JPS6146313Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、真空蒸着装置等、各種の真空装置に
おいて、被排気空間と該空間内の気体を排気する
ための真空ポンプとの間に介在させて使用される
真空バルブに関するものである。

この種の真空バルブは、例えば、第１図に示す
ように、被排気空間に接続すべき吸気口ａと真空
ポンプに接続すべき排気口ｂとを有した弁箱ｃ内
に弁体ｄを収容し、この弁体ｄを弁箱ｃ外に配設
したアクチユエータにより前記排気口ｂの内側開
口端に設けた弁座ｅ方向に進退させることによつ
て前記排気口ｂを開閉させるようにしたものが一
般的である。ところが、従来のものは、吸気口ａ
の開口形状が円形であるため、前記弁体ｄを弁座
ｅから離間させて排気口ｂを開口させた場合に前
記弁体ｄが第２図に示すように前記吸気口ａから
前記排気口ｂに向う被排気気体Ａの流れを阻害す
る位置に保持されるのが常態となり易い。そのた
め、弁箱ｃ内の流れが複雑になつてバルブのコン
ダクタンスが小さくなり真空ポンプの有効排気速
度が低くなるという不都合がある。なお、前記弁
体ｄのストロークを大きくして該弁体ｄを通気の
邪魔にならない位置にまで退避させ得るようにし
たり前記吸気口ａを大口径のものにすれば前述し
た不都合を一応なくすことができるが、このよう
にすれば、バルブ全体が嵩の高いものになるだけ
でなく、前記弁体ｄを駆動するためのアクチユエ
ータも大形化してしまうという問題がある。

本考案はこのような事情に着目してなされたも
ので、被排気空間に接続すべき吸気口と真空ポン
プに接続すべき排気口とを有した弁箱内に弁座を
設けるとともに、この弁座よりも吸気口寄りに弁
体を配設してなる真空バルブにおいて、前記弁体
を、反弁座側に位置させたロツドによつて前記弁
座と平行な姿勢を保つたまま前記吸気口を全開に
する開成位置と前記弁座に着座する閉成位置との
間で進退し得るように支承するとともに、前記吸
気口の開口形状を前記弁体の進退方向と直交する
方向に偏平な長方形とすることによつて前述した
不都合を解消することができるようにした真空バ
ルブを提供するものである。

以下、本考案の一実施例を第３図〜第５図を参
照して説明する。

被排気空間、例えば、真空蒸着装置の蒸着室等
に接続すべき吸気口１と真空ポンプに接続すべき
排気口２とを有した弁箱３内に弁体４を収容し、
この弁体４を前記弁箱３外に設けたエアシリンダ
５により前記排気口２の内側開口端に設けた弁座
６方向に進退させることによつて前記排気口２を
開閉させるようにしている。つまり、前記吸気口
１と前記排気口２との間に弁座６が設けられてお
り、この弁座６よりも吸気口１寄りに弁体４が配
設されている。そして、この弁体４を、前記弁座
６と平行な姿勢を保つたまま該弁座６方向に進退
し得るように支承している。詳述すれば、弁箱３
は、天壁３ａと底壁３ｂとを近接させた偏平なも
ので、その周壁３ｃ部に前記吸気口１が設けてあ
るとともに底壁３ｂに前記排気口２が設けてあ
る。そして、前記吸気口１の開口形状を第４図に
示すように弁体４の進退方向と直交する方向に偏
平な長方形にするとともに前記排気口２の開口形
状を第５図に示すように円形にしている。一方、
前記弁体４は、前記排気口２の開口形状に対応す
る円板状のもので、前記弁座６に当接する部位に
は環状のシール部材７が設けてある。そして、こ
の弁体４を、反弁座側に位置させたロツド、すな
わち、前記エアシリンダ５のピストンロツド５ａ
の先端に支持させて昇降させるようにしている。
なお、前記弁箱３の天壁３ａ部には上昇した弁体
４を収容するための円筒状の収納空間８が設けて
あり、これによつて、前記弁体４を、前記吸気口
１が全開になる位置にまで開成させ得るようにし
ている。

