JP5600913B2 - 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関する。
液滴吐出ヘッドは、ICチップ(ICドライバー)等からなる駆動回路部と、圧電素子等の駆動素子とを電気的に接続し、駆動回路部から駆動素子に制御信号を送信してこれを駆動させることにより、キャビティー内の機能液を液滴としてノズルから吐出するものである。このような液滴吐出ヘッドでは、導電パターン(配線パターン)を有する複数のフレキシブル基板にそれぞれ駆動回路部を実装し、これらフレキシブル基板の一部を駆動素子の電極部(接続部)に接続することにより、導電パターンを介して駆動回路部と駆動素子とを電気的に接続している(例えば、特許文献1参照)。
すなわち、2列に配設されたキャビティーに対応して用意された複数のフレキシブル基板の導電パターンを、2列に配設されたキャビティーの間において、これらキャビティーに対応して2列に配列された駆動素子側の配線の接続部に、それぞれ接続している。
特開2006−68989号公報
しかしながら、前記のように2列に配列された駆動素子側の配線の接続部に、それぞれ接続するようにして基板の導電パターンを配置すると、2列に配設されたキャビティーの間を比較的広くする必要があり、ヘッドの小型化が困難であった。
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、液滴吐出ヘッドの小型化を可能にした、液滴吐出ヘッドとこれを備えた液滴吐出装置を提供することにある。
前記課題を解決するため本発明の液滴吐出ヘッドは、キャビティーが第1の方向に複数配列してなる第1のキャビティー列と、前記キャビティーが前記第1の方向に複数配列してなり、前記第1のキャビティー列に対して並列に配置された第2のキャビティー列と、前記キャビティーに設けられて、前記キャビティー内の液状体を吐出させる駆動素子と、前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、前記第1のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第1の配線と、前記第2のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第2の配線と、を備え、前記第1のキャビティー列と、前記第2のキャビティー列と、の間に、複数の前記第1の配線と、複数の前記第2の配線と、が櫛歯が噛み合うように、且つ、互いに離間して配置され、複数の前記端子部が、前記第1の方向に1列に配列され、前記端子部が、前記第1の配線と前記第2の配線とに接続され、前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記キャビティー側に向けた状態で、該キャビティーが設けられた側に樹脂モールドされ、前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする。
前記課題を解決するため本発明の液滴吐出ヘッドは、
キャビティーが第1の方向に複数配列してなる第1のキャビティー列と、
前記キャビティーが前記第1の方向に複数配列してなり、前記第1のキャビティー列に対して並列に配置された第2のキャビティー列と、
前記キャビティーに設けられて、前記キャビティー内の液状体を吐出させる駆動素子と、
前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
前記駆動回路部、及び、前記端子部が配置された基板と、
前記第1のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第1の配線と、
前記第2のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第2の配線と、を備え、
前記第1のキャビティー列と、前記第2のキャビティー列と、の間に、複数の前記第1の配線と、複数の前記第2の配線と、が櫛歯が噛み合うように、且つ、互いに離間して配置され、
複数の前記端子部が、前記第1の方向に1列に配列され、
前記端子部が、前記第1の配線と前記第2の配線とに接続されていることを特徴とする。
この液滴吐出ヘッドによれば、複数の前記端子部が、第1の方向に1列に配列され、前記端子部が、前記第1の配線と前記第2の配線とに接続されているので、
各配線と端子部とを一括して接続させることができる。したがって、基板を、例えば2列のキャビティーのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように2列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側に基板を配するのに比べ、小型化を図ることが可能になる。また、各配線の接続部と基板の端子部とを接続する領域を一箇所(一列)にまとめているため、2列のキャビティー間に形成される配線列領域を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることが可能になる。
なお、前記の「1列に配設され」との表現、さらに後記する「1列に配設され」との表現は、本発明においては、全体として略直線状に配置されていることを意味するものである。
また、前記液滴吐出ヘッドにおいて、前記第1の配線、及び、前記第2の配線は、前記端子部に接続する領域に電極部を有し、前記電極部は、前記第1のキャビティー列、又は、前記第2のキャビティー列のいずれか一方のキャビティー列側を中心にして放射状に配置されているのが好ましい。
さらに、前記端子部は、前記一方のキャビティー列側を中心にして放射状に配置されているのが好ましい。
基板が例えばポリイミド等からなるフレキシブル基板である場合、温度や湿度等の環境条件によって伸縮し、導電パターンの端子部間のピッチが変化する。すると、これら端子部の位置が前記配線の接続部の位置に対してずれてしまうことがあり、結果としてこれら端子部と接続部との間で合わせずれが生じることがある。
そこで、前記したように配線の電極部を放射状に配設し、前記端子部も放射状に配設しているので、基板の伸縮によって端子部間のピッチが変化しても、このピッチの変化に対応して前記の端子部に接続する領域への基板の接合位置を、導電パターンの端子部の列方向と直交する方向に適宜ずらして調整することにより、端子部と接続部との間の合わせずれをなくすことが可能になる。
なお、液滴吐出ヘッドにおいて、前記放射状に配置された電極部の中心と、前記放射状に配置された端子部の中心と、が一致しているのが好ましい。
このようにすれば、端子部と接続部との間の合わせずれをより良好になくすことができる。
また、前記液滴吐出ヘッドにおいては、前記第1の配線と、前記第2の配線とが、前記第1の方向に互いに交互に配置されているのが好ましい。
このようにすれば、第1の配線と第2の配線とを大きく引き回すことなく、これらを端子部に接続する領域に配することが可能になり、その分狭小化が可能になる。
また、前記液滴吐出ヘッドにおいては、前記キャビティーに対応するノズルが、前記第1の方向に半ピッチずれて千鳥状に配置されているのが好ましい。
このようにすれば、キャビティー間で対応するノズルどうしが、ノズルの列方向において互いに同じ位置にある場合に比べ、該液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の間隔を、見掛け上半分にすることができる。したがって、液滴を吐出することで形成する描画パターンの高精細化が可能になる。
また、前記液滴吐出ヘッドにおいては、前記基板は可撓性を有しているのが好ましい。
このようにすれば、例えばその一端部側を折り曲げあるいは撓ませて前記配線列領域の接続領域に平面的に配し、残りの側は例えばキャビティーの上側の任意の位置に配することが可能になる。
