JP5576004B1 - OSP処理Cuボール、はんだ継手、フォームはんだ、およびはんだペースト - Google Patents
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Abstract
OSP処理Cuボール11は、Cuボール1と、このCuボール1の表面を被覆するイミダゾール化合物を含有する有機被膜2とを備える。Cuボール1は、純度が99.9%以上99.995%以下であり、Uの含有量が5ppb以下であり、Thの含有量が5ppb以下であり、PbまたはBiの含有量もしくはPbおよびBiの両者を併せた含有量の合計量が1ppm以上であり、真球度が0.95以上であり、α線量が0.0200cph/cm2以下である。
Description
前記Cuボールは、純度が99.9%以上99.995%以下であり、Uの含有量が5ppb以下であり、Thの含有量が5ppb以下であり、PbまたはBiの含有量もしくはPbおよびBiの両者を併せた含有量の合計量が1ppm以上であり、真球度が0.95以上であり、α線量が0.0200cph/cm2以下である
ことを特徴とするOSP処理Cuボール。
まず、本発明を構成するOSP被膜2について詳述する。OSP被膜2は、Cuボール1の表面を酸化から防止し、良好なはんだ付け性を実現するための保護膜として機能する。
本発明に係るOSP処理Cuボール11のα線量は0.0200cph/cm2以下である。これは、電子部品の高密度実装においてソフトエラーが問題にならない程度のα線量である。本発明に係るOSP処理Cuボール11のα線量は、OSP処理Cuボール11を構成するOSP被膜2のα線量が0.0200cph/cm2以下であることにより達成される。したがって、本発明に係るOSP処理Cuボール11は、このようなOSP被膜2で被覆されているために低いα線量を示す。α線量は、更なる高密度実装でのソフトエラーを抑制する観点から、好ましくは0.0020cph/cm2以下であり、より好ましくは0.0010cph/cm2以下である。
本発明に係る図1のTで示すOSP被膜2の膜厚は製造上の観点から5μm以下である。
OSP被膜2には、イミダゾール化合物が含まれている。本実施例において使用するイミダゾール化合物に制限はないが、例えば、下記化1〜8の一般式(I)〜(VIII)で示されるイミダゾール化合物を好適に使用することができる。また、これらのイミダゾール化合物を二種以上組み合わせて使用することも可能である。
イミダゾール、
2−メチルイミダゾール、
2−エチルイミダゾール、
2−プロピルイミダゾール、
2−イソプロピルイミダゾール、
2−ブチルイミダゾール、
2−t−ブチルイミダゾール、
2−ペンチルイミダゾール、
2−ヘキシルイミダゾール、
2−ヘプチルイミダゾール、
2−(1−エチルペンチル)イミダゾール、
2−オクチルイミダゾール、
2−ノニルイミダゾール、
2−デシルイミダゾール、
2−ウンデシルイミダゾール、
2−ドデシルイミダゾール、
2−トリデシルイミダゾール、
2−テトラデシルイミダゾール、
2−ペンタデシルイミダゾール、
2−ヘキサデシルイミダゾール、
2−ヘプタデシルイミダゾール、
2−オクタデシルイミダゾール、
2−ノナデシルイミダゾール、
2−イコサニルイミダゾール、
2−ヘンイコサニルイミダゾール、
2−ドコサニルイミダゾール、
2−トリコサニルイミダゾール、
2−テトラコサニルイミダゾール、
2−ペンタコサニルイミダゾール、
2−(1−メチルペンチル)イミダゾール、
2−(1−エチルペンチル)イミダゾール、
2−(1−ヘプチルデシル)イミダゾール、
2−(5−ヘキセニル)イミダゾール、
2−(9−オクテニル)イミダゾール、
2−(8−ヘプタデセニル)イミダゾール、
2−(4−クロロブチル)イミダゾール、
2−(9−ヒドロキシノニル)イミダゾール、
2−エチル−4−メチルイミダゾール、
2−ウンデシル−4−メチルイミダゾール、
2−ヘプタデシル−4−メチルイミダゾール、
4−メチルイミダゾール、
4−イソプロピルイミダゾール、
4−オクチルイミダゾール、
2,4,5−トリメチルイミダゾール、
4,5−ジメチル−2−オクチルイミダゾール、
2−ウンデシル−4−メチル−5−ブロモイミダゾール、
4,5−ジクロロ−2−エチルイミダゾール等のアルキルイミダゾール化合物が例示される。
ベンズイミダゾール、
2−メチルベンズイミダゾール、
2−エチルベンズイミダゾール、
2−プロピルベンズイミダゾール、
2−イソプロピルベンズイミダゾール、
2−ブチルベンズイミダゾール、
2−t−ブチルベンズイミダゾール、
2−ペンチルベンズイミダゾール、
2−ヘキシルベンズイミダゾール、
2−(1−メチルペンチル)ベンズイミダゾール、
2−ヘプチルベンズイミダゾール、
2−(1−エチルペンチル)ベンズイミダゾール、
2−オクチルベンズイミダゾール、
2−(2,4,4−トリメチルペンチル)ベンズイミダゾール、
2−ノニルベンズイミダゾール、
2−デシルベンズイミダゾール、
2−ウンデシルベンズイミダゾール、
2−ドデシルベンズイミダゾール、
2−トリデシルベンズイミダゾール、
2−テトラデシルベンズイミダゾール、
2−ペンタデシルベンズイミダゾール、
2−ヘキサデシルベンズイミダゾール、
2−ヘプタデシルベンズイミダゾール、
2−(1−ヘプチルデシル)ベンズイミダゾール、
2−オクタデシルベンズイミダゾール、
2−ノナデシルベンズイミダゾール、
2−イコサニルベンズイミダゾール、
2−ヘンイコサニルベンズイミダゾール、
2−ドコサニルベンズイミダゾール、
2−トリコサニルベンズイミダゾール、
2−テトラコサニルベンズイミダゾール、
2−ペンタコサニルベンズイミダゾール、
2−(8−オクチルヘキサデシル)ベンズイミダゾール、
