JP5672800B2 - フォトマスクの評価システム及びその方法 - Google Patents
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Description
Mask Optimization)は、レンズの瞳面とウェハプレーン間の最適化である。すなわち、レンズ瞳面の回折光の振幅や位相をウェハプレーンで最大のコントラストが得られるように最適化する。更に、Sourceの最適化であるSO(Source Optimization)も並行して進めるのがSMOである。
本発明の課題は、マスク欠陥のウェハ転写性を効率良く評価し、SMOが適用されているマスクのウェハ上の寸法やDOFを効率良く評価することである。
また、請求項3に係る発明は、請求項1の記載において、前記リソグラフィシミュレーションは、マクスウェルの式を基に三次元マスクから光強度を得るように構築されたリソグラフィシミュレーションであることを特徴とするフォトマスクの評価システムである。
また、請求項5に係る発明は、請求項1の記載において、前記リソグラフィシミュレーションは、エッチングモデルのリソグラフィシミュレーションであることを特徴とするフォトマスクの評価システムである。
(構成)
第1の実施形態は、フォトマスクの評価システムである。
図1は、フォトマスクの評価システム1の構成を示すブロック図である。
図1に示すように、フォトマスクの評価システム1は、走査型電子顕微鏡2及び演算処理部10を有する。例えば、演算処理部10は、写真取得部11、輪郭抽出処理部12、リソグラフィシミュレータ部13、及びウェハCD算出部14を有する。演算処理部10は、外付けの装置であり、例えば、演算処理機能を有するユーザインターフェースとしてのパーソナルコンピュータである。
図2に示すように、先ずステップS1において、マスクの欠陥の座標を取得する。具体的には、不図示のマスクの欠陥検査装置でマスクの欠陥が検出されて、その欠陥の座標が走査型電子顕微鏡2に送られてくる。
続くステップS3において、写真取得部12が、走査型電子顕微鏡2によりマスクパターンの写真を撮る。
続くステップS4において、輪郭抽出処理部13が、前記ステップ3で得た写真を用いて、マスクパターンの輪郭線を抽出する輪郭抽出処理を行う。
続くステップS7において、前記ステップS5で得たウェハCD又はウェハ転写性を基にオペレーターがマスクの修正の可否を判断する。
第1の実施形態では、走査型電子顕微鏡2を用いてマスクを撮像し、撮像して得た写真を基に、マスクのパターンの輪郭を抽出し、抽出したマスクのパターンの輪郭を基にリソグラフィシミュレーションによる演算を行い、演算結果を基に、フォトマスクの欠陥のウェハ転写性を取得している。
なお、第1の実施形態では、抽出手段として輪郭抽出処理部13を用いている。また、取得手段としてウェハCD算出部14を用いている。
(構成)
図3は、第2の実施形態のフォトマスクの評価システム1の構成を示すブロック図である。
図3に示すように、第2の実施形態のフォトマスクの評価システム1は、第1の実施形態と同様に、走査型電子顕微鏡2及び演算処理部10を有する。第2の実施形態では、演算処理部10は、DOF(Depth Of Focus)算出部16を有する。
図4に示すように、先ずステップS11において、SMOが適用されているマスクを走査型電子顕微鏡2にロードする。
続くステップS13において、輪郭抽出処理部13が、前記ステップ12で得た写真を用いて、SMOが適用されているマスクパターンの輪郭線を抽出する輪郭抽出処理を行う。
続くステップS15において、ウェハCD算出部14が、前記ステップS14のリソグラフィシミュレータ部13のシミュレーション結果を基に、ウェハCDの算出を行う。そして、ウェハCD算出部14は、ウェハCDを基に、ウェハ転写性やウェハ上の寸法を算出する。
続くステップS16において、DOF算出部16が、前記ステップS14のリソグラフィシミュレータ部13のシミュレーション結果を基に、DOFを算出する。
第2の実施形態では、走査型電子顕微鏡2を用いてSMOが適用されているマスクを撮像し、撮像して得た写真を基に、マスクのパターンの輪郭を抽出し、抽出したマスクのパターンの輪郭を基にリソグラフィシミュレーションによる演算を行い、演算結果を基に、ウェハ上の寸法やDOFを算出している。
実施形態の変形例として、リソグラフィシミュレーションに、マクスウェルの式を基に三次元マスクから光強度を得るように構築されたリソグラフィシミュレーションを用いることもできる。
また、実施形態の変形例として、リソグラフィシミュレーションに、エッチングモデルのリソグラフィシミュレーションを用いることもできる。
また、実施形態の変形例として、走査型電子顕微鏡2そのものが演算処理部10を有する構成とすることもできる。すなわち、走査型電子顕微鏡2のユーザインターフェース等に演算処理部10の機能をもたせることもできる。
Claims (6)
