JP5574118B2 - Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method - Google Patents
Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method Download PDFInfo
- Publication number
- JP5574118B2 JP5574118B2 JP2011089624A JP2011089624A JP5574118B2 JP 5574118 B2 JP5574118 B2 JP 5574118B2 JP 2011089624 A JP2011089624 A JP 2011089624A JP 2011089624 A JP2011089624 A JP 2011089624A JP 5574118 B2 JP5574118 B2 JP 5574118B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic sheet
- forming
- film
- ceramic
- laminated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Description
本発明は、積層セラミックコンデンサなどの積層型電子部品を製造するための積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a multilayer electronic component manufacturing apparatus and a multilayer electronic component manufacturing method for manufacturing a multilayer electronic component such as a multilayer ceramic capacitor.
一般的な積層セラミックコンデンサの製造方法は、長尺フィルム上にセラミック膜を塗布成形し、その上に内部電極を印刷形成し、これを所望のサイズにカットしてフィルムから剥離し積み重ね、これを繰り返して積層体ブロックを形成し、これを部品単位にカットする。 A general method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor is to form a ceramic film on a long film, print an internal electrode on it, cut it to a desired size, peel it off from the film, and stack it. A laminated body block is formed repeatedly, and this is cut into parts.
これに対し、下記特許文献1には、基材上で形成して得られた複数のセラミックグリーンシートを積層することで積層体ブロックを形成し、形成した前記積層体ブロックを部品単位で切断することで積層セラミック電子部品を製造する方法であって、同一の前記積層体ブロックを構成する複数の前記セラミックグリーンシートのうちの少なくとも2枚を、同一の前記基材上の所定領域で形成し、かつ各セラミックグリーンシートの面内方向の向きおよび各セラミックグリーンシートの位置を実質的に一致させて積層する積層セラミック電子部品の製造方法が開示されている。 On the other hand, in the following Patent Document 1, a laminated body block is formed by laminating a plurality of ceramic green sheets formed on a base material, and the formed laminated body block is cut in parts. A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein at least two of the plurality of ceramic green sheets constituting the same multilayer block are formed in a predetermined region on the same substrate, And the manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component which laminates | stacks by making the direction of the in-plane direction of each ceramic green sheet and the position of each ceramic green sheet substantially correspond is disclosed.
下記特許文献2には、第1の可撓性支持体をエンドレスに走行させ、第2の可撓性支持体の一面上にセラミック塗料を塗布し、得られた未乾燥のセラミック塗料層を、第1の可撓性支持体に転写し、転写後に第2の可撓性支持体をセラミック塗料層から剥離するとともに、第1の可撓性支持体上に転写されたセラミック塗料層の表面に電極を印刷し、電極を乾燥させ、かかる工程を第1の可撓性支持体の上で繰り返す技術が開示されている。 In the following Patent Document 2, the first flexible support is run endlessly, a ceramic paint is applied on one surface of the second flexible support, and the resulting undried ceramic paint layer is Transfer to the first flexible support, peel off the second flexible support from the ceramic paint layer after transfer, and onto the surface of the ceramic paint layer transferred onto the first flexible support A technique is disclosed in which an electrode is printed, the electrode is dried, and such a process is repeated on a first flexible support.
下記特許文献3には、セラミックスおよび有機結合材成分を含有し、かつその上に内部電極層を形成するための所定のパターンを持つ自立性グリーンシートからなる積層型電子部品のための積層体製造装置であり、予め所定のパターンが形成された自立性グリーンシートを柱状ロールに巻回して製造する技術が開示されている。 Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228688 discloses a laminate manufacturing for a multilayer electronic component comprising a self-supporting green sheet containing a ceramic and an organic binder component and having a predetermined pattern for forming an internal electrode layer thereon. There is disclosed a technology for manufacturing a device by winding a self-supporting green sheet on which a predetermined pattern is formed in advance on a columnar roll.
下記特許文献4には、グリーンシートを供給する巻き出し供給部と、グリーンシートを外周面に巻き付けて積層体を形成する積層ドラムと、積層ドラムの回転角を検出する回転角度検出装置と、回転角度検出装置の情報に基づき、グリーンシートを巻き付けながら積層ドラムに巻き付けたグリーンシート上に内部電極を形成する内部電極印刷部とを備えることにより、高速で積層体が製造できる技術が開示されている。 Patent Document 4 listed below includes an unwinding supply unit that supplies a green sheet, a lamination drum that forms a laminate by winding the green sheet around an outer peripheral surface, a rotation angle detection device that detects a rotation angle of the lamination drum, and a rotation Based on the information of the angle detection device, a technique is disclosed in which a laminate can be manufactured at a high speed by including an internal electrode printing unit that forms an internal electrode on a green sheet wound around a lamination drum while winding the green sheet. .
ここで、積層セラミックコンデンサの製造過程における積層体形成方法としては、一般的に、長尺フィルムにセラミックス塗膜を塗布成形し、その上に内部電極を印刷形成し、これをカットしてフィルムから剥離し、積み重ねるという手段が用いられる。積層コンデンサを小型高容量化するためには、セラミックス誘電体層をより薄く形成し、積層枚数を増やす必要があるが、そのことによりフィルム上の突起物を起因とする欠陥部の影響によるショートなどの品質不良の発生割合が増加することが分かっている。そこで、フィルムをより平滑にする取り組みが進められているが、ハンドリング性の悪化とフィルムコストの上昇が問題となり、難航している。 Here, as a laminated body formation method in the production process of a multilayer ceramic capacitor, generally, a ceramic coating film is applied and formed on a long film, an internal electrode is printed thereon, and this is cut from the film. The means of peeling and stacking is used. In order to reduce the size and capacity of multilayer capacitors, it is necessary to form a thinner ceramic dielectric layer and increase the number of laminated layers, which can cause short-circuits due to defects caused by protrusions on the film. It has been found that the occurrence rate of quality defects increases. Therefore, efforts have been made to make the film smoother, but it is difficult to handle due to the deterioration in handling properties and the increase in film cost.
これを解決する手段として、平板型の同一基材を繰り返し使用してセラミックスグリーンシートを形成する方法を考案している(特許文献1参照)。同一基材を用いることで欠陥部が積層ブロックの1部分に集中するので、基材上に突起物があってもその影響で発生する不良チップを最小限に抑えることができる。 As a means for solving this problem, a method of forming a ceramic green sheet by repeatedly using the same flat substrate is devised (see Patent Document 1). By using the same base material, defective portions are concentrated on one part of the laminated block, so that even if there are protrusions on the base material, defective chips caused by the influence can be minimized.
しかしながら、上記特許文献1の技術では、平板もしくは円筒状基材にグリーンシートを間欠成膜する必要があるため、成膜開始部と終了部に膜厚の不均一領域が発生し、積層体ブロックを形成しても所望の品質を得られる領域が狭く、歩留まり上の問題が大きい。また、平板上にセラミックシートを積層する工程においても、一層ずつの間欠動作が必要であり、生産速度が高められないという欠点があった。 However, in the technique of the above-mentioned Patent Document 1, since it is necessary to intermittently form a green sheet on a flat plate or a cylindrical base material, non-uniform areas of film thickness are generated at the film formation start part and the film end part, and the laminate block Even if the film is formed, a region where desired quality can be obtained is narrow, and a problem in yield is large. Further, even in the process of laminating the ceramic sheets on the flat plate, there is a drawback that the intermittent operation is required one by one and the production speed cannot be increased.
また、セラミックシートの積層を効率的に行なう手段としては、上記特許文献2の技術が考案されている。長尺フィルム上にセラミックを塗布し、これをエンドレスベルト上に転写し、積層構造体を得るものである。この工法においては、間欠動作を行わないことにより高速化が可能であるが、長尺基材を用いるため、基材突起物によるセラミック層の欠陥部に品質不良を抑制する効果は期待できない。 Moreover, as a means for efficiently laminating ceramic sheets, the technique of Patent Document 2 has been devised. A ceramic is applied on a long film, and this is transferred onto an endless belt to obtain a laminated structure. In this method, it is possible to increase the speed by not performing the intermittent operation. However, since a long base material is used, the effect of suppressing the quality defect cannot be expected at the defective portion of the ceramic layer due to the base material protrusion.
また、同種の発明が、上記特許文献3に記載されている。これは円筒ドラム上に積層構造体を形成するものであり、連続動作による高速積層が可能であるが、セラミックシートはフィルムなどの支持体の無い高強度な自立性グリーンシートに限られている。この自立性グリーンシートに内在する欠陥部の頻度は不明であるが、高重合度の樹脂を含有して強度を増した当シートは、焼成工程における脱脂を困難とし、焼成後のセラミックの緻密性を阻害する要因となるため、実用性が低く量産に用いるのは難しい。 The same kind of invention is described in Patent Document 3 described above. In this method, a laminated structure is formed on a cylindrical drum and high-speed lamination is possible by continuous operation. However, the ceramic sheet is limited to a high-strength self-supporting green sheet having no support such as a film. The frequency of defects inherent in this self-supporting green sheet is unknown, but this sheet, which contains a resin with a high degree of polymerization and has increased strength, makes it difficult to degrease in the firing process, and the denseness of the ceramic after firing Therefore, it is difficult to use for mass production because its practicality is low.
上記特許文献4の発明は、円筒もしくは多角柱に連続積層し、インクジェットにより電極回路を形成するものであるが、この場合もグリーンシートには自立して搬送できるほどの高強度が必要であり、課題となっている薄いセラミックス層の積層構造体を形成する手段としては実用化が難しい。 The invention of the above-mentioned Patent Document 4 is one in which a cylindrical or polygonal column is continuously laminated and an electrode circuit is formed by ink jetting. In this case as well, the green sheet needs to have high strength that can be conveyed independently, As a means for forming a laminated structure of thin ceramic layers, which is a problem, it is difficult to put it to practical use.
そこで、本発明の目的は、上記問題点に鑑み、電子部品の品質不良の発生を抑制し、低コストで、かつ連続運転することにより積層型電子部品の製造効率(生産速度)を高めることができる積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法を提供することである。 Accordingly, in view of the above problems, an object of the present invention is to suppress the occurrence of poor quality of electronic components, increase the manufacturing efficiency (production speed) of multilayer electronic components by continuously operating at low cost. An object of the present invention is to provide a multilayer electronic component manufacturing apparatus and a method for manufacturing the multilayer electronic component.
本発明は、外周に離型処理が施された無端連続状の成膜基材と、前記成膜基材に対してセラミックスラリーを塗布し、乾燥させてセラミックシートを連続的に形成する成膜形成部と、前記成膜基材に対して前記セラミックシートを介して接触して前記セラミックシートを前記成膜基材から連続的に剥離させ、前記成膜形成部から連続する前記セラミックシートを外周に巻き付けることにより前記セラミックシートの積層構造体を形成する積層支持体と、前記積層支持体の外周に巻き付けられた前記セラミックシートに電極回路を形成する電極回路形成部と、を有することを特徴とする積層型電子部品製造装置である。 The present invention is an endless continuous form of the film forming substrate to release treatment has been applied to the outer periphery, the deposition of the ceramic slurry is applied to the deposition substrate, and dried to continuously form a ceramic sheet outer periphery forming portion, wherein the relative deposition substrate in contact through the ceramic sheet continuously peeled off the ceramic sheet from the film forming substrate, the ceramic sheet which is continuous from the deposition forming section A laminated support that forms a laminated structure of the ceramic sheet by being wound around, and an electrode circuit forming section that forms an electrode circuit on the ceramic sheet that is wound around the outer periphery of the laminated support. This is a multilayer electronic component manufacturing apparatus.
本発明によれば、成膜基材上に突起物などの欠陥因子があったとしても、そのことにより生じるセラミックシートの欠陥部が積層構造体の限られた範囲内に集中するため、これを切断分割して得られる電子部品の品質不良の発生を低く抑えることができる。 According to the present invention, even if there is a defect factor such as a protrusion on the film formation substrate, the defective portion of the ceramic sheet caused by the concentration is concentrated within a limited range of the laminated structure. Occurrence of poor quality of electronic parts obtained by cutting and dividing can be suppressed low.
また、セラミックシートが成膜基材上に連続形成されるため、間欠塗布に比べて膜厚の安定領域が広くなり、得られた積層構造体から電子部品として分割できる個数を増やすことができる。 In addition, since the ceramic sheet is continuously formed on the film formation substrate, the stable region of the film thickness is widened compared to intermittent application, and the number of electronic components that can be divided from the obtained laminated structure can be increased.
成膜基材上にセラミックシートを形成するプロセスと、積層支持体上にセラミックシートの積層構造体を形成するプロセスと、を、連続運転により実行するため、より短時間に生産性高く、セラミックシートの積層構造体を形成することができる。 Since the process of forming a ceramic sheet on a film forming substrate and the process of forming a laminated structure of ceramic sheets on a laminated support are executed by continuous operation, the ceramic sheet is highly productive in a shorter time. The laminated structure can be formed.
また、従来のような長尺のフィルム基材を用いる必要が無く、中間材料コストを抑えることができる。 Moreover, it is not necessary to use a long film base material as in the prior art, and the intermediate material cost can be suppressed.
以上のようにして、電子部品の品質不良の発生を抑制し、低コストで、かつ間欠運転ではなく連続的に運転することにより積層型電子部品の製造効率(生産速度)を高めることができる。 As described above, it is possible to increase the manufacturing efficiency (production speed) of the multilayer electronic component by suppressing the occurrence of defective quality of the electronic component, operating at a low cost, and continuously rather than intermittently.
本発明は、外周に離型処理が施された無端連続状の成膜基材と、前記成膜基材に対してセラミックスラリーを塗布し、乾燥させてセラミックシートを連続的に形成する成膜形成部と、前記成膜形成部から連続する前記セラミックシートを外周に巻き付けることにより、前記セラミックシートの積層構造体を形成する積層支持体と、前記成膜基材と前記積層支持体とに前記セラミックシートを介して接触するようにして設けられ、前記成膜基材に形成された前記セラミックシートを前記成膜基材から連続的に剥離させ、当該剥離させた前記セラミックシートを前記積層支持体に搬送する中間剥離部と、前記積層支持体の外周に巻き付けられた前記セラミックシートに電極回路を形成する電極回路形成部と、を有することを特徴とする積層型電子部品製造装置である。 The present invention is an endless continuous form of the film forming substrate to release treatment has been applied to the outer periphery, the deposition of the ceramic slurry is applied to the deposition substrate, and dried to continuously form a ceramic sheet A winding support that forms a laminated structure of the ceramic sheet by winding the ceramic sheet continuous from the forming portion and the film forming portion, and the film forming substrate and the layered support on the stacking support. The ceramic sheet provided so as to be in contact with the ceramic sheet and formed on the film-forming substrate is continuously peeled from the film-forming substrate , and the peeled ceramic sheet is peeled off from the laminated support. multilayer electronic to the intermediate stripping unit for conveying an electrode circuit forming section for forming an electrode circuit to the ceramic sheet wrapped around the outer periphery of the laminated support, characterized in that it has to It is a goods manufacturing equipment.
本発明によれば、成膜基材からのセラミックシートの剥離が、積層支持体側の状態に影響されず、安定したハンドリングが可能となる。具体的には、積層支持体にセラミックシートの積層構造体が形成されていくと、積層支持体の大きさが大きくなっていき、また、電極回路が形成された場合には、その部位が凸凹するなどの外形上の状態変化が生じるが、成膜基材と積層支持体との間に中間剥離部を介在させることで、積層支持体の状態変化に合わせて、積層支持体と中間剥離部との位置関係や圧力等を適宜、調整することができる。これにより、積層支持体の状態変化によって、積層支持体に形成されるセラミックシートの積層構造体の品質が劣化することを防止できる。また、積層支持体が成膜基材に直接接触しないように設計することにより、成膜基材のローラーの接触圧を低減できるため、成膜基材の傷つきの発生を抑制できる。 According to the present invention, the peeling of the ceramic sheet from the film forming substrate is not affected by the state on the laminated support side, and stable handling is possible. Specifically, when a laminated structure of ceramic sheets is formed on the laminated support, the size of the laminated support increases, and when an electrode circuit is formed, the portion is uneven. However, when the intermediate peeling part is interposed between the film forming substrate and the laminated support, the laminated support and the intermediate peeling part are matched to the change in the state of the laminated support. The positional relationship, pressure and the like can be adjusted as appropriate. Thereby, it can prevent that the quality of the laminated structure of the ceramic sheet formed in a laminated support body deteriorates by the state change of a laminated support body. In addition, by designing the laminated support so that it does not come into direct contact with the film-forming substrate, the contact pressure of the roller of the film-forming substrate can be reduced, so that the film-forming substrate can be prevented from being damaged.
本発明は、前記成膜基材の外周長と前記積層支持体の外周長が同じ長さであるか、あるいは前記成膜基材の外周長又は前記積層支持体の外周長の一方が他方に対して整数倍であることを特徴とする。 In the present invention, the outer peripheral length of the film-forming substrate and the outer peripheral length of the laminated support are the same length, or one of the outer peripheral length of the film-forming substrate and the outer peripheral length of the laminated support is the other. In contrast, it is an integral multiple.
本発明では、成膜基材上に突起物などの欠陥因子があることにより生じるセラミックシートの欠陥部を積層構造体の特定の領域に集中させることができる。具体的には、積層構造体上のセラミックシートの積層構造体に発生する欠陥部を積層構造体の同一周軌道上(セラミックシートを送り方向から見たときの積層構造体の同じ列)に集めることができる。さらに、積層支持体の外周長が成膜基材の外周長に対して整数倍だけ長い場合には、積層構造体上のセラミックシートの積層構造体に発生する欠陥部を積層構造体の同一座標上(セラミックシートを送り方向から見たときの積層構造体の同じ行と列)に集めることができる。 In the present invention, the defective part of the ceramic sheet caused by the presence of a defect factor such as a protrusion on the film formation substrate can be concentrated in a specific region of the laminated structure. Specifically, defects generated in the multilayer structure of the ceramic sheet on the multilayer structure are collected on the same circumferential track of the multilayer structure (the same row of the multilayer structure when the ceramic sheet is viewed from the feeding direction). be able to. Furthermore, when the outer peripheral length of the laminated support is an integral multiple of the outer peripheral length of the film-forming substrate, the defects occurring in the laminated structure of the ceramic sheet on the laminated structure are identified with the same coordinates of the laminated structure. (The same row and column of the laminated structure when the ceramic sheet is viewed from the feeding direction).
本発明は、前記セラミックシートが前記積層支持体の外周に巻き付けられて前記セラミックシートの積層構造体が形成されているときに、前記成膜基材に、新たな前記セラミックシートが形成され続けることを特徴とする。 In the present invention, when the ceramic sheet is wound around the outer periphery of the laminated support to form the laminated structure of the ceramic sheet, the new ceramic sheet is continuously formed on the film-forming substrate. It is characterized by.
本発明によれば、間欠運転ではなく、連続運転にて、セラミックシートの積層構造体を形成することができるため、セラミックシートの積層構造体を極めて短時間で形成することができる。この結果、セラミックシートの積層構造体の製造効率を高めることができる。 According to the present invention, since the laminated structure of ceramic sheets can be formed not in intermittent operation but in continuous operation, the laminated structure of ceramic sheets can be formed in a very short time. As a result, the manufacturing efficiency of the laminated structure of ceramic sheets can be increased.
本発明によれば、積層支持体の外周にセラミックシートを巻き付けて、積層した後に、電極回路形成部によりセラミックシートに電極回路を形成することにより、積層時の歪みを気にすることなく電極回路の層間位置精度を向上することができる。逆に、セラミックシートを積層支持体に積層する前に電極回路を形成すると、セラミックシートの巻き付け時の伸縮あるいは積層支持体の大きさの変化などにより、各層間における電極回路の形成位置がずれるおそれがある。その結果、設備の積層位置決めにかかわる機構が省略でき、設備価格を低く抑え、かつ設備を小型化し設置面積を小さく設定することができる。 According to the present invention, after laminating a ceramic sheet around the outer periphery of a laminated support and laminating, an electrode circuit is formed on the ceramic sheet by the electrode circuit forming unit, so that an electrode circuit can be obtained without worrying about distortion during lamination. It is possible to improve the interlayer position accuracy. On the contrary, if the electrode circuit is formed before the ceramic sheet is laminated on the laminated support, the electrode circuit formation position between the layers may be shifted due to expansion / contraction when the ceramic sheet is wound or a change in the size of the laminated support. There is. As a result, a mechanism related to the positioning of the equipment can be omitted, the equipment price can be kept low, the equipment can be downsized, and the installation area can be set small.
本発明は、前記電極回路形成部は、前記積層支持体の外周に巻き付けられた前記セラミックシートに電極印刷を行う無版印刷装置であることを特徴とする。 The present invention is characterized in that the electrode circuit forming portion is a plateless printing apparatus that performs electrode printing on the ceramic sheet wound around the outer periphery of the laminated support.
本発明によれば、セラミックシートの各層毎に異なるパターンの電極回路を形成することができる。また、積層支持体上でのセラミックシートの積層の進行に伴ってセラミックシートの伸縮あるいは積層支持体の大きさに変化が発生しても、電極回路間のピッチを調整して、位置ズレのない電極回路を形成することができる。 According to the present invention, an electrode circuit having a different pattern can be formed for each layer of the ceramic sheet. Also, even if the ceramic sheet expands or contracts or the size of the laminated support changes as the ceramic sheet is laminated on the laminated support, the pitch between the electrode circuits is adjusted so that there is no displacement. An electrode circuit can be formed.
本発明は、外周に離型処理が施された無端連続状の成膜基材に対して成膜形成部によりセラミックスラリーを塗布し、乾燥させてセラミックシートを連続的に形成する成膜形成工程と、前記成膜基材に対して前記セラミックシートを介して積層支持体を接触させることにより前記セラミックシートを前記成膜基材から連続的に剥離させ、前記成膜形成部から連続する前記セラミックシートを前記積層支持体の外周に巻き付けることにより前記セラミックシートの積層構造体を形成する積層構造体形成工程と、前記積層支持体に前記セラミックシートを巻き付けながら、電極回路形成部により前記積層支持体上の前記セラミックシートに電極回路を形成する電極回路形成工程と、を有することを特徴とする積層型電子部品の製造方法である。 The present invention, a ceramic slurry was applied by a film-forming forming unit with respect to the endless continuously shaped deposition substrate release treatment has been applied to the outer periphery, the deposition formation step for continuously forming a ceramic sheet is dried The ceramic sheet is continuously peeled from the film-forming substrate by bringing a laminated support into contact with the film-forming substrate via the ceramic sheet, and is continuously formed from the film-forming part. A laminated structure forming step of forming a laminated structure of the ceramic sheet by winding a sheet around the outer periphery of the laminated support , and the laminated support by the electrode circuit forming unit while winding the ceramic sheet around the laminated support An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit on the ceramic sheet .
本発明は、外周に離型処理が施された無端連続状の成膜基材に対して成膜形成部によりセラミックスラリーを塗布し、乾燥させてセラミックシートを連続的に形成する成膜形成工程と、前記成膜形成部から連続する前記セラミックシートを積層支持体の外周に巻き付けることにより、前記セラミックシートの積層構造体を形成する積層構造体形成工程と、前記成膜形成工程の後でかつ前記積層構造体形成工程の前に実行され、中間剥離部が前記成膜基材に形成された前記セラミックシートを前記成膜基材から連続的に剥離させ、当該剥離した前記セラミックシートを前記中間剥離部によって前記積層支持体に搬送する搬送工程と、前記積層支持体に前記セラミックシートを巻き付けながら、電極回路形成部により前記積層支持体上の前記セラミックシートに電極回路を形成する電極回路形成工程と、を有することを特徴とする積層型電子部品の製造方法である。 The present invention, a ceramic slurry was applied by a film-forming forming unit with respect to the endless continuously shaped deposition substrate release treatment has been applied to the outer periphery, the deposition formation step for continuously forming a ceramic sheet is dried And a laminated structure forming step of forming a laminated structure of the ceramic sheet by winding the ceramic sheet continuous from the film forming portion around the outer periphery of the laminated support, and after the film forming step and The ceramic sheet, which is executed before the laminated structure forming step and has an intermediate peeling portion formed on the film forming substrate, is continuously peeled from the film forming substrate , and the peeled ceramic sheet is removed from the intermediate structure. a conveying step of conveying the stacked support by peeling section, while winding the ceramic sheet on the stack support, the canceller on the laminated support by the electrode circuit forming portions An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit Kkushito a method of manufacturing a multilayer electronic component and having a.
特に、前記積層構造体形成工程において、前記セラミックシートが前記積層支持体の外周に巻き付けられて前記セラミックシートの積層構造体が形成されているときに、前記成膜形成工程では、前記成膜基材に新たな前記セラミックシートが形成され続けることが好ましい。 In particular, in the laminated structure forming step, when the ceramic sheet is wound around the outer periphery of the laminated support to form the laminated structure of the ceramic sheet, the film forming substrate includes the film forming substrate. It is preferable that new ceramic sheets continue to be formed on the material.
本発明によれば、間欠運転ではなく、連続運転にて、セラミックシートの積層構造体を形成することができるため、セラミックシートの積層構造体を極めて短時間で形成することができる。この結果、セラミックシートの積層構造体の製造効率を高めることができる。 According to the present invention, since the laminated structure of ceramic sheets can be formed not in intermittent operation but in continuous operation, the laminated structure of ceramic sheets can be formed in a very short time. As a result, the manufacturing efficiency of the laminated structure of ceramic sheets can be increased.
本発明によれば、電極回路形成工程において、積層支持体にセラミックシートを巻き付けて、積層した後、電極回路形成部によりセラミックシートに電極回路を形成することにより、積層時の歪みを気にすることなく電極回路の層間位置精度を向上することができる。逆に、セラミックシートを積層支持体に積層する前に電極回路を形成すると、セラミックシートの巻き付け時の伸縮あるいは積層支持体の大きさの変化により、各層間における電極回路の形成位置がずれるおそれがある。その結果、設備の積層位置決めにかかわる機構が省略でき、設備価格を低く抑え、かつ設備を小型化し、設置面積を小さく設定することができる。 According to the present invention, in the electrode circuit forming step, the ceramic sheet is wound around the laminated support, and after laminating, the electrode circuit is formed on the ceramic sheet by the electrode circuit forming unit, thereby worrying about distortion during lamination. The interlayer position accuracy of the electrode circuit can be improved without any problem. Conversely, if the electrode circuit is formed before the ceramic sheet is laminated on the laminated support, the electrode circuit formation position between the layers may be shifted due to expansion or contraction when the ceramic sheet is wound or a change in the size of the laminated support. is there. As a result, a mechanism related to the positioning of the equipment can be omitted, the equipment price can be kept low, the equipment can be downsized, and the installation area can be set small.
さらに、前記電極回路形成部として、前記積層支持体の外周に巻き付けられた前記セラミックシートに電極印刷を行う無版印刷装置を使用することが好ましい。 Furthermore, it is preferable to use a plateless printing apparatus that performs electrode printing on the ceramic sheet wound around the outer periphery of the laminated support as the electrode circuit forming portion.
本発明によれば、電子部品の品質不良の発生を抑制し、低コストで、かつ間欠運転ではなく連続運転することにより積層型電子部品の製造効率(生産速度)を高めることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, generation | occurrence | production of the quality defect of an electronic component can be suppressed, and the manufacturing efficiency (production speed) of a multilayer type electronic component can be improved by carrying out continuous operation instead of intermittent operation at low cost.
本発明の第1実施形態に係る積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法について、図面を参照して説明する。なお、本発明の製造対象としている「積層型電子部品」には、積層セラミックコンデンサや積層セラミックインダクタなどの積層型電子部品が含まれる。以下、積層型電子部品として、積層セラミックコンデンサを一例に挙げて説明する。 A multilayer electronic component manufacturing apparatus and a multilayer electronic component manufacturing method according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The “multilayer electronic component” to be manufactured in the present invention includes multilayer electronic components such as a multilayer ceramic capacitor and a multilayer ceramic inductor. Hereinafter, a multilayer ceramic capacitor will be described as an example of the multilayer electronic component.
先ず、積層型電子部品製造装置について説明する。 First, a multilayer electronic component manufacturing apparatus will be described.
図1に示すように、積層型電子部品製造装置10は、主として、表面(外周面)に離型処理が施されセラミックシートSを形成するコーティングロール12(成膜基材)と、コーティングロール12から剥離したセラミックシートSを巻き取ってセラミックシートSの積層構造体S’を形成するスタッキングロール14(積層支持体)と、を有している。
As shown in FIG. 1, the multilayer electronic
コーティングロール12の近傍には、コーティングロール12の表面にセラミックシートSの材料になるセラミックスラリーを塗布するための成膜手段16(成膜形成部)と、成膜手段16にセラミックスラリーを供給するための給液手段18と、コーティングロール12の表面上のセラミックスラリーを乾燥固化させるための乾燥硬化装置20と、が配置されている。これらの構成部材は、コーティングロール12の表面にセラミックシートSを形成するために機能する。
In the vicinity of the
スタッキングロール14の近傍には、スタッキングロール14の表面に巻き付けられたセラミックシートSに電極回路24を形成するための電極回路形成手段22(電極回路形成部)と、電極回路24を乾燥させるための乾燥硬化装置26と、が配置されている。これらの構成部材は、スタッキングロール14に巻き付けられたセラミックシートS上に電極回路24を形成するために機能する。
In the vicinity of the stacking
具体的には、コーティングロール12は、表面に離型処理が施された金属などの剛体ロール(円柱状あるいは円筒状)で、無端連続状の基材により構成されている。コーティングロール12は、図示しない駆動源により回転駆動されるように構成されている。なお、離型処理とは、例えば、フッ素系めっき処理などが該当する。
Specifically, the
スタッキングロール14は、脱着可能な金属製の円筒治具の外周面に弾性体(例えば、弾性フィルム、ゴム、粘性シートなど)を貼り付けて構成されている。この円筒治具を回転軸に装着して、コーティングロール12と同期して回転させる。なお、スタッキングロール14は、図示しない駆動源により回転駆動されるように構成されていてもよいし、コーティングロール12の回転力を受けて連れ回りするように構成されていてもよい。スタッキングロール14は、図示しない圧力付与機構により、コーティングロール12に対して所定の圧力(押付力)で押し付けられている。弾性体の表面は、粘着、静電吸着などの手段によりセラミックシートSを保持する。また、スタッキングロール14で巻き取られたセラミックシートSは、重なり合うシート層同士が圧着されて互いに保持し合う。これらの保持の力は、コーティングロール12がセラミックシートSを保持する力より大きく設定されているため、セラミックシートSはコーティングロール12から剥離されてスタッキングロール14へ転写される。
The stacking
セラミックシートSをコーティングロール12からスタッキングロール14へ確実に転写するためには、スタッキングロール14をコーティングロール12に適度に押し付けながら転写するのが好ましい。仮に、コーティングロール12とスタッキングロール14の間に空間があると、搬送中のセラミックシートSが他の部材に支持されていない区間をつくることになり、その区間でシート破れの起きる可能性がある。そこで、セラミックシートSの支持されていない区間をつくらないように、スタッキングロール14をコーティングロール12に適度に押し付けている。押し付けるとき、機械的なこじれが生じないように、スタッキングロール14の表面は弾性を有している。
In order to reliably transfer the ceramic sheet S from the
ここで、コーティングロール12の外周長は、スタッキングロール14の外周長と同じ長さであるか、あるいはコーティングロール12の外周長又はスタッキングロール14の外周長の一方が他方に対して整数倍であることが好ましい。
Here, the outer peripheral length of the
成膜手段16としては、例えば、ダイコータ、ドクターブレード、ロールコータ、インクジェット型コータなどが適宜採用される。なお、コーティングロール12の外周面に形成されるセラミックシートSの膜厚をより薄くするためには、ダイコータに上流減圧機構を設けることが好ましい。成膜手段16からコーティングロール12に連続的(非間欠的)にセラミックスラリーを塗布して、セラミックシートSが形成される。このように、同一のコーティングロール12に対して、セラミックスラリーが連続的に供給される。
As the film forming means 16, for example, a die coater, a doctor blade, a roll coater, an ink jet type coater or the like is appropriately employed. In order to reduce the thickness of the ceramic sheet S formed on the outer peripheral surface of the
給液手段18としては、例えば、シリンダ型ディスペンサが採用される。なお、給液手段18は、シリンダ型ディスペンサに限られるものではなく、ギヤポンプ、ダイヤフラムポンプなど適宜採用してもよい。 As the liquid supply means 18, for example, a cylinder type dispenser is adopted. The liquid supply means 18 is not limited to the cylinder-type dispenser, and a gear pump, a diaphragm pump, or the like may be appropriately employed.
電極回路形成手段22としては、例えば、インクジェット印刷装置が採用される。電極回路形成手段22は、無版印刷手段が好ましいが、乾燥後の電極回路24を転写したり、凹版印刷、凹版オフセット印刷など手段は問わない。電極回路形成手段22で使用される電極材インクは、例えば、有機溶媒にNi粉末(ニッケル粉末)と樹脂を溶解分散させたものが使用される。UV硬化性の樹脂にNi粉末を分散させたものでもよい。特に、セラミック塗膜に対して、膨潤性の低い溶媒を用いることが好ましい。なお、溶媒は、水系でもよい。
As the electrode
乾燥硬化装置20、26としては、例えば、熱風により乾燥する方法やコーティングロール12あるいはスタッキングロール14の外周面を加熱する方法、真空乾燥などが採用される。UV硬化性の樹脂を用いている場合、UV照射して硬化させてもよい。乾燥硬化装置20、26は、塗布されたセラミックスラリーや電極材インクを、乾燥または硬化させるためのものである。
As the drying and curing
セラミックスラリーとしては、例えば、有機溶媒にセラミックス粉末と樹脂を溶解分散させたものが採用される。UV硬化樹脂にセラミックス粉末を分散させたものを用いてもよい。なお、溶媒は、水系でもよい。 As the ceramic slurry, for example, a solution obtained by dissolving and dispersing ceramic powder and resin in an organic solvent is used. You may use what disperse | distributed ceramic powder to UV hardening resin. The solvent may be aqueous.
次に、積層型電子部品製造装置10を用いたセラミックシートSの積層構造体S’の製造方法について説明する。
Next, a method for manufacturing the multilayer structure S ′ of the ceramic sheets S using the multilayer electronic
離型処理を施したコーティングロール12を所定の速度で回転させ、この外周面にセラミックスラリーを成膜手段16により塗布する。なお、セラミックスラリーの供給は、給液手段18を用いて行われる。そして、コーティングロール12上でセラミックスラリーを、乾燥硬化装置20を用いて乾燥し固化させる。ここで、乾燥硬化装置20によるセラミックスラリーの乾燥には、所定の温度の熱風を用い、コーティングロール12の外周面が適温となるように温度調整する。なお、これらの温度は、セラミックシートSの材料により適宜調整する。
The
次に、コーティングロール12にスタッキングロール14を所定の加圧力でセラミックシートSを介して加圧接触させる。なお、前記加圧力は、セラミックシートSの材料により適宜調整する必要がある。そして、コーティングロール12の外周面に形成された乾燥後のセラミックシートSをコーティングロール12の外周面から剥離させて、スタッキングロール14の外周面上に転写させて巻き取る。ここで、コーティングロール12の外周面には離型処理が施されており、かつスタッキングロール14がコーティングロール12に対して所定の加圧力でセラミックシートSを介して接触しているため、コーティングロール12の外周面に形成された乾燥後のセラミックシートSは、コーティングロール12の外周面から容易に剥離して、スタッキングロール14の外周面に転写される。スタッキングロール14は、金属製の円筒型治具の外周面に弾性樹脂フィルムが巻き付けられており、その外周面の温度が加熱冷却手段によって所定の温度になるように温度調整されている。なお、外周面の温度は、セラミックシートSの材料により適宜調整する必要がある。
Next, the stacking
スタッキングロール14でセラミックシートSを所定層だけ巻き取った後、電極回路形成手段22からセラミックシートSに対して電極材インクを塗布し、所定の図形パターンの電極回路(内部電極回路)24を印刷する。電極回路24の印刷後に、乾燥硬化装置26から温風を吹き付け、電極回路24を乾燥させる。これにより、スタッキングロール14に巻き付けられるセラミックシートSの複数の層(径方向に沿って重ねられる複数の層)に電極回路24が形成される。このとき、積層コンデンサの製造においては各層(各周)ごとに電極回路24が対向電極となるように図形パターンを変えて電極印刷が行われる。このように、所定層の電極回路層を形成し、その後、電極回路形成手段22による電極印刷を停止させ、引き続き、所定の層分だけセラミックシートSをスタッキングロール14に巻き取る。その後、スタッキングロール14でのセラミックシートSの巻き取りを停止して、セラミックシートSの積層構造体S’を形成する。
After winding a predetermined layer of the ceramic sheet S with the stacking
さらに、スタッキングロール14に形成されたセラミックシートSの積層構造体S’を円筒型治具と共に取り外し、円筒形状のまま加圧プレスを行い、ダイサーカットによりチップ状に切断する。その後、焼成、電極回路(外部電極回路)を形成するなどして通常の製造プロセスを経て、積層セラミックコンデンサを製造する。
Further, the laminated structure S ′ of the ceramic sheets S formed on the stacking
第1実施形態の積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法によれば、コーティングロール12の外周面に微小なキズや突起物があった場合、塗布されたセラミックシートSに繰り返し欠陥部28が生じるが、同一のコーティングロール12を繰り返し使用することにより、スタッキングロール14上で円筒状に巻き付けられた積層構造体S’においては、限定された領域に欠陥部28を集中させることができる。このようにして得られたセラミックシートSの積層構造体S’を切断分割して得られる電子部品において品質不良の発生を抑制することができる。
According to the multilayer electronic component manufacturing apparatus and the multilayer electronic component manufacturing method of the first embodiment, if there are minute scratches or protrusions on the outer peripheral surface of the
また、セラミックシートSがコーティングロール12から剥離してスタッキングロール14に巻き付けられてセラミックシートSの積層構造体S’が形成されているときに、コーティングロール12には、新たなセラミックシートSが形成され続けるため、コーティングロール12におけるセラミックシートSの形成と、スタッキングロール14におけるセラミックシートSの積層構造体S’の形成とが同時に実行される。これにより、コーティングロール12の回転駆動を一旦停止することなく、連続的にセラミックシートSを形成することができ、また、スタッキングロール14の回転駆動を一旦停止することなく、連続的にセラミックシートSの積層構造体S’を製造することができる。このように、間欠運転ではなく、連続運転にて、セラミックシートSの積層構造体S’を形成することができる。この結果、セラミックシートSの積層構造体S’を極めて短時間で形成することができ、セラミックシートSの積層構造体S’の製造効率を高めることができる。
Further, when the ceramic sheet S is peeled off from the
また、セラミックシートSが剛体であるコーティングロール12上に形成され積層部まで保持されるため、薄くて低強度のセラミックシートSを使用しても、セラミックシートSの破れや傷つきの発生を抑制することができる。この結果、薄くて低強度のセラミックシートSのハンドリング性を高めることができる。
In addition, since the ceramic sheet S is formed on the
また、図1に示すように、コーティングロール12とスタッキングロール14の外周長を同一もしくは一方が他方の整数比とすることで、図2に示すように、更に欠陥部28を特定箇所に集中させることができる。外周長が整数比となっていない場合には、スタッキングロール14上のセラミックシートSの積層構造体S’に発生する欠陥部28がスタッキングロール14の同一周軌道上(セラミックシートSを送り方向から見たときの積層構造体の同じ列)に集まる。さらに、スタッキングロール14の外周長がコーティングロール12の外周長に対して整数倍だけ長い場合には、スタッキングロール14上のセラミックシートSの積層構造体S’に発生する欠陥部28をスタッキングロール14の同一座標上(セラミックシートSを送り方向から見たときの積層構造体の同じ行と列)に集めることができる。
Further, as shown in FIG. 1, by setting the outer peripheral lengths of the
また、公知のセラミックスラリーの間欠塗布を用いる方法よりも、セラミックシートSの膜厚の均一性、高い生産性が得られる。すなわち、セラミックシートSの積層構造体S’が円筒状に連続形成されるため、間欠塗布に比べて、膜厚の安定領域が広くなる。この結果、セラミックシートSの積層構造体S’から安定した品質の電子部品を取得することができる。セラミックシートSの積層構造体単位体積当りで取得できる電子部品の個数が多くなる。 Moreover, the uniformity of the film thickness of the ceramic sheet S and high productivity are obtained rather than the method using the intermittent application of the known ceramic slurry. That is, since the laminated structure S ′ of the ceramic sheets S is continuously formed in a cylindrical shape, a stable region of the film thickness is widened compared to intermittent application. As a result, a stable quality electronic component can be obtained from the laminated structure S ′ of the ceramic sheets S. The number of electronic components that can be acquired per unit volume of the laminated structure of the ceramic sheet S increases.
また、本実施形態では、使い捨て基材(PETフィルムなど)の中間消費材を使用する必要が無く、セラミックシートSの積層構造体S’、ひいては電子部品の製造コストを大幅に低減することが可能である。 Further, in this embodiment, it is not necessary to use an intermediate consumption material of a disposable base material (PET film or the like), and it is possible to greatly reduce the manufacturing cost of the laminated structure S ′ of the ceramic sheet S, and thus the electronic component. It is.
また、本実施形態では、フィルムを使用せず、セラミックシートSを成形することで、従来技術に必要であったフィルムのハンドリングが不要になる上に、セラミックシートSがスタッキングロール14に積層された後に電極回路24が形成されるため、積層位置決めの必要が無くなり、積層型電子部品製造装置10の設備のコンパクト化(位置決め機構の省略化)が可能で、設備価格を大幅に削減できる。
Moreover, in this embodiment, by using the ceramic sheet S without using a film, the handling of the film, which was necessary for the prior art, becomes unnecessary, and the ceramic sheet S is laminated on the stacking
また、電極回路24の形成にインクジェットなどの無版印刷工法を用いることにより、セラミックシートSの各層毎において異なる電極パターンを備えた電極回路24の形成が可能である。特に、セラミックシートSがスタッキングロール14に積層された後に電極回路24が形成されるため、セラミックシートSの積層の進行に伴いセラミックシートSの歪みやスタッキングロールSの外径が増加等して周囲長増加に対しても、電極回路24間のピッチ(間隔)を適宜調整して、位置ズレのない電極回路24の形成が可能になる。
In addition, by using a plateless printing method such as ink jet for forming the
次に、本発明の第2実施形態に係る積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法について、図面を参照して説明する。なお、第1実施形態の構成と重複する構成には同符号を付するとともに、重複する構成及び作用効果の説明を省略する。 Next, a multilayer electronic component manufacturing apparatus and a multilayer electronic component manufacturing method according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, while the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 1st Embodiment, description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.
図3に示すように、第2実施形態は、コーティングロール12とスタッキングロール14とが中間剥離ロール30(中間剥離部)を介して間接的に接続されている構成である。すなわち、コーティングロール12には中間剥離ロール30が接触されており、中間剥離ロール30にはスタッキングロール14が接触されている。
As shown in FIG. 3, 2nd Embodiment is the structure by which the
中間剥離ロール30は、コーティングロール12からセラミックシートSを粘着などの手段により剥離してスタッキングロール14に転写する機能を有している。中間剥離ロール30の材質は、樹脂あるいは金属など、特に問われない。中間剥離ロール30がセラミックシートSを保持する力は、コーティングロール12がセラミックシートSを保持する力より大きく、さらにスタッキングロール14がセラミックシートS保持する力より小さく設定されているため、セラミックシートSはコーティングロール12から剥離されて中間剥離ロール30に保持され、その後スタッキングロール14へ転写される。また、中間剥離ロール30は、コーティングロール12からセラミックシートSを吸着(吸引あるいは静電吸着)して剥離保持する剥離保持ロールでもよい。このとき、中間剥離ロール30は、吸着する円弧部位と吸着しない円弧部位とを制御するように構成されることが好ましい。コーティングロール12からセラミックシートSを剥離するときにセラミックシートSに接触する中間剥離ロール30の所定部位に吸着機能をもたせ、剥離したセラミックシートSをスタッキングロール14に転写するときにセラミックシートSに接触する中間剥離ロール30の所定部位に吸着しない領域をもたせることにより、セラミックシートSの剥離と転写を円滑に行うことができる。
The
第2実施形態によれば、コーティングロール12からのセラミックシートSの剥離が、スタッキングロール14側の状態に影響されず、安定したハンドリングが可能となる。具体的には、スタッキングロール14にセラミックシートSの積層構造体S’が形成されていくと、スタッキングロール14のセラミックシートを含めた大きさ(外径)が大きくなっていき、また、電極回路24が形成された場合には、その部位が凸凹するなどの外形上の状態変化が生じる。しかし、コーティングロール12とスタッキングロール14との間に中間剥離ロール30を介在させることで、上記したスタッキングロール14の状態変化に合わせて、スタッキングロール14と中間剥離ロール30との位置関係や圧力等を適宜、調整することができる。これにより、スタッキングロール14の状態変化によって、スタッキングロール14上に形成されるセラミックシートSの積層構造体S’の品質が劣化することを防止できる。また、スタッキングロール14がコーティングロール12に直接接触しないように設計することにより、スタッキングロール14の加圧がコーティングロール12を傷つけてしまうことを防止でき、セラミックシートSひいては電子部品の品質を劣化させてしまうことを防止できる。
According to the second embodiment, the peeling of the ceramic sheet S from the
次に、本発明の第3実施形態に係る積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法について、図面を参照して説明する。なお、第1実施形態及び第2実施形態の構成と重複する構成には同符号を付するとともに、重複する構成及び作用効果の説明を省略する。 Next, a multilayer electronic component manufacturing apparatus and a multilayer electronic component manufacturing method according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, while the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 1st Embodiment and 2nd Embodiment, description of the overlapping structure and an effect is abbreviate | omitted.
図4に示すように、第3実施形態は、第2実施形態のスタッキングロール14の円筒型治具に替えて、金属製の長尺ベルト32を用いたものである。長尺ベルト32の外周長がコーティングロール12の外周長よりも長くなる。この長尺ベルト32上に、セラミックシートSの積層構造体S’が積層されていく。なお、中間剥離ロール30は、適宜必要に応じて設ければよく、中間剥離ロール30を採用しない第1実施形態のスタッキングロール14の円筒型治具に替えて、金属製の長尺ベルト32を用いてもよい。
As shown in FIG. 4, the third embodiment uses a
第3実施形態によれば、長尺ベルト32の外周長がコーティングロール12の外周長よりも長くなるため、電極回路形成手段22の増設が可能になり、また、乾燥硬化装置26による長尺ベルト32上の乾燥領域を拡張することができる。これにより、長尺ベルト32上に積層されたセラミックシートSの電極回路24の形成速度(乾燥速度も含む)が速くなり、ひいては電子部品の製造速度を高めることができる。
According to the third embodiment, since the outer peripheral length of the
10 積層型電子部品製造装置
12 コーティングロール(成膜基材)
14 スタッキングロール(積層支持体)
16 成膜手段(成膜形成部)
22 電極回路形成手段(電極回路形成部)
24 電極回路
30 中間剥離ロール(中間剥離部)
S セラミックシート
S’ セラミックシートの積層構造体
10 Multilayer Electronic
14 Stacking roll (laminated support)
16 Film forming means (film forming section)
22 Electrode circuit forming means (electrode circuit forming part)
24
S Ceramic sheet S 'Laminate structure of ceramic sheet
Claims (9)
前記成膜基材に対してセラミックスラリーを塗布し、乾燥させてセラミックシートを連続的に形成する成膜形成部と、
前記成膜基材に対して前記セラミックシートを介して接触して前記セラミックシートを前記成膜基材から連続的に剥離させ、前記成膜形成部から連続する前記セラミックシートを外周に巻き付けることにより前記セラミックシートの積層構造体を形成する積層支持体と、
前記積層支持体の外周に巻き付けられた前記セラミックシートに電極回路を形成する電極回路形成部と、
を有することを特徴とする積層型電子部品製造装置。 An endless continuous film-forming substrate having a mold release treatment on the outer periphery;
A deposition forming section a ceramic slurry was applied, dried for continuously forming ceramic sheets with respect to the deposition substrate,
By contacting the film-forming substrate via the ceramic sheet and continuously peeling the ceramic sheet from the film-forming substrate, and winding the ceramic sheet continuous from the film-forming part around the outer periphery A laminated support for forming a laminated structure of the ceramic sheet;
An electrode circuit forming part for forming an electrode circuit on the ceramic sheet wound around the outer periphery of the laminated support;
A multilayer electronic component manufacturing apparatus characterized by comprising:
前記成膜基材に対してセラミックスラリーを塗布し、乾燥させてセラミックシートを連続的に形成する成膜形成部と、
前記成膜形成部から連続する前記セラミックシートを外周に巻き付けることにより、前記セラミックシートの積層構造体を形成する積層支持体と、
前記成膜基材と前記積層支持体とに前記セラミックシートを介して接触するようにして設けられ、前記成膜基材に形成された前記セラミックシートを前記成膜基材から連続的に剥離させ、当該剥離させた前記セラミックシートを前記積層支持体に搬送する中間剥離部と、
前記積層支持体の外周に巻き付けられた前記セラミックシートに電極回路を形成する電極回路形成部と、
を有することを特徴とする積層型電子部品製造装置。 An endless continuous film-forming substrate having a mold release treatment on the outer periphery;
A deposition forming section a ceramic slurry was applied, dried for continuously forming ceramic sheets with respect to the deposition substrate,
A laminated support that forms a laminated structure of the ceramic sheet by wrapping the ceramic sheet continuous from the film forming portion around an outer periphery;
The ceramic sheet formed on the film-forming substrate is continuously peeled from the film-forming substrate, provided in contact with the film-forming substrate and the laminated support through the ceramic sheet. , An intermediate peeling portion for conveying the peeled ceramic sheet to the laminated support,
An electrode circuit forming part for forming an electrode circuit on the ceramic sheet wound around the outer periphery of the laminated support;
A multilayer electronic component manufacturing apparatus characterized by comprising:
前記成膜基材に、新たな前記セラミックシートが形成され続けることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の積層型電子部品製造装置。 When the ceramic sheet is wound around the outer periphery of the laminated support to form a laminated structure of the ceramic sheet,
4. The multilayer electronic component manufacturing apparatus according to claim 1, wherein a new ceramic sheet is continuously formed on the film-forming substrate. 5.
前記成膜基材に対して前記セラミックシートを介して積層支持体を接触させることにより前記セラミックシートを前記成膜基材から連続的に剥離させ、前記成膜形成部から連続する前記セラミックシートを前記積層支持体の外周に巻き付けることにより前記セラミックシートの積層構造体を形成する積層構造体形成工程と、
前記積層支持体に前記セラミックシートを巻き付けながら、電極回路形成部により前記積層支持体上の前記セラミックシートに電極回路を形成する電極回路形成工程と、
を有することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 A film-forming process for continuously forming a ceramic sheet by applying a ceramic slurry to the endless continuous film-forming substrate having a mold release treatment applied to the outer periphery by a film-forming part and drying it;
The ceramic sheet is continuously peeled from the film-forming substrate by bringing a laminated support into contact with the film-forming substrate via the ceramic sheet, and the ceramic sheet continuous from the film-forming part is removed. A laminated structure forming step of forming a laminated structure of the ceramic sheet by winding the outer periphery of the laminated support;
An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit on the ceramic sheet on the laminated support by an electrode circuit forming unit while winding the ceramic sheet around the laminated support;
A method for producing a multilayer electronic component, comprising:
前記成膜形成部から連続する前記セラミックシートを積層支持体の外周に巻き付けることにより、前記セラミックシートの積層構造体を形成する積層構造体形成工程と、
前記成膜形成工程の後でかつ前記積層構造体形成工程の前に実行され、中間剥離部が前記成膜基材に形成された前記セラミックシートを前記成膜基材から連続的に剥離させ、当該剥離した前記セラミックシートを前記中間剥離部によって前記積層支持体に搬送する搬送工程と、
前記積層支持体に前記セラミックシートを巻き付けながら、電極回路形成部により前記積層支持体上の前記セラミックシートに電極回路を形成する電極回路形成工程と、
を有することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 A film forming step of forming a ceramic slurry was applied, dried for continuously forming ceramic sheets by a deposition forming section with respect to mold release treatment is endless continuous shaped deposition substrate which has been subjected to the outer periphery,
A laminated structure forming step of forming a laminated structure of the ceramic sheet by winding the ceramic sheet continuous from the film forming portion around the outer periphery of the laminated support;
Executed after the film formation step and before the laminated structure formation step, the intermediate release portion is continuously peeled from the film formation substrate, the ceramic sheet formed on the film formation substrate, A transporting step of transporting the peeled ceramic sheet to the laminated support by the intermediate peeling part;
An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit on the ceramic sheet on the laminated support by an electrode circuit forming unit while winding the ceramic sheet around the laminated support;
A method for producing a multilayer electronic component, comprising:
前記成膜形成工程では、前記成膜基材に新たな前記セラミックシートが形成され続けることを特徴とする請求項6又は7に記載の積層型電子部品の製造方法。 In the laminated structure forming step, when the ceramic sheet is wound around the outer periphery of the laminated support to form the laminated structure of the ceramic sheet,
The method for manufacturing a multilayer electronic component according to claim 6 or 7, wherein in the film formation step, a new ceramic sheet is continuously formed on the film formation substrate .
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011089624A JP5574118B2 (en) | 2010-05-13 | 2011-04-13 | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method |
TW100116215A TWI486982B (en) | 2010-05-13 | 2011-05-09 | Laminated metal parts manufacturing apparatus and laminated type electronic parts manufacturing method |
CN201110128698.1A CN102315019B (en) | 2010-05-13 | 2011-05-11 | Apparatus and method for manufacturing laminated electronic component |
KR1020110045316A KR101152214B1 (en) | 2010-05-13 | 2011-05-13 | Apparatus and method for manufacturing laminated electronic component |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010111201 | 2010-05-13 | ||
JP2010111201 | 2010-05-13 | ||
JP2011089624A JP5574118B2 (en) | 2010-05-13 | 2011-04-13 | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011258928A JP2011258928A (en) | 2011-12-22 |
JP5574118B2 true JP5574118B2 (en) | 2014-08-20 |
Family
ID=45474726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011089624A Active JP5574118B2 (en) | 2010-05-13 | 2011-04-13 | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5574118B2 (en) |
TW (1) | TWI486982B (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014141394A (en) | 2012-12-26 | 2014-08-07 | Murata Mfg Co Ltd | Ceramic green sheet and method for manufacturing the same |
JP5796610B2 (en) | 2013-08-14 | 2015-10-21 | 株式会社村田製作所 | Ceramic laminate manufacturing apparatus and manufacturing method thereof |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0669066A (en) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | Tdk Corp | Manufacture of ceramic electronic component |
JP2000306766A (en) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Teijin Ltd | Laminate production process for multilayer electronic component |
JP2002170737A (en) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Uht Corp | Ceramic laminate manufacturing device |
JP2002141245A (en) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Tdk Corp | Method and apparatus for manufacturing ceramic electronic component |
JP3948288B2 (en) * | 2002-01-21 | 2007-07-25 | 松下電器産業株式会社 | Laminate manufacturing equipment for multilayer electronic components |
JP4415554B2 (en) * | 2003-03-26 | 2010-02-17 | 株式会社村田製作所 | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component |
JP2007027605A (en) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for manufacturing stacked electronic component, and device thereof |
JP5267260B2 (en) * | 2008-08-08 | 2013-08-21 | 株式会社村田製作所 | Multilayer ceramic electronic component manufacturing apparatus and method |
-
2011
- 2011-04-13 JP JP2011089624A patent/JP5574118B2/en active Active
- 2011-05-09 TW TW100116215A patent/TWI486982B/en active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011258928A (en) | 2011-12-22 |
TWI486982B (en) | 2015-06-01 |
TW201232578A (en) | 2012-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101248496B1 (en) | Apparatus and method for manufacturing laminated electronic component | |
JP5574118B2 (en) | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method | |
JP5574119B2 (en) | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method | |
KR101614750B1 (en) | Apparatus for manufacturing ceramic laminate and method for manufacturing the same | |
CN102315021B (en) | Laminated type electronic component manufacturing device and laminated type electronic component manufacturing method | |
KR101152214B1 (en) | Apparatus and method for manufacturing laminated electronic component | |
JP5516996B2 (en) | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method | |
KR101248498B1 (en) | Apparatus and method for manufacturing laminated electronic component | |
JP5585784B2 (en) | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method | |
KR101152765B1 (en) | Apparatus and method for manufacturing laminated electronic component | |
KR100986272B1 (en) | Method of blanket sheet coated with multiple silicon layer | |
JP5585781B2 (en) | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method | |
JP5440807B2 (en) | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method | |
JP2002141245A (en) | Method and apparatus for manufacturing ceramic electronic component | |
JP5413301B2 (en) | Multilayer electronic component manufacturing apparatus and multilayer electronic component manufacturing method | |
JPH11186093A (en) | Manufacture of stacked ceramic electronic component | |
JP4763475B2 (en) | Manufacturing equipment for ceramic electronic components | |
JP2005183429A (en) | Method and apparatus for manufacturing laminated body of laminated electronic component |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20130305 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20131120 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131231 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140604 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140617 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5574118 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |