JP5584880B2 - 電子デバイスおよびその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は電子デバイス、特に光学−電気的および/または電気−光学的な電気デバイスに関する。
本発明はさらに、電子デバイスの製造方法に関する。
本明細書において光学−電気デバイスとは、(例、可視)光を電力または電気信号に変換するデバイスと定義され、こうしたデバイスはたとえば光電池、たとえば有機光電池(organic photo voltaic cells:OPVs)などを含む。電気−光学デバイスとは、電気信号に依存する光学特性を有するデバイス、たとえば発光ダイオード、たとえば有機発光ダイオード(organic light emitting diodes:OLEDs)およびエレクトロクロミックデバイスなどであると理解される。一般的にこうしたデバイスは、第1および第2の電極層の間に挟まれた光学的機能構造を有する。光電池の場合、その光学的機能構造は、放射線を電流に変換するための少なくとも1つの光学−電気層を含む。発光ダイオードの場合、その機能構造は、電流を放射線に変換するための少なくとも1つの電気−光学層を含む。機能層へ、または機能層から放射線を通すために、電極層の少なくとも一方を比較的薄くする必要がある。厚さが制限されるために、この少なくとも一方の電極層の導電性も制限される。光電池において、このことは抵抗損が比較的高くなるという不利益を有する。有機デバイスは、比較的低温および比較的安価な製造条件で製造できるために注目を集めている。特に有機発光ダイオード(OLED)は、表示および照明の目的に用いるために重要になってきている。OLED、特に大面積OLEDすなわち数平方センチメートルより大きな発光面積を有するOLEDにおいては、導電性が低いと、その面積にわたって大幅な電圧降下が起こることによって、その面積における輝度が不均一になるという、さらなる不利益がある。米国特許出願番号第2006/0125383号により、ロールツーロール(roll−to−roll)プロセスにおいて大面積OLEDを製造する方法が公知である。この方法に従うと、第1、第2および第3の構成要素がともに積層される。第1および第2の構成要素は、OLED材料の1つまたはそれ以上の層で被覆された基板を含む。第3の構成要素は、接着性材料の1つまたはそれ以上の層を有するさらなる基板を含む。ある実施形態において、第2の構成要素には、第2の基板に対して実質的に垂直な開口が設けられる。光電池およびOLEDなど、さまざまな種類の電気デバイスを製造するとき、こうしたデバイスの1つに対する予想外の需要があった場合のために、こうしたデバイスを半完成品から迅速に製造できれば魅力的である。公知の製品は、第2の構成要素の開口内に接着剤を与えて、3つの構成要素を集積することによって製造される。ここでは、開口内の接着剤を介して、接着剤が第3の構成要素を第1の構成要素に結合する。中央の構成要素の開口内に接着剤を適用して3つの構成要素を同時に積層するプロセスは、比較的複雑である。さらに、製品を完全に組立てる前にデバイスの正しい動作を評価することができない。
本発明の目的は、改善された製造方法によって製造できる電子デバイスを提供することである。本発明のさらなる目的は、電子製品を製造するための改善された方法を提供することである。本発明のさらなる目的は、第2の構成要素とともに組立てて電子デバイスにすることのできる第1の構成要素を提供することである。
本発明の第1の局面に従うと、請求項1に従って電子デバイスが提供される。上に引用した米国特許出願から公知の製品とは異なり、本発明に従う電子デバイスにおいては、第1および第2の部分の間に電気絶縁接着層が適用され、横断導電体が接着層を通って第1の部分の導電層のうち少なくとも1つに伸びている。
第1および第2の構成要素の積層によって、電子デバイスを製造できる。第1の構成要素は、第1の基板上にたとえばOLEDまたはOPVなどを形成する機能スタックを含み、第2の構成要素は第2の基板上に電力面を形成するカバーである。第1および第2の構成要素は、安価なロールツーロールプロセスで製造できる。公知の製品とは異なり、たとえばOLEDまたはOPVなどの機能スタックを含む第1の部分自体は積層によって形成される必要がなく、2枚のホイルの積層前に1つの基板上で完成されてもよい。
少なくとも1つの導電構造は、第1の導電層および第2の導電層の一方に対する電源支持の働きをしてもよい。この態様で支持される導電層は比較的薄くできるため、デバイス内で生成される放射線またはデバイスに入る放射線に対する透過性が良好である。支持されていない他方の層は、デバイスの側方の寸法に依存して比較的厚くなってもよい。有利な実施形態においては、少なくとも第1および第2の導電構造と、第1および第2の横断導電体とが存在し、ここで第1および第2の横断導電体はそれぞれ第1および第2の導電層を第1および第2の導電構造に電気的に相互接続する。この実施形態において、第1の部分における両方の導電層の厚さは、第1の部分の側方の寸法に依存しない。したがって、この実施形態において第1の部分は完全にスケーラブルであるため、多種類の最終製品を製造するために同じ製造プロセスを用いることができる。
第1の構成要素の製造においては、機能スタックが形成されて接着層によって被覆される。たとえばレーザー穿孔などによって、第1および第2の導電層の少なくとも一方に向けて接着層に孔が形成され、導電材料が充填されることによって横断導電体が形成される。第1および第2の構成要素は、さらなる複雑な処理ステップなしに積層によって集積されて最終製品になることができる。
第1および第2の構成要素は、積層の前に各々テストできるため、製造プロセスの後期段階におけるフォールアウトが減少する。
接着層およびおそらくはリリースライナーを含む機能スタックが完成した後に、孔が形成されてその後導電材料で充填されることが好ましい。これは、ブランケット蒸着によってすべての層を適用できて製造プロセスが簡単になるという利点を有する。しかし、これは必要ではない。製造プロセスのあらゆる段階で、あらゆる層のあらゆるパターンが形成されてもよい。たとえば、印刷などのパターン化蒸着プロセスを用いて、蒸着プロセスの際に層内のパターンを適用してもよいし、その層が適用された直後に穿孔またはエッチングによってパターンを適用してもよい。リリースライナーとは、接着剤またはマスチックなど、あらゆる種類の粘着性材料から離れる効果を与える離型剤によって1つまたは2つの側部が覆われた、紙またはプラスチックに基づく担体織物材料であると理解される。
さまざまな種類のデバイスに対する提案および需要に依存して、電気−光学活性層を含む第1の構成要素との集積によって発光製品を製造するため、または光学−電気活性層を有する第1の構成要素との集積によって光起電性製品を製造するためにカバーホイルを用いるかどうかをあらゆる時点で決定してもよい。OPVおよびOLED製品の最終的なサイズおよび形は、端子形成および積層の直前に決定される。
