JP5651086B2 - 高周波磁界アシスト垂直磁気記録ヘッド - Google Patents
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Description
〔実施例1〕
図1は、本発明が対象とする磁気記録再生ヘッドの断面模式図である。この磁気記録再生ヘッドは、記録ヘッド部100と再生ヘッド部200を有する記録再生分離ヘッドである。記録ヘッド部100は、高周波磁界を発生するための高周波発振素子110、記録ヘッド磁界を発生するための主磁極120、主磁極に磁場を励磁するためのコイル160を有する。主磁極120のトレーリング方向にはトレーリングシールド130が設けられている。ここで、トレーリング方向はヘッドの磁気記録媒体170に対する進行方向と反対の方向であり、リーディング方向はヘッドの媒体対向面に対する進行方向であると定義している。主磁極120とトレーリングシールドとは、媒体対向面から離れた浮上高さ方向の上方位置に設けられた絶縁領域150によって、電気的に絶縁されている。図1には示していないが、主磁極120のクロストラック方向の外側にサイドシールドを設けてもよい。サイドシールドは主磁極120の両側に設けてもよいし、片側にだけ設けてもよい。高周波発振素子110には、絶縁領域150を挟んで接続された電源140から主磁極120とトレーリングシールド130を介して電流が印加される。再生ヘッド部200には、下部磁気シールド220と上部磁気シールド230に挟まれて、TMR素子やGMR素子などの再生素子210が配置される。記録時、磁気記録媒体170には、主磁極120からの記録磁界と高周波発振素子110からの高周波磁界が印加される。
(1+α2)dM/dt=−γM(Heff−αHst)−λ/Ms・M2(αHeff+Hst)
Hst=hηJMp/2eMsd
α:ダンピング定数(0.02)
M:磁化ベクトル
γ:ジャイロ磁気定数
Heff:異方性磁界、静磁界、交換結合磁界、ゼーマンエネルギー、電流磁界の総和
Hst:スピントルク磁界
λ:損失定数
Ms:飽和磁化
h:プランク定数
η:スピン分極率
J:電流密度
Mp:スピン注入層の単位磁化ベクトル
d:FGLの膜厚
e:単位電荷
以下では実施例1で述べた形態と同等な効果を得ることができる、高周波発振素子の様々な平面形状について述べる。
高周波発振素子の平面形状の別の実施例について説明する。
高周波発振素子の素子全体で、クロストラック方向の長さが変化している必要は必ずしもない。例えば図11(a)〜(e)に示すように、ラップ加工後の媒体対向面近傍にクロストラック方向の長さが変化する領域を有していれば、本発明の効果を得ることができる。従って、媒体対向面から遠い高周波発振素子の端面側に、クロストラック方向の幅が一定の領域を有する図11(a),(b),(c),(d)に示すような形状もまた、本発明の範疇である。
本発明による垂直磁気記録ヘッドの媒体対向面研磨加工工程の一例について述べる。
通常のプロセスによって基板上に複数の垂直磁気記録ヘッド素子をアレイ状に形成する。ここで、本発明の高周波磁界アシスト垂直磁気記録ヘッド素子の製造に特徴的な工程は、主磁極を形成した後、主磁極の上に電気的に接続された状態で高周波発振素子となる積層膜を形成する工程、その積層膜を媒体対向面から浮上高さ方向に離れるに従ってクロストラック方向の幅が狭くなる形状に加工して高周波発振素子を形成する工程である。
110 高周波発振素子
111 発振層
112 中間層
113 スピン注入層
120 主磁極
130 トレーリングシールド
140 電源
150 絶縁領域
160 コイル
170 磁気記録媒体
200 再生ヘッド
210 再生素子
220 下部磁気シールド
230 上部磁気シールド
310 基板
311 スタック
312 回転研磨定盤
313 研磨液
314 スタック支持部
315 弾性体
316 端子
317 端子
318 金線
Claims (6)
- 記録磁界を発生する主磁極と、
前記主磁極のトレーリング側に配置されたトレーリングシールドと、
前記主磁極と前記トレーリングシールドの間に電気的に接続して配置された高周波発振素子と、
前記主磁極を励磁するためのコイルと、
前記主磁極、前記高周波発振素子及び前記トレーリングシールドを介して電流を流すための手段とを備え、
前記主磁極と前記トレーリングシールドとは浮上高さ方向の上方位置で電気的に絶縁されており、
前記高周波発振素子は、媒体対向面の近くにおいて、前記媒体対向面から浮上高さ方向に離れるに従ってクロストラック方向の幅が狭くなる形状を有し、前記高周波発振素子のクロストラック方向端部の外形線に最小二乗法で引いた近似直線と、浮上高さ方向のなす角度が7゜以上20°以下であることを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 記録磁界を発生する主磁極と、
前記主磁極のトレーリング側に配置されたトレーリングシールドと、
前記主磁極と前記トレーリングシールドの間に電気的に接続して配置された高周波発振素子と、
前記主磁極を励磁するためのコイルと、
前記主磁極、前記高周波発振素子及び前記トレーリングシールドを介して電流を流すための手段とを備え、
前記主磁極と前記トレーリングシールドとは浮上高さ方向の上方位置で電気的に絶縁されており、
前記高周波発振素子は、媒体対向面の近くにおいて、前記媒体対向面から浮上高さ方向に離れるに従ってクロストラック方向の幅が狭くなる形状を有し、前記媒体対向面から浮上高さ方向に距離xだけ離れた位置におけるクロストラック方向の幅をWとするとき、Wのxに対する変化率(dW/dx)がxとともに増加することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 記録磁界を発生する主磁極と、
前記主磁極のトレーリング側に配置されたトレーリングシールドと、
前記主磁極と前記トレーリングシールドの間に電気的に接続して配置された高周波発振素子と、
前記主磁極を励磁するためのコイルと、
前記主磁極、前記高周波発振素子及び前記トレーリングシールドを介して電流を流すための手段とを備え、
前記主磁極と前記トレーリングシールドとは浮上高さ方向の上方位置で電気的に絶縁されており、
前記高周波発振素子は、媒体対向面の近くにおいて、前記媒体対向面から浮上高さ方向に離れるに従ってクロストラック方向の幅が狭くなる形状を有し、前記クロストラック方向の幅が、前記媒体対向面から浮上高さ方向に遠ざかるにつれて狭くなる第1の領域を前記媒体対向面から浮上高さ方向に一定の範囲で有し、前記クロストラック方向の幅が一定の第2の領域を前記第1の領域より媒体対向面から浮上高さ方向に遠い位置に有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 記録磁界を発生する主磁極と、
