JP5613034B2 - 半導体チップの特性測定システム及びチップ特性測定方法 - Google Patents
半導体チップの特性測定システム及びチップ特性測定方法 Download PDFInfo
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図1は本発明の第1の実施例として特性測定システムを概略的に示している。この特性測定システムは、図1に示すようにZ−θステージ1と、X−Yステージ2とを備えている。Z−θステージ1はダイシング後のウエハが載置されるようにされており、その載置部分をZ軸方向(垂直方向)に移動し、また、その角度θを載置平面方向において変化させることができる。X−Yステージ2はZ−θステージ1の低部に連結しており、Z−θステージ1をX軸方向及びY軸方向に移動させることができる。Z−θステージ1及びX−Yステージ2各々の制御は制御回路5によって実行される。
2 X−Yステージ
3 プローブカード
4 カメラ
5 制御回路
11 ウエハ
14 フィルムフレーム
Claims (10)
- 表面にダイシングテープが貼り付けられたウエハを裏面側から個片化して切り出された複数の半導体チップの電気的特性を、前記複数の半導体チップが前記ダイシングテープに貼り付けられた状態で測定する特性測定システムであって、
前記複数の半導体チップのうちの前記個片化により不規則となった互いに隣接する2以上の半導体チップの配置間隔を、前記ダイシングテープを介して前記2以上の半導体チップの各々毎に定まる量だけ前記2以上の半導体チップの各々の位置及び傾きを移動させることによって、調整する配置間隔調整手段と、
前記配置間隔を調整した前記2以上の半導体チップに対して同時に電気的特性を測定する測定手段と、を有することを特徴とする半導体チップの特性測定システム。 - 前記複数の半導体チップの各々の配置を認識する認識手段を備え、
前記2以上の半導体チップの配置間隔の調整は、前記認識手段により認識した前記複数の半導体チップの配置に応じて行うことを特徴とする請求項1に記載の特性測定システム。 - 前記配置間隔調整手段は、前記複数の半導体チップの各々を前記ダイシングテープを介して個別に吸引し、かつ個別に駆動可能な複数の吸引手段を備え、
前記2以上の半導体チップの各々の配置間隔の調整は、前記吸引手段を駆動させることにより行うことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の特性測定システム。 - 前記配置間隔調整手段は、互いに隣接する前記複数の半導体チップの間に設けられた吸引手段を備え、
前記2以上の半導体チップの各々の配置間隔の調整は、前記吸引手段により互いに隣接する前記2以上の半導体チップの間に配置された前記ダイシングテープを吸引することで行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の特性測定システム。 - 前記配置間隔調整手段は、前記複数の半導体チップを吸引する吸引手段と、互いに隣接する前記複数の半導体チップの間に設けられた突起部とを備え、
前記2以上の半導体チップの各々の配置間隔の調整は、前記吸引手段により前記2以上の半導体チップを吸引して隣接する前記2以上の半導体チップの間に位置する前記ダイシングテープを前記突起部によって押し上げることで行うことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の特性測定システム。 - 表面にダイシングテープが貼り付けられたウエハを裏面側から個片化して、複数の半導体チップを前記ダイシングテープに貼り付けられた状態で切り出すウエハ個片化ステップと、
前記複数の半導体チップのうちの前記ウエハ個片化ステップにより不規則となった互いに隣接する少なくとも2以上の半導体チップの配置間隔を、前記ウエハの裏面側から前記ダイシングテープを介して前記2以上の半導体チップの各々毎に定まる量だけ前記2以上の半導体チップの各々の位置及び傾きを移動させることによって、調整する配置間隔調整ステップと、
前記配置間隔調整ステップによって配置間隔が調整された前記2以上の半導体チップに対して、一体的に形成された測定手段を用いて同時に電気的特性を測定する電気的特性測定ステップと、を有することを特徴とする半導体チップの電気的特性測定方法。 - 前記配置間隔調整ステップにおいては、互いに隣接する前記2以上の半導体チップの各々を前記ダイシングテープを介して個別に吸引しかつ個別に駆動可能な複数の吸引手段を用いて、前記吸引手段を駆動させることにより前記2以上の半導体チップの各々の配置間隔を調整することを特徴とする請求項6記載の電気的特性測定方法。
- 前記配置間隔調整ステップにおいては、互いに隣接する前記複数の半導体チップの間に設けられた吸引手段によって互いに隣接する前記2以上の半導体チップの間に配置された前記ダイシングテープを吸引することで前記2以上の半導体チップの各々の配置間隔の調整を行うことを特徴とする請求項6又は請求項7記載の電気的特性測定方法。
- 前記複数の半導体チップの配置間隔の調整は、互いに隣接する前記2以上の半導体チップを互いに密接させて行うことを特徴とする請求項7又は請求項8記載の電気的特性測定方法。
- 前記配置間隔調整ステップにおいては、前記複数の半導体チップを吸引する吸引手段と、互いに隣接する前記複数の半導体チップの間に設けられた突起部とを用いて、前記吸引手段により前記2以上の半導体チップを吸引して隣接する前記2以上の半導体チップの間に位置する前記ダイシングテープを前記突起部によって押し上げることで前記2以上の半導体チップの各々の配置間隔の調整を行うことを特徴とする請求項6記載の電気的特性測定方法。
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