有利な実施形態においては、接着層を含む機能スタックが完成した後に孔が形成される。この実施形態において、機能スタックは機能層のブランケット蒸着によって形成され、そこにリリースライナーが設けられる。このブランケット蒸着は製造を容易にし、こうして得られた半完成品はすべての製品に対して包括的である。さらに、この実施形態においては穿孔および充填の際に形成されるあらゆる残骸がリリースライナーに残される。リリースライナーはカバーとの積層の直前に離されてもよい。積層プロセスにおいては、横断第1および第2導電体がカバーにおける第1および第2の導電構造に接触される。
別の有利な実施形態において、第1の導電層は互いに電気的に絶縁されかつ第2の共通な面に配置された第1および第2のセグメントを有し、第1の導電層の第1のセグメントは第1の導電構造に電気的に接続され、第2の導電層は第2の導電体および第1の導電層の第2のセグメントを介して第2の導電構造に電気的に相互接続される。この実施形態において、第2の導電構造の横断導体への電気的接続は第1の導電層のセグメントを介して形成されるため、第2の導電層を比較的薄くすることによって透過性を比較的高くできる。したがって、カバーにおける導電構造が表面の十分に大きな部分を自由なまま残していれば、両面放射OLEDを形成できる。実際には、導電構造がカバーの基板の表面の約10%を覆っているとき、導電構造はなおも十分な導電性を有することが見出されている。
第1および第2の導電層を第1および第2の導電構造にそれぞれ接続する第1および第2の横断導電体を適用し、かつ第1および第2の導電構造がカバーの表面の10%以下を覆うことは、たとえばウィンドウなどに用いられるエレクトロクロミックデバイスに特に関連がある。
さらなる実施形態において、第1の導電層に結合される第1の横断導体は、これらの導体を第2の導電層から絶縁する絶縁ゾーンに囲まれている。絶縁ゾーンは第1の横断導体に直接近接して適用されてもよいが、代替的に横断導体から離れて適用されてもよい。たとえばある実施形態において、第2の導電層には、第1の横断導体のための内側部分と、内側部分とは分離したリング形の外側部分とを有する孔が設けられる。第1の横断導体と第2の導電層との間に絶縁ゾーンが存在していれば十分である。製造の目的のためには、絶縁ゾーンが第1の横断導体の全長にわたって延在することによって、機能スタックのすべての層が適用された後に単一ステップで絶縁ゾーンを製造できることが好ましいだろう。絶縁ゾーンは、機能スタックのすべての層が適用された後に、第1の横断導電体の周りのリング形の体積の材料を除去することによって適用されてもよい。代替的には、第1の導電層に伸びる第1の孔を穿孔して、電気絶縁材料を充填してもよい。その後、この電気絶縁材料内により小さな孔を穿孔して、その中に第1の横断導電体を配置してもよい。絶縁ゾーンは材料を含まないままにされてもよいし、絶縁材料が充填されてもよい。横断方向にのみ伝導する横断導体に対して異方性の材料が用いられるとき、絶縁ゾーンは不必要かもしれない。
本発明に従う電子デバイスは第1および第2の導電構造を含んでもよく、ここで第1の導電構造は第1の横断導電体を介して第1の導電層全体に電気的に接続され、第2の導電構造は第2の横断導電体を介して第2の導電層全体に電気的に接続される。この並列配置においては、OLEDを比較的低電圧で駆動でき、OPVには比較的低電圧の出力が設けられる。代替的な配置においては、機能スタックが機能スタックセグメントに分割され、各機能スタックセグメントは第1の導電層のセグメントと第2の導電層のセグメントとを含み、機能スタックセグメントは直列に配置され、第1の導電層の少なくとも1つのセグメントがカバーにおける導電構造を介して第2の導電層のセグメントに電気的に接続される。この直列配置においては、比較的高電圧だが低い駆動電流でOLEDを駆動できる。結果的に、第1および第2の導電構造の導電性に対する要求が厳しくなくなる。同様に、この態様でOPVに比較的高電圧の出力が設けられてもよく、一方で第1および第2の導電層の電流負荷は少なくなる。
図面を参照して、これらの局面およびその他の局面がより詳細に説明される。
本発明に従う電子デバイスの第1の実施形態を示す図である。 図1の電子デバイスの第1の部分を示す図である。 図1の電子デバイスの第2の部分を示す図である。 図1の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図1の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図1の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 本発明に従う電子デバイスの第2の実施形態を示す図である。 図5の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図5の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図5の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図5の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図5の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図5の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図5の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 本発明に従う電子デバイスの第3の実施形態を示す図である。 図7の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図7の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図7の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図7の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図7の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図7の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図7の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図7の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 本発明に従う電子デバイスの第4の実施形態を示す図である。 