JP5647614B2 - 二相汚染物質除去媒体の組成及び適用 - Google Patents
二相汚染物質除去媒体の組成及び適用 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5647614B2 JP5647614B2 JP2011535582A JP2011535582A JP5647614B2 JP 5647614 B2 JP5647614 B2 JP 5647614B2 JP 2011535582 A JP2011535582 A JP 2011535582A JP 2011535582 A JP2011535582 A JP 2011535582A JP 5647614 B2 JP5647614 B2 JP 5647614B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning material
- cleaning
- polymer
- acid
- substrate surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 title claims description 211
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 16
- 239000011538 cleaning material Substances 0.000 claims description 313
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 293
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 236
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 192
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 185
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 120
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 49
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 42
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 claims description 35
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 claims description 35
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 claims description 35
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 claims description 35
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 23
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 20
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 15
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 15
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 claims description 15
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 14
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims description 11
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 11
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims description 11
- BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N ammonium lauryl sulfate Chemical compound [NH4+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims description 9
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims description 9
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 claims description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 7
- YWWVWXASSLXJHU-AATRIKPKSA-N (9E)-tetradecenoic acid Chemical compound CCCC\C=C\CCCCCCCC(O)=O YWWVWXASSLXJHU-AATRIKPKSA-N 0.000 claims description 6
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 claims description 6
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 claims description 6
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 claims description 6
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 claims description 6
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 claims description 6
- YZXBAPSDXZZRGB-DOFZRALJSA-N arachidonic acid Chemical compound CCCCC\C=C/C\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCC(O)=O YZXBAPSDXZZRGB-DOFZRALJSA-N 0.000 claims description 6
- UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N docosanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N dodecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCC(O)=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 claims description 6
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 claims description 6
- 229960004667 ethyl cellulose Drugs 0.000 claims description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 6
- 239000000499 gel Substances 0.000 claims description 6
- KEMQGTRYUADPNZ-UHFFFAOYSA-N heptadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O KEMQGTRYUADPNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N hexadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 claims description 6
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical compound CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- SECPZKHBENQXJG-FPLPWBNLSA-N palmitoleic acid Chemical compound CCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O SECPZKHBENQXJG-FPLPWBNLSA-N 0.000 claims description 6
- IJTNSXPMYKJZPR-UHFFFAOYSA-N parinaric acid Chemical compound CCC=CC=CC=CC=CCCCCCCCC(O)=O IJTNSXPMYKJZPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920002939 poly(N,N-dimethylacrylamides) Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 claims description 6
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 claims description 6
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 claims description 6
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 claims description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N Acrylic acid Chemical compound OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 4
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 4
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 4
- OYHQOLUKZRVURQ-NTGFUMLPSA-N (9Z,12Z)-9,10,12,13-tetratritiooctadeca-9,12-dienoic acid Chemical compound C(CCCCCCC\C(=C(/C\C(=C(/CCCCC)\[3H])\[3H])\[3H])\[3H])(=O)O OYHQOLUKZRVURQ-NTGFUMLPSA-N 0.000 claims description 3
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- JVTIXNMXDLQEJE-UHFFFAOYSA-N 2-decanoyloxypropyl decanoate 2-octanoyloxypropyl octanoate Chemical compound C(CCCCCCC)(=O)OCC(C)OC(CCCCCCC)=O.C(=O)(CCCCCCCCC)OCC(C)OC(=O)CCCCCCCCC JVTIXNMXDLQEJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- KFDVPJUYSDEJTH-UHFFFAOYSA-N 4-ethenylpyridine Chemical compound C=CC1=CC=NC=C1 KFDVPJUYSDEJTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QCVGEOXPDFCNHA-UHFFFAOYSA-N 5,5-dimethyl-2,4-dioxo-1,3-oxazolidine-3-carboxamide Chemical compound CC1(C)OC(=O)N(C(N)=O)C1=O QCVGEOXPDFCNHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- YWWVWXASSLXJHU-UHFFFAOYSA-N 9E-tetradecenoic acid Natural products CCCCC=CCCCCCCCC(O)=O YWWVWXASSLXJHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 244000215068 Acacia senegal Species 0.000 claims description 3
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920001817 Agar Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000936 Agarose Polymers 0.000 claims description 3
- 235000021357 Behenic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- DPUOLQHDNGRHBS-UHFFFAOYSA-N Brassidinsaeure Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCCCCCC(O)=O DPUOLQHDNGRHBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000005635 Caprylic acid (CAS 124-07-2) Substances 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001661 Chitosan Polymers 0.000 claims description 3
- 102000008186 Collagen Human genes 0.000 claims description 3
- 108010035532 Collagen Proteins 0.000 claims description 3
- 102000002322 Egg Proteins Human genes 0.000 claims description 3
- 108010000912 Egg Proteins Proteins 0.000 claims description 3
- URXZXNYJPAJJOQ-UHFFFAOYSA-N Erucic acid Natural products CCCCCCC=CCCCCCCCCCCCC(O)=O URXZXNYJPAJJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 108010068370 Glutens Proteins 0.000 claims description 3
- 229920002907 Guar gum Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000084 Gum arabic Polymers 0.000 claims description 3
- HTTJABKRGRZYRN-UHFFFAOYSA-N Heparin Chemical compound OC1C(NC(=O)C)C(O)OC(COS(O)(=O)=O)C1OC1C(OS(O)(=O)=O)C(O)C(OC2C(C(OS(O)(=O)=O)C(OC3C(C(O)C(O)C(O3)C(O)=O)OS(O)(=O)=O)C(CO)O2)NS(O)(=O)=O)C(C(O)=O)O1 HTTJABKRGRZYRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000005639 Lauric acid Substances 0.000 claims description 3
- 235000021353 Lignoceric acid Nutrition 0.000 claims description 3
- CQXMAMUUWHYSIY-UHFFFAOYSA-N Lignoceric acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCCC1=CC=C(O)C=C1 CQXMAMUUWHYSIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 claims description 3
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 235000021314 Palmitic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000021319 Palmitoleic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 3
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000000205 acacia gum Substances 0.000 claims description 3
- 235000010489 acacia gum Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000008272 agar Substances 0.000 claims description 3
- DTOSIQBPPRVQHS-PDBXOOCHSA-N alpha-linolenic acid Chemical compound CC\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCCCCCC(O)=O DTOSIQBPPRVQHS-PDBXOOCHSA-N 0.000 claims description 3
- 235000020661 alpha-linolenic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- IJTNSXPMYKJZPR-WVRBZULHSA-N alpha-parinaric acid Natural products CCC=C/C=C/C=C/C=CCCCCCCCC(=O)O IJTNSXPMYKJZPR-WVRBZULHSA-N 0.000 claims description 3
- 235000021342 arachidonic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 229940114079 arachidonic acid Drugs 0.000 claims description 3
- 229940116226 behenic acid Drugs 0.000 claims description 3
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 claims description 3
- 235000010980 cellulose Nutrition 0.000 claims description 3
- SECPZKHBENQXJG-UHFFFAOYSA-N cis-palmitoleic acid Natural products CCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O SECPZKHBENQXJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920001436 collagen Polymers 0.000 claims description 3
- 235000014103 egg white Nutrition 0.000 claims description 3
