JP5629848B2 - 電解加工用ノズル、電解加工装置および電解加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、導電性の加工対象に電解液をフィルム状に出射しつつ、このフィルム状電解液と前記加工対象との間に電圧を加えて前記加工対象を電解加工する技術に関し、具体的には、前記加工対象に出射するフィルム状電解液を極肉薄とすることで、より微細な加工を実現するとともに加工精度を高くし、加えて電解加工用ノズル目詰まりを生じさせない電解加工用ノズル、電解加工装置および電解加工方法に関する。

ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）、マイクロマシーニング、微細加工の各技術分野では、たとえば微細な（たとえば、数から数十ミクロン径の）金属線材を高精度に加工して、微細部品や微細工具を製造する技術が必要とされている。

この種の微細部品や微細工具は、電解加工，加熱延伸等により製造することができる。たとえば、本発明者は、上記の微細工具のひとつであるマイクロソーワイヤーを製造する技術を既に提案している（特許文献１）。この技術は電解加工にかかるもので、フィルム状電解液を金属線材に接触させつつ、金属線材と電解液出射電解加工用ノズルとの間に電圧を加え、当該金属線材に複数の切り欠き（凹部）を形成している。

特許文献１において使用されている電解加工用ノズルでは、後述する図７（Ｂ）に示すように、流路がスリット状に形成され、流路の側壁の対向面同士は平行である。

特開２００９−１４８８７９号

ところで、フィルム状電解液により加工対象を加工する技術では、加工精度は、フィルム状電解液の肉厚に依存する。
電解加工用ノズルの流路を薄くすれば肉厚は薄くなるが、流路を薄くしすぎると目詰まりが生じ易くなる。目詰まりが生じたときは、たとえば電解加工用ノズルを廃棄し、または分解して目詰まりを解消したりしなければならない。

本発明の目的は、加工対象に出射するフィルム状電解液を極肉薄とすることで、より微細な加工を実現するとともに加工精度を高くし、しかも電解加工用ノズルの目詰まりを生じさせない電解加工技術を提供することにある。

本発明の電解加工用ノズルは、（１）から（５）を要旨とする。
（１） 出射口に至る流路断面が長方形（本発明では、両端が丸みを帯びた長方形を含む）の電解加工用ノズルであって、前記流路の幅が前記出射口に向けて先開きであることを特徴とする電解加工用ノズル。
この電解加工用ノズルは、典型的には出射口の輪郭が長方形または長方形に近い正方向で、かつ少なくとも出射口近傍の流路の出射方向（通常、出射口に垂直）に垂直な断面（出射口に平行な断面）が長方形をなすもので、前記長方形の長辺が出射口に近いほど長く構成される。

（２） 出射口に至る流路断面が長方形の電解加工用ノズルであって、前記流路の厚みが前記出射口に向けて先窄みであることを特徴とする電解加工用ノズル。
この電解加工用ノズルは、典型的には出射口の輪郭が正方向または長方形で、かつ少なくとも出射口近傍の流路の出射方向（通常、出射口に垂直）に垂直な断面（出射口に平行な断面）が長方形をなすもので、前記長方形の短辺が出射口に近いほど短く構成される。

（３） 出射口に至る流路断面が長方形の電解加工用ノズルであって、前記流路の幅が前記出射口に向けて先開きで、厚みが前記出射口に向けて先窄みであることを特徴とする電解加工用ノズル。
この電解加工用ノズルは、典型的には出射口の輪郭が正方向または長方形で、かつ少なくとも出射口近傍の流路の出射方向（通常、出射口に垂直）に垂直な断面（出射口に平行な断面）が長方形をなすもので、前記長方形の長辺が射口に近いほど長く構成され、短辺が出射口に近いほど短く構成される。

（１）から（３）の電解加工用ノズルは、典型的には、２つ以上の部材を結合することにより形成できる。
たとえば、これらの電解加工用ノズルは、流路形状の切り欠きを有する薄状体と、当該薄状体の両面側に設けた挟持材とを結合することにより形成することができる。上記の薄状体や挟持材は、金属等の導電材、合成樹脂，セラミック等の絶縁材により構成することができる。
また、これらの電解加工用ノズルは、２部材の少なくとも一方に流路形状の溝を形成しておき、２部材を結合することにより形成することもできる。この場合にも、これら２部材は、金属等の導電材、合成樹脂，セラミック等の絶縁材により構成することができる。
薄状体や挟持材、あるいは上記２部材を金属により構成した場合には、これらを電極として使用することができる。電解加工用ノズルを構成する全ての薄状体や挟持材、あるいは上記２部材を絶縁体により構成した場合には、給電子を適宜の箇所に設ける必要がある（図９参照）。