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドとして、前述した液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする。
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドは、
キャビティーが第1の方向に複数配列してなる第1のキャビティー列と、
前記キャビティーが前記第1の方向に複数配列してなり、前記第1のキャビティー列に対して並列に配置された第2のキャビティー列と、
前記キャビティーに設けられて、前記キャビティー内の液状体を吐出させる駆動素子と、
前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
前記駆動回路部、及び、前記端子部が配置された基板と、
前記第1のキャビティー列側の駆動素子から引き出された第1の配線と、
前記第2のキャビティー列側の駆動素子から引き出された第2の配線と、を備え、
前記第1のキャビティー列と、前記第2のキャビティー列と、の間に、複数の前記第1の配線と、複数の前記第2の配線と、が櫛歯が噛み合うように、且つ、互いに離間して配置され、
複数の前記端子部が、前記第1の方向に1列に配列され、
前記端子部が、前記第1の配線と前記第2の配線とに接続されている液滴吐出ヘッドであることを特徴としている。
この液滴吐出装置によれば、前述したように小型化が図られた液滴吐出ヘッドを備えているので、この液滴吐出装置自体も小型化が図られたものとなる。
本発明の液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出させる駆動素子が第1の方向に複数配列してなる第1の駆動素子列と、前記駆動素子が前記第1の方向に複数配列してなり、前記第1の駆動素子列に対して並列に配置された第2の駆動素子列と、前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、前記第1の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第1の電極部と、前記第2の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第2の電極部と、前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、を備え、複数の前記端子部が、前記第1の方向に1列に配列され、前記第1の駆動素子列と、前記第2の駆動素子列と、の間に、複数の前記第1の電極部と、複数の前記第2の電極部と、が前記第1の方向に1列に配列され、前記端子部が、前記第1の電極部と前記第2の電極部とに接続され、記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記駆動素子側に向けた状態で、該駆動素子が設けられた側に樹脂モールドされ、前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする。
本発明の液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出させる駆動素子が第1の方向に複数配列してなる第1の駆動素子列と、
前記駆動素子が前記第1の方向に複数配列してなり、前記第1の駆動素子列に対して並列に配置された第2の駆動素子列と、
前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
前記第1の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第1の電極部と、
前記第2の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第2の電極部と、
前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
前記駆動回路部、及び、前記端子部が配置された基板と、を備え、
複数の前記端子部が、前記第1の方向に1列に配列され、
前記第1の駆動素子列と、前記第2の駆動素子列と、の間に、
複数の前記第1の電極部と、複数の前記第2の電極部と、が前記第1の方向に1列に配列され、
前記端子部が、前記電極部に接続されていることを特徴とする。
この液滴吐出ヘッドによれば、複数の前記端子部が、第1の方向に1列に配列され、複数の前記第1の電極部と、複数の前記第2の電極部と、が前記第1の方向に1列に配列され、前記端子部が、前記電極部に接続されているので、各電極と端子部とを一括して接続させることができる。したがって、基板を、例えば2列のキャビティーのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように2列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側に基板を配するのに比べ、小型化を図ることが可能になる。また、各電極と基板の端子部とを接続する領域を一箇所(一列)にまとめているため、2列のキャビティー間に形成される電極の領域を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることが可能になる。
また、前記液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極部は、隣り合う前記電極部に対して所定の角度ずつ傾いて配置されているのが好ましい。
また、前記端子部は、隣り合う前記端子部に対して所定の角度ずつ傾いて配置されているのが好ましい。
本発明の液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出させる駆動素子が複数配置された第1の駆動素子群と、前記駆動素子が複数配置され、前記第1の駆動素子群と交差することなく配置された第2の駆動素子群と、前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、前記第1の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第1の電極部と、前記第2の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第2の電極部と、前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、を備え、複数の前記端子部が、第1の方向に1列に配列され、前記第1の駆動素子群と、前記第2の駆動素子群と、の間に、複数の前記第1の電極部と、複数の前記第2の電極部と、が前記第1の方向に1列に配列され、前記端子部が、前記第1の電極部と前記第2の電極部とに接続され、前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記駆動素子側に向けた状態で、該駆動素子が設けられた側に樹脂モールドされ、前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする。
本発明の液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出させる駆動素子が複数配置された第1の駆動素子群と、
前記駆動素子が複数配置され、前記第1の駆動素子群と交差することなく配置された第2の駆動素子群と、
前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
前記第1の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第1の電極部と、
前記第2の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第2の電極部と、
前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
前記駆動回路部、及び、前記端子部が配置された基板と、を備え、
複数の前記端子部が、第1の方向に1列に配列され、
前記第1の駆動素子群と、前記第2の駆動素子群と、の間に、
複数の前記第1の電極部と、複数の前記第2の電極部と、が前記第1の方向に1列に配列され、
前記端子部が、前記電極部に接続されていることを特徴とする。


この液滴吐出ヘッドによれば、複数の前記端子部が、第1の方向に1列に配列され、複数の前記第1の電極部と、複数の前記第2の電極部と、が前記第1の方向に1列に配列され、前記端子部が、前記電極部に接続されているので、各電極と端子部とを一括して接続させることができる。したがって、基板を、例えば2列のキャビティーのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように2列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側に基板を配するのに比べ、小型化を図ることが可能になる。また、各電極と基板の端子部とを接続する領域を一箇所(一列)にまとめているため、2列のキャビティー間に形成される電極の領域を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることが可能になる。
本発明に係る液滴吐出ヘッドの一実施形態の外観斜視図である。 本発明に係る液滴吐出ヘッドの他の実施形態の外観斜視図である。 本発明の液滴吐出ヘッドの一実施形態を示す側断面図である。 ノズルの配列を示すための、ノズルプレートの要部底面図である。 図1に示した液滴吐出ヘッド1の要部拡大断面図である。 配線列領域上の配線の配列を説明するための、要部平面図である。 (a)〜(c)はフレキシブル基板の概略構成図である。 (a)、(b)は端子部と接続部との接続状態を示す要部平面図である。 液滴吐出ヘッドの製造方法を示すフローチャートである。 液滴吐出ヘッドの製造方法を示す説明図である。 本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す側断面図である。 本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す要部平面図である。
以下、図面を参照して本発明を詳しく説明する。なお、各図面における各部材については、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
[液滴吐出装置]
まず、本発明に係る液滴吐出装置の一例について説明する。
図1は、液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図であり、図1中符号1000は液滴吐出装置である。この液滴吐出装置1000は、例えば、画像記録用のインクジェット式記録装置であって、後述する本発明の一実施形態となる液滴吐出ヘッド1と、駆動軸4と、ガイド軸5と、外部コントローラー6と、ステージ7と、メンテナンス機構8と、基台9とを備えて構成されたものである。ステージ7は、ワークWを載置するもので、ワークWを所定の位置において固定する固定機構(図示せず)を備えたものである。
駆動軸4には駆動モーター2が接続されている。駆動モーター2は、例えばステッピングモーターよりなり、外部コントローラー6からの駆動信号によって駆動するようになっている。駆動モーター2の駆動によって駆動軸4が回転することにより、駆動軸4に設置された液滴吐出ヘッド1が、図1中に示したY方向(Y軸方向)に移動するようになっている。
ステージ7には、駆動モーター3が備えられている。駆動モーター3は、例えばステッピングモーターであり、外部コントローラー6からの駆動信号によって駆動するようになっている。駆動モーター3の駆動により、ステージ7が、図1中のX方向(X軸方向)に設けられたガイド軸5に沿って移動するようになっている。
外部コントローラー6は、液滴吐出のための制御信号を、液滴吐出ヘッド1に供給するものである。また、液滴吐出ヘッド1のY方向への移動を制御する駆動信号を、駆動モーター2に供給するとともに、ステージ7のX方向への移動を制御する駆動信号を、駆動モーター3に供給するようになっている。
メンテナンス機構8は、キャッピングユニット、ワイピングユニット、フラッシングユニット等のメンテナンスユニットを備え、液滴吐出ヘッド1のメンテナンスを行うものである。このメンテナンス機構8は、図示しない駆動モーターを備えたもので、該駆動モーターの駆動により、前記ガイド軸5に沿ってX方向に移動するようになっている。メンテナンス機構8の移動やメンテナンス動作は、外部コントローラー6によって制御されるようになっている。
このような構成のもとに液滴吐出装置1000は、液滴吐出ヘッド1とワークWを支持するステージ7とを相対的に走査しつつ、ワークWに対して液滴を吐出し、描画を行うようになっている。すなわち、液滴吐出ヘッド1から機能液を液滴として吐出し、これをワークW上に配し塗布することで、所望のパターンを描画するように構成されている。
図2は、本発明に係る液滴吐出装置の他の一例を示す概略図である。液滴吐出ヘッド1を有するヘッドユニット1Aおよび1Bを搭載したキャリッジ1Cが、駆動軸4に軸方向に自在に移動可能に設けられている。
駆動モーター2の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルトを介してキャリッジ1Cに伝達されることで、駆動軸4に設置されたキャリッジ1Cが主走査方向に移動する。一方、駆動軸4に沿ってプラテン3Aが設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン3A上を副走査方向に搬送されるようになっている。
キャリッジ1Cを主走査方向に移動させながら記録シートSに液状体を吐出し、記録シートSを副走査方向に搬送することにより、所望のパターンを描画する。
[液滴吐出ヘッド]
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドを説明する。
図3は、本発明の液滴吐出ヘッドの一実施形態を示す側断面図であり、図3中符号1は液滴吐出ヘッドである。この液滴吐出ヘッド1は、図1に示した液滴吐出装置1000に搭載されたもので、機能液を液滴として吐出するものである。
すなわち、この液滴吐出ヘッド1は、液滴が吐出されるノズル15を有するノズルプレート16と、ノズルプレート16の上面に接続され、液滴が流れる流路を形成する流路形成基板10と、流路形成基板10の上面に接続され、圧電素子(駆動素子)300の駆動によって変位する振動板400と、振動板400の上面に接続され、リザーバー100を形成するためのリザーバー形成基板20と、リザーバー形成基板20の上面側に設けられた可撓性を有するフレキシブル基板500と、を備えて構成されている。
流路形成基板10は、シリコン単結晶によって形成されたもので、このシリコン単結晶が異方性エッチングで加工されたことにより、キャビティー12を区画する隔壁が形成されるとともに、キャビティー12が形成されたものである。すなわち、流路形成基板10の下面側は開口しており、その開口を覆うようにノズルプレート16が流路形成基板10の下面に接続されている。流路形成基板10の下面とノズルプレート16とは、例えば接着剤や熱溶着フィルム等を介して固定されている。
これにより、複数の隔壁を有する流路形成基板10と、ノズルプレート16と、振動板400とで囲まれた空間によって、複数のキャビティー12が形成されている。ここで、本発明においてキャビティー12は、図3中のY方向に沿って2列に並列配置されて、キャビティー列12A、12Bを形成している。また、本実施形態では、2列に並列配置された前記キャビティー12は、平面視した状態で列間において半ピッチずれて千鳥状に配置されており、したがって、各キャビティー12に1:1で対応して設けられた圧電素子300も、各列間で半ピッチずれて千鳥状に配置されている。なお、各キャビティー12に対応して設けられた圧電素子(駆動素子)300は、キャビティー列12Aに対応した圧電素子(駆動素子)300によって第1の駆動素子列を形成し、キャビティー列12Bに対応した圧電素子(駆動素子)300によって第2の駆動素子列を形成している。
また、ノズルプレート16には、図4に示すように前記各キャビティー12に1:1で対応して、液滴を吐出するためのノズル15が多数形成されている。これらノズル15は、矩形状のノズルプレート16の、長辺の長さ方向に沿って2列に配列され、さらに各キャビティー12に対応して、各列間で半ピッチずれて千鳥状に配置されている。なお、ノズル15は、1列に例えば360個程度、2列合計で720個程度が形成されている。
図3に示すようにキャビティー12の一部は、リザーバー100に接続されている。リザーバー100は、機能液導入口25より導入され、キャビティー12に供給される前の機能液を一時的に保持するものであって、リザーバー形成基板20にY方向に延びるように形成されたリザーバー部21と、各キャビティー12のそれぞれを連通させる連通部13とを備えて構成されている。すなわち、リザーバー100は、複数のキャビティー12の共通の機能液保持室(インク室)となっている。機能液導入口25より導入された機能液は、導入路26を経てリザーバー100に流れ込み、供給路14を経て、キャビティー12に供給される。
流路形成基板10とリザーバー形成基板20との間に配置された振動板400は、流路形成基板10の上面を覆うように設けられた弾性膜50と、弾性膜50の上面に設けられた下電極膜60とを備えている。弾性膜50は、例えば厚み1〜2μm程度の二酸化珪素によって形成されている。下電極膜60は、例えば厚み0.2μm程度の金属によって構成されている。本実施形態では、下電極膜60は、複数の圧電素子300の共通電極となっている。
振動板400を変位させるための圧電素子300は、下電極膜60の上面に設けられた圧電体膜70と、その圧電体膜70の上面に設けられた上電極膜80とを備えて構成されている。圧電体膜70は、例えば厚み1μm程度、上電極膜80は例えば厚み0.1μm程度に形成されている。なお、圧電素子300の概念としては、圧電体膜70及び上電極膜80に加えて、下電極膜60を含むものであってもよい。すなわち、本実施形態における下電極膜60は、圧電素子300としての機能と、振動板400としての機能とを兼ね備えている。また、本実施形態では、弾性膜50及び下電極膜60が振動板400として機能するが、弾性膜50を省略した構造とし、下電極膜60が弾性膜(50)を兼ねるようにしてもよい。
圧電体膜70及び上電極膜80、すなわち圧電素子300は、前述したように、複数のノズル15及びキャビティー12のそれぞれに対応するように、複数設けられている。すなわち、圧電体膜70及び上電極膜80からなる圧電素子300は、各ノズル15毎(キャビティー12毎)に設けられ、かつ、千鳥状に配置されている。そして、前述したように下電極膜60は、複数の圧電素子300の共通電極として機能し、上電極膜80は、複数の圧電素子300の個別電極として機能している。また、上電極膜80は、後述するようにその一端側が、駆動回路部200に電気的に接続する配線となっている。
リザーバー形成基板20には、封止膜31と固定板32とを有するコンプライアンス基板30が接合されている。封止膜31は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、厚み6μm程度のポリフェニレンスルフィドフィルム)からなり、この封止膜31によってリザーバー部21の上部が封止されている。また、固定板32は、金属等の硬質の材料(例えば、厚み30μm程度のステンレス鋼)で形成される。この固定板32のうち、リザーバー100に対応する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部33となっているため、リザーバー100の上部は、可撓性を有する封止膜31のみで封止され、内部圧力の変化によって変形可能な可撓部22となっている。
通常、機能液導入口25からリザーバー100に機能液が供給されると、例えば、圧電素子300の駆動時の機能液の流れ、あるいは、周囲の熱などによってリザーバー100内に圧力変化が生じる。しかしながら、前述のように、リザーバー100の上部が封止膜31のみよって封止されて可撓部22となっているため、この可撓部22が撓み変形してその圧力変化を吸収する。したがって、リザーバー100内は常に一定の圧力に保持される。なお、その他の部分は固定板32によって十分な強度に保持されている。
また、リザーバー100の外側のコンプライアンス基板30上には、リザーバー100に機能液を供給するための機能液導入口25が形成されており、リザーバー形成基板20には、機能液導入口25とリザーバー100の側壁とを連通する導入路26が設けられている。
リザーバー形成基板20のうち、X方向に関しての中央部、すなわち2列に形成されたキャビティー列12A、12Bの間には、Y方向に延びる溝状の配線列領域700が形成されており、ここに流路形成基板10(隔壁10K)の一部が露出している。また、リザーバー形成基板20のうち、圧電素子300に対向する領域には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密封可能な圧電素子保持部24が設けられている。この圧電素子保持部24は、圧電素子300を覆う大きさに形成されている。
また、圧電素子300のうち、少なくとも圧電体膜70は、この圧電素子保持部24内に密封されている。このように、リザーバー形成基板20は、圧電素子300を外部環境と遮断して、圧電素子300を封止するための封止部材としての機能を有している。リザーバー形成基板20によって圧電素子300を封止することで、水分等の外部環境による圧電素子300の劣化を防止することができる。また、本実施形態では、圧電素子保持部24の内部を密封状態にしただけであるが、例えば、圧電素子保持部24内の空間を真空にしたり、あるいは窒素又はアルゴン雰囲気等とすることにより、圧電素子保持部24内を低湿度に保持することができ、圧電素子300の劣化をさらに確実に防止することができる。
また、リザーバー形成基板20は剛体であって、そのリザーバー形成基板20を形成する材料としては、例えば、ガラス、セラミック材料等の流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板が用いられている。
図5は、液滴吐出ヘッド1のうち、フレキシブル基板500の部分を拡大した要部拡大断面図である。図5に示すように、キャビティー列12A、12Bのうちの一方の側(キャビティー列12A側)の圧電素子300における、上電極膜80の一方の端部は、リザーバー形成基板20の外側まで引き出されて配線81Aとして機能するようになっている。すなわち、上電極膜80は、リザーバー形成基板20、20間に位置する配線列領域700にまで延びて形成され、流路形成基板10上に引き出されて配線81Aとなっている。
なお、配線列領域700における流路形成基板10上に下電極膜60の一部が配置される場合には、上電極膜80と下電極膜60との間の電気的な接続を防止するため、これら上電極膜80と下電極膜60との間に絶縁膜600が設けられる。
また、キャビティー列12A、12Bのうちの他の側(キャビティー列12B側)の圧電素子300における上電極膜80も、リザーバー形成基板20、20間に位置する配線列領域700にまで延びて形成され、流路形成基板10上に引き出されて配線81Bとなっている。
すなわち、図6に示すように配線列領域700上には、一方のキャビティー列12A側の多数の圧電素子300から配線81A(上電極膜80)が櫛歯状に引き出されて、第1の配線群85Aが形成されている。同様に、他方のキャビティー列12B側の多数の圧電素子300からも、配線81B(上電極膜80)が櫛歯状に引き出されて、第2の配線群85Bが形成されている。なお、前記の「櫛歯状」とは、各櫛歯が連結していない状態を含んでいる。
一方のキャビティー列12A側から引き出された多数の配線81A(第1の配線群85A)は、その先端側の所定長さ部分(先端部)が、後述するフレキシブル基板500の導電パターンに接続する接続部(第1の電極部)82Aとなっている。同様に、他方のキャビティー列12B側から引き出された多数の配線81B(第2の配線群85B)も、その先端側の所定長さ部分(先端部)が、フレキシブル基板500の導電パターンに接続する接続部(第2の電極部)82Bとなっている。
また、これら各接続部(電極部)82A、82Bは、配線列領域700内の、キャビティー12の配列方向に沿って形成された帯状の接続領域710に配置されている。第1の配線群85Aを構成する各配線81Aの接続部82Aと、第2の配線群85Bを構成する各配線81Bの接続部82Bとは、本実施形態では接続領域710において、前記キャビティー列12A、12Bの列方向に沿って所定の間隔をあけて離間した交互に、すなわち、櫛歯が噛み合うようにして互い違いに一列で配置されている。これにより、対向して配置された配線81A、81Bは、これらの間で短絡することが防止されている。
なお、このように接続部82Aと接続部82Bとが交互に配置されるのは、前述したように2列のキャビティー12が半ピッチずれて千鳥状に配置され、これらに対応する圧電素子300も各列間で半ピッチずれて千鳥状に配置されていることにより、これら圧電素子300から引き出された配線81A、81Bも、第1の配線群85Aと第2の配線群85Bとの間で半ピッチずれた状態に形成されているからである。
このように、一方のキャビティー列12Aに対応する第1の配線群85Aの各接続部82Aと、他方のキャビティー列12Bに対応する第2の配線群85Bの各接続部82Bとを、一つの接続領域710にまとめて配置しているので、2列のキャビティー列間に形成される配線列領域700を、従来に比べて狭くすることができる。すなわち、従来では一方のキャビティー列12A側と他方のキャビティー列12B側とにそれぞれ独立して接続領域を形成し、したがって二つ(2列分)の接続領域を必要としていたのに対し、本実施形態では、これを一つにしているので、その分配線列領域700を狭くし、液滴吐出ヘッド1を小型化することが可能になる。
なお、図6では、接続領域710を配線列領域700のほぼ中央に形成しているが、例えば一方のキャビティー列12A側、あるいは他方のキャビティー列12B側に偏らせて、接続領域710を形成配置してもよい。これは、本発明ではフレキシブル基板500を、例えば2列のキャビティー列12A、12Bのうちのいずれか一方の側のみに配置するので、このフレキシブル基板500の導電パターンと、接続領域710における接続部82A、82Bとの接続・導通を、より容易にするためである。
具体的には、フレキシブル基板500を一方のキャビティー列12A側に配置する場合、接続領域710は他方のキャビティー列12B側に配置するのが好ましく、逆にフレキシブル基板500を他方のキャビティー列12B側に配置する場合、接続領域710は一方のキャビティー列12A側に配置するのが好ましい。このようにすれば、フレキシブル基板500を配置する側の、溝状の配線列領域700を形成するリザーバー形成基板20の側面に、フレキシブル基板500が当接することでこれに干渉されることが少なくなり、接続領域710へのフレキシブル基板500の接続が容易になるからである。
また、本実施形態では、前記配線81A、81Bにおける所定長さの接続部(電極部)82A、82Bが、フレキシブル基板500が配置される側のキャビティー列側(本実施形態ではキャビティー列12A側)の一点(図示せず)を中心にして、放射状に配設されている。すなわち、一点を通って等角度の間隔で放射状に配列され、したがって隣り合う接続部(電極部)82A、82Bに対して所定の角度ずつ傾いて配置されている。これは、後述するようにフレキシブル基板500についても、その導電パターンの端子部を、該フレキシブル基板500が配置される側のキャビティー列12A側の一点を中心にして、放射状に配設することで、接続部82A、82Bと端子部との間の合わせずれを少なくするためのである。
フレキシブル基板500は、COF(Chip on Film)と呼ばれるもので、図5に示すようにその第1の面500Aに導電パターン510を形成し、さらに該導電パターン510に接続して、駆動回路部200を実装したものである。駆動回路部200は、例えば回路基板あるいは駆動回路を含む半導体集積回路(ドライバーIC)からなっている。また、本発明においてフレキシブル基板500は、2列に配列されたキャビティー列12A、12Bのうちの一方、本実施形態ではキャビティー列12A側のみに、設けられている。
なお、本発明において、フレキシブル基板500がキャビティー列12A側に設けられているとは、導電パターン510が形成され、したがって駆動回路部200を実装する面が、キャビティー列12A側を向いていることをいう。すなわち、図5に示したように、フレキシブル基板500の一部がキャビティー列12A側に配置され、これによって駆動回路部200がキャビティー列12A側に配置されている場合はもちろんであるが、フレキシブル基板500が配線列領域700上にほぼ垂直に立ち上がって設けられた場合にも、導電パターン510が形成され、駆動回路部200が実装された面がキャビティー列12A側を向いていれば、このフレキシブル基板500はキャビティー列12A側に設けられているものとする。
また、このフレキシブル基板500には、フレキシブル基板500の一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部Qと、駆動回路部200を実装した回路実装部Rとが形成されている。折り曲げ部Qには端子接続部Pが設けられ、その第1の面500A側に端子部512が形成されている。このような構成のもとにフレキシブル基板500は、折り曲げ部Qが狭い配線列領域700内に配置されることで、その端子部512と、配線列領域700内の接続領域710における配線81A、81Bとの電気的接続が、可能になっている。
端子部512と配線81A、81Bとの電気的な接続については、ろう材、又は異方性導電膜(ACF:anisotropic conductive film)や異方性導電ペースト(ACP:anisotropic conductive paste)を含む異方性導電材料などにより、なされている。
そして、フレキシブル基板500とリザーバー形成基板20との間には樹脂202が設けられており、これによってフレキシブル基板500とリザーバー形成基板20とは、樹脂202によって樹脂モールドされている。
ここで、フレキシブル基板500の形状について詳述する。図7(a)〜(c)は、フレキシブル基板500の概略構成を示す図であり、(a)は側面図、(b)は平面図、(c)は端子部512の拡大図である。なお、図7(a)、(b)に示すフレキシブル基板500は、配線列領域700及びリザーバー形成基板20上に実装される前段階の状態、すなわち展開された状態を示している。したがって、折り曲げ部Qについては仮想して表している。
図7(a)に示すようにフレキシブル基板500は、例えばポリイミド等の絶縁性フィルム部材からなる、厚さ10〜60μm程度の可撓性の基材と、その第1の面500Aに形成された導電パターン510と、第1の面500Aと反対側の第2の面500Bに形成された補強用の金属膜511と、からなるものである。導電パターン510は、Cu(銅)などの導電性材料からなる配線パターンであって、数μmの厚さに形成されたものである。金属膜511は、導電パターン510と同様にCuからなっていてもよく、これ以外の、Au(金)、Cr(クロム)、Ni(ニッケル)、SUS(ステンレス鋼)などの金属材料からなっていてもよい。また、金属膜511は、本実施形態では第2の面500Bの全面に形成されている。
図7(b)は、フレキシブル基板500の第1の面500A側の平面図である。この図に示すように第1の面500Aには、多数の導電パターン510が放射状に形成され、これら導電パターン510の中心側(放射状に広がる側と反対の側)に、ドライバーIC等からなる駆動回路部200が配置されている。また、駆動回路部200を挟んで導電パターン510と反対の側には、外部コントローラー6(図示せず)から駆動回路部200に電気信号(制御信号)を伝えるための、配線パターン514が形成されている。
導電パターン510は、本実施形態では駆動回路部200側から放射状に拡がっている。そして、特に折り曲げ部Qに位置する端子部512は、適宜な長さを有し、この長さを有した部分(すなわち端子部512)が、図7(c)に示すように駆動回路部200側の一点を中心にして放射状に広がって形成配置されている。すなわち、一点を通って等角度の間隔で放射状に配列され、したがって隣り合う端子部512に対して所定の角度ずつ傾いて配置されている。なお、端子部512の長さについては、特に限定されないものの、前記接続部82A、82Bの長さ(所定長さ)とほぼ等しい長さに形成される。また、これら導電パターン510については、特に折り曲げ部Qに位置する端子部512が放射状に配置されていれば、これら端子部512と駆動回路部200との間については、放射状でなく、途中で折曲されることで適宜に拡げられていてもよい。
端子部512の放射状の拡がりは、前記の接続領域710に配置された配線部82A、82Bの放射状の拡がりと同一に設計され、形成されている。具体的には、放射状に広がる端子部512の中心点と、放射状に広がる接続部82A、82Bの中心点とが、ある程度の誤差をもって一致するように(すなわち略一致するように)、設計され、形成されている。なお、放射状に広がる端子部512の中心点とは、図7(b)に示したように、フレキシブル基板500を折り曲げることなく展開した状態での、放射状の中心点をいう。
このように端子部512における放射状の拡がり方と接続部82A、82Bにおける放射状の拡がり方を概略一致させることにより、図8(a)に示すように、接続領域710において交互に配置された接続部82A、82Bと、端子部512とを、位置ずれすることなく1:1で良好に接続させることができる。
ここで、端子部512や接続部82A、82Bについての放射状に広がる(放射状に配置される)との意味は、各端子部512や接続部82A、82Bが、その中心点から等角度で該中心点の周方向に広がって延びて、形成される直線の一部からなっていることをいう。したがって、これら端子部512や接続部82A、82Bは、その長さ方向において切り出した一部と他部とが、互いに相似な形状になる。
次に、前記構成の液滴吐出ヘッド1の動作について説明する。
液滴吐出ヘッド1より機能液を吐出するために、外部コントローラー6は、機能液導入口25に接続された図示しない外部機能液供給装置を駆動する。外部機能液供給装置から送出された機能液は、機能液導入口25を介してリザーバー100に供給された後、ノズル15に至るまでの液滴吐出ヘッド1の内部流路を満たす。また、外部コントローラー6は、駆動回路部200等に駆動電力や指令信号を送る。指令信号等は、フレキシブル基板500には配線パターン514を介して駆動回路部200に送られる。駆動回路部200は、外部コントローラー6からの指令に基づいて、端子部512を含む導電パターン510を介して、キャビティー12に対応するそれぞれの下電極膜60と上電極膜80との間に電圧を印加し、弾性膜50、下電極膜60及び圧電体膜70を変位させる。これにより、各キャビティー12はその内圧を変化させることで、ノズル15より液滴を吐出する。
次に、液滴吐出ヘッド1の製造方法について説明する。図9は、液滴吐出ヘッド1の製造方法を示すフローチャートであり、図10は、液滴吐出ヘッド1の製造方法を示す説明図である。なお、以下では、駆動回路部200と圧電素子との電気的接続を行うための手順について、主に説明し、液滴吐出ヘッド1のうち、ノズルプレート16、流路形成基板10、リザーバー形成基板20、圧電素子300等の製造及び接続・配置作業は既に完了しているものとする。したがって、圧電素子300の上電極膜80が引き出されてなる配線81A、81Bも形成されているものとし、特に接続領域710に配置される接続部82A、82については、図6に示したように放射状に拡がって形成されているものとする。
図9に示すようにステップS1では、ポリイミド等の可撓性を有するフレキシブル基板500の第1の面500Aに、銅などの導電性材料からなる端子部512を含む導電パターンを、プリント方式によってメッキやエッチングなどの手法で形成する。
ステップS2では、フレキシブル基板500の第2の面500Bに、銅などの導電材料からなる金属膜511を、プリント方式により、メッキやエッチングなどの手法によって形成する。
ステップS3では、フレキシブル基板500の第1の面500Aの回路実装部Rに駆動回路部200をフリップチップ実装する。
ステップS4では、樹脂201によってフレキシブル基板500に駆動回路部200を固定する。
ステップS5では、フレキシブル基板500に折り曲げ部Qを形成する。図10に示すように、ほぼ直線状のフレキシブル基板500を、図7(b)に示した折り曲げ部Qとなる部分が折り曲がり、これによって導電パターン510の端子部512が外側に向き、かつ下方に向くように折り曲げる。これにより、略直角に折り曲げられたフレキシブル基板500が形成される。
ステップS6では、フレキシブル基板500に形成した端子部512を、圧電素子300の配線81A、81Bにおける接続部82A、82Bに接続する。ここで、フレキシブル基板500はポリイミド等からなっているため、温度や湿度等の環境条件によって全体が伸縮する。すなわち、設計された形状に対して相似形状を保持しつつ全体が伸縮し、したがって導電パターン510における端子部512も、設計された状態に対して相似形状を保持しつつ伸縮する。これにより、これら端子部512間のピッチも変化する。すると、これら端子部512の位置が配線81A、81Bにおける接続部82A、82Bの位置に対してずれてしまうことがあり、結果としてこれら端子部512と接続部82A、82Bとの間で合わせずれが生じることがある。
しかして、本実施形態では、前記したように配線81A、81Bの接続部82A、82Bを放射状に配設しているので、接続部82A、82Bの長さ方向における一部が、他部に対して相似な形状になっている。また、導電パターン510の端子部512についても、接続部82A、82Bと同様に放射状に配設している。したがって、フレキシブル基板500の伸縮に伴って端子部512間のピッチが相似状に変化しても、このピッチの変化に対応して前記接続領域710へのフレキシブル基板500における折り曲げ部Qの接合位置を、その端子部512の長さ方向(端子部512の列方向と直交する方向)に適宜ずらして調整することにより、例えば図8(b)に示すように端子部512と接続部82A、82Bとの間の合わせずれをなくすことができる。