2−(9−オクテニル)ベンズイミダゾール、
2−(8−ヘプタデセニル)ベンズイミダゾール、
2−(4−クロロブチル)ベンズイミダゾール、
2−(9−ヒドロキシノニル)ベンズイミダゾール、
2−ヘキシル−5−メチルベンズイミダゾール、
2−ヘプチル−5,6−ジメチルベンズイミダゾール、
2−オクチル−5−クロロベンズイミダゾール、
2−エチル−5−オクチル−6−ブロモベンズイミダゾール、
2−ペンチル−5,6−ジクロロベンズイミダゾール、
4−フルオロベンズイミダゾール、
2−ペンチル−5−ヨードベンズイミダゾール等のアルキルベンズイミダゾール化合物が例示される。
2,4−ジフェニルイミダゾール、
2−(2−メチルフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(3−オクチルフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2,4−ジメチルフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−フェニル−4−(4−ヘキシルフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2−メチル−5−ブチルフェニル)イミダゾール、
2,4−ジフェニル−5−メチルイミダゾール、
2,4−ジフェニル−5−ヘキシルイミダゾール、
2−(2,4−ジエチル)−4−(3−プロピル−5−オクチル)−5−イソブチルイミダゾール、
2−(2−クロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(3−クロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(4−クロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2−ブロモフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(3−ブロモフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(4−ブロモフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2−ヨードフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(3−ヨードフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(4−ヨードフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2−フルオロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(3−フルオロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(4−フルオロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2,3−ジクロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2,4−ジクロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2,5−ジクロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2,6−ジクロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(3,4−ジクロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(3,5−ジクロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2,4−ジブロモフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2−メチル−4−クロロフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(3−ブロモ−5−オクチルフェニル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2−クロロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(3−クロロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(4−クロロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(2−ブロモフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(3−ブロモフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(4−ブロモフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(2−ヨードフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(3−ヨードフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(4−ヨードフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(2−フルオロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(3−フルオロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(4−フルオロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(2,3−ジクロロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(2,4−ジクロロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(2,5−ジクロロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(2,6−ジクロロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(3,4−ジクロロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(3,5−ジクロロフェニル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(2,4−ジクロロフェニル)−4−フェニル−5−エチルイミダゾール、
2−(2,3−ジクロロフェニル)−4−フェニル−5−デシルイミダゾール、
2−(3,4−ジクロロフェニル)−4−フェニル−5−ヘプタデシルイミダゾール、
2−(2,4−ジブロモフェニル)−4−フェニル−5−イソプロピルイミダゾール、
2−(2−ヘプチル−4−クロロフェニル)−4−フェニル−5−イソブチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−クロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(3−クロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(4−クロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ブロモフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(3−ブロモフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(4−ブロモフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ヨードフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(3−ヨードフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(4−ヨードフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2−フルオロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(3−フルオロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(4−フルオロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2,3−ジクロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2,4−ジクロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2,5−ジクロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2,6−ジクロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(3,4−ジクロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(3,5−ジクロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2,3−ジブロモフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2−プロピル−3−クロロフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(3−ブロモ−4−ヘプチルフェニル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2−クロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(3−クロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(4−クロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ブロモフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(3−ブロモフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(4−ブロモフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ヨードフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(3−ヨードフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(4−ヨードフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−フルオロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(3−フルオロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(4−フルオロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2,3−ジクロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2,4−ジクロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2,5−ジクロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2,6−ジクロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(3,4−ジクロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(3,5−ジクロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2,3−ジクロロフェニル)−5−プロピルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2,4−ジクロロフェニル)−5−ウンデシルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2,4−ジブロモフェニル)−5−(1−メチルブチル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ヘキシル−4−ヨードフェニル)−5−プロピルイミダゾール、
2,4−ビス(4−クロロフェニル)イミダゾール、
2−(2,4−ジクロロフェニル)−4−(3,4−ジクロロフェニル)−5−メチルイミダゾール、
2−(2−ブロモ−4−オクチルフェニル)−4−(2−メチル−4−ヨードフェニル)−5−オクチルイミダゾール、
2,4−ジフェニル−5−フルオロイミダゾール、
2,4−ジフェニル−5−クロロイミダゾール、
2,4−ジフェニル−5−ブロモイミダゾール、
2,4−ジフェニル−5−ヨードイミダゾール、
2−(4−メチルフェニル)−4−フェニル−5−クロロイミダゾール、
2−(4−クロロフェニル)−4−フェニル−5−ブロモイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−クロロフェニル)−5−ヨードイミダゾール等が例示される。
2−フェニル−4−(1−ナフチル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ナフチル)イミダゾール、
2−(4−メチルフェニル)−4−(4−クロロ−6−ブチル−1−ナフチル)イミダゾール、
2−(2−オクチル−4−エチルフェニル)−4−(5−クロロ−7−ヘプチル−1−ナフチル)イミダゾール、
2−(2,4−ジクロロフェニル)−4−(2−イソブチル−6−ブロモ−2−ナフチル)イミダゾール、
2−フェニル−4−(1−ナフチル)−5−メチルイミダゾール、
2−(4−ヨードフェニル)−4−(5,6−ジメチル−1−ナフチル)−5−デシルイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ナフチル)−5−メチルイミダゾール、
2−(2,3−ジフルオロフェニル)−4−(7−オクチル−2−ナフチル)−5−ヘプタデシルイミダゾール、
2−フェニル−4−(1−ナフチル)−5−フルオロイミダゾール、
2−フェニル−4−(1−ナフチル)−5−クロロイミダゾール、
2−フェニル−4−(1−ナフチル)−5−ブロモイミダゾール、
2−フェニル−4−(1−ナフチル)−5−ヨードイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ナフチル)−5−フルオロイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ナフチル)−5−クロロイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ナフチル)−5−ブロモイミダゾール、
2−フェニル−4−(2−ナフチル)−5−ヨードイミダゾール、
2−(4−メチルフェニル)−4−(5−クロロ−1−ナフチル)−5−クロロイミダゾール等が例示される。
2−(1−ナフチル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2−ナフチル)−4−フェニルイミダゾール、
2−(2−メチル−5−クロロ−1−ナフチル)−4−(4−ヘキシルフェニル)イミダゾール、
2−(2−イソブチル−5−ヨード−2−ナフチル)−4−(2−ペンチル−5−フルオロフェニル)イミダゾール、
2−(1−ナフチル)−4−フェニル−5−メチルイミダゾール、
2−(3,6−ジクロロ−2−ナフチル)−4−(2−イソプロピル−5−フルオロフェニル−5−デシルイミダゾール、
2−(6−プロピル−7−ヨード−1−ナフチル)−4−(3−ヘキシル−6−ブロモフェニル)−5−ヘプタデシルイミダゾール、
2−(1−ナフチル)−4−フェニル−5−フルオロイミダゾール、
2−(1−ナフチル)−4−フェニル−5−クロロイミダゾール、
2−(1−ナフチル)−4−フェニル−5−ブロモイミダゾール、
2−(1−ナフチル)−4−フェニル−5−ヨードイミダゾール、
2−(2−ナフチル)−4−フェニル−5−フルオロイミダゾール、
2−(2−ナフチル)−4−フェニル−5−クロロイミダゾール、
2−(2−ナフチル)−4−フェニル−5−ブロモイミダゾール、
2−(2−ナフチル)−4−フェニル−5−ヨードイミダゾール、
2−(4−クロロ−2−ナフチル)−4−(2−ヘキシルフェニル)−5−クロロイミダゾール等が例示される。
2−フェニルベンズイミダゾール、
2−(4−メチルフェニル)ベンズイミダゾール、
2−(2,4−ジクロロフェニル)ベンズイミダゾール、
2−(2−ヘキシルフェニル)−5−クロロベンズイミダゾール、
2−(フェニルメチル)ベンズイミダゾール、
2−(4−エチルフェニルメチル)ベンズイミダゾール、
2−(4−クロロフェニルメチル)ベンズイミダゾール、
2−(2,4−ジクロロフェニルメチル)ベンズイミダゾール、
2−(3,4−ジクロロフェニルメチル)ベンズイミダゾール、
2−(4−ブロモフェニルメチル)−5−エチルベンズイミダゾール、
2−(3−ヨードフェニルメチル)−4−クロロベンズイミダゾール、
2−(2−フェニルエチル)ベンズイミダゾール、
2−[2−(3−イソプロピルフェニル)エチル]ベンズイミダゾール、
2−[2−(4−クロロフェニル)エチル]ベンズイミダゾール、
2−[2−(4−クロロフェニル)エチル]−4,5−ジメチルベンズイミダゾール、
2−(3−フェニルプロピル)ベンズイミダゾール、
2−[3−(4−t−ブチルフェニル)プロピル]ベンズイミダゾール、
2−[3−(2−クロロフェニル)プロピル]ベンズイミダゾール、
2−[3−(4−ブロモフェニル)プロピル]−5−ブチルベンズイミダゾール、
2−(4−フェニルブチル)ベンズイミダゾール、
2−[4−(4−クロロフェニル)ブチル]ベンズイミダゾール、
2−[4−(2、4−ジクロロフェニル)ブチル]−4,7−ジクロロベンズイミダゾール、
2−(5−フェニルペンチル)ベンズイミダゾール、
2−[5−(2−オクチルフェニル)ペンチル]ベンズイミダゾール、
2−[5−(3,4−ジクロロフェニル)ペンチル]−5−ヘプチルベンズイミダゾール、
2−(6−フェニルヘキシル)ベンズイミダゾール、
2−[6−(3−ヘキシルフェニル)ヘキシル]ベンズイミダゾール、
2−[6−(2−エチル−3−フルオロフェニル)ヘキシル]4−ブチル−5−オクチルベンズイミダゾール等が例示される。
2−(1−ナフチル)ベンズイミダゾール、
2−(1−ナフチル)−4−メチルベンズイミダゾール、
2−(2−ナフチル)ベンズイミダゾール、
2−(1−クロロ−2−ナフチル)−5,6−ジクロロベンズイミダゾール、
2−(1−ナフチルメチル)ベンズイミダゾール、
2−(4,6−ジメチル−1−ナフチルメチル)−5−エチルベンズイミダゾール、
2−(7−ブロモ1−ナフチルメチル)−5−ブロモベンズイミダゾール、
2−(2−ナフチルメチル)ベンズイミダゾール、
2−(4−イソプロピル−2−ナフチルメチル)−5−t−ブチルベンズイミダゾール、
2−[2−(1−ナフチル)エチル]ベンズイミダゾール、
2−[2−(5−ペンチル−1−ナフチル)エチル]−5−クロロベンズイミダゾール、
2−[2−(2−ナフチル)エチル]ベンズイミダゾール、
2−[2−(6−ヘプチル−2−ナフチル)エチル]−4−メチル−5−ヘキシルベンズイミダゾール、
2−[3−(1−ナフチル)プロピル]ベンズイミダゾール、
2−[3−(4−ヨード−1−ナフチル)プロピル]−5,6−ジブロモベンズイミダゾール、
2−[3−(2−ナフチル)プロピル]ベンズイミダゾール、
2−[3−(8−イソプロピル−2−ナフチル)プロピル]−5−(2−メチルペンチル)ベンズイミダゾール、
2−[4−(1−ナフチル)ブチル]ベンズイミダゾール、
2−[4−(5−フルオロ−1−ナフチル)ブチル]−4−(2−プロピルブチル)ベンズイミダゾール、
2−[4−(2−ナフチル)ブチル]ベンズイミダゾール、
2−[4−(7−オクチル−2−ナフチル)ブチル]−4,6−ジエチルベンズイミダゾール、
2−[5−(1−ナフチル)ペンチル]ベンズイミダゾール、
2−[5−(6−ペンチル−7−フルオロ−1−ナフチル)ペンチル]−4,7−ジプロピルベンズイミダゾール、
2−[5−(2−ナフチル)ペンチル]ベンズイミダゾール、
2−[5−(6,7−ジメチル−2−ナフチル)ペンチル]−5,6−ジクロロベンズイミダゾール、
2−[6−(6,7−ジエチル−1−ナフチル)ヘキシル]−5−オクチルベンズイミダゾール、
2−[6−(2−ナフチル)ヘキシル]ベンズイミダゾール、
2−[6−(7−エチル−8−ブロモ−2−ナフチル)ヘキシル]−4−ヘキシル−6−フルオロベンズイミダゾール等が例示される。
2−シクロヘキシルベンズイミダゾール、
2−シクロヘキシル−5,6−ジメチルベンズイミダゾール、
2−シクロヘキシル−5−クロロベンズイミダゾール、
2−シクロヘキシル−4−イソプロピルベンズイミダゾール
2−(シクロヘキシルメチル)ベンズイミダゾール、
2−(シクロヘキシルメチル)−5−エチルベンズイミダゾール、
2−(シクロヘキシルメチル)−5−ブロモベンズイミダゾール、
2−(2−シクロヘキシルエチル)ベンズイミダゾール、
2−(2−シクロヘキシルエチル)−5−クロロ−6−メチルベンズイミダゾール、
2−(3−シクロヘキシルプロピル)ベンズイミダゾール、
2−(3−シクロヘキシルプロピル)−5−ブチルベンズイミダゾール、
2−(3−シクロヘキシルプロピル)−4,7−ジメチルベンズイミダゾール、
2−(4−シクロヘキシルブチル)ベンズイミダゾール、
2−(4−シクロヘキシルブチル)−5−ヨードベンズイミダゾール、
2−(4−シクロヘキシルブチル)−4−クロロ−5−エチルベンズイミダゾール、
2−(4−シクロヘキシルブチル)−5−オクチルベンズイミダゾール、
2−(5−シクロヘキシルペンチル)ベンズイミダゾール、
2−(5−シクロヘキシルペンチル)−5−ヘキシルベンズイミダゾール、
2−(5−シクロヘキシルペンチル)−5,6−ジブロモベンズイミダゾール、
2−(6−シクロヘキシルヘキシル)ベンズイミダゾール、
