JP2010151818A - 伝送線路パルス試験システムの較正方法 - Google Patents
伝送線路パルス試験システムの較正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010151818A JP2010151818A JP2009291080A JP2009291080A JP2010151818A JP 2010151818 A JP2010151818 A JP 2010151818A JP 2009291080 A JP2009291080 A JP 2009291080A JP 2009291080 A JP2009291080 A JP 2009291080A JP 2010151818 A JP2010151818 A JP 2010151818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transmission line
- voltage
- current waveforms
- test system
- pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims abstract description 66
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 claims description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims 2
- GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methoxyethoxy)benzohydrazide Chemical compound COCCOC1=CC=CC(C(=O)NN)=C1 GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 17
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 2
- 241000270295 Serpentes Species 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
- G01R35/005—Calibrating; Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden" references
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/001—Measuring interference from external sources to, or emission from, the device under test, e.g. EMC, EMI, EMP or ESD testing
- G01R31/002—Measuring interference from external sources to, or emission from, the device under test, e.g. EMC, EMI, EMP or ESD testing where the device under test is an electronic circuit
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
- G01R31/58—Testing of lines, cables or conductors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】TLP試験システムの過渡的な挙動を較正するための較正方法。TLP試験システムは、TLP発生器と、プローブ針と、公称でインピーダンス整合のとれた伝送線路と、伝送線路とTLP発生器との間に接続され、生成されたパルスの結果としての電圧及び電流の波形を同時に取得することにより、被試験素子の過渡的な挙動を検出する計測器と、を有する。較正方法は、(a)TLP試験システムを開路に適用し、第1の電圧及び電流の波形を取得するステップと、(b)TLP試験システムを既知の有限インピーダンスと既知の過渡応答を含む較正要素に適用し、第2の電圧及び電流の波形を取得するステップと、(c)取得した第1及び第2の電圧及び電流の波形を周波数領域に変換するステップと、(d)変換された第1及び第2の電圧及び電流の波形に基づいて、TLP試験システムの過渡的な挙動についての較正データを決定するステップと、を含む。
【選択図】図1
Description
伝送線路パルス試験システムは、
被試験素子を分析するための所定のパルスを生成する伝送線路パルス発生器と、
所定のパルスを被試験素子に印加するプローブ針と、
プローブ針を伝送線路パルス発生器に接続する、公称で伝送線路パルス発生器とインピーダンス整合のとれた伝送線路と、
伝送線路と伝送線路パルス発生器との間に接続され、パルスの結果として生じた被試験素子の電圧及び電流の波形を同時に取得することにより、被試験素子の過渡的な挙動を検出する計測器と、
を有する。
a)伝送線路パルス試験システムを開路に適用し、計測器により第1の電圧及び電流の波形を取得するステップと、
b)伝送線路パルス試験システムを、既知の有限インピーダンスと既知の過渡応答を有する較正要素に適用し、計測器により第2の電圧及び電流の波形を取得するステップと、
c)取得した第1及び第2の電圧及び電流の波形を周波数領域に変換するステップと、
d)変換された第1及び第2の電圧及び電流の波形に基づいて、伝送線路パルス試験システムの過渡的な挙動についての較正データを決定するステップと、
を含む。
Claims (7)
- 伝送線路パルス試験システムの過渡的な挙動を較正するための較正方法であって、
前記伝送線路パルス試験システムは、
被試験素子を分析するための所定のパルスを生成する伝送線路パルス発生器と、
前記所定のパルスを前記被試験素子に印加するプローブ針と、
前記プローブ針を前記伝送線路パルス発生器に接続する、公称で前記伝送線路パルス発生器とインピーダンス整合のとれた伝送線路と、
前記伝送線路と前記伝送線路パルス発生器との間に接続され、前記パルスの結果として生じた前記被試験素子の電圧及び電流の波形を同時に取得することにより、前記被試験素子の過渡的な挙動を検出する計測器と、
を有し、
前記較正方法は、
a)前記伝送線路パルス試験システムを開路に適用し、前記計測器により第1の電圧及び電流の波形を取得するステップと、
b)前記伝送線路パルス試験システムを既知の有限インピーダンスと既知の過渡応答を含む較正要素に適用し、前記計測器により第2の電圧及び電流の波形を取得するステップと、
c)取得した第1及び第2の電圧及び電流の波形を周波数領域に変換するステップと、
d)前記変換された第1及び第2の電圧及び電流の波形に基づいて、前記伝送線路パルス試験システムの過渡的な挙動についての較正データを決定するステップと、
を含む、較正方法。 - 前記較正データは、前記第1及び第2の電流波形の両方から決定される伝達関数により形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記較正データは、前記プローブ針の寄生インピーダンスと、特性インピーダンスと、伝送損失と、前記伝送線路の減衰とを含む、請求項1又は請求項2に記載の方法。
- 前記ステップb)の前記較正要素は短絡である、請求項1から請求項3のいずれかの請求項に記載の方法。
- 前記プローブ針は伝送線路に接続するプローブ針の対を複数含み、前記ステップa)からd)はプローブ針の各対について実行される、請求項1から請求項4のいずれかの請求項に記載の方法。
