JP5599249B2 - 流体中の微粒子検出装置及び検出方法 - Google Patents

Description

本発明は、流体中の微粒子検出装置及び検出方法に関し、特に超臨界状態または液相の高圧二酸化炭素に含まれる微粒子の検出装置及び検出方法に関する。

流体中に存在する微粒子を検出する様々な方法が知られている。例えば、直接検鏡法（以下、直検法）では、濾過膜で被測定水を濾過したときに濾過膜上に捕捉される微粒子が、光学顕微鏡や走査型電子顕微鏡を用いて検出される（非特許文献１）。直検法は、被測定流体の圧力が濾過膜やそれを保持するための容器（フィルタホルダ）に直接作用するため、被測定流体が高圧であると濾過膜やフィルタホルダが耐圧限界を超えてしまう。このため高圧の流体をそのまま導入することは困難である。これに対して特許文献１には、高圧流体のまま直検法を行う技術が開示されている。この方法によれば、高圧流体の流れる配管に２か所の分岐配管を設け、これらの分岐配管がフィルタホルダの両側に接続される。フィルタは両面から高圧流体の圧力を受けるため、圧力が相殺され、フィルタやフィルタホルダに大きな圧力がかかることが防止される。

他の方法として、レーザー光の散乱を利用して微粒子を検出するパーティクルカウンター法（ＰＣ法）が知られている（特許文献２）。被測定流体はフローセルと呼ばれる光透過性の中空部材の中を通される。フローセルの一側面からレーザー光が照射され、フローセルを挟んだ反対側の位置に設置された光電変換器がレーザー光の散乱光を検出して、微粒子の粒径及び個数を測定する。フローセルにはエアロゾル状態の微粒子が導入されてもよく（乾式ＰＣ法）、微粒子を含む液体が導入されてもよい（湿式ＰＣ法）。ＰＣ法はオンラインでの評価が可能であり、迅速な計測が容易である。しかし、フローセルは石英やサファイア等の特殊な材料を用いているため耐圧性能を上げにくい。

ＰＣ法と類似した方法として、凝縮粒子カウンター法（ＣＰＣ法）と呼ばれる方法も知られている（特許文献３，４）。この方法では微粒子を核として微粒子の周囲にアルコール蒸気や水蒸気を凝縮成長させる。凝縮成長したエアロゾルはフローセルに導入され、凝縮粒子カウンターによってエアロゾルの個数が測定される。フローセルの耐圧性能に関してはＰＣ法と同様の課題が存在する。ＰＣ法に関連した技術であるが、特許文献５には、フローセルの耐圧性能を向上させるため、流路の断面形状を曲面で構成したフローセルが開示されている。

特開２００９-５２９８１号公報 特許第３５３００７８号 特開２０００-１８０３４２号公報 特開２００７-５７５３２号公報 特開２００８-２２４３４２号公報

日本工業規格Ｋ０５５４−１９９５「超純水中の微粒子検出方法」

直検法は、特許文献１の技術を用いれば高圧の被処理流体を取り扱うことができる。しかし、測定の都度濾過膜を取り外す必要があるため、直検法は連続的な測定には適さず、迅速な計測は困難である。ＰＣ法及びＣＰＣ法は、フローセルの耐圧性能に高い信頼性が要求され、適用できる圧力にも限界がある。

これに対し、流体を減圧して測定すれば上述の課題は解消できる。流体を減圧するには減圧弁などの公知の部材を用いることができる。しかし、このような部材は作動に伴い金属粉等の微粒子を発生させるため、高い測定精度を実現できない。

本発明は、高圧流体に含まれる微粒子を高精度にかつ効率よく検出することができる、流体中微粒子検出装置及び検出方法を提供することを目的とする。

本発明の一実施態様によれば、流体中の微粒子検出装置は被測定流体が供給される流体供給部と、一端が流体供給部に接続され、流体供給部に対して流路の絞られた流路縮小管と、流路縮小管の他端に接続され、流路縮小管から流入する微粒子を検出する微粒子検出手段と、流路縮小管を加熱することにより流路縮小管を流れる被測定流体を加熱する加熱手段と、被測定流体が流路縮小管から気相で微粒子検出手段に流入するように加熱手段を制御する制御装置と、を有している。

流路縮小管は流体供給部に対して流路が絞られている。このため、流路縮小管は絞り効果によって被測定流体を減圧させると共に、流路縮小管内壁と被測定流体との摩擦損失によって被測定流体を徐々に減圧させることができる。微粒子検出手段には減圧した流体が導入されるため、部材の耐圧性の問題が生じにくく、従来から低圧流体に適用されていた検出手段をそのまま用いることができる。しかも、流路縮小管は可動部がなく、また徐々に圧力を減少させることができるため、作動に伴う金属粉等の微粒子が発生するおそれがなく、微量の微粒子でも高い精度で測定することができる。流体供給部から供給された被測定流体は流路縮小管を介して連続的に微粒子検出手段に導入することができるため、効率的な測定も可能である。

本発明の他の実施態様によれば、流体中の微粒子検出方法は被測定流体を流体供給部によって供給するステップと、供給された被測定流体を流体供給部に対して流路の絞られた流路縮小管を通すことによって、被測定流体を減圧するステップと、減圧された被測定流体に含まれる微粒子を検出するステップと、を有し、被測定流体を減圧するステップは、被測定流体が流路縮小管を気相で流出するように、流路縮小管の入口側と出口側の少なくとも一方を加熱することを含んでいる。

以上説明したように、本発明によれば、高圧流体に含まれる微粒子を高精度にかつ効率よく検出することができる、流体中微粒子検出装置及び検出方法を提供することができる。

二酸化炭素供給設備の概略構成図である。 本発明の微粒子検出装置の概略構成図である。 二酸化炭素のｐ−ｈ線図を示す模式図である。 実施例におけるフロー図である。 実施例及び各比較例の微粒子数の検出結果を示すグラフである。 サンプリング箇所を変えた場合の検出結果の変動を示すグラフである。 弁の開閉動作を行った際の検出結果の変動を示すグラフである。

以下、図面を参照して本発明の流体中微粒子検出装置及び測定方法の実施形態について説明する。本発明が適用される流体の圧力及び種類は限定されないが、本発明は高圧の超臨界、液体または気体の二酸化炭素に含まれる微粒子の測定に特に好適に適用できる。このため、以下の説明は超臨界、液体または気体の二酸化炭素を対象として行う
本測定装置は既存の二酸化炭素製造設備ないし供給設備に接続して用いることができる。そこでまず、二酸化炭素製造設備ないし供給設備の概要について説明する。図１は、一例として二酸化炭素供給設備１の概略構成図を示す。ＣＯ₂ボンベ２には液体二酸化炭素が貯蔵されている。ＣＯ₂ボンベ２に貯蔵されている液体二酸化炭素はメタルガスフィルター３ａでろ過され、凝縮器４に導入される。二酸化炭素は凝縮器４で凝縮され、ＣＯ₂槽５に送られる。ＣＯ₂槽５の二酸化炭素はいったん予冷却器６で過冷却され、液体の二酸化炭素とされる。予冷却器６で過冷却するのは、後段の循環ポンプ７で気体の二酸化炭素が発生することを防止するためである。二酸化炭素は循環ポンプ７で昇圧され、メタルガスフィルター８でろ過され、清浄な高圧の液体二酸化炭素となって、弁１２ｄを通って、図示していないユースポイントへ送られる。使用されなかった高圧の液体二酸化炭素は保圧弁９の出口側で膨張させられ、さらに蒸発器１０で気相に変換される。これは後段のメタルガスフィルター３ｂでの除粒子効率を上げるためである。このようにして、二酸化炭素供給設備は、二酸化炭素が循環ループに沿って循環しながら、必要に応じてユースポイントに高圧の液体二酸化炭素を供給するようにされている。超臨界状態の二酸化炭素の供給設備についても、液体二酸化炭素を加熱して臨界温度以上まで昇温させる以外は、
同様の構成とすることができる。

微粒子検出装置１１は、この二酸化炭素供給設備１のライン上の任意の位置に設けることができる。例示した取り出し点Ｐ１〜Ｐ３は各々、メタルガスフィルター８の出口部、ＣＯ₂槽５の底部及びメタルガスフィルター３ｂの出口部である。微粒子検出装置１１は弁１２ａ〜１２ｃを介して二酸化炭素供給設備１に接続されている。微粒子検出装置１１は各取り出し点Ｐ１〜Ｐ３から流入する二酸化炭素に含まれる微粒子を検出する。取り出し点Ｐ１〜Ｐ３における二酸化炭素の圧力に制限はないが、本発明によれば、特に圧力１ＭＰａ以上の高圧の二酸化炭素を取り出すことができる。

図２（ａ）は、微粒子検出装置１１の概略構成図を示す。微粒子検出装置１１は、例えば所定の内径を有する配管で構成され被測定流体が供給される流体供給部１３と、減圧手段である流路縮小管１４と、微粒子検出手段１５と、を有している。図中の破線は二酸化炭素の流れを模式的に示している。

流体供給部１３は一端が、二酸化炭素供給設備１に弁１２ａ〜１２ｃを介して接続され、他端が流路縮小管１４に接続されている。超臨界、液体または気体の高圧二酸化炭素は流体供給部１３を通して流路縮小管１４に連続的に供給される。流体供給部１３は、図２（ａ）では配管として示しているが、弁１２ａ〜１２ｃ（測定点）の状況により、鋼管等の配管や高圧チューブ、継手などを選択できる。図２（ａ）に示す流体供給部１３をなくし、弁１２ａ〜１２ｃを流路縮小管１４と隣接配置して、弁１２ａ〜１２ｃを流体供給部として機能させることもできる。状況によっては、二酸化炭素供給設備１の循環ループ（母管）に継手等を介して流路縮小管１４を直接接続させ、循環ループ（母管）自体を流体供給部として機能させてもよい。いずれの形態をとる場合でも、流路縮小管１４は流体供給部１３に対して流路が絞られていればよい。また、保圧弁（図示せず）を設け、保圧弁を調整することにより一定流量の高圧二酸化炭素を流路縮小管１４に供給するようにしてもよい。

流路縮小管１４の一端１４ａは流体供給部１３に接続されており、流路縮小管１４の他端１４ｂは微粒子検出手段１５に接続されている。流路縮小管１４と微粒子検出手段１５との接続方法は特に限定されず、配管、継手、バルブ等を介して接続することができるが、後述する温度制御の観点から、流路縮小管１４と微粒子検出手段１５との間は極力短くし、不要な微粒子発生防止の観点から、継手やバルブ等は少ないのが好ましい。実施例で述べるように、流路縮小管１４と微粒子検出手段１５は二酸化炭素の一部を大気へ排出するための分岐管を介して接続してもよい。

流路縮小管１４は流体供給部１３に対して流路が絞られており、絞り効果と摩擦損失によって、超臨界、液体または気体の二酸化炭素を減圧する。流路縮小管１４はこのような絞り効果と摩擦損失によって被測定流体を減圧することができれば特に限定されないが、例えば金属管やキャピラリーチューブを用いることができる。流路縮小管１４は、各種ステンレス鋼、タングステン、コバール、チタン、黄銅、リン青銅、リン脱酸銅などで製作できるが、流体中の微粒子計測における清浄度（管内の表面処理のしやすさ）や加工容易性などからステンレス鋼が好ましい。

流路縮小管１４の流路面積及び長さは、高圧二酸化炭素の供給圧力、減圧後の圧力及び必要流量に応じて適宜設定することができる。流路縮小管１４を円形断面の配管で構成する場合、内径は１００〜１０００μｍが好ましく、より好ましくは２００〜５００μｍである。流路縮小管１４の長さは０．１〜５００ｍが好ましく、より好ましくは０．５〜１００ｍである。流路縮小管１４は、急激な圧力低下を起こさずに高圧二酸化炭素の圧力を徐々に低下させるために、配管長が内径と比べて非常に長い。流路縮小管１４を円形断面の配管で構成する場合において、上述の例では内径に対する配管長の比は１０以上、５００００００以下である。また、流路縮小管１４を円形断面の配管で構成する場合において、内径に対する配管長のより好ましい比は１００以上、５０００００以下である。このため、設置スペースの観点から直線状に設けることが困難である場合がある。その場合は、らせん状に曲げる、あるいは円形に巻いて束ねる（図２（ｂ）参照）などの適宜の方法で変形させ、設置スペースを縮小することができる。

流路縮小管１４の両端１４ａ，１４ｂ付近には、流路縮小管１４を加熱するヒータ（加熱手段）１６ａ，１６ｂが設けられている。ヒータ１６ａ，１６ｂの設置位置はこれに限定されず、流路縮小管１４の入口付近と出口付近のいずれかだけに設けられていてもよく、他の位置に設けられていてもよい。ヒータ１６ａ，１６ｂの種類も特に限定されず、例えば、流路縮小管１４を巻回するコイル状のヒータや、リボンヒータ（リボン状のヒータ）等とすることができる。ただし図２（ｂ）に示すように、円形に束ねた流路縮小管２４を用いる場合は、入口側と出口側をほどいた状態として、少なくともほどいた部分にヒータ１６ａ，１６ｂを設けることが好ましい。また、束ねている流路縮小管全体をヒータで加熱してもよい。

ヒータ１６ａ，１６ｂに隣接して二酸化炭素の温度を測定する温度計１７ａ，１７ｂが設置されている。ヒータ１６ａ，１６ｂ及び温度計１７ａ，１７ｂは流体の温度を調整する制御装置１８と接続されている。温度計１７ａ，１７ｂとしては例えば熱電対を用いることができる。温度計１７ａ，１７ｂの温度計測部は流路縮小管１４の内部にあってもよいが、微粒子の発生を防止するために、流路縮小管１４の外面に設けることが好ましい。制御装置１８は温度計１７ａ，１７ｂの計測結果に応じて、ヒータ１６ａ，１６ｂの発熱量を制御する。具体的には制御装置１８は、二酸化炭素が流路縮小管１４から完全な気相、または微粒子の検出に大きな影響を与えない程度のごく少量の固相または液相を含む気相で微粒子検出手段１５に流入するように、流路縮小管１４の内部を流れる二酸化炭素を所定の温度に維持する。

流路縮小管１４の内部を二酸化炭素が減圧しながら移動する際、二酸化炭素は近似的に等エンタルピー変化を行うとみなすことができる。図３は二酸化炭素のｐ−ｈ線図を模式的に示している。横軸はエンタルピー（ｈ）を、縦軸は圧力（ｐ）を示している。破線は等温線を示し、右側ほど温度が高く左側ほど温度が低い状態を示している。例えば超臨界状態の二酸化炭素がＡ点で流路縮小管１４に導入された場合、二酸化炭素はＡ点からＢ点に状態変化し、気相の二酸化炭素となって流路縮小管１４から流出する。微粒子検出手段１５には気相の二酸化炭素が供給されるため、後述するように乾式ＰＣ法またはＣＰＣ法に基づき微粒子が検出される。

次に、エンタルピーがより小さい状態、すなわちＡ点より低温の二酸化炭素が供給された場合（Ｃ点）を考える。低温の二酸化炭素が等エンタルピー変化をすると、減圧条件によるが、気固混合状態となる可能性がある（Ｄ”点）。気固混合状態とは、二酸化炭素の場合、固相であるドライアイスが気相中に生成された状態を意味する。固相は減圧が進行しても存在し続けるため、二酸化炭素が気固混合状態で流路縮小管１４を出て微粒子検出手段１５に流入すると、二酸化炭素の固相と本来検出すべき微粒子との区別がつかなくなってしまう。そこで、ヒータ１６ａ，１６ｂを作動させ、二酸化炭素の温度をあらかじめ上昇させる（Ｅ点）。この結果、二酸化炭素のエンタルピーは増加し、減圧しても気固混合状態となることが防止される（Ｂ’点）。また、微粒子の検出に乾式ＰＣ法またはＣＰＣ法を用いる場合、二酸化炭素は完全に気化されることが望ましいが、ヒータ１６ａ，１６ｂで二酸化炭素を加熱することで、気液混合状態（Ｄ’点）を回避することもできる。

ヒータ１６ａ，１６ｂは、気相の状態で微粒子が検出されるように二酸化炭素を加熱することを目的としている。また、検出器に導入される二酸化炭素の温度を一定に保つことも目的としている。従って、ヒータ１６ａ，１６ｂは必ずしも流路縮小管１４に設ける必要はなく、微粒子検出手段１５の入口付近に設けることも可能である。しかし、流路縮小管１４は配管でありしかも簡易な構造であるので、ヒータの設置が容易である。

また、二酸化炭素の固相または液相が一時的に発生しても、微粒子検出手段１５に導入される時点で消失していればよい。つまり二酸化炭素が一時的にＤ’点またはＤ”点の状態になっても、最終的にＥ’点またはＥ”の状態になればよい。しかし、状態変化にはある程度の時間を要するため、できるだけ流路縮小管１４の上流側で加熱するほうが、気固混合状態ないし気液混合状態を回避する上では望ましい。このような観点からは、ヒータ１６ａを流路縮小管１４の入口１４ａ付近に設けることが望ましく、また早期に加熱することで、気固混合状態ないし気液混合状態が生じない高エンタルピー領域で等エンタルピー変化を行うことができる（Ｄ→Ｅ→Ｂ’）。一方、微粒子検出手段１５に二酸化炭素が確実に気相で導入されるようにするため、ヒータ１６ｂを流路縮小管１４の出口１４ｂ付近に設けることも望ましく、さらには入口１４ａ付近と出口１４ｂ付近の両方の位置に各々ヒータ１６ａ，１６ｂを設けてもよい。このようにヒータ１６ａ，１６ｂの設置位置は目的に応じて適宜決定することができる。

流路縮小管１４の内径を大きくすれば絞り効果が減少し、減圧の程度は小さくなる。同様に流路縮小管１４の配管長を短くすれば、減圧の程度は小さくなる。流路縮小管１４の配管長及び流路面積（内径）の調整と、ヒータ１６ａ，１６ｂによる流路縮小管１４の温度制御をあわせて行うことができるのはいうまでもない。流路縮小管１４の流路面積及び長さを適正化した場合でも、気固混合状態ないし気液混合状態を回避するためには流路縮小管１４の温度制御を行うことがより好ましい。

流路縮小管１４を用いた減圧方法は従来の減圧弁のように機械的に作動する部分を必要としないため、作動に伴う金属粉等の微粒子発生が原理的になく、二酸化炭素に含まれる微粒子を高精度で検出することができる。他の減圧方法としてフィルタを用いることも考えられるが、フィルタは長時間の使用中に微粒子の付着、剥離を繰り返すため、精密な測定は困難である。これに対して流路縮小管１４を用いた減圧方法は、微粒子検出手段１５にとって汚染源（もしくはブランク微粒子数を上げる原因）となる金属粉等の微粒子の発生がほとんどなく、精度の高い測定が可能である。しかも、流路縮小管１４の流路面積（内径）及び全長を調整し、さらにはヒータ１６ａ，１６ｂによる温度制御を行うために、取り出し点Ｐ１〜Ｐ３の温度圧力条件の影響を受けにくく、安定で精度よく微粒子検出を行うことが可能になる。

流路縮小管１４の他の長所は、配管長が長いために伝熱面積が非常に大きいということである。このため加熱範囲設定の自由度が高く、温度制御が可能な範囲も広く確保することができるため、きめの細かい温度制御が可能である。大きな伝熱面積を有しているために、外部環境温度によっては、必ずしもヒータを設けなくとも所望の温度範囲に二酸化炭素を維持することができる。減圧弁やフィルタは、減圧が実質的に一点で集中して行われるため、きめの細かい温度制御は困難である。また、流路縮小管１４は構造が単純で信頼性が高く、メンテナンスの必要性も小さく、コスト的にも有利である。

微粒子検出手段１５は、流路縮小管１４から流入する微粒子を検出する。超臨界、液体または気体の二酸化炭素、流路縮小管１４によって減圧された後は気相となっており、二酸化炭素に元々含まれていた微粒子は気相中に存在する。この微粒子を含んだ気相の二酸化炭素が微粒子検出手段１５に導入され、気相の二酸化炭素に含まれる微粒子が検出される。このような微粒子検出器として、乾式ＰＣ法またはＣＰＣ法を用いることができる。

乾式ＰＣ法による微粒子検出手段１５は、微粒子にレーザー光を照射する手段と、微粒子からのレーザー光の散乱光を検出する手段と、を有している。乾式ＰＣ法では、気相中の微粒子に半導体レーザーで発生したレーザー光を照射して、微粒子からの直接の散乱光を検出する。

図２にはＣＰＣ法に基づく微粒子検出手段１５を示している。微粒子検出手段１５は、アルコール等の蒸気の供給口２０ａを備えた凝縮室２０を有している。微粒子はアルコール等の過飽和雰囲気とされた凝縮室２０に導入され、この微粒子を核としてアルコール等の蒸気が凝縮成長する。凝縮室２０の下流側はレーザー光を透過可能な材料で製作されたフローセル２１となっている。フローセル２１の側面には、蒸気の凝縮成長した微粒子にレーザー光を照射する半導体レーザー２２と、蒸気の凝縮成長した微粒子からのレーザー光の散乱光を検出する光電変換器２３と、が配置されている。微粒子は、蒸気が付着し凝縮成長したエアロゾル（液滴）となり、その液滴にレーザー光が照射される。液滴の粒径は光散乱法で測定可能な程度まで大きくされ、光散乱法によって微粒子の個数（濃度）が計測される。このためＣＰＣ法では、乾式ＰＣ法と比べてより小さい粒径の微粒子まで検出することができる。一方、乾式ＰＣ法は微粒子に直接レーザー光を照射するため、微粒子の粒径分布を求めることが可能である。

また、流路縮小管１４で減圧された流体は流速が増しているため、微粒子検出手段１５に不要な負荷をかける場合がある。したがって、実施例に示すように、微粒子検出手段１５の下流側にポンプを設置して適切な流速・流量の被測定流体を微粒子検出手段１５に導入するとともに、微粒子検出手段１５の上流側に大気開放手段を設けて、微粒子検出手段１５に導入されない流体を排気するようにしてもよい。ポンプは微粒子検出手段１５と大気開放手段の間に設けてもよいが、ポンプから発生する微粒子が微粒子検出手段１５に導入する可能性があるため、微粒子検出手段１５の下流側に設けるのが好ましい。

実施例におけるフロー図を図４に示す。高圧流体には、株式会社ピュアロンジャパン社製メタルガスフィルター（濾過精度０.００３μｍ）で濾過した高圧二酸化炭素を使用した。高圧二酸化炭素は、内径４．３５ｍｍの流体供給部を通して、減圧手段である流路縮小管１４に連続的に供給した。高圧二酸化炭素の流体供給部には分岐管１９を設け、一部の二酸化炭素を保圧弁２０を通して排気した。保圧弁２０の設定圧力は９ＭＰａとし、一定流量（３ｇ／ｍｉｎ）の高圧二酸化炭素を流路縮小管１４に供給した。流路縮小管１４は、管径がφ２００μｍ、管長が３０ｍとし、ＳＵＳ３１６で製作した。流路縮小管１４はφ４８ｃｍの円状に巻いて束ね、両端はほどいた状態とした。

流路縮小管１４の入口付近と出口付近の２箇所にヒータ１６ａ，１６ｂを設置し、流路縮小管１４の外面の温度がそれぞれ６０℃と３０℃になるように温度を制御した。具体的には、ヒータ１６ａとして幅４ｃｍ、長さ３ｍのリボンヒータを用意し、流路縮小管１４の始端から流路縮小管１４のほどいた部分に沿って取付け、さらに残りの部分を流路縮小管１４の束ねた部分に取り付けた。同様に、ヒータ１６ｂとして幅４ｃｍ、長さ３ｍのリボンヒータを用意し、流路縮小管１４の下流側にある排気管分岐部２７の付近から流路縮小管１４のほどいた部分に沿って取付け、さらに残りの部分を流路縮小管１４の束ねた部分のうち、ほどいた部分につながる部分に取り付けた。図４には、ヒータ１６ａ，１６ｂを取り付けた範囲を斜線で示している。

