JP5588225B2 - 液浸露光用超純水の製造方法及び装置 - Google Patents
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Description
最先端露光技術として用いられているフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー露光技術ではLSI線幅65nmが限界といわれているが、65nm以下の線幅に対応するための露光技術として液浸露光技術が用いられている。
しかし、超純水製造装置では、露光装置への給水ラインに熱交換器を別体で設けていたり、多くの単位機器を用いているため装置構成が大型となり、フットプリントを極力抑える必要があるクリーンルームもしくはプレナムルーム(クリーンルーム直下もしくは直近の準クリーンルーム)への設置は困難である。また、特許文献1の超純水製造装置は、装置全体がパーティクルとイオンの混入の課題についてしか対応しておらず、TOCの低減についての考慮がなされていない。
超純水有機・無機不純物比率 = 有機物総量(No.3)/無機イオン総量(No.16)
表2の結果から工場設備型超純水装置出口では超純水有機・無機不純物比率が30〜40倍であったのが供給配管出口では33〜104倍と有機物比率が高くなっていることがわかる。この有機物比率の上昇は供給配管材料からの溶出が要因として考えられる。
このことから、工場設備型超純水装置で製造された超純水を配管にて長距離移送した場合、前述した液浸露光用の超純水スペックをオーバーする場合があり、不純物の中では有機物総量(TOC)が圧倒的に多いことがわかる。
以下の説明では、本発明の装置に直接供給される被処理水(例えば工場設備型超純水装置で製造され、配管にて長距離輸送された水)を一次超純水と称する。
紫外線照射装置には一般的に水銀ランプが用いられており、厳格な品質管理が行われているが、エミッタ材料や水銀の酸化物の管内壁への付着、石英管の結合変化等により経時的に紫外線の透過率が低下し、ランプ照度が例えば1年の連続運転にて半分程度まで低下することがわかっており、このランプ照度の低下はTOCの分解効率に直結する。また、このような照度の低下はランプ固体間でバラツキがあり、透過率の低下がこれよりも早く生じる場合もある。
また、電極不良等により不点灯を引き起こすことがある。任意時間あたりに不点灯を起こす確率を不点率といい、使用期間が長くなるほど不点率は高くなる。例えば1年では0.1〜1%(ランプ1000本中1〜10本)、これが2年では1〜5%(ランプ1000本中10〜50本)という報告もある。
このように装置を構成する他の単位機器がまだ使用可能であっても、紫外線ランプの交換作業によって露光作業が中断されてしまうという問題がある。
流路に沿って複数の紫外線照射装置を直列配置し、その下流に少なくとも一つのイオン交換装置を配置した浄化系に、被処理水としてTOC(全有機炭素)10ppb以下の一次超純水を供給し、前記紫外線照射装置の一つを使用して前記液浸露光用の超純水を連続的に製造するとともに前記使用中の紫外線照射装置の性能を監視し、この紫外線照射装置の性能が所定のレベル以下になったとき、前記紫外線照射装置を他の紫外線照射装置に切替えて液浸露光用の超純水の製造を継続することを特徴とする。
紫外線照射装置の切替えを行う場合は、消灯している一方の紫外線照射装置を点灯した後、この紫外線照射装置が所定のTOC分解性能を発揮するまでの時間、例えば10秒間以上経ってから、元から点灯している他方の紫外線照射装置を消灯させることが望ましい。
紫外線照射装置の切換えは、点灯している一方が不点灯となった場合に出力される信号、紫外線照射装置の出口側に配置した抵抗率計が測定した抵抗率もしくはイオン化率((入口側抵抗率−出口側抵抗率)/入口側抵抗率×100%)のいずれか一つの信号に基いて行うことが望ましい。
