JP5590002B2 - 金属汚染評価方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
チョクラルスキー法(CZ)又はフローティングゾーン法(FZ)により、表1に示す11水準(試料記号a〜k)のシリコン単結晶インゴットを育成した。結晶軸方位は全て<100>である。そして、これらのシリコン単結晶インゴットから、標準的なウェーハ加工プロセスにより、鏡面研磨仕上げのシリコン基板を作製した。
抵抗率が130Ω・cm(P型)、酸素濃度が10.8ppmaのシリコン基板を準備した。シリコン基板の直径は200mm、面方位は{100}、厚みは725μmである。そのシリコン基板をエピタキシャル成長炉内に入れて、ノンドープで厚み約10μmのエピタキシャル層を成長させた。その後、ヨウ素エタノール溶液を用いてケミカルパシベーション処理を行い、μ―PCD法により再結合ライフタイムを測定した。測定は、ウェーハ全面で2mm間隔のマッピング測定を行った。
抵抗率が11Ω・cm(P型)、酸素濃度が15.8ppmaのシリコン基板を準備した。シリコン基板の直径は200mm、面方位は{100}、厚みは725μmである。そのシリコン基板を、実施例1の後に同じエピタキシャル成長炉内に入れて、ノンドープで厚み約10μmのエピタキシャル層を成長させた。その後、ヨウ素エタノール溶液を用いてケミカルパシベーション処理を行い、μ―PCD法により再結合ライフタイムを測定した。測定は、ウェーハ全面で2mm間隔のマッピング測定を行った。
Claims (7)
- 金属汚染評価用シリコン基板の再結合ライフタイムの測定値を用いて熱処理炉の金属汚染を評価する方法であって、
前記金属汚染評価用シリコン基板として、抵抗率が40〜150Ω・cmであり、かつ酸素濃度が5〜12ppmaであるシリコン基板を準備する工程と、
前記シリコン基板を評価対象の熱処理炉内で熱処理する工程と、
前記シリコン基板の表面に対して表面パシベーション処理を行う工程と、
前記熱処理及び表面パシベーション処理を行った後のシリコン基板の再結合ライフタイムを、マイクロ波光導電減衰法により測定する工程と、
該測定値を用いて前記熱処理炉の金属汚染を評価する工程と
を含むことを特徴とする金属汚染評価方法。 - 前記表面パシベーション処理を、ケミカルパシベーション処理により、又は、前記シリコン基板の表面に酸化膜を形成することにより行うことを特徴とする請求項1に記載の金属汚染評価方法。
- 前記ケミカルパシベーション処理を、ヨウ素アルコール溶液を用いて行うことを特徴とする請求項2に記載の金属汚染評価方法。
- 前記熱処理する工程の前に前記金属汚染評価用シリコン基板として準備するシリコン基板は、前記熱処理を行う前に表面をケミカルパシベーション処理した後に、マイクロ波光導電減衰法により測定した再結合ライフタイムの測定値が3msec以上であり、前記熱処理を行う前に行ったケミカルパシベーション処理の後1時間以内の再結合ライフタイムの測定値の経時変化が±5%以内であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の金属汚染評価方法。
- 前記熱処理炉はエピタキシャル成長炉であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の金属汚染評価方法。
- 請求項5に記載の金属汚染評価方法によって金属汚染を管理したエピタキシャル成長炉を用いて、シリコン基板上に単結晶薄膜をエピタキシャル成長させてエピタキシャルウェーハを製造することを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記エピタキシャル成長後のシリコン基板の再結合ライフタイム測定値が2msec以上となるように金属汚染を管理することを特徴とする請求項6に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
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