しかして、このように、弁体４を弁座６と平行
な姿勢を保つたまま吸気口１側へ開成させ得るよ
うにするとともに、吸気口１の開口形状を弁体４
の進退方向と直交する方向に偏平な長方形にすれ
ば、弁箱３の大形化を招くことなしに前記吸気口
１の開口面積を大きくできる上に、弁体４を閉成
位置（第３図における実線参照）からすこし上昇
移動させる（第３図における想像線参照）だけで
該弁体４を前記吸気口１から前記排気口２に向う
被排気気体Ａの流れを阻害しない開成位置にまで
退避させることができる。そのため、バルブの大
形化を招くことなしに通気に対するコンダクタン
スを大きくすることがで可能であり、該バルブに
接続される真空ポンプの有効排気速度を向上させ
ることができるものである。また、弁体４のスト
ロークｌが小さいと、該弁体４を駆動するための
エアシリンダ５等の短寸化をも図ることがきるの
で、装置全体の弁体進退方向の寸法（図示実施例
では高さ寸法）を従来のものに比べて大幅に短く
することができるものである。さらに、前記吸気
口１を長方形にすると、弁箱３の壁面が平面部の
多いものになるため、導入端子ポート等の取付け
が容易となり、また、取付け場所の自由度が大き
くなるという利点もある。

しかも、このものは、前記弁体４を反弁座側に
位置させたロツド５ａによつて支持しているの
で、この弁体４を吸気口１が全開になる開成位置
にまで開成させた状態では、前記吸気口１と前記
排気口２との間には障害物が一切介在しなくな
る。そのため、例えば、真空バルブ以外のバルブ
でよく見受けられるように弁座側に挿通させた支
軸等により弁体を支持するようにした構造をその
まま採用したものに比べて、分子流を乱すという
不具合を大幅に抑制することが可能である。した
がつて、この点からも通気に対するコンダクタン
スを大きくすることができ、該バルブに接続され
る真空ポンプの有効排気速度を無理なく効果的に
向上させることができるものである。

ところで、吸気口を方形にしたものとして、例
えば、実開昭50−93444号公報に示されるような
ダクト方式のものが一般に知られている。すなわ
ち、このものは、吸気口と排気口を有した弁箱
（ダクト）内に弁座を設けるとともに、この弁座
よりも排気口寄りに片開式の弁体を配設してい
る。ところが、このように弁体を排気口側に開く
ようにしたものは、真空バルブとして使用すると
閉止時に弁体を開成させようとする力が作用する
ため密閉が難かしく、実用的でない。かといつ
て、片開式の弁体を吸気口側に開くようにして使
用すると、真空度が高まつてガスの流れが分子流
になつた場合に、抵抗が増大するという問題が生
じる。すなわち、分子流は、弁箱の内面や弁体に
衝突しはね返りながら進むものであるため、片開
式の弁体を吸気口側に配置した場合には、弁体が
開いた際に該弁体の背面側に回りこんだ分子が排
気口側へ導かれ難くなり、バルブのコンダクタン
スが大幅に低下してしまうという不都合を招く。
それに対して、この考案のバルブは、弁体４が開
成した際に弁座６の全周が開放されてガスが流入
し易くなるため、前記のような不具合は生じな
い。すなわち、この考案の真空バルブは、弁体４
を弁座６と平行な姿勢のままで吸気口１が全開に
なる位置にまで開成させ得るようにしている点
と、吸気口１をこの弁体４の進退方向と直交する
方向に偏平な長方形としている点と、弁体４を反
弁座側に位置させたロツド５ａにより支持してい
るという点とが相まつて、コンダクタンスを有効
に向上させることができるものであり、前述した
ダクト方式のものとは全く別異の作用効果を奏し
得るものである。

なお、弁体を駆動するためのアクチユエータは
エアシリンダに限られないのは勿論であり、例え
ば、油圧式あるいは電動式のもの等であつてもよ
い。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す正断面図、第２図は第１
図における−線矢視図である。第３図〜第５
図は本考案の一実施例を示し、第３図は正断面
図、第４図は第３図における−線矢視図、第
５図は底面図である。 １……吸気口、２……排気口、３……弁箱、４
……弁体、５ａ……ロツド（ピストンロツド）、
６……弁座。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被排気空間に接続すべき吸気口と真空ポンプに
   接続すべき排気口とを有した弁箱内に弁座を設け
   るとともに、この弁座よりも吸気口寄りに弁体を
   配設してなる真空バルブであつて、前記弁体を、
   反弁座側に位置させたロツドによつて前記弁座と
   平行な姿勢を保つたまま前記吸気口を全開にする
   開成位置と前記弁座に着座する閉成位置との間で
   進退し得るように支承するとともに、前記吸気口
   の開口形状を前記弁体の進退方向と直交する方向
   に偏平な長方形としたことを特徴とする真空バル
   ブ。