また、少なくとも本発明の超純水の製造装置の入口もしくは、一段目の紫外線照射装置の入口、あるいは前記イオン交換装置の下流にはTOC(全有機炭素)計を配置して抵抗率の変化とともにTOCの除去率の変化も併せて監視することが望ましい。
また、本発明で、入口(紫外線照射装置の上流側)に膜脱気装置(脱気膜)を配置することができる。使用する膜脱気装置としては、低溶出タイプ(例えば入口/出口のTOC濃度が0.2ppb)のものが適している。
低溶出タイプの膜脱気装置を用いた場合は、TOC計の測定位置を一段目の紫外線照射装置の入口側にしても、TOC計の測定値は、本発明の超純水製造装置入口位置での測定値と実質的に等しい値となる。
また、イオン交換装置はカートリッジタイプのイオン交換装置、特にカートリッジタイプの混床式のイオン交換装置であることが望ましい。本発明で供給水としてTOC10ppb以下の一次超純水を使用するので、カートリッジタイプのイオン交換装置でも1年以上にわたって連続運転しても十分にイオン除去性能を保持することができる。
この場合、後段の紫外線照射装置の下流に配置するイオン交換装置は、フィルタ機能を備えたイオン交換フィルタとすることができる。すなわち、前段の紫外線照射装置を停止して後段の紫外線照射装置を点灯した後も両紫外線照射装置間に配置されたイオン交換装置はイオン除去性能を保持していて被処理水由来のイオンを除去するので、後段の紫外線照射装置の下流に配置するイオン交換装置はイオン交換容量の小さいイオン交換フィルタでも十分本発明としての効果を発揮するのである。
図1に示すように、この実施形態では、流路に沿って、膜脱気装置1、第1の紫外線照射装置2、第2の紫外線照射装置3、循環ポンプ4、カートリッジタイプの混床式イオン交換装置5、メンブレンフィルタ6が順に配置されている。
また、膜脱気装置1の上流側と第1の紫外線照射装置2の出口側、第2の紫外線照射装置3の出口側とイオン交換装置5の出口側には、それぞれ抵抗率計CI−1〜CI−4が設置され、それぞれの流路における超純水の抵抗率と、その変化が求められるようになっている。
符号V1〜V5は開閉弁である。
図2に示すように、この実施形態では、第2の紫外線照射装置が循環ポンプ4の下流側に配置され、その下流側にイオン交換フィルタ9とメンブレンフィルタ6が流路に沿って順に配置されている。
その他の構成は、第1の実施形態と同一であるので、対応するところに同一符号を付して重複する説明は省略する。
抵抗率計による紫外線ランプの性能管理の可能性を検証するため、図3に示した試験装置を作成し、未使用ランプ(参考品1)、2000時間使用ランプ(参考品2)、8600時間使用ランプ(参考品3)のそれぞれを1本ずつ紫外線照射装置10に装着して、抵抗率計CI−5により点灯時の紫外線照射装置8の入口側、出口側の抵抗率、出口側のTOCを測定した。符号11はカートリッジタイプの混床式イオン交換装置である。
なお、使用した紫外線ランプは、(株)日本フォトサイエンス製、商品名7660WS(100W)のものであり、供給水はTOC約2ppbの一次超純水を、5L/分で供給した。
以下に記載の単位機器を用いて図1の装置を構成した。
膜脱気装置:ポリポア(株)製 商品名 2.5×8、
紫外線照射装置:(株)日本フォトサイエンス製、商品名 NPU-1TOC-W、
200V、100VA、ランプ本数1本/台、熱交換器付き
イオン交換装置:野村マイクロ・サイエンス(株)製、商品名 #25M(内容積7L)
抵抗率計:FOXBORO(株)製、商品名 モニタ− 875、センサ− 871CR
TOC計:T&Cテクニカル(株)製、商品名 ACCURA-SX
得られた液浸露光用の超純水の水質は、何れも同表の出口水欄に記載の通りであった。
