JP4397074B2 - 昇降装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等において用いられる昇降装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば枚葉式のマルチチャンバ型半導体製造装置においては、ウェハのオリエーションフラットに基づいてウェハの向きを一定に保つためのオリエンターチャンバと称される真空チャンバが設けられている。このチャンバ内にはウェハの向きを調整するための回転テーブルが設けられおり、チャンバ外部からロボットを用いて搬入されたウェハが載置されるようになっている。また、従来一般のロボットは一定の高さの水平面内でのみ移動可能となっているため、ロボットのウェハ支持体(ブレード)と回転テーブルとの間でウェハを受け渡すために、オリエンターチャンバ内の回転テーフルの隣接位置には昇降装置が設けられている。
【0003】
図3は、オリエンターチャンバ10における従来の昇降装置を示す断面図である。この図3において、符号12はオリエンターチャンバ10内に搬入されたウェハ14が載置される昇降テーブル(ウェハリフトフープ)である。昇降テーブル12は、従来から知られている通り、ロボットブレード(図示しない)との間で、そして回転テーブル(図示しない)との間でウェハ14を受け渡すことができるように、馬蹄形ないしはU字形をなしている。昇降テーブル12の下部からは昇降シャフト16が垂直方向下方に延び、チャンバ10の底板18を貫通してチャンバ10の外部に延びている。また、オリエンターチャンバ10の底板18の下面には、昇降のための駆動源として空気圧シリンダ20が設けられている。この空気圧シリンダ20は複動型であり、そのピストンロッド22はシリンダチューブ24の下端から延出している。なお、ピストンロッド22の安定した上下動を得るために、ピストン26の上面からはガイドロッド28が上方に延びており、このガイドロッド28とピストンロッド22はそれぞれシリンダチューブ24の上下の内面に固着されたブッシュ30,32により摺動可能に支持されている。空気圧シリンダ20のピストンロッド22の下端と昇降シャフト16の下端とは連結部材34により連結されている。
【0004】
このような構成においては、空気圧シリンダ20に対する加圧ガスの供給を制御することにより、ピストンロッド22が上下動し、それに伴って昇降シャフト16、ひいては昇降テーブル12が昇降するようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような従来の昇降装置1においては、昇降動作を繰り返すうちに、ピストンロッド22やガイドロッド28、ブッシュ30,32等に偏摩耗が生じたり振動が発生したりするという問題が、比較的短期間のうちに生じていた。
【0006】
このため、従来においては、昇降装置1の保守管理に手間や費用がかかるという問題点があった。かかる弊害に対しては、空気圧シリンダ20に耐久性のある材料からなるものや、定格の大きなものを用いることも考えられるが、そのような空気圧シリンダは高価あるいは大型であるという問題を有している。
【0007】
本発明の目的は、上記問題点を解決することのできる手段を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明者は、従来の昇降装置におけるピストンロッド等の偏摩耗及び振動の発生の原因を種々検討し、次の結論を得た。
【0009】
すなわち、図3を参照するならば、オリエンターチャンバ10内は真空とされており、また、真空を維持するためのベローズ36が昇降テーブル12とチャンバ底板18との間に配置されているため、昇降シャフト16には上方への荷重F1が常に作用しており、この荷重F1により、静止状態においては、ピストンロッド22及びガイドロッド28に横方向の力FT1,FT2が作用していることを見出した。
【0010】
これは、昇降シャフト16とピストンロッド22とが同軸にないことに起因するため、昇降シャフト16とピストンロッド22とを同軸に配置することで、空気圧シリンダ20に生ずる上記問題点は解消する。しかしながら、上下方向のスペースを十分に採れない場合、特に既存の半導体製造設備において昇降装置のみを交換しようとした場合には、昇降装置を設置することができないことが多い。
【0011】
そこで、本発明は、オリエンターチャンバ等の真空チャンバ内の被昇降物、例えばウェハや昇降テーブルを昇降させるための昇降装置であって、真空チャンバの内部に上端が配置され下端が真空チャンバの外部に配置され、垂直方向に昇降可能に支持される昇降シャフトと、真空チャンバの外部に配置され、可動部が垂直方向に上下動可能となっている、昇降シャフトを昇降させるための駆動源と、駆動源の可動部と昇降シャフトの下端とを一体的に連結する連結部材と、駆動源の可動部との間で昇降シャフトを挟むように配置され、連結部材に取り付けられたカウンタウェイトとを備える昇降装置を特徴としている。可動部が上下方向に直動する駆動源としては空気圧シリンダがある。
【0012】
このような構成において、連結部材及び駆動源の可動部には昇降シャフトに作用する上向きの荷重に起因するモーメントが生じているが、同時にカウンタウェイトによる下向きの荷重に起因する反対方向のモーメントが生ずる。これによって、駆動源の可動部についてのモーメントは全体として低減され、可動部、空気圧シリンダにあってはピストンロッドの横方向の力は低減又はゼロとなる。よって、摩耗や振動等の不具合が駆動源に生ずることを抑制することができる。
【0013】
昇降シャフトの上向き荷重は一定でなく変動するものであるため、上記趣旨の下では、昇降シャフトが所定の位置にある状態で該昇降シャフトに作用する上向きの荷重によるモーメントとカウンタウェイトによるモーメントが相殺するよう構成することが好適である。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の一実施形態に係る昇降装置を示す断面図である。この昇降装置100は、枚葉式のマルチチャンバ型半導体製造装置におけるオリエンターチャンバ(真空チャンバ)10で用いられるものであり、当該チャンバ10内に搬入されたウェハ14を昇降させ、ロボットのブレード(図示しない)と回転テーブル(図示しない)との間でウェハ14を受け渡すためのものである。図示の昇降装置100の基本構成については、先に図3に沿って説明した従来のものと同様であるので、同一又は相当部分については同一符号を用いている。
【0015】
昇降装置100は、オリエンターチャンバ10内の下部に配置される昇降テーブル(ウェハリフトフープ)12を備えている。この昇降テーブル12は馬蹄形ないしはU字形であり、その上面には、ウェハ14を受け入れて載置するための凹部が形成されている。昇降テーブル12の下面からは昇降シャフト16が垂直方向下方に延びている。この昇降シャフト16は、チャンバ底板18を貫通し、チャンバ10の外部まで延びている。オリエンターチャンバ10内は所定の真空度まで減圧されるので、チャンバ10内の気密を確保するために、昇降シャフト16を取り囲み上端及び下端がそれぞれ昇降テーブル12の下面とチャンバ底板18の上面に気密に固着されたベローズ(蛇腹状筒体)36が設けられている。このベローズ36は、その構造上、昇降テーブル12を上方に弾性的に付勢している。
【0016】
オリエンターチャンバ10の底板18の下面であって、昇降シャフト16からは偏心した位置には、昇降装置100の駆動源として空気圧シリンダ20が取り付けられている。昇降装置100の駆動源としては他の装置も考えられるが、半導体製造設備においてはパーティクルの発生や振動を可能な限り抑制する必要があるので、空気圧シリンダ20が有効である。この空気圧シリンダ20は複動型であり、チャンバ底板18に固着されたシリンダチューブ24と、シリンダチューブ24内を摺動しシリンダチューブ24内を2つの空気圧チャンバに区画するピストン26と、ピストン26の下面から下方に延びシリンダチューブ24の下端から延出するピストンロッド22とから主に構成されている。ピストン26の上面からはピストンロッド22と同軸にガイドロッド28が上方に延びており、このガイドロッド28とピストンロッド22はそれぞれシリンダチューブ24の上下の内面に固着されたブッシュ30,32により摺動可能に支持されている。また、ガイドロッド28を設けたことによる設置スペース(特に上下方向のスペース)の減少を抑えるため、チャンバ底板18にはガイドロッド28の上端を受け入れる凹部38が形成されている。
【0017】
空気圧シリンダ20は、空気圧制御回路40に接続されている。より詳細には、シリンダチューブ24の上下の各ポート42,44は加圧ガス源46に切換え弁48を介して接続されており、この切換え弁48のポジションを切り換えることにより、加圧ガスを空気圧チャンバのいずれかに供給し、ピストンロッド22を垂直方向において上下動させることができるようになっている。
【0018】
空気圧シリンダ20のピストンロッド22の下端と昇降シャフト16の下端とは連結部材34によって一体的に連結されている。従って、昇降シャフト16はピストンロッド22と一体的に動作することになる。なお、昇降シャフト16と連結部材34とは、昇降動作の停止時に生ずる衝撃が昇降シャフト16に伝わらないよう、緩衝手段としていわゆるフローティングジョイント50を介して接続されている。
【0019】
本実施形態における連結部材34は、従来と異なり、昇降シャフト16側の端部が空気圧シリンダ20から離れる方向に更に延びている。この延長部分52の適当な位置にカウンタウェイト54が配置されている。
【0020】
半導体製造装置の稼働時、オリエンターチャンバ10は所定の真空度に減圧され、チャンバ10の外部に位置している昇降シャフト16には大気圧が作用する。また、ベローズ36も昇降テーブル12に上方への弾性力を作用させている。従って、昇降シャフト16には、装置稼働時には相当に大きな上向きの荷重F1が作用する。
【0021】
今、簡単のため、構成部品の重量を無視し、昇降シャフト16がストロークの中間位置にて静止状態にあり、空気圧シリンダ20のピストンロッド22と連結部材34とが一体の剛構造物と仮定した場合、半導体製造装置の稼働時に昇降シャフト16にその軸線方向に沿って上向きの荷重F1が作用しているとすると、ピストンロッド・連結部材の一体物には、ピストンロッド22の揺動中心となり得るピストン26の中心点Pを支点としたモーメントM1が作用する。図2は図1の昇降装置を単純化したものであり、この図2における寸法及び角度に基づくと、モーメントM1は次式で表される。
M1=F1cosθ1・L1
【0022】
