JP5638093B2 - 対象物を走査する装置、その装置の作動方法および走査顕微鏡 - Google Patents
対象物を走査する装置、その装置の作動方法および走査顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5638093B2 JP5638093B2 JP2012552320A JP2012552320A JP5638093B2 JP 5638093 B2 JP5638093 B2 JP 5638093B2 JP 2012552320 A JP2012552320 A JP 2012552320A JP 2012552320 A JP2012552320 A JP 2012552320A JP 5638093 B2 JP5638093 B2 JP 5638093B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- coil
- carrier body
- scanning device
- plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0875—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
2 第1の電磁駆動装置
3 コイル機構
4 第1のコイルリード
4a 第1のコイル
4b 第6のコイル
5 第1のばね要素
6 第1の磁界発生機構
6a 上側の第1の磁性要素
6b 下側の第1の磁性要素
7 第2のばね要素
8b 下側の第2の磁性要素
9 第3のばね要素
10 キャリア本体
11 第4のばね要素
12 集束レンズ系
13 陥凹ホルダ
14 磁界線
15 第1の磁気コイル
16 第1の力のベクトル
17 第2の磁気コイル
18 第2の力のベクトル
19 照明光ビーム
20 走査顕微鏡
21 コイルホルダ
22b 下側の第3の磁性要素
23 焦点
24b 下側の第4の磁性要素
26 第2のコイルリード
26a 第2のコイル
26b 第3のコイル
26c 第4のコイル
26d 第5のコイル
26e 第7のコイル
26f 第8のコイル
27 凹んだキャリア本体
30 ビームスプリッタ
31 走査ユニット
32 集束された照明光ビーム
33 第2の磁界発生機構
34 試料
36 スライドガラス
44 検出光ビーム
46 検出レンズ
48 検出シャッタ
50 検出器
59 第2の電磁駆動装置
60 第3の磁界発生機構
62 垂直コイル
64 垂直キャリア本体
66 垂直ばね要素
92 キャリア本体の陥凹部
94 散乱ディスク
95 光源位置センサ
96 光検出器
Claims (12)
- ある平面内で移動可能に取り付けられたキャリア本体(10)と、第1の電磁駆動装置(2)とを有する、対象物走査装置であって、
前記キャリア本体(10)は、照明光ビーム(19)を対象物の、前記平面に平行な第1の対象物平面に集束させる光学素子(12)を保持するものであり、前記第1の電磁駆動装置(2)は、前記キャリア本体(10)を前記光学素子(12)とともに、前記照明光ビーム(19)の基準位置における前記照明光ビーム(19)の中心軸に関して横方向に移動させ、前記照明光ビーム(19)の焦点領域を前記第1の対象物平面内で移動させるものである、対象物走査装置であって、
前記キャリア本体(10)の位置を、ひいては前記光学素子(12)の位置を検出する位置センサを更に有し、前記位置センサが、前記キャリア本体(10)の陥凹部(92)、光源(95)および光検出器(96)を備え、前記光源(95)からの光が前記陥凹部(92)を通って前記光検出器(96)に至り、前記光検出器(96)への光の投影が、前記キャリア本体(10)の移動の結果として相応に移動し、前記キャリア本体(10)の実際の位置を検出できる、対象物走査装置。 - 前記キャリア本体(10)が、平行ばね機構によって前記平面に平行に移動可能に取り付けられている、請求項1に記載の対象物走査装置。
- 前記平行ばね機構が2つ以上の平行ばね連係部材(5、7,9、11)を備える、請求項2に記載の対象物走査装置。
- 前記平行ばね連係部材(5、7、9,11)の少なくとも1つが、前記電磁駆動装置(2)のための電流供給線を形成する、請求項3に記載の対象物走査装置。
- 前記キャリア本体(10)がプリント回路基板を備え、その上に前記第1の電磁駆動装置(2)の少なくとも1つの駆動用構成要素が形成される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の対象物走査装置。
- 前記第1の電磁駆動装置(2)が、第1の駆動用構成要素としてコイル機構(3)を備え、第2の駆動用構成要素として、少なくとも1つの磁界を発生させる磁界発生機構(6)を備え、前記コイル機構(3)または前記磁界発生機構(6)が前記キャリア本体(10)に連結固定され、前記2つの駆動用構成要素のうち、前記キャリア本体(10)に連結されていない方が所定の位置に固定される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の対象物走査装置。
- 前記磁界発生機構(6)が、第1の磁界を発生させる第1の磁界発生装置(6a、6b)と、前記第1の磁界発生装置から所定の距離だけ離間され、かつ前記第1の磁界と反対方向に向けられる第2の磁界を発生させる第2の磁界発生装置(8a、8b)とを備え、
前記コイル機構(3)が、第1のコイル(4a)を有する第1のコイルリード(4)を備え、その中心が前記2つの磁界発生装置(6a、6b、8a、8b)の間に位置付けられ、前記第1のコイルリードの一部が前記第1の磁界の中に、一部が前記第2の磁界の中に入り込む、請求項6に記載の対象物走査装置。 - 前記コイル機構(3)が、第2のコイル(26a)、第3のコイル(26b)、第4のコイル(26c)、第5のコイル(26d)を有する第2のコイルリード(26)を備え、そのうちの2つが同じ回転方向に巻かれる一方で、他の2つは反対の回転方向に巻かれ、同じ回転方向に巻かれた前記コイルの2つ(26a、26c)が前記2つの磁界の同じ側に配置され、前記コイルの一方(26c)が部分的に前記第1の磁界の中に入り込み、他方のコイル(26a)が部分的に前記第2の磁界の中に入り込み、
他の2つのコイル(26b、26d)が前記2つの磁界の反対側に配置され、これらコイルの一方(26d)が前記第1の磁界の中に入り込み、他方のコイル(26b)が前記第2の磁界の中に入り込み、
前記第2のコイルから第5のコイル(26a、26b、26c、26d)のいずれも、前記磁界の、前記第1のコイル(4a)が配置されている側には配置されていない、請求項7に記載の対象物走査装置。 - 前記磁界発生機構(6)が、前記第1の磁界と反対の第3の磁界を発生させる第3の磁界発生装置(22b)と、前記第2の磁界と反対の第4の磁界を発生させる第4の磁界発生装置(24b)とを備え、4つの磁界発生装置(6b、8b、22b、24b)が長方形の角に配置され、長方形に沿った前記磁界発生装置(6b、8b、22b、24b)の各々が、反対の磁界を有する磁界発生装置(6b、8b、22b、24b)に隣接し、
