JP5631020B2 - Test equipment for flat specimen - Google Patents

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Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体を試験する装置に関する。   The present invention relates to an apparatus for testing a flat inspection object such as a liquid crystal display panel.

液晶表示パネルのような表示用パネルの点灯試験をする装置は、被検査体をこれに通電するためのプローブユニット、特に接触子の針先に対し位置決める位置決め機能(すなわち、アライメント機能)を備えている。   An apparatus for performing a lighting test on a display panel such as a liquid crystal display panel has a probe unit for energizing an object to be inspected, in particular, a positioning function for positioning with respect to a needle tip of a contact (ie, an alignment function). ing.

この種の装置は、一般に、検査ステージやワークテーブルのようなパネル受けと、XYZの3方向とZ方向へ延びるθ軸線の周りに変位させるステージ移動機構と、パネル受けの上方に配置されたプローブユニットとを備える。   This type of apparatus generally includes a panel receiver such as an inspection stage or a work table, a stage moving mechanism that is displaced around the θ axis extending in the three directions of XYZ and the Z direction, and a probe disposed above the panel receiver. A unit.

位置決め時、被検査体をパネル受けに解除可能に吸着した状態で、被検査体の電極と接触子の針先とが接触するように、パネル受けをステージ移動機構によりプローブユニットに対し変位させる。   At the time of positioning, the panel receiver is displaced with respect to the probe unit by the stage moving mechanism so that the electrode of the object to be inspected and the needle tip of the contact are in contact with the object to be inspected being releasably attracted to the panel receiver.

しかし、そのような試験装置では、パネル受けのみならず、パネル受けを支持する装置、バックライトユニット等をもステージ移動機構により変位させなければならないから、ステージ移動機構が大型化し、試験装置が高価になる。   However, in such a test apparatus, not only the panel receiver, but also the apparatus that supports the panel receiver, the backlight unit, and the like must be displaced by the stage moving mechanism, so that the stage moving mechanism becomes large and the test apparatus is expensive. become.

特に、近年のように大型の被検査体の試験をする装置では、ステージにより変位させる対象物の重量が、1トンを超えることがあり、したがってステージ移動機構がより大型化し、試験装置がより高価になることを避けることができない。   In particular, in a device for testing a large object to be inspected as in recent years, the weight of an object to be displaced by a stage may exceed 1 ton, so that the stage moving mechanism becomes larger and the test device is more expensive. I can't avoid becoming.

上記のような課題を解決するために、被検査体をパネル受けに対し変位させることにより、被検査体の電極と接触子の針先とが接触するように被検査体を位置決めるアライメント装置が提案されている(特許文献1)。   In order to solve the above-described problems, an alignment apparatus that positions an object to be inspected so that an electrode of the object to be inspected and a needle tip of a contactor are in contact with each other by displacing the object to be inspected with respect to the panel receiver It has been proposed (Patent Document 1).

このアライメント装置は、パネル受け面の対向する一対の辺の一方に、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の第1のプッシャーを配置し、パネル受け面の対向する他の一対の辺の一方に、第2のプッシャーを配置している。各プッシャーは、被検査体の端面に押圧される押圧部材と、該押圧部材を被検査体に対しX方向又はY方向に進退させる移動機構とを備える。 Other This alignment device is provided for one pair of opposing sides of the panel receiving surface, which place the corresponding pair of spaced in the extending direction of the side first pusher, opposite the panel receiving surface A second pusher is disposed on one of the pair of sides. Each pusher includes a pressing member that is pressed against the end face of the object to be inspected, and a moving mechanism that moves the pressing member back and forth in the X direction or the Y direction with respect to the object to be inspected.

位置決め時、被検査体は、各プッシャーの押圧部材が移動機構により被検査体のX方向又はY方向における端面に押圧されて、パネル受けに対し変位され、それにより被検査体の電極と接触子の針先とが接触するように位置決められる。   At the time of positioning, the pressing member of each pusher is pressed against the end face in the X direction or Y direction of the object to be inspected by the moving mechanism, and is displaced with respect to the panel receiver. The needle tip is positioned so as to be in contact.

そのようなアライメント装置において、各プッシャーの移動機構として、空気や油のような圧力流体により押圧部材を進退させる機構を用いると、被検査体は、それらのプッシャーによりセンターリングをされて、パネル受けに対し位置決められる。   In such an alignment apparatus, when a mechanism for moving the pressing member back and forth with a pressure fluid such as air or oil is used as the moving mechanism of each pusher, the object to be inspected is centered by these pushers, and the panel receiver Is positioned against.

しかし、そのようなアライメント装置では、パネル受けに関して対向する側に配置された両プッシャー、又は対応する辺の延在方向に間隔をおいたプッシャーに供給される流体の圧力に僅かな差があっても、プッシャーによる押圧力に差が生じる。その結果、被検査体が正確に変位されず、正確な位置決めが行われない。   However, in such an alignment device, there is a slight difference in the pressure of the fluid supplied to both pushers arranged on opposite sides with respect to the panel receiver, or to the pushers spaced in the extending direction of the corresponding sides. However, there is a difference in the pressing force by the pusher. As a result, the object to be inspected is not accurately displaced and accurate positioning is not performed.

特開2008−188727号公報JP 2008-188727 A

本発明は、被検査体の正確な位置決めが可能の、廉価な試験装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an inexpensive test apparatus capable of accurately positioning an object to be inspected.

本発明に係る、平板状被検査体の試験装置は、平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を備えるプローブユニットと、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し位置決めるアライメント装置とを含む。   According to the present invention, a flat test object testing apparatus includes a panel receiver having a rectangular panel receiving surface for receiving a flat test object, and a probe including a plurality of contacts pressed against the electrodes of the test object. A unit and an alignment device for positioning an object to be inspected received by the panel receiver with respect to the contact;

前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方にそれぞれ配置された第1のプッシャー機構及び第1の位置決め機構と、前記パネル受け面の対向する他の一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、配置された第2のプッシャー機構及び第2の位置決め機構とを含む。   The alignment apparatus includes a first pusher mechanism and a first positioning mechanism disposed on one and the other of a pair of opposing sides of the panel receiving surface, and another pair of opposing sides of the panel receiving surface, respectively. One and the other include a second pusher mechanism and a second positioning mechanism arranged, respectively.

前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受け面の外側に位置された少なくとも1つの押圧部材と、該押圧部材をX方向又はY方向に変位させる少なくとも1つの駆動機構とを備える。各位置決め機構の前記駆動機構は、前記X方向又はY方向における前記押圧部材の位置を解除可能に維持する。   Each of the pusher mechanism and the positioning mechanism includes at least one pressing member positioned outside the panel receiving surface, and at least one driving mechanism that displaces the pressing member in the X direction or the Y direction. The drive mechanism of each positioning mechanism maintains the position of the pressing member in the X direction or the Y direction so as to be releasable.

各位置決め機構は、回転角度位置を制御可能のモータを含むことができる。   Each positioning mechanism can include a motor capable of controlling the rotational angular position.

各位置決め機構の前記押圧部材は、少なくともその移動方向に、弾性変形し難い又は弾性変形しない材料で製作されていてもよい。   The pressing member of each positioning mechanism may be made of a material that is hardly elastically deformed or does not elastically deform at least in the moving direction thereof.

各位置決め機構の前記駆動機構は、駆動源と、該駆動源により駆動されて、前記X方向又はY方向における前記押圧部材の位置を前記駆動源と共同して解除可能に維持する機構とを含むことができる。   The drive mechanism of each positioning mechanism includes a drive source and a mechanism that is driven by the drive source and releasably maintains the position of the pressing member in the X direction or the Y direction in cooperation with the drive source. be able to.

各位置決め機構の前記維持する機構は、前記駆動源から前記X方向又はY方向に延びて、前記駆動源により回転されるボールねじと、該ボールねじに螺合されたナットであって、前記押圧部材を前記X方向又はY方向に変位させるナットとを備えることができる。   The maintaining mechanism of each positioning mechanism includes a ball screw extending from the drive source in the X direction or the Y direction and rotated by the drive source, and a nut screwed into the ball screw, And a nut for displacing the member in the X direction or the Y direction.

各プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源は、圧力流体を用いて前記押圧部材を進退させるシリンダ機構を含むことができる。   The drive source of the drive mechanism of each pusher mechanism can include a cylinder mechanism that moves the pressing member forward and backward using a pressure fluid.

本発明に係る試験装置は、さらに、圧力が互いに異なる第1及び第2の圧力流体源と、該第1及び第2の圧力流体源の圧力流体を前記プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源に選択的に供給するバルブ装置とを含むことができる。   The test apparatus according to the present invention further includes first and second pressure fluid sources having different pressures, and the pressure fluid of the first and second pressure fluid sources as a drive source of the drive mechanism of the pusher mechanism. A selectively supplying valve device.

上記の代わりに本発明に係る試験装置は、さらに、圧力が互いに異なる少なくとも2つの圧力流体を前記プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源に選択的に供給する電空レギュレータを含む、請求項1から6のいずれか1項に記載の試験装置。   Instead of the above, the test apparatus according to the present invention further includes an electropneumatic regulator that selectively supplies at least two pressure fluids having different pressures to a drive source of the drive mechanism of the pusher mechanism. 6. The test apparatus according to any one of items 6.

前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、さらに、前記押圧部材が支持された移動体であって、前記駆動機構により駆動されて、前記X方向又はY方向に移動する、前記パネル受けに配置された移動体を備えるEach of the pusher mechanism and the positioning mechanism is a movable body that supports the pressing member, and is disposed on the panel receiver that is driven by the driving mechanism and moves in the X direction or the Y direction. Equipped with moving bodies.

前記押圧部材は、Z方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記移動体に支持されているThe pressing member is rotatably supported on the movable body about an axis extending in the Z direction.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けをZ方向へ移動させるZ移動機構を含むことができる。   The test apparatus according to the present invention may further include a Z moving mechanism for moving the panel receiver in the Z direction.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けに配置された浮上装置であって、前記アライメント装置により前記被検査体を変位させるときに、該被検査体を前記パネル受け面から浮上させる浮上装置を含むことができる。   The test apparatus according to the present invention is further a levitation device disposed on the panel receiver, wherein the test object is levitated from the panel receiving surface when the alignment object is displaced by the alignment device. A device can be included.

前記浮上装置は、一部が前記パネル受け面に対し突出及び退却可能のボールであって、前記パネル受けに配置されたボールと、該ボールの一部を前記パネル受け面に露出させるように付勢するばねとを含むことができる。   The levitation device is a part of a ball that can protrude and retract with respect to the panel receiving surface, and the ball disposed on the panel receiving member and a part of the ball are exposed to the panel receiving surface. And a biasing spring.

前記パネル受けは、前記パネル受け面に開放する開放部と、該開放部を、圧力流体の供給源及び減圧タンクの少なくとも一方に選択的に接続するバルブとを含むことができる。   The panel receiver may include an opening portion that opens to the panel receiving surface, and a valve that selectively connects the opening portion to at least one of a pressure fluid supply source and a decompression tank.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けが配置されたテーブルベースであって、矩形の第1の開口を有するテーブルベースを含ことができる。また、前記パネル受けは、前記第1の開口に対向可能の及び前記第1の開口に相似する矩形の第2の開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成する4つの移動片であって、前記第2の開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置された4つの移動片を備えることができる。   The test apparatus according to the present invention may further include a table base on which the panel receiver is disposed and having a rectangular first opening. Further, the panel receiver jointly forms a rectangular second opening that can be opposed to the first opening and is similar to the first opening, and the panel receiving surface is formed together 4 There may be provided four moving pieces arranged on the table base so that the size of the second opening can be varied.

一対の移動片はY方向に間隔をおいてX方向に平行に伸びており、他の一対の移動片はX方向に間隔をおいてY方向に平行に伸びていてもよい。また、前記移動片は、それらの移動片が、前記第2の開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成し、さらに前記第2の開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置されていてもよい。さらに、隣り合う移動片は、Y方向又はX方向へ独立して移動することを妨げられることなく、結合されていてもよい。   The pair of moving pieces may extend in parallel to the X direction with an interval in the Y direction, and the other pair of moving pieces may extend in parallel to the Y direction with an interval in the X direction. In addition, the moving pieces may be formed by jointly forming the second opening and the panel receiving surface, and the size of the second opening may be variable. It may be arranged on the table base. Furthermore, the adjacent moving pieces may be coupled without being prevented from moving independently in the Y direction or the X direction.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けが配置されたテーブルベースであって、矩形の第1の開口を有するテーブルベースと、該テーブルベースと前記パネル受けとの間に配置されて、前記移動片を前記X方向及びY方向に移動可能に前記テーブルベースに結合する結合機構とを含むことができる。   The test apparatus according to the present invention further includes a table base on which the panel receiver is disposed, the table base having a rectangular first opening, and disposed between the table base and the panel receiver, A coupling mechanism that couples the movable piece to the table base so as to be movable in the X direction and the Y direction.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記結合機構を介して各移動片を前記X方向又はY方向へ移動させる移動片移動機構であって、前記テーブルベースに配置された移動片移動機構を含むことができる。   The test apparatus according to the present invention further includes a moving piece moving mechanism for moving each moving piece in the X direction or the Y direction via the coupling mechanism, the moving piece moving mechanism being disposed on the table base. be able to.

各移動片移動機構は、前記移動片を移動させる、回転角度位置を制御可能のモータを含むことができる。   Each moving piece moving mechanism can include a motor that moves the moving piece and that can control a rotational angle position.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受け及び前記プローブユニットを相寄り相離れる方向に移動させる上下移動機構を含むことができる。   The test apparatus according to the present invention may further include a vertical movement mechanism that moves the panel receiver and the probe unit in directions away from each other.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記被検査体のマーク部を上方から撮影するように前記プローブユニットに支持されたカメラ装置を含むことができる。   The test apparatus according to the present invention may further include a camera apparatus supported by the probe unit so as to photograph the mark portion of the object to be inspected from above.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けを支持するフレームを含むことができる。また、前記プローブユニットは、前記フレーム又は前記パネル受けに支持されていてもよい。   The test apparatus according to the present invention may further include a frame that supports the panel receiver. The probe unit may be supported by the frame or the panel receiver.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記プローブユニットを前記パネル受けに支持させるユニット支持機構を含むことができる。該ユニット支持機構は、前記X方向又はY方向へ移動可能に前記パネル受けに受けられた第1の移動体であって、Y方向又はX方向へ延びる第1の移動体と、X方向又はY方向とZ方向とに斜めに移動可能に前記第1の移動体に結合された第2の移動体であって、前記Y方向又はX方向へ延びる第2の移動体と、前記第2の移動体の最前進位置を規定するストッパと、前記第1の移動体を前記X方向又はY方向に移動させ、それにより前記第2の移動体を、前記X方向又はY方向に移動させると共に、Z方向に変位させるプローブ移動機構とを備えることができる。また、前記プローブユニットは前記第2の移動体に支持されていてもよい。   The test apparatus according to the present invention may further include a unit support mechanism for supporting the probe unit on the panel receiver. The unit support mechanism is a first moving body received by the panel support so as to be movable in the X direction or the Y direction, and a first moving body extending in the Y direction or the X direction, and the X direction or the Y direction. A second moving body coupled to the first moving body so as to be movable obliquely in a direction and a Z direction, the second moving body extending in the Y direction or the X direction, and the second movement A stopper that defines the most advanced position of the body, and the first moving body is moved in the X direction or the Y direction, thereby moving the second moving body in the X direction or the Y direction. And a probe moving mechanism that is displaced in the direction. The probe unit may be supported by the second moving body.

前記ユニット支持機構は、さらに、前記Y方向又はX方向へ延びる移動体受けであって、前記パネル受けに前記Y方向又はX方向へ移動可能に前記パネル受けに支持されて、前記第1の移動体を前記パネル受けに支持させる移動体受けと、該移動体受けをその長手方向に移動させて、前記パネル受けに対する前記Y方向又はX方向における位置を解除可能に維持してもよい。   The unit support mechanism is further a movable body receiver extending in the Y direction or the X direction, and is supported by the panel receiver so as to be movable in the Y direction or the X direction by the panel receiver. A movable body receiver that supports the body on the panel receiver, and the movable body receiver may be moved in the longitudinal direction so that the position in the Y direction or the X direction with respect to the panel receiver is maintained releasably.

前記プローブユニットは、さらに、前記矩形の辺に沿って延びかつ前記ユニット支持機構に支持された支持ベースと、該支持ベースの長手方向に間隔をおいて該支持ベースにZ方向へ移動可能に支持されたプローブブロックであって、複数の前記接触子を支持するプローブブロックとを含むことができる。   The probe unit further extends along the side of the rectangle and is supported by the unit support mechanism, and is supported by the support base so as to be movable in the Z direction at intervals in the longitudinal direction of the support base. A probe block supporting a plurality of the contacts.

前記支持ベースは、Z方向へ延びる軸線の周りに角度的に回転可能にユニット支持機構に支持されていてもよい。また、前記プローブユニットは、さらに、前記支持ベースを前記パネル受けに対し角度的に回転させて、前記Z方向へ延びる軸線の周りにおける前記パネル受けと前記プローブユニットとの位置関係を解除可能に維持する角度調整機構を備えていてもよい。   The support base may be supported by the unit support mechanism so as to be angularly rotatable around an axis extending in the Z direction. Further, the probe unit further maintains the releasable positional relationship between the panel receiver and the probe unit around an axis extending in the Z direction by angularly rotating the support base with respect to the panel receiver. An angle adjusting mechanism may be provided.

プローブ移動機構は、前記プローブブロックを、前記パネル受け面から後退した退避位置と、被検査体を位置決めるためのアライメント位置と、前記接触子を被検査体の電極に接触させるコンタクト位置とに選択的に変位させて解除可能に維持する、位置制御可能のモータを含むことができる。   The probe moving mechanism selects the probe block as a retracted position retracted from the panel receiving surface, an alignment position for positioning the object to be inspected, and a contact position for bringing the contact into contact with the electrode of the object to be inspected. It is possible to include a position-controllable motor that is displaced and maintained releasably.

前記プローブユニットが、前記矩形の隣り合う2つの辺に対応する箇所のそれぞれに配置されていてもよい。   The probe unit may be arranged at each of locations corresponding to two adjacent sides of the rectangle.

前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された複数の前記第1のプッシャー機構及び複数の前記第1の位置決め機構を含むことができる。   The alignment apparatus includes a plurality of the first pusher mechanisms and a plurality of the plurality of first pusher mechanisms disposed on one and the other of the pair of opposing sides of the panel receiving surface at intervals in the extending direction of the corresponding sides, respectively. A first positioning mechanism can be included.

前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の前記第1のプッシャー機構及び一対の前記第1の位置決め機構を含むことができる。   The alignment apparatus includes a pair of the first pusher mechanisms and a pair of the first pusher mechanisms disposed on one and the other of the pair of opposing sides of the panel receiving surface at intervals in the extending direction of the corresponding sides, respectively. A first positioning mechanism can be included.

前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の前記他方に、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の前記第1の位置決め機構を含むことができる。   The alignment apparatus may include a pair of first positioning mechanisms disposed on the other side of the pair of opposing sides of the panel receiving surface at intervals in the extending direction of the corresponding side.

前記第1のプッシャー機構は、対応する辺の方向に間隔をおいた複数の前記押圧部材を備えることができる。また、前記第1のプッシャー機構の前記駆動機構は、前記押圧部材をX方向又はY方向に変位させる駆動源と、前記複数の押圧部材をY方向又はX方向に間隔をおいて支持する支持部材であって、Z方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記駆動源に支持された支持部材とを備えることができる。   The first pusher mechanism can include a plurality of the pressing members spaced in the direction of the corresponding side. The drive mechanism of the first pusher mechanism includes a drive source that displaces the pressing member in the X direction or the Y direction, and a support member that supports the plurality of pressing members at intervals in the Y direction or the X direction. And a support member supported by the drive source so as to be rotatable about an axis extending in the Z direction.

位置決め時、被検査体は、各プッシャー機構及び各位置決め機構の各押圧部材が被検査体のX方向又はY方向における端面に押圧されることにより、パネル受けに対し変位され、それにより被検査体の電極と接触子の針先とが接触するように位置決められる。   At the time of positioning, the object to be inspected is displaced with respect to the panel receiver by pressing each pusher mechanism and each pressing member of each positioning mechanism against the end face in the X direction or Y direction of the object to be inspected. The electrode and the needle tip of the contact are positioned so as to contact each other.

そのような位置決め時、各位置決め機構の駆動機構がX方向又はY方向における前記押圧部材の位置を解除可能に維持するから、各位置決め機構の押圧部材のX方向又はY方向における位置は変位しない。このため、位置決め機構の押圧部材をX方向及びY方向における被検査体の基準位置を決定する部材として用いることができる。   At the time of such positioning, since the driving mechanism of each positioning mechanism maintains the position of the pressing member in the X direction or Y direction so as to be releasable, the position of the pressing member of each positioning mechanism in the X direction or Y direction is not displaced. For this reason, the pressing member of the positioning mechanism can be used as a member for determining the reference position of the object to be inspected in the X direction and the Y direction.

上記の結果、本発明によれば、被検査体とプローブユニットとは、被検査体のX方向及びY方向における端面がプッシャー機構により位置決め機構の押圧部材に押圧されることにより、正確に位置決めされる。   As a result, according to the present invention, the object to be inspected and the probe unit are accurately positioned by pressing the end surfaces in the X direction and the Y direction of the object to be inspected against the pressing member of the positioning mechanism by the pusher mechanism. The

また、各プッシャー機構及び各位置決め機構は、軽量な被検査体を変位させる構造であればよいから、軽量であり、パネル受けやバックライトユニット等の重量の大きい目的物を変位させる大型のアライメント装置が不要になることと相まって、試験装置が廉価になる。   Each pusher mechanism and each positioning mechanism need only have a structure for displacing a light object to be inspected, so that it is lightweight and a large alignment device that displaces a heavy object such as a panel receiver or a backlight unit. Coupled with the fact that the test equipment is not necessary, the test equipment becomes inexpensive.

さらに、プッシャー機構側の押圧部のみならず、基準位置を決定する位置決め機構側の押圧部材を被検査体に対して後退させることができるならば、パネル受けに対する被検査体の受け渡し作業が容易になる。   Furthermore, if not only the pressing portion on the pusher mechanism side but also the pressing member on the positioning mechanism side that determines the reference position can be moved backward with respect to the object to be inspected, it is easy to deliver the object to be inspected to the panel receiver. Become.

各位置決め機構の駆動機構がX方向又はY方向における前記押圧部材の位置を解除可能に維持する駆動源がパルスモータのような位置制御可能のモータを含むならば、各位置決め機構の押圧部材のX方向又はY方向における位置は、モータが回転されない限り変位しない。   If the drive source that maintains the position of the pressing member in the X direction or the Y direction so that the driving mechanism of each positioning mechanism can be released includes a position-controllable motor such as a pulse motor, the X of the pressing member of each positioning mechanism The position in the direction or Y direction is not displaced unless the motor is rotated.

各位置決め機構の押圧部材が、少なくともその移動方向に、弾性変形し難い又は弾性変形しない材料で製作されているならば、被検査体の縁部のX方向又はY方向の位置は、そのような押圧部材により正しく位置決められる。   If the pressing member of each positioning mechanism is made of a material that is hardly elastically deformed or does not elastically deform at least in the moving direction, the position of the edge of the object to be inspected in the X or Y direction is It is correctly positioned by the pressing member.

本発明に係る試験装置の一実施例を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an embodiment of a test apparatus according to the present invention. 図1に示す試験装置の正面図である。It is a front view of the test apparatus shown in FIG. 図1に示す試験装置の平面図である。It is a top view of the testing apparatus shown in FIG. 図3における4−4線に沿って得た断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line 4-4 in FIG. 結合機構及び移動片移動機構の一実施例を説明すべく、パネル受けとこれを受けるテーブルベースとを分解して示す斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view showing a panel receiver and a table base that receives the panel receiver in order to explain one embodiment of the coupling mechanism and the moving piece moving mechanism. 図1に示す試験装置を、プローブユニットを除去して示す平面図である。It is a top view which removes a probe unit and shows the test apparatus shown in FIG. 図3における7−7線に沿って得た断面図であって、パネル受けの下方の部材を省略した断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line 7-7 in FIG. 3, and is a cross-sectional view in which members below the panel receiver are omitted. 位置決め機構の一実施例をパネル受けの移動片と共に示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Example of the positioning mechanism with the moving piece of a panel receptacle. 図3における9−9線に沿って得た断面図であって、パネル受けの下方の部材を省略した断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line 9-9 in FIG. 3, and is a cross-sectional view in which members below the panel receiver are omitted. プッシャー機構の一実施例をパネル受けの移動片と共に示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Example of a pusher mechanism with the moving piece of a panel receptacle. プローブユニット及びその支持機構をパネル受けの移動片と共に示す正面図である。It is a front view which shows a probe unit and its support mechanism with the moving piece of a panel receiver. プローブユニットと被検査体との関係を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the relationship between a probe unit and a to-be-inspected object. プローブユニットとその支持機構とを分解して示す斜視図である。It is a perspective view which decomposes | disassembles and shows a probe unit and its support mechanism. ユニット支持機構の一実施例をX方向における一方向から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at one Example of the unit support mechanism from one direction in the X direction. 図14のユニット支持機構を図14とは逆の方向から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the unit support mechanism of FIG. 14 from the direction opposite to FIG. 位置決めが行われたときのプッシャー機構と位置決め機構との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the pusher mechanism and positioning mechanism when positioning is performed. 位置決め及びコンタクトが行われたとき、プッシャー機構、位置決め機構及び被検査体の関係を示す、一部を断面で示す正面図である。It is a front view which shows a part in cross section which shows the relationship between a pusher mechanism, a positioning mechanism, and a to-be-inspected object when positioning and contact are performed. パネル受けと浮上装置との関係の一実施例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Example of the relationship between a panel receiver and a floating device. 浮上装置の一実施例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one Example of a levitating apparatus. 図1に示す試験装置による位置決めを説明するための図であって、被検査体をX方向に変位させる状態を説明する図である。It is a figure for demonstrating positioning by the test apparatus shown in FIG. 1, Comprising: It is a figure explaining the state which displaces a to-be-inspected object to a X direction. 図1に示す試験装置による位置決めを説明するための図であって、被検査体をθ軸線の周りに角度的に回転させる状態を説明する図である。It is a figure for demonstrating positioning by the test apparatus shown in FIG. 1, Comprising: It is a figure explaining the state which rotates a to-be-inspected object angularly around the θ-axis. プローブユニットの変位状態を説明する図であって、(A)はプローブユニットが退避位置にあるときの状態を示し、(B)はプローブユニットが中間位置にあるときの状態を示し、(C)はプローブユニットがコンタクト位置にあるときの状態を示す。It is a figure explaining the displacement state of a probe unit, (A) shows a state when a probe unit exists in a retracted position, (B) shows a state when a probe unit exists in an intermediate position, (C) shows a state in which the probe unit is in contact position. パネル受けの開放部の一実施例を、浮上装置の他の実施例と共に示す図である。It is a figure which shows one Example of the opening part of a panel receiver with the other Example of a floating apparatus. 本発明に係る試験装置の他の実施例を示す図である。It is a figure which shows the other Example of the test apparatus which concerns on this invention. 他の位置決め方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other positioning method. さらに他の位置決め方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating other positioning method. アライメント装置の他の実施例を示す図である。It is a figure which shows the other Example of an alignment apparatus. アライメント装置のさらに他の実施例を示す図である。It is a figure which shows the further another Example of an alignment apparatus. 結合機構の他の実施例を説明すべく、パネル受けとこれを受けるテーブルベースとを分解して示す斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view showing a panel receiver and a table base for receiving the panel receiver in order to explain another embodiment of the coupling mechanism.

[用語の説明]   [Explanation of terms]

本発明においては、図2において、上下方向(パネル受けに受けられた被検査体に垂直の方向)をZ方向又は上下方向といい、左右方向をX方向又は左右方向といい、紙背方向をY方向又は前後方向という。しかし、それらの方向は試験時の被検査体の姿勢に応じて異なる。   In the present invention, in FIG. 2, the vertical direction (the direction perpendicular to the object to be inspected received by the panel holder) is referred to as the Z direction or the vertical direction, the horizontal direction is referred to as the X direction or the horizontal direction, and the paper back direction is defined as Y. It is called direction or front-rear direction. However, these directions differ depending on the posture of the test object at the time of the test.

それゆえに、本発明に係る試験装置は、X方向及びY方向により規定されるXY面が、水平面となる状態、水平面に対し傾斜した状態となる状態等、いずれの状態で使用してもよい。   Therefore, the test apparatus according to the present invention may be used in any state such as a state in which the XY plane defined by the X direction and the Y direction is a horizontal plane, and a state in which the XY plane is inclined with respect to the horizontal plane.

[実施例]   [Example]

図1〜図4を参照するに、試験装置10は、液晶を封入した液晶表示パネルのような表示用パネルを平板状被検査体12(図4,7,9等参照)とし、その被検査体12を所定の電気回路に接続して、点灯検査のような電気的試験をする装置として用いられる。   1 to 4, the test apparatus 10 uses a display panel such as a liquid crystal display panel in which liquid crystal is encapsulated as a flat test object 12 (see FIGS. 4, 7, 9, etc.), and the test object 10 It is used as a device for connecting the body 12 to a predetermined electric circuit and performing an electrical test such as a lighting test.

被検査体12は、矩形の形状を有しており、また矩形のいくつかの辺に対応する縁部の各々に複数の電極を備える。以下、理解を容易にするために、被検査体12は、X方向に長い長方形の形状を有するものとして説明する。図示の例では、被検査体12は、矩形の隣り合う辺に対応する2つの縁部のそれぞれに複数の電極を対応する縁部の長手方向に間隔をおいて有している。   The device under test 12 has a rectangular shape, and includes a plurality of electrodes on each of the edges corresponding to some sides of the rectangle. Hereinafter, in order to facilitate understanding, the inspected object 12 will be described as having a rectangular shape that is long in the X direction. In the example shown in the figure, the device under test 12 has a plurality of electrodes on each of two edge portions corresponding to adjacent sides of the rectangle with a distance in the longitudinal direction of the corresponding edge portion.

[試験装置について]   [Test equipment]

試験装置10は、機器ベースすなわちプラットホーム14と、プラットホーム14の上側に間隔をおいて配置されたテーブルベース16と、テーブルベース16の上側に配置されて、被検査体12を受けるパネル受け18と、パネル受け18の上側に配置された複数のプローブユニット20と、各プローブユニット20をパネル受け18に支持させるユニット支持機構22と、パネル受け18に受けられた被検査体12のマーク部(後に説明する)を上方から撮影するようにプローブユニット20に取り付けられた複数のカメラ装置24と、パネル受け18に受けられた被検査体12をパネル受け18に対し位置決める、後に説明するアライメント装置とを含む。 The test apparatus 10 includes an instrument base, that is, a platform 14, a table base 16 that is spaced above the platform 14, and a panel receiver 18 that is disposed above the table base 16 and receives the object 12 to be inspected. a plurality of probe units 20 arranged on the upper side of the panel receiving 18, a unit support mechanism 22 for supporting the panel receiving 18 each probe unit 20, the mark portion of the device under test 12 that is received in the panel receiving 18 (later described A plurality of camera devices 24 attached to the probe unit 20 so as to photograph from above, and an alignment device described later for positioning the object 12 received by the panel receiver 18 with respect to the panel receiver 18. Including.

図示の例では、プローブユニット20は矩形の隣り合う2つ辺に対応する箇所のそれぞれに配置されている。しかし、プローブユニット20の配置箇所は、被検査体12の電極の配置位置に応じて決定される。   In the illustrated example, the probe unit 20 is disposed at each of the locations corresponding to two adjacent sides of the rectangle. However, the arrangement location of the probe unit 20 is determined according to the arrangement position of the electrode of the device under test 12.

図示の例では、また、ユニット支持機構22が矩形の辺に対応する箇所のそれぞれに配置されている。しかし、ユニット支持機構22は、プローブユニット20が配置されていない箇所に配置しなくてもよい。   In the illustrated example, the unit support mechanism 22 is disposed at each of the locations corresponding to the rectangular sides. However, the unit support mechanism 22 may not be disposed at a location where the probe unit 20 is not disposed.

図示の例では、さらに、2つのカメラ装置24が矩形の隣り合う2つ辺の一方に対応する箇所にその辺の長手方向に間隔をおいて配置されていると共に、1つのカメラ装置24が隣り合う2つ辺の他方に対応する箇所に配置されている。しかし、2つのカメラ装置24をプローブユニット20のそれぞれにプローブユニット20の長手方向に間隔をおいて配置してもよい。   In the example shown in the figure, two camera devices 24 are further arranged at a position corresponding to one of two adjacent sides of the rectangle with a distance in the longitudinal direction of the sides, and one camera device 24 is adjacent to each other. It arrange | positions in the location corresponding to the other of the two sides which fit. However, the two camera devices 24 may be arranged at intervals in the longitudinal direction of the probe unit 20 in each of the probe units 20.

プラットホーム14は、試験装置10のフレーム25(図4参照)に支持される。しかし、プラットホーム14は、フレーム25の一部であってもよい。プラットホーム14とテーブルベース16とは、矩形の板の形状を有しており、またテーブルベース16がプラットホーム14の上方に位置する状態に、Z(上下)方向に間隔をおいている。   The platform 14 is supported by a frame 25 (see FIG. 4) of the test apparatus 10. However, the platform 14 may be part of the frame 25. The platform 14 and the table base 16 have a rectangular plate shape, and are spaced apart in the Z (vertical) direction so that the table base 16 is positioned above the platform 14.

テーブルベース16は、複数の支柱26(図4参照)により、プラットホーム14に支持されており、また被検査体12より大きい矩形の開口16a(図1及び4参照)を有している。プラットホーム14とテーブルベース16との間には、既知のバックライトユニット28(図4参照)が配置されている。   The table base 16 is supported on the platform 14 by a plurality of support posts 26 (see FIG. 4), and has a rectangular opening 16a (see FIGS. 1 and 4) larger than the inspection object 12. A known backlight unit 28 (see FIG. 4) is disposed between the platform 14 and the table base 16.

[パネル受けについて]   [About panel support]

パネル受け18は、図5に示すように、互いに井桁状又は卍型状に組み合わされた4つの移動片30を備える。各移動片30は、図4から図10、図12,13に示すように、幅寸法の小さい長方形をした第1の片部30aと、幅寸法の小さい長方形をした第2の片部30bとを、第1の片部30aが水平となり、第2の片部30bの幅方向が上下方向となる状態に、L字状に結合している。   As shown in FIG. 5, the panel receiver 18 includes four moving pieces 30 that are combined with each other in a cross-beam shape or a saddle shape. As shown in FIGS. 4 to 10, 12, and 13, each moving piece 30 includes a first piece 30 a having a small width dimension and a second piece 30 b having a small width dimension. Are combined in an L shape so that the first piece 30a is horizontal and the width direction of the second piece 30b is the vertical direction.

一対の移動片30はXY面内をY方向に間隔をおいてX方向に平行に伸びており、他の一対の移動片30はXY面内をX方向に間隔をおいてY方向に平行に伸びている。それらの移動片30は、また、後に説明する結合機構62により、テーブルベース16と平行の面(XY面)内を二次元的(X方向及びY方向)に移動可能にテーブルベース16に結合されている。   The pair of moving pieces 30 extends in the X direction with a spacing in the Y direction in the XY plane, and the other pair of moving pieces 30 has a spacing in the X direction in the XY plane and in parallel with the Y direction. It is growing. The moving pieces 30 are coupled to the table base 16 by a coupling mechanism 62 described later so as to be movable in a two-dimensional manner (X direction and Y direction) in a plane parallel to the table base 16 (XY plane). ing.

それら4つの移動片30は、被検査体12及び開口16aと相似する矩形の開口32を共同して形成していると共に、矩形のパネル受け面34を共同して第2の片部30bの頂面に形成している。開口16a及び32は、バックライトユニット28からの光がパネル受け面34に受けられた被検査体12に進むことを許すように対向されている。   The four moving pieces 30 jointly form a rectangular opening 32 similar to the device under test 12 and the opening 16a, and jointly form a rectangular panel receiving surface 34 to the top of the second piece 30b. Formed on the surface. The openings 16a and 32 are opposed to allow light from the backlight unit 28 to travel to the device under test 12 received by the panel receiving surface 34.

そのような4つの移動片30は、開口32の大きさを可変可能に(すなわち、XY面内を二次元的に)移動可能に、後に説明する結合機構62によりテーブルベース16に結合されている。   The four moving pieces 30 are coupled to the table base 16 by a coupling mechanism 62 described later so that the size of the opening 32 can be varied (that is, two-dimensionally within the XY plane). .

隣り合う2つの移動片30は、X方向(又は、Y方向)に一体となって移動可能に、及びY方向(又は、X方向)に個々に移動可能に、適宜な結合手段により結合されている。これにより、隣り合う移動片30は、相手の移動片30が独立してY方向(又は、X方向)へ移動することを妨げることなく、結合されている。   Two adjacent moving pieces 30 are coupled by appropriate coupling means so as to be movable integrally in the X direction (or Y direction) and individually movable in the Y direction (or X direction). Yes. Thereby, the adjacent moving piece 30 is couple | bonded, without preventing the other moving piece 30 moving to a Y direction (or X direction) independently.

すなわち、各移動片30は、隣りの一方の移動片30に該隣りの一方の移動片30の長手方向(Y方向又はX方向)に独立して移動可能に結合されていると共に、隣りの他方の移動片30に該他方の移動片30の長手方向(Y方向又はX方向)に一体的に移動可能に結合されている。   That is, each moving piece 30 is coupled to one adjacent moving piece 30 so as to be independently movable in the longitudinal direction (Y direction or X direction) of the one adjacent moving piece 30 and the other adjacent one. The moving piece 30 is coupled to the other moving piece 30 so as to be integrally movable in the longitudinal direction (Y direction or X direction) of the other moving piece 30.

そのような結合手段として、例えば、X方向(又は、Y方向)に延びて開口32の側に開放すると共に、截頭四角錘形の断面形状を有する、いわゆる蟻溝と、その蟻溝に滑動可能に嵌合された、截頭四角錘形の断面形状を有する、いわゆる蟻柄との組み合せを用いることができる。   As such a coupling means, for example, a so-called dovetail that extends in the X direction (or Y direction) and opens to the side of the opening 32 and has a truncated quadrangular pyramid cross-sectional shape, and slides in the dovetail A combination with a so-called ant pattern having a truncated quadrangular pyramid shaped cross-section that can be fitted can be used.

蟻溝は隣り合う2つの移動片30の一方の幅方向における開口32の側の端縁部に形成され、蟻柄は隣り合う2つの移動片30の他方の長手方向における一端縁部に形成される。   The dovetail groove is formed at the end edge of the adjacent two moving pieces 30 on the side of the opening 32 in the width direction, and the dovetail pattern is formed at one end edge of the other two moving pieces 30 in the other longitudinal direction. The

しかし、蟻溝と蟻柄との組み合わせに代えて、ガイドレールと、該ガイドレールに滑動可能に及び離脱不能に結合されたガイドとの組み合せのような、他の結合手段を用いてもよい。   However, instead of the combination of the dovetail groove and the dovetail pattern, other coupling means such as a combination of a guide rail and a guide that is slidably and non-detachably coupled to the guide rail may be used.

各移動片30には、図18及び19に示す複数の浮上装置36が設けられている。浮上装置36は、前記したアライメント装置により被検査体12を変位させるときに、被検査体12を共同してパネル受け面34から浮上させて、アライメント時における被検査体12の移動を円滑にする。   Each moving piece 30 is provided with a plurality of levitation devices 36 shown in FIGS. 18 and 19. The levitation device 36 levitates the inspection object 12 from the panel receiving surface 34 when the inspection object 12 is displaced by the alignment device described above, and facilitates the movement of the inspection object 12 during alignment. .

図18及び19に示す例では、各浮上装置36は、開口部が第2の片部30bの頂面(パネル受け面34)に開放するように、第2の片部30bに埋め込まれた有底の筒部材38と、一部がパネル受け面34に対し出没可能に筒部材38に配置されたボール40と、ボール40の一部をパネル受け面34に露出させるように付勢するばね42と、ボール40及びばね42の間にあって、上下方向へ移動可能に筒部材38に配置された円板状のボール受け44と、筒部材38内におけるボール40の変位を規制するリング46とを含む。   In the examples shown in FIGS. 18 and 19, each levitation device 36 is embedded in the second piece 30b so that the opening is open to the top surface (panel receiving surface 34) of the second piece 30b. A cylindrical member 38 at the bottom, a ball 40 disposed on the cylindrical member 38 so that a part of the cylindrical member 38 can be projected and retracted with respect to the panel receiving surface 34, and a spring 42 that biases a part of the ball 40 to be exposed to the panel receiving surface 34. And a disc-shaped ball receiver 44 disposed between the ball 40 and the spring 42 and disposed on the cylindrical member 38 so as to be movable in the vertical direction, and a ring 46 for restricting the displacement of the ball 40 in the cylindrical member 38. .

浮上装置36は、被検査体12を、ボール40に受けて、パネル受け面34から浮上させた状態に維持する。このため、ばね42の付勢力は、被検査体12をパネル受け面34から浮上させる程度であればよい。   The levitation device 36 receives the object to be inspected 12 by the ball 40 and maintains it in a state of being levitated from the panel receiving surface 34. For this reason, the urging force of the spring 42 only needs to be a level that causes the device under test 12 to float from the panel receiving surface 34.

図23に示すように、パネル受け18は、また、パネル受け面34に開放する複数の開放部48と、それらの開放部48を連通する連通穴50とを各第2の片部30bに備える。図示の例では、各開放部48は、穴であるが、パネル受け面34に開放して、第2の片部30bの長手方向へ延びる溝のような他の開放部であってもよい。   As shown in FIG. 23, the panel receiver 18 also includes a plurality of open portions 48 that open to the panel receiving surface 34 and communication holes 50 that communicate with the open portions 48 in each second piece 30b. . In the illustrated example, each opening 48 is a hole, but may be another opening such as a groove that opens to the panel receiving surface 34 and extends in the longitudinal direction of the second piece 30b.

各第2の片部30bの連通穴50は、パイプ54によりオン・オフバルブ52に接続されている。バルブ52は、真空タンクのような減圧された減圧タンク56に連結されており、バルブドライバー58により駆動されて、減圧タンク56と連通穴50との間の空気の流路を選択的にオン・オフにする。   The communication hole 50 of each second piece 30 b is connected to the on / off valve 52 by a pipe 54. The valve 52 is connected to a reduced pressure tank 56 such as a vacuum tank, and is driven by a valve driver 58 to selectively turn on an air flow path between the reduced pressure tank 56 and the communication hole 50. Turn off.

前記空気の流路がオンにされていると、開放部48及び連通穴50が減圧タンクに接続される。それにより、被検査体12は、浮上装置36のばね42の付勢力に抗してボール40を押し下げて、パネル受け面34に変位不能に真空的に吸着される。この状態で、被検査体12の点灯試験が行われる。   When the air flow path is turned on, the opening 48 and the communication hole 50 are connected to the decompression tank. As a result, the object to be inspected 12 is attracted to the panel receiving surface 34 in a non-displaceable state by pressing down the ball 40 against the urging force of the spring 42 of the levitation device 36. In this state, a lighting test of the device under test 12 is performed.

上記とは逆に、前記空気の流路がオフにされていると、開放部48及び連通穴50が減圧タンク56から切り離される。これにより、被検査体12はパネル受け面34への吸着を解除され、ボール40の一部はばね42の付勢力によりパネル受け面34からわずかに突出される。   On the contrary, when the air flow path is turned off, the opening 48 and the communication hole 50 are disconnected from the decompression tank 56. As a result, the object to be inspected 12 is released from being adsorbed to the panel receiving surface 34, and a part of the ball 40 is slightly projected from the panel receiving surface 34 by the biasing force of the spring 42.

上記の結果、被検査体12は、パネル受け面34からわずかに浮上される。この状態で、新旧の被検査体12の交換と、新しい被検査体12のアライメントとが行われる。アライメントは、後に説明するように、被検査体12をアライメント装置により変位させることにより、行われる。アライメント時、被検査体12は、ボール40に当接しているのみであって、パネル受け面34から浮上されているから、円滑かつ容易に変位する。   As a result, the device under test 12 is slightly lifted from the panel receiving surface 34. In this state, replacement of the new and old test objects 12 and alignment of the new test objects 12 are performed. The alignment is performed by displacing the device under test 12 using an alignment device, as will be described later. At the time of alignment, the object to be inspected 12 is only in contact with the ball 40 and is lifted from the panel receiving surface 34, so that it is smoothly and easily displaced.

図23に示すように、前記した浮上装置36に代えて、圧縮空気源のような圧力流体源60をバルブ52に接続し、減圧タンク56及び圧力流体源60をバルブ52により連通穴50に選択的に接続してもよい。   As shown in FIG. 23, instead of the above-described levitation device 36, a pressure fluid source 60 such as a compressed air source is connected to the valve 52, and the decompression tank 56 and the pressure fluid source 60 are selected as the communication hole 50 by the valve 52. May be connected.

上記の場合、バルブ52として、切り換えバルブが用いられる。被検査体12は、開放部48が圧力流体源60に接続されて、圧力流体源60からの圧力流体が開放部48から噴出されることにより、パネル受け面34からわずかに浮上される。   In the above case, a switching valve is used as the valve 52. The inspected body 12 is slightly lifted from the panel receiving surface 34 when the opening 48 is connected to the pressure fluid source 60 and the pressure fluid from the pressure fluid source 60 is ejected from the opening 48.

[結合機構について]   [About coupling mechanism]

図1,3,5等に示すように、前記した結合機構62は、4つの移動片30をX方向及びY方向に移動可能にテーブルベース16に結合するために、テーブルベース16とパネル受け18との間に配置されている。   As shown in FIGS. 1, 3, 5, etc., the coupling mechanism 62 described above is configured to couple the four moving pieces 30 to the table base 16 so as to be movable in the X and Y directions. It is arranged between.

結合機構62は、図示の例では、X方向に間隔をおいてY方向に平行に延びて、X方向へ移動可能にテーブルベース16に配置された帯状の一対の第1のスライダ64と、第1のスライダ64の上方をY方向に間隔をおいてX方向に平行に延びて、Y方向へ移動可能にテーブルベース16に配置された帯状の一対の第2のスライダ66とを備える。   In the illustrated example, the coupling mechanism 62 includes a pair of strip-shaped first sliders 64 that extend in parallel to the Y direction with an interval in the X direction and are arranged on the table base 16 so as to be movable in the X direction. A pair of strip-like second sliders 66 that extend in parallel to the X direction with an interval in the Y direction above one slider 64 and are arranged on the table base 16 so as to be movable in the Y direction are provided.

図5に示すように、一方の第2のスライダ66は結合部材68によりY方向へ移動可能に一方の第1のスライダ64に結合されており、他方の第2のスライダ66は他の結合部材68によりY方向へ移動可能に他方の第1のスライダ64に結合されている。   As shown in FIG. 5, one second slider 66 is coupled to one first slider 64 so as to be movable in the Y direction by a coupling member 68, and the other second slider 66 is coupled to another coupling member. 68 is coupled to the other first slider 64 so as to be movable in the Y direction.

スライダ64及び66のそれぞれは、テーブルベース16の上面に備えられた一対のレール70及び70に、X方向(又は、Y方向)へ移動可能に、各スライダの一端部及び他端部において結合されている。   Each of the sliders 64 and 66 is coupled to a pair of rails 70 and 70 provided on the upper surface of the table base 16 at one end and the other end of each slider so as to be movable in the X direction (or Y direction). ing.

各結合部材68は、対応する第1のスライダ64に設けられかつその第1のスライダ64の長手方向へ延びる一対のレール72にY方向へ移動可能に結合されていると共に、対応する第2他のスライダ66に設けられかつその第2スライダ66の長手方向へ延びる他の一対のレール72にX方向へ移動可能に結合されている。これにより、各結合部材68は、テーブルベース16に対し、XY面内を二次元的に移動可能である。   Each coupling member 68 is coupled to a pair of rails 72 provided on the corresponding first slider 64 and extending in the longitudinal direction of the first slider 64 so as to be movable in the Y direction. The second slider 66 is coupled to the other pair of rails 72 so as to be movable in the X direction. Thereby, each coupling member 68 can move two-dimensionally in the XY plane with respect to the table base 16.

図示の例では、Y方向へ延びる各移動片30は、結合部材68に変位不能に結合されており、X方向へ延びる各移動片30は、X方向へ延びる第2のスライダ66の残りの一対のレール72に、X方向へ移動可能に結合されている。   In the illustrated example, each moving piece 30 extending in the Y direction is coupled to the coupling member 68 so as not to be displaced, and each moving piece 30 extending in the X direction is the remaining pair of second sliders 66 extending in the X direction. The rail 72 is coupled to be movable in the X direction.

スライダ64及び66のそれぞれは、移動片移動機構74により、X方向(又は、Y方向)に移動されて、そのような移動方向における適宜位置に解除可能に維持される。   Each of the sliders 64 and 66 is moved in the X direction (or Y direction) by the moving piece moving mechanism 74 and is maintained so as to be releasable at an appropriate position in such a moving direction.

図示の例では、各移動片移動機構74として、テーブルベース16の上面に設置されたモータと、X方向(又は、Y方向)に延びる状態に前記モータに連結されて、該モータにより回転されるボールねじと、該ボールねじに螺合されかつスライダ64又は66に連結具により連結されたナットとを用いた機構を用いている。モータは、パルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータである。   In the illustrated example, each moving piece moving mechanism 74 is connected to a motor installed on the upper surface of the table base 16 and the motor extending in the X direction (or Y direction), and is rotated by the motor. A mechanism using a ball screw and a nut screwed to the ball screw and connected to the slider 64 or 66 by a connector is used. The motor is a position-controllable motor so as to maintain the rotational angle position so as to be releasable like a pulse motor.

例えば、一対の第1のスライダ64が対応する移動片移動機構74により相寄り相離れる方向(X方向)へ移動されると、結合部材68を介して第1のスライダ64に連結された一方の(Y方向へ延びる)一対の移動片30が相寄り相離れる方向(X方向)へ結合部材68と共に移動されると共に、その一方の移動片30に前記した蟻溝と蟻臍等の結合手段により連結された他の(X方向へ延びる)一対の移動片30がその一方の移動片30の移動にともなってX方向へ移動される。   For example, when the pair of first sliders 64 is moved in the direction (X direction) away from each other by the corresponding moving piece moving mechanism 74, one of the first sliders 64 connected to the first slider 64 via the coupling member 68. The pair of moving pieces 30 (extending in the Y direction) are moved together with the coupling member 68 in the direction (X direction) away from each other, and the moving piece 30 is connected to the moving piece 30 by the coupling means such as the dovetail groove and the ant navel described above. The other pair of moving pieces 30 (extending in the X direction) connected to each other is moved in the X direction as one moving piece 30 moves.

また、両第2のスライダ66が対応する移動片移動機構74により相寄り相離れる方向(Y方向)へ移動されると、第2のスライダ66に連結された前記他の(X方向へ延びる)一対の移動片30が第2のスライダ66と共に相寄り相離れる方向(Y方向)へ移動されると共に、その移動片30に前記した蟻溝と蟻臍等の結合手段により連結された前記一方の(Y方向へ延びる)一対の移動片30がその他方の移動片30の移動にともなって長手方向(Y方向)へ移動される。   Further, when both the second sliders 66 are moved in the direction (Y direction) away from each other by the corresponding moving piece moving mechanism 74, the other (extended in the X direction) connected to the second slider 66. The pair of moving pieces 30 are moved together with the second slider 66 in the direction away from each other (Y direction), and the one of the moving pieces 30 connected to the moving piece 30 by the connecting means such as the dovetail and the ant navel described above. A pair of moving pieces 30 (extending in the Y direction) is moved in the longitudinal direction (Y direction) as the other moving piece 30 moves.

このため、4つの移動片30は、開口32の大きさが図3及び図6に示す大きさとなるように、移動される。その結果、開口32、ひいてはパネル受け面34の大きさを試験すべき被検査体12の大きさに応じて変更することができる。この作業は、被検査体12の点灯試験に先だって行われる。   Therefore, the four moving pieces 30 are moved so that the size of the opening 32 becomes the size shown in FIGS. As a result, the size of the opening 32 and hence the panel receiving surface 34 can be changed according to the size of the device under test 12 to be tested. This operation is performed prior to the lighting test of the inspection object 12.

[アライメント装置について]   [About alignment equipment]

図2,4,7から10,16及び17を参照するに、前記したアライメント装置は、パネル受け面34の対向する一対の辺(X辺)の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第1のプッシャー機構80及び一対の第1の位置決め機構82と、パネル受け面34の対向する他の一対の辺(Y辺)の一方及び他方に、それぞれ、配置された第2のプッシャー機構84及び第2の位置決め機構86とを含む。   Referring to FIGS. 2, 4, 7 to 10, 16, and 17, the alignment device described above has a length of a side corresponding to one and the other of a pair of opposing sides (X sides) of the panel receiving surface 34, respectively. A pair of first pusher mechanisms 80 and a pair of first positioning mechanisms 82 arranged at intervals in the direction, and one and the other of a pair of opposite sides (Y sides) of the panel receiving surface 34, Each includes a second pusher mechanism 84 and a second positioning mechanism 86 disposed.

プッシャー機構80,84のそれぞれは、被検査体12を、プッシャー機構が配置された側と反対の側に配置された位置決め機構82又は86に対し進退させる。これに対し、位置決め機構82,86のそれぞれは、X方向(又は、Y方向)における被検査体12の基準位置を決定する。   Each of the pusher mechanisms 80 and 84 moves the inspected object 12 forward and backward with respect to the positioning mechanism 82 or 86 disposed on the side opposite to the side on which the pusher mechanism is disposed. In contrast, each of the positioning mechanisms 82 and 86 determines the reference position of the device under test 12 in the X direction (or Y direction).

図7から10に示すように、プッシャー機構80,84及び位置決め機構82,86のそれぞれは、パネル受け面34と同じ高さ位置にあって、平面的に見てパネル受け面34の外側に位置された押圧部材90と、押圧部材90が支持された支柱状の移動体92と、移動体92ひいては押圧部材90をパネル受け面34に対し進退させる駆動機構94と、それらを支持する支持板96とを備える。   As shown in FIGS. 7 to 10, the pusher mechanisms 80 and 84 and the positioning mechanisms 82 and 86 are at the same height as the panel receiving surface 34 and are positioned outside the panel receiving surface 34 in plan view. The pressed member 90, a columnar moving body 92 on which the pressing member 90 is supported, a driving mechanism 94 for moving the moving body 92 and the pressing member 90 forward and backward with respect to the panel receiving surface 34, and a support plate 96 that supports them. With.

図示の例では、移動体92は上下方向に延びて、支柱状の形状を有する。押圧部材90は、取り付けピン98により移動体92の上端部にZ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に取り付けられたローラであるが、他の部材であってもよい。   In the illustrated example, the moving body 92 extends in the vertical direction and has a columnar shape. The pressing member 90 is a roller attached to the upper end portion of the moving body 92 by an attachment pin 98 so as to be rotatable around an axis extending in the Z direction, but may be another member.

支持板96は、パネル受け18の移動片30の第1の片部30aの上面に設けられた一対のレール100に第1の片部30aの長手方向(X方向又はY方向)へ移動可能に組み付けられている。両レール100は、第1の片部30aの幅方向(Y方向又はX方向)に間隔をおいて、長手方向(X方向又はY方向)に平行に延びている。   The support plate 96 is movable in the longitudinal direction (X direction or Y direction) of the first piece 30a on a pair of rails 100 provided on the upper surface of the first piece 30a of the movable piece 30 of the panel receiver 18. It is assembled. Both rails 100 extend in parallel to the longitudinal direction (X direction or Y direction) with an interval in the width direction (Y direction or X direction) of the first piece 30a.

から10に示すように、支持板96は、ガイド102により一方のレール100に組み付けられており、また他方のレール100の上面に載置されている。このため、一方のレール100はガイドレールとして作用する。他方のレール100は、上方に開放する雌ねじ穴104をX方向(又は、Y方向)の複数箇所のそれぞれに備えている。 As shown in FIGS. 7 to 10, the support plate 96 is assembled to one rail 100 by a guide 102, and is placed on the upper surface of the other rail 100. For this reason, one rail 100 acts as a guide rail. The other rail 100 is provided with female screw holes 104 that open upward at each of a plurality of locations in the X direction (or Y direction).

他方のレール100には、X方向(又は、Y方向)に延びる長穴106を有する帯状の止め金具108が載置されていると共に、支持板96に相対的移動不能に設けられている。止め金具108は、長穴106に上方から差し込まれて、雌ねじ穴104に螺合されたボルト110により、他方のレール100に解除可能に取り付けられる。これにより、各支持板96は、X方向(又は、Y方向)における所定の位置に解除可能に固定される。   On the other rail 100, a band-shaped stopper 108 having a long hole 106 extending in the X direction (or Y direction) is placed, and is provided on the support plate 96 so as not to be relatively movable. The stopper 108 is releasably attached to the other rail 100 by a bolt 110 inserted into the elongated hole 106 from above and screwed into the female screw hole 104. Thus, each support plate 96 is releasably fixed to a predetermined position in the X direction (or Y direction).

上記の結果、プッシャー機構80,84及び位置決め機構82,86のそれぞれは、X方向(又は、Y方向)における所定の位置に解除可能に固定される。このため、他方のレール100は、X方向(又は、Y方向)におけるプッシャー機構及び位置決め機構の位置を解除可能に固定する固定レールとして作用する。   As a result, the pusher mechanisms 80 and 84 and the positioning mechanisms 82 and 86 are releasably fixed at predetermined positions in the X direction (or Y direction). For this reason, the other rail 100 acts as a fixed rail that releasably fixes the positions of the pusher mechanism and the positioning mechanism in the X direction (or Y direction).

しかし、X方向(又は、Y方向)におけるプッシャー機構及び位置決め機構の位置は、ボルト110を螺合する雌ねじ穴104と、ボルト110に対する止め金具108の位置を変更することにより、被検査体12の種類、大きさ等に応じて選択することができる。   However, the positions of the pusher mechanism and the positioning mechanism in the X direction (or Y direction) can be changed by changing the positions of the female screw hole 104 into which the bolt 110 is screwed and the stopper 108 with respect to the bolt 110. It can be selected according to the type, size, etc.

各駆動機構94は、支持板96の幅方向(Y方向又はX方向)に間隔をおいて支持板96の長手方向(X方向又はY方向)に延びる一対のレール112と、各レール112に支持板96の幅方向へ移動可能に嵌合されたスライダ114と、両スライダ114を連結する連結板116と、押圧部材90を支持板96の幅方向へ移動させる駆動源118とを備える。   Each drive mechanism 94 is supported by each rail 112 and a pair of rails 112 extending in the longitudinal direction (X direction or Y direction) of the support plate 96 with an interval in the width direction (Y direction or X direction) of the support plate 96. The slider 114 is fitted so as to be movable in the width direction of the plate 96, the connecting plate 116 that connects both the sliders 114, and the drive source 118 that moves the pressing member 90 in the width direction of the support plate 96.

スライダ114は、連結板116の下面に取り付けられている。駆動源118は支持板96の上面に取り付けられている。移動体92は連結板116の上に直立状態に取り付けられている。しかし、移動体92と連結板116とを一体的な構造としてもよい。   The slider 114 is attached to the lower surface of the connecting plate 116. The drive source 118 is attached to the upper surface of the support plate 96. The moving body 92 is mounted on the connecting plate 116 in an upright state. However, the moving body 92 and the connecting plate 116 may be integrated.

図9及び10に示すように、プッシャー機構80,84の各駆動源118は、空気圧シリンダや油圧シリンダのような流体圧シリンダ機構を用いている。このシリンダ機構は、そのシリンダが支持板96に取り付けられ、ピストンロッドがスライダ114に連結されている。   As shown in FIGS. 9 and 10, each drive source 118 of the pusher mechanisms 80 and 84 uses a fluid pressure cylinder mechanism such as a pneumatic cylinder or a hydraulic cylinder. In this cylinder mechanism, the cylinder is attached to the support plate 96, and the piston rod is connected to the slider 114.

このため、プッシャー機構80,84の各駆動機構94は、スライダ114を駆動源118により第2の片部30bに対し進退させることにより、押圧部材90をパネル受け面34、ひいては被検査体12に対してX方向又はY方向に進退させる。 For this reason, each drive mechanism 94 of the pusher mechanisms 80 and 84 moves the slider 114 forward and backward with respect to the second piece 30b by the drive source 118, so that the pressing member 90 is moved to the panel receiving surface 34 and eventually to the inspection object 12. On the other hand, it is advanced or retracted in the X direction or the Y direction.

図7及び8に示すように、位置決め機構82,86の各駆動源118は、パルスモータのように回転角度位置を制御可能のモータを用いている。このため、位置決め機構82,86の各駆動機構94は、さらに、対応する駆動源118から支持板96の幅方向(X方向又はY方向)に延びて、対応する駆動源118により回転されるボールねじ120と、ボールねじ120に螺合されたナット122とを備える。ナット122は連結板116に取り付けられている。   As shown in FIGS. 7 and 8, each drive source 118 of the positioning mechanisms 82 and 86 uses a motor capable of controlling the rotational angle position such as a pulse motor. For this reason, each drive mechanism 94 of the positioning mechanisms 82 and 86 further extends from the corresponding drive source 118 in the width direction (X direction or Y direction) of the support plate 96 and is rotated by the corresponding drive source 118. A screw 120 and a nut 122 screwed to the ball screw 120 are provided. The nut 122 is attached to the connecting plate 116.

位置決め機構82,86の各駆動機構94は、ボールねじ120を駆動源118により回転させることにより、ナット122を第2の片部30bに対し進退させ、それにより押圧部材90をパネル受け面34、ひいては被検査体12に対して(X方向又はY方向)に進退させる。 Each drive mechanism 94 of the positioning mechanisms 82 and 86 rotates the ball screw 120 by the drive source 118 to advance and retract the nut 122 with respect to the second piece 30b, thereby causing the pressing member 90 to move to the panel receiving surface 34, As a result, it advances / retreats with respect to the inspection object 12 (X direction or Y direction).

図20に示すように、プッシャー機構80,84の各駆動源(シリンダ機構)118は、2つの圧力流体源124,126に、バルブ装置128により選択的に接続される。圧力流体源124,126は互いに異なる圧力を有する圧縮された空気や油のような圧力流体を貯留している。   As shown in FIG. 20, each drive source (cylinder mechanism) 118 of the pusher mechanisms 80 and 84 is selectively connected to two pressure fluid sources 124 and 126 by a valve device 128. The pressurized fluid sources 124 and 126 store pressurized fluids such as compressed air and oil having different pressures.

バルブ装置128は、バルブドライバー129により選択的に駆動される複数のバルブを備えている。バルブ装置128内の各バルブは、バルブドライバー129により選択的に駆動されて、プッシャー機構80,84の駆動源118の1つを圧力流体源124,126に選択的に接続する。これにより、前記したシリンダ機構のピストンロッドがシリンダに対し進退されて、押圧部材90がパネル受け面34、ひいては被検査体12に対し進退される。 The valve device 128 includes a plurality of valves that are selectively driven by a valve driver 129 . Each valve in the valve device 128 is selectively driven by a valve driver 129 to selectively connect one of the drive sources 118 of the pusher mechanisms 80, 84 to the pressure fluid sources 124, 126. Thereby, the piston rod of the cylinder mechanism described above is advanced and retracted with respect to the cylinder, and the pressing member 90 is advanced and retracted with respect to the panel receiving surface 34 and, consequently, the device under test 12.

また、図20に示すように、位置決め機構82,86の各駆動源(位置制御可能のモータ)118は、モータドライバー130により駆動されて、対応する押圧部材90によりX方向(又は、Y方向)における被検査体12の基準位置を決定する。各基準位置は、被検査体12の種類、大きさ等により予め決定される。 Further, as shown in FIG. 20, each driving source (position-controllable motor) 118 of the positioning mechanisms 82 and 86 is driven by a motor driver 130, and the X direction (or the Y direction) by the corresponding pressing member 90. The reference position of the inspection object 12 at is determined. Each reference position is determined in advance according to the type, size, and the like of the inspection object 12.

上記のような構造を有するアライメント装置は、例えば図20に示すように、X方向用の位置決め機構86の押圧部材90を、X方向に進退させて、X方向における被検査体12の基準位置に維持すると共に、X方向用のプッシャー機構84の押圧部材90により被検査体12をX方向用の位置決め機構86の押圧部材90に対し押す。これにより、被検査体12はX方向のアライメントをされる。 For example, as shown in FIG. 20, the alignment apparatus having the structure as described above moves the pressing member 90 of the positioning mechanism 86 for the X direction forward and backward in the X direction to the reference position of the inspection object 12 in the X direction. while maintaining, press the device under test 12 with respect to the pressing member 90 of the positioning mechanism 86 for the X-direction by the pressing member 90 of the pusher mechanism 84 for X-direction. Thereby, the inspection object 12 is aligned in the X direction.

Y方向における被検査体12のアライメントは、Y方向用の位置決め機構82,82及びY方向用のプッシャー機構80,80を上記のように動作させることにより、行われる。   The alignment of the test object 12 in the Y direction is performed by operating the Y-direction positioning mechanisms 82 and 82 and the Y-direction pusher mechanisms 80 and 80 as described above.

Z方向へ延びるθ軸線の周りにおける被検査体12のアライメントは、例えば図21に示すように、Y方向用の位置決め機構82,82及びY方向用のプッシャー機構80,84の押圧部材90をそれぞれ矢印で示す方向へ移動させることにより、行うことができる。   For example, as shown in FIG. 21, the alignment of the inspection object 12 around the θ axis extending in the Z direction is performed by using the Y-direction positioning mechanisms 82 and 82 and the pressing members 90 of the Y-direction pusher mechanisms 80 and 84, respectively. This can be done by moving in the direction indicated by the arrow.

上記のようなアライメント時、各プッシャー機構の駆動源は、圧力の低い圧力流体源124に接続される。これにより、被検査体12は、押圧部材90により弱い力で挟まれる。その結果、被検査体12が押圧部材90に衝突するときに被検査体12に作用する衝撃が小さく、その衝撃に起因する被検査体12の破損が防止される。   During the alignment as described above, the drive source of each pusher mechanism is connected to the pressure fluid source 124 having a low pressure. As a result, the device under test 12 is sandwiched between the pressing members 90 with a weak force. As a result, the impact acting on the inspection object 12 when the inspection object 12 collides with the pressing member 90 is small, and the inspection object 12 is prevented from being damaged due to the impact.

アライメントの間、被検査体12は、図18及び19に示す浮上装置36により、パネル受け面34から浮上されている。このため、アライメント時に、被検査体12が円滑に移動し、正確なアライメントが行われる。   During the alignment, the device under test 12 is levitated from the panel receiving surface 34 by the levitating device 36 shown in FIGS. For this reason, the to-be-inspected object 12 moves smoothly at the time of alignment, and exact alignment is performed.

上記のように、アライメント時、各位置決め機構の押圧部材90が被検査体12の基準位置を決定することから、各位置決め機構の押圧部材90は、少なくともその移動方向への弾性変形をし難い又はしない、若しくは摩耗をし難い又はしない材料、例えば硬質樹脂で製作されている。   As described above, at the time of alignment, the pressing member 90 of each positioning mechanism determines the reference position of the object 12 to be inspected. Therefore, the pressing member 90 of each positioning mechanism is difficult to be elastically deformed at least in the moving direction or It is made of a material that does not, or does not wear easily, such as a hard resin.

これにより、位置決め機構の押圧部材90は、被検査体12がプッシャー機構の押圧部材90により押圧されても、駆動源として位置制御可能のモータを用いることとあいまって、基準位置を維持する。また、押圧部材90の弾性変形を考慮することなく、駆動源としてのモータの回転量を決定することができるから、モータの位置制御が容易になる。   Thereby, even if the to-be-inspected object 12 is pressed by the pressing member 90 of the pusher mechanism, the pressing member 90 of the positioning mechanism maintains the reference position together with the use of a position-controllable motor as a driving source. Further, since the rotation amount of the motor as the drive source can be determined without considering the elastic deformation of the pressing member 90, the position control of the motor is facilitated.

しかし、押圧部材90の弾性変形を考慮して、駆動源としてのモータの回転量を決定する場合には、位置決め機構の押圧部材90は弾性変形可能の材料で製作されていてもよい。   However, when the amount of rotation of the motor as the drive source is determined in consideration of the elastic deformation of the pressing member 90, the pressing member 90 of the positioning mechanism may be made of an elastically deformable material.

これに対し、プッシャー機構の押圧部材90は、被検査体12を破損しない程度の硬度を有する樹脂のような材料とすることができる。それゆえに、プッシャー機構の押圧部材90は、弾性変形をしない材料及び弾性変形をする材料のいずれであってもよい。 On the other hand, the pressing member 90 of the pusher mechanism can be made of a material such as a resin having a hardness that does not damage the device under test 12. Therefore, the pressing member 90 of the pusher mechanism may be either a material that does not elastically deform or a material that elastically deforms.

被検査体12がプッシャー機構80,84により位置決め機構82,86の押圧部材90に押圧されたとき、ボールねじ120とナット122とは、それらの間の摩擦力により、駆動源118が駆動されない限り、位置決め機構82,86の押圧部材90の後退を阻止する。これにより、アライメントのための基準位置は変位しない。   When the device under test 12 is pressed against the pressing members 90 of the positioning mechanisms 82, 86 by the pusher mechanisms 80, 84, the ball screw 120 and the nut 122 are not driven by the friction force between them unless the drive source 118 is driven. The retraction of the pressing member 90 of the positioning mechanisms 82 and 86 is prevented. Thereby, the reference position for alignment is not displaced.

上記のように位置決め機構82,86の各駆動機構94は、X方向又はY方向における押圧部材90の最前進位置を変更可能に及び解除可能に維持する。X方向、Y方向及びθ軸線の周りのアライメントが終了した状態を図16及び17に示す。   As described above, the drive mechanisms 94 of the positioning mechanisms 82 and 86 maintain the most advanced position of the pressing member 90 in the X direction or the Y direction so as to be changeable and releasable. FIGS. 16 and 17 show a state in which the alignment around the X direction, the Y direction, and the θ axis is completed.

アライメントが終了すると、各プッシャー機構の駆動源は、圧力の高い圧力流体源126に接続される。これにより、被検査体12は押圧部材90により強い力で挟まれる。被検査体12は、点灯試験が終了するまで、押圧部材90により強く挟まれた状態に維持される。   When the alignment is completed, the drive source of each pusher mechanism is connected to the pressurized fluid source 126 having a high pressure. As a result, the device under test 12 is sandwiched between the pressing members 90 with a strong force. The device under test 12 is maintained in a state of being strongly sandwiched by the pressing member 90 until the lighting test is completed.

[プローブユニットについて]   [About the probe unit]

図7,11等に示すように、各プローブユニット20は、矩形の辺に沿って(X方向又はY方向へ)延びかつユニット支持機構22に支持された板状の支持ベース132と、支持ベース132の長手方向に間隔をおいて支持ベース132に取り付けられた複数の支持ブロック134と、各支持ブロック134にZ方向へ移動可能に支持された移動ブロック136と、各移動ブロック136に取り付けられたプローブブロック138とを含む。   As shown in FIGS. 7 and 11, each probe unit 20 includes a plate-like support base 132 that extends along a rectangular side (in the X direction or the Y direction) and is supported by the unit support mechanism 22, and a support base. A plurality of support blocks 134 attached to the support base 132 at intervals in the longitudinal direction of 132, a movement block 136 supported by each support block 134 so as to be movable in the Z direction, and attached to each movement block 136 Probe block 138.

支持ベース132は、複数のねじ部材(図示せず)によりユニット支持機構22の上面に取り外し可能に取り付けられている。各支持ブロック134は、その上端部からパネル受け面34の側に突出する突出部を有する。   The support base 132 is detachably attached to the upper surface of the unit support mechanism 22 by a plurality of screw members (not shown). Each support block 134 has a protruding portion that protrudes from the upper end portion thereof toward the panel receiving surface 34.

各移動ブロック136は、支持ベース132の前側(開口32の側)に設けられて上下方向へ延びるレール140と、レール140の上下方向へ移動可能に結合されたガイド142とにより、支持ベース132に組み付けられており、また支持ブロック134の前記した突出部を上下方向に貫通して、移動ブロック136に螺合された調整ねじ144により上下方向における位置を調整可能とされている。 Each moving block 136 is attached to the support base 132 by a rail 140 provided on the front side (opening 32 side) of the support base 132 and extending in the vertical direction, and a guide 142 coupled to be movable in the vertical direction of the rail 140. Also, the position in the vertical direction can be adjusted by an adjustment screw 144 that passes through the protruding portion of the support block 134 in the vertical direction and is screwed to the moving block 136 .

各プローブブロック138は、図9及び図11に示すように、X方向又はY方向に間隔をおいて整列された複数の接触子146を有しており、またそれら接触子146の針先をパネル受け18に向けた状態に移動ブロック136に支持されている。   As shown in FIGS. 9 and 11, each probe block 138 has a plurality of contacts 146 arranged at intervals in the X direction or the Y direction, and the needle tips of these contacts 146 are arranged on the panel. The moving block 136 is supported so as to face the receiver 18.

[ユニット支持機構]   [Unit support mechanism]

図7,9,11から15等に示すように、ユニット支持機構22は、パネル受け18の第1の片部30aに配置された、第1の片部30aの長手方向に延びる板状の移動体受け150と、移動体受け150に配置された第1の移動体152と、パネル受け面34に対し傾斜する方向へ移動可能に第1の移動体152に結合された第2の移動体154と、第2の移動体154の上端部に取り付けられた頂板156と、第1の移動体152を第1の片部30aの幅方向へ移動させるプローブ移動機構158と、第2の移動体154の最前進位置(開口32の側の位置)を規制するストッパ160とを備える。   As shown in FIGS. 7, 9, 11 to 15, etc., the unit support mechanism 22 is disposed on the first piece 30 a of the panel receiver 18 and moves in a plate shape extending in the longitudinal direction of the first piece 30 a. Body receiver 150, first mobile body 152 disposed on mobile body receiver 150, and second mobile body 154 coupled to first mobile body 152 movably in a direction inclined with respect to panel receiving surface 34. A top plate 156 attached to the upper end of the second moving body 154, a probe moving mechanism 158 that moves the first moving body 152 in the width direction of the first piece 30a, and a second moving body 154. And a stopper 160 that regulates the most advanced position (position on the opening 32 side).

移動体受け150は、移動体受け150の幅方向に間隔をおいて、移動体受け150の長手方向(X方向又はY方向)へ平行に伸びる状態に、第1の片部30aに設けられた一対又は複数対のレール162と、各レール162にその長手方向へ移動可能に支持されかつ移動体受け150の下側に組み付けられたガイド164とにより、第1の片部30aの上に結合されている。このため、移動体受け150は、第1の片部30aの長手方向へ移動可能である。   The moving body receiver 150 is provided in the first piece 30a so as to extend in parallel to the longitudinal direction (X direction or Y direction) of the moving body receiver 150 with an interval in the width direction of the moving body receiver 150. A pair of rails 162 and a plurality of pairs of rails 162 and guides 164 supported by the rails 162 so as to be movable in the longitudinal direction and assembled to the lower side of the movable body receiver 150 are coupled onto the first piece 30a. ing. For this reason, the movable body receiver 150 is movable in the longitudinal direction of the first piece 30a.

第1の移動体152は、移動体受け150(第1の片部30a)の長手方向に間隔をおいて、移動体受け150の幅方向へ平行に延びる状態に、移動体受け150に設けられた一対のレール166と、各レール166にそれらの長手方向へ移動可能に支持されかつ第1の移動体152の下側に組み付けられたガイド168とにより、移動体受け150の上に結合されている。このため、第1の移動体152は、移動体受け150(又は、第1の片部30a)の幅方向へ移動可能である。   The first moving body 152 is provided in the moving body receiver 150 so as to extend in parallel with the width direction of the moving body receiver 150 with an interval in the longitudinal direction of the moving body receiver 150 (first piece 30a). A pair of rails 166 and a guide 168 supported by each rail 166 so as to be movable in the longitudinal direction and assembled to the lower side of the first moving body 152 are coupled onto the moving body receiver 150. Yes. Therefore, the first moving body 152 is movable in the width direction of the moving body receiver 150 (or the first piece 30a).

第1及び第2の移動体152及び154は、第2の移動体154がパネル受け面34の側に位置するように、パネル受け面34に対し斜めに結合されている。このため、第1及び第2の移動体152及び154は、それぞれ、斜め下向き面及び斜め上向き面を有する。第2の移動体154は、第1の片部30aの長手方向へ延びていると共に、上部ほどパネル受け面34の側となるように斜めに延びている。   The first and second moving bodies 152 and 154 are obliquely coupled to the panel receiving surface 34 so that the second moving body 154 is located on the panel receiving surface 34 side. For this reason, the first and second moving bodies 152 and 154 each have an obliquely downward surface and an obliquely upward surface. The second moving body 154 extends in the longitudinal direction of the first piece 30a, and extends obliquely so that the upper portion is on the panel receiving surface 34 side.

第2の移動体154は、また、第1の移動体152の斜め下向き面に設けられて、第1の片部30aの長手方向に間隔をおいて、第1の片部30aの幅方向へ平行に伸びる一対のレール170と、各レール170にその長手方向へ移動可能に結合されかつ第2の移動体154の斜め向き面に設けられたガイド172とにより、第1の移動体152に結合されている。このため、第2の移動体154は、第1の移動体152に対し、斜めの方向へ移動可能である。 The second moving body 154 is also provided on the diagonally downward surface of the first moving body 152 and spaced in the longitudinal direction of the first piece 30a in the width direction of the first piece 30a. a pair of rails 170 extending parallel, by a guide 172 provided obliquely upward-facing surface of the longitudinal to movably coupled and a second movable body 154 on each rail 170, the first mobile 152 Are combined. For this reason, the second moving body 154 can move in an oblique direction with respect to the first moving body 152.

頂板156は、第1の片部30aの長手方向に長い長方形の形状を有しており、また第2の移動体154の頂部に取り付けられている。プローブユニット20は、頂板156の上に取り付けられて、第2の移動体154に支持されている。   The top plate 156 has a long rectangular shape in the longitudinal direction of the first piece 30 a and is attached to the top of the second moving body 154. The probe unit 20 is mounted on the top plate 156 and supported by the second moving body 154.

各プローブ移動機構158は、移動体受け150の上面に設置されたモータ174と、X方向(又は、Y方向)に延びる状態にモータ174に連結されて、モータ174により回転されるボールねじ176と、ボールねじ176に螺合されたナット178と、第2の移動体154に取り付けられて、ナット178を支持する結合具180とを用いた機構を用いている。   Each probe moving mechanism 158 includes a motor 174 installed on the upper surface of the moving body receiver 150, a ball screw 176 that is connected to the motor 174 so as to extend in the X direction (or Y direction), and is rotated by the motor 174. A mechanism using a nut 178 screwed to the ball screw 176 and a coupler 180 attached to the second moving body 154 and supporting the nut 178 is used.

モータ174は、パルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータであり、またブラケット182を介して移動体受け150に支持されている。ボールねじ176は、モータ174の回転軸に連結されていると共に、他のブラケット184を介して移動体受け150に支持されている。   The motor 174 is a motor whose position can be controlled so as to maintain the rotational angle position so as to be releasable like a pulse motor, and is supported by the movable body receiver 150 via a bracket 182. The ball screw 176 is connected to the rotating shaft of the motor 174 and supported by the moving body receiver 150 via another bracket 184.

第1及び第2の移動体152及び154は、また、斜め上方に延びて上端に開放するように第1の移動体152に形成された穴186と、穴186に上方から挿入されたロッド188とにより、斜め下向き面及び斜め上向き面に垂直の方向への相対的な変位、並びに第1及び第2の移動体152及び154の長手方向への相対的な変位を防止されている。   The first and second moving bodies 152 and 154 also have a hole 186 formed in the first moving body 152 so as to extend obliquely upward and open to the upper end, and a rod 188 inserted into the hole 186 from above. Thus, the relative displacement in the direction perpendicular to the obliquely downward surface and the obliquely upward surface and the relative displacement in the longitudinal direction of the first and second moving bodies 152 and 154 are prevented.

第1及び第2の移動体152及び154は、ロッド188の周りに配置された圧縮コイルばね190により、第1及び第2の移動体152及び154がロッド188の長手方向に離間するように、相対的に付勢されている。実際には、第1の移動体152がロッド188の長手方向への変位をレール166及びガイド168により防止されているから、第2の移動体154がばね190により斜め上方へ付勢されている。   The first and second moving bodies 152 and 154 are separated from each other in the longitudinal direction of the rod 188 by a compression coil spring 190 disposed around the rod 188. It is relatively energized. Actually, since the first moving body 152 is prevented from being displaced in the longitudinal direction of the rod 188 by the rail 166 and the guide 168, the second moving body 154 is biased obliquely upward by the spring 190. .

図11に示すように、ユニット支持機構22は、また、第2の移動体154の最上昇位置を規制するように、第1及び第2の移動体152及び154に設けられたストッパ191及び193を備える。ストッパ191及び193は、第2の移動体154が上昇したときに互いに当接して、第2の移動体154の上昇を阻止するように、それぞれ、第1及び第2の移動体152及び154の斜め下向き面及び斜め上向き面に設けられている。   As shown in FIG. 11, the unit support mechanism 22 also has stoppers 191 and 193 provided on the first and second moving bodies 152 and 154 so as to regulate the highest position of the second moving body 154. Is provided. The stoppers 191 and 193 are in contact with each other when the second moving body 154 is raised, and prevent the second moving body 154 from rising, respectively. It is provided on the diagonally downward surface and the diagonally upward surface.

上記のようなユニット支持機構22において、第1の移動体152がモータ174の正転により被検査体12に向けて移動されると、第2の移動体154も同方向に移動される。このとき、第2の移動体154をばね190の付勢力に抗して斜め下方に変位させる変位発生機構192(図7,11,13等参照)が第2の移動機構154に設けられている。   In the unit support mechanism 22 as described above, when the first moving body 152 is moved toward the device under test 12 by the normal rotation of the motor 174, the second moving body 154 is also moved in the same direction. At this time, the second moving mechanism 154 is provided with a displacement generating mechanism 192 (see FIGS. 7, 11, and 13) that displaces the second moving body 154 obliquely downward against the urging force of the spring 190. .

図7,11に示すように、変位発生機構192は、第2の移動体154の被検査体12の側の斜め下向き面に設けられたコ字状のブラケット194と、第2の移動体154の長手方向へ延びる軸線の周りに回転可能に及びストッパ160に当接可能にブラケット194に取り付けられたローラ196とを備える。   As shown in FIGS. 7 and 11, the displacement generating mechanism 192 includes a U-shaped bracket 194 provided on an obliquely downward surface of the second moving body 154 on the side of the inspected object 12, and the second moving body 154. And a roller 196 attached to the bracket 194 so as to be rotatable about an axis extending in the longitudinal direction and to be able to contact the stopper 160.

ユニット支持機構22において、第1及び第2の移動体152及び154がモータ174により被検査体12に向けて移動されると、ローラ196がストッパ160に当接する。   In the unit support mechanism 22, when the first and second moving bodies 152 and 154 are moved toward the device under test 12 by the motor 174, the roller 196 contacts the stopper 160.

第1及び第2の移動体152及び154がモータ174により被検査体12に向けてさらに移動されると、第2の移動体154は、その前進をストッパ160により阻止されるから、第2の移動体154を斜め下方に変位させる変位力がレール170及びガイド172の嵌合部において発生する。   When the first and second moving bodies 152 and 154 are further moved toward the device under test 12 by the motor 174, the second moving body 154 is prevented from advancing by the stopper 160. A displacement force that displaces the moving body 154 obliquely downward is generated in the fitting portion between the rail 170 and the guide 172.

そのような変位力により、第1の移動体154のさらなる前進にともなって、第2の移動体154は下方に移動される。その結果、プローブユニット20が下方に移動されて、ブローブブロック138に備えられた接触子の針先が被検査体12の電極に押圧される。   With such a displacement force, the second moving body 154 is moved downward as the first moving body 154 further advances. As a result, the probe unit 20 is moved downward, and the needlepoint of the contact provided in the probe block 138 is pressed against the electrode of the device under test 12.

このとき、被検査体12が、押圧部材90により強い力で挟まれていることと、パネル受け面34に吸着されていることとが相まって、接触子の針先が被検査体12の電極に押圧されても、被検査体12がパネル受け18及びプローブユニット20に対し変位することが確実に防止される。   At this time, the fact that the device under test 12 is sandwiched by the pressing member 90 with a strong force and the fact that the device under test 12 is adsorbed to the panel receiving surface 34 is combined, so that the needle tip of the contact is attached to the electrode of the device under test 12. Even if pressed, the object 12 to be inspected is reliably prevented from being displaced with respect to the panel receiver 18 and the probe unit 20.

上記状態で、モータ174が逆転されると、ローラ196がストッパ160に当接した状態で、第1の移動体152がパネル受け面34及び第2の移動体154に対し後退される。この間、第2の移動体154は、ばね190の力により、第1の移動体152に対し上昇されて、被検査体12から上方へ離間される。   In the above state, when the motor 174 is reversed, the first moving body 152 is moved backward with respect to the panel receiving surface 34 and the second moving body 154 in a state where the roller 196 is in contact with the stopper 160. During this time, the second moving body 154 is raised with respect to the first moving body 152 by the force of the spring 190 and is separated upward from the device under test 12.

モータ174がさらに逆転されると、第1の移動体152は後退し続ける。しかし、第2の移動体154は、ストッパ193がストッパ191に当接することにより、上昇を停止し、その状態で第1の移動体152と共に、パネル受け面34に対し退避位置に向けて後退される。 When the motor 174 is further reversed, the first moving body 152 continues to move backward. However, the second moving body 154 stops rising when the stopper 193 comes into contact with the stopper 191, and in this state, the second moving body 154 is retracted together with the first moving body 152 toward the retracted position with respect to the panel receiving surface 34. The

上記のように、第2の移動体154及びプローブブロック138は、パネル受け面34及び被検査体12に対し、モータ174の正転により前進及び下降されて、前進及び下降した位置に解除可能に維持され、またモータ174の逆転により上昇及び後退されて、退避位置に解除可能に維持される。   As described above, the second moving body 154 and the probe block 138 are advanced and lowered by the forward rotation of the motor 174 with respect to the panel receiving surface 34 and the inspected object 12, and can be released to the advanced and lowered positions. It is maintained and is lifted and retracted by the reverse rotation of the motor 174, and is releasably maintained at the retracted position.

第2の移動体154、ひいてはプローブブロック138が退避位置に後退された状態において、パネル受け面34に対する被検査体12の交換が行われる。この際、被検査体12がパネル受け面34から浮上されていることと、プローブユニット20がパネル受け面34から大きく後退されていることとがあいまって、パネル受け面34に対する被検査体12の受け渡しが容易である。   In the state in which the second moving body 154 and thus the probe block 138 are retracted to the retracted position, the inspection object 12 is exchanged for the panel receiving surface 34. At this time, the fact that the object to be inspected 12 is levitated from the panel receiving surface 34 and the probe unit 20 is largely retracted from the panel receiving surface 34, and the object 12 to be inspected with respect to the panel receiving surface 34 is combined. Easy delivery.

[カメラ装置について]   [Camera device]

図7,11から13等に示すように、各カメラ装置24は、プローブユニット20の支持ベース132に支持された逆L字状の支持ブロック200と、支持ブロック200にマーク部(図示せず)をその上方から撮影するように支持されたカメラ202とを備える。   As shown in FIGS. 7, 11 to 13, etc., each camera device 24 includes an inverted L-shaped support block 200 supported by a support base 132 of the probe unit 20 and a mark portion (not shown) on the support block 200. And a camera 202 supported so as to photograph from above.

マーク部は、被検査体12に設けられたマーク自体、特定の接触子の針先等である。カメラ202は、被検査体12のマーク部近傍を撮影して、画像信号を発生するビデオカメラのようなエリアセンサであり、CCDエリアセンサを用いることができる。   The mark part is a mark itself provided on the object to be inspected 12, a needle tip of a specific contact, or the like. The camera 202 is an area sensor such as a video camera that takes an image of the vicinity of the mark portion of the inspection object 12 and generates an image signal, and a CCD area sensor can be used.

各カメラ202の出力信号は、図示しない制御装置において、画像処理をされ、試験装置10、特にパネル受け18やプローブユニット20等に対する被検査体12の位置ずれを求めることに用いられる。求めた位置ずれは、上記したアライメント装置を駆動させる信号に用いられる。   The output signal of each camera 202 is subjected to image processing in a control device (not shown), and is used to determine the positional deviation of the device under test 12 with respect to the test device 10, particularly the panel receiver 18 and the probe unit 20. The obtained positional deviation is used as a signal for driving the alignment device.

[角度調整装置について]   [Angle adjuster]

図15に示すように、各ユニット支持機構22は、さらに、移動体受け150をその長手方向に移動させて、パネル受け18に対するX方向(又は、Y方向)における位置を解除可能に維持する角度調整装置を含む。   As shown in FIG. 15, each unit support mechanism 22 further moves the movable body receiver 150 in the longitudinal direction to maintain the position in the X direction (or Y direction) with respect to the panel receiver 18 so as to be releasable. Includes adjustment device.

そのような角度調整装置は、支持ベース132を頂板156に対しZ方向に延びる軸線の周りに角度的に回転可能に頂板156に支持させる結合軸206と、頂板の長手方向の端部の上面に固定されたナット208と、ナット208に螺合されて、支持ベース132の長手方向の端部の後面をX方向(又は、Y方向)へ押す一対の調整ねじ210とを備える。   Such an angle adjusting device includes a coupling shaft 206 that supports the support base 132 on the top plate 156 so as to be angularly rotatable about an axis extending in the Z direction with respect to the top plate 156, and an upper surface of the longitudinal end portion of the top plate. A fixed nut 208 and a pair of adjustment screws 210 that are screwed into the nut 208 and push the rear surface of the end portion in the longitudinal direction of the support base 132 in the X direction (or Y direction).

上記の角度調整装置において、ナット208への両調整ねじ210のねじ込み量を、一方を大きくし、他方を小さくすると、支持ベース132は結合軸206の周りに角度的に回転されて、頂板156に対し変位する。このため、ナット208への両調整ねじ210のねじ込み量を調整することにより、対応する移動片30に対する支持ベース132の姿勢を調整することができる。   In the above-described angle adjusting device, when the screwing amount of the two adjusting screws 210 into the nut 208 is increased one and the other is decreased, the support base 132 is rotated angularly around the coupling shaft 206 to be attached to the top plate 156. Displaces. For this reason, the posture of the support base 132 with respect to the corresponding movable piece 30 can be adjusted by adjusting the screwing amount of the two adjusting screws 210 into the nut 208.

[ユニット位置調整装置について]   [About unit position adjustment device]

図12,13,15等に示すように、プローブユニット20は、ユニット位置調整装置により、パネル受け18の移動片30に対しX方向(又は、Y方向)へ移動されて、X方向(又は、Y方向)における位置を調整される。   As shown in FIGS. 12, 13, 15 and the like, the probe unit 20 is moved in the X direction (or Y direction) with respect to the moving piece 30 of the panel receiver 18 by the unit position adjusting device, and the X direction (or The position in the Y direction) is adjusted.

ユニット位置調整装置は、図示の例では、第1の片部30aに配置された位置制御可能のモータ212と、モータ212により回転されるボールねじ214と、ボールねじ214に螺合されたナット216と、ナット216及び移動体受け150に結合された結合具218とを含む。   In the illustrated example, the unit position adjusting device includes a motor 212 that is disposed on the first piece 30 a and that can be controlled, a ball screw 214 that is rotated by the motor 212, and a nut 216 that is screwed into the ball screw 214. And a coupler 218 coupled to the nut 216 and the movable body receiver 150.

モータ212が正転されると、ナット216がX方向(又は、Y方向)へ移動されることにより、移動体受け150が同方向へ移動される。モータ212が逆転されると、ナット216がY方向(又は、X方向)へ移動されることにより、移動体受け150が同方向へ移動される。   When the motor 212 is rotated forward, the nut 216 is moved in the X direction (or Y direction), so that the movable body receiver 150 is moved in the same direction. When the motor 212 is reversely rotated, the nut 216 is moved in the Y direction (or the X direction), so that the movable body receiver 150 is moved in the same direction.

これにより、移動体受け150、ひいてはプローブユニット20は、移動片30に対するX方向(又は、Y方向)における位置を調整されて、その位置に解除可能に維持されるから、各接触子146の針先と被検査体12の電極とを確実に接触させることができる。   As a result, the position of the moving body receiver 150 and the probe unit 20 in the X direction (or the Y direction) with respect to the moving piece 30 is adjusted and maintained so as to be releasable. The tip and the electrode of the device under test 12 can be reliably brought into contact.

[試験装置の動作について]   [Operation of test equipment]

図22(A)に示すように、試験装置10は、各プローブユニット20と、各移動体152と、各第2の移動体154とが後退された状態で、パネル受け18に対する被検査体12の受け渡しが上方から行われる。 As shown in FIG. 22 (A), the test apparatus 10 includes the inspected object 12 with respect to the panel receiver 18 in a state where each probe unit 20, each moving body 152 , and each second moving body 154 is retracted. Is delivered from above.

次いで、図22(B)に示すように、各押圧部材90が前進されてアライメントが行われると共に、プローブブロック138が前進されて各接触子の針先が被検査体12の電極の上方に移動される。この間、プッシャー機構80,84のそれぞれが低い流体圧力により作動されて、被検査体12の破損が防止される。 Next, as shown in FIG. 22 (B), each pressing member 90 is advanced and alignment is performed, and the probe block 138 is advanced so that the tip of each contact moves above the electrode of the device under test 12. Is done. During this time, each of the pusher mechanisms 80 and 84 is actuated by a low fluid pressure, so that the test object 12 is prevented from being damaged.

次いで、図22(C)に示すように、各プローブブロック138が下降されて各接触子の針先が被検査体12の電極に押圧される。この間、プッシャー機構80,84のそれぞれが高い流体圧力により作動されて、被検査体12の変位が防止される。その状態で、被検査体12に通電されて、被検査体12の点灯試験が行われる。 Then, as shown in FIG. 22 (C), each probe block 138 is the needle tip of each contact is lowered is pressed against the electrode of the device under test 12. During this time, each of the pusher mechanisms 80 and 84 is operated by a high fluid pressure, and the displacement of the device under test 12 is prevented. In this state, the test object 12 is energized, and a lighting test of the test object 12 is performed.

上記の点灯試験は、作業者が被検査体12を上方から目視する目視点灯試験であってもよいし、ビデオカメラのようなエリアセンサを用いかつ制御装置において画像処理をする自動点灯試験であってもよい。   The lighting test may be a visual lighting test in which an operator visually checks the object 12 from above, or an automatic lighting test that uses an area sensor such as a video camera and performs image processing in a control device. May be.

点灯試験の間、被検査体12は、アライメント装置により把持されていると共に、接触子146によりパネル受け面34に押圧されるから、開放部48を減圧タンク56に接続しなくてもよい。この場合、減圧タンク56は不要である。   During the lighting test, the device under test 12 is held by the alignment device and pressed against the panel receiving surface 34 by the contact 146, so that the opening 48 need not be connected to the decompression tank 56. In this case, the decompression tank 56 is unnecessary.

電気的試験が終了すると、各プローブユニット20と、各第1の移動体152と、各第2の移動体154とが図22(A)に示す位置まで後退され、被検査体12がパネル受け面34から浮上された後、パネル受け18に対する被検査体12の受け渡しが行われる。   When the electrical test is completed, each probe unit 20, each first moving body 152, and each second moving body 154 is retracted to the position shown in FIG. After floating from the surface 34, the inspection object 12 is transferred to the panel receiver 18.

[他の実施例]   [Other Examples]

図24を参照するに、試験装置250は、パネル受け18及びプローブユニット20を相寄り相離れる方向に移動させる上下移動機構として、ユニット支持機構22の代わりに、パネル受け18を上下方向に移動させるように支柱26によりテーブルベース16を支持するZステージ252を用いている。   Referring to FIG. 24, the test apparatus 250 moves the panel receiver 18 in the vertical direction instead of the unit support mechanism 22 as a vertical movement mechanism for moving the panel receiver 18 and the probe unit 20 in a direction away from each other. Thus, the Z stage 252 that supports the table base 16 by the support 26 is used.

Zステージ152は、いわゆる一般的な昇降機構であり、プラットホーム14の代わりに装置のフレーム25に支持されている。バックライトユニット28は、Zステージ252に載置されている。プローブユニット20は、プローブユニット20をXY面内で移動させるプローブステージ254を介してフレーム25に支持されている。   The Z stage 152 is a so-called general lifting mechanism, and is supported by the frame 25 of the apparatus instead of the platform 14. The backlight unit 28 is placed on the Z stage 252. The probe unit 20 is supported by the frame 25 via a probe stage 254 that moves the probe unit 20 in the XY plane.

試験装置250は、パネル受け18をZステージ152によりプローブユニット20に対し上下動させ、各プローブユニット20をプローブステージ254によりXY面内で移動させる点を除いて、試験装置10と同様に作用しかつ同様に用いることができる。   The test apparatus 250 operates in the same manner as the test apparatus 10 except that the panel receiver 18 is moved up and down with respect to the probe unit 20 by the Z stage 152 and each probe unit 20 is moved in the XY plane by the probe stage 254. And it can be used similarly.

[アライメントの他の実施例]   [Other Examples of Alignment]

試験装置250におけるZステージ252の代わりに、又はZステージに加えて、従来の試験装置と同様に、パネル受け18を、X,Y又はZの方向に移動させる機構、θ軸線の周りに角度的に回転させる機構等を備える場合、プローブユニット20と被検査体12とのアライメントを、上記以外の手法により行ってもよい。以下にそのようなアライメントの例について説明する。   In place of or in addition to the Z stage 252 in the test apparatus 250, as in the conventional test apparatus, a mechanism for moving the panel receiver 18 in the X, Y, or Z direction, angular about the θ axis In the case of providing a mechanism for rotating the probe unit 20 and the like, the alignment between the probe unit 20 and the inspection object 12 may be performed by a method other than the above. An example of such alignment will be described below.

