JP5575467B2 - 伝送線路パルス試験システムの較正方法 - Google Patents
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Description
伝送線路パルス試験システムは、
被試験素子を分析するための所定のパルスを生成する伝送線路パルス発生器と、
所定のパルスを被試験素子に印加するプローブ針と、
プローブ針を伝送線路パルス発生器に接続する、公称で伝送線路パルス発生器とインピーダンス整合のとれた伝送線路と、
伝送線路と伝送線路パルス発生器との間に接続され、パルスの結果として生じた被試験素子の電圧及び電流の波形を同時に取得することにより、被試験素子の過渡的な挙動を検出する計測器と、
を有する。
a)伝送線路パルス試験システムを開路に適用し、計測器により第1の電圧及び電流の波形を取得するステップと、
b)伝送線路パルス試験システムを、既知の有限インピーダンスと既知の過渡応答を有する較正要素に適用し、計測器により第2の電圧及び電流の波形を取得するステップと、
c)取得した第1及び第2の電圧及び電流の波形を周波数領域に変換するステップと、
d)変換された第1及び第2の電圧及び電流の波形に基づいて、伝送線路パルス試験システムの過渡的な挙動についての較正データを決定するステップと、
を含み、
較正データは、プローブ針の寄生インピーダンスと、特性インピーダンスと、伝送損失と、伝送線路の減衰とを含む。
Claims (6)
- 伝送線路パルス試験システムの過渡的な挙動を較正するための較正方法であって、
前記伝送線路パルス試験システムは、
被試験素子を分析するための所定のパルスを生成する伝送線路パルス発生器と、
前記所定のパルスを前記被試験素子に印加するプローブ針と、
前記プローブ針を前記伝送線路パルス発生器に接続する、公称で前記伝送線路パルス発生器とインピーダンス整合のとれた伝送線路と、
前記伝送線路と前記伝送線路パルス発生器との間に接続され、前記パルスの結果として生じた前記被試験素子の電圧及び電流の波形を同時に取得することにより、前記被試験素子の過渡的な挙動を検出する計測器と、
を有し、
前記較正方法は、
a)前記伝送線路パルス試験システムを開路に適用し、前記計測器により第1の電圧及び電流の波形を取得するステップと、
b)前記伝送線路パルス試験システムを既知の有限インピーダンスと既知の過渡応答を含む較正要素に適用し、前記計測器により第2の電圧及び電流の波形を取得するステップ
と、
c)取得した第1及び第2の電圧及び電流の波形を周波数領域に変換するステップと、
d)前記変換された第1及び第2の電圧及び電流の波形に基づいて、前記伝送線路パルス試験システムの過渡的な挙動についての較正データを決定するステップと、
を含み、
前記較正データは、前記プローブ針の寄生インピーダンスと、特性インピーダンスと、伝送損失と、前記伝送線路の減衰とを含む、較正方法。 - 前記較正データは、前記第1及び第2の電流波形の両方から決定される伝達関数により形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記ステップb)の前記較正要素は短絡である、請求項1又は請求項2に記載の方法。
- 前記プローブ針は伝送線路に接続するプローブ針の対を複数含み、前記ステップa)からd)はプローブ針の各対について実行される、請求項1から請求項3のいずれかの請求項に記載の方法。
- 伝送線路パルス試験システムを用いて、被試験素子のESDロバスト性を分析する方法であって、
前記伝送線路パルス試験システムは、
前記被試験素子を分析するための所定のパルスを生成する伝送線路パルス発生器と、
前記所定のパルスを前記被試験素子に印加するプローブ針と、
前記プローブ針を前記伝送線路パルス発生器に接続する、公称で前記伝送線路パルス発生器とインピーダンス整合のとれた伝送線路と、
前記伝送線路と前記伝送線路パルス発生器との間に接続され、前記パルスの結果として生じた前記被試験素子の電圧及び電流の波形を同時に取得することにより、前記被試験素子の過渡的な挙動を検出する計測器と、
を有し、
前記分析方法は、
e)前記伝送線路パルス試験システムを用いて前記所定のパルスを前記被試験素子に印加するステップと、
f)前記計測器を用いて、前記パルスの結果として前記被試験素子に発生する電圧及び電流の波形を同時に取得するステップと、
g)請求項1から請求項4のいずれかに記載の較正方法により得られた較正データを使用して、前記ステップf)で取得した電圧及び電流の波形を補正するステップと、
を含む、分析方法。 - 前記ステップg)は、
h)前記ステップf)で取得された前記電圧及び電流の波形を周波数領域に変換するステップと、
i)請求項2の伝達関数を前記変換された電圧及び電流の波形に適用し、補正された電圧及び電流の波形を取得するステップと、
j)前記補正された電圧及び電流の波形を時間領域に変換するステップと、
を含む、請求項5に記載の方法。
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