前記主磁極のトレーリング側に配置されたトレーリングシールドと、
前記主磁極と前記トレーリングシールドの間に電気的に接続して配置された高周波発振素子と、
前記主磁極を励磁するためのコイルと、
前記主磁極、前記高周波発振素子及び前記トレーリングシールドを介して電流を流すための手段とを備え、
前記主磁極と前記トレーリングシールドとは浮上高さ方向の上方位置で電気的に絶縁されており、
前記高周波発振素子は、媒体対向面の近くにおいて、前記媒体対向面から浮上高さ方向に離れるに従ってクロストラック方向の幅が狭くなる形状を有し、前記媒体対向面から浮上高さ方向に距離xだけ離れた位置におけるクロストラック方向の幅をWとするとき、Wのxに対する変化率(dW/dx)がxとともに増加する第1の領域を前記媒体対向面から浮上高さ方向に一定の範囲で有し、前記変化率が一定である第2の領域を前記第1の領域より媒体対向面から浮上高さ方向に遠い位置に有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 請求項4に記載の垂直磁気記録ヘッドにおいて、前記変化率は前記第2の領域でゼロであることを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。
- 主磁極と、前記主磁極に電気的に接続された高周波発振素子と、前記高周波発振素子に電気的に接続されたトレーリングシールドとを有する垂直磁気記録ヘッドの製造方法において、
基板上に前記主磁極を形成する工程と、
前記主磁極上に前記高周波発振素子となる積層膜を形成する工程と、
前記積層膜を前記媒体対向面から浮上高さ方向に離れるに従ってクロストラック方向の幅が狭くなり、クロストラック方向端部の外形線に最小二乗法で引いた近似直線と、浮上高さ方向のなす角度が7゜以上20°以下である形状に加工する工程と、
前記基板を1つ又は複数の垂直磁気記録ヘッドが含まれるスタックに切断する工程と、
前記スタックの前記垂直磁気記録ヘッドの媒体対向面に相当する面を研磨する研磨工程とを含み、
前記研磨工程では、前記積層膜の電気抵抗値を測定しながら研磨を進め、電気抵抗値が目標値に達したときに研磨を終了することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011186307A JP5651086B2 (ja) | 2011-08-29 | 2011-08-29 | 高周波磁界アシスト垂直磁気記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011186307A JP5651086B2 (ja) | 2011-08-29 | 2011-08-29 | 高周波磁界アシスト垂直磁気記録ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013047998A JP2013047998A (ja) | 2013-03-07 |
JP5651086B2 true JP5651086B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=48010916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011186307A Active JP5651086B2 (ja) | 2011-08-29 | 2011-08-29 | 高周波磁界アシスト垂直磁気記録ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5651086B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9870786B2 (en) | 2015-08-12 | 2018-01-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing magnetic recording head |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014010871A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Toshiba Corp | 磁気記録ヘッド、これを備えたディスク装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4818234B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2011-11-16 | 株式会社東芝 | 磁気記録再生装置 |
US8724260B2 (en) * | 2008-11-10 | 2014-05-13 | Hitachi, Ltd. | Information recording device having high-frequency field generating multilayer material with a receded section disposed between main and opposing poles |
JP2010118089A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッド、磁気ヘッドの製造方法、及び磁気ヘッドを用いた情報記憶装置 |
-
2011
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9870786B2 (en) | 2015-08-12 | 2018-01-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing magnetic recording head |
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---|---|
JP2013047998A (ja) | 2013-03-07 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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