図9中の底面図Xに従って図9の電子デバイスの一部分を示す図である。 図9中のXIに従って図9の電子デバイスの別の部分の断面を示す図である。 本発明に従う電子デバイスの第4の実施形態を示す図である。 図12中のXIII−XIIIに従う階段状の断面を示す図である。 本発明に従う電子デバイスの第5の実施形態を示す図である。 図14の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図14の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図14の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 図14の電子デバイスを製造する方法を示す図である。 本発明に従う電子デバイスの第6の実施形態を示す図である。 共通のパッケージに集積された本発明に従う複数の電子デバイスを示す図である。
以下の詳細な説明には、本発明の完全な理解を与えるために多数の特定的な詳細が示されている。しかし、これらの特定的な詳細なしに本発明を実施してもよいことが当業者に理解されるだろう。他の場合には、本発明の局面を不明瞭にしないために、周知の方法、手順および構成要素は詳細に記載していない。
本明細書において用いられる用語は、特定の実施形態を説明する目的のためのみのものであり、本発明を制限することは意図されていない。本明細書において用いられる単数形「1つの(a、an)」および「前記(the)」は、その文脈が明らかに別様を示さない限り、複数形をも含むことが意図される。さらに、「含む(comprises)」および/または「含む(comprising)」という用語は、本明細書中で用いられるとき、述べられる特徴、完全体、ステップ、動作、要素および/または構成要素の存在を特定するが、1つまたはそれ以上の他の特徴、完全体、ステップ、動作、要素、構成要素および/またはその群の存在または付加を排除するものではないことが理解されるだろう。さらに、反対のことがはっきりと述べられていない限り、「または(or)」は包含的論理和を示すものであって、排他的論理和は示さない。たとえば、AまたはBという条件は、以下のいずれか1つによって満たされる:Aが真(または存在)であってBが偽(または不在)である、Aが偽(または不在)であってBが真(または存在)である、ならびにAおよびBの両方が真(または存在)である。
本発明の実施形態を示す添付の図面を参照して、以下に本発明をより十分に説明する。しかし、本発明は多くの異なる形で実施されてもよく、本明細書に示される実施形態に限定されると解釈されるべきではない。これらの実施形態は、この開示を詳細かつ完全なものとして、当業者に本発明の範囲を十分に伝えるために提供されるものである。図面において、明瞭さのために層および領域のサイズおよび相対サイズは誇張されていることがある。
ある要素または層が別の要素または層に「載せられる(on)」、「接続される(connected to)」または「結合される(coupled to)」ことが示されるとき、それは他方の要素または層に直接載せられるか、接続または結合されてもよいし、介在する要素または層が存在してもよいことが理解されるだろう。これに対し、ある要素が別の要素または層に「直接(directly)載せられる」、「直接接続される」または「直接結合される」ことが示されるときには、介在する要素または層は存在しない。全体にわたって類似の番号は類似の要素を示す。本明細書において用いられる「および/または」という用語は、関連する列挙された事項の1つまたはそれ以上のあらゆるすべての組合せを含む。
本明細書において、さまざまな要素、構成要素、領域、層および/またはセクションを説明するために第1、第2、第3などの用語を用いることがあるが、これらの要素、構成要素、領域、層および/またはセクションはこれらの用語によって限定されるべきではないことが理解されるだろう。これらの用語は1つの要素、構成要素、領域、層またはセクションを別の領域、層またはセクションから区別するためにのみ用いられる。よって、以下に考察される第1の要素、構成要素、領域、層またはセクションは、本発明の教示から逸脱することなく第2の要素、構成要素、領域、層またはセクションと名付けられてもよい。
本明細書において、図面に示される1つの要素または特徴と別の要素または特徴との関係を説明するときに、説明を容易にするために空間的に相対的な用語、たとえば「真下(beneath)」、「下(below)」、「下側(lower)」、「上(above)」、「上側(upper)」などが用いられることがある。この空間的に相対的な用語は、図面に示された向きに加えて、使用中または動作中のデバイスの異なる向きも包含することが意図されていることが理解されるだろう。たとえば、もし図面中のデバイスがひっくり返されれば、他の要素または特徴の「下」または「真下」にあると記載された要素が、他の要素または特徴の「上」に向き付けされることになる。よって「下」という例示的用語は、上および下の両方の向きを包含し得る。デバイスが別様に向き付け(90度または他の向きに回転)されてもよく、本明細書において用いられる空間的に相対的な記述子はそれに従って解釈される。
本明細書においては、本発明の理想化した実施形態(および中間構造)の概略図である断面図を参照して、本発明の実施形態を説明する。よって、たとえば製造技術および/または許容差などの結果として、この図の形から変化することが予期される。よって、本発明の実施形態は本明細書に図示される領域の特定の形に限定されると解釈されるべきではなく、たとえば製造などの結果もたらされる形の逸脱を含むと解釈されるべきである。
別様に定義されない限り、本明細書において用いられるすべての用語(技術用語および科学用語を含む)は、本発明が属する技術分野における通常の当業者が一般的に理解するものと同じ意味を有する。さらに、一般的に用いられる辞書において定義されるものなどの用語は、関連技術分野の状況におけるそれらの意味と一致した意味を有するものと解釈されるべきであって、本明細書においてはっきりとそう定義されない限り、理想化された意味または過度に形式的な意味に解釈されることはないことが理解されるだろう。本明細書において言及されるすべての出版物、特許出願、特許、およびその他の参考文献は、その全体にわたって引用により援用される。矛盾がある場合には、定義を含む本明細書が支配する。加えて、材料、方法および例は単に例示的なものであり、限定することは意図されない。
図1は電子デバイスの第1の実施形態を示しており、これは第1の構成要素として機能スタック10を、第2の構成要素としてカバー50を含む。図2は図1の上面図IIに従って第1の構成要素10を示し、図3は図1の底面図IIIに従って第2の構成要素50を示す。
カバー50は、絶縁接着層28によって機能スタック10に結合される。接着層28は15〜100μmの範囲の厚さを有し、機能スタック10をカバー50に接着する。接着層28の接着剤は適用後に硬化されてもよい。好適な接着剤は、たとえばアクリル酸塩、エポキシおよびシリコーンなどである。しかし、ホットメルトの(たとえばEVAに基づく)熱可塑性接着剤も用いられ得る。機能スタック10は第1の透過性の導電層22を含み、これはバリアスタックの形の第1のバリア構造が設けられた基板12に適用される。基板としては、PET(ポリエチレンテレフタレート(Poly Ethylene Terephthalate))またはPEN(ポリエチレンナフタレート(Poly Ethylene Naphthalate))またはPC(ポリカーボネート(polycarbonate))などの材料が用いられてもよい。基板は、たとえば50μmから250μmの範囲、たとえば125μmなどの厚さを有していてもよい。バリアスタックは、1〜500nmの範囲、好ましくは約300nmの厚さを有する第1の無機層16と、0.1〜100μm、好ましくは約20μmの厚さを有する第1の有機層18と、1〜500nm、好ましくは300nmの厚さを有する第2の無機層20とを含む。層18は無機層16、20を分離しており、付加的に平坦化層として機能してもよい。バリアスタックは、(任意の)平坦化層14を有し得る基板12に適用される。有機平坦化層14は0.1〜100μmの範囲、好ましくは約20μmの厚さを有する。第1の透過性の導電層22は、たとえば透過性の伝導性金属酸化物の層、たとえば酸化インジウムスズ(indium tin oxide:ITO)、酸化亜鉛(ZnO)、または酸化スズ(SnO)の層などである。第1の透過性の導電層22は、50〜300nmの範囲、たとえば150nmなどの厚さを有する。代替的または付加的に、PEDOTなどの十分に伝導性のある透過性有機材料または薄い金属が用いられてもよい。機能スタックは、第2の導電性の必ずしも透過性でない層24、たとえば約5nmの厚さを有するバリウムの層と100〜400nmの範囲の厚さを有するアルミニウムの層との組合せなどを含む。
機能構造26は前記第1および第2の導電層22、24の間に挟まれている。機能構造26はその機能に応じて1つまたはそれ以上の機能層を含んでもよい。たとえば電子デバイスがOLEDである場合、機能構造は、たとえば重合PPVまたは層スタック、およびIrPyなどのエミッタを含む小さい分子の混合物などの発光材料の少なくとも1つの層を含む。加えて機能構造は、発光材料の層と陽極を形成する導電層との間に正孔注入層(hole injection layer:HIL)を、およびまたは発光材料の層と陰極を形成する導電層との間に電子伝達層を含んでもよい。好適な材料は、たとえばアルミニウム、銅または銀などである。
電子デバイスが光電池である場合、機能構造は電子供与層と電子受容層との組合せを含んでもよい。たとえば、第1の導電層は厚さ125nmのITO層であり、第2の導電層は厚さ100nmのアルミニウム層であり、その間に75nmのPEDOTおよび100nmの混合層(MDMO−PPV:PCBM 1:4)が配される。
カバー50は基板52と、基板52に適用される第1および第2の互いに絶縁された導電構造66、68とを含む。基板としては、PET(ポリエチレンテレフタレート)またはPEN(ポリエチレンナフタレート)またはPC(ポリカーボネート)などの材料が用いられてもよい。基板は、たとえば50μmから250μmの範囲、たとえば125μmなどの厚さを有してもよい。第1および第2の互いに絶縁された導電構造66、68は、接着層28と基板52との間に配置される。それによって、第1および第2の互いに絶縁された導電構造66、68は接着層28の表面に沈められてもよい。導電構造66、68に対して好適な材料は、銅、銀およびアルミニウムである。銅の場合には、たとえば欧州特許第1843383号に記載されるものなどの電気メッキプロセスによって、好適な導電構造を形成できる。導電構造66、68は、10μmから50μmのオーダー、たとえば25μmなどの厚さを有してもよい。この構造は、幅100μmから300μmの分岐を有してもよい。デバイスの良好な動作のために抵抗を十分低くするためには、導電構造66、68が基板の表面の約10%を覆っていれば十分である。そのときカバーはなおも良好な透過性を有する。これは、たとえば導電構造のその後の分岐が1mmから3mmの距離を置いて離されていれば達成される。しかし、機能スタックがデバイスの一方側における放射線に対して伝達性であることのみが要求されているときは、導電構造が実質的に基板52全体を覆ってもよい。
カバー50にはさらに、第3の無機層56、第2の有機層58および第4の無機層60を含むバリア構造が設けられる。バリア構造56、58、60は、基板52と、第1および第2の互いに絶縁された導電構造66、68との間に配置される。本発明のこれらの実施形態およびその他の実施形態におけるバリア構造に対する好適な材料は、以前に出願された欧州特許出願EP08156493.2号に記載されている。カバーには、第1および第2の互いに絶縁された導電構造66、68からデバイスの外側のさらなる導体への電気的接続を提供する第1および第2の電気メイン導体62、64がさらに設けられる。代替的には、こうしたメイン導体62’、64’が機能スタック10内に設けられてもよい。
第1の面61を横断する第1の導電体32は、第1の導電層22を第1の面61中の第1の導電構造66に電気的に相互接続する。第1の面61を横断する第2の導電体34は、第2の導電層24を第2の導電構造68に電気的に相互接続する。好ましい実施形態において、導電体32、34はCu、AgまたはCに基づくインク、ペーストまたは接着剤によって形成されてもよいし、好適なシード材料で充填した後に金属導体を無電解成長させることによって形成されてもよい。
第1の導電体32は、リング形のゾーン33によって第2の導電層24から絶縁されている。この場合、リング形のゾーン33は第1の導電体32の全長にわたって延在する。しかし、陰極層(第2の導電層24)が第1の導電体32の充填されたゾーンの周囲から除去されているだけで十分である。リング形のゾーン33は電気絶縁材料で充填されてもよいが、代替的には材料を含まないままにされてもよい。
図1に示される製品は、第1の構成要素10すなわち機能スタックを、第2の構成要素50すなわち導電構造を有するカバーと積層することによって効率的に製造されてもよい。