θ移動機構を備える場合、被検査体12をプッシャー機構80,84及び位置決め機構82,86により把持した状態で被検査体12をθ軸線の周りに角度的に回転させるとともに、パネル受け18を両プローブユニット20と共に、移動片移動機構74のような適宜な機構により、X方向又はY方向に移動させる。 When the θ moving mechanism is provided, the object 12 is rotated angularly around the θ axis while the object 12 is held by the pusher mechanisms 80 and 84 and the positioning mechanisms 82 and 86, and the panel receiver 18 is The probe unit 20 is moved in the X direction or the Y direction by an appropriate mechanism such as the moving piece moving mechanism 74.

θ移動機構とY移動機構とを備える場合、図25に示すように、プッシャー機構80,84及び位置決め機構82,86により被検査体12を把持した状態で、θ移動機構により被検査体12をθ軸線の周りに角度的に回転させると共に、Y移動機構により被検査体12を両プローブユニット20に対しY方向に変位させ、さらに両プローブユニット20を被検査体12に対しX方向に移動させる。   When the θ moving mechanism and the Y moving mechanism are provided, as shown in FIG. 25, the inspection object 12 is held by the θ movement mechanism while the inspection object 12 is held by the pusher mechanisms 80 and 84 and the positioning mechanisms 82 and 86. While rotating angularly around the θ-axis, the inspected object 12 is displaced in the Y direction with respect to both probe units 20 by the Y moving mechanism, and further, both the probe units 20 are moved in the X direction with respect to the inspected object 12. .

θ移動機構とX移動機構とを備える場合、プッシャー機構80,84及び位置決め機構82,86により被検査体12を把持した状態で、θ移動機構により被検査体12をθ軸線の周りに角度的に回転させると共に、X移動機構により被検査体12を両プローブユニット20に対しX方向に変位させ、さらに両プローブユニット20を被検査体12に対しY方向に移動させる。   When the θ moving mechanism and the X moving mechanism are provided, the object to be inspected 12 is angled around the θ axis by the θ moving mechanism while the object to be inspected 12 is held by the pusher mechanisms 80 and 84 and the positioning mechanisms 82 and 86. , The X object is moved by the X movement mechanism in the X direction with respect to both probe units 20, and the both probe units 20 are moved in the Y direction with respect to the object 12 to be inspected.

θ移動機構とXY移動機構とを備える場合、図26に示すように、プッシャー機構80,84及び位置決め機構82,86により被検査体12を把持した状態で、θ移動機構により被検査体12をθ軸線の周りに角度的に回転させると共に、XY移動機構により被検査体12を両プローブユニット20に対しX方向に変位させる。この場合、両プローブユニット20は変位させなくてもよい。   When the θ moving mechanism and the XY moving mechanism are provided, as shown in FIG. 26, the object 12 is held by the θ moving mechanism while the object 12 is held by the pusher mechanisms 80 and 84 and the positioning mechanisms 82 and 86. The object 12 is rotated in the X direction with respect to both probe units 20 while being rotated angularly around the θ-axis along with the XY moving mechanism. In this case, both probe units 20 need not be displaced.

パネル受け面34の対向する一対の辺の一方に一対のプッシャー機構84を対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置する代わりに、図27に示すように単一のプッシャー機構84を配置してもよいし、また図示しないが3以上のプッシャー機構84を配置してもよい。   Instead of arranging a pair of pusher mechanisms 84 on one of a pair of opposing sides of the panel receiving surface 34 in the extending direction of the corresponding sides, a single pusher mechanism 84 is arranged as shown in FIG. Alternatively, although not shown, three or more pusher mechanisms 84 may be arranged.

また、パネル受け面34の対向する一対の辺の一方に一対のプッシャー機構84を対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置する代わりに、図28に示すように、対応する辺の方向に間隔をおいた複数の押圧部材90と、それらの押圧部材90をY方向(又は、X方向)に間隔をおいて支持する支持部材260と、支持部材260をX方向又はY方向に変位させる駆動源118と、支持部材260をZ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に駆動源118に連結して支持させる枢軸ピン262とを備えてもよい。   Further, instead of arranging a pair of pusher mechanisms 84 on one of a pair of opposing sides of the panel receiving surface 34 in the extending direction of the corresponding side, as shown in FIG. A plurality of pressing members 90 that are spaced apart from each other, a supporting member 260 that supports the pressing members 90 at an interval in the Y direction (or the X direction), and the supporting member 260 are displaced in the X direction or the Y direction. The drive source 118 and the pivot pin 262 that supports the support member 260 by being connected to the drive source 118 so as to be rotatable about an axis extending in the Z direction may be provided.

図28に示す実施例において、各押圧部材90は既に述べた移動体92に支持されており、また移動体92は支持部材260に支持されいる。   In the embodiment shown in FIG. 28, each pressing member 90 is supported by the movable body 92 already described, and the movable body 92 is supported by the support member 260.

[結合機構の他の実施例]   [Other embodiments of coupling mechanism]

図29を参照するに、結合機構の他の実施例においては、3対の結合部材270,272,274を用いている。   Referring to FIG. 29, in another embodiment of the coupling mechanism, three pairs of coupling members 270, 272, and 274 are used.

各結合部材270は、図5に示す結合部材68と同様に、第1のスライダ64に設けられた一対のレール72にY方向へ移動可能に結合されていると共に、第2のスライダ66に設けられた一対のレール72にX方向へ移動可能に結合されている。   Each coupling member 270 is coupled to a pair of rails 72 provided on the first slider 64 so as to be movable in the Y direction, and is provided on the second slider 66 in the same manner as the coupling member 68 shown in FIG. The pair of rails 72 are coupled to be movable in the X direction.

各結合部材272は、第2のスライダ66に設けられた他の一対のレール72にX方向へ移動可能に結合されている。各結合部材274は、第1のスライダ64に設けられた一対のレール72にY方向へ移動可能に結合されており、またY方向へ延びる移動片30に移動不能に取り付けられている。   Each coupling member 272 is coupled to another pair of rails 72 provided on the second slider 66 so as to be movable in the X direction. Each coupling member 274 is coupled to a pair of rails 72 provided on the first slider 64 so as to be movable in the Y direction, and is attached to a movable piece 30 extending in the Y direction so as not to move.

Y方向へ延びる各移動片30は、その下面に設けられた一対のレール276において結合部材270にY方向へ移動可能に結合されていると共に、結合部材274に移動不能に取り付けられている。   Each moving piece 30 extending in the Y direction is coupled to the coupling member 270 so as to be movable in the Y direction with a pair of rails 276 provided on the lower surface thereof, and is attached to the coupling member 274 so as not to move.

X方向へ延びる各移動片30は、その下面に設けられた一対のレール278において結合部材272にX方向へ移動可能に結合されていると共に、下面に移動不能に設けられた一対の補助結合部材280により第2のスライダ66のレール72にX方向へ移動可能に結合されている。   Each moving piece 30 extending in the X direction is coupled to the coupling member 272 so as to be movable in the X direction by a pair of rails 278 provided on the lower surface thereof, and a pair of auxiliary coupling members provided immovably on the lower surface. 280 is coupled to the rail 72 of the second slider 66 so as to be movable in the X direction.

結合機構の他の実施例において、一対の第1のスライダ64が相寄り相離れる方向(X方向)へ移動されると、結合部材270を介して第1のスライダ64に連結されたY方向へ延びる一方の移動片30が相寄り相離れる方向(X方向)へ結合部材68と共に移動されると共に、その一方の移動片30に前記した蟻溝と蟻臍等の結合手段により連結されたX方向へ延びる他の移動片30が前記一方の移動片30の移動にともなってX方向へ移動される。   In another embodiment of the coupling mechanism, when the pair of first sliders 64 is moved in the direction (X direction) away from each other, the Y direction is coupled to the first slider 64 via the coupling member 270. One moving piece 30 extending is moved together with the coupling member 68 in a direction (X direction) away from each other, and is connected to the one moving piece 30 by a coupling means such as a dovetail groove and a ant umbilicus. The other moving piece 30 extending to is moved in the X direction as the one moving piece 30 moves.

また、両第2のスライダ66が相寄り相離れる方向(Y方向)へ移動されると、結合部材272を介して第2のスライダ66に連結されたX方向へ延びる前記他の移動片30が第2のスライダ272と共に相寄り相離れる方向(Y方向)へ移動されると共に、その他の移動片30に前記した蟻溝と蟻臍等の結合手段により連結されたY方向へ延びる前記一方の移動片30が前記他の移動片30の移動にともなって長手方向(Y方向)へ移動される。   Further, when both the second sliders 66 are moved in the direction away from each other (Y direction), the other moving piece 30 extending in the X direction connected to the second slider 66 via the coupling member 272 is moved. The first slider 272 is moved in the direction (Y direction) away from each other together with the second slider 272, and the one movement extending in the Y direction connected to the other moving piece 30 by the connecting means such as the dovetail groove and the ant navel. The piece 30 is moved in the longitudinal direction (Y direction) as the other moving piece 30 moves.

このため、4つの移動片30は、開口32の大きさが図3及び図6に示す大きさとなるように、移動される。その結果、開口32、ひいてはパネル受け面34の大きさを試験すべき被検査体12の大きさに応じて変更することができる。   Therefore, the four moving pieces 30 are moved so that the size of the opening 32 becomes the size shown in FIGS. As a result, the size of the opening 32 and hence the panel receiving surface 34 can be changed according to the size of the device under test 12 to be tested.

ユニット支持機構22、結合機構62、移動片移動機構74、位置決め機構82,86、プローブ移動機構158等、2つの部材を相対的に移動させる機構の駆動源としてのモータは、回転式のモータ及びリニアモータのいずれであってもよい。 The motor as a drive source of the mechanism for moving the two members such as the unit support mechanism 22 , the coupling mechanism 62, the moving piece moving mechanism 74, the positioning mechanisms 82 and 86, and the probe moving mechanism 158 is a rotary motor and Any of linear motors may be used.

同様に、各プッシャー機構の駆動源も、回転力又は推進力を、位置決め機構のモータより小ささい範囲内で、2段階に変更可能の回転式のモータ及びリニアモータのいずれであってもよい。   Similarly, the drive source of each pusher mechanism may be any of a rotary motor and a linear motor that can change the rotational force or propulsive force in two stages within a range smaller than the motor of the positioning mechanism.

しかし、圧縮空気の体積は圧力に応じて変化するから、プッシャー機構の駆動源として、圧縮空気を用いるシリンダ機構を用いると、アライメント時に、押圧部材が被検査体に衝突したときの衝撃が大きく低減される。それゆえに、圧縮空気を用いるシリンダ機構を用いることが好ましい。   However, since the volume of compressed air changes according to pressure, using a cylinder mechanism that uses compressed air as a drive source for the pusher mechanism greatly reduces the impact when the pressing member collides with the object to be inspected during alignment. Is done. Therefore, it is preferable to use a cylinder mechanism that uses compressed air.

また、上記のようなモータ(電動機)を用いる代わりに、特に位置決め機構82,86の駆動源は、ボールねじ120とナット122とを用いる機構、ラックとピニオンとを用いる機構等とともに、それらの機構を駆動させる油圧モータのような他の駆動源を用いてもよい。   Further, instead of using the motor (electric motor) as described above, the driving source of the positioning mechanisms 82 and 86 is not limited to the mechanism using the ball screw 120 and the nut 122, the mechanism using the rack and the pinion, and the like. Other driving sources such as a hydraulic motor for driving the motor may be used.

パネル受け18は、開口32の大きさを変更不能の構造、例えば同じ大きさの被検査体専用の構造を有していてもよい。また、位置決め機構の構造も種々変更することができる。   The panel receiver 18 may have a structure in which the size of the opening 32 cannot be changed, for example, a structure dedicated to the inspected object of the same size. Also, the structure of the positioning mechanism can be variously changed.

上記の実施例のように、2種類の流体圧力源124,126、バルブ装置128及びバルブドライバー129の代わりに、電圧制御により適宜な圧力の流体を出力可能の電空レギュレータ(すなわち、電空調整器)を用いてもよい。この場合、電空レギュレータは、互いに異なる少なくとも2つの圧力流体をプッシャー機構80,84の駆動機構の駆動源118に選択的に供給する。   As in the above-described embodiment, instead of the two types of fluid pressure sources 124 and 126, the valve device 128, and the valve driver 129, an electropneumatic regulator that can output a fluid having an appropriate pressure by voltage control (that is, electropneumatic adjustment) May also be used. In this case, the electropneumatic regulator selectively supplies at least two different pressure fluids to the drive source 118 of the drive mechanism of the pusher mechanisms 80 and 84.

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit described in the claims.

10,250 試験装置
12 平板状被検査体
14 プラットホーム
16 テーブルベース
16a,32 開口
18 パネル受け
20 プローブユニット
22 ユニット支持機構
24 カメラ装置
25 フレーム
26 支柱
28 バックライトユニット
30 移動片
30a,30b 第1及び第2の片部
34 パネル受け面
36 浮上装置
40 ボール
42 ばね
48 開放部
50 連通穴
52 バルブ
54 パイプ
56 減圧タンク
58 バルブドライバー
60 圧力流体源
62 結合機構
64,66 第1及び第2のスライダ
68,270,272,274,276 結合部材
70,72,276,278 レール
74 移動片移動機構
80,84 プッシャー機構
82,86 位置決め機構
90 押圧部材
92 移動体
94 駆動機構
96 支持板
98 取り付けピン
114 スライダ
116 連結板
118 駆動源
120 ボールねじ
122 ナット
124,126 圧力流体源
128 バルブ装置
129 バルブドライバー
130 モータドライバー
132 支持ベース
134 支持ブロック
136 移動ブロック
138 プローブブロック
146 接触子
150 移動体受け
152,154 第1及び第2の移動体
156 頂板
158 プローブ移動機構
160 ストッパ
162,166,170 レール
164,168,172 ガイド
174 モータ
176 ボールねじ
178 ナット
180 結合具
186 穴
188 ロッド
190 圧縮コイルばね
192 変位発生機構
194 ブラケット
196 ローラ
200 支持ブロック
202 カメラ
206 結合軸(角度調整装置)
208 ナット(角度調整装置)
210 調整ねじ(角度調整装置)
212 モータ(ユニット位置調整装置)
214 ボールねじ(ユニット位置調整装置)
216 ナット(ユニット位置調整装置)
218 結合具(ユニット位置調整装置)
252 Zステージ
260 支持部材
262 枢軸ピン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10,250 Test apparatus 12 Flat test object 14 Platform 16 Table base 16a, 32 Opening 18 Panel receiver 20 Probe unit 22 Unit support mechanism 24 Camera apparatus 25 Frame 26 Post 28 Backlight unit 30 Moving piece 30a, 30b 1st and Second piece 34 Panel receiving surface 36 Lifting device 40 Ball 42 Spring 48 Opening portion 50 Communication hole 52 Valve 54 Pipe 56 Depressurization tank 58 Valve driver 60 Pressure fluid source 62 Coupling mechanism 64, 66 First and second sliders 68 , 270, 272, 274, 276 Coupling member 70, 72, 276, 278 Rail 74 Moving piece moving mechanism 80, 84 Pusher mechanism 82, 86 Positioning mechanism 90 Pressing member 92 Moving body 94 Drive mechanism 96 Support plate 98 Mounting Pin 114 Slider 116 Connecting plate 118 Drive source 120 Ball screw 122 Nut 124, 126 Pressure fluid source 128 Valve device 129 Valve driver 130 Motor driver 132 Support base 134 Support block 136 Moving block 138 Probe block 146 Contact 150 Moving body receiver 152, 154 First and second moving bodies 156 Top plate 158 Probe moving mechanism 160 Stopper 162, 166, 170 Rail 164, 168, 172 Guide 174 Motor 176 Ball screw 178 Nut 180 Joint 186 Hole 188 Rod 190 Compression coil spring 192 Displacement generation Mechanism 194 Bracket 196 Roller 200 Support block 202 Camera 206 Coupling shaft (angle adjusting device)
208 Nut (angle adjustment device)
210 Adjustment screw (angle adjustment device)
212 Motor (Unit position adjustment device)
214 Ball screw (unit position adjustment device)
216 Nut (Unit position adjustment device)
218 coupler (unit position adjustment device)
252 Z stage 260 Support member 262 Axis pin

Claims (30)

平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を備えるプローブユニットと、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し位置決めるアライメント装置とを含み、
前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方にそれぞれ配置された第1のプッシャー機構及び第1の位置決め機構と、前記パネル受け面の対向する他の一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、配置された第2のプッシャー機構及び第2の位置決め機構とを含み、
前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受け面の外側に位置された少なくとも1つの押圧部材と、該押圧部材をX方向又はY方向に変位させる少なくとも1つの駆動機構とを備え、
各位置決め機構の前記駆動機構は、前記X方向又はY方向における前記押圧部材の位置を解除可能に維持し、
前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、さらに、前記押圧部材が支持された移動体であって、前記駆動機構により駆動されて、前記X方向又はY方向に移動する、前記パネル受けに配置された移動体を備え、
前記押圧部材は、Z方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記移動体に支持されている、平板状被検査体の試験装置。
A panel receiver having a rectangular panel receiving surface for receiving a plate-shaped object to be inspected, a probe unit having a plurality of contacts pressed against the electrodes of the object to be inspected, and the object to be inspected received by the panel receiver An alignment device for positioning with respect to the contact,
The alignment apparatus includes a first pusher mechanism and a first positioning mechanism disposed on one and the other of a pair of opposing sides of the panel receiving surface, and another pair of opposing sides of the panel receiving surface, respectively. One and the other include a second pusher mechanism and a second positioning mechanism, respectively,
Each of the pusher mechanism and the positioning mechanism includes at least one pressing member positioned outside the panel receiving surface, and at least one driving mechanism that displaces the pressing member in the X direction or the Y direction.
The drive mechanism of each positioning mechanism maintains the position of the pressing member in the X direction or the Y direction so as to be releasable ,
Each of the pusher mechanism and the positioning mechanism is a movable body that supports the pressing member, and is disposed on the panel receiver that is driven by the driving mechanism and moves in the X direction or the Y direction. Equipped with moving bodies,
The pressing member is a test apparatus for a flat inspection object , which is supported by the movable body so as to be rotatable around an axis extending in the Z direction .
各位置決め機構は、回転角度位置を制御可能のモータを含む、請求項1に記載の試験装置。   The test apparatus according to claim 1, wherein each positioning mechanism includes a motor capable of controlling a rotational angle position. 各位置決め機構の前記押圧部材は、少なくともその移動方向に、弾性変形し難い又は弾性変形しない材料で製作されている、請求項1及び2のいずれか1項に記載の試験装置。   The test apparatus according to claim 1, wherein the pressing member of each positioning mechanism is made of a material that is hardly elastically deformed or does not elastically deform at least in the moving direction thereof. 各位置決め機構の前記駆動機構は、駆動源と、該駆動源により駆動されて、前記X方向又はY方向における前記押圧部材の位置を前記駆動源と共同して解除可能に維持する機構とを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の試験装置。   The drive mechanism of each positioning mechanism includes a drive source and a mechanism that is driven by the drive source and releasably maintains the position of the pressing member in the X direction or the Y direction in cooperation with the drive source. The test apparatus according to any one of claims 1 to 3. 各位置決め機構の前記維持する機構は、前記駆動源から前記X方向又はY方向に延びて、前記駆動源により回転されるねじ棒と、該ねじ棒に螺合されたナットであって、前記押圧部材を前記X方向又はY方向に変位させるナットとを備える、請求項4に記載の試験装置。   The maintaining mechanism of each positioning mechanism includes a screw rod that extends from the drive source in the X direction or the Y direction and is rotated by the drive source, and a nut screwed into the screw rod, The test apparatus according to claim 4, further comprising a nut that displaces a member in the X direction or the Y direction. 各プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源は、圧力流体を用いて前記押圧部材を進退させるシリンダ機構を含む、請求項1から5のいずれか1項に記載の試験装置。   6. The test apparatus according to claim 1, wherein a drive source of the drive mechanism of each pusher mechanism includes a cylinder mechanism that advances and retracts the pressing member using a pressure fluid. さらに、圧力が互いに異なる第1及び第2の圧力流体源と、該第1及び第2の圧力流体源の圧力流体を前記プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源に選択的に供給するバルブ装置とを含む、請求項1から6のいずれか1項に記載の試験装置。   And first and second pressure fluid sources having different pressures, and a valve device that selectively supplies the pressure fluid of the first and second pressure fluid sources to the drive source of the drive mechanism of the pusher mechanism; The test apparatus according to claim 1, comprising: さらに、圧力が互いに異なる少なくとも2つの圧力流体を前記プッシャー機構の前記駆動機構の駆動源に選択的に供給する電空レギュレータを含む、請求項1から6のいずれか1項に記載の試験装置。   The test apparatus according to any one of claims 1 to 6, further comprising an electropneumatic regulator that selectively supplies at least two pressure fluids having different pressures to a drive source of the drive mechanism of the pusher mechanism. さらに、前記パネル受けをZ方向へ移動させるZ移動機構を含む、請求項1からのいずれか1項に記載の試験装置。 Further includes a Z movement mechanism for moving the panel receiving the Z direction, the test apparatus according to any one of claims 1 to 8. さらに、前記パネル受けに配置された浮上装置であって、前記アライメント装置により前記被検査体を変位させるときに、該被検査体を前記パネル受け面から浮上させる浮上装置を含む、請求項1からのいずれか1項に記載の試験装置。 The levitation device further includes a levitation device disposed on the panel receiver, the levitation device floating the inspection object from the panel receiving surface when the alignment object is displaced by the alignment device. 10. The test apparatus according to any one of 9 above. 前記浮上装置は、一部が前記パネル受け面に対し突出及び退却可能のボールであって、前記パネル受けに配置されたボールと、該ボールの一部を前記パネル受け面に露出させるように付勢するばねとを含む、請求項10に記載の試験装置。 The levitation device is a part of a ball that can protrude and retract with respect to the panel receiving surface, and the ball disposed on the panel receiving member and a part of the ball are exposed to the panel receiving surface. The test apparatus according to claim 10 , comprising a biasing spring. 前記パネル受けは、前記パネル受け面に開放する開放部と、該開放部を、圧力流体の供給源及び減圧タンクの少なくとも一方に選択的に接続するバルブとを含む、請求項1から11のいずれか1項に記載の試験装置。 Receiving said panel includes an open portion which opens to the panel receiving surface, the opening portion, and a valve for selectively connecting at least one source and vacuum tank of the pressure fluid, one of claims 1 to 11 The test apparatus according to claim 1. さらに、前記パネル受けが配置されたテーブルベースであって、矩形の第1の開口を有するテーブルベースを含み、
前記パネル受けは、前記第1の開口に対向可能の及び前記第1の開口に相似する矩形の第2の開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成する4つの移動片であって、前記第2の開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置された4つの移動片を備える、請求項1から12のいずれか1項に記載の試験装置。
Further, a table base on which the panel receiver is disposed, including a table base having a rectangular first opening,
The panel receiver jointly forms a rectangular second opening that can be opposed to the first opening and is similar to the first opening, and four movements that jointly form the panel receiving surface a piece comprises four moving pieces the size disposed variably to the table base of said second opening, the test device according to any one of claims 1 to 12.
一対の移動片はY方向に間隔をおいてX方向に平行に伸びており、他の一対の移動片はX方向に間隔をおいてY方向に平行に伸びており、
前記移動片は、それらの移動片が、前記第2の開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成し、さらに前記第2の開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置されており、
隣り合う移動片は、Y方向又はX方向へ独立して移動することを妨げられることなく、結合されている、請求項13に記載の試験装置。
The pair of moving pieces extends in parallel to the X direction with an interval in the Y direction, and the other pair of moving pieces extends in parallel to the Y direction with an interval in the X direction.
The movable piece is formed by jointly forming the second opening and the panel receiving surface, and the movable piece can further change the size of the second opening. Placed in the base,
The test apparatus according to claim 13 , wherein the adjacent moving pieces are coupled without being prevented from independently moving in the Y direction or the X direction.
さらに、前記パネル受けが配置されたテーブルベースであって、矩形の第1の開口を有するテーブルベースと、該テーブルベースと前記パネル受けとの間に配置されて、前記移動片を前記X方向及びY方向に移動可能に前記テーブルベースに結合する結合機構とを含む、請求項1から12のいずれか1項に記載の試験装置。 A table base having the panel receiver disposed therein, the table base having a rectangular first opening; and the table base disposed between the table base and the panel receiver; and a coupling mechanism for coupling to movably the table base in the Y direction, the test apparatus according to any one of claims 1 to 12. さらに、前記結合機構を介して各移動片を前記X方向又はY方向へ移動させる移動片移動機構であって、前記テーブルベースに配置された移動片移動機構を含む、請求項15に記載の試験装置。 The test according to claim 15 , further comprising a moving piece moving mechanism for moving each moving piece in the X direction or the Y direction via the coupling mechanism, the moving piece moving mechanism being arranged on the table base. apparatus. 各移動片移動機構は、前記移動片を移動させる、回転角度位置を制御可能のモータを含む、請求項16に記載の試験装置。 The test apparatus according to claim 16 , wherein each moving piece moving mechanism includes a motor capable of controlling a rotational angle position for moving the moving piece. さらに、前記パネル受け及び前記プローブユニットを相寄り相離れる方向に移動させる上下移動機構を含む、請求項1から17のいずれか1項に記載の試験装置。 Further comprising a vertical movement mechanism for moving the panel receiving and the probe unit of Aiyori phase away direction, the test apparatus according to any one of claims 1 17. さらに、前記被検査体のマーク部を上方から撮影するように前記プローブユニットに支持されたカメラ装置を含む、請求項1から18のいずれか1項に記載の試験装置。 Moreover, the includes a camera device that is supported by the probe unit to photograph the mark portion of the inspection object from above, the test apparatus according to any one of claims 1 18. さらに、前記パネル受けを支持するフレームを含み、
前記プローブユニットは、前記フレーム又は前記パネル受けに支持されている、請求項1から19のいずれか1項に記載の試験装置。
And a frame for supporting the panel receiver,
The probe unit, the frame or is supported on receiving the panel, the test apparatus according to any one of claims 1 19.
さらに、前記プローブユニットを前記パネル受けに支持させるユニット支持機構を含み、
該ユニット支持機構は、前記X方向又はY方向へ移動可能に前記パネル受けに受けられた第1の移動体であって、Y方向又はX方向へ延びる第1の移動体と、前記X方向又はY方向とZ方向とに斜めに移動可能に前記第1の移動体に結合された第2の移動体であって、前記Y方向又はX方向へ延びる第2の移動体と、前記第2の移動体の最前進位置を規定するストッパと、前記第1の移動体を前記X方向又はY方向に移動させ、それにより前記第2の移動体を、前記X方向又はY方向に移動させると共に、Z方向に変位させるプローブ移動機構とを備え、
前記プローブユニットは前記第2の移動体に支持されている、請求項1から20のいずれか1項に記載の試験装置。
And a unit support mechanism for supporting the probe unit on the panel receiver.
The unit support mechanism is a first moving body that is received by the panel support so as to be movable in the X direction or the Y direction, the first moving body extending in the Y direction or the X direction, and the X direction or A second moving body coupled to the first moving body so as to be movable obliquely in the Y direction and the Z direction, the second moving body extending in the Y direction or the X direction, and the second moving body. A stopper that defines the most advanced position of the moving body, and the first moving body is moved in the X direction or Y direction, thereby moving the second moving body in the X direction or Y direction, and A probe moving mechanism for displacing in the Z direction,
The probe unit is supported by the second mobile, the test device according to any one of claims 1 to 20.
前記ユニット支持機構は、さらに、前記Y方向又はX方向へ延びる移動体受けであって、前記パネル受けに前記Y方向又はX方向へ移動可能に前記パネル受けに支持されて、前記第1の移動体を前記パネル受けに支持させる移動体受けと、該移動体受けをその長手方向に移動させて、前記パネル受けに対する前記Y方向又はX方向における位置を解除可能に維持するユニット位置調整装置とを含む、請求項21に記載の試験装置。 The unit support mechanism is further a movable body receiver extending in the Y direction or the X direction, and is supported by the panel receiver so as to be movable in the Y direction or the X direction by the panel receiver. A moving body receiver for supporting a body on the panel receiver, and a unit position adjusting device for moving the moving body receiver in a longitudinal direction thereof so that the position in the Y direction or the X direction with respect to the panel receiver is releasably maintained. The test apparatus according to claim 21 , comprising: 前記プローブユニットは、さらに、前記矩形の辺に沿って延びかつ前記ユニット支持機構に支持された支持ベースと、該支持ベースの長手方向に間隔をおいて該支持ベースにZ方向へ移動可能に支持されたプローブブロックであって、複数の前記接触子を支持するプローブブロックとを含む、請求項21及び22のいずれか1項に記載の試験装置。 The probe unit further extends along the side of the rectangle and is supported by the unit support mechanism, and is supported by the support base so as to be movable in the Z direction at intervals in the longitudinal direction of the support base. a probe blocks, and a probe block supporting a plurality of said contacts, test device according to any one of claims 21 and 22. 前記支持ベースは、Z方向へ延びる軸線の周りに角度的に回転可能にユニット支持機構に支持されており、
前記プローブユニットは、さらに、前記支持ベースを前記パネル受けに対し角度的に回転させて、前記Z方向へ延びる軸線の周りにおける前記パネル受けと前記プローブユニットとの位置関係を解除可能に維持する角度調整機構を備える、請求項23に記載の試験装置。
The support base is supported by a unit support mechanism so as to be angularly rotatable around an axis extending in the Z direction.
The probe unit further rotates the support base with respect to the panel receiver at an angle to maintain the positional relationship between the panel receiver and the probe unit releasably around an axis extending in the Z direction. The test apparatus according to claim 23 , comprising an adjustment mechanism.
各プローブ移動機構は、前記プローブブロックを、前記パネル受け面から後退した退避位置と、被検査体を前記アライメント装置により位置決めるためのアライメント位置と、前記接触子を被検査体の電極に接触させるコンタクト位置とに選択的に変位させて解除可能に維持する、位置制御可能のモータを含む、請求項21から24のいずれか1項に記載の試験装置。 Each probe moving mechanism brings the probe block into a retracted position retracted from the panel receiving surface, an alignment position for positioning the object to be inspected by the alignment device, and brings the contact into contact with an electrode of the object to be inspected. 25. A test apparatus according to any one of claims 21 to 24 , comprising a position-controllable motor that is selectively displaced to a contact position and is releasably maintained. 前記プローブユニットが、前記矩形の隣り合う2つの辺に対応する箇所のそれぞれに配置されている、請求項1から25のいずれか1項に記載の試験装置。 The test apparatus according to any one of claims 1 to 25 , wherein the probe unit is disposed at each of locations corresponding to two adjacent sides of the rectangle. 前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された複数の前記第1のプッシャー機構及び複数の前記第1の位置決め機構を含む、請求項1から26のいずれか1項に記載の試験装置。 The alignment apparatus includes a plurality of the first pusher mechanisms and a plurality of the plurality of first pusher mechanisms disposed on one and the other of the pair of opposing sides of the panel receiving surface at intervals in the extending direction of the corresponding sides, respectively. 27. The test apparatus according to any one of claims 1 to 26 , comprising a first positioning mechanism. 前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の前記第1のプッシャー機構及び一対の前記第1の位置決め機構を含む、請求項1から26のいずれか1項に記載の試験装置。 The alignment apparatus includes a pair of the first pusher mechanisms and a pair of the first pusher mechanisms disposed on one and the other of the pair of opposing sides of the panel receiving surface at intervals in the extending direction of the corresponding sides, respectively. 27. The test apparatus according to any one of claims 1 to 26 , comprising a first positioning mechanism. 前記アライメント装置は、前記パネル受け面の対向する一対の辺の前記他方に、対応する辺の延在方向に間隔をおいて配置された一対の前記第1の位置決め機構を含む、請求項1から26のいずれか1項に記載の試験装置。 The alignment apparatus includes a pair of the first positioning mechanisms arranged on the other side of the pair of opposing sides of the panel receiving surface at an interval in the extending direction of the corresponding side. 27. The test apparatus according to any one of 26 . 前記第1のプッシャー機構は、対応する辺の方向に間隔をおいた複数の前記押圧部材を備え、
前記第1のプッシャー機構の前記駆動機構は、前記押圧部材をX方向又はY方向に変位させる駆動源と、前記複数の押圧部材をY方向又はX方向に間隔をおいて支持する支持部材であって、Z方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記駆動源に支持された支持部材とを備える、請求項1から26のいずれか1項に記載の試験装置。」
The first pusher mechanism includes a plurality of the pressing members spaced in the direction of the corresponding side,
The drive mechanism of the first pusher mechanism is a drive source that displaces the pressing member in the X direction or the Y direction, and a support member that supports the plurality of pressing members at intervals in the Y direction or the X direction. The test apparatus according to any one of claims 1 to 26 , further comprising: a support member supported by the drive source so as to be rotatable about an axis extending in the Z direction. "
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