なお、このように端子部512を接続部82A、82Bに接続する際には、押圧部材(図示せず)によって折り曲げ部Qにおける第2の面500Bを上方から下方に向かって押圧することにより、この接続を容易に行うことができる。また、端子部512と接続部82A、82Bとのうちの一方あるいは両方に、ろう材又は異方性導電材料を予め設けておくことにより、端子部512と接続部82A、82Bとの間の電気的接続を作業性良く、かつ良好に行うことができる。
ステップ7では、端子部512と接続部82A、82Bとの間の接続作業が終了した後、樹脂202によってリザーバー形成基板20にフレキシブル基板500を固定するとともに、端子部512と接続部82A、82Bとの間の接続部分を覆う。これにより、フレキシブル基板500の位置が固定されるとともに、フレキシブル基板500自体が樹脂202によって補強され、さらに、樹脂202によって、端子部512と接続部82A、82Bとの間の接続部分が保護されてなる、図3に示した液滴吐出ヘッド1が得られる。
このような本実施形態の液滴吐出ヘッド1にあっては、2列のキャビティー列12A、12B間の配線列領域700において、第1の配線群85Aの各配線81Aと第2の配線群85Bの各配線81Bとを、接続領域710にて互い違いになるよう互いに交互に配置しているので、この接続領域710にて各配線81A、81Bの接続部82A、82Bとフレキシブル基板500の導電パターン510の端子部512とを一括して接続することができる。したがって、フレキシブル基板500を、2列のキャビティー列12A、12Bのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように2列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側にフレキシブル基板を配するのに比べ、小型化を図ることができる。また、各配線81A、81Bの接続部82A、82Bとフレキシブル基板500の端子部512とを接続する接続領域710を一箇所(一列)にまとめているため、2列のキャビティー列12A、12B間に形成される配線列領域700を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることができる。
また、配線81A、81Bの接続部82A、82Bを放射状に配設し、導電パターン510の端子部512も放射状に配設しているので、フレキシブル基板500の伸縮によって導電パターン510の端子部512間のピッチが変化しても、このピッチの変化に対応して前記接続領域710へのフレキシブル基板500の接合位置を、導電パターン510の端子部512の列方向と直交する方向に適宜ずらして調整することにより、端子部512と接続部82A、82Bとの間の合わせずれを抑制することができる。
さらに、キャビティー12のそれぞれに対応するノズル15を、2列のキャビティー列12A、12B間において、半ピッチずれて千鳥状に配置しているので、これら2列のキャビティー列12A、12B間で対応するノズル15どうしを、その列方向において互いに同じ位置にある場合に比べ、該液滴吐出ヘッド1から吐出される液滴の間隔を、見掛け上半分にすることができる。したがって、液滴を吐出することで形成する描画パターンを高精細化することができる。
また、図1に示した本発明の液滴吐出装置1000にあっては、前述したように小型化が図られた液滴吐出ヘッド1を備えているので、この液滴吐出装置自体も小型化が図られたものとなる。
図11は、本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す図である。図11に示した液滴吐出ヘッド1が図3に示した液滴吐出ヘッド1と異なるところは、図3に示した液滴吐出ヘッド1では、フレキシブル基板500の回路実装部R(図10参照)側を、リザーバー形成基板20の上面上に寝かした状態に設けているのに対し、図11に示した液滴吐出ヘッド1では、回路実装部R側をリザーバー形成基板20の上面に対して、折り曲げ部Qを除いたフレキシブル基板500の全体を、配線列領域700に対してほぼ垂直に立ち上げて配置している点である。なお、フレキシブル基板500を配設については、図3や図11に示した以外にも、例えば回路実装部R側を、リザーバー形成基板20の上面に対して斜めに配置してもよい。
このように種々の形態でフレキシブル基板500を配設可能にすることで、液滴吐出ヘッドの形状に応じて、より最適な小型化を行うことができる。
図12は、本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す図である。図12に示した液滴吐出ヘッド1が先の実施形態における液滴吐出ヘッド1と異なるところは、先の実施形態における液滴吐出ヘッド1では、図6に示したように複数の圧電素子(駆動素子)300を、一定の方向(第1の方向)に直線状(僅かな位置ずれを有する略直線状を含む)に配列しているのに対し、図12に示した実施形態では、複数の圧電素子(駆動素子)300からなる第1の駆動素子群310を非直線状に配置するとともに、複数の圧電素子(駆動素子)300からなる第2の駆動素子群320を、第1の駆動素子群310と交差することがないようにして非直線状に配置した点である。
このように構成しても、図6に示した実施形態の液滴吐出ヘッド1と同様に、接続領域710にて各配線81A、81Bの接続部82A、82Bとフレキシブル基板500の導電パターン510の端子部512とを一括して接続することができる。したがって、フレキシブル基板500を、2列のキャビティー列12A、12Bのうちのいずれか一方の側のみに配置することにより、従来のように2列のキャビティーのそれぞれの側、つまり両側にフレキシブル基板を配するのに比べ、小型化を図ることができる。また、各配線81A、81Bの接続部82A、82Bとフレキシブル基板500の端子部512とを接続する接続領域710を一箇所(一列)にまとめているため、2列のキャビティー列12A、12B間に形成される配線列領域700を従来に比べ狭くすることができ、その分、ヘッドの小型化を図ることができる。
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、複数の駆動素子を有する液滴吐出ヘッドであれば適用可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
例えば、前記実施形態では液滴吐出ヘッドが一台からなっている例について説明したが、図3に示したような液滴吐出ヘッドが複数台連設されることにより、1基の液滴吐出ヘッドが構成されていてもよい。
また、前記実施形態では、フレキシブル基板を一つのみ用いたれ例を示したが、2列のキャビティー列のうちの一方の側のみに配置するのであれば、複数のフレキシブル基板をキャビティーの列方向に沿って配置してもよい。
また、前記実施形態では、第1の配線81Aの接続部82Aと第2の配線81Bの接続部82Bとを、接続領域710において互いに交互に配置したが、例えばこれら接続部82Aと接続部82Bとを複数個ずつ交互に配置してもよく、さらには、これらを不規則に配置してもよい。
さらに、前記実施形態では駆動回路部200を備える基板としてフレキシブル基板500を用いたが、本発明はこれに限定されることなく、硬質の基板を用いることもできる。