次に、図4A〜4Eを参照しながら機能スタックを製造する方法を説明する。本発明に従う方法によると、基板12が提供される。平坦化層14が任意に適用されてもよい。平坦化層は、たとえば(真空中の)グラビア印刷またはスロットダイコーティングなどによって蒸着される。その後、第1の無機層16、第1の有機層18および第2の無機層20の付着を適用することによって、第1のバリア構造が提供される。無機層16、20はSiNx:Hの蒸着、たとえばPECVDなどによって適用されてもよい。蒸着の前に表面処理が行なわれてもよい。中間有機層18はグラビア印刷またはスロットダイコーティングによって蒸着されてもよい。
次いで第1の透過性の導電層22が適用され、1つまたはそれ以上の機能層を含む機能構造26がそれに続く。次に第2の導電層24が適用される。たとえばITO層などの導電層22は、(回転可能な)マグネトロンスパッタリングの後に150℃未満の温度でアニーリングすることによって適用されてもよい。たとえば熱蒸発などによって二重の導電層24が適用されてもよい。導電層24には電気絶縁接着層26が設けられ、これは任意にリリースライナー36で覆われていてもよい。機能構造は1つまたはそれ以上の活性層、たとえば電気−光学的活性層、光学−電気的活性層、正孔注入層、電子伝達層などを含んでもよい。この1つまたはそれ以上の活性層は、たとえばスピンコーティング、グラビア/フレキソ印刷、およびスロットダイコーティングなどの方法の1つまたはそれ以上によって適用されてもよい。これらのステップによって、パターン形成を必要とせずに図4Aに示される結果が得られる。
図4Bは、直径25〜250μmの第1および第2の孔38、40が接着層26およびリリースライナー36を通って形成される様子を示す。第1の孔38は第1の透過性の導電層22に向かって伸びる。第2の孔40は第2の導電層24に向かって伸びる。
孔38、40に導電材料を適用して導電体32、34を形成することによって、図4Cに示される結果が得られる。導電体32の適用後、第1の孔38中の導電材料の周りに、たとえば50〜275μmの外径を有するリング形の凹み33が形成される。リング形の凹み33には絶縁材料が充填されているが、代替的に空のままであってもよい。第1および第2の孔38、40ならびにリング形の凹み33は、レーザー穿孔によって形成されることが好ましい。なお、機能スタック10の最終層の適用後に単一ステップで孔38、40を適用する代わりに、機能スタック10の層をパターン化蒸着して、孔および凹みに対応する場所にパーフォレーションを設けた接着層26を積層することによって、孔38、40および凹み33を代替的に形成してもよい。
製品の長期的保護を与えるために、デバイスに湿気が侵入するのを防ぐための方策が取られてもよく、たとえば機能スタックの側面がバリア材料で密封されてもよい。
カバー50は、基板12に層14、16、18、20を適用するために用いられたのと同様の方法によって、基板52に層のスタック54、56、58、60を適用することによって製造されてもよい。その後、たとえば上述の方法などによる電気めっきなどを用いて、スタック54、56、58、60に第1および第2の互いに絶縁された導電構造66、68を適用してもよい。第1および第2の互いに絶縁された導電構造66、68は、要求される製品のサイズに依存した厚さを有する。
一方の第1の部分10の層16、18および20によって形成されたバリア構造と、他方の第2の部分50の層56、58および60によって形成されたバリア構造とが、湿気に敏感な層に環境から湿気が侵入するのを防ぐ。代替的な実施形態においては、両方のバリア構造が第1の部分10に存在してもよい。たとえば、バリア構造は陰極層24と接着層28との間に存在してもよい。
図4Eで得られた半完成品を、図3に示される基板52と第1の面61における少なくとも1つの導電構造66とを含むカバー50に積層することによって、図1に示される電子デバイスの製造が完了してもよい。これによって、第1の面61の第1および第2の互いに絶縁された導電構造66、68は、それぞれ接着層28の第1の孔および第2の孔の開口における導電材料32、34に接触される。このステップの前に、もし存在していればリリースライナー36を除去してもよい。この製造プロセスにおいて、リリースライナー36は二重の機能を有する。リリースライナーは一方では、孔38、40、リング形の凹み33、およびデバイスの周囲のバリア材料30を充填するためのスリットを形成するプロセスの間に放出される残骸を捕える。他方では、リリースライナー36は迅速な積層を促進する。一旦リリースライナー36が除去されると、接着層28が使用可能になることによって機能スタック10およびカバーを共に積層できる。特定の製品に対する予期せぬ要求があった場合には、関連する機能スタック10とカバー50とを積層することによって、その特定の製品を製造できる。接着層の適用による遅延はもたらされない。
図5は、本発明に従う電子デバイスの代替的な実施形態を示す。図1の部分に対応する図中の部分は、100大きい参照番号を有する。図5において、参照番号113および155は、たとえば図1を参照して説明されるスタック14、16、18、20などの、交互になった有機層および無機層のスタックを含むバリア構造を示す。
図5に示される電子デバイスの代替的な実施形態において、第1の導電層122は第1および第2のセグメント122a、122bを有する。セグメント122a、122bは互いに電気的に絶縁されており、第2の共通な面に配置されている。第1の導電層122の第1のセグメント122aは、第1の導電構造166に電気的に接続される。第2の導電層124は、第2の導電体134および第1の導電層122の第2のセグメント122bを介して、第2の導電構造168に電気的に相互接続される。
図6A〜6Eは、図5に示される代替的な実施形態を製造する方法を示す。図6Aに示されるこの方法の第1のステップにおいて、透過性の導電材料のパターン化層122が適用される。この層は、互いに絶縁された少なくとも1つの第1のセグメント122aと1つの第2のセグメント122bとを含む。層中のパターンは、たとえば印刷プロセスなどによって直接適用されてもよいし、まず連続的な層が適用された後にパターン化が行なわれてもよい。
図6Bに示されるとおり、パターン化層122に、たとえば発光層、正孔伝達層または電子伝達層のうちの1つまたはそれ以上などを含む1つまたはそれ以上の活性層のスタック126が適用される。
次のステップでは、図6Cに示されるとおり第2のセグメント122b(またはその一部)からスタック126が除去される。代替的には、たとえば印刷プロセスなどによって、スタック126がパターン化された形で直接適用されてもよい。
図6Dに示される次のステップでは、導電材料の少なくとも1つの層124が適用される。この少なくとも1つの層124は、第1の導電層122の少なくとも1つのセグメント122bと電気接点を形成する。図6Eと、図6EのビューFに従う図6Fとに示されるとおり、第2の導電層124に孔137が形成され、スタック126を経由して第1の導電層122まで延在する。孔137は、円形の内側部分137aと、内側部分と分離したリング形の外側部分137bとを有する。
図6Gに示される次のステップにおいて、少なくとも1つの導電層124に接着層128が適用される。接着層128および場合によってはリリース層には、孔137の円形の内側部分137aに揃えた第1の孔138が設けられる。第1の導電層122の第2のセグメントに向かって伸びる1つまたはそれ以上の第2の孔140が適用される。孔137のリング形の外側部分137bを接着材料が充たしてもよい。代替的には、外側部分は材料を含まないままにされてもよいし、別個の絶縁材料で充填されてもよい。
次のステップにおいて、孔138、140にそれぞれ導体132、134が適用される。第1の横断導体138は、孔の内側部分137aを通って第1の導電層122まで延在する。ある実施形態において、孔137には必要であれば硬化される絶縁材料が充填され、その後絶縁材料の体積の内側にもっと小さな孔137aが穿孔され、その後このもっと小さな孔に横断導体を形成する導電材料が充填される。
その後、結果として得られる図6Gに示される半完成品は、たとえば図3に示されるカバー50などのカバーと積層されてもよい。
この実施形態において、第1の横断導電体132の周りの絶縁ゾーンは距離を置いて適用される。代替的には、図1の実施形態に示したとおり、絶縁ゾーンが第1の横断導電体132と直接境を接していてもよい。同様に、第2の横断導電体34が第2の導電層24に直接接続されている図1の実施形態において、第1の横断導電体の周りの絶縁ゾーンは、第1の横断導電体32を含む孔とは分離したリング形のゾーンとして距離を置いて適用されてもよい。
図7はさらなる代替的な実施形態を示す。図1の部分に対応する図中の部分は、200大きい参照番号を有する。図5に対応する図中の部分は、100大きい参照番号を有する。図7の実施形態において、機能構造226および第2の導電層224には第1の横断導電体232に揃えた空間が設けられる。機能構造236の空間は第2の導電層224の空間よりも小さく、その内側に存在する。
図7に示される電子デバイスは第2の導電層224と接着層228との間に薄膜構造225を含み、薄膜構造225は交互になった有機層および無機層を含む。この有機層および無機層に用いるために好適な材料は、以前に出願された出願EP08156493.2号に記載されている。この薄膜構造が存在することによる利点は、リリースラインを有さない半完成品はより長い寿命を有すること、およびカバーにバリア構造が存在する必要がないことである。図7は、薄膜構造225が機能構造226および第2の導電層224に形成された空間を充たしていることを示す。
次に、図7に示される電子デバイスを製造する方法を、図8A〜8Hを参照して示す。図8Aおよび図8Bは製造プロセスの第1段階を示し、ここでは基板212におけるバリア構造213上に、パターン化された第1の透過性導電層222が適用される。図5に示される実施形態と同様に、パターン化された第1の透過性導電層222は、互いに電気的に絶縁されて第2の共通な面に配置された第1および第2のセグメント222a、222bを有する。図8Bは、矢印Bに従った図8Aの上面図を示す。例として3つのセグメントが示されているが、あらゆるその他の複数個のセグメントが適用可能である。
図8Cおよび図8Dは製造プロセスのさらなる段階を示しており、ここでは機能構造226が適用された後にパターン化されて、内部に空間226oが与えられる。代替的には、パターン化蒸着によって単一ステップでパターン化された形の機能構造226を適用してもよい。
図8Eおよび図8Fに示される段階において、機能構造中の空間226oに揃えた空間224oを有する第2の導電層224が提供される。機能構造226の空間226oは第2の導電層224の空間224oよりも小さく、その内側に存在する。図8Fは図8EのFに従う上面図を示す。
図8Gに示される次の段階において、交互になった有機層および無機層を含む薄膜構造225が適用される。薄膜構造225は機能構造226および第2の導電層224に形成された空間を充たす。図8Hに示されるとおり、薄膜構造225中に孔238および240が適用される。これらの孔は、機能構造226の空間226oおよび第2の導電層224の空間224oに揃えられる。その後、図5に示される製品に対する説明と同様にして、図8Hの半完成品を最終製品に完成させてもよい。
図9、図10および図11はさらなる実施形態を示す。図1に対応する図中の部分は、300大きい参照番号を有する。図10は、図9のXに従うカバー350の底面図を示す。図11は、図9のXIに従う機能スタック310の断面を示す。この実施形態において、第1および第2の導電層322および324はセグメント化されている。第1の導電層のセグメント322a、...、322eは、第2の導電層324のそれぞれのセグメント324a、...、324eに対向して配置される。対向するセグメントの各対322a、324a;322b、324bなどは、機能スタックセグメント310a、...、310eに対応する。機能スタックセグメント310a、...、310eは直列的に配置されており、第1の導電層322の各セグメント322b(第1のセグメント322aを除く)は、後続する機能スタックセグメント310aの第2の導電層324のセグメント324aに電気的に接続される。第1の導電層322のセグメント322bと後続する機能スタックセグメント310aの第2の導電層324のセグメント324aとの間の電気的接続は、第1の横断導電体332bと、カバー350における導電構造366bと、第2の横断導電体334aとによって形成される。第1の導電層322の第1のセグメント322aは、カバー350における第1の導電構造366aを介して第1の端子362に電気的に接続される。第2の導電層324の最後のセグメント324eは、カバー350における第6の導電構造366fを介して第2の端子364に電気的に接続される。
この実施形態においても、均質性の高い光出力を得ることができる一方で、第1の導電層を比較的薄くできるために透過性が良好になる。この実施形態は、低電流による高電圧駆動を可能にする。
図12および図13は、直列接続されるデバイスの別の例を示す。図1の部分に対応する参照番号を有する図中の部分は、400大きい参照番号を有する。図13は、線XIII−XIIIに従って図12のデバイスの階段状の断面を示す。
図12および図13に従う直列接続されるデバイスの例において、第1の導電層の各セグメント422a、...、422eは、第2の導電層424中の対応するセグメント424a、...、424eに接続されるアイランド422a1、...、422e1を有する。この実施形態は、第2の導電層434に向かって孔を穿孔するときの許容差を大きくすることを可能にする。これらの孔は第2の導電層434まで延在すれば十分であるが、もし穿孔プロセスにおける許容差のために孔がスタック内にさらに伸びて、たとえば第1の導電層422まで伸びたとしても、これは問題ではない。なぜなら第2の導電層424のセグメント424a、...、424eは第1の導電層のアイランド422a1、...、422e1となおも接続されているからである。したがって図12および図13に示されるとおり、第2の横断導電体434c、434d、434eは第2の導電層424まで延在してもよいが、図5に示されるものと同様、それらは代替的にスタック内にさらに伸びて、たとえば第1の導電層422まで伸びてもよい。この直列接続される変形物の実施形態においては、第2の導電層424を比較的薄くできるために透過性が良好になる。
図14は、本発明に従う電子デバイスのさらなる実施形態を示す。図1に対応する図中の部分は、500大きい参照番号を有する。このデバイスは、たとえば前の実施形態に対して上述したような有機材料の層または層のスタックなどの光学的機能構造526を含む。代替的に、光学的機能構造は、比較的厚い金属基板524に適用される無機材料の1つまたはそれ以上の層を含んでもよい。後者は第2の導電層の働きをする。光学的機能層526の反対側には、たとえば透過性金属またはITOなどの透過性金属酸化物などの第1の導電層522が適用される。第1の導電層522は、たとえば10nmから100nmの範囲の厚さを有する。図14に示されるデバイスは頂部発光(top−emitting)LEDである。光学的機能層526によって形成された、機能構造内で生じた(可視)放射線は、第1の透過性導電層522を経由し、接着層528を経由し、基板552に導電構造566を有するカバー550を経由して伝達される。そのために、導電構造は幅が10μmから100μmの範囲の線を有するグリッドとして適用され、グリッドの線はカバーの表面の10%以下を覆う。もし幅が10μmよりもかなり小さく、たとえば5μmなどであれば、特に高出力LEDに対して電子デバイスに十分な電力を提供することが困難になる。もし幅が100μmよりもかなり大きく、たとえば200μmなどであれば、この構造が可視となって装飾用製品に対して不利益となる。線の厚さはたとえば10μmから50μmの範囲、たとえば25μmなどである。代替的に、図14に示されるデバイスは(有機)光電池であってもよい。光学的機能構造526は無機の性質であってもよく、たとえばシリコン層などの単一の無機層を含んでもよいが、代替的にたとえばCISスタック(銅(copper)、インジウム(indium)、セレン(selenium))などの層のスタックを含んでもよい。有機光起電性デバイスの場合、機能構造526は色素増感OPV電池内と同様に配置されてもよいし、たとえばポリマーまたは低分子OPVスタックなどを含んでもよい。
例として、図14のデバイスを製造する方法を図15Aから図15Dに示す。
図15Aは第1の製造段階を示し、ここでは光学的機能層526が金属基板524に適用され、さらに光学的機能層526に第1の透過性の導電層が適用される。
図15Bは第2の製造段階を示し、ここではリリースライナー536を設けた接着ホイル528が第1の導電層に適用される。リリースライナーは、たとえばPETホイルまたはPENホイルなどのポリマーホイルなどであり、約5μmから約100μmの範囲、たとえば12.5μmなどの厚さを有する。リリースライナーは電気絶縁接着層に対するバックボーンとして機能する。
前の実施形態に対して示された方法とは異なり、リリースライナー536を有する接着ホイル528には、すでに孔533が調製されている。代替的に、接着ホイル528が層522に接着された後に孔533が適用されてもよいが、予め孔533を設けることによって、孔が正確に第1の導電層522まで延在することが確実にされる。接着ホイルを残りの機能スタックに適用する前に接着ホイルに孔を設けるこの方法は、たとえば図1、図5、図7、図9および図12に示されるデバイスなど、他の実施形態の製造に対しても有用である。
図15Cに示される次のステップにおいて、孔533に導電材料532が充填される。その後リリースライナーが取除かれる(図15D)。
最後に、基板552に導電構造566を有するカバー550が、機能スタック510の絶縁接着層528の表面に接着されることによって、図14の製品が得られる。
図16はさらなる実施形態を示す。図1の部分に対応する図中の部分は、600大きい参照番号を有する。図16の実施形態において、光学的機能層626は光電池であり、そのドープ領域は第1の透過性の導電層622として機能する。第2の導電層624は、光学的機能層626に対するバック接点として配置された金属ホイルによって形成される。
図16の電子デバイスは、図14のデバイスに対する図15A〜Dに示された方法と類似のやり方で製造できる。前記方法に従うと、ドープ領域622を設けた光学的機能層626が金属ホイル624に適用される。その後、図14の製品に対して図15Bに示されるとおり、光学的機能層626のドープ領域622の表面に、リリースライナー(図示せず)を有する接着層628が適用される。図15Cに示されるステップと同様に、接着層628の孔に導電材料が適用されて横断導体632が形成される。図15Dに示されるステップと同様に、リリースライナーが取除かれた後に、導電構造を有するカバー650が適用されて図16の製品が得られる。
本発明に従う電子デバイスを製造するために用いられるさまざまな部分は、任意の順序で製造されてもよいし、同時に製造されてもよい。たとえば図1の実施形態において、これらの部分は機能スタック10およびカバー50である。図16の実施形態において、これらの部分は光学的機能層626を有する金属ホイル624、リリースライナーを有する接着層628、およびカバー650である。
本明細書に明確に記載されている層の間に、たとえば平坦化層、フィルタ層、保護層などの付加的な層が存在してもよい。
図17に概略的に示されるとおり、複数の機能スタック510が共通のカバー550aに積層されるか、または共通のカバー対550a、550bの間に積層されてもよい。これは本発明に従う他の電子デバイスにも同様に当てはまる。たとえば、複数の機能スタック610がこのやり方で積層されてもよい。
請求項において、「含む(comprising)」という語は他の要素またはステップを除外せず、不定冠詞「a」または「an」は複数形を除外しない。単一の構成要素またはその他のユニットが、請求項に述べられるいくつかの項目の機能を満たしてもよい。特定の方策が互いに異なる請求項に述べられているという事実だけでは、それらの方策を組合せて有利に用いることができないことは示されない。請求項中のあらゆる参照符号は、範囲を限定するものと解釈されるべきではない。

Claims (13)

  1. 電子デバイスであって、機能スタック(110;210)と、絶縁接着層 (128;228)によって前記機能スタックに結合されるカバー(50;150;250)とを含み、前記機能スタックは第1の透過性の導電層(122;222)と、第2の導電層(124;224)と、少なくとも1 つの光学的機能層を含みかつ前記第1および第2の導電層の間に挟まれた機能構造(126;226)とを含み、
    前記カバー(50;150;250)は基板(52;152;252)を含み、前記基板には、前記接着層(128;228)と前記基板(152;252)との間の第1の面に配置された少なくとも第1および第2の相互に絶縁された導電構造(66;166;266)が設けられ、前記第1の面(161;261)を横断する第1および第2の横断導電体(132;232)が、前記第1の導電層(122;222)を前記第1の導電構造(66;166;266)に、前記第2の導電層(124;224)を前記第2の導電構造(68;168;268)に電気的に相互接続する電子デバイスにおいて、
    前記第1の導電層(122;222)は、互いに電気的に絶縁されかつ共通の第2の面に配置された第1および第2のセグメント(122a、122b;222a、222b)を有し、
    前記第1の導電層(122;222)の前記第1のセグメント(122a;222a)は前記第1の導電構造(66;166;266)に電気的に接続され、
    前記第2の導電層(124;214)は、前記第2の導電体(134;234)および前記第1の導電層(122;222)の前記第2のセグメント(122b;222b)を介して前記第2の導電構造(68;168;268)に電気的に相互接続される、
    ことを特徴とする電子デバイス
  2. 前記第2の導電層(124)には、内側部分(137a)および前記内側部分と分離したリング形の外側部分(137b)を有する孔(137)が設けられ、前記第1の横断導体(138)は前記内側部分(137a)を通って延在する、請求項1に記載の電子デバイス。
  3. 前記外側部分(137b)に絶縁材料が充填される、請求項に記載の電子デバイス。
  4. 前記機能構造(226)および前記第2の導電層(224)には前記第1の横断導電体(232)に揃えた空間が設けられ、前記機能構造(226)の前記空間は前記第2の導電層(224)の前記空間よりも小さくてその内側に存在する、請求項1に記載の電子デバイス。
  5. 前記第2の導電層(224)と前記接着層(228)との間に薄膜構造(225)をさらに含み、前記薄膜構造(225)はバリア構造を含む、請求項1に記載の電子デバイス。
  6. 前記機能構造(226)および前記第2の導電層(224)には前記第1の横断導電体(232)に揃えた空間が設けられ、前記機能構造(226)の前記空間 は前記第2の導電層(224)の前記空間よりも小さくてその内側に存在し、前記デバイスは前記第2の導電層(224)と前記接着層(228)との間に薄膜 構造(225)をさらに含み、前記薄膜構造(225)は交互になった有機層および無機層を含み、前記薄膜構造(225)は前記機能構造(226)および前 記第2の導電層(224)に形成された前記空間を充たす、請求項1に記載の電子デバイス。
  7. 機能スタック(10)と、絶縁接着層(30)によって前記機能スタックに結合されるリリースライナー(36)とを含む第1の構成要素であって、前記機能ス タック(10)は第1の透過性の導電層(22)と、第2の導電層(24)と、少なくとも1つの光学的機能層を含みかつ前記第1および第2の導電層の間に挟 まれた機能構造(26)とを含み、
    前記第1および前記第2の導電層(22、24)のそれぞれ一方に電気的に接続された少なくとも第1および第2の導電体(32、34)が前記リリースライナーの自由表面に延在する
    前記第1の導電層(122)は、互いに電気的に絶縁されかつ共通の第2の面に配置された第1および第2のセグメント(122a、122b)を有し、
    前記第2の導電層(124;214)は、前記第1の導電層(122;222)の前記第2のセグメント(122b;222b)を介して前記第2の導電構造(68;168;268)に電気的に相互接続される、
    ことを特徴とする電子デバイス
  8. 電子デバイスの製造方法であって、
    a) 互いに電気的に絶縁された、少なくとも1つの第1のセグメント(122a;222a)と第2のセグメント(122b;222b)を有する第1の透過性の導電層(122;222)を提供するステップと、
    b) 1つまたはそれ以上の機能層を含む機能構造(126;226)を提供するステップと、
    c) 前記第1の導電層(122;222)の少なくとも1つのセグメント(122a;122b)と電気接点を形成する第2の導電層(124;224)を提供するステップと、
    d) 電気絶縁接着層(128;228)を提供するステップと、
    e) 前記絶縁接着層(128;228)第1および第2の(138;140;238;240)を形成するステップと、
    f) 前記第1および第2の(138;140;238;240)に導電材料(132;134;232;234)を適用するステップとを含み、前記第1および第2の孔における前記材料は前記第1の導電層(122)前記第1のセグメント(122a)と前記第2のセグメント(122b)の各一方にそれぞれ延在し、前記方法はさらに
    g) 前記接着層中の前記第1および第2の孔の開口において前記導電材料とそれぞれ接触される少なくとも第1および第2の導電構造(66;166;168/68;266;268)が設けられた基板(152;252)を含むカバー(50;150;250)を適用するステップを含む、電子デバイスの製造方法。
  9. ステップe)とステップf)との間に前記絶縁接着層の自由表面にリリースライナーを提供するステップと、ステップg)の前に前記リリースライナーを除去するステップとを付加的に含む、請求項に記載の電子デバイスの製造方法。
  10. 前記機能構造(226)には空間(226o)が設けられ、前記第1の孔は前記空間に揃えて形成される、請求項に記載の製造方法。
  11. 前記第2の導電層(224)には前記機能構造中の前記空間(226o)に揃えた空間(224o)が設けられ、前記機能構造(226)の前記空間 (226o)は前記第2の導電層(224)の前記空間(224o)よりも小さくてその内側に存在する、請求項10に記載の製造方法。
  12. 前記第2の導電層(224)の適用後、前記接着層(228)の適用前に、バリア構造を含む薄膜構造(225)が適用される、請求項10に記載の製造方法。
  13. 前記第2の導電層(224)の適用後、前記接着層(228)の適用前に、バリア構造(225)が適用される、請求項に記載の製造方法。

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