JP5635828B2 - 除振台の制御弁の駆動機構 - Google Patents

Description

本発明は、被支持体の荷重を受ける気体ばねに接続されて、気体を給排する給排口と、圧力源から気体が供給される給気口と、上記気体ばねから排出された気体を排気するための排気口とが形成された除振台の制御弁の駆動機構に関するものである。

従来より例えば光学機器等、振動を嫌う精密機器を定盤上に設置して、複数の空気ばねにより弾性的に支持するようにした除振台は知られている。その定盤を水平に保ち、且つ高さを一定に維持するための調整（レベリング調整）は、個々の空気ばねへの加圧空気の給排によって行われる。すなわち、一例として特許文献１、２に開示されるように、個々の空気ばねには、それが支持する定盤の高さに応じて空気の供給、排気を切換えるように機械式のレベリングバルブが付設されている。

例えば特許文献１のものでは、同文献の図１に示されるように円筒状のバルブ本体７の上端からピストン１９の上部が突出し、その近傍に設けられたブラケット２２には、支軸２３を介してレバー２４の基端部が回動可能に支持されている。また、レバー２４の途中に固定された作動ピン２５の下端がピストン１９の上端面に当接する一方、レバー２４の先端部に固定された当接棒２６（同文献の図５参照）の上端は除振台の下面に当接している。

そして、例えば機器の作動に伴い何れかの空気ばね２の分担荷重が増大し、その支持高さが低くなれば、レバー２４が下向きに回動してピストン１９が押し下げられ、これにより弁体（開閉弁１６）が移動して、加圧空気が圧力容器３に供給されるようになる。反対に支持高さが高くなればレバー２４は持ち上がり、空気ばね２の圧力容器３からは空気が排出されるようになる。このように空気の給排が繰り返されることによって、空気ばねによる定盤の支持高さが一定に維持される。

実公平８−７１５７号公報 実用新案登録第３１１６３０９号公報

ところで近年、重量物であるワークの移動を伴うステージが搭載された装置も除振台上に設置されるようになり、空気ばねの分担荷重の変化が激しくなることに対応して、レベリングバルブの作動頻度が高くなり、ピストンの作動量も増大する傾向がある。そうした大きな荷重変動に対して速やかに空気を給排するためにも、ピストンの作動量は大きくならざるを得ない。

しかし、そうしてピストンの作動量が大きくなると、例えば特許文献１の図２〜４に示されているようにレバー部材２４の回動角度が大きくなって、作動ピン２５がピストン１９の上端面を抉るように大きく摺動することになるから、摩擦抵抗が大きくなることは避けられない。

また、そうした作動ピン２５の摺動によりピストン１９の上端面が摩耗し、その摩耗粉が噛み込むと摩擦抵抗が急増して、ピストン１９のスムーズな作動を妨げるようになる。長期間の使用によって摩耗が進めば、作動ピン２５の下端がピストン１９の上端面に引っかかって、作動不良を引き起こす虞れもある。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、被支持体の荷重を受ける気体ばねに接続されて、気体を給排する給排口と、圧力源から気体が供給される給気口と、上記気体ばねから排出された気体を排気するための排気口とが形成された除振台の制御弁の駆動機構において、レバー部材の揺動（回動）に伴うピストンとの摩擦抵抗を減らして、長期間に亘りスムーズな作動を実現することにある。

第１の発明は、被支持体の荷重を受ける気体ばねに接続されて、気体を給排する給排口と、圧力源から気体が供給される給気口と、上記気体ばねから排出された気体を排気するための排気口とが形成された除振台の制御弁の駆動機構であって、上記制御弁は、ハウジングと、該ハウジングから突出したピストンと、該ハウジングに収容され、上記ピストンと連動する弁体とを有していて、該弁体の移動によって、上記給気口及び給排口を連通する給気位置と、該給排口及び排気口を連通する排気位置と、該両位置の中間で気体の給排を行わない中立位置とに切換えられるものであり、上記ピストンの突出側の端面には、凹部が形成されており、基端部が上記ハウジングに回動自在に支持され、上記被支持体の荷重を受けて上記ピストンの移動方向に回動するレバー部材と、上記レバー部材の基端側寄りの部位に該レバー部材の回動軸と平行な回動軸周りに回動自在に支持され、先端部が上記凹部に収容支持されたピン部材とを備えており、上記制御弁は、上記ピストン及び弁体が上下方向に移動するように配設されており、上記ピン部材は、上記レバー部材が上下に回動すると、その先端部が上記凹部に収容支持された状態を維持しながら水平に回動することを特徴とするものである。

上記の構成により、被支持体からの荷重が増大して気体ばねが圧縮されたり、反対に荷重が減少して気体ばねが拡張するときには、これに応じてレバー部材がその基端部の周りに回動し、従来までと同様にピストンを作動させるようになる。そして、このピストンの作動によって弁体が移動し、気体ばねへの気体の給排が行われる。

そうして回動するレバー部材の基端側寄りの部位には、先端部がピストンの突出側の端面に形成された凹部に収容支持されるように、レバー部材の回動軸と平行な回動軸周りに回動自在に支持されたピン部材が配設されており、このピン部材は、先端部がピストンの凹部に収容支持された状態を維持しながら水平に回動するようになるので、その摩擦抵抗が従来比で大幅に減少しスムーズな作動が実現する。しかも、摺動による摩耗が大幅に減少することもあり、長期間に亘って使用しても作動不良の起きる心配はない。

第２の発明は、上記第１の発明において、上記制御弁が中立位置にあるときに、上記レバー部材の回動軸と上記ピン部材の回動軸とが同じ高さになるように設定されていることを特徴とするものである。

こうすると、幾何学的にレバー部材の回動に伴うピン部材のピストンの凹部内面上の摺動量が小さくなって、摩擦抵抗、摩耗の軽減に有利になる。

すなわち、制御弁が中立位置にあるときに、レバー部材の回動軸と、ピン部材の回動軸とが同じ高さになれば、レバー部材が上下に回動してピン部材が水平に回動するときに、その上下動の大きさに対する水平方向への変位量、即ちピン部材のピストンの凹部内面上での摺動量が小さくなるからである。

第３の発明は、上記第１又は第２の発明において、上記ピン部材は、下端面に碗状の開口部が設けられた棒状部材と、該開口部に転動自在に収容された球状体とを有していることを特徴とするものである。

第４の発明は、上記第１〜第３のいずれか１つの発明において、上記凹部は、上記ピストンの突出側の端面に形成された円状の第１凹部と、該第１凹部の底面に形成された碗状又は円状の第２凹部とによって構成されており、上記第１凹部は、上記ピン部材よりも大径であり、上記第２凹部は、上記第１凹部よりも小径であり、上記ピン部材は、その先端部が上記第２凹部に嵌合支持されていることを特徴とするものである。

本発明によれば、回動するレバー部材の基端側寄りの部位には、先端部がピストンの突出側の端面に形成された凹部に収容支持されるように、レバー部材の回動軸と平行な回動軸周りに回動自在に支持されたピン部材が配設されており、このピン部材は、先端部がピストンの凹部に収容支持された状態を維持しながら水平に回動するようになるので、その摩擦抵抗が従来比で大幅に減少しスムーズな作動が実現し、しかも、摺動による摩耗が大幅に減少することもあり、長期間に亘って使用しても作動不良の起きる心配はない。

本発明の実施形態に係る空気ばね及びレベリングバルブの正面図である。 レベリングバルブの駆動機構の平面図である。 作動ピンのレバー部材への支持構造を示す断面図である。 レベリングバルブのピストンの作動構造を拡大した正面図である。 レベリングバルブのピストン凹部の変形例を示す断面図である。 レベリングバルブのピストン凹部の別の変形例を示す断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

図１〜図４は、本発明の実施形態に係るレベリングバルブＶ（制御弁）を示し、このレベリングバルブＶは、例えば液晶関連製造装置等の機器（図示せず）が搭載される定盤１を通常、３個以上の空気ばね２（気体ばね）によって弾性的に支持するようにした除振台において、被支持体である機器及び定盤１の高さが概略一定に保たれるように、それぞれの空気ばね２に対して空気の供給又は排気を行うものである。

図１に一例として示すように空気ばね２は、全体として四角柱状のケース２０の上壁に断面円形の開口部２０ａを設けて、ここに厚肉円板状のピストン２１を内挿するとともに、このピストン２１の外周からケース２０の開口部周縁までを閉塞するようにゴム弾性膜からなる環状のダイヤフラム２２を配設して、このダイヤフラム２２によりピストン２１を保持しつつケース２０の内部に空気室を形成したものである。ダイヤフラム２２の外周部は、ケース２０の上壁とその上の締結リング２３とによって挟持されている。

そうしてケース２０内に形成される空気室には所定の高圧状態で空気が充填されており、この空気の圧力によってピストン２１が弾性的に支持されて、上方から作用する定盤１及び機器の荷重を受け止めるようになっている。こうして空気の圧力によって荷重を支持することにより、定盤１及び機器を床振動から略遮断した状態で支承することができる。尚、空気ばね２の構造は上記のものに限らず、ダイヤフラム２２に代えてベローズを用いることもできる。また、ケース２０を備えず、基板の上に配設したベローズの上部に平板状の天板を備えた、所謂ベローズ型の空気ばねを用いてもよい。

上記のような空気ばね２に付設されているレベリングバルブＶは、バルブ本体３とその上部に取り付けられた駆動機構４とからなる。図の例ではバルブ本体３は、上下に延びる円筒状のハウジング３０と、このハウジング３０の上端から上方に突出し且つ上下に進退可能に設けられた円柱状のピストン３１とを備えており、このピストン３１の上下動に応じてその下端に連なるスプール３２（弁体）が移動し、空気ばね２に空気を供給する給気位置と、そこから空気を排出する排気位置と、空気の給排を行わない中立位置とに切換えられる。

すなわち、図の例ではハウジング３０の周壁に、空気ばね２との間で空気の供給、排出を行うための給排口３０ａと、図外の空気圧源（圧力源）から加圧された空気が供給される給気口３０ｂと、空気ばね２から排出された空気を排気するための排気口３０ｃとが開口している。給排口３０ａには、チューブ（図示せず）の一端が接続され、このチューブの他端は空気ばね２の筐体側壁に接続されて、その内部の通路が空気室に連通している。また、上記給気口３０ｂには、図外の空気圧ポンプやリザーバタンク等の空気圧源から加圧空気を供給するためのチューブ（図示せず）が接続されている。尚、図の例では排気口３０ｃは、大気開放されている。

斯かる構造のバルブ本体３は、ハウジング３０に収容されたスプール３２が中立位置にあれば給排口３０ａと給気口３０ｂ及び排気口３０ｃとが遮断されて、給気も排気も行わない状態になり、そこからピストン３１の下降によりスプール３２が下方に移動すれば、給排口３０ａと給気口３０ｂとが連通されて、空気圧源からの空気を空気ばね２に供給するようになる。反対にピストン３１が上昇し、スプール３２が中立位置から上方に移動すれば、給排口３０ａと排気口３０ｃとが連通されて、空気ばね２からの空気が大気中に放出されるようになる。

そして、そのようなピストン３１の作動による給排気の切換えが、定盤１の上下方向の変位に連動して起きるように、上記駆動機構４には、定盤１の変位によって直接、上下（即ちピストン３１の移動方向）に回動されてピストン３１を作動させるレバー部材４０が設けられている。図の例ではレバー部材４０は、金属製板材からなり、その基端（図１及び図２の左端）部がブラケット４１を介してバルブ本体３のハウジング３０の上部に回動自在に支持されている。一方、レバー部材４０の先端（図１及び図２の右端）部には、ネジ孔４０ａを貫通して上下方向に延びるようにレベル調整ネジ４２が取り付けられていて、その上端が定盤１の下面に当接しており、レバー部材４０の先端部に機器及び定盤１の荷重を受けて、そのレベル（上下高さ位置）を検知するようになっている。尚、図の例では、レベル調整ネジ４２が貫通されるネジ孔４０ａとして、レバー部材４０先端部のネジ孔４０ａの他に、これよりも基端側に等間隔で形成された３つのネジ孔４０ａが設けられている。

上記レバー部材４０は、ネジ孔４０ａが形成された矩形状のベース板４０ｂと、その短手方向（図２の上下方向）の両端からそれぞれ下方に延びる矩形状の側板４０ｃ，４０ｃとからなる。この各側板４０ｃの基端（図１及び図２の左端）部には、そこから下方に延びるように概略半円状の第１支持板４０ｄが形成されている。

上記ブラケット４１は、矩形状のベース板４１ａと、その長手方向の一端（図１及び図２の左端）部上面に配設された支持部材４１ｂと、を備えている。ベース板４１ａは、バルブ本体３を空気ばね２に取り付けるための取付ブラケット５と一緒にハウジング３０の上端面に重ね合わされて、締付リング３３により共締めされている。取付ブラケット５は、概略矩形状のベース板５０と、その一縁に溶接された横長の側板５１とからなり、側板５１の左右両側部にそれぞれボルト孔が開口している。支持部材４１ｂは、矩形状のベース板４１ｃと、その長手方向（図２の上下方向）の両端からそれぞれ上方に延びるＬ字状の支持板４１ｄ，４１ｄとからなる。

一方、ブラケット４１のベース板４１ａには、締付リング３３によってハウジング３０に締結される部位から外方に延びて、取付ブラケット５のベース板５０からはみ出すように延出部が形成され、この延出部に支持部材４１ｂのベース板４１ｃが載置されて、スポット溶接されている。この支持部材４１ｂの各支持板４１ｄの先端（図１及び図２の右端）部にはレバー部材４０の各第１支持板４０ｄが重ね合わされて、これらの支持板４０ｄ，４０ｄ，４１ｄ，４１ｄのピン孔を貫通した１本のピン４３により回動自在に締結されている。

そうしてレバー部材４０及び支持部材４１ｂを連結するピン４３の軸心ｘが、レバー部材４０の基端部の回動軸（回動中心）であって、この回動軸ｘは、図４に示すようにバルブ本体３のハウジング３０の上端面外周よりも内方に、且つピストン３１の上端面よりも上方に位置している。

また、この実施形態では、上記ピストン３１の上端面（ハウジング３０からの突出側の端面）には凹部３１ａが形成されており、上記レバー部材４０の基端側寄りの部位（レバー部材４０の回動軸ｘよりも先端側の近傍部位）には、先端（図１及び図４の下端）部が凹部３１ａに収容支持されるように、レバー部材４０の回動軸ｘと平行な回動軸ｙ周りに回動自在に支持された作動ピン４４（ピン部材）が配設されている。

具体的には、凹部３１ａは、ピストン３１の上端面に形成された円状の第１凹部３１ｂと、この第１凹部３１ｂの下方に形成され、下方に行くに従って円錐状に直径が次第に減少するテーパ状の第２凹部３１ｃとによって構成されている。第１凹部３１ｂは作動ピン４４よりも大径である一方、第２凹部３１ｃは上端径が第１凹部３１ｂと同径である。尚、図１及び図４ではピストン３１は、断面で表されている。

凹部３１の上方に対応する、レバー部材４０のベース板４０ｂの所定部位には、円状のボス孔４０ｅが開口している。このボス孔４０ｅの側方に対応する各側板４０ｃの所定部位には、そこから下方に延びるように概略半円状の第２支持板４０ｆが形成されている。これらの第２支持板４０ｆ，４０ｆの間には、概略直方体状のブロック４５が、その長手方向（図２の上下方向）の両端面からそれぞれ外方に突出して各第２支持板４０ｆのピン孔を貫通した２本のピン４６，４６により回動自在に支持されている。このブロック４５には、その上下方向を貫通するようにボルト孔が形成されている。このボルト孔に対応する、ブロック４５の上端面の所定部位には、そこから上方に突出するように円筒状のボス部４５ａが形成されている。このボス部４５ａは、ベース板４０ｂのボス孔４０ｅに挿通されている。

作動ピン４４は、上下に延びる概略円柱状で下端面に碗状の開口部が設けられたボルト４４ａと、この開口部に下方から転動不能に収容された球状体４４ｂとを備えている。つまり、作動ピン４４の先端は丸みを帯びている。作動ピン４４は、ブロック４５のボルト孔及びボス部４５ａを貫通して、ブロック４５の上下両端面からそれぞれ上下に突出しており、球状体４４ｂが第２凹部３１ｃの頂点部内面に当接支持されるようにボス部４５ａの上端面にナット４７により締結され、この締結によって作動ピン４４の上下高さ位置を調整することができる。尚、後述の如く作動ピン４４が揺動しても、ボルト４４ａが第１凹部３１ｂに当接しないように、ボルト４４ａと第１凹部３１ｂとの間に間隔を開けている。また、作動ピン４４の上下高さ位置は固定してもよい。

そうしてレバー部材４０及び作動ピン４４を連結するピン４６，４６の軸心ｙが、作動ピン４４の回動軸（回動中心）であって、この回動軸ｙは、図４に示すようにバルブ本体３のハウジング３０の上端面外周よりも内方に、且つピストン３１の上端面よりも上方に位置している。

そして、後述の如くレバー部材４０が上下に揺動（回動）すると、作動ピン４４は、球状体４４ｂが第２凹部３１ｃの頂点部内面に当接支持された状態を維持しながら水平（図１及び図２の左右）にわずかに揺動（回動）するようになる。つまり、レバー部材４０が上下に揺動すると、作動ピン４４は略上下に移動するようになる。このように、球状体４４ｂは第２凹部３１ｃの頂点部からほとんど動かないので、作動ピン４４が揺動しても、球状体４４ｂは第２凹部３１ｃの頂点部内面上をほとんど摺動しない。尚、第２凹部３１ｃの頂点部内面上を摺動する球状体４４ａは、それがボルト４４ａの開口部に転動自在に収容されると、摩擦抵抗を減らすのには有利になる。また、第２凹部３１ｃのテーパ角が大きいほど、球状体４４ｂの第２凹部３１ｃの頂点部内面上の摺動も小さくなり、このことも摩擦抵抗、摩耗の軽減には好ましい。

さらに、この実施形態のレベリングバルブＶは、給気も排気も行わない中立位置において、図１に示すようにレバー部材４０が略水平になり、作動ピン４４におけるピン４６，４６の軸心ｙ、即ちこの作動ピン４４の回動軸ｙが概ね、レバー部材４０の基端部におけるピン４３の軸心ｘ、即ちこのレバー部材４０の回動軸ｘと同じ高さになっている。このことは、レバー部材４０の上下揺動によって作動ピン４４が水平に揺動するときに、これに伴う球状体４４ｂの水平方向への変位、即ち球状体４４ｂの、第２凹部３１ｃの頂点部内面上での摺動量がかなり小さくなることを意味する。

詳しくは、仮に中立位置のときの作動ピン４４の回動軸が、レバー部材４０の回動軸ｘよりも低いとすると、レバー部材４０が下方に回動して、作動ピン４４によりピストン３１が所定量だけ押し下げられるとき、これに伴い作動ピン４４は水平方向に比較的大きく揺動するようになる。これは、第２凹部３１ｃの頂点部内面における球状体４４ｂの摺動量がかなり大きくなることを意味する。

これに対し、この実施形態では、中立位置で作動ピン４４の回動軸ｙがレバー部材４０の回動軸ｘと同じ高さにあるので、レバー部材４０が下方に回動し、作動ピン４４によりピストン３１が上記と同じ量だけ押し下げられるときに、これに伴う作動ピン４４の水平方向の揺動、即ち第２凹部３１ｃの頂点部内面における球状体４４ｂの摺動量が極小化されて、摩擦抵抗、摩耗が軽減されるのである。

加えて、上記のように、レバー部材４０の回動によってピストン３１を上下に作動させる際に、その凹部３１内面における作動ピン４４の摺動量をできるだけ小さくしているので、その摺動量を減少させるため、レバー部材４０の回動軸ｘと作動ピン４４の回動軸ｙとの水平距離を長くする必要はない。したがって、この実施形態では、レバー部材４０全体の水平長さを長くすることなく、レバー部材４０のアーム比（即ちレバー部材４０の回動軸ｘと作動ピン４４の回動軸ｙとの水平距離の、レバー部材４０の回動軸ｘとレベル調整ネジ４２との水平距離に対する比）を従来と同程度に確保することができる。

この実施形態に係る除振装置において例えば定盤１上の機器の作動に伴いその重心位置が水平方向に変化して、該定盤１を支える空気ばね２，２，…の分担荷重が大きく変化するときには、従来一般的なレベリングバルブと同様に、分担荷重が増大して支持高さの低くなった空気ばね２おいてはレベリングバルブＶのレバー部材４０が下方へ回動し、バルブ本体３のピストン３１を押し下げて給気位置に切り換わり、空気ばね２に加圧空気を供給するようになる。このように、レバー部材４０が下方へ回動して、ピストン３１が押し下げられると、図４の二点鎖線に示す状態となる。

一方、分担荷重が減少して支持高さの高くなった空気ばね２では、レベリングバルブＶのレバー部材４０が上方へ回動してピストン３１が上昇し、排気位置に切り換わって空気ばね２から排気するようになる。

そうして上下に揺動するレバー部材４０は、これに揺動自在に支持された作動ピン４４を介してピストン３１を押圧するようになっており、この作動ピン４４は、先端部がピストン３１の凹部３１ａに収容されて球状体４４ｂが第２凹部３１ｃの頂点部からほとんど動かない状態を維持しながら水平にわずかに揺動するようになるので、摩擦抵抗の小さなスムーズな作動が実現する。この結果、ピストン３１の摩耗も非常に少なくなることから、長期間に亘って上記のようなスムーズな作動を実現できる。

（その他の実施形態）
上記実施形態では、凹部３１ａは、円状の第１凹部３１ｂとテーパ状の第２凹部３１ｃとによって構成されているが、これに限らない。例えば、凹部３１ａは、図５に示すように、ピストン３１の上端面に形成された円状の第１凹部３１ｂと、この第１凹部３１ｂの底面に形成された碗状の第２凹部３１ｃとによって構成されてもよい。この第２凹部３１ｃは、第１凹部３１ｂよりも小径で、且つ作動ピン４４の球状体４４ｂと略同径である。そして、球状体４４は、第２凹部３１ｃに嵌合支持されてそこからほとんど動かないようになっている。また、凹部３１ａは、図６に示すように、ピストン３１の上端面に形成された円状の第１凹部３１ｂと、この第１凹部３１ｂの底面に形成された円状の第２凹部３１ｃとの二段階形状によって構成されてもよい。この第２凹部３１ｃは、第１凹部３１ｂよりも小径で、且つ作動ピン４４の球状体４４ｂと略同径である。そして、球状体４４は、第２凹部３１ｃに嵌合支持されてそこからほとんど動かないようになっている。

また、上記の如くレバー部材４０が上下に揺動（回動）するレベリングバルブに限定されず、それ以外の制御弁にも本発明は適用可能であるし、空気ばね２の代わりに例えば窒素ガスを充填するなどした他の気体ばねを用いてることもできる。

本発明は、実施形態に限定されず、その精神又は主要な特徴から逸脱することなく他の色々な形で実施することができる。

このように、上述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。

以上説明したように、本発明に係る除振台の制御弁の駆動機構は、レバー部材の揺動に伴うピストンとの摩擦抵抗を減らして、長期間に亘りスムーズな作動を実現することが必要な用途等に適用することができる。

Ｖ レベリングバルブ（制御弁）
１ 定盤（被支持体）
２ 空気ばね（気体ばね）
３０ ハウジング
３０ａ 給排口
３０ｂ 給気口
３０ｃ 排気口
３１ ピストン
３１ａ 凹部
３２ スプール（弁体）
４ 駆動機構
４０ レバー部材
４４ 作動ピン（ピン部材）
ｘ レバー部材の回動軸
ｙ 作動ピンの回動軸

Claims (4)

1. 被支持体の荷重を受ける気体ばねに接続されて、気体を給排する給排口と、圧力源から気体が供給される給気口と、上記気体ばねから排出された気体を排気するための排気口とが形成された除振台の制御弁の駆動機構であって、
   上記制御弁は、ハウジングと、該ハウジングから突出したピストンと、該ハウジングに収容され、上記ピストンと連動する弁体とを有していて、該弁体の移動によって、上記給気口及び給排口を連通する給気位置と、該給排口及び排気口を連通する排気位置と、該両位置の中間で気体の給排を行わない中立位置とに切換えられるものであり、
   上記ピストンの突出側の端面には、凹部が形成されており、
   基端部が上記ハウジングに回動自在に支持され、上記被支持体の荷重を受けて上記ピストンの移動方向に回動するレバー部材と、
   上記レバー部材の基端側寄りの部位に該レバー部材の回動軸と平行な回動軸周りに回動自在に支持され、先端部が上記凹部に収容支持されたピン部材とを備えており、
   上記制御弁は、上記ピストン及び弁体が上下方向に移動するように配設されており、
   上記ピン部材は、上記レバー部材が上下に回動すると、その先端部が上記凹部に収容支持された状態を維持しながら水平に回動することを特徴とする除振台の制御弁の駆動機構。
2. 請求項１記載の除振台の制御弁の駆動機構において、
   上記制御弁が中立位置にあるときに、上記レバー部材の回動軸と上記ピン部材の回動軸とが同じ高さになるように設定されていることを特徴とする除振台の制御弁の駆動機構。
3. 請求項１又は２記載の除振台の制御弁の駆動機構において、
   上記ピン部材は、下端面に碗状の開口部が設けられた棒状部材と、該開口部に転動自在に収容された球状体とを有していることを特徴とする除振台の制御弁の駆動機構。
4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載の除振台の制御弁の駆動機構において、
   上記凹部は、上記ピストンの突出側の端面に形成された円状の第１凹部と、該第１凹部の底面に形成された碗状又は円状の第２凹部とによって構成されており、
   上記第１凹部は、上記ピン部材よりも大径であり、
   上記第２凹部は、上記第１凹部よりも小径であり、
   上記ピン部材は、その先端部が上記第２凹部に嵌合支持されていることを特徴とする除振台の制御弁の駆動機構。

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