JP5596962B2 - 液体吐出ヘッド用基板の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体吐出ヘッド用基板の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5596962B2 JP5596962B2 JP2009263077A JP2009263077A JP5596962B2 JP 5596962 B2 JP5596962 B2 JP 5596962B2 JP 2009263077 A JP2009263077 A JP 2009263077A JP 2009263077 A JP2009263077 A JP 2009263077A JP 5596962 B2 JP5596962 B2 JP 5596962B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- liquid discharge
- discharge head
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
図4(a)〜(e)は、図3(b)の断面図の製造過程を示した図であり、図5(a)〜(f)は、図3(a)の断面図の製造過程を示した図である。本実施例においては、金層として、金めっき層を用いている。
実施例1では、ポリエーテルアミド樹脂等の樹脂層の上にレジストマスクを設け、ドライエッチング法を用いることで電力配線130の上の樹脂層111bと端面の樹脂層111aを、一括して設けている。本実施例においては、樹脂層111をパターニングする際にレジストマスクを設けない製造方法を図6に示す。図4(d)及び図5(d)までは、実施例1と同様の製造方法で設ける。
106 金属材料層
109 金層
110 ニッケル層
111 樹脂層
112 流路壁部材
113 素子
120 電極パッド
Claims (9)
- 液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子と、該素子に電気的に接続された導電層と、前記導電層と電気的に接続され、外部との電気的な接続を行うための電極端子と、を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法において、
基体の上に端面が設けられ、金属材料からなり前記導電層と接する部分を備える金属材料層と、金からなる金層と、ニッケルからなるニッケル層と、がこの順に前記基体の上に積層された基板を用意する工程と、
前記金属材料層の前記端面と前記ニッケル層とを覆うように、樹脂からなる樹脂層を設ける工程と、
前記ニッケル層の上の前記樹脂層の一部を除去して、前記ニッケル層の一部を露出させる工程と、
前記樹脂層で前記金属材料層の前記端面が覆われた状態で前記ニッケル層の前記一部をエッチングすることにより除去し、前記金層の一部を露出させて前記電極端子を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 前記ニッケル層をエッチングする際に用いられるエッチング液は、前記金属材料層を溶解することが可能であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記金属材料層は、チタンタングステンを主成分とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記金属材料層は、拡散防止層として用いられることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記樹脂層は、ポリエーテルアミド樹脂を主成分とすることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記金層の端面は、前記基板の面に対して鋭角をなすことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記ニッケル層の前記一部をエッチングする際に、前記金層の鋭角な前記端面と前記金属材料層の端面とは、前記樹脂層の他の一部で被覆されていることを特徴とする請求項6に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の製造方法を用いて設けた液体吐出ヘッド用基板の上に、液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を有し、前記液体吐出ヘッド用基板に接することで、前記流路を形成する樹脂からなる流路壁部材を設ける工程を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂層は、前記液体吐出ヘッド用基板と前記流路壁部材との密着を向上させることを特徴とする請求項8に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009263077A JP5596962B2 (ja) | 2009-11-18 | 2009-11-18 | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009263077A JP5596962B2 (ja) | 2009-11-18 | 2009-11-18 | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011104898A JP2011104898A (ja) | 2011-06-02 |
JP5596962B2 true JP5596962B2 (ja) | 2014-09-24 |
Family
ID=44228956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009263077A Expired - Fee Related JP5596962B2 (ja) | 2009-11-18 | 2009-11-18 | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5596962B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7094693B2 (ja) * | 2017-11-27 | 2022-07-04 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4617145B2 (ja) * | 2003-12-16 | 2011-01-19 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
JP2007015265A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド |
JP5008448B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2012-08-22 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド用の基板の製造方法 |
-
2009
- 2009-11-18 JP JP2009263077A patent/JP5596962B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011104898A (ja) | 2011-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8438729B2 (en) | Method of producing liquid discharge head | |
JP4282777B2 (ja) | 半導体装置用基板及び半導体装置の製造方法 | |
US10438912B2 (en) | Liquid ejection head substrate and semiconductor substrate | |
US20090315955A1 (en) | Liquid ejection head | |
US8312628B2 (en) | Liquid discharge head and method for manufacturing the same | |
JP5921142B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP5596962B2 (ja) | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
US8182072B2 (en) | Substrate for inkjet printing head and method for manufacturing the substrate | |
JP2011037262A (ja) | 液体吐出ヘッド用基板及びその製造方法及び、液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
US8256878B2 (en) | Substrate for ink ejection heads, ink ejection head, method of manufacturing substrate, and method of manufacturing ink ejection head | |
JP5464919B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP6323991B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
JP6066612B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
JP5733967B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
JP2016141149A (ja) | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法、及び該製造方法で製造された液体吐出ヘッド用基板 | |
JP2010221656A (ja) | 液体吐出ヘッド用基板 | |
JPH10270630A (ja) | 半導体装置用基板及びその製造方法 | |
JP7263039B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2010000634A (ja) | インクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP2008207543A (ja) | インクジェット記録へッドおよびその製造方法 | |
JP2020097114A (ja) | 金属積層膜を有する基板とその製造方法 | |
JP2009006503A (ja) | インクジェット記録ヘッド用の基板およびその製造方法 | |
JP2010000633A (ja) | インクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP2006159831A (ja) | フレキシブル配線基板とその製造方法、およびインクジェット記録ヘッド | |
JP2020097115A (ja) | 金属積層膜を有する基板とその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130903 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131028 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140715 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140808 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |