JP5636971B2 - 硬質被覆層がすぐれた靭性、耐チッピング性を備える表面被覆切削工具 - Google Patents
硬質被覆層がすぐれた靭性、耐チッピング性を備える表面被覆切削工具 Download PDFInfo
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Description
(a)下部層が、いずれも化学蒸着形成された、Tiの炭化物(以下、TiCで示す)層、窒化物(以下、同じくTiNで示す)層、炭窒化物(以下、TiCNで示す)層、炭酸化物(以下、TiCOで示す)層および炭窒酸化物(以下、TiCNOで示す)層のうちの2層以上からなるTi化合物層、
(b)上部層が、化学蒸着形成された酸化アルミニウム(以下、Al2O3で示す)層、
以上(a)および(b)で構成された硬質被覆層を形成してなる被覆工具が知られており、この被覆工具は、各種の鋼や鋳鉄などの切削加工に用いられていることが知られている。
(a)上記TiN層の上に、TiCl4−CH3CN−N2−H2系反応ガスを用いてTiCN層を蒸着形成し、
(b)上記(a)の成膜過程で、上記反応ガスの導入を停止すると同時に、SF6系ガスを導入してSF6エッチングを行い、
(c)次いで、上記(a)の工程と上記(b)の工程を繰り返し行ない、目標厚さのTiCN層を形成する。
「(1) 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
(a)下部層は、少なくともTiの炭窒化物層を含み、かつ、3〜20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層、
(b)上部層は、1〜25μmの平均層厚を有する酸化アルミニウム層、
上記(a)、(b)からなる硬質被覆層を化学蒸着した表面被覆切削工具において、
上記(a)の下部層を構成する少なくとも1層のTiの炭窒化物層を、工具基体表面と平行に0.02μmの厚み幅領域に区分し、該厚み幅領域に存在する粒界の数を測定し、1μm当たりの粒界の数の逆数を平均粒径Dとして、膜厚方向に沿う各厚み幅領域の平均粒径Dの変化を求めた場合に、
平均粒径Dが0.5〜1.5μmである厚み幅領域と、平均粒径Dが0.05〜0.3μmである厚み幅領域とが、該層の膜厚方向に沿って、交互に少なくとも複数領域形成されていることによって、上記下部層を構成する少なくとも1層のTiの炭窒化物層の平均粒径Dが膜厚方向に沿って0.5μm〜5μmの周期で周期的に変化する結晶粒組織構造を有することを特徴とする表面被覆切削工具。
に特徴を有するものである。
下部層のTi化合物層:
Tiの炭化物(TiC)層、窒化物(TiN)層、炭窒化物(TiCN)層、炭酸化物(TiCO)層および炭窒酸化物(TiCNO)層のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなる下部層は、通常の化学蒸着条件で形成することができる。
下部層の改質TiCN層:
この発明では、上記下部層を構成するTi化合物層のうち、少なくとも一つの層を、柱状組織と微粒組織が周期的に交互に現出するような結晶粒組織構造を備える前記改質TiCN層として形成する。
改質TiCN層の成膜:
この発明の改質TiCN層は、通常の化学蒸着条件で成膜するTi化合物層からなる下部層の少なくとも一つの層として、成膜することができる。
例えば、通常の化学蒸着装置を用い、
反応ガス組成(容量%):
TiCl4:4〜5 %,
N2:30〜40 %,
H2:残
反応雰囲気温度:1020〜1060℃、
反応雰囲気圧力:10〜30kPa、
の条件で所定膜厚のTiN層を蒸着形成した後、
(a)上記TiN層の表面に、
反応ガス組成(容量%):
TiCl4:1〜3 %,
CH3CN:0.5〜1.0 %,
N2:5〜15 %,
H2:残
反応雰囲気温度:900〜950℃、
反応雰囲気圧力:5〜20kPa、
の条件で所定膜厚のTiCN層を蒸着形成し
(b)ついで、上記反応ガスの導入を停止し、その代わりに、0.1〜2容量%のガス組成となるようにSF6ガスを添加したH2ガスを導入し、このSF6ガスにより以下の条件、即ち、
反応ガス組成(容量%):
SF6:0.1〜2 %,
H2:残
反応雰囲気温度:800〜1050 ℃、
反応雰囲気圧力:5〜20kPa、
の条件で5〜30分間SF6エッチングを行う。
(c)ついで、上記SF6系ガスの導入を停止し、装置内に、上記(a)の反応ガスを導入し、上記(a)と同じ条件で、再度TiCN層を蒸着形成する。
改質TiCN層の結晶粒組織構造:
図1に、上記の化学蒸着条件で形成されたこの発明の改質TiCN層の結晶粒組織構造の概略模式図を示す。
上部層のAl2O3層:
上部層を構成するAl2O3層が、高温硬さと耐熱性を備えることは既に良く知られているが、この発明のAl2O3層からなる上部層は、その平均層厚が1μm未満では、長期の使用に亘っての耐摩耗性を確保することができず、一方、その平均層厚が25μmを越えるとAl2O3結晶粒が粗大化し易くなり、その結果、高温硬さ、高温強度の低下に加え、高速重切削加工時の耐チッピング性が低下するようになることから、その平均層厚を1〜25μmと定めた。
硬質被覆層の下部層として、表3に示される条件かつ表5に示される目標層厚でTi化合物層を蒸着形成する。
(a)まず、表4に示す成膜条件でTiCN層を形成し、
(b)次いで、表4に示される条件で、成膜したTiCN層を所定時間SF6エッチングし、
(c)上記(a)、(b)を所定膜厚の改質TiCN層が得られるまで繰り返し行なうことにより形成する。
また、表3に示される条件かつ表7に示される目標層厚で、硬質被覆層の下部層としてのTi化合物層および上部層としてのAl2O3層を蒸着形成するとともに、下部層の一部に、表4に示される条件でTiCNの平均粒径が変化する改質TiCN層を形成することにより、表7に示すTiCN層を有する比較被覆工具11〜15を作製した。
Claims (2)
- 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
(a)下部層は、少なくともTiの炭窒化物層を含み、かつ、3〜20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層、
(b)上部層は、1〜25μmの平均層厚を有する酸化アルミニウム層、
上記(a)、(b)からなる硬質被覆層を化学蒸着した表面被覆切削工具において、
上記(a)の下部層を構成する少なくとも1層のTiの炭窒化物層を、工具基体表面と平行に0.02μmの厚み幅領域に区分し、該厚み幅領域に存在する粒界の数を測定し、1μm当たりの粒界の数の逆数を平均粒径Dとして、膜厚方向に沿う各厚み幅領域の平均粒径Dの変化を求めた場合に、
平均粒径Dが0.5〜1.5μmである厚み幅領域と、平均粒径Dが0.05〜0.3μmである厚み幅領域とが、該層の膜厚方向に沿って、交互に少なくとも複数領域形成されていることによって、上記下部層を構成する少なくとも1層のTiの炭窒化物層の平均粒径Dが膜厚方向に沿って0.5μm〜5μmの周期で周期的に変化する結晶粒組織構造を有することを特徴とする表面被覆切削工具。 - 上記(a)のTi化合物層は、少なくとも1層のTiの炭窒化物層と、Tiの炭化物層、窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上とからなることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
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