JP5639116B2 - 多孔質ガラス母材の熱処理装置 - Google Patents
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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Description
SiO2+C→SiO+CO (1)
2SiO2+SiC→3SiO+CO (2)
SiO2→SiO↑+1/2O2 (3)
3、30………炉体
5、50………発熱体
7、25………均熱管
71、251………円筒部材
72、252………鍔部材
72a………嵌合部
72b………載置部
72c、252c………割り部
9、21………炉心管
10b、23………鍔部
11………処理ガス導入口
13………排気口
15………孔
17………多孔質ガラス母材
19、19b………コーティング
Claims (5)
- 多孔質ガラス母材の熱処理装置であって、
内部に多孔質ガラス母材を配置可能な石英製の炉心管と、
前記炉心管の外周に設けられる均熱管と、
前記均熱管の外周に設けられる発熱体と、
前記発熱体を覆う炉体と、
を具備し、
前記炉心管の外面には、径方向に突出する鍔部が長手方向に所定間隔で複数形成され、
前記均熱管の内面には、径方向に突出する鍔部が長手方向に所定間隔で複数形成され、
前記炉心管の鍔部および前記均熱管の鍔部は、互いに係合するL字形状であり、
前記炉心管の鍔部を前記均熱管の鍔部で支持することを特徴とする多孔質ガラス母材の熱処理装置。 - 前記均熱管は、前記均熱管の鍔部となる鍔部材と、前記均熱管の長手方向に複数に分割された円筒部材とから構成されていることを特徴とする請求項1に記載の多孔質ガラス母材の熱処理装置。
- 前記鍔部材は前記炉心管の鍔部に嵌合される嵌合部と前記円筒部材を載置する載置部とを有することを特徴とする請求項2に記載の多孔質ガラス母材の熱処理装置。
- 前記鍔部材は、周方向に分割され、前記円筒部材は周方向に一体で構成されることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の多孔質ガラス母材の熱処理装置。
- 前記均熱管はカーボン製であり、前記均熱管の鍔部の前記炉心管との接触部には炭化ケイ素がコーティングされることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の多孔質ガラス母材の熱処理装置。
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JP2012124265A JP5639116B2 (ja) | 2012-05-31 | 2012-05-31 | 多孔質ガラス母材の熱処理装置 |
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Family Cites Families (2)
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- 2012-05-31 JP JP2012124265A patent/JP5639116B2/ja active Active
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