なお、前述した実施形態においては、本発明の液滴吐出装置を画像記録用のインクジェット式記録装置に適用した場合について説明したが、本発明の液滴吐出装置は、液状体を吐出する装置であれば適用可能であり、例えば工業用の液滴吐出装置にも適用可能である。すなわち、液滴吐出ヘッド1より吐出する機能液として、液晶表示デバイスを形成するための液晶表示デバイス形成用材料、有機EL表示デバイスを形成するための有機EL形成用材料、電子回路の配線パターンを形成するための配線パターン形成用材料などを含むものとする。これにより液滴吐出装置1000は、液滴吐出法に基づいて吐出した機能液により、前記の各デバイスを良好に製造できるものとなる。
1…液滴吐出ヘッド、12…キャビティー、12A、12B…キャビティー列、15…ノズル、16…ノズルプレート、20…リザーバー形成基板、70…圧電体膜、80…上電極膜、81A、81B…配線、82A、82B…接続部(電極部)、85A…第1の配線群、85B…第2の配線群、200…駆動回路部、202…樹脂、300…圧電素子(駆動素子)、500…フレキシブル基板(基板)、510…導電パターン、512…端子部、700…配線列領域、710…接続領域、900…異方性導電材料、1000…液滴吐出装置

Claims (12)

  1. キャビティーが第1の方向に複数配列してなる第1のキャビティー列と、
    前記キャビティーが前記第1の方向に複数配列してなり、前記第1のキャビティー列に対して並列に配置された第2のキャビティー列と、
    前記キャビティーに設けられて、前記キャビティー内の液状体を吐出させる駆動素子と、
    前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
    前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
    前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、
    前記第1のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第1の配線と、
    前記第2のキャビティー列に配列された前記キャビティーに設けられた駆動素子に接続された第2の配線と、を備え、
    前記第1のキャビティー列と、前記第2のキャビティー列と、の間に、複数の前記第1の配線と、複数の前記第2の配線と、が櫛歯が噛み合うように、且つ、互いに離間して配置され、
    複数の前記端子部が、前記第1の方向に1列に配列され、
    前記端子部が、前記第1の配線と前記第2の配線とに接続され、
    前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記キャビティー側に向けた状態で、該キャビティーが設けられた側に樹脂モールドされ、
    前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  2. 前記第1の配線、及び、前記第2の配線は、前記端子部に接続する領域に電極部を有し、
    前記電極部は、前記第1のキャビティー列、又は、前記第2のキャビティー列のいずれか一方のキャビティー列側を中心にして放射状に配置されていることを特徴とする請求項1記載の液滴吐出ヘッド。
  3. 前記端子部は、前記一方のキャビティー列側を中心にして放射状に配置されていることを特徴とする請求項2記載の液滴吐出ヘッド。
  4. 前記放射状に配置された電極部の中心と、
    前記放射状に配置された端子部の中心と、が一致していることを特徴とする請求項3記載の液滴吐出ヘッド。
  5. 前記第1の配線と、前記第2の配線とが、前記第1の方向に互いに交互に配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
  6. 前記キャビティーに対応するノズルが、前記第1の方向に半ピッチずれて千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
  7. 前記基板は可撓性を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
  8. 液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、
    前記液滴吐出ヘッドとして、請求項1〜7のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
  9. 液状体を吐出させる駆動素子が第1の方向に複数配列してなる第1の駆動素子列と、
    前記駆動素子が前記第1の方向に複数配列してなり、前記第1の駆動素子列に対して並列に配置された第2の駆動素子列と、
    前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
    前記第1の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第1の電極部と、
    前記第2の駆動素子列の前記駆動素子に電気的に接続された第2の電極部と、
    前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
    前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、を備え、
    複数の前記端子部が、前記第1の方向に1列に配列され、
    前記第1の駆動素子列と、前記第2の駆動素子列と、の間に、
    複数の前記第1の電極部と、複数の前記第2の電極部と、が前記第1の方向に1列に配列され、
    前記端子部が、前記第1の電極部と前記第2の電極部とに接続され、
    前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記駆動素子側に向けた状態で、該駆動素子が設けられた側に樹脂モールドされ、
    前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  10. 前記電極部は、隣り合う前記電極部に対して所定の角度ずつ傾いて配置されていることを特徴とする請求項9記載の液滴吐出ヘッド。
  11. 前記端子部は、隣り合う前記端子部に対して所定の角度ずつ傾いて配置されていることを特徴とする請求項10記載の液滴吐出ヘッド。
  12. 液状体を吐出させる駆動素子が複数配置された第1の駆動素子群と、
    前記駆動素子が複数配置され、前記第1の駆動素子群と交差することなく配置された第2の駆動素子群と、
    前記駆動素子を駆動する駆動回路部と、
    前記第1の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第1の電極部と、
    前記第2の駆動素子群の前記駆動素子に電気的に接続された第2の電極部と、
    前記駆動回路部に電気的に接続された端子部と、
    前記駆動回路部、及び、前記端子部をその一方の面に配置した基板と、を備え、
    複数の前記端子部が、第1の方向に1列に配列され、
    前記第1の駆動素子群と、前記第2の駆動素子群と、の間に、
    複数の前記第1の電極部と、複数の前記第2の電極部と、が前記第1の方向に1列に配列され、
    前記端子部が、前記第1の電極部と前記第2の電極部とに接続され、
    前記基板は、前記駆動回路部、及び、前記端子部を前記駆動素子側に向けた状態で、該駆動素子が設けられた側に樹脂モールドされ、
    前記基板にはその一端側が折り曲げられてなる折り曲げ部が形成され、該折り曲げ部に前記端子部が配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
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