノズル列群を示した図で有り、記録素子基板の一部の領域を拡大して示した図である。本実施形態の記録ヘッド１９では記録素子基板（以下、単に基板ともいう）７に複数の発熱抵抗体４１とノズル４９が設けられており、この発熱抵抗体４１の発熱作用でインクを発泡させ、その発泡によって生じる圧力を利用してインクを吐出口から吐出させる。本実施形態において、発熱抵抗体は圧力室の内部に形成されており、ノズル４９は吐出口から圧力室の領域を示すものである。

図１１で示したような従来の記録素子基板では、圧力室９６に対してインク供給路９７が片側１箇所にしか設けられていない。このことから、発泡時に生じる圧力がインク供給口９７側に逃げることがあり、その影響でインクの吐出方向が記録素子基板の垂直方向に対して曲がって吐出することがあった。そこで本実施形態の記録素子基板７では、ノズル４９に対して２箇所のインク流路と、ノズル４９の両側に各々が独立したインク供給口を設けて、ノズル４９の両側からインクを流入させる構成とした。この場合、発泡時の圧力の逃げはノズル４９に対して対称になるため、インクを記録素子基板７に対して垂直方向に吐出可能である。

そして、本実施形態の記録素子基板７では、同色のインクについて、複数の発熱抵抗体４１を有するノズル列が４列、複数のインク供給口からなるインク供給口列が、ノズル列を挟むように５列配置されている。インク供給口列Ａ（第１インク供給口列）の互いに隣接するインク供給口４２の間に位置する記録素子基板の部分（以下、このような部分を梁という）４３は、ノズル駆動回路部４４とノズル列Ａ（第１ノズル列）との間に存在している。また同様にインク供給口列Ｂ（第２インク供給口列）の梁４５は、ノズル列Ａに対してノズル列群中央側で、ノズル列Ａおよびノズル列Ｂ（第２ノズル列）の間にある。更にインク供給口列Ｃの梁４６は、中央のインク供給口列Ｃにおけるインク供給口４８同士の間に存在している。

図５は、図４のＤ−Ｄ‘における断面を示した図である。記録素子基板７の一方の面に備えられた共通液室５５からつながる各インク供給口間の梁部分の記録素子基板の厚さは同じであり、この厚さをＴとする。つまり、各インク供給口の深さも厚さＴと等しく、インクは共通液室から深さＴのインク供給口を通って、記録素子基板の他方の面へと供給される。

本実施形態では、各梁の熱抵抗の大きさが梁４３＜梁４５≦梁４６となるように、各インク供給口列の梁の（長さＬ）／（断面積Ｗ×Ｔ）の関係が、
（Ｌ４３）／（Ｗ４３×Ｔ）＜（Ｌ４５）／（Ｗ４５×Ｔ）≦（Ｌ４６）／（Ｗ４６×Ｔ） ・・・（式１）
の関係を満たすように各インク供給口を配置した。

発熱抵抗体４１が発熱した熱は、梁を伝ってノズル列群の両サイドで基板の厚みが厚くなるノズル駆動回路部４４の近傍から放熱される。つまり、記録素子基板７の裏面（図４紙面に対して裏側）に設けられた共通液室の両端部の記録素子基板を伝って熱が放熱される。この場合、インク供給口列Ｂにおける梁４５はノズル列Ｂの放熱経路であるのに対して、インク供給口列Ａにおける梁４３は、ノズル列Ａおよびノズル列Ｂの両方の放熱経路にあたるため、梁４５より多量の熱流束が通ることになる。

図６は、本実施形態に対する比較例を示した図であり、梁ごとの熱流束の差を考慮することなく、どの梁も比較的多量の熱流束を通すことが可能なようにインク供給口を設けた場合の記録素子基板の一部の領域を拡大して示した図である。このように、どの梁５０も比較的多量の熱流束を通すことが可能なようにインク供給口５１を設けると効率良く放熱はされるが、各梁の幅を広くする必要があるため、インク供給口のインク供給口並ぶ方向の開口寸法が小さくなる。そのためインクの供給量を確保するために、インク供給口の配列方向と垂直な方向の寸法を大きくする必要が生じる。その結果、記録素子基板自体のサイズが大きくなってしまい好ましくない。

そのため、本実施形態の梁４３のように多量の熱流束が通る経路の熱抵抗を相対的に小さくすることによって、梁４３での熱抵抗による温度上昇を抑えることが可能になる。その場合、梁４３が形成されるインク供給口列Ａの各々のインク供給口４２は、所定の流量を確保するために相対的に大きくなるが、その他のインク供給口は相対的に小さくできる。つまり相対的に小量の熱流束が通る梁４５を熱抵抗による昇温が問題にならない程度に狭くすることができるので、記録素子基板７の全体サイズを小さくし、さらに全体の温度上昇を防ぐことが可能となる。

本実施形態においては、各ノズル列のノズルをそれぞれ６００ｄｐｉで配置し、インク供給口は３００ｄｐｉで配置している。また、各インク供給口の開口深さおよび各梁の厚みは１００μｍ程度でノズル列群内でほぼ一定である。インク供給口４２の開口面積は、インク供給性能を満たすような所定の面積以上（本実施形態では２８００μｍ2以上）を必要とする。ここで式１を満たすようにインク供給口を配置すると、梁４３の列ではインク供給口４２のサイズは（長さ×幅）＝７０μｍ×４０μｍとなり梁の幅Ｗ４３＝４４．５μｍになる。また、梁４５および梁４６の列ではインク供給口４７、４８のサイズが５４μｍ×５２μｍとなり梁の幅Ｗ４５＝幅Ｗ４６＝３２．５μｍとなる。

以上のように、ノズル列を挟んで形成されたインク供給口列のうち、記録素子基板７の端部側（共通液室の端部側）のインク供給口列のインク供給口同士の間の記録素子基板記録素子基板の部分（梁）の熱抵抗を小さくする。これによって、放熱を効率的に行い記録素子基板全体の温度上昇を抑えながら記録素子基板サイズを小さくし、インクが垂直方向に吐出するインクジェット記録ヘッドを提供することができた。

（変形例）
図７は、本実施形態の変形例を示した図である。図４では供給口列を５列設けた例を示し説明したが、図７ではコストダウンを重視して記録ヘッドのサイズをさらに小さくするためにインク供給口列を３列にしている。このような構成の場合、ノズル列Ａの各ノズル４９はインク供給路は１つしか備えていない。そのため、２つのインク流路を持ち、２箇所から流入するノズル（ノズル列Ｂの各ノズル）よりもノズル列Ａの各ノズルの方がリフィル時間が長くなり記録ヘッド全体の記録スピードは低下する。

しかし、本発明を用いて式１を満たすよう(ただしＬ４６、Ｗ４６の項は除く)梁４３の熱抵抗が小さくなるようインク供給口を配置することで、記録ヘッド全体の温度上昇を抑えながら大幅に記録ヘッドのサイズを小さくすることができる。

また、粒状性を向上させ高画質な記録を得るために、吐出量の少ない小さいノズルを設ける場合、ノズル列Ａに吐出量の少ない小さいノズルを配置する。これは、一般的に吐出量が少なく小さいノズルでは、リフィルに必要なインクが少ないためにリフィル時間が短くなることから、１つのインク流路を持つノズル列Ａのリフィル時間を短縮することで、記録ヘッド全体の記録スピードを低下させないためである。

このように吐出量の少ない小さいノズルを設けた高画質が得られる記録素子基板においても、本発明を適用し記録素子基板全体の温度上昇を抑えながら記録ヘッドのサイズを小さくし、インクが垂直方向に吐出するインクジェット記録ヘッドを実現することができた。

（第２の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。本実施形態のインクジェット記録ヘッドの基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、特徴的な構成についてのみ説明する。

図８は、本発明の第２の実施形態の記録ヘッド１９におけるノズル列群を示した図で有り、記録素子基板の一部の領域を拡大して示した図である。本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおけるノズル列は、記録時にほぼ中心線Ｏに対して対称に左右のノズルが駆動されることになる。特に発熱が大きくなる高濃度部の記録において、熱の拡散はノズル列の外側へと拡散すると考えればよい。この場合、梁７０は熱の拡散経路には当たらず放熱効率にはほとんど影響を与えていない。そこで図７に示すように梁７０の幅Ｗ７０が更に細くなるよう中心線Ｏ上のインク供給口７１のサイズを４６μｍ×６０μｍとし幅Ｗ７０＝２４．５μｍとする。これによって、記録素子基板記録素子基板全体の温度上昇を抑えながら記録ヘッドのサイズを小さくし、インクが垂直方向に吐出するインクジェット記録ヘッドを実現することができた。

（変形例）
図９は、本実施形態の変形例を示した図である。中央のインク供給口８０を梁を持たない連続した供給口にすることで供給性能を満たしながら記録素子基板サイズを小さくすることができる。放熱経路である梁４３および梁４５については第１の実施形態の式１を満たすように梁４３の幅Ｗ４３を太くする。これによって、記録素子基板全体の温度上昇を抑えながら記録ヘッドのサイズを小さくし、インクが垂直方向に吐出するインクジェット記録ヘッドを実現することができた。

（第３の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第３の実施形態を説明する。本実施形態のインクジェット記録ヘッドの基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、特徴的な構成についてのみ説明する。

図１０は、本発明の第３の実施形態の記録ヘッド１９におけるノズル列群を示した図で有り、記録素子基板の一部の領域を拡大して示した図である。近年、インクジェット記録ヘッドは記録速度の上昇、より高精彩、高画質の要求に答えるべく、同一記録ヘッド内に吐出量の異なる液滴を吐出できるノズルを配置していることが多い。本実施形態はこのような異なる吐出量を持つインクジェット記録ヘッドに本発明を適用した例である。図１０において、ノズル列Ａとノズル列Ｂの吐出量が異なる場合は、ノズル列群の両サイドで基板の厚みが厚くなる付近のノズル駆動回路部４４に最も近いノズル列Ａに、吐出量がより多いノズルを設けている。

本実施形態においてはノズル列Ａに吐出液滴量がおよそ５〜７plのノズルを配置し、ノズル列Ｂには吐出駅適量がおよそ１〜３plのノズルを配置している。ノズル列Ａにおいて５pl以上の吐出量を吐出させる場合、発熱抵抗体９０の面積はおよそ４８４μm2以上を必要とする。一方、ノズル列Ｂにおいて３pl以下の吐出量を吐出させるには、発熱抵抗体９１の面積はおよそ３２４μm2以下となる。ノズル列が発する熱量はおおむね発熱抵抗体の面積に比例するため、ノズル列Ｂに対してノズル列Ａの発熱量が大きくなる。よって、より発熱量の多いノズル列Ａをノズル列群の両側に配置し、梁４３の熱抵抗を小さくすることは熱の拡散に効果的である。また、ノズル列Ｂの発熱量は比較的小さくなるので梁４５および梁４６の熱抵抗を梁４３ほど小さくしなくても熱の拡散が十分に起こる。これによって、記録素子基板全体の温度上昇を抑えながら記録ヘッドのサイズを小さくし、インクが垂直方向に吐出するインクジェット記録ヘッドを実現することができた。

７ 記録素子基板
４３、４５、４６、５０、７０ 梁
４２、４７、４８、５１ インク供給口
４１、９０、９１ 発熱抵抗体

Claims (11)

