JP5655199B2 - 半導体薄膜製造装置及び窒化物半導体の製造方法 - Google Patents
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また、フローチャネル1の上面のヒーター11と対峙する位置に別途ヒーターを配設した例が開示されている(特許文献2参照)。
また、原料金属に応じての加熱温度も適正に調整されているとは言えず原料利用効率も悪かった。
石英トレイ5の下部にはカーボン製のヒーター11がこの回転軸29の周囲に渦巻き状に捲回されている。このヒーター11は直径150mm程度で構成され、ヒーター11の電源ケーブル31A、31Bがサセプタ9の外部へと出され図示しない電源に結ばれている。
トリメチルガリウム(TMGa)、アンモニア(NH3)は混合されキャリアガスである水素(H2)によってフローチャネル1内に運ばれる。ヒーター11により1,300K(ケルビン)で加熱されることで原料反応領域Aでは、窒化ガリウム(GaN)が過飽和蒸気となって、サファイア基板7上に堆積してGaN膜が成長する。
具体的には、まず、温度特性調整機構40の各温度設定値をすべて同一値とした上で温度特性調整機構40による制御を行いデータ取得を行った。この温度設定値をパラメータとしたときのサファイア基板7の基板上流からの距離(mm)とGaN成長レート(μm/h)の関係を図3に示す。
図5の従来特性イに示すように、ヒーター11で加熱をしている場合で、温度特性調整機構40による温度制御をしない場合(加熱、冷却ともに制御しない)には、例えば、サファイア基板7のガス上流端Hよりガス下流端Lまでの間でおよそ400K(温度偏差T1)の温度上昇偏差がある。
また、本実施形態では窒化ガリウム(GaN)の成膜例について説明したが、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化インジウムガリウム(InGaN)、炭化ケイ素(SiC)についても同様に適用可能である。
以上のように、本実施形態では、サファイア基板7の対向面の反応炉壁面部分に温度特性調整機構40を搭載したことで、サファイア基板7上の原料反応領域Aの温度を制御することが可能である。このため、従来の成膜方法では成膜にムラを生じていたり、原料の利用効率も悪かったものが、サファイア基板7における成膜の均一性を保つことができると共に原料の利用効率をも向上させることができる。従って、半導体の製造コストを低減できる。
3 切欠
5 石英トレイ
7 サファイア基板
9 サセプタ
11、41 ヒーター
21 ガス中継管
23、24、25 ガス分岐管
27 ガス出力管部
29 回転軸
30 チャンバー
31 電源ケーブル
40 温度特性調整機構
43 水配管
45 連結管
47 温度計
Claims (3)
- 金属源を含むガスと窒素源を含むガスとをキャリアガスで運び、フローチャネル内に導入するガス導入手段と、
該フローチャネル内に配設された基板と、
該基板の周囲において前記ガス導入手段で導入されたガスを加熱又は冷却する加熱等手段と、
前記基板に対峙して配設され、該加熱等手段で加熱又は冷却されたガスの温度を温度特性調整率が所定の範囲内の比率となるように調整する温度特性調整手段とを備えた半導体薄膜製造装置であって、
前記温度特性調整率が、前記温度特性調整手段による制御を行ったときの前記基板のガス上流端での温度と該基板のガス下流端での温度間の差である第1の温度偏差を、該温度特性調整手段による制御の行われないときの前記基板のガス上流端での温度と該基板のガス下流端での温度間の差である第2の温度偏差で除した比率であり、
前記所定の範囲内の比率が15%〜35%であり、
前記温度特性調整手段による制御を行ったときの前記基板の対向面の反応炉壁面における温度が該基板のガス上流端に対応する位置で550K以上、該基板のガス下流端に対応する位置で700K以下であり、あるいは、前記温度特性調整手段による制御を行ったときの前記基板の対向面の反応炉壁面における温度が該基板のガス上流端に対応する位置で700K以下、該基板のガス下流端に対応する位置で550K以上であることを特徴とする半導体薄膜製造装置。 - 前記温度特性調整手段が、
複数の温度計と、
該温度計に対応して配設された複数のヒーターと、
前記各温度計で計測された温度が所定の設定温度値となるように前記各ヒーターを制御する制御手段と、
少なくとも一つの冷却管とを備えたことを特徴とする請求項1記載の半導体薄膜製造装置。 - 金属源を含むガスと窒素源を含むガスとをキャリアガスで運び、フローチャネル内に導入し、
該フローチャネル内に配設された基板の周囲において前記導入されたガスを加熱又は冷却し、
該加熱又は冷却により前記基板周囲に生じた温度特性に対し、前記基板に対向したフローチャネル壁面の温度が550〜700Kの範囲内となるように更に加熱及び/又は冷却により温度調整することで、化学反応された窒化物を前記基板上に堆積成長させることを特徴とする窒化物半導体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010199230A JP5655199B2 (ja) | 2010-09-06 | 2010-09-06 | 半導体薄膜製造装置及び窒化物半導体の製造方法 |
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JP2012059784A JP2012059784A (ja) | 2012-03-22 |
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JP (1) | JP5655199B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6707827B2 (ja) | 2015-09-28 | 2020-06-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
WO2024069722A1 (ja) * | 2022-09-26 | 2024-04-04 | 株式会社Kokusai Electric | 配管加熱システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4899958B2 (ja) * | 2007-03-19 | 2012-03-21 | 日立電線株式会社 | 成膜方法及び成膜装置 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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