JP5600913B2 - 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関する。

液滴吐出ヘッドは、ＩＣチップ（ＩＣドライバー）等からなる駆動回路部と、圧電素子等の駆動素子とを電気的に接続し、駆動回路部から駆動素子に制御信号を送信してこれを駆動させることにより、キャビティー内の機能液を液滴としてノズルから吐出するものである。このような液滴吐出ヘッドでは、導電パターン（配線パターン）を有する複数のフレキシブル基板にそれぞれ駆動回路部を実装し、これらフレキシブル基板の一部を駆動素子の電極部（接続部）に接続することにより、導電パターンを介して駆動回路部と駆動素子とを電気的に接続している（例えば、特許文献１参照）。

すなわち、２列に配設されたキャビティーに対応して用意された複数のフレキシブル基板の導電パターンを、２列に配設されたキャビティーの間において、これらキャビティーに対応して２列に配列された駆動素子側の配線の接続部に、それぞれ接続している。

特開２００６−６８９８９号公報

しかしながら、前記のように２列に配列された駆動素子側の配線の接続部に、それぞれ接続するようにして基板の導電パターンを配置すると、２列に配設されたキャビティーの間を比較的広くする必要があり、ヘッドの小型化が困難であった。
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、液滴吐出ヘッドの小型化を可能にした、液滴吐出ヘッドとこれを備えた液滴吐出装置を提供することにある。

前記課題を解決するため本発明の液滴吐出ヘッドは、キャビティーが第１の方向に複数配列してなる第１のキャビティー列と、前記キャビティーが前記第１の方向に複数配列してなり、前記第１のキャビティー列に対して並列に配置された第２のキャビティー列と、前記キャビティーに設けられて、前記キャビティー内の液状体を吐出させる駆動素子と、前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、前記第１のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第１の配線と、前記第２のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第２の配線と、を備え、前記第１のキャビティー列と、前記第２のキャビティー列と、の間に、複数の前記第１の配線と、複数の前記第２の配線と、が櫛歯が噛み合うように、且つ、互いに離間して配置され、複数の前記端子部が、前記第１の方向に１列に配列され、前記端子部が、前記第１の配線と前記第２の配線とに接続され、前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記キャビティー側に向けた状態で、該キャビティーが設けられた側に樹脂モールドされ、前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする。
前記課題を解決するため本発明の液滴吐出ヘッドは、
キャビティーが第１の方向に複数配列してなる第１のキャビティー列と、
前記キャビティーが前記第１の方向に複数配列してなり、前記第１のキャビティー列に対して並列に配置された第２のキャビティー列と、
前記キャビティーに設けられて、前記キャビティー内の液状体を吐出させる駆動素子と、
前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
前記駆動回路部、及び、前記端子部が配置された基板と、
前記第１のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第１の配線と、
前記第２のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第２の配線と、を備え、
前記第１のキャビティー列と、前記第２のキャビティー列と、の間に、複数の前記第１の配線と、複数の前記第２の配線と、が櫛歯が噛み合うように、且つ、互いに離間して配置され、
複数の前記端子部が、前記第１の方向に１列に配列され、
前記端子部が、前記第１の配線と前記第２の配線とに接続されていることを特徴とする。

この液滴吐出ヘッドによれば、複数の前記端子部が、第１の方向に１列に配列され、前記端子部が、前記第１の配線と前記第２の配線とに接続されているので、
各配線と端子部とを一括して接続させることができる。したがって、基板を、例えば２列のキャビティーのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように２列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側に基板を配するのに比べ、小型化を図ることが可能になる。また、各配線の接続部と基板の端子部とを接続する領域を一箇所（一列）にまとめているため、２列のキャビティー間に形成される配線列領域を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることが可能になる。
なお、前記の「１列に配設され」との表現、さらに後記する「１列に配設され」との表現は、本発明においては、全体として略直線状に配置されていることを意味するものである。

また、前記液滴吐出ヘッドにおいて、前記第１の配線、及び、前記第２の配線は、前記端子部に接続する領域に電極部を有し、前記電極部は、前記第１のキャビティー列、又は、前記第２のキャビティー列のいずれか一方のキャビティー列側を中心にして放射状に配置されているのが好ましい。
さらに、前記端子部は、前記一方のキャビティー列側を中心にして放射状に配置されているのが好ましい。

基板が例えばポリイミド等からなるフレキシブル基板である場合、温度や湿度等の環境条件によって伸縮し、導電パターンの端子部間のピッチが変化する。すると、これら端子部の位置が前記配線の接続部の位置に対してずれてしまうことがあり、結果としてこれら端子部と接続部との間で合わせずれが生じることがある。
そこで、前記したように配線の電極部を放射状に配設し、前記端子部も放射状に配設しているので、基板の伸縮によって端子部間のピッチが変化しても、このピッチの変化に対応して前記の端子部に接続する領域への基板の接合位置を、導電パターンの端子部の列方向と直交する方向に適宜ずらして調整することにより、端子部と接続部との間の合わせずれをなくすことが可能になる。

なお、液滴吐出ヘッドにおいて、前記放射状に配置された電極部の中心と、前記放射状に配置された端子部の中心と、が一致しているのが好ましい。
このようにすれば、端子部と接続部との間の合わせずれをより良好になくすことができる。

また、前記液滴吐出ヘッドにおいては、前記第１の配線と、前記第２の配線とが、前記第１の方向に互いに交互に配置されているのが好ましい。
このようにすれば、第１の配線と第２の配線とを大きく引き回すことなく、これらを端子部に接続する領域に配することが可能になり、その分狭小化が可能になる。

また、前記液滴吐出ヘッドにおいては、前記キャビティーに対応するノズルが、前記第１の方向に半ピッチずれて千鳥状に配置されているのが好ましい。
このようにすれば、キャビティー間で対応するノズルどうしが、ノズルの列方向において互いに同じ位置にある場合に比べ、該液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の間隔を、見掛け上半分にすることができる。したがって、液滴を吐出することで形成する描画パターンの高精細化が可能になる。

また、前記液滴吐出ヘッドにおいては、前記基板は可撓性を有しているのが好ましい。
このようにすれば、例えばその一端部側を折り曲げあるいは撓ませて前記配線列領域の接続領域に平面的に配し、残りの側は例えばキャビティーの上側の任意の位置に配することが可能になる。

本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドとして、前述した液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする。
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドは、
キャビティーが第１の方向に複数配列してなる第１のキャビティー列と、
前記キャビティーが前記第１の方向に複数配列してなり、前記第１のキャビティー列に対して並列に配置された第２のキャビティー列と、
前記キャビティーに設けられて、前記キャビティー内の液状体を吐出させる駆動素子と、
前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
前記駆動回路部、及び、前記端子部が配置された基板と、
前記第１のキャビティー列側の駆動素子から引き出された第１の配線と、
前記第２のキャビティー列側の駆動素子から引き出された第２の配線と、を備え、
前記第１のキャビティー列と、前記第２のキャビティー列と、の間に、複数の前記第１の配線と、複数の前記第２の配線と、が櫛歯が噛み合うように、且つ、互いに離間して配置され、
複数の前記端子部が、前記第１の方向に１列に配列され、
前記端子部が、前記第１の配線と前記第２の配線とに接続されている液滴吐出ヘッドであることを特徴としている。
この液滴吐出装置によれば、前述したように小型化が図られた液滴吐出ヘッドを備えているので、この液滴吐出装置自体も小型化が図られたものとなる。

本発明の液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出させる駆動素子が第１の方向に複数配列してなる第１の駆動素子列と、前記駆動素子が前記第１の方向に複数配列してなり、前記第１の駆動素子列に対して並列に配置された第２の駆動素子列と、前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、前記第１の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第１の電極部と、前記第２の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第２の電極部と、前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、を備え、複数の前記端子部が、前記第１の方向に１列に配列され、前記第１の駆動素子列と、前記第２の駆動素子列と、の間に、複数の前記第１の電極部と、複数の前記第２の電極部と、が前記第１の方向に１列に配列され、前記端子部が、前記第１の電極部と前記第２の電極部とに接続され、記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記駆動素子側に向けた状態で、該駆動素子が設けられた側に樹脂モールドされ、前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする。
本発明の液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出させる駆動素子が第１の方向に複数配列してなる第１の駆動素子列と、
前記駆動素子が前記第１の方向に複数配列してなり、前記第１の駆動素子列に対して並列に配置された第２の駆動素子列と、
前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
前記第１の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第１の電極部と、
前記第２の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第２の電極部と、
前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
前記駆動回路部、及び、前記端子部が配置された基板と、を備え、
複数の前記端子部が、前記第１の方向に1列に配列され、
前記第１の駆動素子列と、前記第２の駆動素子列と、の間に、
複数の前記第１の電極部と、複数の前記第２の電極部と、が前記第１の方向に１列に配列され、
前記端子部が、前記電極部に接続されていることを特徴とする。

この液滴吐出ヘッドによれば、複数の前記端子部が、第１の方向に１列に配列され、複数の前記第１の電極部と、複数の前記第２の電極部と、が前記第１の方向に１列に配列され、前記端子部が、前記電極部に接続されているので、各電極と端子部とを一括して接続させることができる。したがって、基板を、例えば２列のキャビティーのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように２列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側に基板を配するのに比べ、小型化を図ることが可能になる。また、各電極と基板の端子部とを接続する領域を一箇所（一列）にまとめているため、２列のキャビティー間に形成される電極の領域を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることが可能になる。

また、前記液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極部は、隣り合う前記電極部に対して所定の角度ずつ傾いて配置されているのが好ましい。
また、前記端子部は、隣り合う前記端子部に対して所定の角度ずつ傾いて配置されているのが好ましい。

本発明の液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出させる駆動素子が複数配置された第１の駆動素子群と、前記駆動素子が複数配置され、前記第１の駆動素子群と交差することなく配置された第２の駆動素子群と、前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、前記第１の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第１の電極部と、前記第２の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第２の電極部と、前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、を備え、複数の前記端子部が、第１の方向に１列に配列され、前記第１の駆動素子群と、前記第２の駆動素子群と、の間に、複数の前記第１の電極部と、複数の前記第２の電極部と、が前記第１の方向に１列に配列され、前記端子部が、前記第１の電極部と前記第２の電極部とに接続され、前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記駆動素子側に向けた状態で、該駆動素子が設けられた側に樹脂モールドされ、前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする。
本発明の液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出させる駆動素子が複数配置された第１の駆動素子群と、
前記駆動素子が複数配置され、前記第１の駆動素子群と交差することなく配置された第２の駆動素子群と、
前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
前記第１の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第１の電極部と、
前記第２の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第２の電極部と、
前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
前記駆動回路部、及び、前記端子部が配置された基板と、を備え、
複数の前記端子部が、第１の方向に1列に配列され、
前記第１の駆動素子群と、前記第２の駆動素子群と、の間に、
複数の前記第１の電極部と、複数の前記第２の電極部と、が前記第１の方向に１列に配列され、
前記端子部が、前記電極部に接続されていることを特徴とする。

この液滴吐出ヘッドによれば、複数の前記端子部が、第１の方向に１列に配列され、複数の前記第１の電極部と、複数の前記第２の電極部と、が前記第１の方向に１列に配列され、前記端子部が、前記電極部に接続されているので、各電極と端子部とを一括して接続させることができる。したがって、基板を、例えば２列のキャビティーのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように２列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側に基板を配するのに比べ、小型化を図ることが可能になる。また、各電極と基板の端子部とを接続する領域を一箇所（一列）にまとめているため、２列のキャビティー間に形成される電極の領域を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることが可能になる。

本発明に係る液滴吐出ヘッドの一実施形態の外観斜視図である。 本発明に係る液滴吐出ヘッドの他の実施形態の外観斜視図である。 本発明の液滴吐出ヘッドの一実施形態を示す側断面図である。 ノズルの配列を示すための、ノズルプレートの要部底面図である。 図１に示した液滴吐出ヘッド１の要部拡大断面図である。 配線列領域上の配線の配列を説明するための、要部平面図である。 （ａ）〜（ｃ）はフレキシブル基板の概略構成図である。 （ａ）、（ｂ）は端子部と接続部との接続状態を示す要部平面図である。 液滴吐出ヘッドの製造方法を示すフローチャートである。 液滴吐出ヘッドの製造方法を示す説明図である。 本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す側断面図である。 本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す要部平面図である。

以下、図面を参照して本発明を詳しく説明する。なお、各図面における各部材については、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。

［液滴吐出装置］
まず、本発明に係る液滴吐出装置の一例について説明する。
図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図であり、図１中符号１０００は液滴吐出装置である。この液滴吐出装置１０００は、例えば、画像記録用のインクジェット式記録装置であって、後述する本発明の一実施形態となる液滴吐出ヘッド１と、駆動軸４と、ガイド軸５と、外部コントローラー６と、ステージ７と、メンテナンス機構８と、基台９とを備えて構成されたものである。ステージ７は、ワークＷを載置するもので、ワークＷを所定の位置において固定する固定機構（図示せず）を備えたものである。

駆動軸４には駆動モーター２が接続されている。駆動モーター２は、例えばステッピングモーターよりなり、外部コントローラー６からの駆動信号によって駆動するようになっている。駆動モーター２の駆動によって駆動軸４が回転することにより、駆動軸４に設置された液滴吐出ヘッド１が、図１中に示したＹ方向（Ｙ軸方向）に移動するようになっている。

ステージ７には、駆動モーター３が備えられている。駆動モーター３は、例えばステッピングモーターであり、外部コントローラー６からの駆動信号によって駆動するようになっている。駆動モーター３の駆動により、ステージ７が、図１中のＸ方向（Ｘ軸方向）に設けられたガイド軸５に沿って移動するようになっている。

外部コントローラー６は、液滴吐出のための制御信号を、液滴吐出ヘッド１に供給するものである。また、液滴吐出ヘッド１のＹ方向への移動を制御する駆動信号を、駆動モーター２に供給するとともに、ステージ７のＸ方向への移動を制御する駆動信号を、駆動モーター３に供給するようになっている。

メンテナンス機構８は、キャッピングユニット、ワイピングユニット、フラッシングユニット等のメンテナンスユニットを備え、液滴吐出ヘッド１のメンテナンスを行うものである。このメンテナンス機構８は、図示しない駆動モーターを備えたもので、該駆動モーターの駆動により、前記ガイド軸５に沿ってＸ方向に移動するようになっている。メンテナンス機構８の移動やメンテナンス動作は、外部コントローラー６によって制御されるようになっている。

このような構成のもとに液滴吐出装置１０００は、液滴吐出ヘッド１とワークＷを支持するステージ７とを相対的に走査しつつ、ワークＷに対して液滴を吐出し、描画を行うようになっている。すなわち、液滴吐出ヘッド１から機能液を液滴として吐出し、これをワークＷ上に配し塗布することで、所望のパターンを描画するように構成されている。

図２は、本発明に係る液滴吐出装置の他の一例を示す概略図である。液滴吐出ヘッド１を有するヘッドユニット１Ａおよび１Ｂを搭載したキャリッジ１Ｃが、駆動軸４に軸方向に自在に移動可能に設けられている。

駆動モーター２の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルトを介してキャリッジ１Ｃに伝達されることで、駆動軸４に設置されたキャリッジ１Ｃが主走査方向に移動する。一方、駆動軸４に沿ってプラテン３Ａが設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン３Ａ上を副走査方向に搬送されるようになっている。

キャリッジ１Ｃを主走査方向に移動させながら記録シートＳに液状体を吐出し、記録シートＳを副走査方向に搬送することにより、所望のパターンを描画する。

［液滴吐出ヘッド］
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドを説明する。
図３は、本発明の液滴吐出ヘッドの一実施形態を示す側断面図であり、図３中符号１は液滴吐出ヘッドである。この液滴吐出ヘッド１は、図１に示した液滴吐出装置１０００に搭載されたもので、機能液を液滴として吐出するものである。

すなわち、この液滴吐出ヘッド１は、液滴が吐出されるノズル１５を有するノズルプレート１６と、ノズルプレート１６の上面に接続され、液滴が流れる流路を形成する流路形成基板１０と、流路形成基板１０の上面に接続され、圧電素子（駆動素子）３００の駆動によって変位する振動板４００と、振動板４００の上面に接続され、リザーバー１００を形成するためのリザーバー形成基板２０と、リザーバー形成基板２０の上面側に設けられた可撓性を有するフレキシブル基板５００と、を備えて構成されている。

流路形成基板１０は、シリコン単結晶によって形成されたもので、このシリコン単結晶が異方性エッチングで加工されたことにより、キャビティー１２を区画する隔壁が形成されるとともに、キャビティー１２が形成されたものである。すなわち、流路形成基板１０の下面側は開口しており、その開口を覆うようにノズルプレート１６が流路形成基板１０の下面に接続されている。流路形成基板１０の下面とノズルプレート１６とは、例えば接着剤や熱溶着フィルム等を介して固定されている。

これにより、複数の隔壁を有する流路形成基板１０と、ノズルプレート１６と、振動板４００とで囲まれた空間によって、複数のキャビティー１２が形成されている。ここで、本発明においてキャビティー１２は、図３中のＹ方向に沿って２列に並列配置されて、キャビティー列１２Ａ、１２Ｂを形成している。また、本実施形態では、２列に並列配置された前記キャビティー１２は、平面視した状態で列間において半ピッチずれて千鳥状に配置されており、したがって、各キャビティー１２に１：１で対応して設けられた圧電素子３００も、各列間で半ピッチずれて千鳥状に配置されている。なお、各キャビティー１２に対応して設けられた圧電素子（駆動素子）３００は、キャビティー列１２Ａに対応した圧電素子（駆動素子）３００によって第１の駆動素子列を形成し、キャビティー列１２Ｂに対応した圧電素子（駆動素子）３００によって第２の駆動素子列を形成している。

また、ノズルプレート１６には、図４に示すように前記各キャビティー１２に１：１で対応して、液滴を吐出するためのノズル１５が多数形成されている。これらノズル１５は、矩形状のノズルプレート１６の、長辺の長さ方向に沿って２列に配列され、さらに各キャビティー１２に対応して、各列間で半ピッチずれて千鳥状に配置されている。なお、ノズル１５は、１列に例えば３６０個程度、２列合計で７２０個程度が形成されている。

図３に示すようにキャビティー１２の一部は、リザーバー１００に接続されている。リザーバー１００は、機能液導入口２５より導入され、キャビティー１２に供給される前の機能液を一時的に保持するものであって、リザーバー形成基板２０にＹ方向に延びるように形成されたリザーバー部２１と、各キャビティー１２のそれぞれを連通させる連通部１３とを備えて構成されている。すなわち、リザーバー１００は、複数のキャビティー１２の共通の機能液保持室（インク室）となっている。機能液導入口２５より導入された機能液は、導入路２６を経てリザーバー１００に流れ込み、供給路１４を経て、キャビティー１２に供給される。

流路形成基板１０とリザーバー形成基板２０との間に配置された振動板４００は、流路形成基板１０の上面を覆うように設けられた弾性膜５０と、弾性膜５０の上面に設けられた下電極膜６０とを備えている。弾性膜５０は、例えば厚み１〜２μｍ程度の二酸化珪素によって形成されている。下電極膜６０は、例えば厚み０．２μｍ程度の金属によって構成されている。本実施形態では、下電極膜６０は、複数の圧電素子３００の共通電極となっている。