1. 基板の一方の面側に形成された、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子が第１の方向に複数配列されてなる複数の素子列と、
   前記基板の一方の面とその裏面の他方の面とを貫通する前記素子に液体を供給するための矩形の供給口が前記第１の方向に複数配列されてなる複数の供給口列と、
   を備えるインクジェット記録ヘッドであって、
   前記第１の方向と交差する第２の方向に関して、前記供給口列と前記複数の素子列とは交互に配され、前記複数の供給口列は、前記第２の方向に関して、前記基板の端部側に配される第１の供給口列と、前記基板の中央部に配される第２の供給口列とを含み、
   前記第１の供給口列に含まれる供給口間の前記基板の前記第１の方向の最短寸法は、前記第２の供給口列に含まれる供給口間の前記基板の前記第１の方向の最短寸法よりも大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 基板の一方の面側に形成された、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子が第１の方向に複数配列されてなる第１の素子列及び第２の素子列と、
   前記基板の一方の面とその裏面の他方の面とを貫通する前記素子に液体を供給するための矩形の供給口が前記第１の方向に複数配列されてなる第１の供給口列及び第２の供給口列と、
   を備えるインクジェット記録ヘッドであって、
   前記第１の方向と交差する第２の方向に関して、前記基板の端部側から第１の供給口列、第１の素子列、第２の供給口列、第２の素子列の順に配されており、
   前記第１の供給口列に含まれる供給口間の前記基板の前記第１の方向の最短寸法は、前記第２の供給口列に含まれる供給口間の前記基板の前記第１の方向の最短寸法よりも大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
3. 基板の一方の面側に形成された、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子が第１の方向に複数配列されてなる複数の素子列と、
   前記基板の一方の面とその裏面の他方の面とを貫通する前記素子に液体を供給するための供給口が前記第１の方向に複数配列されてなる複数の供給口列と、
   を備えるインクジェット記録ヘッドであって、
   前記第１の方向と交差する第２の方向に関して、前記供給口列と前記複数の素子列とは交互に配され、前記複数の供給口列は、前記第２の方向に関して、前記基板の端部側に配される第１の供給口列と、前記基板の中央部に配される第２の供給口列とを含み、
   前記基板の前記第１の供給口列に含まれる供給口間の部分における、前記基板に直交するとともに前記第１の方向に沿う方向に関する断面積は、前記基板の前記第２の供給口列に含まれる供給口間の部分における、前記基板に直交するとともに前記第１の方向に沿う方向に関する断面積より大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
4. 基板の一方の面側に形成された、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子が第１の方向に複数配列されてなる第１の素子列及び第２の素子列と、
   前記基板の一方の面とその裏面の他方の面とを貫通する前記素子に液体を供給するための供給口が前記第１の方向に複数配列されてなる第１の供給口列及び第２の供給口列と、
   を備えるインクジェット記録ヘッドであって、
   前記第１の方向と交差する第２の方向に関して、前記基板の端部側から第１の供給口列、第１の素子列、第２の供給口列、第２の素子列の順に配されており、
   前記基板の前記第１の供給口列に含まれる供給口間の部分における、前記基板に直交するとともに前記第１の方向に沿う方向に関する断面積は、前記基板の前記第２の供給口列に含まれる供給口間の部分における、前記基板に直交するとともに前記第１の方向に沿う方向に関する断面積より大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
5. 基板の一方の面側に形成された、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子が第１の方向に複数配列されてなる複数の素子列と、
   前記基板の一方の面とその裏面の他方の面とを貫通する前記素子に液体を供給するための供給口が前記第１の方向に複数配列されてなる複数の供給口列と、
   を備えるインクジェット記録ヘッドであって、
   前記第１の方向と交差する第２の方向に関して、前記供給口列と前記複数の素子列とは交互に配され、前記複数の供給口列は、前記第２の方向に関して、前記基板の端部側に配される第１の供給口列と、前記基板の中央部に配される第２の供給口列とを含み、
   前記基板の前記第１の供給口列に含まれる供給口間の部分の体積は、前記基板の前記第２の供給口列に含まれる供給口間の部分の体積より大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
6. 基板の一方の面側に形成された、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子が第１の方向に複数配列されてなる第１の素子列及び第２の素子列と、
   前記基板の一方の面とその裏面の他方の面とを貫通する前記素子に液体を供給するための供給口が前記第１の方向に複数配列されてなる第１の供給口列及び第２の供給口列と、
   を備えるインクジェット記録ヘッドであって、
   前記第１の方向と交差する第２の方向に関して、前記基板の端部側から第１の供給口列、第１の素子列、第２の供給口列、第２の素子列の順に配されており、
   前記基板の前記第１の供給口列に含まれる供給口間の部分の体積は、前記基板の前記第２の供給口列に含まれる供給口間の部分の体積より大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
7. 前記基板の一方の面側の前記第１の供給口列に含まれる供給口の、前記第１の方向に対する前記第２の方向の長さの比は、前記基板の一方の面側の前記第２の供給口列に含まれる供給口の、前記第１の方向に対する前記第２の方向の長さの比よりも大きい、請求項１〜６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
8. 前記基板の一方の面側の前記第１の供給口列に含まれる供給口の形状は前記第２の方向に長手方向を有する長方形であり、前記基板の一方の面側の前記第２の供給口列に含まれる供給口の形状は前記第１の方向に長手方向を有する長方形である、請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
9. 前記基板の他方の面側には、前記第１の供給口列と第２の供給口列とに連通する共通液室が形成されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
10. 前記素子列に含まれる素子の間には流路壁が形成されている、請求項１〜９のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
11. 前記第１の素子列に含まれる素子は、前記第１の供給口列に含まれる供給口と、前記第２の供給口列に含まれる供給口とに連通している、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。

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