2−(6−シクロヘキシルヘキシル)−5−ヘプチルベンズイミダゾール、
2−(6−シクロヘキシルヘキシル)−4−クロロ−5−(2−プロピルブチル)ベンズイミダゾール等が例示される。
次に、本発明を構成するCuボール1について詳述する。
UおよびThは放射性同位元素であり、ソフトエラーを抑制するにはこれらの含有量を抑える必要がある。UおよびThの含有量は、Cuボール1のα線量を0.0200cph/cm2以下とするため、各々5ppb以下にする必要がある。また、現在または将来の高密度実装でのソフトエラーを抑制する観点から、UおよびThの含有量は、好ましくは、各々2ppb以下である。
本発明を構成するCuボール1は、純度が99.9%以上99.995%以下であることが好ましい。Cuボール1の純度がこの範囲であると、Cuボール1の真球度が高まるための十分な量の結晶核を溶融Cu中に確保することができる。真球度が高まる理由は以下のように詳述される。
本発明を構成するCuボール1のα線量は、好ましくは0.0200cph/cm2以下である。これは、電子部品の高密度実装においてソフトエラーが問題にならない程度のα線量である。本発明では、Cuボール1を製造するために通常行っている工程に加え再度加熱処理を施している。このため、Cuの原材料にわずかに残存する210Poが揮発し、Cuの原材料と比較してCuボール1の方がより一層低いα線量を示す。α線量は、更なる高密度実装でのソフトエラーを抑制する観点から、好ましくは0.0020cph/cm2以下であり、より好ましくは0.0010cph/cm2以下である。
本発明を構成するCuボール1は、不純物元素としてSn、Sb、Bi、Zn、As、Ag、Cd、Ni、Pb、Au、P、S、U、Thなどを含有するが、特にPbまたはBiの含有量もしくはPbおよびBiの両者を併せた含有量が合計で1ppm以上含有することが好ましい。本発明では、はんだ継手の形成時にCuボール1が露出した場合であっても、α線量を低減する上でCuボール1のPbまたはBiの含有量もしくはPbおよびBiの両者を併せた含有量の含有量を極限まで低減する必要がない。これは以下の理由による。
本発明を構成するCuボール1は、スタンドオフ高さを制御する観点から真球度が0.95以上である。Cuボール1の真球度が0.95未満であると、Cuボール1が不定形状になるため、バンプ形成時に高さが不均一なバンプが形成され、接合不良が発生する可能性が高まる。さらにOSP処理Cuボール11を電極に搭載してリフローを行う際、OSP処理Cuボール11が位置ずれを起こしてしまい、セルフアライメント性も悪化する。真球度は、より好ましくは0.990以上である。本発明において、真球度とは真球からのずれを表す。真球度は、例えば、最小二乗中心法(LSC法)、最小領域中心法(MZC法)、最大内接中心法(MIC法)、最小外接中心法(MCC法)など種々の方法で求められる。詳しくは、真球度とは、500個の各Cuボールまたは各Cu核ボールの直径を長径で割った際に算出される算術平均値であり、値が上限である1.00に近いほど真球に近いことを表す。本発明での長径の長さ、および直径の長さとは、ミツトヨ社製のウルトラクイックビジョン、ULTRA QV350−PRO測定装置によって測定された長さをいう。
本発明を構成するCuボール1の直径は1〜1000μmであることが好ましい。この範囲にあると、球状のCuボール1を安定して製造でき、また、端子間が狭ピッチである場合の接続短絡を抑制することができる。
真球度が高いCuボールの作製条件を調査した。純度が99.9%のCuペレット、純度が99.995%以下のCuワイヤー、および純度が99.995%を超えるCu板を準備した。各々をるつぼの中に投入した後、るつぼの温度を1200℃に昇温し、45分間加熱処理を行い、るつぼ底部に設けたオリフィスから溶融Cuを滴下し、生成した液滴を冷却してCuボールに造粒した。これにより平均粒径が250μmのCuボールを作製した。作製したCuボールの元素分析結果および真球度を表1に示す。元素分析は、UおよびThについては誘導結合プラズマ質量分析(ICP−MS分析)、その他の元素については誘導結合プラズマ発光分光分析(ICP−AES分析)により行った。以下に、真球度の測定方法を詳述する。
真球度はCNC画像測定システムで測定された。装置は、ミツトヨ社製のウルトラクイックビジョン、ULTRA QV350−PROである。
α線量の測定にはガスフロー比例計数器のα線測定装置を用いた。測定サンプルは300mm×300mmの平面浅底容器にCuボールを敷き詰めたものである。この測定サンプルをα線測定装置内に入れ、PR−10ガスフローにて24時間放置した後、α線量を測定した。
次に、純度99.9%のCuペレットで製造したCuボール表面にOSP被膜を形成してOSP処理Cuボールを作製した。以下に、OSP処理Cuボールの作製方法について詳細に説明する。まず、100ccのガラス瓶に水溶性プリフラックスとして70ccのタフエースF2(四国化成工業株式会社製)を入れ、40℃に加温した。続けて、ガラス瓶に直径250μmのCuボールを1g加えて、速やかに蓋をした後、10分間、ガラス瓶を撹拌した。その後、吸引濾過により分離したCuボールをイオン交換水にて洗浄し、その後、Cuボールを100℃で1分間、温風乾燥した。これにより、直径250μmのCuボール表面にOSP被膜が均一に被覆されたOSP処理Cuボールが得られた。
実施例1−2では、表1に示した純度が99.995%以下のCuワイヤーを用いたCuボールを用いて、実施例1−1と同様の方法により表面処理を行い、Cuボール表面にOSP被膜が形成されたOSP処理Cuボールを作製し、実施例1−1と同様の評価を行った。作製したOSP処理Cuボールについて、実施例1−1と同様に、α線量、真球度を測定した。測定結果を表2に示す。
また、実施例1−1で作成したOSP処理Cuボールのα線量は、作成後1年を経過してもα線の上昇は見られなかった。
本実施例では、異なる保管条件で保管した複数のOSP処理Cuボールのそれぞれを電極に実装してリフローした際に、OSP処理Cuボールが電極に対してどの程度位置ずれしているかを測定した。OSP処理Cuボールの電極に対する位置ずれは、円心間距離測定により行った。円心間距離測定とは、OSP処理Cuボールの円周を3点プロットすると共に電極の円周を3点プロットし、OSP処理Cuボールの3点のプロットの中心点と電極の3点のプロットの中心点との間の距離(円心間距離)を測定するものである。なお、プロット数は3点に限定されるものではない。円心間距離の測定には、KEYENCE製VH−S30を用いた。
実施例2−1では、前述のように作製されたOSP処理Cuボールをシャーレの中に入れた後、脱酸素剤を入れた酸素透過度の低い袋に密封し、室温(20℃、湿度50%)にて保管した。実施例2−2では、前述のように作製されたOSP処理Cuボールをシャーレの中に入れた後、シャーレごと恒温槽に入れ、200℃で10分間加熱して、OSP処理Cuボールを意図的に酸化しやすくした。実施例2−3では、前述のように作製されたOSP処理Cuボールをシャーレの中に入れた後、シャーレごと温度40℃、湿度90%の恒温槽に入れた状態で2週間保管した。
2 OSP被膜
11 OSP処理Cuボール
Claims (10)
- Cuボールと、当該Cuボールの表面を被覆するイミダゾール化合物を含有する有機被膜とを備えるOSP処理Cuボールであって、
前記Cuボールは、純度が99.9%以上99.995%以下であり、Uの含有量が5ppb以下であり、Thの含有量が5ppb以下であり、PbまたはBiの含有量もしくはPbおよびBiの両者を併せた含有量の合計量が1ppm以上であり、真球度が0.95以上であり、α線量が0.0200cph/cm2以下である
ことを特徴とするOSP処理Cuボール。 - α線量が0.0200cph/cm2以下である、請求項1に記載のOSP処理Cuボール。
- α線量が0.0020cph/cm2以下である、請求項1に記載のOSP処理Cuボール。
- α線量が0.0010cph/cm2以下である、請求項1に記載のOSP処理Cuボール。
- 直径が1〜1000μmである、請求項1〜4のいずれか1項に記載のOSP処理Cuボール。
- 前記Cuボールは、前記有機被膜で被覆される前に予めNiおよびCoから選択される1元素以上からなる層で被覆されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載のOSP処理Cuボール。
- 前記OSP処理Cuボールの真球度が0.95以上である、請求項1〜6のいずれか1項に記載のOSP処理Cuボール。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載のOSP処理Cuボールを使用したはんだ継手。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載のOSP処理Cuボールを使用したフォームはんだ。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載のOSP処理Cuボールを使用したはんだペースト。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3193360A4 (en) * | 2014-09-09 | 2018-04-04 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Cu COLUMN, Cu NUCLEAR COLUMN, SOLDER JOINT, AND THROUGH-SILICON VIA |
KR20210049959A (ko) * | 2017-12-06 | 2021-05-06 | 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 | Cu 볼, OSP 처리 Cu 볼, Cu 핵 볼, 납땜 조인트, 땜납 페이스트, 폼 땜납, 및 Cu 볼의 제조 방법 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018206826A (ja) * | 2017-05-31 | 2018-12-27 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 接合材、接合体および接合方法 |
CN115043779A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-09-13 | 广东金柏化学有限公司 | 一种2,4-二苯基咪唑化合物及其制备方法与应用 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001244286A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Fujitsu Ltd | 球状電極、半導体デバイスの突起電極および実装基板の形成方法 |
JP2005002428A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Hitachi Metals Ltd | 金属微小球 |
JP2005036301A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-02-10 | Allied Material Corp | 微小金属球及びその製造方法 |
JP2007115857A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Nippon Steel Chem Co Ltd | マイクロボール |
JP2011029395A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Hitachi Metals Ltd | 電子部品用複合ボールの製造方法 |
WO2012120982A1 (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-13 | Jx日鉱日石金属株式会社 | α線量が少ない銅又は銅合金及び銅又は銅合金を原料とするボンディングワイヤ |
Family Cites Families (4)
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---|---|---|---|---|
EP1900853B1 (en) * | 2005-07-01 | 2018-05-09 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | Process for producing high-purity tin |
JP5088981B1 (ja) * | 2011-12-21 | 2012-12-05 | 田中電子工業株式会社 | Pd被覆銅ボールボンディングワイヤ |
KR102016864B1 (ko) * | 2012-12-06 | 2019-08-30 | 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 | Cu 볼 |
WO2014203348A1 (ja) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | 千住金属工業株式会社 | Cu核ボール |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001244286A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Fujitsu Ltd | 球状電極、半導体デバイスの突起電極および実装基板の形成方法 |
JP2005002428A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Hitachi Metals Ltd | 金属微小球 |
JP2005036301A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-02-10 | Allied Material Corp | 微小金属球及びその製造方法 |
JP2007115857A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Nippon Steel Chem Co Ltd | マイクロボール |
JP2011029395A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Hitachi Metals Ltd | 電子部品用複合ボールの製造方法 |
WO2012120982A1 (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-13 | Jx日鉱日石金属株式会社 | α線量が少ない銅又は銅合金及び銅又は銅合金を原料とするボンディングワイヤ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3193360A4 (en) * | 2014-09-09 | 2018-04-04 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Cu COLUMN, Cu NUCLEAR COLUMN, SOLDER JOINT, AND THROUGH-SILICON VIA |
US10811376B2 (en) | 2014-09-09 | 2020-10-20 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Cu column, Cu core column, solder joint, and through-silicon via |
KR20210049959A (ko) * | 2017-12-06 | 2021-05-06 | 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 | Cu 볼, OSP 처리 Cu 볼, Cu 핵 볼, 납땜 조인트, 땜납 페이스트, 폼 땜납, 및 Cu 볼의 제조 방법 |
US11185950B2 (en) | 2017-12-06 | 2021-11-30 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Cu ball, Osp-treated Cu ball, Cu core ball, solder joint, solder paste, formed solder, and method for manufacturing Cu ball |
KR102649199B1 (ko) * | 2017-12-06 | 2024-03-20 | 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 | Cu 볼, OSP 처리 Cu 볼, Cu 핵 볼, 납땜 조인트, 땜납 페이스트, 폼 땜납, 및 Cu 볼의 제조 방법 |
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