JP2006008478A - 加熱炉、光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 光ファイバ用多孔質母材の脱水および焼結を効率的に行うことができる加熱炉、およびこの加熱炉を用いた光ファイバ母材の製造方法を提供する。
【解決手段】 光ファイバ用多孔質母材1を収容する炉心管21と、少なくとも炉心管21の外周の一部を囲むように配され、炉心管21内に収容された光ファイバ用多孔質母材1を加熱するヒータ22とを備えた加熱炉20において、炉心管21とヒータ22の間に遮熱壁25を設ける。遮熱壁25を、炉心管21の長手方向に沿って移動可能とする。
【選択図】 図2
【解決手段】 光ファイバ用多孔質母材1を収容する炉心管21と、少なくとも炉心管21の外周の一部を囲むように配され、炉心管21内に収容された光ファイバ用多孔質母材1を加熱するヒータ22とを備えた加熱炉20において、炉心管21とヒータ22の間に遮熱壁25を設ける。遮熱壁25を、炉心管21の長手方向に沿って移動可能とする。
【選択図】 図2
Description
本発明は、光ファイバ用多孔質母材を加熱処理して光ファイバ母材とする加熱炉、およびこの加熱炉を用いた光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
光ファイバの製造に用いられる光ファイバ母材の製造方法としては、一般的に、光ファイバ用多孔質母材を形成し、この光ファイバ用多孔質母材を加熱炉内において加熱処理(脱水、焼結)して、光ファイバ母材とする方法が挙げられる。
図3は、従来の加熱炉の一例を示す概略構成図である。
この例の加熱炉110は、光ファイバ用多孔質母材100を収容する石英ガラスなどからなる円筒形の炉心管111と、炉心管111内に収容された光ファイバ用多孔質母材100を加熱処理するためのヒータ112と、ヒータ112の外周を覆う断熱材113と、ヒータ112および断熱材113を収容している筺体114とから概略構成されている。
この例の加熱炉110は、光ファイバ用多孔質母材100を収容する石英ガラスなどからなる円筒形の炉心管111と、炉心管111内に収容された光ファイバ用多孔質母材100を加熱処理するためのヒータ112と、ヒータ112の外周を覆う断熱材113と、ヒータ112および断熱材113を収容している筺体114とから概略構成されている。
この加熱炉110により、光ファイバ用多孔質母材100を加熱処理する場合、加熱領域を広くすることにより、光ファイバ用多孔質母材100に効率良く熱を加えることができる(例えば、特許文献1参照。)。
光ファイバ用多孔質母材100の加熱領域を広くするには、ヒータ112の長さを、炉心管111の長手方向に沿って長くするという方法が挙げられる。しかしながら、ヒータ112の長さを長くし過ぎると、光ファイバ用多孔質母材100がヒータ112から受ける熱量が多くなる。そのため、光ファイバ用多孔質母材100を焼結する場合、その上部を加熱すると、光ファイバ用多孔質母材100が自重によって伸びてしまう。
一方、ヒータ112の長さを短くし過ぎると、光ファイバ用多孔質母材100がヒータ112から受ける熱量が少なくなる。そのため、光ファイバ用多孔質母材100を脱水する場合、光ファイバ用多孔質母材100中の脱水反応を効率よく促進させることができない。
このように、光ファイバ用多孔質母材100を脱水する場合と、焼結する場合とでは、必要とされる光ファイバ用多孔質母材100の加熱領域が異なっている。したがって、光ファイバ用多孔質母材100の脱水と焼結において、ヒータ112の温度を制御することにより、光ファイバ用多孔質母材100の加熱領域を制御することは非常に難しい。
特開2000−219532号公報
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、光ファイバ用多孔質母材の脱水および焼結を効率的に行うことができる加熱炉、およびこの加熱炉を用いた光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するために、光ファイバ用多孔質母材を収容する炉心管と、少なくとも前記炉心管の外周の一部を囲むように配され、前記炉心管内に収容された光ファイバ用多孔質母材を加熱するヒータとを備えた加熱炉であって、前記炉心管と前記ヒータの間に遮熱壁が設けられた加熱炉を提供する。
上記構成の加熱炉において、前記遮熱壁は、前記炉心管の長手方向に沿って移動可能であることが好ましい。
本発明は、上記の加熱炉を用いた光ファイバ母材の製造方法であって、前記加熱炉を構成する炉心管内に光ファイバ用多孔質母材を収容し、該光ファイバ用多孔質母材を脱水する脱水工程と、該脱水工程の後に、前記光ファイバ用多孔質母材を焼結する焼結工程とを備えた光ファイバ母材の製造方法を提供する。
前記脱水工程において、前記炉心管と前記ヒータの間に設けられた遮熱壁により、前記ヒータの前記炉心管と対向する面が覆われないように、前記遮熱壁を前記炉心管の長手方向に沿って移動させ、前記焼結工程において、前記遮熱壁により、前記ヒータの前記炉心管と対向する面の半分以下を覆うように、前記遮熱壁を前記炉心管の長手方向に沿って移動させることが好ましい。
本発明によれば、加熱炉を構成する炉心管とヒータの間に、炉心管の外周を囲むように遮熱壁を設けることによって、炉心管内に収容された光ファイバ用多孔質母材の加熱処理工程(脱水工程、焼結工程)において、光ファイバ用多孔質母材の加熱領域を広くすることができるとともに、光ファイバ用多孔質母材に過剰に熱を加えることを防止することができる。したがって、光ファイバ用多孔質母材の脱水および焼結を効率的に行うことができる上に、光ファイバ用多孔質母材を透明ガラス化してなる光ファイバ母材が自重によって伸びるのを防止することができる。
以下、本発明を実施した加熱炉、およびこの加熱炉を用いた光ファイバ母材の製造方法について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明に係る加熱炉の第一の実施形態を示す概略構成図である。
この実施形態の加熱炉10は、光ファイバ用多孔質母材1を収容する石英ガラスなどからなる円筒形の炉心管11と、炉心管11の外周を囲み、炉心管11内に収容された光ファイバ用多孔質母材1を加熱処理するためのヒータ12と、ヒータ12の外周を覆う断熱材13と、ヒータ12および断熱材13を収容している筺体14と、炉心管11とヒータ12の間に、炉心管11の外周を囲むように設けられた遮熱壁15とから概略構成されている。
この実施形態の加熱炉10は、光ファイバ用多孔質母材1を収容する石英ガラスなどからなる円筒形の炉心管11と、炉心管11の外周を囲み、炉心管11内に収容された光ファイバ用多孔質母材1を加熱処理するためのヒータ12と、ヒータ12の外周を覆う断熱材13と、ヒータ12および断熱材13を収容している筺体14と、炉心管11とヒータ12の間に、炉心管11の外周を囲むように設けられた遮熱壁15とから概略構成されている。
加熱炉10では、遮熱壁15が、炉心管11とヒータ12の間に固定されている。また、遮熱壁15は、炉心管11の長手方向の半分を覆っている。
なお、この実施形態では、遮熱壁15が炉心管11の外周の半分を覆っている例を示したが、本発明の加熱炉はこれに限定されない。本発明の加熱炉にあっては、遮熱壁15が炉心管11の外周の1/4〜1/2程度を覆っていればよい。
遮熱壁15をなす素材は特に限定されないが、遮熱壁15が高温に曝されることや、炉心管および炉心管内で透明ガラス化されてなる光ファイバ母材に悪影響を及ぼす(炉心管や光ファイバ母材が汚染する)ことを防止するためには、遮熱壁15をなす素材はセラミックスまたはカーボンを主成分とするものが望ましい。
このように、炉心管11とヒータ12の間に、炉心管11の外周を囲むように遮熱壁15を設けることによって、炉心管11内に収容された光ファイバ用多孔質母材1の加熱処理工程(脱水工程、焼結工程)において、光ファイバ用多孔質母材1の加熱領域を広くすることができるとともに、光ファイバ用多孔質母材1に過剰に熱を加えることを防止することができる。したがって、光ファイバ用多孔質母材1の脱水および焼結を効率的に行うことができる上に、光ファイバ用多孔質母材1を透明ガラス化してなる光ファイバ母材が自重によって伸びるのを防止することができる。
また、この実施形態では、ヒータ12が炉心管11の外周の一部を囲んでいる例を示したが、本発明の加熱炉はこれに限定されない。本発明の加熱炉にあっては、ヒータが炉心管の外周の全域を囲んでいてもよい。
次に、図1を参照して、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法の第一の実施形態について説明する。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、まず、VAD(Vapor phase Axial Deposition)法、OVD(Outside Vapor Deposition)法などの公知の方法により、光ファイバ用多孔質母材11を形成する。
次いで、ヒータ12により炉心管11を加熱して、光ファイバ用多孔質母材1の表面の長手方向に沿う温度分布が所定の分布になるように、炉心管11内の温度分布を形成する。その後、光ファイバ用多孔質母材1を炉心管11内に収容して、光ファイバ用多孔質母材1を、塩素系ガスを含むヘリウム雰囲気内を通過させて、脱水する(脱水工程)。
この脱水工程において、ヒータ12の温度を1250〜1400℃程度に設定する。
この脱水工程において、ヒータ12の温度を1250〜1400℃程度に設定する。
次いで、ヒータ12による炉心管11の加熱を継続したまま、ヒータ12の温度を1500〜1600℃に設定して、光ファイバ用多孔質母材1の表面の長手方向に沿う温度分布が所定の分布になるように、炉心管11内の温度分布を形成する。このままの状態で、光ファイバ用多孔質母材1を、炉心管11内のヘリウム雰囲気内(必要に応じて他のガスを含んでいてもよい)を通過させて、焼結し(焼結工程)、光ファイバ母材を得る。
この実施形態では、炉心管11とヒータ12の間に、炉心管11の外周を囲むように遮熱壁15が設けられた加熱炉10を用いているから、脱水工程および焼結工程において、ヒータ12の温度を上記の範囲に設定することにより、脱水工程では、光ファイバ用多孔質母材1の加熱領域を広くすることができるとともに、焼結工程では、光ファイバ用多孔質母材1に過剰に熱を加えることを防止することができる。したがって、光ファイバ用多孔質母材1の脱水および焼結を効率的に行うことができる上に、光ファイバ用多孔質母材1を透明ガラス化してなる光ファイバ母材が自重によって伸びるのを防止することができる。
図2は、本発明に係る加熱炉の第二の実施形態を示す概略構成図である。
この実施形態の加熱炉20は、光ファイバ用多孔質母材1を収容する石英ガラスなどからなる円筒形の炉心管21と、炉心管21の外周を囲み、炉心管21内に収容された光ファイバ用多孔質母材1を加熱処理するためのヒータ22と、ヒータ22の外周を覆う断熱材23と、ヒータ22および断熱材23を収容している筺体24と、炉心管21とヒータ22の間に、炉心管21の外周を囲むように設けられた遮熱壁25とから概略構成されている。
この実施形態の加熱炉20は、光ファイバ用多孔質母材1を収容する石英ガラスなどからなる円筒形の炉心管21と、炉心管21の外周を囲み、炉心管21内に収容された光ファイバ用多孔質母材1を加熱処理するためのヒータ22と、ヒータ22の外周を覆う断熱材23と、ヒータ22および断熱材23を収容している筺体24と、炉心管21とヒータ22の間に、炉心管21の外周を囲むように設けられた遮熱壁25とから概略構成されている。
加熱炉20では、遮熱壁25が、炉心管21とヒータ22の間に、炉心管21の長手方向に沿って移動可能に設けられている。具体的には、遮熱壁25を炉心管21の長手方向に沿って移動させることによって、遮熱壁25により、ヒータ22の炉心管21と対向する面の全域を覆うことも、ヒータ22の炉心管21と対向する面を全く覆わないこともできる。
遮熱壁25をなす素材としては、上記の遮熱壁15をなす素材と同様のものが挙げられる。
このように、炉心管21とヒータ22の間に、炉心管21の外周を囲み、炉心管21の長手方向に沿って移動可能に遮熱壁25を設けることによって、炉心管21内に収容された光ファイバ用多孔質母材1の脱水工程において、光ファイバ用多孔質母材1の加熱領域を広くすることができるとともに、光ファイバ用多孔質母材1の焼結工程において、光ファイバ用多孔質母材1に過剰に熱を加えることを防止することができる。したがって、光ファイバ用多孔質母材1の脱水および焼結を効率的に行うことができる上に、光ファイバ用多孔質母材1を透明ガラス化してなる光ファイバ母材が自重によって伸びるのを防止することができる。
また、この実施形態では、ヒータ22が炉心管21の外周の一部を囲んでいる例を示したが、本発明の加熱炉はこれに限定されない。本発明の加熱炉にあっては、ヒータが炉心管の外周の全域を囲んでいてもよい。
次に、図2を参照して、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法の第二の実施形態について説明する。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、まず、VAD(Vapor phase Axial Deposition)法、OVD(Outside Vapor Deposition)法などの公知の方法により、光ファイバ用多孔質母材11を形成する。
次いで、遮熱壁25により、炉心管21の外周が覆われないように、遮熱壁25を炉心管21の長手方向に沿って下方に移動させる。この状態で、ヒータ22により炉心管21を加熱して、光ファイバ用多孔質母材1の表面の長手方向に沿う温度分布が所定の分布になるように、炉心管21内の温度分布を形成する。この後、光ファイバ用多孔質母材1を炉心管21内に収容して、光ファイバ用多孔質母材1を、塩素系ガスを含むヘリウム雰囲気内を通過させて、脱水する(脱水工程)。
この脱水工程において、ヒータ22の温度を1250〜1400℃程度に設定する。
この脱水工程において、ヒータ22の温度を1250〜1400℃程度に設定する。
次いで、ヒータ22による炉心管21の加熱を継続したまま、遮熱壁25により、炉心管21の長手方向の下半分を覆うように、遮熱壁25を炉心管21の長手方向に沿って上方に移動させる。この状態で、ヒータ22の温度を1500〜1600℃に設定して、光ファイバ用多孔質母材1の表面の長手方向に沿う温度分布が所定の分布になるように、炉心管21内の温度分布を形成する。このままの状態で、光ファイバ用多孔質母材1を、炉心管21内のヘリウム雰囲気内(必要に応じて他のガスを含んでいてもよい)を通過させて、焼結し(焼結工程)、光ファイバ母材を得る。
この実施形態では、炉心管21とヒータ22の間に、炉心管21の外周を囲むように遮熱壁25が設けられた加熱炉20を用いて、光ファイバ用多孔質母材1の脱水工程において、遮熱壁25により、炉心管21の外周が覆われないように、遮熱壁25を炉心管21の長手方向に沿って下方に移動させることにより、光ファイバ用多孔質母材1の加熱領域を広くすることができる。また、光ファイバ用多孔質母材1の焼結工程において、遮熱壁25により、炉心管21の長手方向の下半分を覆うように、遮熱壁25を炉心管21の長手方向に沿って上方に移動させることにより、光ファイバ用多孔質母材1に過剰に熱を加えることを防止することができる。したがって、光ファイバ用多孔質母材1の脱水および焼結を効率的に行うことができる上に、光ファイバ用多孔質母材1を透明ガラス化してなる光ファイバ母材が自重によって伸びるのを防止することができる。
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
(実施例)
図2に示したような加熱炉を用いて、光ファイバ用多孔質母材の脱水、焼結を行い、光ファイバ母材を製造した。
光ファイバ用多孔質母材の脱水工程において、遮熱壁により、炉心管の外周が覆われないように、遮熱壁を炉心管の長手方向に沿って下方に移動させた。この脱水工程において、脱水開始から終了までの時間(処理時間)を3時間とした。
また、光ファイバ用多孔質母材の焼結工程において、遮熱壁により、炉心管の長手方向の下半分を覆うように、遮熱壁を炉心管の長手方向に沿って上方に移動させた。この焼結工程において、焼結開始から終了までの時間(処理時間)を8時間とした。
上記一連の工程を繰り返して、光ファイバ母材を30個作製した。
図2に示したような加熱炉を用いて、光ファイバ用多孔質母材の脱水、焼結を行い、光ファイバ母材を製造した。
光ファイバ用多孔質母材の脱水工程において、遮熱壁により、炉心管の外周が覆われないように、遮熱壁を炉心管の長手方向に沿って下方に移動させた。この脱水工程において、脱水開始から終了までの時間(処理時間)を3時間とした。
また、光ファイバ用多孔質母材の焼結工程において、遮熱壁により、炉心管の長手方向の下半分を覆うように、遮熱壁を炉心管の長手方向に沿って上方に移動させた。この焼結工程において、焼結開始から終了までの時間(処理時間)を8時間とした。
上記一連の工程を繰り返して、光ファイバ母材を30個作製した。
(比較例1)
図3に示したような加熱炉を用いて、光ファイバ用多孔質母材の脱水、焼結を行い、光ファイバ母材を製造した。
光ファイバ用多孔質母材の脱水工程において、脱水開始から終了までの時間(処理時間)を3時間とした。
また、光ファイバ用多孔質母材の焼結工程において、焼結開始から終了までの時間(処理時間)を7.5時間とした。
なお、図3に示したヒータとしては、図1に示したヒータの大きさと等しいものを用いた。