- 走査型電子顕微鏡によりSMO(Source Mask Optimization)が適用されたフォトマスクを撮像して得た画像を基に、フォトマスクのパターンの輪郭を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段が抽出したフォトマスクのパターンの輪郭を基にリソグラフィシミュレーションによる演算を行うリソグラフィシミュレータ手段と、
前記リソグラフィシミュレータ手段の演算結果を基に算出されたウェハCD(Critical Dimension)から、フォトマスクの欠陥のウェハへの転写の状態を取得する取得手段と、
を備えることを特徴とするフォトマスクの評価システム。 - 前記リソグラフィシミュレーションは、二次元フォトマスクから光強度を得るように構築されたリソグラフィシミュレーションであることを特徴とする請求項1に記載のフォトマスクの評価システム。
- 前記リソグラフィシミュレーションは、マクスウェルの式を基に三次元マスクから光強度を得るように構築されたリソグラフィシミュレーションであることを特徴とする請求項1に記載のフォトマスクの評価システム。
- 前記リソグラフィシミュレーションは、レジストモデルのリソグラフィシミュレーションであることを特徴とする請求項1に記載のフォトマスクの評価システム。
- 前記リソグラフィシミュレーションは、エッチングモデルのリソグラフィシミュレーションであることを特徴とする請求項1に記載のフォトマスクの評価システム。
- 走査型電子顕微鏡によりSMO(Source Mask Optimization)が適用されたフォトマスクを撮像して得た画像を基に、フォトマスクのパターンの輪郭を抽出し、
抽出したフォトマスクのパターンの輪郭を基にリソグラフィシミュレーションによる演算を行い、
演算結果を基に算出されたウェハCD(Critical Dimension)から、フォトマスクの欠陥のウェハへの転写の状態を評価することを特徴とするフォトマスクの評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010152057A JP5672800B2 (ja) | 2010-07-02 | 2010-07-02 | フォトマスクの評価システム及びその方法 |
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JP2012014058A JP2012014058A (ja) | 2012-01-19 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5672800B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017220872B4 (de) | 2017-11-22 | 2022-02-03 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und System zur Qualifizierung einer Maske für die Mikrolithographie |
CN112015045B (zh) * | 2020-08-31 | 2023-11-17 | 东方晶源微电子科技(北京)有限公司 | 一种掩模优化方法及电子设备 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004219587A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 光近接補正パターンを有するフォトマスク用データの作成方法と、光近接補正パターンを有するフォトマスク |
JP4709639B2 (ja) * | 2005-12-12 | 2011-06-22 | 株式会社東芝 | マスクパターン評価方法及び評価装置 |
JP4856047B2 (ja) * | 2007-11-12 | 2012-01-18 | 株式会社東芝 | マスクパターン寸法検査方法およびマスクパターン寸法検査装置 |
JP2009163185A (ja) * | 2008-01-10 | 2009-07-23 | Dainippon Printing Co Ltd | フォトマスクのパターン寸法測定方法およびフォトマスク |
JP2010002772A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Toshiba Corp | パターン検証・検査方法、光学像強度分布取得方法および光学像強度分布取得プログラム |
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JP2012014058A (ja) | 2012-01-19 |
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