JP5602493B2 - 真空弁 - Google Patents
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Description
従来、この種の真空弁として、下記の特許文献1に記載された真空弁100がある。図10に、真空弁100の断面図を示す。図11に、真空弁100の側面図を示す。
(真空弁の構成)
図10に示すように、真空弁100は、弁部111とシリンダ部112に分けられる。
弁部111は、弁本体131により構成され、弁本体131の下面には、真空チャンバ(不図示)に接続する第1流路132が形成されている略円筒形状の第1流路部141を備える。弁本体131の内部には、弁室137が形成され、第1流路132との接続部に弁孔136が形成され、弁孔136の周辺部には弁座134が形成されている。
また、弁本体131の右側面には、真空ポンプ(不図示)に接続する第2流路133が形成されている略円筒形状の第2流路部142を備える。弁室137と第2流路133の接続部に第2流路連通入口145が形成されている。第2流路133の第2流路連通入口145の反対側には、第2流路連通出口146が形成されている。
シリンダ部112は、摺動可能なピストン122を有し、ピストン122には、可動軸123が固設され、可動軸123の下端には弁体124が固設されている。
シリンダ部112にエアが挿入されると、ピストン122は、弁座134とは反対の方向に摺動し、可動軸123及び弁体124を連動させる。それにより、弁体124は、弁座134から離間する。
弁体124が弁座134から離間すると、第1流路132から流入した流体が、弁孔136、弁室137、第2流路連通入口145を介して、第2流路133へ流入する。
すなわち、チャンバと真空ポンプの間の真空弁100のコンダクタンスが小さいとチャンバ内を真空引きし、真空とするために多くの時間が掛かるため問題となる。
具体的には、真空弁100は、弁孔136と第2流路連通入口145は、同じ流路面積を有するが、第2流路連通入口145から、流体が流出する際には、図10に示すように、弁体124が第2流路連通入口145の中心辺りまであり、流路面積は半分程度となっている。第2流路連通入口145の流路面積が弁孔136と比べて半分程度である
と、流れが悪くなりコンダクタンスも小さくなるため問題となる。
さらに、図12に、図10に示す真空弁のCC断面図を示す。図12に示すように、第2流路連通入口145では、第2流路連通入口145の流路幅が弁座134に近づくほど小さいため、弁室137に流入した流体が第2流路連通入口145に集中し、流体の流れが悪くなる。 そのため、コンダクタンスも小さくなるため問題となる。
また、第2流路連通入口145の流路面積を大きくしたいが、第2流路133の第2流路連通出口146は、次工程につながる接続部で定型であるので、単純に大きくすることができないため問題となる。
(2)(1)に記載する真空弁において、前記第2ポート連通入口の側辺は、前記弁本体内の弁室の側面に沿って形成されていること、を特徴とするものである。
(3)(1)又は(2)に記載する真空弁において、前記第2ポート連通入口の流路の断面積は、円形の連通入口の流路の断面積と比較して流路の断面積が1.25倍以上であること、を特徴とするものである。
(1)第1流路が形成された小径部と、弁室が形成された大径部と、大径部の側面に備わり弁室と連通する第2流路が形成されたポート部とを備える弁本体と、小径部と大径部の接続部に形成される弁孔と、弁孔周辺に形成される弁座と、弁座と当接及び離間するように動作を行う弁体と、を有する真空弁において、弁室と第2流路の接続部である第2流路連通入口が、非円形状であること、第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座に沿って形成されていることにより、第2流路連通入口は下方部であっても、流路幅が一定幅で変わることがない。そのため、弁室に流入した流体をスムーズに流すことができ、コンダクタンスが大きくなる。
また、第2流路連通入口を非円形状としても、第2流路連通出口の形状を変更する必要
はない。そのため、第2ポートの大きさを変更する必要がない。したがって、次工程の接続について影響なく真空弁を使用することができる。
また、第2流路連通入口を非円形状とすることにより、従来の円形状の連通入口と比較して、連通入口の断面積を大きくすることができる。その理由は、第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座に沿って形成されているため、連通入口の断面積を大きくすることができる。連通入口の断面積を大きくすることができることによりコンダクタンスを大きくすることができる。
また、第2流路連通入口が方形状をしていることにより、第2流路連通入口の開口部の下辺部の開口面積を大きくすることができる。そのため、第2流路連通入口開口部の下辺部を流れる流体をスムーズに流すことができる。したがって、コンダクタンスが大きくすることができる。
さらに、弁体が開弁したときに、弁座と当接する弁体の当接面が、第2流路連通入口の開口上辺と同じ位置以上まで上昇することにより、第2流路連通入口に流れる流体に対して弁体が流体を遮ることがなく抵抗となる障害物がなくなる。そのため、流体の流れが良くなりコンダクタンスが大きくなる。抵抗となる障害物が存在すると、流体は障害物にぶつかり渦になり、正常に流れている流体の流れを阻害する。それに対して、本実施例のように障害物がなければ、渦が発生することがなく流体の流れを阻害することはないためコンダクタンスが大きくなる。
(2)第2ポート連通入口の側辺は、弁本体内の弁室の側面に沿って形成されていることにより、弁室に流入した流体が、弁室からそのまま第2流路に流れ込むため、コンダクタンスが大きくなる。具体的には、図4に示すように、弁室の側壁と第2流路連通入口の開口部の開口側辺が同じ位置に形成されていることにより、弁室と第2流路の間に空間ができる。空間ができることにより、流路が90度変更する曲がり角においても、流体が壁面等にぶつかり渦となることが少ない。渦となることが少なくなることによりコンダクタンスが大きくなる。
(3)第2ポート連通入口の流路の断面積は、円形の連通入口の流路の断面積と比較して流路の断面積が1.25倍以上であることにより、弁室と第2流路の間の空間が広く取れるため、流体が壁面等にぶつかり渦となることが少なくなる。渦となることが少なくなることによりコンダクタンスが大きくなる。
<第1実施形態>
<真空弁の構成>
始めに、第1実施形態における真空弁1の構成について説明する。
図1は、本発明の真空弁1の開弁時における断面図である。また、図2は、本発明の真空弁1の閉弁時における断面図である。図1や図2に示すように、本発明の真空弁1は、上下に大きく弁部11とシリンダ部12とに分けられる。上部にあるシリンダ部12の外観形状はシリンダチューブ21により構成されその中空部はシリンダ211を構成しており、ピストン22が摺動可能に嵌合されている。ピストン22の中央には、可動軸23が固設され、可動軸23は下部にある弁部11まで貫通し、その下端には、弁体24が固設されている。また、ピストン22の上側に形成された上シリンダ室27は駆動エアポート25に接続し、ピストン22の下側に形成された下シリンダ室28は駆動エアポート26に接続している。駆動エアポート(25、26)にはエア供給装置(不図示)から駆動エアが供給又は排気される。
図3に示すように、第2流路連通出口38の断面は、円形状である。従来と同様の断面円形状であることにより、従来から用いられていた、真空制御装置内に、本真空弁を設置することができる。
また、図3に示すように、第2流路連通入口37(開口部)は、非円形状である。具体的には、第2流路連通入口37(開口部)は、断面方形状である。図3及び図6に示すように、第2流路連通入口37(開口部)は、一対の開口上辺371と開口下辺372、及び、一対の開口右辺373(請求項中の「開口側辺」)と開口左辺374(請求項中の「開口側辺」)により構成されている。図3に示すように、方形状は、開口上辺371及び開口下辺372の横幅であるD5が広く、開口右辺373及び開口左辺374の縦幅であるD3が短い長方形状である。
開口下辺372は、図1及び図3に示すように、弁座34と上下方向で同じ位置に形成されている。開口上辺371から開口下辺372までの長さをD3とする。
次に、開口右辺373及び開口左辺374の説明をする。図4に示すように、紙面垂直方向から見て円形状である弁室39の内周壁391の接線を伸ばしたところに、開口右辺373及び開口左辺374が形成されている。図3及び図4に示すように、開口右辺373から開口左辺374までの長さをD5とする。図3及び図4に示すように、D5と弁室39の内径のD4は同じ長さである。
具体的には、従来の第2流路連通入口145(開口部)の流路の断面積は、円形状であり、その円形内の断面積(D2/2×D2/2×π)がすべて流路面積と考えることもできる。しかし、実質的には、第2流路連通入口145の上半分は、図11に示すように弁体124がかぶさっており、流体がほとんど流れない状態にある。そのため、第2流路連通入口145の上半分は、流路面積から除外して考え、第2流路連通入口145の下半分の流路面積を実質的な流路面積((D2/2×D2/2×π)/2)として本実施例の第2流路連通入口37と比較する。以上の図11の第2流路連通入口145の下半分の流路面積と図3の第2流路連通入口37の流路面積を比較すると1.25倍以上となる。
第2流路連路入口37が方形状であり、第2流路連通出口38が円形状であるため、図7に示すように、第2流路連通入口37から第2流路連通出口38の方向へ順次幅広となっている。
図1及び図7に示すように、第2流路33の下壁332は、弁座34と第2流路連通出口38の最下部とを結ぶものであり、下壁332には、何ら段差が存在しない。
上壁331は、延接部331a、テーパ部331b、連通出口部331cにより形成されている。図1に示すように、延接部331aは、弁体24の当接面241の延長線上に形成されている。延接部331aは、弁本体31の壁面の厚さの2倍程度突出している。延接部331aの後に、第2流路連通出口38の最上部へ向かってテーパ状にテーパ部331bが形成されている。テーパ部331bの後に、第2流路連通出口38の一部を構成する連通出口部331cが、下壁332と平行に形成されている。
図4に示すように、第1側壁部333aは、弁室39の内周壁391の接線を伸ばした線上に形成されている。図6に示すように、第1側壁部333aは、弁本体31の外周壁392とほぼ同じ位置まで突出している。第1側壁部333aは、後述するポート根本部422の内周部に形成されている。図4に示すように、第1側壁部333aの後に、第1接合部333dを介して、第2流路33の中心線M1方向でかつ第2流路連通出口38方向に対してテーパ状に第2側壁部333bが形成されている。第2側壁部333bが形成された後に、第2接合部333eを介して、中心線M1と平行に第3側壁部333cが形成されている。
すなわち、従来技術における図10に示す真空弁100では、第1側壁部333aに囲まれた断面部40Bが存在しないため、本実施例においては、断面部40Bの分、流路空間面積40が大きくなる。
図6に示すように、弁本体31のポート部42は、ポート連結部421とポート根本部422は、溶接により接合され構成されている。
また、弁本体31の小径部41は、小径部連結部411と小径部根本部412溶接により接合され構成されている。
以上のような構成からなる真空弁1の作用について説明する。まず、図1に示す開弁状態から、真空弁1の駆動エアポート25からエアを供給して上シリンダ室27内を加圧し、駆動エアポート26から下シリンダ室28内のエアを排気する。これによりピストン22が下方に押圧され、ピストン22と一体の可動軸23および弁体24が下方に移動して、弁体24が弁座34に当接し図2に示す閉弁状態となる。
そして、図2に示す閉弁状態から、真空弁1の駆動エアポート26にエアを供給して下シリンダ室28内を加圧し、駆動エアポート25から上シリンダ室27内のエアを排気することによりピストン22が上方に押圧される。すると、ピストン22と一体の可動軸23および弁体24が上方に移動して、弁体24が弁座34から離間し図1に示すように開弁状態になる。
図4に示すように、弁室39内に流入した流体は、第2流路33方向へ流れる。本実施例においては、第2流路連通入口37の開口右辺373及び開口左辺37が、紙面垂直方向から見て円形状である弁室39の内周壁391の接線を伸ばしたところに形成され、及び、第1側壁部333aは、弁室39の内周壁391の接線を伸ばした線上に形成されていることにより、図4に示す弁室39の断面部40A及び第1側壁部333aにより囲まれた断面部40Bにより構成される、流路空間面積40の面積が大きくなっている。流路空間面積40が大きいと、第1流路32から第2流路33へ流体が流れる際の流路の急な 方向変更に対して生じる渦の発生を抑止することができる。
すなわち、流路が90度変更するような場合には、曲がり角において、流体が壁面等にぶつかり、渦が発生する。図10に示す真空弁100においては、第1流路132から流れる流体が、弁室137を介し、第2流路133に流れる際に、弁室137を抜けた後に、空間がなく、急に流路の面積が狭くなる。急に流路が狭くなると流れてきた流体が接合部137bや内周壁137aにぶつかり渦S3が発生するため、コンダクタンスが小さくなる。
すなわち、図12に示すように、従来の真空弁100では、内周壁137aと第2流路133の間に段差である接合部137bがある。弁室137から流入した流体が、弁室137の後に、急に段差である接合部137bがあることにより、接合部137bにぶつかり渦S3となるため、コンダクタンスが小さくなる。その点、本実施例のように第2流路33と弁室39の間に、2つの第1接合部333dと第2接合部333eを有することにより、接合部の角度を緩やかにすることができ、第2流路33の流路を緩やかに狭くすることができるため、渦となる流体が少なくなり、コンダクタンスが大きくなる。
図10に示す従来技術のように、弁体24が弁室39と第2流路33の間に形成され、障害物となると、弁室39に流入した流体は、弁体39に衝突し渦となり、コンダクタンスが小さくなる。本実施例においては、弁体24の当接面241が第2流路連通入口37の開口上辺371と同じ位置以上まで上昇するため、弁体24にぶつかり渦となる流体が少なくなるため、コンダクタンスが大きくなる。
<真空弁の構成>
図8に、第2実施形態における真空弁5(開口時)の断面図を示す。図9に、第2実施形態における真空弁5(開口時)の右側面図を示す。第2実施形態においては、第1実施形態における真空弁1と比較して、真空弁5の弁部51の弁本体71が異なり、その他の部分は第1実施形態における真空弁1と異なるところがない。したがって、弁本体71以外の部分は、構成が第1実施形態と同様であり、また作用効果も第1実施形態と同様であるため説明を割愛する。
また、図9に示すように、第2流路連通入口77(開口部)は、断面非円形状である。具体的には、第2流路連通入口77(開口部)は、断面半楕円形状である。図9に示すように、第2流路連通入口77(開口部)は、円弧上の開口上辺771と直線状の開口下辺772により構成されている。図9に示すように、開口上辺771は、円弧形状をしている。開口下辺772は、弁座74と上下方向で同じ位置に形成されている。開口下辺772の横幅はF5で示す。開口上辺771の最上端から開口下辺772までの長さであるF3は、第2流路連通出口78の内径F2と同じ長さである。
流路面積が実質的に1.25倍以上となるのは、以下の理由に基づく。
従来の第2流路連通入口145(開口部)の流路の断面積は、円形状であり、その円形内の断面積(F2/2×F2/2×π)がすべて流路面積と考えることもできる。しかし、実質的には、第2流路連通入口145の上半分は、図12に示すように弁体124がかぶさっており、流体がほとんど流れない状態にある。そのため、第2流路連通入口145の上半分は、流路面積から除外して考え、第2流路連通入口145の下半分の流路面積を実質的な流路面積((F2/2×F2/2×π)/2)として本実施例の第2流路連通入口77と比較する。
本実施形態の図9に示す第2流路連通入口77において、楕円形状の楕円の短いほうの軸の直径がF5であり、実質的な流路面積を1.25倍以上とすることができる長さになるようにする。楕円形状の楕円の短いほうの軸の直径F5が、実質的な流路面積を1.25倍以上とすることができる長さであることにより、実質的な流路面積を1.25倍以上とすることができる。流路面積が1.25倍以上となるのは、第2流路連通入口77の上半分を除外した場合である。
本実施形態2の真空弁5は、第2流路連通路入口77の開口下辺774が弁座74と同じ位置に位置するため、本実施形態1と同様の作用効果を生じさせることができる。
例えば、本実施例では第2流路連通入口と第2流路連通出口の流路面積を変えたが、同じ流路面積であってもよい。すなわち、第2流路連通入口と第2流路連通出口の開口を非円形状とすることができる。第2流路連通出口の開口部を非円形状とすることにより、断面積を増やすことができ、コンダクタンスを大きくすることができる。
また、本実施形態において、第2流路連通入口を方形状、及び断面半楕円形状の真空弁を示したが、第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座と同じ位置に形成された開口部下辺を有する非円形状のものであればよい。第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座と同じ位置に形成されていることにより、従来の第2流路連通入口が円形状のものよりも流路面積を大きくすることができ、コンダクタンスを大きくすることができるからである。例えば、第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座と同じ位置に形成されておれば、第2流路連通入口の形状が、三角形、台形、正方形、長方形等の非円形状の形状であってよい。
また、本実施形態における第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座と同じ位置に位置するとは、製造上の理由などにより生じた加工代分の位置の差異も含む。すなわち、弁座は、Oリングと接触する部分であるためシール性をよくする必要があり、弁座は表面仕上げの加工が必要となる。弁座について表面仕上げの加工を行うことにより、弁座は加工代分だけ第2流路連通入口の開口部の開口部下辺と位置が相違する。しかし、弁座の加工代分だけ位置が相違する程度の場合には、第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座と同じ位置に位置する場合とほぼ同等の効果を得ることができる。そのため、製造上の理由などにより加工代が生じ加工代の位置の差異が生じた場合にも、第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座と同じ位置に位置するものに含むこととする。
また、本実施形態において、第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座に沿って形成された開口部下辺を有する非円形状のものであればよい。第2流路連通入口の開口部下辺が弁座に沿って形成されていることにより従来の第2流路連通入口が円形状のものよりも流路面積を大きくすることができ、コンダクタンスを大きくすることができるからである。
24 弁体
241 当接面
31 弁本体
32 第1流路
33 第2流路
34 弁座
35 弁孔
37 第2流路連通入口
38 第2流路連通出口
39 弁室
41 小径部
42 ポート部
43 大径部
Claims (3)
- 第1流路が形成された小径部と、弁室が形成された大径部と、前記大径部の側面に備わり前記弁室と連通する第2流路が形成されたポート部とを備える弁本体と、前記小径部と前記大径部の接続部に形成される弁孔と、前記弁孔周辺に形成される弁座と、前記弁座と当接及び離間するように動作を行う弁体と、を有する真空弁において、
前記弁室と前記第2流路の接続部である第2流路連通入口が、非円形状であること、
前記第2流路連通入口の開口部の開口部下辺が弁座に沿って形成されていること、
前記第2流路連通入口が方形状をしていること、
前記弁体が開弁したときに、前記弁座と当接する前記弁体の当接面が、前記第2流路連通入口の開口部の開口上辺と同じ位置以上まで上昇すること、
を特徴とする真空弁。 - 請求項1に記載する真空弁において、
前記第2流路連通入口の開口部の開口側辺は、前記弁本体内の弁室の側壁に沿って形成されていること、
を特徴とする真空弁。 - 請求項1又は請求項2に記載する真空弁において、
前記第2流路連通入口の流路の断面積は、円形の連通入口の流路の断面積と比較して流路の断面積が1.25倍以上であること、
を特徴とする真空弁。
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