上記一連の工程を繰り返して、光ファイバ母材を30個作製した。
図3に示したような加熱炉を用いて、光ファイバ用多孔質母材の脱水、焼結を行い、光ファイバ母材を製造した。
光ファイバ用多孔質母材の脱水工程において、脱水開始から終了までの時間(処理時間)を3時間とした。
また、光ファイバ用多孔質母材の焼結工程において、焼結開始から終了までの時間(処理時間)を7.5時間とした。
なお、図3に示したヒータとしては、図1に示したヒータの大きさと等しいものを用いた。
上記一連の工程を繰り返して、光ファイバ母材を30個作製した。
(比較例2)
図3に示したような加熱炉を用いて、光ファイバ用多孔質母材の脱水、焼結を行い、光ファイバ母材を製造した。
光ファイバ用多孔質母材の脱水工程において、脱水開始から終了までの時間(処理時間)を5時間とした。
また、光ファイバ用多孔質母材の焼結工程において、焼結開始から終了までの時間(処理時間)を9時間とした。
なお、図3に示したヒータとしては、図1に示したヒータよりも長手方向に150mm短いものを用いた。
上記一連の工程を繰り返して、光ファイバ母材を30個作製した。
図3に示したような加熱炉を用いて、光ファイバ用多孔質母材の脱水、焼結を行い、光ファイバ母材を製造した。
光ファイバ用多孔質母材の脱水工程において、脱水開始から終了までの時間(処理時間)を5時間とした。
また、光ファイバ用多孔質母材の焼結工程において、焼結開始から終了までの時間(処理時間)を9時間とした。
なお、図3に示したヒータとしては、図1に示したヒータよりも長手方向に150mm短いものを用いた。
上記一連の工程を繰り返して、光ファイバ母材を30個作製した。
実施例および比較例1,2において、光ファイバ用多孔質母材の焼結時の伸びによる、光ファイバ用多孔質母材の加熱を中断した回数を表1に示す。
また、実施例および比較例1,2で得られた光ファイバ母材を用いて光ファイバを製造し、波長1380nmにおける損失を測定した。損失が0.310dB/kmを超えたものを不良とし、光ファイバ母材の歩留まりを算出した。以上の結果を表1に示す。
また、実施例および比較例1,2で得られた光ファイバ母材を用いて光ファイバを製造し、波長1380nmにおける損失を測定した。損失が0.310dB/kmを超えたものを不良とし、光ファイバ母材の歩留まりを算出した。以上の結果を表1に示す。
表1の結果から、実施例によれば、光ファイバ用多孔質母材の脱水および焼結の効率を上げることができることが分かった。また、波長1380nmにおける損失の少ない光ファイバを製造可能な光ファイバ母材を製造することができることが確認された。
本発明の加熱炉および光ファイバ母材の製造方法は、光ファイバ母材以外の用途に用いる石英ガラスの製造にも適用可能である。
1・・・光ファイバ用多孔質母材、10,20・・・加熱炉、11,21・・・炉心管、12,22・・・ヒータ、13,23・・・断熱材、14,24・・・筐体、15,25・・・遮熱壁。
Claims (4)
- 光ファイバ用多孔質母材を収容する炉心管と、少なくとも前記炉心管の外周の一部を囲むように配され、前記炉心管内に収容された光ファイバ用多孔質母材を加熱するヒータとを備えた加熱炉であって、
前記炉心管と前記ヒータの間に遮熱壁が設けられたことを特徴とする加熱炉。 - 前記遮熱壁は、前記炉心管の長手方向に沿って移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の加熱炉。
- 請求項1または2に記載の加熱炉を用いた光ファイバ母材の製造方法であって、
前記加熱炉を構成する炉心管内に光ファイバ用多孔質母材を収容し、該光ファイバ用多孔質母材を脱水する脱水工程と、該脱水工程の後に、前記光ファイバ用多孔質母材を焼結する焼結工程とを備えたことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 - 前記脱水工程において、前記炉心管と前記ヒータの間に設けられた遮熱壁により、前記ヒータの前記炉心管と対向する面が覆われないように、前記遮熱壁を前記炉心管の長手方向に沿って移動させ、前記焼結工程において、前記遮熱壁により、前記ヒータの前記炉心管と対向する面の半分以下を覆うように、前記遮熱壁を前記炉心管の長手方向に沿って移動させることを特徴とする請求項3に記載の光ファイバ母材の製造方法。
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