振動板４００を変位させるための圧電素子３００は、下電極膜６０の上面に設けられた圧電体膜７０と、その圧電体膜７０の上面に設けられた上電極膜８０とを備えて構成されている。圧電体膜７０は、例えば厚み１μｍ程度、上電極膜８０は例えば厚み０．１μｍ程度に形成されている。なお、圧電素子３００の概念としては、圧電体膜７０及び上電極膜８０に加えて、下電極膜６０を含むものであってもよい。すなわち、本実施形態における下電極膜６０は、圧電素子３００としての機能と、振動板４００としての機能とを兼ね備えている。また、本実施形態では、弾性膜５０及び下電極膜６０が振動板４００として機能するが、弾性膜５０を省略した構造とし、下電極膜６０が弾性膜（５０）を兼ねるようにしてもよい。

圧電体膜７０及び上電極膜８０、すなわち圧電素子３００は、前述したように、複数のノズル１５及びキャビティー１２のそれぞれに対応するように、複数設けられている。すなわち、圧電体膜７０及び上電極膜８０からなる圧電素子３００は、各ノズル１５毎（キャビティー１２毎）に設けられ、かつ、千鳥状に配置されている。そして、前述したように下電極膜６０は、複数の圧電素子３００の共通電極として機能し、上電極膜８０は、複数の圧電素子３００の個別電極として機能している。また、上電極膜８０は、後述するようにその一端側が、駆動回路部２００に電気的に接続する配線となっている。

リザーバー形成基板２０には、封止膜３１と固定板３２とを有するコンプライアンス基板３０が接合されている。封止膜３１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚み６μｍ程度のポリフェニレンスルフィドフィルム）からなり、この封止膜３１によってリザーバー部２１の上部が封止されている。また、固定板３２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚み３０μｍ程度のステンレス鋼）で形成される。この固定板３２のうち、リザーバー１００に対応する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部３３となっているため、リザーバー１００の上部は、可撓性を有する封止膜３１のみで封止され、内部圧力の変化によって変形可能な可撓部２２となっている。

通常、機能液導入口２５からリザーバー１００に機能液が供給されると、例えば、圧電素子３００の駆動時の機能液の流れ、あるいは、周囲の熱などによってリザーバー１００内に圧力変化が生じる。しかしながら、前述のように、リザーバー１００の上部が封止膜３１のみよって封止されて可撓部２２となっているため、この可撓部２２が撓み変形してその圧力変化を吸収する。したがって、リザーバー１００内は常に一定の圧力に保持される。なお、その他の部分は固定板３２によって十分な強度に保持されている。

また、リザーバー１００の外側のコンプライアンス基板３０上には、リザーバー１００に機能液を供給するための機能液導入口２５が形成されており、リザーバー形成基板２０には、機能液導入口２５とリザーバー１００の側壁とを連通する導入路２６が設けられている。

リザーバー形成基板２０のうち、Ｘ方向に関しての中央部、すなわち２列に形成されたキャビティー列１２Ａ、１２Ｂの間には、Ｙ方向に延びる溝状の配線列領域７００が形成されており、ここに流路形成基板１０（隔壁１０Ｋ）の一部が露出している。また、リザーバー形成基板２０のうち、圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密封可能な圧電素子保持部２４が設けられている。この圧電素子保持部２４は、圧電素子３００を覆う大きさに形成されている。

また、圧電素子３００のうち、少なくとも圧電体膜７０は、この圧電素子保持部２４内に密封されている。このように、リザーバー形成基板２０は、圧電素子３００を外部環境と遮断して、圧電素子３００を封止するための封止部材としての機能を有している。リザーバー形成基板２０によって圧電素子３００を封止することで、水分等の外部環境による圧電素子３００の劣化を防止することができる。また、本実施形態では、圧電素子保持部２４の内部を密封状態にしただけであるが、例えば、圧電素子保持部２４内の空間を真空にしたり、あるいは窒素又はアルゴン雰囲気等とすることにより、圧電素子保持部２４内を低湿度に保持することができ、圧電素子３００の劣化をさらに確実に防止することができる。

また、リザーバー形成基板２０は剛体であって、そのリザーバー形成基板２０を形成する材料としては、例えば、ガラス、セラミック材料等の流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板が用いられている。

図５は、液滴吐出ヘッド１のうち、フレキシブル基板５００の部分を拡大した要部拡大断面図である。図５に示すように、キャビティー列１２Ａ、１２Ｂのうちの一方の側（キャビティー列１２Ａ側）の圧電素子３００における、上電極膜８０の一方の端部は、リザーバー形成基板２０の外側まで引き出されて配線８１Ａとして機能するようになっている。すなわち、上電極膜８０は、リザーバー形成基板２０、２０間に位置する配線列領域７００にまで延びて形成され、流路形成基板１０上に引き出されて配線８１Ａとなっている。

なお、配線列領域７００における流路形成基板１０上に下電極膜６０の一部が配置される場合には、上電極膜８０と下電極膜６０との間の電気的な接続を防止するため、これら上電極膜８０と下電極膜６０との間に絶縁膜６００が設けられる。
また、キャビティー列１２Ａ、１２Ｂのうちの他の側（キャビティー列１２Ｂ側）の圧電素子３００における上電極膜８０も、リザーバー形成基板２０、２０間に位置する配線列領域７００にまで延びて形成され、流路形成基板１０上に引き出されて配線８１Ｂとなっている。

すなわち、図６に示すように配線列領域７００上には、一方のキャビティー列１２Ａ側の多数の圧電素子３００から配線８１Ａ（上電極膜８０）が櫛歯状に引き出されて、第１の配線群８５Ａが形成されている。同様に、他方のキャビティー列１２Ｂ側の多数の圧電素子３００からも、配線８１Ｂ（上電極膜８０）が櫛歯状に引き出されて、第２の配線群８５Ｂが形成されている。なお、前記の「櫛歯状」とは、各櫛歯が連結していない状態を含んでいる。

一方のキャビティー列１２Ａ側から引き出された多数の配線８１Ａ（第１の配線群８５Ａ）は、その先端側の所定長さ部分（先端部）が、後述するフレキシブル基板５００の導電パターンに接続する接続部（第１の電極部）８２Ａとなっている。同様に、他方のキャビティー列１２Ｂ側から引き出された多数の配線８１Ｂ（第２の配線群８５Ｂ）も、その先端側の所定長さ部分（先端部）が、フレキシブル基板５００の導電パターンに接続する接続部（第２の電極部）８２Ｂとなっている。

また、これら各接続部（電極部）８２Ａ、８２Ｂは、配線列領域７００内の、キャビティー１２の配列方向に沿って形成された帯状の接続領域７１０に配置されている。第１の配線群８５Ａを構成する各配線８１Ａの接続部８２Ａと、第２の配線群８５Ｂを構成する各配線８１Ｂの接続部８２Ｂとは、本実施形態では接続領域７１０において、前記キャビティー列１２Ａ、１２Ｂの列方向に沿って所定の間隔をあけて離間した交互に、すなわち、櫛歯が噛み合うようにして互い違いに一列で配置されている。これにより、対向して配置された配線８１Ａ、８１Ｂは、これらの間で短絡することが防止されている。

なお、このように接続部８２Ａと接続部８２Ｂとが交互に配置されるのは、前述したように２列のキャビティー１２が半ピッチずれて千鳥状に配置され、これらに対応する圧電素子３００も各列間で半ピッチずれて千鳥状に配置されていることにより、これら圧電素子３００から引き出された配線８１Ａ、８１Ｂも、第１の配線群８５Ａと第２の配線群８５Ｂとの間で半ピッチずれた状態に形成されているからである。

このように、一方のキャビティー列１２Ａに対応する第１の配線群８５Ａの各接続部８２Ａと、他方のキャビティー列１２Ｂに対応する第２の配線群８５Ｂの各接続部８２Ｂとを、一つの接続領域７１０にまとめて配置しているので、２列のキャビティー列間に形成される配線列領域７００を、従来に比べて狭くすることができる。すなわち、従来では一方のキャビティー列１２Ａ側と他方のキャビティー列１２Ｂ側とにそれぞれ独立して接続領域を形成し、したがって二つ（２列分）の接続領域を必要としていたのに対し、本実施形態では、これを一つにしているので、その分配線列領域７００を狭くし、液滴吐出ヘッド１を小型化することが可能になる。

なお、図６では、接続領域７１０を配線列領域７００のほぼ中央に形成しているが、例えば一方のキャビティー列１２Ａ側、あるいは他方のキャビティー列１２Ｂ側に偏らせて、接続領域７１０を形成配置してもよい。これは、本発明ではフレキシブル基板５００を、例えば２列のキャビティー列１２Ａ、１２Ｂのうちのいずれか一方の側のみに配置するので、このフレキシブル基板５００の導電パターンと、接続領域７１０における接続部８２Ａ、８２Ｂとの接続・導通を、より容易にするためである。

具体的には、フレキシブル基板５００を一方のキャビティー列１２Ａ側に配置する場合、接続領域７１０は他方のキャビティー列１２Ｂ側に配置するのが好ましく、逆にフレキシブル基板５００を他方のキャビティー列１２Ｂ側に配置する場合、接続領域７１０は一方のキャビティー列１２Ａ側に配置するのが好ましい。このようにすれば、フレキシブル基板５００を配置する側の、溝状の配線列領域７００を形成するリザーバー形成基板２０の側面に、フレキシブル基板５００が当接することでこれに干渉されることが少なくなり、接続領域７１０へのフレキシブル基板５００の接続が容易になるからである。

また、本実施形態では、前記配線８１Ａ、８１Ｂにおける所定長さの接続部（電極部）８２Ａ、８２Ｂが、フレキシブル基板５００が配置される側のキャビティー列側（本実施形態ではキャビティー列１２Ａ側）の一点（図示せず）を中心にして、放射状に配設されている。すなわち、一点を通って等角度の間隔で放射状に配列され、したがって隣り合う接続部（電極部）８２Ａ、８２Ｂに対して所定の角度ずつ傾いて配置されている。これは、後述するようにフレキシブル基板５００についても、その導電パターンの端子部を、該フレキシブル基板５００が配置される側のキャビティー列１２Ａ側の一点を中心にして、放射状に配設することで、接続部８２Ａ、８２Ｂと端子部との間の合わせずれを少なくするためのである。

フレキシブル基板５００は、ＣＯＦ（Chip on Film）と呼ばれるもので、図５に示すようにその第１の面５００Ａに導電パターン５１０を形成し、さらに該導電パターン５１０に接続して、駆動回路部２００を実装したものである。駆動回路部２００は、例えば回路基板あるいは駆動回路を含む半導体集積回路（ドライバーＩＣ）からなっている。また、本発明においてフレキシブル基板５００は、２列に配列されたキャビティー列１２Ａ、１２Ｂのうちの一方、本実施形態ではキャビティー列１２Ａ側のみに、設けられている。

なお、本発明において、フレキシブル基板５００がキャビティー列１２Ａ側に設けられているとは、導電パターン５１０が形成され、したがって駆動回路部２００を実装する面が、キャビティー列１２Ａ側を向いていることをいう。すなわち、図５に示したように、フレキシブル基板５００の一部がキャビティー列１２Ａ側に配置され、これによって駆動回路部２００がキャビティー列１２Ａ側に配置されている場合はもちろんであるが、フレキシブル基板５００が配線列領域７００上にほぼ垂直に立ち上がって設けられた場合にも、導電パターン５１０が形成され、駆動回路部２００が実装された面がキャビティー列１２Ａ側を向いていれば、このフレキシブル基板５００はキャビティー列１２Ａ側に設けられているものとする。

また、このフレキシブル基板５００には、フレキシブル基板５００の一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部Ｑと、駆動回路部２００を実装した回路実装部Ｒとが形成されている。折り曲げ部Ｑには端子接続部Ｐが設けられ、その第１の面５００Ａ側に端子部５１２が形成されている。このような構成のもとにフレキシブル基板５００は、折り曲げ部Ｑが狭い配線列領域７００内に配置されることで、その端子部５１２と、配線列領域７００内の接続領域７１０における配線８１Ａ、８１Ｂとの電気的接続が、可能になっている。

端子部５１２と配線８１Ａ、８１Ｂとの電気的な接続については、ろう材、又は異方性導電膜（ＡＣＦ：anisotropic conductive film）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ：anisotropic conductive paste）を含む異方性導電材料などにより、なされている。
そして、フレキシブル基板５００とリザーバー形成基板２０との間には樹脂２０２が設けられており、これによってフレキシブル基板５００とリザーバー形成基板２０とは、樹脂２０２によって樹脂モールドされている。

ここで、フレキシブル基板５００の形状について詳述する。図７（ａ）〜（ｃ）は、フレキシブル基板５００の概略構成を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は端子部５１２の拡大図である。なお、図７（ａ）、（ｂ）に示すフレキシブル基板５００は、配線列領域７００及びリザーバー形成基板２０上に実装される前段階の状態、すなわち展開された状態を示している。したがって、折り曲げ部Ｑについては仮想して表している。