- 伝送線路パルス試験システムを用いて、被試験素子のESDロバスト性を分析する方法であって、
前記伝送線路パルス試験システムは、
前記被試験素子を分析するための所定のパルスを生成する伝送線路パルス発生器と、
前記所定のパルスを前記被試験素子に印加するプローブ針と、
前記プローブ針を前記伝送線路パルス発生器に接続する、公称で前記伝送線路パルス発生器とインピーダンス整合のとれた伝送線路と、
前記伝送線路と前記伝送線路パルス発生器との間に接続され、前記パルスの結果として生じた前記被試験素子の電圧及び電流の波形を同時に取得することにより、前記被試験素子の過渡的な挙動を検出する計測器と、
を有し、
前記分析方法は、
e)前記伝送線路パルス試験システムを用いて前記所定のパルスを前記被試験素子に印加するステップと、
f)前記計測器を用いて、前記パルスの結果として前記被試験素子に発生する電圧及び電流の波形を同時に取得するステップと、
g)請求項1から請求項5のいずれかに記載の較正方法により得られた較正データを使用して、前記ステップf)で取得した電圧及び電流の波形を補正するステップと、
を含む、分析方法。 - 前記ステップg)は、
h)前記ステップe)で獲得された前記電圧及び電流の波形を周波数領域に変換するステップと、
i)請求項2の伝達関数を前記変換された電圧及び電流の波形に適用し、補正された電圧及び電流の波形を取得するステップと、
j)前記補正された電圧及び電流の波形を時間領域に変換するステップと、
を含む、請求項6に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP08172843.8A EP2202528B1 (en) | 2008-12-23 | 2008-12-23 | Method for calibrating a transmission line pulse test system |
EP08172843.8 | 2008-12-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010151818A true JP2010151818A (ja) | 2010-07-08 |
JP5575467B2 JP5575467B2 (ja) | 2014-08-20 |
Family
ID=40577940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009291080A Active JP5575467B2 (ja) | 2008-12-23 | 2009-12-22 | 伝送線路パルス試験システムの較正方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8339146B2 (ja) |
EP (1) | EP2202528B1 (ja) |
JP (1) | JP5575467B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109342800A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-15 | 贵州航天计量测试技术研究所 | 一种脉冲电镀电源脉冲电流的校准装置及校准方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8436626B2 (en) * | 2009-12-17 | 2013-05-07 | Taiwan Semiconductor Manfacturing Company, Ltd. | Cascaded-based de-embedding methodology |
US9274155B2 (en) | 2012-09-25 | 2016-03-01 | International Business Machines Corporation | Cancellation of secondary reverse reflections in a very-fast transmission line pulse system |
US20150084656A1 (en) * | 2013-09-25 | 2015-03-26 | Tektronix, Inc. | Two port vector network analyzer using de-embed probes |
TWI585422B (zh) * | 2016-01-05 | 2017-06-01 | 明泰科技股份有限公司 | 電路傳輸線的特性阻抗擷取方法 |
CN106772198B (zh) * | 2017-01-05 | 2024-02-06 | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 | 直流电流互感器暂态响应特性测试方法、系统及装置 |
CN109557495A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-04-02 | 中国电力科学研究院有限公司 | 用于直流电流相关回路的暂态特性校验方法、系统、装置 |
CN111208466A (zh) * | 2020-02-19 | 2020-05-29 | 中国电力科学研究院有限公司 | 一种对直流电压测量装置暂态特性进行现场校验的方法及系统 |
CN111289822B (zh) * | 2020-02-28 | 2021-11-09 | 杭州电子科技大学 | 基于电快速瞬变脉冲群的工业机器人示教器测试方法 |
CN111487451B (zh) * | 2020-04-20 | 2022-08-05 | 中国科学院微电子研究所 | 一种传输线脉冲测试系统 |
CN111766452A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-10-13 | 哈尔滨工业大学 | 一种瞬态高频脉冲波形捕获系统及方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004264147A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Toshiba Corp | 静電気試験装置 |
JP2006038542A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Nec Electronics Corp | 静電気放電耐性特性の測定方法並びに静電気破壊試験方法及びこれらの方法を実現するパルス電圧印加回路 |
JP2008292462A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-12-04 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | Esd試験システム較正 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7545152B2 (en) * | 2006-01-11 | 2009-06-09 | Thermo Fisher Scientific, Inc. | Transmission line pulse measurement system for measuring the response of a device under test |
US7893696B2 (en) * | 2008-02-29 | 2011-02-22 | Freescale Semiconductor, Inc. | Pulse circuit using a transmission line |
-
2008
- 2008-12-23 EP EP08172843.8A patent/EP2202528B1/en active Active
-
2009
- 2009-12-21 US US12/643,608 patent/US8339146B2/en active Active
- 2009-12-22 JP JP2009291080A patent/JP5575467B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004264147A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Toshiba Corp | 静電気試験装置 |
JP2006038542A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Nec Electronics Corp | 静電気放電耐性特性の測定方法並びに静電気破壊試験方法及びこれらの方法を実現するパルス電圧印加回路 |
JP2008292462A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-12-04 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | Esd試験システム較正 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6013026683; D.Tremouilles, S.Thaijs, PH.ROussel, M.I.Natarajan, V.Vassilev,G.Groeseneken: '「Transient voltage overshoot in TLP testing - Real or artifact?」' Microelectronics Reliability vol.47,issue7, 2007, p.1016-1024, Elsevier Ltd * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109342800A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-15 | 贵州航天计量测试技术研究所 | 一种脉冲电镀电源脉冲电流的校准装置及校准方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5575467B2 (ja) | 2014-08-20 |
EP2202528B1 (en) | 2017-08-16 |
US8339146B2 (en) | 2012-12-25 |
US20100156447A1 (en) | 2010-06-24 |
EP2202528A1 (en) | 2010-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5575467B2 (ja) | 伝送線路パルス試験システムの較正方法 | |
JP4942940B2 (ja) | 校正方法及び測定機器 | |
CN106990340B (zh) | 一种局部放电监测系统及方法 | |
JP3867067B2 (ja) | 時間領域反射率計(tdr)、および時間領域反射率計測検査をネットワークケーブルに適用するための方法 | |
US8339141B2 (en) | Method and apparatus for locating a fault in an electrical conductor, with interference compensation | |
JP4870939B2 (ja) | ケーブル障害測定の減衰および散乱歪補正方法 | |
KR101264120B1 (ko) | 디바이스에 대한 테스트 데이터 획득 방법 | |
JPH0766023B2 (ja) | 被試験装置の評価装置とその方法、ならびに抵抗性評価と波形評価を同時実行するための装置とその方法 | |
TW200604538A (en) | Fixture characteristic measurement device, method, program, recording medium, network analyzer, and semiconductor test device | |
KR102090014B1 (ko) | 주파수 영역에서의 교정을 이용한 시간 영역 측정 방법 | |
US8645091B2 (en) | Evaluating high frequency time domain in embedded device probing | |
CN113504454B (zh) | 一种分析仪的校准方法及芯片测试方法和系统 | |
TWI589902B (zh) | 多埠量測技術 | |
EP3309562A1 (en) | Impedance measurement through waveform monitoring | |
JP5105442B2 (ja) | プリント基板の検査装置および検査方法 | |
CN111191409B (zh) | 芯片内部硅片管脚信号仿真方法及装置 | |
RU97831U1 (ru) | Устройство оценки количественных и статистических характеристик внутренних неоднородностей электрических кабелей | |
Helmreich | Test path simulation and characterisation | |
EP3108237A1 (en) | Method and device for the testing of ultrasound probes | |
CN218331828U (zh) | 一种超快脉冲测试系统 | |
Henry et al. | Charged device model metrology: limitations and problems | |
US11693046B2 (en) | Monitoring waveforms from waveform generator at device under test | |
JP2011106819A (ja) | 電子部品の電気特性測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置 | |
Navarro et al. | Measurements of characteristic impedance of high frequency cables with time domain reflectometry (TDR) | |
CN115166464A (zh) | 一种超快脉冲测试系统、测试方法及装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120618 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130604 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130903 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140603 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140702 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5575467 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |