JP5622499B2 - 電子デバイス用エピタキシャル基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
(1)Si単結晶基板と、該Si単結晶基板上に形成した絶縁層としてのバッファと、該バッファ上に複数層のIII族窒化物層をエピタキシャル成長させて順次積層形成した、チャネル層および電子供給層を有する主積層体とを具え、横方向を電流導通方向とする電子デバイス用エピタキシャル基板であって、前記バッファは、前記Si単結晶基板と接する初期成長層および該初期成長層上の超格子多層構造からなる超格子積層体を少なくとも有し、前記初期成長層はAlN材料からなり、かつ前記超格子積層体はBa1Alb1Gac1Ind1N(0≦a1≦1, 0≦b1≦1, 0≦c1≦1, 0≦d1≦1, a1+b1+c1+d1=1, 但し、b 1 およびc 1 がともに0の場合は除く。)材料からなる第1層および該第1層とはバンドギャップの異なるBa2Alb2Gac2Ind2N(0≦a2≦1, 0≦b2≦1, 0≦c2≦1, 0≦d2≦1, a2+b2+c2+d2=1, 但し、b 2 およびc 2 がともに0の場合は除く。)材料からなる第2層を交互に積層してなり、前記超格子積層体と、前記主積層体を構成するチャネル層のバッファ側の部分は、ともにC濃度が1×1018/cm3以上であり、かつ前記主積層体を構成するチャネル層の電子供給層側の部分は、C濃度が4×10 16 /cm 3 以下であることを特徴とする電子デバイス用エピタキシャル基板。
1)成膜温度を下げること、および
2)初期成長層AlNの島状成長を抑制し、二次元成長を促進すること
が重要となる。上記2)を実現するためには、Si多結晶基板表面の過度な窒化を抑制し、窒化膜厚を1nmより小さくするか、または窒化しないことが望ましい。Si単結晶基板表面を過度に窒化してしまうと、基板最表面での原料拡散速度が速くなり、AlNが島状成長してしまう結果、初期成長時の基板露出部分より、Al,GaといったIII族原料が拡散してしまうと推測されるからである。
比抵抗がそれぞれ1×10-1Ω・cm,1×10Ω・cm,2×103Ω・cm,1×104Ω・cmの600μm厚の(111)面4インチSi単結晶基板上に、初期成長層(AlN材料:厚さ100nm)および超格子積層体(AlN:膜厚4nmとAl0.15Ga0.85N:膜厚25nm、合計85層)を成長させてバッファを形成し、この超格子積層体上にチャネル層(GaN材料:厚さ1.5μm)および電子供給層(Al0.25Ga0.75N材料:厚さ20nm)をエピタキシャル成長させてHEMT構造の主積層体を形成して試料1〜4を得た。超格子積層体のC濃度を変化させ、主積層体を構成するチャネル層のバッファ側の部分のC濃度は、いずれの結果も、1.5〜2.0×1018/cm3の範囲であった。また、チャネル層の電子供給層側の部分は、C濃度が0.8〜3.5×1016/cm3の範囲であった。各層の成長温度、圧力を表1に示す。表中P1を調整することによりC濃度を調整し、成膜圧力を下げることによりC濃度を増加させている。成長方法としてはMOCVD法を使用し、III族原料としては、TMA(トリメチルアルミニウム)・TMG(トリメチルガリウム)、V族原料としてはアンモニアを用い、キャリアガスとして、水素および窒素ガスを用いた。ここでいう成膜温度は、成長中に放射温度計を用いて測定した、基板自体の温度を意味する。なお、C濃度のSIMS測定は、エピタキシャル層側からエッチングを行い、Cameca製の測定装置で、イオン源としてCs−を用い、イオンエネルギーは8keVで行った。
初期成長層を700℃で成長したGaN材料(厚さ:20nm)で形成し、各層の成長温度、圧力を表2に示す条件で行ったこと以外は、実験例1の試料2と同様の方法により試料5を作製した。
超格子積層体の成長圧力を10kPaとして、主積層体のバッファ側の部分のC濃度を変化させ、各層の成長温度、圧力を表3に示す条件で行ったこと以外は、実験例1の試料1〜4と同様の方法により試料6〜9を作製した。表中P2を調整することによりC濃度を調整し、成膜圧力を下げることによりC濃度を増加させている。超格子積層体のC濃度は、いずれの結果も1.5〜2.5×1018/cm3の範囲であった。
比抵抗6×103Ω・cmの600μm厚の(111)面4インチSi単結晶基板上に、初期窒化層の形成を抑制しつつ、初期成長層(AlN材料:厚さ100nm)および超格子積層体(AlN:膜厚4nmとAl0.15Ga0.85N:膜厚25nm、合計85層)を成長させてバッファを形成し、この超格子積層体上にチャネル層(GaN材料:厚さ1.5μm)および電子供給層(Al0.25Ga0.75N材料:厚さ20nm)を、成長圧力、成長温度を表4の条件でエピタキシャル成長させ、HEMT構造の主積層体を形成して試料10を得た。超格子積層体のC濃度は2.0×1018/cm3であり、主積層体のバッファ側の0.2μm厚の部分のC濃度は3.0×1018/cm3であった。また、チャネル層の電子供給層側の部分は、C濃度は1×1016/cm3としている。
比抵抗5×103Ω・cmの600μm厚の(111)面4インチSi単結晶基板上に、初期成長層成長開始前に、アンモニアガスを、キャリアガスである水素ガスに対し、10%含有したガスのみを5分間1050℃で流すことにより、初期窒化層を意図的に形成した以外は、試料2と同様に試料14を作製した。
初期成長層からチャネル層の成長温度を表5に示す条件で上昇させた以外は、試料10と同様に試料15を作製した。
2 Si単結晶基板
3 バッファ
4 主積層体
4a チャネル層
4b 電子供給層
5 初期成長層
6 超格子積層体
6a 第1層
6b 第2層
Claims (5)
- Si単結晶基板と、該Si単結晶基板上に形成した絶縁層としてのバッファと、該バッファ上に複数層のIII族窒化物層をエピタキシャル成長させて順次積層形成した、チャネル層および電子供給層を有する主積層体とを具え、横方向を電流導通方向とする電子デバイス用エピタキシャル基板であって、
前記バッファは、前記Si単結晶基板と接する初期成長層および該初期成長層上の超格子多層構造からなる超格子積層体を少なくとも有し、
前記初期成長層はAlN材料からなり、かつ前記超格子積層体はBa1Alb1Gac1Ind1N(0≦a1≦1, 0≦b1≦1, 0≦c1≦1, 0≦d1≦1, a1+b1+c1+d1=1, 但し、b 1 およびc 1 がともに0の場合は除く。)材料からなる第1層および該第1層とはバンドギャップの異なるBa2Alb2Gac2Ind2N(0≦a2≦1, 0≦b2≦1, 0≦c2≦1, 0≦d2≦1, a2+b2+c2+d2=1, 但し、b 2 およびc 2 がともに0の場合は除く。)材料からなる第2層を交互に積層してなり、
前記超格子積層体と、前記主積層体を構成するチャネル層のバッファ側の部分は、ともにC濃度が1×1018/cm3以上であり、かつ
前記主積層体を構成するチャネル層の電子供給層側の部分は、C濃度が4×10 16 /cm 3 以下であることを特徴とする電子デバイス用エピタキシャル基板。 - 前記第1層がAlN材料からなり、前記第2層がAlb2Gac2N(a2=0, 0<b2≦0.5,0.5≦c2<1,d2=0)材料からなる請求項1に記載の電子デバイス用エピタキシャル基板。
- 前記Si単結晶基板は、比抵抗が1000Ω・cm以上で、前記初期成長層から0.1μmの深さまでのIII族原子の合計の最大濃度が1×1016/cm3以下であり、かつ前記初期成長層から0.3μmの深さの位置でのIII族原子の合計濃度が1×1015/cm3以下である請求項1または2に記載の電子デバイス用エピタキシャル基板。
- Si単結晶基板上に、絶縁層としてのバッファと、該バッファ上に複数層のIII族窒化物層をエピタキシャル成長させて、チャネル層および電子供給層を有する主積層体とを順に形成した、横方向を電流導通方向とする電子デバイス用エピタキシャル基板の製造方法であって、
前記バッファは、前記Si単結晶基板と接する初期成長層および該初期成長層上の超格子多層構造からなる超格子積層体を少なくとも有し、
前記初期成長層はAlN材料からなり、かつ前記超格子積層体はBa1Alb1Gac1Ind1N(0≦a1≦1, 0≦b1≦1, 0≦c1≦1, 0≦d1≦1, a1+b1+c1+d1=1, 但し、b 1 およびc 1 がともに0の場合は除く。)材料からなる第1層および該第1層とはバンドギャップの異なるBa2Alb2Gac2Ind2N(0≦a2≦1, 0≦b2≦1, 0≦c2≦1, 0≦d2≦1, a2+b2+c2+d2=1, 但し、b 2 およびc 2 がともに0の場合は除く。)材料からなる第2層を交互に積層してなり、
前記超格子積層体と、前記主積層体を構成するチャネル層のバッファ側の部分は、ともにC濃度が1018/cm3以上となるよう形成し、かつ、
前記主積層体を構成するチャネル層の電子供給層側の部分は、C濃度が4×10 16 /cm 3 以下となるよう形成することを特徴とする電子デバイス用エピタキシャル基板の製造方法。 - 前記Si単結晶基板は、比抵抗が1000Ω・cm以上で、前記初期成長層から0.1μmの深さまでのIII族原子の合計の最大濃度が1×1016/cm3以下であり、かつ前記初期成長層から0.3μmの深さの位置でのIII族原子の合計濃度が1×1015/cm3以下となるよう形成される請求項4に記載の電子デバイス用エピタキシャル基板の製造方法。
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