図７（ａ）に示すようにフレキシブル基板５００は、例えばポリイミド等の絶縁性フィルム部材からなる、厚さ１０〜６０μｍ程度の可撓性の基材と、その第１の面５００Ａに形成された導電パターン５１０と、第１の面５００Ａと反対側の第２の面５００Ｂに形成された補強用の金属膜５１１と、からなるものである。導電パターン５１０は、Ｃｕ（銅）などの導電性材料からなる配線パターンであって、数μｍの厚さに形成されたものである。金属膜５１１は、導電パターン５１０と同様にＣｕからなっていてもよく、これ以外の、Ａｕ（金）、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、ＳＵＳ（ステンレス鋼）などの金属材料からなっていてもよい。また、金属膜５１１は、本実施形態では第２の面５００Ｂの全面に形成されている。

図７（ｂ）は、フレキシブル基板５００の第１の面５００Ａ側の平面図である。この図に示すように第１の面５００Ａには、多数の導電パターン５１０が放射状に形成され、これら導電パターン５１０の中心側（放射状に広がる側と反対の側）に、ドライバーＩＣ等からなる駆動回路部２００が配置されている。また、駆動回路部２００を挟んで導電パターン５１０と反対の側には、外部コントローラー６（図示せず）から駆動回路部２００に電気信号（制御信号）を伝えるための、配線パターン５１４が形成されている。

導電パターン５１０は、本実施形態では駆動回路部２００側から放射状に拡がっている。そして、特に折り曲げ部Ｑに位置する端子部５１２は、適宜な長さを有し、この長さを有した部分（すなわち端子部５１２）が、図７（ｃ）に示すように駆動回路部２００側の一点を中心にして放射状に広がって形成配置されている。すなわち、一点を通って等角度の間隔で放射状に配列され、したがって隣り合う端子部５１２に対して所定の角度ずつ傾いて配置されている。なお、端子部５１２の長さについては、特に限定されないものの、前記接続部８２Ａ、８２Ｂの長さ（所定長さ）とほぼ等しい長さに形成される。また、これら導電パターン５１０については、特に折り曲げ部Ｑに位置する端子部５１２が放射状に配置されていれば、これら端子部５１２と駆動回路部２００との間については、放射状でなく、途中で折曲されることで適宜に拡げられていてもよい。

端子部５１２の放射状の拡がりは、前記の接続領域７１０に配置された配線部８２Ａ、８２Ｂの放射状の拡がりと同一に設計され、形成されている。具体的には、放射状に広がる端子部５１２の中心点と、放射状に広がる接続部８２Ａ、８２Ｂの中心点とが、ある程度の誤差をもって一致するように（すなわち略一致するように）、設計され、形成されている。なお、放射状に広がる端子部５１２の中心点とは、図７（ｂ）に示したように、フレキシブル基板５００を折り曲げることなく展開した状態での、放射状の中心点をいう。

このように端子部５１２における放射状の拡がり方と接続部８２Ａ、８２Ｂにおける放射状の拡がり方を概略一致させることにより、図８（ａ）に示すように、接続領域７１０において交互に配置された接続部８２Ａ、８２Ｂと、端子部５１２とを、位置ずれすることなく１：１で良好に接続させることができる。

ここで、端子部５１２や接続部８２Ａ、８２Ｂについての放射状に広がる（放射状に配置される）との意味は、各端子部５１２や接続部８２Ａ、８２Ｂが、その中心点から等角度で該中心点の周方向に広がって延びて、形成される直線の一部からなっていることをいう。したがって、これら端子部５１２や接続部８２Ａ、８２Ｂは、その長さ方向において切り出した一部と他部とが、互いに相似な形状になる。

次に、前記構成の液滴吐出ヘッド１の動作について説明する。
液滴吐出ヘッド１より機能液を吐出するために、外部コントローラー６は、機能液導入口２５に接続された図示しない外部機能液供給装置を駆動する。外部機能液供給装置から送出された機能液は、機能液導入口２５を介してリザーバー１００に供給された後、ノズル１５に至るまでの液滴吐出ヘッド１の内部流路を満たす。また、外部コントローラー６は、駆動回路部２００等に駆動電力や指令信号を送る。指令信号等は、フレキシブル基板５００には配線パターン５１４を介して駆動回路部２００に送られる。駆動回路部２００は、外部コントローラー６からの指令に基づいて、端子部５１２を含む導電パターン５１０を介して、キャビティー１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体膜７０を変位させる。これにより、各キャビティー１２はその内圧を変化させることで、ノズル１５より液滴を吐出する。

次に、液滴吐出ヘッド１の製造方法について説明する。図９は、液滴吐出ヘッド１の製造方法を示すフローチャートであり、図１０は、液滴吐出ヘッド１の製造方法を示す説明図である。なお、以下では、駆動回路部２００と圧電素子との電気的接続を行うための手順について、主に説明し、液滴吐出ヘッド１のうち、ノズルプレート１６、流路形成基板１０、リザーバー形成基板２０、圧電素子３００等の製造及び接続・配置作業は既に完了しているものとする。したがって、圧電素子３００の上電極膜８０が引き出されてなる配線８１Ａ、８１Ｂも形成されているものとし、特に接続領域７１０に配置される接続部８２Ａ、８２については、図６に示したように放射状に拡がって形成されているものとする。

図９に示すようにステップＳ１では、ポリイミド等の可撓性を有するフレキシブル基板５００の第１の面５００Ａに、銅などの導電性材料からなる端子部５１２を含む導電パターンを、プリント方式によってメッキやエッチングなどの手法で形成する。
ステップＳ２では、フレキシブル基板５００の第２の面５００Ｂに、銅などの導電材料からなる金属膜５１１を、プリント方式により、メッキやエッチングなどの手法によって形成する。

ステップＳ３では、フレキシブル基板５００の第１の面５００Ａの回路実装部Ｒに駆動回路部２００をフリップチップ実装する。
ステップＳ４では、樹脂２０１によってフレキシブル基板５００に駆動回路部２００を固定する。

ステップＳ５では、フレキシブル基板５００に折り曲げ部Ｑを形成する。図１０に示すように、ほぼ直線状のフレキシブル基板５００を、図７（ｂ）に示した折り曲げ部Ｑとなる部分が折り曲がり、これによって導電パターン５１０の端子部５１２が外側に向き、かつ下方に向くように折り曲げる。これにより、略直角に折り曲げられたフレキシブル基板５００が形成される。

ステップＳ６では、フレキシブル基板５００に形成した端子部５１２を、圧電素子３００の配線８１Ａ、８１Ｂにおける接続部８２Ａ、８２Ｂに接続する。ここで、フレキシブル基板５００はポリイミド等からなっているため、温度や湿度等の環境条件によって全体が伸縮する。すなわち、設計された形状に対して相似形状を保持しつつ全体が伸縮し、したがって導電パターン５１０における端子部５１２も、設計された状態に対して相似形状を保持しつつ伸縮する。これにより、これら端子部５１２間のピッチも変化する。すると、これら端子部５１２の位置が配線８１Ａ、８１Ｂにおける接続部８２Ａ、８２Ｂの位置に対してずれてしまうことがあり、結果としてこれら端子部５１２と接続部８２Ａ、８２Ｂとの間で合わせずれが生じることがある。