流路縮小管１４で減圧された二酸化炭素中に含まれる微粒子数（濃度）を、ＣＰＣ法を用いた微粒子検出装置１５（ＴＳＩ社製ＣＰＣ３７７２）で計測した。微粒子検出装置１５の下流側にはポンプ２８を設け、減圧した二酸化炭素のうち一定流量（１Ｌ／ｍｉｎ）だけを吸引して微粒子検出装置１５に導入し、残りは排気管分岐部２７から大気放出した。

比較例１では減圧手段として株式会社杉山商事製フローリストリクターを用い、比較例２では減圧手段として減圧弁（テスコム社製）を用いた。比較例３では、比較例１のフローリストリクターの後段に、実施例と同じ、ヒータ付きの流路縮小管１４（φ２００μｍ、３０ｍ）を設置した。比較例１，３のフローリストリクターは、粒径２μｍ以上の微粒子を除去できるフィルタである。比較例２の減圧弁には、外周部に幅４ｃｍ、長さ３ｃｍのリボンヒータを設け、減圧弁に設置した熱電対の温度が１００℃となるように制御した。フローリストリクターはその外部温度が１００℃になるように制御した。

実施例及び各比較例において、高圧二酸化炭素中の粒径が１０ｎｍを超える微粒子数（濃度）を計測した結果を図５に示す。図５（ａ）は比較例１，２の、図５（ｂ）は比較例３の、図５（ｃ）は実施例の測定結果を示しており、横軸が経過時間、縦軸が検出された粒子数（気体１ｃｃ当たりの検出粒子数）である。図５（ｂ），（ｃ）の縦軸は同じスケールであるが、図５（ａ）の縦軸はスケールが図５（ｂ），（ｃ）と比べて１０００倍大きくなっている。

比較例２は減圧弁の作動による金属粉等の微粒子が発生していると考えられ、微粒子の濃度が低い流体を測定対象とする場合、実用的な測定精度を得ることは困難である。比較例１は比較例２よりは検出粒子数が少ないが、後述する実施例よりはるかに多い微粒子が検出された。比較例１は、フィルタで付着、剥離を繰り返す微粒子の影響を受けていると考えられる。さらに比較例１，２では温度制御が十分でなかったために、二酸化炭素が部分的に固相または液相となって測定装置に流入したものと推察される。比較例３は比較例１のフィルタの後段に実施例のヒータ付きの流路縮小管１４を設置しているため二酸化炭素は完全に気相になっていると考えられる。比較例３は、フィルタで付着、剥離を繰り返す微粒子の影響だけを抽出したものであるといえる。比較例１〜３は、被測定対象に本来含まれる微粒子以外の微粒子が測定結果に影響を与えており、検出粒子数が高く、計測値が安定していない。

一方、実施例では各比較例よりも検出粒子数が少なくなっており、被測定対象に本来含まれる微粒子以外の微粒子の影響をほとんど受けておらず、安定した計測値が得られた。

次に、本実施例において、高圧二酸化炭素供給装置におけるサンプリング箇所Ｐ２，Ｐ３，Ｐ１における粒径１０ｎｍを超える微粒子数（濃度）を計測した結果を図６に示す。サンプリング箇所Ｐ１〜Ｐ３は図１に示すとおりの位置である。サンプリング箇所を変更した際に過渡的に微粒子数が増加する現象が確認されたが、ほぼサンプリング位置に見合った微粒子数が得られた。