なお、本実施例ではトレ-スできなかったが供給配管出口TOC水質は、送水距離、配管材質、流速、滞留配管部の数・体積等で概ね10ppbまで上昇することがある。しかし、対策として紫外線照射装置の一台あたりの出力を高めたり(ランプ本数増加、高出力ランプ・安定器に変更)や台数を増加させることで要求水質に対応することは可能である。
Claims (11)
- 液浸露光装置における投影光学系の最下面とレジスト間の露光光通過空間に供給される液浸露光用の超純水の製造方法において、
流路に沿って複数の紫外線照射装置を直列配置し、その下流に少なくとも一つのイオン交換装置を配置した浄化系に、被処理水としてTOC(全有機炭素)10ppb以下の一次超純水を供給し、前記紫外線照射装置の一つを使用して前記液浸露光用の超純水を連続的に製造するとともに使用中の紫外線照射装置の性能を監視し、この紫外線照射装置の性能が所定のレベル以下になったとき、前記紫外線照射装置を他の紫外線照射装置に切替えて液浸露光用の超純水の製造を継続することを特徴とする液浸露光用の超純水の製造方法。 - 前記使用中の紫外線照射装置の性能の監視は、紫外線照射装置の入口及び出口に配置された被処理水の電気抵抗の計測により行うことを特徴とする請求項1記載の液浸露光用の超純水の製造方法。
- 前記イオン交換装置はカートリッジタイプのイオン交換装置であることを特徴とする請求項1又は2記載の液浸露光用の超純水の製造方法。
- 液浸露光装置における投影光学系の最下面とレジスト間の露光光通過空間に供給される液浸露光用の超純水の製造装置において、
流路に沿って複数の紫外線照射装置を直列配置し、その下流に少なくとも一つのイオン交換装置を配置した浄化系と、
前記浄化系に被処理水としてTOC(全有機炭素)10ppb以下の一次超純水を供給する被処理水供給手段と、
前記浄化系の前記紫外線照射装置と前記イオン交換装置の間に配置された抵抗率計と、
前記紫外線照射装置を個別に点灯、消灯可能で、前記抵抗率計の測定値により前記紫外線照射装置の性能を監視し、点灯している紫外線照射装置の性能が所定のレベル以下になったとき、前記点灯している紫外線照射装置を他の紫外線照射装置に切り替える制御手段と、
を有することを特徴とする液浸露光用の超純水の製造装置。 - 前記液浸露光用の超純水の製造装置の入口(一次超純水の取入れ口)及び/又は液浸露光用の超純水の製造装置浄化系の前記イオン交換装置の下流にTOC(全有機炭素)計を配置してなることを特徴とする請求項4記載の液浸露光用の超純水の製造装置。
- 前記直列配置された複数紫外線照射装置の各紫外線照射装置には、処理水の温度を一定にする熱交換器が一体的に設けられていることを特徴とする請求項4又は5記載の液浸露光用の超純水の製造装置。
- 前記イオン交換装置はカートリッジタイプのイオン交換装置であることを特徴とする請求項4乃至6のいずれか1項記載の液浸露光用の超純水の製造装置。
- 前記直列配置された複数紫外線照射装置の各紫外線照射装置間には、イオン交換装置が介挿されていることを特徴とする請求項4乃至7のいずれか1項記載の液浸露光用の超純水の製造装置。
- 前記直列配置された複数紫外線照射装置の上流には、膜脱気装置が配置されていることを特徴とする請求項4乃至8のいずれか1項記載の液浸露光用の超純水の製造装置。
- 前記浄化系は、精密濾過装置を介して前記液浸装置の露光光通過空間と連通していることを特徴とする請求項4乃至9のいずれか1項記載の液浸露光用の超純水の製造装置。
- 前記制御手段は、消灯している一方の紫外線照射装置を点灯した後に点灯中の他方の紫外線照射装置を消灯させて、紫外線照射装置を切替えることを特徴とする請求項4乃至10のいずれか1項記載の液浸露光用の超純水の製造装置。
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