（４） 前記流路が出射方向を軸とした捩れを持つことを特徴とする（１）から（３）の何れかに記載の電解加工用ノズル。
この電解加工用ノズルは、流路形状の切り欠きを有する薄状体と、当が薄状体の両面側に設けた板状の挟持材との結合体を捩じることにより形成することができる。

本発明の電解加工装置は、（５）を要旨とする。
（５）（１）から（４）の何れかに記載の電解加工用ノズルと、
前記電解加工用ノズルに電解液を供給する電解液供給源と、
電解加工用ノズルから出射されるフィルム状電解液と導電性加工対象（ワーク）との間に電圧を加える電源と、
を備えたことを特徴とする電解加工装置。
本発明の電解加工方法は、（６）および（７）を要旨とする。

（６）電解加工用ノズルからフィルム状電解液を導電性の加工対象に向けて出射するとともに、前記フィルム状電解液と前記加工対象との間に電圧を加えて当該加工対象を加工（切削または堆積）する電解加工方法であって、
前記電解加工用ノズルとして（１）から（４）の何れかに記載の電解加工用ノズルを用いて、前記出射したフィルム状電解液を前記出射口から遠ざかるにつれて幅広かつ肉薄に形成し、所定の位置にて前記加工対象の加工を行うことを特徴とする電解加工方法。

（７） 電解加工用ノズルからフィルム状電解液を導電性の加工対象に向けて出射するとともに、前記フィルム状電解液と前記加工対象との間に電圧を加えて当該加工対象を加工（切削または堆積）する電解加工方法であって、
前記電解加工用ノズルとして（１）から（４）の何れかに記載の電解加工用ノズルを用いて、前記出射したフィルム状電解液を、
前記出射口から遠ざかるにつれて長手方向に幅広かつ肉薄とした後、表面張力により幅狭かつ肉厚となるリーフ形状の第１薄状片を形成し、
さらに前記出射口から遠ざかるにつれて長手方向に幅広かつ肉薄とし後、表面張力により幅狭かつ肉厚となる前記第１薄状片とは面の向きが９０°異なるリーフ形状の第２薄状片を形成する、
ことを特徴とする電解加工方法。

加工対象に出射するフィルム状電解液を極肉薄とすることで、より微細な加工を実現するとともに、加工精度を高くすることができる。

流路の幅が出射口に向けて先開きの本発明の電解加工用ノズルの実施形態を示す図であり、（Ａ）は分解図，（Ｂ）は組み立て図である。 流路の幅が出射口に向けて先開きの本発明の電解加工用ノズルの他の実施形態を示す図であり、（Ａ）は分解図，（Ｂ）は組み立て図である。 流路の厚みが前記出射口に向けて先窄みの本発明の電解加工用ノズルの実施形態を示す図であり、（Ａ）は分解図，（Ｂ）は組み立て図である。 流路の厚みが前記出射口に向けて先窄みの本発明の電解加工用ノズルの他の実施形態を示す図であり、（Ａ）は分解図，（Ｂ）は組み立て図である。 流路の幅が出射口に向けて先開きで、かつ厚みが出射口に向けて先窄みの本発明の電解加工用ノズルの実施形態を示す図であり、（Ａ）は分解図，（Ｂ）は組み立て図である。 流路の幅が出射口に向けて先開きで、かつ厚みが出射口に向けて先窄みの本発明の電解加工用ノズルの他の実施形態を示す図であり、（Ａ）は分解図，（Ｂ）は組み立て図である。 （Ａ）は本発明の電解加工用ノズルから出射するフィルム状電解液の形状の説明図、（Ｂ）は従来の電解加工用ノズルから出射するフィルム状電解液の形状の説明図である。 本発明の電解加工装置の一実施形態を示す説明図である。 図８の電解加工装置において使用されている、給電子を備えた電解加工用ノズルの説明図である。 図８の電解加工装置において使用されている電解液供給源の説明図である。 フィルム状電解液が加工対象に接触している様子を示す図であり、（Ａ）は電解液の表面張力を小さくすることにより回り込みを小さくした様子を示す図、（Ｂ）は電解液の粘性を大きくすることにより回り込みを大きくした様子を示す図である。 出射口から出射されたフィルム状電解液（リーフ）が出射口から遠ざかるときの幅と厚みを示す図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。 捩りを加えた本発明の電解加工用ノズルの実施形態を示す図であり、（Ａ）は分解図，（Ｂ）は組み立て図である。 捩りを加えた本発明の電解加工用ノズルの他の実施形態を示す図であり、（Ａ）は分解図，（Ｂ）は組み立て図である。

本発明の電解加工用ノズルの実施形態を、図１（Ａ）の分解図，図１（Ｂ）の組み立て図により説明する。
図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、電解加工用ノズル１は、幅が出射口に向けて先開きの出射方向に垂直な断面が長方形の流路（本実施形態では流路）Ｐとなる切り欠きを有する薄状体（薄板，シート等）と、この薄状体の両面側に設けた挟持材とを結合することにより形成される。

すなわち、図１（Ａ）に示すように、電解加工用ノズル１は、挟持材１１１と、薄板材１１２と、挟持材１１３とを結合（積層）することより構成されている。薄板材１１２は、流路Ｐとなる形状の切り欠きを有している。また、挟持材１１１，１１３は、薄板材１１２の両面側に設けられる。
なお、挟持材１１１、薄板材１１２、挟持材１１３には、液溜ＣＨを形成するための孔ｈ１，ｈ２，ｈ３が形成されている。
本実施形態では、これらの積層体は、保持部材１２１，１２２により保持されている。保持部材１２１には孔ＨＬが形成されており、この孔ＨＬから電解液ＬＱが電解加工用ノズル１に供給される。

図１（Ｂ）に示すように、電解加工用ノズル１の出射口ＯＵＴの輪郭は長方形（正方向としてもよい）で、かつ出射口ＯＵＴの近傍の流路Ｐの出射方向に垂直な断面（出射口ＯＵＴに平行な断面）は長方形である。また、流路Ｐは、その断面（出射口ＯＵＴに至る断面）の長辺が、出射口ＯＵＴに近いほど長くなるように構成されている。すなわち、電解加工用ノズル１の出射口ＯＵＴの近傍において、流路Ｐの厚みを形づくる両面が平行であり、流路Ｐの幅を形づくる両端面が出射口ＯＵＴに向かって開くように形成されている（開いた端面を符号ｗで示す）。

図２（Ａ）の分解図および図２（Ｂ）の組み立て図は、電解加工用ノズル１を流路溝形成部材１３１，１３２により構成し、流路溝形成部材１３２に流路Ｐとなる溝、および液溜ＣＨとなる溝を形成した例を示している。この例では、電解加工用ノズル１には背面側から電解液ＬＱが供給される。

本発明の電解加工用ノズルの他の実施形態を、図３（Ａ）の分解図，図３（Ｂ）の組み立て図により説明する。図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、電解加工用ノズル２は、流路Ｐを有する薄状体（薄板，シート等）と、この薄状体の両面に設けた流路Ｐの厚みが出射口ＯＵＴに向けて先窄みとなる形状の挟持材とを結合することにより形成される。

すなわち、図３（Ａ）に示すように、電解加工用ノズル２は、挟持材２１１と、薄板材２１２と、挟持材２１３とを結合（積層）することより構成されている。薄板材２１２は、流路Ｐとなる形状の切り欠きを有している。また、挟持材２１１，２１３は、薄板材２１２の両面側に設けられる。挟持材２１１，２１３の流路Ｐを形成する面には、出射口ＯＵＴに向けて流路を狭くするような傾斜Ｓが形成されている。
なお、挟持材２１１、薄板材２１２、挟持材２１３には、液溜ＣＨを形成するための孔ｈ１，ｈ２，ｈ３が形成されている。

本実施形態では、これらの積層体は、保持部材２２１，２２２により保持されている。保持部材２２１には孔ＨＬが形成されており、この孔ＨＬから電解液ＬＱが電解加工用ノズル１に供給される。

図３（Ｂ）に示すように、図１（Ｂ）に示した電解加工用ノズル１と同様、電解加工用ノズル２の出射口ＯＵＴの輪郭は長方形で、かつ出射口ＯＵＴの近傍の流路Ｐの出射方向に垂直な断面が長方形である。

また、流路Ｐは、その断面の短辺が出射口ＯＵＴに近いほど短くなるように構成されている。すなわち、電解加工用ノズル２の出射口ＯＵＴの近傍において、流路Ｐの幅を形づくる両端面が平行であり、流路Ｐの厚みを形づくる両面が出射口ＯＵＴに向かって先窄みとなるように形成されている。

図４（Ａ）の分解図および図４（Ｂ）の組み立て図は、電解加工用ノズル２を流路溝形成部材２３１，２３２により構成し、それぞれの対向面に流路Ｐとなる溝、および液溜ＣＨとなる溝を形成した例を示している。この例では、電解加工用ノズル２の背面側から電解液ＬＱが供給される。

本発明の電解加工用ノズルのさらに他の実施形態を、図５（Ａ）の分解図，図５（Ｂ）の組み立て図により説明する。図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、電解加工用ノズル３は、出射口に向けて幅が先開きの流路Ｐを構成する薄状体（薄板，シート等）と、この薄状体の両面に設けた流路の厚みが出射口ＯＵＴに向けて先窄みとなる形状の挟持材とを結合することにより形成される。

すなわち、図５（Ａ）に示すように、電解加工用ノズル３は、挟持材３１１と、薄板材３１２と、挟持材３１３とを結合（積層）することにより構成されている。薄板材３１２は、流路Ｐとなる形状の先開きとなる切り欠きを有している（開いた端面を符号ｗで示す）。また、挟持材３１１，３１３は、薄板材３１２の両面側に設けられる。挟持材３１１，３１３の流路Ｐを形成する面には、出射口ＯＵＴに向けて流路を狭くするような傾斜Ｓが形成されている。
なお、挟持材３１１、薄板材３１２、挟持材３１３には、液溜ＣＨを形成するための孔ｈ１，ｈ２，ｈ３が形成されている。

図５（Ｂ）に示すように、電解加工用ノズル３の出射口ＯＵＴの輪郭は長方形（正方向としてもよい）で、かつ出射口ＯＵＴの近傍の流路Ｐの出射方向に垂直な断面が長方形である。

また、流路Ｐは、その断面の長辺が出射口ＯＵＴに近いほど長く、その断面の短辺が出射口ＯＵＴに近いほど短くなるように構成されている。すなわち、電解加工用ノズル３の出射口ＯＵＴの近傍において、流路Ｐの幅を形づくる両端面が出射口ＯＵＴに向かって先開きであり、流路Ｐの厚みを形づくる両面が出射口ＯＵＴに向かって先窄みとなるように形成されている。

図６（Ａ）の分解図および図６（Ｂ）の組み立て図は、電解加工用ノズル３を流路溝形成部材３３１，３３２により構成し、それぞれの対向面に流路Ｐとなる溝、および液溜ＣＨとなる溝を形成した例を示している。この例では、電解加工用ノズル３の背面側から電解液ＬＱが供給される。

図１の挟持材１１１，１１３，薄板材１１２、図２の流路溝形成部材１３１，１３２、図３の挟持材２１１，２１３，薄板材２１２、図４の流路溝形成部材２３１，２３２、図５の挟持材３１１，３１３，薄板材３１２、図６の流路溝形成部材３３１，３３２として、導電材を用いることができる。この導電材は、給電子として機能することができ、電解液ＬＱの種類に応じて、銅，鉄，ステンレス，グラファイト，白金等が使用される。

図１の挟持材１１１，１１３，薄板材１１２、図２の流路溝形成部材１３１，１３２、図３の挟持材２１１，２１３，薄板材２１２、図４の流路溝形成部材２３１，２３２、図５の挟持材３１１，３１３，薄板材３１２、図６の流路溝形成部材３３１，３３２として、絶縁材を用いることができる。この絶縁材として、電解液ＬＱの種類に応じて、たとえばポリテトラフルオロエチレンといったフッ素系樹脂、セラミック等使用することができる。

図１（Ｂ），図２（Ｂ）の電解加工用ノズル１、図３（Ｂ），図４（Ｂ）の電解加工用ノズル２または図５（Ｂ），図６（Ｂ）の電解加工用ノズル３を使用することで、フィルム状電解液ＦＬＱを出射することができる
図７（Ｂ）に示す従来の電解加工用ノズル９では、フィルム状電解液ＦＬＱの速度は、出射されてから加工対象Ｏに到達するまで大きくは変化しないとすると、フィルム状電解液ＦＬＱの幅はほとんど変化しないので、フィルム状電解液ＦＬＱの肉厚に変化はない。なお、（Ｂ−１）は電解液出射時の電解加工用ノズル９の正面図、（Ｂ−２）は電解液出射時の電解加工用ノズル９の側面図、（Ｂ−３）は出射口ＯＵＴ側から見た電解加工用ノズル９の平面図である。

これに対して、図１（Ｂ），図２（Ｂ）の電解加工用ノズル１、図３（Ｂ），図４（Ｂ）の電解加工用ノズル２または図５（Ｂ），図６（Ｂ）の電解加工用ノズル３から出射するフィルム状電解液ＦＬＱは、図７（Ａ）に示すように、フィルム状電解液ＦＬＱは幅が大きくなるとともに肉厚が薄くなる。この場合にも、電解液ＬＱの速度は、出射されて加工対象Ｏに到達するまで大きくは変化しないとする。なお、（Ａ−１）は電解液出射時の電解加工用ノズル１，２，３の正面図、（Ａ−２）は電解液出射時の電解加工用ノズル１，２，３の側面図、（Ａ−３）は出射口ＯＵＴ側から見た電解加工用ノズル１，２，３の平面図である。

図８は本発明の電解加工装置の一実施形態を示す説明図である。図８において、電解加工装置５は、電解加工用ノズル５１と、電解液供給源５２と、電源５３と、加工対象支持回転ジグ５４と、加工対象移動機構５５と、制御装置５６と、電解液槽５７とを備えている。

電解加工用ノズル５１として、図１から図６に示した電解加工用ノズル１，２または３が用いられる。電解加工装置５が、電解切削しか行わないのであれば、通常は、電解液ＬＱに金属イオンが含まれない。したがって、電解加工用ノズル５１の電解液ＬＱに接する部分を金属などの導電性の材料で作り、電解加工用ノズル５１に直接通電することができる。
電解加工装置５が、電解メッキを行う場合において、電解加工用ノズル５１の電解液に接する金属部分が消耗すること（溶けてしまうこと）もあろうが、電解加工用ノズル５１の電解液ＬＱに接する金属部分をグラファイトにより構成するか、白金メッキすることで、当該消耗を防止できる。

電解液ＬＱに金属イオンを含むものを用いて、電解切削と電解メッキとを両方行う場合には、図９に示すように、給電子ＥＰを備えた電解加工用ノズル５１を使用することができる。図９に示した電解加工用ノズル５１は、非導電性材料（たとえば、プラスチックやセラミックなど)から構成されている。電解加工用ノズル５１は、液溜ＣＨに達するように給電子ＥＰが挿通されている。

図９では、取り込まれた電解液ＬＱは液溜ＣＨに蓄積され、スリット状の出射口ＯＵＴからフィルム状電解液ＦＬＱとして出射される。また、電解加工用ノズル５１には、液溜ＣＨに達するように給電子ＥＰが挿通されている。この場合には、切削加工をしたことにより、給電子ＥＰに、電解液ＬＱに含まれる金属イオンが成膜されたときは、適時、加工時とは逆極性の電圧を、給電子ＥＰと加工対象Ｏとの間に加えることにより、給電子ＥＰのクリーニングを行うことができる。

なお、給電子ＥＰとして、グラファイトや、イオン化傾向が小さい金属（たとえば白金）を使用すれば、電極の消耗を防止ないし低減することができる。
電解液供給源５２は、電解液槽５７に蓄えられた電解液ＬＱを電解加工用ノズル５１に循環供給する。電解液供給源５２は、図１０に示すように、ポンプ圧ＰＲＳＳにより電解液ＬＱの出射圧をつくり、電解加工用ノズル５１から電解液ＬＱを出射している。電源５３は、フィルム状電解液ＦＬＱと導電性の加工対象Ｏとの間に加工電圧を加える。

加工対象支持回転ジグ５４は、加工対象Ｏを支持し加工対象Ｏをフィルム状電解液ＦＬＱの面に交差する軸Ｌ（図８では直交軸）を中心に回転させる。加工対象移動機構５５は、電解加工用ノズル５１に対し（すなわちフィルム状電解液ＦＬＱに対し）加工対象Ｏを軸Ｌに沿って相対移動させることができる。制御装置５６は、加工電圧および／または送り速度を変化させることができる。電解液槽５７には、使用済みの電解液ＬＱが蓄えられる。

電解加工装置５では、電解液ＬＱをフィルム状にして加工対象Ｏに向けて出射させつつ、フィルム状電解液ＦＬＱと加工対象Ｏとの間に電圧を加える。これにより、フィルム状電解液ＦＬＱが加工対象Ｏに接触する線状部分を電解加工することができる。

加工量は電気量（すなわち電流と加工時間の積）に比例するので、電解加工用ノズル５１と加工対象Ｏの位置に関係なく、電気量によって切り込みの制御が可能である。したがって、旋盤加工などに比べ当たりが不要であり、定電流で加工することで一定の体積加工速度が得られる。

図１１（Ａ），（Ｂ）は、フィルム状電解液ＦＬＱが加工対象Ｏに接触している様子を示している。図１１（Ａ），（Ｂ）では、説明の便宜上、加工対象Ｏが電解切削や電解メッキがされていない状態で示す。電解液ＬＱの表面張力や粘性を調整することにより、回り込みを調整できる。すなわち、図１１（Ａ）に示すように電解液ＬＱの表面張力を小さくすることにより回り込みを小さくできるし、図１１（Ｂ）に示すように電解液ＬＱの粘性を大きくすることにより回り込みを大きくできる。

本発明の電解加工方法では、出射口ＯＵＴから所定の位置にて加工対象Ｏの加工を行うことができる。図１２に示すように、出射口ＯＵＴから出射されたフィルム状電解液ＦＬＱ（リーフＬＦ１）は、出射口ＯＵＴから遠ざかるにつれて幅広かつ肉薄となる。リーフＬＦ１は、出射口ＯＵＴからさらに遠ざかると、最も幅広で肉薄となる状態を経て幅狭かつ肉厚となる状態に遷移する。これは表面張力が影響していると考えられる。リーフＬＦ１は、出射口ＯＵＴからさらにまた遠ざかるとは最も幅狭で最も肉厚となる状態（リーフＬＦ１の節）を経て、幅広かつ肉薄の状態（リーフＬＦ２）に遷移する。

図１２に示した方法では、加工対象Ｏの姿勢制御が不十分であるような場合に、加工位置Ｄを調整することで、フィルム状電解液ＦＬＱが加工対象Ｏに当たる角度を９０°回転でき、加工環境が向上する。

本発明の電解加工用ノズルに捩りを加えた実施形態を、図１３（Ａ）の分解図および図１３（Ｂ）の組み立て図により説明する。
図１３（Ａ），（Ｂ）に示すように、本実施形態では電解加工用ノズル４は、流路Ｐが出射方向を軸とした捩れを持っている。

本実施形態の電解加工用ノズル４は、図１（Ｂ）に示した電解加工用ノズル１に捩じれを加えて形成することができる。図１３（Ａ），（Ｂ）において、挟持材４１１、薄板材４１２、挟持材４１３は、図１（Ａ），（Ｂ）の挟持材１１１、薄板材１１２、挟持材１１３に対応する。液溜ＣＨを形成するための孔ｈ１，ｈ２，ｈ３、出射口ＯＵＴは、図１（Ａ），（Ｂ）の構成と同じである。

図１３（Ａ），（Ｂ）の電解加工用ノズル４を使用することでも、加工対象Ｏの姿勢制御が不十分であるような場合に、加工位置Ｄを調整することで、フィルム状電解液ＦＬＱが加工対象Ｏに当たる角度を適宜に回転でき、加工環境が向上する。

図１４（Ａ）の分解図および図１４（Ｂ）の組み立て図は、電解加工用ノズル４を流路溝形成部材４３１，４３２により構成し、それぞれの対向面に流路Ｐとなる溝、および液溜ＣＨとなる溝を形成した例を示している。この例では、電解加工用ノズル４の背面側から電解液ＬＱが供給される。

１，２，３，４ 電解加工用ノズル
５ 電解加工装置
５１ 電解加工用ノズル
５２ 電解液供給源
５３ 電源
５４ 加工対象支持回転ジグ
５５ 加工対象移動機構
５６ 制御装置
５７ 電解液槽
１１１，１１３，２１１，２１３，３１１，３１３，４１１，４１３ 挟持材
１１２，２１２，３１２，４１２ 薄板材
１２１，１２２，２２１，２２２，３２１，３２２，４２１，４２２， 保持部材
１３１，１３２，２３１，２３２，３３１，３３２，４３１，４３２ 流路溝形成部材
ＣＨ 液溜
Ｄ 加工位置
ＥＰ 給電子
ＦＬＱ フィルム状電解液
Ｐ 流路
ｈ１，ｈ２，ｈ３ 孔
ＨＬ 電解液供給用の孔
Ｌ 軸
ＬＦ１，ＬＦ２ リーフ
ＬＱ 電解液
Ｏ 加工対象
ＯＵＴ 出射口
Ｐ 流路
ＰＲＳＳ ポンプ圧
Ｓ 傾斜
ｗ 流路の端面

Claims (6)

1. 出射口に至る流路の断面が長方形で、かつ前記流路の幅が前記出射口に向けて先開きである電解加工用ノズルであって、
   幅が前記出射口に向けて先開きの流路形状の切り欠きが形成された薄板材と、当該薄板材の両面側に設けられた２つの挟持材とから構成され、
   または、
   対向面に前記出射口に向けて幅が先開きの流路となる溝が形成された２つの部材から構成された
   ことを特徴とする電解加工用ノズル。
2. 出射口に至る流路の断面が長方形で、かつ前記流路の幅が前記出射口に向けて先開きで、厚みが前記出射口に向けて先窄みである電解加工用ノズルであって、
   幅が前記出射口に向けて先開きの流路形状の切り欠きが形成された薄板材と、当該薄板材の両面側に設けられ、前記流路を形成する面に前記出射口に向けて当該流路を狭くする傾斜が形成された２つの挟持材とから構成され、
   または、
   対向面に前記出射口に向けて幅が先開きの流路となる溝が形成され、かつ出射口に向けて流路を狭くする傾斜が形成された２つの挟持材とから構成された
   ことを特徴とする電解加工用ノズル。
3. 前記流路が出射方向を軸とした捩れを持つことを特徴とする請求項１または２に記載の電解加工用ノズル。
4. 請求項１から３の何れかに記載の電解加工用ノズルと、
   電解加工用ノズルに電解液を供給する電解液供給源と、
   前記電解加工用ノズルから出射されるフィルム状電解液と導電性加工対象との間に電圧を加える電源と、
   を備えたことを特徴とする電解加工装置。
5. 電解加工用ノズルからフィルム状電解液を導電性の加工対象に向けて出射するとともに、前記フィルム状電解液と前記加工対象との間に電圧を加えて当該加工対象を加工する電解加工方法であって、
   前記電解加工用ノズルとして請求項１から３の何れかに記載の電解加工用ノズルを用いて、前記出射したフィルム状電解液を、出射口から遠ざかるにつれて幅広かつ肉薄に形成し、所定の位置にて前記加工対象の加工を行うことを特徴とする電解加工方法。
6. 電解加工用ノズルからフィルム状電解液を導電性の加工対象に向けて出射するとともに、前記フィルム状電解液と前記加工対象との間に電圧を加えて当該加工対象を加工する電解加工方法であって、
   前記電解加工用ノズルとして請求項１から３の何れかに記載の電解加工用ノズルを用いて、前記出射したフィルム状電解液を、出射口から遠ざかるにつれて長手方向に幅広かつ肉薄とした後、表面張力により幅狭かつ肉厚となるリーフ形状の第１薄状片を形成し、
   さらに前記出射口から遠ざかるにつれて長手方向に幅広かつ肉薄とし後、表面張力により幅狭かつ肉厚となる前記第１薄状片とは面の向きが９０・異なるリーフ形状の第２薄状片を形成する、
   ことを特徴とする電解加工方法。