- 210000000969 egg white Anatomy 0.000 claims description 3
- DPUOLQHDNGRHBS-KTKRTIGZSA-N erucic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCCCCC(O)=O DPUOLQHDNGRHBS-KTKRTIGZSA-N 0.000 claims description 3
- FARYTWBWLZAXNK-WAYWQWQTSA-N ethyl (z)-3-(methylamino)but-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)\C=C(\C)NC FARYTWBWLZAXNK-WAYWQWQTSA-N 0.000 claims description 3
- LQJBNNIYVWPHFW-QXMHVHEDSA-N gadoleic acid Chemical compound CCCCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-QXMHVHEDSA-N 0.000 claims description 3
- 235000021312 gluten Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000000665 guar gum Substances 0.000 claims description 3
- 235000010417 guar gum Nutrition 0.000 claims description 3
- 229960002154 guar gum Drugs 0.000 claims description 3
- 229920000669 heparin Polymers 0.000 claims description 3
- 229960002897 heparin Drugs 0.000 claims description 3
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229960004488 linolenic acid Drugs 0.000 claims description 3
- KQQKGWQCNNTQJW-UHFFFAOYSA-N linolenic acid Natural products CC=CCCC=CCC=CCCCCCCCC(O)=O KQQKGWQCNNTQJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 claims description 3
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 claims description 3
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 claims description 3
- WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N n-Pentadecanoic acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229960002446 octanoic acid Drugs 0.000 claims description 3
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 claims description 3
- 235000021313 oleic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 3
- 235000018102 proteins Nutrition 0.000 claims description 3
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 claims description 3
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 claims description 3
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 claims description 3
- TUNFSRHWOTWDNC-HKGQFRNVSA-N tetradecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC[14C](O)=O TUNFSRHWOTWDNC-HKGQFRNVSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000230 xanthan gum Substances 0.000 claims description 3
- 229920001285 xanthan gum Polymers 0.000 claims description 3
- 235000010493 xanthan gum Nutrition 0.000 claims description 3
- 229940082509 xanthan gum Drugs 0.000 claims description 3
- GWHCXVQVJPWHRF-KTKRTIGZSA-N (15Z)-tetracosenoic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCCCCCCC(O)=O GWHCXVQVJPWHRF-KTKRTIGZSA-N 0.000 claims description 2
- XJXROGWVRIJYMO-SJDLZYGOSA-N Nervonic acid Natural products O=C(O)[C@@H](/C=C/CCCCCCCC)CCCCCCCCCCCC XJXROGWVRIJYMO-SJDLZYGOSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 claims description 2
- GWHCXVQVJPWHRF-UHFFFAOYSA-N cis-tetracosenoic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O GWHCXVQVJPWHRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000004676 glycans Chemical class 0.000 claims description 2
- 229920001477 hydrophilic polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 claims description 2
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 claims description 2
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 claims description 2
- 239000008279 sol Substances 0.000 claims description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 80
- 230000008569 process Effects 0.000 description 25
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 24
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 19
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 19
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 15
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 15
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 15
- 229920006158 high molecular weight polymer Polymers 0.000 description 14
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 13
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 5
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 5
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O ammonium group Chemical group [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000008394 flocculating agent Substances 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 150000002466 imines Chemical class 0.000 description 2
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 239000006194 liquid suspension Substances 0.000 description 2
- 238000001408 paramagnetic relaxation enhancement Methods 0.000 description 2
- 230000010399 physical interaction Effects 0.000 description 2
- 229920001184 polypeptide Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 2
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- HXWJFEZDFPRLBG-UHFFFAOYSA-N Timnodonic acid Natural products CCCC=CC=CCC=CCC=CCC=CCCCC(O)=O HXWJFEZDFPRLBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001345 alkine derivatives Chemical class 0.000 description 1
- JAZBEHYOTPTENJ-JLNKQSITSA-N all-cis-5,8,11,14,17-icosapentaenoic acid Chemical compound CC\C=C/C\C=C/C\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCC(O)=O JAZBEHYOTPTENJ-JLNKQSITSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 229940088990 ammonium stearate Drugs 0.000 description 1
- JPNZKPRONVOMLL-UHFFFAOYSA-N azane;octadecanoic acid Chemical compound [NH4+].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O JPNZKPRONVOMLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 1
- 239000003637 basic solution Substances 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000007853 buffer solution Substances 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 150000001720 carbohydrates Chemical class 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 1
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 1
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 239000006184 cosolvent Substances 0.000 description 1
- 230000005595 deprotonation Effects 0.000 description 1
- 238000010537 deprotonation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229960005135 eicosapentaenoic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000020673 eicosapentaenoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical group 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical group 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002540 isothiocyanates Chemical group 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 125000000018 nitroso group Chemical group N(=O)* 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000000864 peroxy group Chemical group O(O*)* 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 150000004713 phosphodiesters Chemical group 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006112 polar polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229920003213 poly(N-isopropyl acrylamide) Polymers 0.000 description 1
- 229920000371 poly(diallyldimethylammonium chloride) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 150000003141 primary amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000006254 rheological additive Substances 0.000 description 1
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 229910021654 trace metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000003190 viscoelastic substance Substances 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D17/00—Detergent materials or soaps characterised by their shape or physical properties
- C11D17/0008—Detergent materials or soaps characterised by their shape or physical properties aqueous liquid non soap compositions
- C11D17/0013—Liquid compositions with insoluble particles in suspension
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D17/00—Detergent materials or soaps characterised by their shape or physical properties
- C11D17/0008—Detergent materials or soaps characterised by their shape or physical properties aqueous liquid non soap compositions
- C11D17/003—Colloidal solutions, e.g. gels; Thixotropic solutions or pastes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/20—Organic compounds containing oxygen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/20—Organic compounds containing oxygen
- C11D3/2075—Carboxylic acids-salts thereof
- C11D3/2079—Monocarboxylic acids-salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/20—Organic compounds containing oxygen
- C11D3/22—Carbohydrates or derivatives thereof
- C11D3/222—Natural or synthetic polysaccharides, e.g. cellulose, starch, gum, alginic acid or cyclodextrin
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/37—Polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/37—Polymers
- C11D3/3703—Macromolecular compounds obtained otherwise than by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C11D3/3707—Polyethers, e.g. polyalkyleneoxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/37—Polymers
- C11D3/3703—Macromolecular compounds obtained otherwise than by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C11D3/3723—Polyamines or polyalkyleneimines
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/37—Polymers
- C11D3/3746—Macromolecular compounds obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C11D3/3753—Polyvinylalcohol; Ethers or esters thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/37—Polymers
- C11D3/3746—Macromolecular compounds obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C11D3/3757—(Co)polymerised carboxylic acids, -anhydrides, -esters in solid and liquid compositions
- C11D3/3765—(Co)polymerised carboxylic acids, -anhydrides, -esters in solid and liquid compositions in liquid compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/37—Polymers
- C11D3/3746—Macromolecular compounds obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C11D3/3769—(Co)polymerised monomers containing nitrogen, e.g. carbonamides, nitriles or amines
- C11D3/3773—(Co)polymerised monomers containing nitrogen, e.g. carbonamides, nitriles or amines in liquid compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/37—Polymers
- C11D3/3746—Macromolecular compounds obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C11D3/378—(Co)polymerised monomers containing sulfur, e.g. sulfonate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/43—Solvents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/26—Organic compounds containing oxygen
- C11D7/265—Carboxylic acids or salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
- C11D7/26—Organic compounds containing oxygen
- C11D7/268—Carbohydrates or derivatives thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/50—Solvents
- C11D7/5004—Organic solvents
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
-
- C11D2111/22—
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S134/00—Cleaning and liquid contact with solids
- Y10S134/902—Semiconductor wafer
Description
(1)本発明の第1の形態は、半導体基板表面から汚染物質を除去するための洗浄材料であって、
洗浄液と、
前記洗浄液中に分散された複数の固体成分であって、前記半導体基板表面から前記汚染物質を除去するために前記基板表面上の少なくとも一部の汚染物質と相互作用する複数の固体成分と、
分子量が10,000g/molを超えるポリマ化合物のポリマであって、前記ポリマは、前記洗浄液に可溶になり、前記洗浄液及び前記複数の固体成分とともに前記洗浄材料を形成し、長いポリマ鎖を有する前記可溶化されたポリマは、前記洗浄液中の固体成分及び汚染物質を捕えて閉じ込める、ポリマと、
を備え、
前記固体成分は脂肪酸で形成されており、
前記洗浄材料における前記脂肪酸の濃度は2〜4重量%であり、前記ポリマの濃度は約20ppmから約1000ppmまでの間である、洗浄材料である。
(2)本発明の第2の形態は、半導体基板の基板表面から汚染物質を取り除くための装置であって、
前記半導体基板を保持するための基板サポートアセンブリと、
前記基板表面から前記汚染物質を取り除くために洗浄材料を適用するための洗浄材料吐出ヘッドであって、前記洗浄材料は、洗浄液と、複数の固体成分と、分子量が10,000g/molを超えるポリマ化合物のポリマとを含み、前記複数の固体成分及び前記ポリマは、前記洗浄液中に分散され、前記複数の固体成分は、前記半導体基板表面から前記汚染物質を除去するために、前記基板表面上の少なくとも一部の汚染物質と相互作用し、前記ポリマは、前記洗浄液に可溶になり、長いポリマ鎖を有する前記可溶化されたポリマは、前記洗浄液中の固体成分及び汚染物質を捕えて閉じ込める、洗浄材料吐出ヘッドと、
を備え、
前記固体成分は脂肪酸で形成されており、
前記洗浄材料における前記脂肪酸の濃度は2〜4重量%であり、前記ポリマの濃度は約20ppmから約1000ppmまでの間である、装置である。
(3)本発明の第3の形態は、半導体基板の基板表面から汚染物質を取り除くための方法であって、
前記半導体基板を洗浄装置内に置くことと、
前記基板表面から前記汚染物質を取り除くために洗浄材料を吐出することであって、前記洗浄材料は、洗浄液と、複数の固体成分と、分子量が10,000g/molを超えるポリマ化合物のポリマとを含み、前記複数の固体成分及び前記ポリマは、前記洗浄液中に分散され、前記複数の固体成分は、前記半導体基板表面から前記汚染物質を除去するために、前記基板表面上の少なくとも一部の汚染物質と相互作用し、前記ポリマは、前記洗浄液に可溶になり、長いポリマ鎖を有する前記可溶化されたポリマは、前記洗浄液中の固体成分及び汚染物質を捕えて閉じ込める、ことと、
を備え、
前記固体成分は脂肪酸で形成されており、
前記洗浄材料における前記脂肪酸の濃度は2〜4重量%であり、前記ポリマの濃度は約20ppmから約1000ppmまでの間である、方法である。
[適用例1]
半導体基板表面から汚染物質を除去するための洗浄材料であって、
洗浄液と、
前記洗浄液中に分散された複数の固体成分であって、前記半導体基板表面から前記汚染物質を除去するために前記基板表面上の少なくとも一部の汚染物質と相互作用する複数の固体成分と、
分子量が10,000g/molを超えるポリマ化合物のポリマであって、前記ポリマは、前記洗浄液に可溶になり、前記洗浄液及び前記複数の固体成分とともに前記洗浄材料を形成し、長いポリマ鎖を有する前記可溶化されたポリマは、前記洗浄液中の固体成分及び汚染物質を捕えて閉じ込める、ポリマと、
を備える洗浄材料。
[適用例2]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄材料は、前記パターン化基板を覆う前記洗浄材料に力が作用されたときに、前記パターン化基板の前記表面上のデバイス特徴の周囲で変形し、前記洗浄材料は、前記パターン化基板の前記表面上のデバイス特徴を実質的に損傷させることなく前記表面から前記汚染物質を除去するために、前記表面に適用される、洗浄材料。
[適用例3]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記固体成分は、約1%から約20%までの間の範囲の重量パーセントのカルボン酸で作成される、洗浄材料。
[適用例4]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記複数の固体成分は、4を超える炭素数を有する脂肪酸である、洗浄材料。
[適用例5]
適用例4に記載の洗浄材料であって、
前記脂肪酸は、ラウリン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、アラキドン酸、ガドレイン酸、エルカ酸、酪酸、カプロン酸、カプリル酸、ミリスチン酸、マルガリン酸、ベヘン酸、リグノセリン酸、ミリストレイン酸、パルミトレイン酸、ネルボン酸、パリナリン酸、ティムノドン酸、ブラシジン酸、クルパノドン酸、及びこれらの混合からなる群より選択される、洗浄材料。
[適用例6]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄液は、水、イソプロピルアルコール(IPA)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ジメチルホルムアミド(DMF)、又はこれらの組み合わせからなる群より選択される、洗浄材料。
[適用例7]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記ポリマ化合物は、
ポリアクリルアミド(PAM)、Carbopol 940 TM 及びCarbopol 941 TM などのポリアクリル酸(PAA)、PAMとPAAとのコポリマ、ポリ−(N,N−ジメチル−アクリルアミド)(PDMAAm)、ポリ−(N−イソプロピル−アクリルアミド)(PIPAAm)、ポリメタクリル酸(PMAA)、ポリメタクリルアミド(PMAAm)などの、アクリルポリマと、
ポリエチレンイミン(PEI)、ポリエチレンオキシド(PEO)、ポリプロピレンオキシド(PPO)などの、ポリイミン及びオキシドと、
ポリビニルアルコール(PVA)、ポリエチレンスルホン酸(PESA)、ポリビニルアミン(PVAm)、ポリビニル−ピロリドン(PVP)、ポリ−4−ビニルピリジン(P4VP)などの、ビニルポリマと、
メチルセルロース(MC)、エチル−セルロース(EC)、ヒドロキシエチルセルロース(HEC)、カルボキシメチルセルロース(CMC)、キトサン、ポリ(エピクロルヒドリン−co−エチレンジアミン)、ポリ(ジメチルアミン−co−エピクロルヒドリン−co−エチレンジアミン)などの、セルロース誘導体と、
アカシア(アラビアゴム)、寒天及びアガロース、ヘパリン、グアーゴム、キサンタンゴムなどの、多糖類と、
卵白、コラーゲン、グルテンなどの、タンパク質と
からなる親水性のポリマ群より選択される、洗浄材料。
[適用例8]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記ポリマ化合物の前記ポリマは、凝集剤として機能する、洗浄材料。
[適用例9]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記ポリマ化合物の前記ポリマの分子量は、約0.1Mg/molから約100Mg/molまでの間である、洗浄材料。
[適用例10]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄材料中における前記ポリマの重量パーセントは、約0.001%から約10%までの間である、洗浄材料。
[適用例11]
適用例1に記載の洗浄材料であって、更に、
前記洗浄液中における前記ポリマ及び前記固体成分の分散又は湿潤化を助けるための表面活性剤を備える洗浄材料。
[適用例12]
適用例11に記載の洗浄材料であって、
前記表面活性剤は、ドデシル硫酸アンモニウム(ADS)である、洗浄材料。
[適用例13]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
液体、ゾル、又はゲルの形態をとる流体である洗浄材料。
[適用例14]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄材料のpH値は、フロントエンド用途の場合は約7から約12までの間である、洗浄材料。
[適用例15]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄材料のpH値は、バックエンド用途の場合は約1から約7までの間である、洗浄材料。
[適用例16]
適用例1に記載の洗浄材料であって、
前記ポリマは、前記洗浄材料中の不純物を捕らえて閉じ込める、洗浄材料。
[適用例17]
半導体基板の基板表面から汚染物質を取り除くための装置であって、
前記半導体基板を保持するための基板サポートアセンブリと、
前記基板表面から前記汚染物質を取り除くために洗浄材料を適用するための洗浄材料吐出ヘッドであって、前記洗浄材料は、洗浄液と、複数の固体成分と、分子量が10,000g/molを超えるポリマ化合物のポリマとを含み、前記複数の固体成分及び前記ポリマは、前記洗浄液中に分散され、前記複数の固体成分は、前記半導体基板表面から前記汚染物質を除去するために、前記基板表面上の少なくとも一部の汚染物質と相互作用し、前記ポリマは、前記洗浄液に可溶になり、長いポリマ鎖を有する前記可溶化されたポリマは、前記洗浄液中の固体成分及び汚染物質を捕えて閉じ込める、洗浄材料吐出ヘッドと、
を備える装置。
[適用例18]
適用例17に記載の装置であって、
前記洗浄材料吐出ヘッドは、前記吐出ヘッド下の前記洗浄材料に下向きの力を及ぼす、装置。
[適用例19]
適用例17に記載の装置であって、
前記半導体基板は、前記洗浄材料吐出ヘッド下で移動し、前記移動は、前記洗浄材料と前記基板の前記表面との間にせん断力を導入する、装置。
[適用例20]
適用例17に記載の装置であって、
前記洗浄材料吐出ヘッドは、前記半導体基板の前記基板表面の近くに保持される、装置。
[適用例21]
適用例17に記載の装置であって、更に、
前記基板表面の近くに保持され、前記洗浄材料によって除去された汚染物質とともに前記洗浄材料を前記基板表面からすすいで前記基板表面を乾燥させる上側すすぎ・乾燥ヘッドを備える装置。
[適用例22]
適用例21に記載の装置であって、更に、
前記基板表面の近くに保持され、前記半導体基板の下側基板表面をすすいで乾燥させる少なくとも1つの下側すすぎ・乾燥ヘッドを備える装置。
[適用例23]
半導体基板の基板表面から汚染物質を取り除くための方法であって、
前記半導体基板を洗浄装置内に置くことと、
前記基板表面から前記汚染物質を取り除くために洗浄材料を吐出することであって、前記洗浄材料は、洗浄液と、複数の固体成分と、分子量が10,000g/molを超えるポリマ化合物のポリマとを含み、前記複数の固体成分及び前記ポリマは、前記洗浄液中に分散され、前記複数の固体成分は、前記半導体基板表面から前記汚染物質を除去するために、前記基板表面上の少なくとも一部の汚染物質と相互作用し、前記ポリマは、前記洗浄液に可溶になり、長いポリマ鎖を有する前記可溶化されたポリマは、前記洗浄液中の固体成分及び汚染物質を捕えて閉じ込める、ことと、
を備える方法。
[適用例24]
適用例23に記載の方法であって、更に、
前記洗浄材料によって前記基板表面から除去された前記汚染物質とともに前記洗浄材料を前記基板表面からすすぐために、前記洗浄材料によって覆われている前記基板表面上の一部分にすすぎ液を吐出することを備える方法。
[適用例25]
適用例24に記載の方法であって、更に、
前記すすぎ液、前記洗浄材料、及び前記洗浄材料中の前記汚染物質を前記基板表面から除去することを備える方法。
本発明の原理を例として示した添付の図面に関連させた以下の詳細な説明から、本発明のその他の態様及び利点が明らかになる。
PRE=(洗浄前の数−洗浄後の数)/洗浄前の数......(1)
SiN粒子を伴う基板は、粒子の数を測定し、基板洗浄後の基板と比較するための粒子マップを得るために、予めスキャンされる。もし粒子が、基板洗浄前には粒子を有さなかった基板上の場所に現れたならば、それらの粒子は、「追加分」と見なされる。「追加分」は、新しい場所に移動された基板表面上の汚染物質、又は基板表面上に堆積された洗浄材料由来の粒子(汚染物質若しくは不純物)でありえる。
Claims (24)
- 半導体基板表面から汚染物質を除去するための洗浄材料であって、
洗浄液と、
前記洗浄液中に分散された複数の固体成分であって、前記半導体基板表面から前記汚染物質を除去するために前記基板表面上の少なくとも一部の汚染物質と相互作用する複数の固体成分と、
分子量が10,000g/molを超えるポリマ化合物のポリマであって、前記ポリマは、前記洗浄液に可溶になり、前記洗浄液及び前記複数の固体成分とともに前記洗浄材料を形成し、長いポリマ鎖を有する前記可溶化されたポリマは、前記洗浄液中の固体成分及び汚染物質を捕えて閉じ込める、ポリマと、
を備え、
前記固体成分は脂肪酸で形成されており、
前記洗浄材料における前記脂肪酸の濃度は2〜4重量%であり、前記ポリマの濃度は約20ppmから約1000ppmまでの間である、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄材料は、前記パターン化基板を覆う前記洗浄材料に力が作用されたときに、前記パターン化基板の前記表面上のデバイス特徴の周囲で変形し、前記洗浄材料は、前記パターン化基板の前記表面上のデバイス特徴を実質的に損傷させることなく前記表面から前記汚染物質を除去するために、前記表面に適用される、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記複数の固体成分は、4を超える炭素数を有する脂肪酸である、洗浄材料。 - 請求項3に記載の洗浄材料であって、
前記脂肪酸は、ラウリン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、アラキドン酸、ガドレイン酸、エルカ酸、酪酸、カプロン酸、カプリル酸、ミリスチン酸、マルガリン酸、ベヘン酸、リグノセリン酸、ミリストレイン酸、パルミトレイン酸、ネルボン酸、パリナリン酸、ティムノドン酸、ブラシジン酸、クルパノドン酸、及びこれらの混合からなる群より選択される、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄液は、水、イソプロピルアルコール(IPA)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ジメチルホルムアミド(DMF)、又はこれらの組み合わせからなる群より選択される、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記ポリマ化合物は、
ポリアクリルアミド(PAM)、Carbopol 940TM及びCarbopol 941TMなどのポリアクリル酸(PAA)、PAMとPAAとのコポリマ、ポリ−(N,N−ジメチル−アクリルアミド)(PDMAAm)、ポリ−(N−イソプロピル−アクリルアミド)(PIPAAm)、ポリメタクリル酸(PMAA)、ポリメタクリルアミド(PMAAm)などの、アクリルポリマと、
ポリエチレンイミン(PEI)、ポリエチレンオキシド(PEO)、ポリプロピレンオキシド(PPO)などの、ポリイミン及びオキシドと、
ポリビニルアルコール(PVA)、ポリエチレンスルホン酸(PESA)、ポリビニルアミン(PVAm)、ポリビニル−ピロリドン(PVP)、ポリ−4−ビニルピリジン(P4VP)などの、ビニルポリマと、
メチルセルロース(MC)、エチル−セルロース(EC)、ヒドロキシエチルセルロース(HEC)、カルボキシメチルセルロース(CMC)、キトサン、ポリ(エピクロルヒドリン−co−エチレンジアミン)、ポリ(ジメチルアミン−co−エピクロルヒドリン−co−エチレンジアミン)などの、セルロース誘導体と、
アカシア(アラビアゴム)、寒天及びアガロース、ヘパリン、グアーゴム、キサンタンゴムなどの、多糖類と、
卵白、コラーゲン、グルテンなどの、タンパク質と
からなる親水性のポリマ群より選択される、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記ポリマ化合物の前記ポリマは、凝集剤として機能する、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記ポリマ化合物の前記ポリマの分子量は、約0.1Mg/molから約100Mg/molまでの間である、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄材料中における前記ポリマの重量パーセントは、約0.001%から約10%までの間である、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、更に、
前記洗浄液中における前記ポリマ及び前記固体成分の分散又は湿潤化を助けるための表面活性剤を備える洗浄材料。 - 請求項10に記載の洗浄材料であって、
前記表面活性剤は、ドデシル硫酸アンモニウム(ADS)である、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
液体、ゾル、又はゲルの形態をとる流体である洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄材料のpH値は、フロントエンド用途の場合は約7から約12までの間である、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記洗浄材料のpH値は、バックエンド用途の場合は約1から約7までの間である、洗浄材料。 - 請求項1に記載の洗浄材料であって、
前記ポリマは、前記洗浄材料中の不純物を捕らえて閉じ込める、洗浄材料。 - 半導体基板の基板表面から汚染物質を取り除くための装置であって、
前記半導体基板を保持するための基板サポートアセンブリと、
前記基板表面から前記汚染物質を取り除くために洗浄材料を適用するための洗浄材料吐出ヘッドであって、前記洗浄材料は、洗浄液と、複数の固体成分と、分子量が10,000g/molを超えるポリマ化合物のポリマとを含み、前記複数の固体成分及び前記ポリマは、前記洗浄液中に分散され、前記複数の固体成分は、前記半導体基板表面から前記汚染物質を除去するために、前記基板表面上の少なくとも一部の汚染物質と相互作用し、前記ポリマは、前記洗浄液に可溶になり、長いポリマ鎖を有する前記可溶化されたポリマは、前記洗浄液中の固体成分及び汚染物質を捕えて閉じ込める、洗浄材料吐出ヘッドと、
を備え、
前記固体成分は脂肪酸で形成されており、
前記洗浄材料における前記脂肪酸の濃度は2〜4重量%であり、前記ポリマの濃度は約20ppmから約1000ppmまでの間である、装置。 - 請求項16に記載の装置であって、
前記洗浄材料吐出ヘッドは、前記吐出ヘッド下の前記洗浄材料に下向きの力を及ぼす、装置。 - 請求項16に記載の装置であって、
前記半導体基板は、前記洗浄材料吐出ヘッド下で移動し、前記移動は、前記洗浄材料と前記基板の前記表面との間にせん断力を導入する、装置。 - 請求項16に記載の装置であって、
前記洗浄材料吐出ヘッドは、前記半導体基板の前記基板表面の近くに保持される、装置。 - 請求項16に記載の装置であって、更に、
前記基板表面の近くに保持され、前記洗浄材料によって除去された汚染物質とともに前記洗浄材料を前記基板表面からすすいで前記基板表面を乾燥させる上側すすぎ・乾燥ヘッドを備える装置。 - 請求項20に記載の装置であって、更に、
前記基板表面の近くに保持され、前記半導体基板の下側基板表面をすすいで乾燥させる少なくとも1つの下側すすぎ・乾燥ヘッドを備える装置。 - 半導体基板の基板表面から汚染物質を取り除くための方法であって、
前記半導体基板を洗浄装置内に置くことと、
前記基板表面から前記汚染物質を取り除くために洗浄材料を吐出することであって、前記洗浄材料は、洗浄液と、複数の固体成分と、分子量が10,000g/molを超えるポリマ化合物のポリマとを含み、前記複数の固体成分及び前記ポリマは、前記洗浄液中に分散され、前記複数の固体成分は、前記半導体基板表面から前記汚染物質を除去するために、前記基板表面上の少なくとも一部の汚染物質と相互作用し、前記ポリマは、前記洗浄液に可溶になり、長いポリマ鎖を有する前記可溶化されたポリマは、前記洗浄液中の固体成分及び汚染物質を捕えて閉じ込める、ことと、
を備え、
前記固体成分は脂肪酸で形成されており、
前記洗浄材料における前記脂肪酸の濃度は2〜4%重量であり、前記ポリマの濃度は約20ppmから約1000ppmまでの間である、方法。 - 請求項22に記載の方法であって、更に、
前記洗浄材料によって前記基板表面から除去された前記汚染物質とともに前記洗浄材料を前記基板表面からすすぐために、前記洗浄材料によって覆われている前記基板表面上の一部分にすすぎ液を吐出することを備える方法。 - 請求項23に記載の方法であって、更に、
前記すすぎ液、前記洗浄材料、及び前記洗浄材料中の前記汚染物質を前記基板表面から除去することを備える方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/267,362 | 2008-11-07 | ||
US12/267,362 US8105997B2 (en) | 2008-11-07 | 2008-11-07 | Composition and application of a two-phase contaminant removal medium |
PCT/US2009/059293 WO2010053643A1 (en) | 2008-11-07 | 2009-10-01 | Composition and application of a two-phase contaminant removal medium |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012508463A JP2012508463A (ja) | 2012-04-05 |
JP5647614B2 true JP5647614B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=42153164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011535582A Expired - Fee Related JP5647614B2 (ja) | 2008-11-07 | 2009-10-01 | 二相汚染物質除去媒体の組成及び適用 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8105997B2 (ja) |
JP (1) | JP5647614B2 (ja) |
KR (1) | KR101515959B1 (ja) |
CN (2) | CN102209595B (ja) |
TW (1) | TWI426124B (ja) |
WO (1) | WO2010053643A1 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8614053B2 (en) | 2009-03-27 | 2013-12-24 | Eastman Chemical Company | Processess and compositions for removing substances from substrates |
US8444768B2 (en) | 2009-03-27 | 2013-05-21 | Eastman Chemical Company | Compositions and methods for removing organic substances |
US8309502B2 (en) * | 2009-03-27 | 2012-11-13 | Eastman Chemical Company | Compositions and methods for removing organic substances |
US9221081B1 (en) | 2011-08-01 | 2015-12-29 | Novellus Systems, Inc. | Automated cleaning of wafer plating assembly |
US9988734B2 (en) | 2011-08-15 | 2018-06-05 | Lam Research Corporation | Lipseals and contact elements for semiconductor electroplating apparatuses |
US10066311B2 (en) | 2011-08-15 | 2018-09-04 | Lam Research Corporation | Multi-contact lipseals and associated electroplating methods |
US9228270B2 (en) | 2011-08-15 | 2016-01-05 | Novellus Systems, Inc. | Lipseals and contact elements for semiconductor electroplating apparatuses |
CN104272438B (zh) * | 2012-03-28 | 2018-01-12 | 诺发系统公司 | 用于清洁电镀衬底保持器的方法和装置 |
TWI609100B (zh) | 2012-03-30 | 2017-12-21 | 諾發系統有限公司 | 使用反向電流除鍍以清洗電鍍基板夾持具 |
US9029268B2 (en) | 2012-11-21 | 2015-05-12 | Dynaloy, Llc | Process for etching metals |
US9746427B2 (en) | 2013-02-15 | 2017-08-29 | Novellus Systems, Inc. | Detection of plating on wafer holding apparatus |
US10416092B2 (en) | 2013-02-15 | 2019-09-17 | Lam Research Corporation | Remote detection of plating on wafer holding apparatus |
CN104450298A (zh) * | 2014-09-26 | 2015-03-25 | 苏州长盛机电有限公司 | 重油污机械部件清洁剂及其制备方法 |
GB2549652A (en) * | 2014-12-15 | 2017-10-25 | Shell Int Research | Process and composition for alkaline surfactant polymer flooding |
MY189768A (en) * | 2014-12-15 | 2022-03-03 | Shell Int Research | Process and composition for producing oil |
US10053793B2 (en) | 2015-07-09 | 2018-08-21 | Lam Research Corporation | Integrated elastomeric lipseal and cup bottom for reducing wafer sticking |
KR101955597B1 (ko) * | 2017-05-17 | 2019-05-31 | 세메스 주식회사 | 세정액 제조 장치 및 방법 |
KR102208754B1 (ko) | 2017-07-10 | 2021-01-28 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
US11065654B2 (en) | 2017-07-17 | 2021-07-20 | Lam Research Corporation | In situ vapor deposition polymerization to form polymers as precursors to viscoelastic fluids for particle removal from substrates |
WO2019118820A1 (en) * | 2017-12-15 | 2019-06-20 | Tokyo Electron Limited | Aqueous cleaning solution and method of protecting features on a substrate during etch residue removal |
KR102046973B1 (ko) * | 2018-04-10 | 2019-12-02 | 세메스 주식회사 | 기판의 세정방법 및 세정장치 |
CN109248186A (zh) * | 2018-08-08 | 2019-01-22 | 上海养和堂中药饮片有限公司 | 一种太子参的炮制方法 |
CN113667546A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-11-19 | 昆山捷纳电子材料有限公司 | 一种硅片加工后清洗剂组合物 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7015A (en) * | 1850-01-15 | Dampeb fob | ||
DE60135395D1 (de) * | 2000-09-08 | 2008-09-25 | Mitsubishi Rayon Co | Prozess für die Herstellung von (Meth)acrylsäureanhydrid |
US6749691B2 (en) * | 2001-02-14 | 2004-06-15 | Air Liquide America, L.P. | Methods of cleaning discolored metallic arrays using chemical compositions |
CN1639846A (zh) * | 2002-01-28 | 2005-07-13 | 三菱化学株式会社 | 半导体器件用基板的清洗液及清洗方法 |
US7913703B1 (en) * | 2003-06-27 | 2011-03-29 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for uniformly applying a multi-phase cleaning solution to a substrate |
US8316866B2 (en) * | 2003-06-27 | 2012-11-27 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for cleaning a semiconductor substrate |
US7799141B2 (en) * | 2003-06-27 | 2010-09-21 | Lam Research Corporation | Method and system for using a two-phases substrate cleaning compound |
US7696141B2 (en) * | 2003-06-27 | 2010-04-13 | Lam Research Corporation | Cleaning compound and method and system for using the cleaning compound |
US7737097B2 (en) * | 2003-06-27 | 2010-06-15 | Lam Research Corporation | Method for removing contamination from a substrate and for making a cleaning solution |
US7862662B2 (en) * | 2005-12-30 | 2011-01-04 | Lam Research Corporation | Method and material for cleaning a substrate |
US8522799B2 (en) * | 2005-12-30 | 2013-09-03 | Lam Research Corporation | Apparatus and system for cleaning a substrate |
US20050183740A1 (en) * | 2004-02-19 | 2005-08-25 | Fulton John L. | Process and apparatus for removing residues from semiconductor substrates |
EP2428557A1 (en) * | 2005-12-30 | 2012-03-14 | LAM Research Corporation | Cleaning solution |
US20090101166A1 (en) * | 2007-10-18 | 2009-04-23 | Lam Research Corporation | Apparatus and methods for optimizing cleaning of patterned substrates |
US8211846B2 (en) * | 2007-12-14 | 2012-07-03 | Lam Research Group | Materials for particle removal by single-phase and two-phase media |
-
2008
- 2008-11-07 US US12/267,362 patent/US8105997B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-10-01 KR KR1020117010350A patent/KR101515959B1/ko active IP Right Grant
- 2009-10-01 CN CN200980144364.4A patent/CN102209595B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-10-01 WO PCT/US2009/059293 patent/WO2010053643A1/en active Application Filing
- 2009-10-01 JP JP2011535582A patent/JP5647614B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-10-01 CN CN201410365784.8A patent/CN104148322B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-11-05 TW TW098137580A patent/TWI426124B/zh not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-01-16 US US13/351,114 patent/US8601639B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-01-16 US US13/351,217 patent/US8480809B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI426124B (zh) | 2014-02-11 |
KR101515959B1 (ko) | 2015-04-30 |
US8601639B2 (en) | 2013-12-10 |
CN102209595A (zh) | 2011-10-05 |
CN104148322B (zh) | 2017-08-25 |
CN104148322A (zh) | 2014-11-19 |
US20120132235A1 (en) | 2012-05-31 |
US20100116290A1 (en) | 2010-05-13 |
WO2010053643A1 (en) | 2010-05-14 |
JP2012508463A (ja) | 2012-04-05 |
CN102209595B (zh) | 2015-08-19 |
US20120132229A1 (en) | 2012-05-31 |
US8480809B2 (en) | 2013-07-09 |
TW201033356A (en) | 2010-09-16 |
KR20110095250A (ko) | 2011-08-24 |
US8105997B2 (en) | 2012-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5647614B2 (ja) | 二相汚染物質除去媒体の組成及び適用 | |
KR101538188B1 (ko) | 기판으로부터 오염물을 제거하기 위한 방법 및 장치 | |
US8227394B2 (en) | Composition of a cleaning material for particle removal | |
JP2012533649A (ja) | 高度な基板洗浄剤及び洗浄用システム | |
US8314055B2 (en) | Materials and systems for advanced substrate cleaning |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140402 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141021 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5647614 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |