JP5658116B2 - 液処理装置 - Google Patents
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Description
次に、この発明に係る液処理装置50について説明する。この発明に係る液処理装置50は、図3〜図6に示すように、主に、ウエハWに処理液であるレジスト液及びシンナーを吐出する吐出ノズル51a〜51dと、吐出ノズル51a〜51dを保持してウエハW側に移動可能に形成されるノズルアーム60と、ノズルアーム60と処理液供給源70a〜70dを接続する処理液供給管71a〜71dと、ノズルアーム60に配設され、吐出ノズル51a〜51dと処理液供給管71a〜71dを接続し、気液分離機能を有する部材により形成される気液分離管80a〜80dと、ノズルアーム60に配設され、気液分離管80a〜80dの周囲を密閉する密閉室61と、密閉室61を減圧して脱気する脱気機構85と、を具備する。
上述した第1実施形態では、気液分離管80a〜80dについて、4本の気液分離管80a〜80d全てを、1個の密閉室61により密閉したが、密閉室は気液分離管80a〜80dを1本毎に密閉してもよい。例えば、図7(a),(b)に示すように、ノズルアーム60Aに、気液分離管80a〜80dを1本毎に密閉する密閉室61Aを複数例えば4個配設してもよい。
第3実施形態に係る液処理装置は、上述した第1実施形態の液処理装置に加えて、ノズルアーム60Bに配設される気液分離管80aを、ケース83に収納し、ケース83には、該ケース83の内部と密閉室61とを連通可能にする連通部である連通孔83eを形成する。
第4実施形態に係る液処理装置は、上述した第1実施形態の液処理装置に加えて、気液分離管80a〜80d内の処理液を超音波振動させる超音波発生部88を備える。
上述した第1実施形態では、気液分離管80a〜80dについて、円筒状の中空糸膜により形成したが、例えば図11(a),(b)に示すように、ノズルアーム60Dに配設される気液分離管91の内周面に、長手方向に沿って凹凸面91aを連続して形成してもよい。
上述した第1実施形態の液処理装置に加えて、図4に想像線で示すように、密閉された処理室52内を脱気する第2の脱気機構86を更に備えてもよい。この場合、処理室52内に配設される処理液供給管71a〜71dに、気液分離機能を有する部材により形成された第2の気液分離管(図示せず)を介設する。
R レジスト液(処理液)
W 半導体ウエハ(基板)
51a〜51d 吐出ノズル
60,60A,60B,60C,60D ノズルアーム
61,61A 密閉室
70a〜70d 処理液供給源
71a〜71d 処理液供給管
80a〜80d,91 気液分離管
91a 凹凸面
83 ケース
83c 連通孔(連通部)
85 脱気機構
88 超音波発生部
90 コントローラ(制御部)
Claims (6)
- 基板に処理液を吐出する吐出ノズルと、
上記吐出ノズルを保持して上記基板側に移動可能に形成されるノズルアームと、
上記ノズルアームと処理液供給源を接続する処理液供給管と、
上記ノズルアームに配設され、上記吐出ノズルと上記処理液供給管を接続し、気液分離機能を有する部材により形成される気液分離管と、
上記ノズルアームに配設され、上記気液分離管の周囲を密閉する密閉室と、
上記密閉室内を減圧して脱気する脱気機構と、を具備し、
上記気液分離管は、ケースに収納されており、上記ケースには、該ケースの内部と上記密閉室とを連通可能にする連通部が形成され、
上記気液分離管の一端は、上記吐出ノズルと着脱可能に接続し、上記気液分離管の他端は、上記処理液供給管と着脱可能に接続する、
ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項1記載の液処理装置において、
上記ノズルアームは、複数の上記吐出ノズルを保持し、上記密閉室は、上記吐出ノズル毎に接続された複数の上記気液分離管を密閉する、ことを特徴とする液処理装置。 - 基板に処理液を吐出する吐出ノズルと、
上記吐出ノズルを保持して上記基板側に移動可能に形成されるノズルアームと、
上記ノズルアームと処理液供給源を接続する処理液供給管と、
上記ノズルアームに配設され、上記吐出ノズルと上記処理液供給管を接続し、気液分離機能を有する部材により形成される複数の気液分離管と、
上記ノズルアームに配設され、上記気液分離管の周囲を密閉する密閉室と、
上記密閉室内を減圧して脱気する脱気機構と、を具備し、
1本の上記気液分離管は、それぞれユニットに収納されており、
上記ユニットは、上記気液分離管と共に上記吐出ノズル及び上記処理液供給管に着脱可能に接続する、ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の液処理装置において、
上記気液分離管の少なくとも一部の内周面には、長手方向に沿って凹凸面が連続して形成される、ことを特徴とする液処理装置。 - 基板に処理液を吐出する吐出ノズルと、
上記吐出ノズルを保持して上記基板側に移動可能に形成されるノズルアームと、
上記ノズルアームと処理液供給源を接続する処理液供給管と、
上記ノズルアームに配設され、上記吐出ノズルと上記処理液供給管を接続し、気液分離機能を有する部材により形成される気液分離管と、
上記ノズルアームに配設され、上記気液分離管の周囲を密閉する密閉室と、
上記密閉室内を減圧して脱気する脱気機構と、
上記気液分離管内の処理液を超音波振動させる超音波発生部とを具備する、ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項5記載の液処理装置において、
上記超音波発生部を制御する制御部を更に具備し、上記制御部は、上記超音波発生部を制御して、少なくとも上記吐出ノズルから処理液を吐出する際に、処理液の超音波振動を停止する、ことを特徴とする液処理装置。
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