さらに、同一のサンプリング箇所において、弁２４の開閉操作を行った際の、粒径１０ｎｍを超える微粒子数（濃度）を計測した結果を図７（ａ）に示す。この弁２４は、弁の開閉操作の影響を見るために、図７（ｂ）に示すような構成で設けたものである。弁の設けられたライン２５と弁の設けられていないライン２６を並列で構成し、二酸化炭素を供給しながら弁２４の開閉動作を行い、微粒子数を測定した。弁の開閉動作を行った後に微粒子数が一時的に増加し、その後再び定常的な状態に復帰している。

このように、サンプリング箇所の変更や弁の開閉操作を行った時の微小な微粒子数（濃度）の変化を、連続的にモニタリングできることが確認された。

１ 液体二酸化炭素製造設備
１１ 微粒子検出装置
１３ 流体供給部
１４ 流路縮小管
１５ 微粒子検出手段
１６ａ，１６ｂ ヒータ（加熱手段）
１７ａ，１７ｂ 温度計
１８ 制御装置

Claims (10)

1. 被測定流体が供給される流体供給部と、
   一端が前記流体供給部に接続され、前記流体供給部に対して流路の絞られた流路縮小管と、
   前記流路縮小管の他端に接続され、前記流路縮小管から流入する微粒子を検出する微粒子検出手段と、
   前記流路縮小管を加熱することにより前記流路縮小管を流れる前記被測定流体を加熱する加熱手段と、
   前記被測定流体が前記流路縮小管から気相で前記微粒子検出手段に流入するように前記加熱手段を制御する制御装置と、
   を有する、流体中の微粒子検出装置。
2. 前記流路縮小管は束ねられており、前記加熱手段は前記束ねられた流路縮小管の全体を加熱する、請求項１に記載の微粒子検出装置。
3. 前記微粒子検出手段は、気化された前記被測定流体中に含まれている前記微粒子にレーザー光を照射する手段と、前記微粒子からの前記レーザー光の散乱光を検出する手段と、を有する、請求項１または２に記載の微粒子検出装置。
4. 前記微粒子検出手段は、気化された前記被測定流体中に含まれている前記微粒子の周囲に蒸気を凝縮成長させる手段と、蒸気の凝縮成長した前記微粒子にレーザー光を照射する手段と、前記蒸気の凝縮成長した微粒子からの前記レーザー光の散乱光を検出する手段と、を有する、請求項１または２に記載の微粒子検出装置。
5. 前記流路縮小管は内径が１００〜１０００μｍの範囲にある円形断面を有し、０．１〜５００ｍの配管長を有している、請求項１から４のいずれか１項に記載の微粒子検出装置。
6. 前記流路縮小管は円形断面を有し、内径に対する配管長の比が１０以上、５００００００以下の範囲にある、請求項１から４のいずれか１項に記載の微粒子検出装置。
7. 被測定流体を流体供給部によって供給するステップと、
   供給された前記被測定流体を前記流体供給部に対して流路の絞られた流路縮小管を通すことによって、前記被測定流体を減圧するステップと、
   減圧された前記被測定流体に含まれる微粒子を検出するステップと、
   を有し、前記被測定流体を減圧するステップは、前記被測定流体が前記流路縮小管を気相で流出するように、前記流路縮小管の入口側と出口側の少なくとも一方を加熱することを含む、流体中の微粒子検出方法。
8. 前記被測定流体を減圧するステップは、前記被測定流体が前記流路縮小管を気相で流出するように、前記流路縮小管の流路面積と配管長の少なくともいずれかを調整することを含む、請求項７に記載の微粒子検出方法。
9. 前記微粒子数を計測するステップは、気化された前記被測定流体中に含まれている前記微粒子にレーザー光を照射し、または気化された前記被測定流体中に含まれている前記微粒子に、その周囲に蒸気を凝縮成長させた状態でレーザー光を照射し、照射された前記レーザー光の散乱光を検出することを含む、請求項７または８に記載の微粒子検出方法。
10. 前記減圧するステップは、圧力１ＭＰａ以上の超臨界状態または液相または気相の二酸化炭素を減圧して、圧力１ＭＰａ未満の気相の二酸化炭素にすることを含む、請求項７から９のいずれか１項に記載の微粒子検出方法。

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