前記第1のコイルリード(4)が、前記第1のコイル(4a)と反対の回転方向に巻かれた第6のコイル(4b)を備え、その中心が第3と第4の磁界発生装置(22b、24b)の間に配置され、部分的に前記第3の磁界の中に、また部分的に前記第4の磁界の中に入り込み、
前記コイル機構(3)が、相互に反対の回転方向に巻かれている第7のコイル(26f)と第8のコイル(26e)を有する第2のコイルリード(26)を備え、前記第7のコイル(26f)の中心が第1と第3の磁界発生装置(6b、22b)の間に位置付けられ、前記第7のコイル(26f)が第1と第3の磁界発生装置(6b、22b)の中に入り込み、前記第8のコイル(26e)の中心が第2と第4の磁界発生装置(8b、24b)の間に位置付けられ、前記第8のコイル(26e)が第2と第4の磁界発生装置(8b、24b)の中に入り込む、請求項7に記載の対象物走査装置。 - 前記キャリア本体(10)が、前記平面に対して垂直に移動可能に取り付けられ、前記キャリア本体(10)を前記平面に対して垂直に移動させる第2の電磁駆動装置を備える結果、前記照明光ビーム(19)の焦点が、前記第1の対象物平面から所定の距離だけ離れ、かつ前記平面に平行な第2の対象物平面内で移動可能である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の対象物走査装置。
- 照明光ビーム(19)を発生させる光源(22)と、前記照明光ビーム(19)を前記第1または第2の対象物平面内の異なる対象物地点に集束させる、請求項1〜10のいずれか一項に記載の対象物走査装置と、を備える走査顕微鏡。
- 対象物走査装置を作動する方法であって、前記対象物走査装置の第1の電磁駆動装置(2)を作動して、前記対象物走査装置のキャリア本体(10)であって、前記電磁駆動装置(2)の駆動用構成要素に接続され、かつ照明光ビーム(19)を対象物平面の焦点領域へと集束させる光学素子(12)を保持するキャリア本体(10)を、前記対象物平面に平行に移動し、このようにして、前記照明光ビーム(19)の前記焦点領域を前記対象物平面内で移動する、方法であって、
前記キャリア本体(10)の位置を、ひいては前記光学素子(12)の位置を検出する位置センサであって、前記キャリア本体(10)の陥凹部(92)、光源(95)および光検出器(96)を備える位置センサを更に有し、前記光源(95)からの光が前記陥凹部(92)を通って前記光検出器(96)に至り、前記光検出器(96)への光の投影が、前記キャリア本体(10)の移動の結果として相応に移動し、この投影位置に応じて、前記キャリア本体(10)の実際の位置を検出する、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE201010007729 DE102010007729A1 (de) | 2010-02-12 | 2010-02-12 | Vorrichtung zum Scannen eines Objekts, Verfahren zum Betreiben der Vorrichtung und Scanmikroskop |
DE102010007729.1 | 2010-02-12 | ||
PCT/EP2011/050008 WO2011098303A1 (de) | 2010-02-12 | 2011-01-03 | Vorrichtung zum scannen eines objekts, verfahren zum betreiben der vorrichtung und scanmikroskop |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013525823A JP2013525823A (ja) | 2013-06-20 |
JP5638093B2 true JP5638093B2 (ja) | 2014-12-10 |
Family
ID=43754863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012552320A Expired - Fee Related JP5638093B2 (ja) | 2010-02-12 | 2011-01-03 | 対象物を走査する装置、その装置の作動方法および走査顕微鏡 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9036232B2 (ja) |
JP (1) | JP5638093B2 (ja) |
DE (1) | DE102010007729A1 (ja) |
WO (1) | WO2011098303A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015037231A1 (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-19 | オリンパス株式会社 | 光走査装置 |
US11506877B2 (en) | 2016-11-10 | 2022-11-22 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Imaging instrument having objective axis and light sheet or light beam projector axis intersecting at less than 90 degrees |
US10288568B2 (en) * | 2016-12-08 | 2019-05-14 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Raman probe and methods of imaging |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5179276A (en) * | 1991-03-27 | 1993-01-12 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Optical scanning type image pickup apparatus and optical scanning type microscope |
JPH05127089A (ja) * | 1991-11-01 | 1993-05-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 走査型顕微鏡 |
JPH07325262A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-12 | Sony Corp | レーザ顕微鏡装置 |
US5880465A (en) | 1996-05-31 | 1999-03-09 | Kovex Corporation | Scanning confocal microscope with oscillating objective lens |
JP2003507777A (ja) * | 1999-08-26 | 2003-02-25 | アフィメトリックス インコーポレイテッド | 高性能走査を行う装置及び方法 |
JP3797874B2 (ja) | 2000-12-26 | 2006-07-19 | オリンパス株式会社 | 走査型光学顕微鏡 |
JP4209709B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2009-01-14 | 株式会社キーエンス | 変位計 |
JP5371222B2 (ja) | 2006-09-14 | 2013-12-18 | オプティスカン・ピーティーワイ・リミテッド | 光ファイバ走査装置 |
US20110001036A1 (en) * | 2006-10-24 | 2011-01-06 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | system for imaging an object |
WO2009040745A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Objective driving unit for an optical device |
-
2010
- 2010-02-12 DE DE201010007729 patent/DE102010007729A1/de not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-01-03 JP JP2012552320A patent/JP5638093B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-03 US US13/578,609 patent/US9036232B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-03 WO PCT/EP2011/050008 patent/WO2011098303A1/de active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013525823A (ja) | 2013-06-20 |
US20130010340A1 (en) | 2013-01-10 |
DE102010007729A1 (de) | 2011-08-18 |
WO2011098303A1 (de) | 2011-08-18 |
US9036232B2 (en) | 2015-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101409644B1 (ko) | 입체 형상 계측 장치 | |
US9042010B2 (en) | Scanning microscope and method for optically scanning one or more samples | |
KR100675911B1 (ko) | 리소그래피 장치, 로렌츠 액츄에이터, 및 디바이스 제조방법 | |
CN104937696B (zh) | 曝光装置、移动体装置以及器件制造方法 | |
JP2005535878A (ja) | 走査型無開口蛍光顕微鏡のための改良された方法およびシステム | |
JP2014044265A (ja) | 光走査装置 | |
US9081173B2 (en) | Laser scanning microscope for scanning along a 3D trajectory | |
TW201211497A (en) | Displacement detecting device | |
JP5638093B2 (ja) | 対象物を走査する装置、その装置の作動方法および走査顕微鏡 | |
CN1527139A (zh) | 光刻装置及器件制造方法 | |
JP2009128139A (ja) | 走査プローブ顕微鏡及び走査プローブ顕微鏡用探針ユニット | |
US20140223612A1 (en) | Modular Atomic Force Microscope | |
JP5534080B2 (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
KR20110094557A (ko) | 원자간 힘 현미경 및 이를 이용한 시료 측정방법 | |
JP5133709B2 (ja) | レーザリペア装置 | |
JP2019138772A (ja) | センサ装置 | |
JP6016495B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
JP5489050B2 (ja) | 露光装置 | |
JP2009188012A (ja) | 露光装置 | |
JP2006023443A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP6843585B2 (ja) | 走査型画像計測装置及び走査型画像計測方法 | |
JP2011021921A (ja) | 干渉計及び面形状測定方法 | |
CN116223465A (zh) | 等离子体显微成像系统 | |
KR101302162B1 (ko) | 3차원 공초점 전계발광 분광 현미경 장치 | |
JP2009188013A (ja) | 露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130827 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140430 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140729 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140805 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140828 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140924 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141021 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |