JPS58111491U - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
- Publication number
- JPS58111491U JPS58111491U JP806082U JP806082U JPS58111491U JP S58111491 U JPS58111491 U JP S58111491U JP 806082 U JP806082 U JP 806082U JP 806082 U JP806082 U JP 806082U JP S58111491 U JPS58111491 U JP S58111491U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum valve
- valve
- vacuum
- exhaust port
- valve body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Valve Housings (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示す正断面図、第２図は第１図におけ
る■−■線矢視図である。第３図〜第５図は本考案の一
実施例を示し、第３図は正断面図、第４図は第３図にお
けるＩＶ−ｒＶ線矢視図、第５図−は底面図である。 １・・・吸気口、２・・・排気口、３・・・弁箱、４・
・・弁体。
る■−■線矢視図である。第３図〜第５図は本考案の一
実施例を示し、第３図は正断面図、第４図は第３図にお
けるＩＶ−ｒＶ線矢視図、第５図−は底面図である。 １・・・吸気口、２・・・排気口、３・・・弁箱、４・
・・弁体。
Claims (1)
- 被排気空間に接続すべき吸気口と真空ポンプに接続すべ
き排気口とを有した弁箱内に前記排気口を開閉する弁体
を進退可能に収容しｔなる真空バルブにおいて、前記吸
気口の開口形状を前記弁体の進退方向と直交する方向に
偏平な長方形としたことを特徴とする真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP806082U JPS58111491U (ja) | 1982-01-23 | 1982-01-23 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP806082U JPS58111491U (ja) | 1982-01-23 | 1982-01-23 | 真空バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58111491U true JPS58111491U (ja) | 1983-07-29 |
| JPS6146313Y2 JPS6146313Y2 (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=30020779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP806082U Granted JPS58111491U (ja) | 1982-01-23 | 1982-01-23 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58111491U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011030565A1 (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-17 | 株式会社アルバック | 真空用バルブ |
| JP2011241932A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Ckd Corp | 真空弁 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS447979Y1 (ja) * | 1965-10-29 | 1969-03-27 |
-
1982
- 1982-01-23 JP JP806082U patent/JPS58111491U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS447979Y1 (ja) * | 1965-10-29 | 1969-03-27 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011030565A1 (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-17 | 株式会社アルバック | 真空用バルブ |
| JP2011058612A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Ulvac Japan Ltd | 真空用バルブ |
| JP2011241932A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Ckd Corp | 真空弁 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6146313Y2 (ja) | 1986-12-26 |
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