一方、カウンタウェイト54により連結部材34の延長部分に下向きの荷重F2が作用しているので、ピストンロッド・連結部材の一体物にはピストン26の点Pを支点としたモーメントM2が作用する。このモーメントM2は次式で示す通りである。
M2=F2cosθ2・L2
【0023】
このモーメントM2は、図2からも理解される通り、モーメントM1とは反対方向であるため、ピストン26の点Pに関するモーメントは全体として低減し、カウンタウェイト54の重量及び取付位置(連結部材34の延長部分52の長さ)を適宜調整することにより、モーメントM1とM2を完全に一致させることができる。このようにモーメントモーメントM1とM2を一致させた場合、モーメントが相殺されてゼロになるので、ピストンロッド22及びガイドロッド28には横方向の荷重は作用しない。
【0024】
このようにカウンタウェイト54を設けることにより、ピストン26の点Pに関するモーメントは全体として低減し或いはゼロとなり、ピストンロッド22及びガイドロッド28に作用する横方向の荷重が低減された場合、ブッシュ30,32との摩擦が抑制され、また、いわゆる片当たりによる振動の発生も防止されることは、当業者ならば理解されよう。
【0025】
勿論、カウンタウェイト54の重量が過度に大きい場合には、ピストンロッド22及びガイドロッド28には上記とは逆方向の横荷重がかかることになるため、カウンタウェイト54の重量は適宜定める必要がある。
【0026】
また、実際には、昇降シャフト16のオリエンターチャンバ10からの突出量が一定ではないので、荷重F1又はモーメントM1は一定の範囲で変動する。従って、実験や経験等から最も頻繁に現れるモーメントM1を見出して、その値に対応する位置で昇降シャフト16を静止させ、その状態でモーメントM1とM2とが互いに相殺するよう調整することが好適である。
【0027】
実際に、図3に示すような従来の昇降装置1において昇降を繰り返した場合、2万〜3万サイクルで空気圧シリンダ20のピストンロッド22に顕著な摩耗痕が観察され、且つ、昇降時に振動が発生した。一方、この従来の昇降装置1にカウンタウェイト54を付加し、同実験を行った場合、6万サイクルを経過した段階でも異常摩耗や振動は観察されなかった。
【0028】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【0029】
例えば、上記実施形態では、昇降装置100は、オリエンターチャンバ10内のウェハ14の昇降用であるが、同様な機構を有し真空チャンバ内の物体を昇降させる昇降装置、例えばウェハを支持するサセプタを昇降させるものや、サセプタに対してウェハを上下させるためのリフトピンを昇降させるためのもの等にも本発明を適用することができる。
【0030】
また、上記実施形態では、駆動源が空気圧シリンダであるが、連結部材に固定され上下方向に直線往復運動する可動部を有するタイプのアクチュエータ、例えばリニアモータや液体圧シリンダであってもよい。
【0031】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、直動型駆動源が昇降シャフトから偏心して配置されている昇降装置において、昇降シャフトの一部が真空チャンバ内に延び真空により昇降シャフトに大きな上向きの力が作用することに起因する問題、例えば駆動源の振動や摩耗等を、カウンタウェイトを付加するだけの簡単な手段により解消することができる。従って、廉価で耐久性の低い駆動源を用いても、所期の性能を長期間にわたり発揮させることができる。
【0032】
しかも、カウンタウェイト自体も極めて廉価であるため、本発明による昇降装置の製造コストも低廉なものとなる。
【0033】
更に、カウンタウェイトは横方向に取り付けられるものであるので、上下方向のスペースが小さくとも、本発明の昇降装置を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る昇降装置を示す断面図である。
【図2】図1の昇降装置における力の関係を簡略化して示す概略図である。
【図3】従来一般の昇降装置を示す断面図である。
【符号の説明】
100…昇降装置、10…オリエンターチャンバ(真空チャンバ)、12…昇降テーブル、14…ウェハ、16…昇降シャフト、20…空気圧シリンダ(駆動源)、22…ピストンロッド(可動部)、34…連結部材、54…カウンタウェイト。
Claims (3)
- 真空チャンバ内の被昇降物を昇降させるための昇降装置であって、
前記真空チャンバの内部に上端が配置され下端が前記真空チャンバの外部に配置され、垂直方向に昇降可能に支持される昇降シャフトと、
前記真空チャンバの外部に配置され、可動部が垂直方向に上下動可能となっている、前記昇降シャフトを昇降させるための駆動源と、
前記駆動源の前記可動部と前記昇降シャフトの下端とを一体的に連結する連結部材と、
前記駆動源の前記可動部との間で昇降シャフトを挟むように配置され、前記連結部材に取り付けられたカウンタウェイトと
を備える昇降装置。 - 前記駆動源が空気圧シリンダであり、前記可動部が該空気圧シリンダのピストンロッドである請求項1に記載の昇降装置。
- 前記昇降シャフトの上端には、前記ウェハを支持し昇降させる昇降テーブルが取り付けられている請求項1又は2に記載の昇降装置。
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