しかして、本実施形態では、前記したように配線８１Ａ、８１Ｂの接続部８２Ａ、８２Ｂを放射状に配設しているので、接続部８２Ａ、８２Ｂの長さ方向における一部が、他部に対して相似な形状になっている。また、導電パターン５１０の端子部５１２についても、接続部８２Ａ、８２Ｂと同様に放射状に配設している。したがって、フレキシブル基板５００の伸縮に伴って端子部５１２間のピッチが相似状に変化しても、このピッチの変化に対応して前記接続領域７１０へのフレキシブル基板５００における折り曲げ部Ｑの接合位置を、その端子部５１２の長さ方向（端子部５１２の列方向と直交する方向）に適宜ずらして調整することにより、例えば図８（ｂ）に示すように端子部５１２と接続部８２Ａ、８２Ｂとの間の合わせずれをなくすことができる。

なお、このように端子部５１２を接続部８２Ａ、８２Ｂに接続する際には、押圧部材（図示せず）によって折り曲げ部Ｑにおける第２の面５００Ｂを上方から下方に向かって押圧することにより、この接続を容易に行うことができる。また、端子部５１２と接続部８２Ａ、８２Ｂとのうちの一方あるいは両方に、ろう材又は異方性導電材料を予め設けておくことにより、端子部５１２と接続部８２Ａ、８２Ｂとの間の電気的接続を作業性良く、かつ良好に行うことができる。

ステップ７では、端子部５１２と接続部８２Ａ、８２Ｂとの間の接続作業が終了した後、樹脂２０２によってリザーバー形成基板２０にフレキシブル基板５００を固定するとともに、端子部５１２と接続部８２Ａ、８２Ｂとの間の接続部分を覆う。これにより、フレキシブル基板５００の位置が固定されるとともに、フレキシブル基板５００自体が樹脂２０２によって補強され、さらに、樹脂２０２によって、端子部５１２と接続部８２Ａ、８２Ｂとの間の接続部分が保護されてなる、図３に示した液滴吐出ヘッド１が得られる。

このような本実施形態の液滴吐出ヘッド１にあっては、２列のキャビティー列１２Ａ、１２Ｂ間の配線列領域７００において、第１の配線群８５Ａの各配線８１Ａと第２の配線群８５Ｂの各配線８１Ｂとを、接続領域７１０にて互い違いになるよう互いに交互に配置しているので、この接続領域７１０にて各配線８１Ａ、８１Ｂの接続部８２Ａ、８２Ｂとフレキシブル基板５００の導電パターン５１０の端子部５１２とを一括して接続することができる。したがって、フレキシブル基板５００を、２列のキャビティー列１２Ａ、１２Ｂのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように２列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側にフレキシブル基板を配するのに比べ、小型化を図ることができる。また、各配線８１Ａ、８１Ｂの接続部８２Ａ、８２Ｂとフレキシブル基板５００の端子部５１２とを接続する接続領域７１０を一箇所（一列）にまとめているため、２列のキャビティー列１２Ａ、１２Ｂ間に形成される配線列領域７００を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることができる。

また、配線８１Ａ、８１Ｂの接続部８２Ａ、８２Ｂを放射状に配設し、導電パターン５１０の端子部５１２も放射状に配設しているので、フレキシブル基板５００の伸縮によって導電パターン５１０の端子部５１２間のピッチが変化しても、このピッチの変化に対応して前記接続領域７１０へのフレキシブル基板５００の接合位置を、導電パターン５１０の端子部５１２の列方向と直交する方向に適宜ずらして調整することにより、端子部５１２と接続部８２Ａ、８２Ｂとの間の合わせずれを抑制することができる。

さらに、キャビティー１２のそれぞれに対応するノズル１５を、２列のキャビティー列１２Ａ、１２Ｂ間において、半ピッチずれて千鳥状に配置しているので、これら２列のキャビティー列１２Ａ、１２Ｂ間で対応するノズル１５どうしを、その列方向において互いに同じ位置にある場合に比べ、該液滴吐出ヘッド１から吐出される液滴の間隔を、見掛け上半分にすることができる。したがって、液滴を吐出することで形成する描画パターンを高精細化することができる。

また、図１に示した本発明の液滴吐出装置１０００にあっては、前述したように小型化が図られた液滴吐出ヘッド１を備えているので、この液滴吐出装置自体も小型化が図られたものとなる。

図１１は、本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す図である。図１１に示した液滴吐出ヘッド１が図３に示した液滴吐出ヘッド１と異なるところは、図３に示した液滴吐出ヘッド１では、フレキシブル基板５００の回路実装部Ｒ（図１０参照）側を、リザーバー形成基板２０の上面上に寝かした状態に設けているのに対し、図１１に示した液滴吐出ヘッド１では、回路実装部Ｒ側をリザーバー形成基板２０の上面に対して、折り曲げ部Ｑを除いたフレキシブル基板５００の全体を、配線列領域７００に対してほぼ垂直に立ち上げて配置している点である。なお、フレキシブル基板５００を配設については、図３や図１１に示した以外にも、例えば回路実装部Ｒ側を、リザーバー形成基板２０の上面に対して斜めに配置してもよい。
このように種々の形態でフレキシブル基板５００を配設可能にすることで、液滴吐出ヘッドの形状に応じて、より最適な小型化を行うことができる。

図１２は、本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す図である。図１２に示した液滴吐出ヘッド１が先の実施形態における液滴吐出ヘッド１と異なるところは、先の実施形態における液滴吐出ヘッド１では、図６に示したように複数の圧電素子（駆動素子）３００を、一定の方向（第１の方向）に直線状（僅かな位置ずれを有する略直線状を含む）に配列しているのに対し、図１２に示した実施形態では、複数の圧電素子（駆動素子）３００からなる第１の駆動素子群３１０を非直線状に配置するとともに、複数の圧電素子（駆動素子）３００からなる第２の駆動素子群３２０を、第１の駆動素子群３１０と交差することがないようにして非直線状に配置した点である。

このように構成しても、図６に示した実施形態の液滴吐出ヘッド１と同様に、接続領域７１０にて各配線８１Ａ、８１Ｂの接続部８２Ａ、８２Ｂとフレキシブル基板５００の導電パターン５１０の端子部５１２とを一括して接続することができる。したがって、フレキシブル基板５００を、２列のキャビティー列１２Ａ、１２Ｂのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように２列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側にフレキシブル基板を配するのに比べ、小型化を図ることができる。また、各配線８１Ａ、８１Ｂの接続部８２Ａ、８２Ｂとフレキシブル基板５００の端子部５１２とを接続する接続領域７１０を一箇所（一列）にまとめているため、２列のキャビティー列１２Ａ、１２Ｂ間に形成される配線列領域７００を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることができる。

なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、複数の駆動素子を有する液滴吐出ヘッドであれば適用可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
例えば、前記実施形態では液滴吐出ヘッドが一台からなっている例について説明したが、図３に示したような液滴吐出ヘッドが複数台連設されることにより、１基の液滴吐出ヘッドが構成されていてもよい。

また、前記実施形態では、フレキシブル基板を一つのみ用いたれ例を示したが、２列のキャビティー列のうちの一方の側のみに配置するのであれば、複数のフレキシブル基板をキャビティーの列方向に沿って配置してもよい。
また、前記実施形態では、第１の配線８１Ａの接続部８２Ａと第２の配線８１Ｂの接続部８２Ｂとを、接続領域７１０において互いに交互に配置したが、例えばこれら接続部８２Ａと接続部８２Ｂとを複数個ずつ交互に配置してもよく、さらには、これらを不規則に配置してもよい。
さらに、前記実施形態では駆動回路部２００を備える基板としてフレキシブル基板５００を用いたが、本発明はこれに限定されることなく、硬質の基板を用いることもできる。

なお、前述した実施形態においては、本発明の液滴吐出装置を画像記録用のインクジェット式記録装置に適用した場合について説明したが、本発明の液滴吐出装置は、液状体を吐出する装置であれば適用可能であり、例えば工業用の液滴吐出装置にも適用可能である。すなわち、液滴吐出ヘッド１より吐出する機能液として、液晶表示デバイスを形成するための液晶表示デバイス形成用材料、有機ＥＬ表示デバイスを形成するための有機ＥＬ形成用材料、電子回路の配線パターンを形成するための配線パターン形成用材料などを含むものとする。これにより液滴吐出装置１０００は、液滴吐出法に基づいて吐出した機能液により、前記の各デバイスを良好に製造できるものとなる。

１…液滴吐出ヘッド、１２…キャビティー、１２Ａ、１２Ｂ…キャビティー列、１５…ノズル、１６…ノズルプレート、２０…リザーバー形成基板、７０…圧電体膜、８０…上電極膜、８１Ａ、８１Ｂ…配線、８２Ａ、８２Ｂ…接続部（電極部）、８５Ａ…第１の配線群、８５Ｂ…第２の配線群、２００…駆動回路部、２０２…樹脂、３００…圧電素子（駆動素子）、５００…フレキシブル基板（基板）、５１０…導電パターン、５１２…端子部、７００…配線列領域、７１０…接続領域、９００…異方性導電材料、１０００…液滴吐出装置

Claims (12)

1. キャビティーが第１の方向に複数配列してなる第１のキャビティー列と、
   前記キャビティーが前記第１の方向に複数配列してなり、前記第１のキャビティー列に対して並列に配置された第２のキャビティー列と、
   前記キャビティーに設けられて、前記キャビティー内の液状体を吐出させる駆動素子と、
   前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
   前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
   前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、
   前記第１のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第１の配線と、
   前記第２のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第２の配線と、を備え、
   前記第１のキャビティー列と、前記第２のキャビティー列と、の間に、複数の前記第１の配線と、複数の前記第２の配線と、が櫛歯が噛み合うように、且つ、互いに離間して配置され、
   複数の前記端子部が、前記第１の方向に１列に配列され、
   前記端子部が、前記第１の配線と前記第２の配線とに接続され、
   前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記キャビティー側に向けた状態で、該キャビティーが設けられた側に樹脂モールドされ、
   前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 前記第１の配線、及び、前記第２の配線は、前記端子部に接続する領域に電極部を有し、
   前記電極部は、前記第１のキャビティー列、又は、前記第２のキャビティー列のいずれか一方のキャビティー列側を中心にして放射状に配置されていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
3. 前記端子部は、前記一方のキャビティー列側を中心にして放射状に配置されていることを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
4. 前記放射状に配置された電極部の中心と、
   前記放射状に配置された端子部の中心と、が一致していることを特徴とする請求項３記載の液滴吐出ヘッド。
5. 前記第１の配線と、前記第２の配線とが、前記第１の方向に互いに交互に配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
6. 前記キャビティーに対応するノズルが、前記第１の方向に半ピッチずれて千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
7. 前記基板は可撓性を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
8. 液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、
   前記液滴吐出ヘッドとして、請求項１〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
9. 液状体を吐出させる駆動素子が第１の方向に複数配列してなる第１の駆動素子列と、
   前記駆動素子が前記第１の方向に複数配列してなり、前記第１の駆動素子列に対して並列に配置された第２の駆動素子列と、
   前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
   前記第１の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第１の電極部と、
   前記第２の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第２の電極部と、
   前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
   前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、を備え、
   複数の前記端子部が、前記第１の方向に１列に配列され、
   前記第１の駆動素子列と、前記第２の駆動素子列と、の間に、
   複数の前記第１の電極部と、複数の前記第２の電極部と、が前記第１の方向に１列に配列され、
   前記端子部が、前記第１の電極部と前記第２の電極部とに接続され、
   前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記駆動素子側に向けた状態で、該駆動素子が設けられた側に樹脂モールドされ、
   前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
10. 前記電極部は、隣り合う前記電極部に対して所定の角度ずつ傾いて配置されていることを特徴とする請求項９記載の液滴吐出ヘッド。
11. 前記端子部は、隣り合う前記端子部に対して所定の角度ずつ傾いて配置されていることを特徴とする請求項１０記載の液滴吐出ヘッド。
12. 液状体を吐出させる駆動素子が複数配置された第１の駆動素子群と、
    前記駆動素子が複数配置され、前記第１の駆動素子群と交差することなく配置された第２の駆動素子群と、
    前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
    前記第１の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第１の電極部と、
    前記第２の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第２の電極部と、
    前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
    前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、を備え、
    複数の前記端子部が、第１の方向に１列に配列され、
    前記第１の駆動素子群と、前記第２の駆動素子群と、の間に、
    複数の前記第１の電極部と、複数の前記第２の電極部と、が前記第１の方向に１列に配列され、
    前記端子部が、前記第１の電極部と前記第２の電極部とに接続され、
    前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記駆動素子側に向けた状態で、該駆動素子が設けられた側に樹脂モールドされ、
    前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。

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