JP5653581B2 - 測定システム - Google Patents
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Description
前記座標位置決め装置は、前記プローブヘッドと表面の輪郭との間で相対移動がもたらされるように操作可能であり、前記プローブヘッドは、1つ以上の軸線を中心として前記表面検出器の回転移動をもたらすために1つ以上の駆動装置を含み、
前記表面検出器は、少なくとも前記プローブヘッドを少なくとも1つの回転軸線に関して駆動することにより前記表面に沿って走査され、
前記表面検出器は前記表面からのその距離を測定し、
前記プローブヘッドは、前記表面検出器の相対位置を前記表面から予め設定された範囲内まで実時間にて制御すると共に前記表面に沿って走査するため、前記表面検出器が少なくとも1つの軸線を中心に回転するように駆動され、
前記表面に沿った前記表面検出器の走査は、これが実時間にて調整されるように、前記表面検出器からのフィードバックを用いて実時間にて調整される駆動ベクトル沿って少なくとも前記プローブヘッドを少なくとも1つの回転軸線に関して駆動することによってもたらされる。
Claims (13)
- 表面検出器がプローブヘッドに取り付けられ、このプローブヘッドが座標位置決め装置に取り付けられる測定システムであって、
前記座標位置決め装置は、前記プローブヘッドと表面の輪郭との間で相対移動がもたらされるように操作可能であり、前記プローブヘッドは、1つ以上の軸線を中心として前記表面検出器の回転移動をもたらすために1つ以上の駆動装置を含み、
前記表面検出器は、少なくとも前記プローブヘッドを少なくとも1つの回転軸線に関して駆動することにより前記表面に沿って走査され、
前記表面検出器は前記表面からのその距離を測定し、
前記プローブヘッドは、前記表面検出器の相対位置を前記表面から予め設定された範囲内まで実時間にて制御すると共に前記表面に沿って走査するため、前記表面検出器が少なくとも1つの軸線を中心に回転するように駆動され、
前記表面に沿った前記表面検出器の走査は、これが実時間にて調整されるように、前記表面検出器からのフィードバックを用いて実時間にて調整される駆動ベクトルに沿って少なくとも前記プローブヘッドを少なくとも1つの回転軸線に関して駆動することによってもたらされることを特徴とする測定システム。 - 前記表面検出器は可撓性のスタイラスを持った接触プローブを具有し、前記スタイラスの撓みが予め設定された範囲内に保持されることを特徴とする請求項1に記載の測定システム。
- 前記表面検出器が非接触プローブを具有し、この非接触プローブのオフセットは予め設定された範囲で保持されていることを特徴とする請求項1に記載の測定システム。
- 前記表面からの前記表面検出器の相対位置は、前記表面検出器を撓みまたはオフセットベクトルと平行に動かすことにより、予め設定された範囲に保持されることを特徴とする請求項1から請求項3の何れかに記載の測定システム。
- 前記表面検出器が少なくとも二次元プローブであり、前記撓みまたはオフセットベクトルが前記表面検出器の出力から設定されることを特徴とする請求項4に記載の測定システム。
- 前記表面検出器がスカラープローブであり、前記撓みまたはオフセットベクトルが前記表面の垂線に対して平行であることを特徴とする請求項4に記載の測定システム。
- 前記表面の垂線が履歴データを用いて予測されることを特徴とする請求項6に記載の測定システム。
- 前記表面の垂線がCADデータから予測されることを特徴とする請求項6に記載の測定システム。
- 前記駆動ベクトルは、表面の垂線を回転することにより決定されることを特徴とする請求項1から請求項8の何れかに記載の測定システム。
- 前記駆動ベクトルは、前記撓みまたはオフセットベクトルから決定されることを特徴とする請求項4から請求項8の何れかに記載の測定システム。
- 前記駆動ベクトルが前記撓みまたはオフセットベクトルを約90°回転することにより決定されることを特徴とする請求項10に記載の測定システム。
- 前記表面検出器の撓みまたはオフセットを実時間にて調整するため、前記表面検出器からのフィードバックが前記プローブヘッドを駆動するために用いられることを特徴とする請求項1から請求項11の何れかに記載の測定システム。
- この測定システムは、前記プローブヘッドと前記座標位置決め機械とに同期駆動コマンドを生成するプロセッサを具有することを特徴とする請求項1から請求項12の何れかに記載の測定システム。
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