JP5581639B2 - フォトマスク群の検査方法及びフォトマスク群の検査装置 - Google Patents
フォトマスク群の検査方法及びフォトマスク群の検査装置 Download PDFInfo
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Description
本発明の請求項1に係る発明は、複数のフォトマスクを使って描画パターンを形成するためのフォトマスク群の検査方法であって、複数のフォトマスクについてフォトマスク画像を取得するフォトマスク画像取得工程と、フォトマスク画像を重ね合わせ、重ね合わせ画像を取得する画像重ね合わせ工程と、重ね合わせ画像から描画パターンへの影響を検査する検査工程と、を備え、複数のフォトマスクは、第1のフォトマスクと第2のフォトマスクを含み、フォトマスク画像取得手段は、第1の光源と第1のセンサに挟まれた領域に第1のフォトマスクを載置する第1のステージと、第2の光源と第2のセンサに挟まれた領域に第2のフォトマスクを載置する第2のステージと、を備え、第1のステージと第2のステージとは互いに離隔されて平行にオーバーラップして配置されることを特徴とするフォトマスク群の検査方法としたものである。
Claims (1)
- 複数のフォトマスクを使って描画パターンを形成するためのフォトマスク群の検査装置であって、
前記複数のフォトマスクについてフォトマスク画像を取得するフォトマスク画像取得手段と、
前記フォトマスク画像を重ね合わせ、前記重ね合わせ画像を取得する画像重ね合わせ手段と、
前記重ね合わせ画像から描画パターンへの影響を検査する検査手段と、
を備え、
前記複数のフォトマスクは、第1のフォトマスクと第2のフォトマスクを含み、
前記フォトマスク画像取得手段は、第1の光源と第1のセンサに挟まれた領域に前記第1のフォトマスクを載置する第1のステージと、
第2の光源と第2のセンサに挟まれた領域に前記第2のフォトマスクを載置する第2のステージと、
を備え、
前記第1のステージと前記第2のステージとは互いに離隔されて平行にオーバーラップして配置されることを特徴とするフォトマスク群の検査装置。
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