JP2007027605A - Method for manufacturing stacked electronic component, and device thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、内部構成体を積層して各種の電子部品を形成する積層体を構成する積層型電子部品の製造方法およびその装置に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer electronic component and a device therefor which constitute a multilayer body in which internal components are stacked to form various electronic components.
従来、積層型電子部品を製造する方法としては、所定のグリーンシートが用意され、これらのグリーンシートを必要数積層することで、シート積層体が製造される。積層されるグリーンシートの面には、必要とする積層型電子部品の機能に応じて適切な材質による内部構成体が形成されるのであり、内部構成体はその形成素材を所定のパターンで直接グリーンシートへのスクリーン印刷や、あるいは真空蒸着法によって形成される。 Conventionally, as a method of manufacturing a multilayer electronic component, a predetermined green sheet is prepared, and a sheet laminate is manufactured by stacking a necessary number of these green sheets. On the surface of the green sheet to be laminated, an internal structure made of an appropriate material is formed according to the required function of the multilayer electronic component, and the internal structure is directly green with a predetermined pattern. It is formed by screen printing on a sheet or vacuum deposition.
そして、シート積層体は個々のチップ型積層型電子部品を得るために、所定形状に切断分割され、それらは所定温度で焼成され、必要に応じ外部電極などがチップの表面あるいは端部に形成される。 The sheet laminate is cut and divided into predetermined shapes to obtain individual chip-type multilayer electronic components, which are fired at a predetermined temperature, and external electrodes are formed on the surface or end of the chip as necessary. The
このような積層型電子部品において、内部構成体をグリーンシートの面に形成する方法として、所定のパターンで直接グリーンシートの面にスクリーン印刷や凹版オフセット印刷して形成する方法や、あるいは真空蒸着法によって内部構成体を搬送フィルムの面上で形成し、グリーンシートの面上に内部構成体をパターン状に押圧して転写する方法、さらに搬送フィルムの面上にパターン上の剥離層を形成し、その上から電極を形成する方法などが知られている。 In such a multilayer electronic component, as a method of forming the internal structure on the surface of the green sheet, a method of forming a predetermined pattern directly on the surface of the green sheet by screen printing or intaglio offset printing, or a vacuum deposition method The internal structure is formed on the surface of the transport film by the method of transferring the internal structure in a pattern on the surface of the green sheet, and further, a release layer on the pattern is formed on the surface of the transport film, A method of forming an electrode from the top is known.
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
しかしながら、前記従来のグリーンシートの面上にスクリーン印刷や凹版オフセット印刷で直接印刷する方法では、内部構成体の厚みが厚く、積層数が多くなると内部構成体が形成されていない部分に十分な圧力が印加されず、各シート間の接着が弱くなり、チップ形状積層型電子部品の構造欠陥の原因となっている。 However, in the method of printing directly on the surface of the conventional green sheet by screen printing or intaglio offset printing, the thickness of the internal structure is large, and when the number of layers increases, sufficient pressure is applied to the portion where the internal structure is not formed. Is not applied, the adhesion between the sheets is weakened, causing a structural defect of the chip-shaped multilayer electronic component.
また、グリーンシートに内部構成体を転写する方法では、内部構成体の厚みが薄く、剥離層をパターンニングしているため転写性も良くなっているといえるが、剥離層がパターンニングされているために、シートを1枚1枚パターン毎に切断して積層する必要があるのであり、このため製品すなわち積層型電子部品製作における積層工程の時間が増大し、コスト高、および長納期品になるという課題を有していた。 Also, in the method of transferring the internal structure to the green sheet, the internal structure is thin and the release layer is patterned, so that the transferability is improved, but the release layer is patterned. For this reason, it is necessary to cut and stack sheets one by one for each pattern, which increases the time for the stacking process in manufacturing a product, that is, a multilayer electronic component, resulting in high cost and long delivery time. It had the problem that.
本発明は前記従来の課題を解決しようとするものであり、シート間の接着が十分で、低コストかつ短納期であり、今後薄層化や高積層化が必要とされる積層型電子部品の積層方法に対し、1枚1枚積層していくバッチ処理ではなく、薄膜化された内部構成体を使用する連続積層方法である積層型電子部品の製造方法およびその装置を提供する事を目的とするものである。 The present invention is intended to solve the above-mentioned conventional problems, and is a multilayer electronic component that has sufficient adhesion between sheets, is low in cost and has a short delivery time, and needs to be thinned and highly laminated in the future. An object of the present invention is to provide a manufacturing method and an apparatus for a multilayer electronic component which is a continuous lamination method using a thinned internal structure rather than a batch process of laminating one sheet at a time. To do.
前記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。 In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.
本発明の請求項1に記載の発明は、特に、グリーンシートを連続して巻出し、その巻出したグリーンシートに接着剤を塗布し、接着剤を塗布したグリーンシートをドラム状の回転体の外円周に巻付け、前記の巻付けられたグリーンシートの片面に接着剤をパターンニングして転写し、連続して供給される搬送フィルムの片面に形成された内部構成体をパターン状にて分離してグリーンシートに転写して前記接着剤にて接着し、内部構成体を形成した前記グリーンシートの積層を連続して行うという構成を有しており、これにより、所定パターン形状による接着剤を、また同じく内部構成体をグリーンシートに連続して転写でき、薄層の内部構成体を連続積層することができるという作用効果を有する。 The invention according to the first aspect of the present invention is such that the green sheet is unwound continuously, an adhesive is applied to the unwound green sheet, and the green sheet coated with the adhesive is used as a drum-shaped rotating body. Winding around the outer circumference, patterning and transferring the adhesive on one side of the wound green sheet, the internal structure formed on one side of the transport film continuously supplied in a pattern Separately, transferred to a green sheet and bonded with the adhesive, and the green sheet having an internal structure formed thereon is continuously laminated. Similarly, the internal structure can be continuously transferred to the green sheet, and the thin internal structure can be continuously laminated.
本発明の請求項2に記載の発明は、特に、グリーンシートを供出するための巻径検知用センサーを有するシート供給部、前記グリーンシートに接着剤を塗布する接着剤塗布部、前記接着剤が塗布されたグリーンシートを外円周に配設されたパレットの面上に巻付け載置するドラム状の回転体である回転ドラム、前記グリーンシートを前記回転ドラムにおけるパレットの所定箇所に押圧し密着させる押圧ローラ、凹版およびオフセットロールを有し前記回転ドラムと同期回転あるいは差動機構により独立回転自在でグリーンシートの表面に接着剤を塗布する凹版オフセット印刷部、巻出ロールより連続して供給される搬送フィルムの片面に形成された内部構成体を分離し、前記グリーンシートに転写するための押圧を行う押さえローラ、前記グリーンシートに印刷あるいは転写された接着剤あるいは内部構成体を乾燥させる乾燥機構で構成してなるという構成を有しており、これにより、簡単な構成で、所定パターン形状による接着剤を、また同じく内部構成体をグリーンシートに連続して転写でき、薄層の内部構成体を連続積層することができるという作用効果を有する。
The invention according to
本発明の請求項3に記載の発明は、特に、連続して積層体を製作するため、巻径検知用センサーの検出出力により巻出速度が制御されるシートロールを有し、ロール状のグリーンシートを連続的に巻出す機構のシート供給部としてなるという構成を有しており、これにより、グリーンシートの供給を最適に制御でき、連続かつ均一に回転ドラムの外円周面にグリーンシートを供給することができるという作用効果を有する。 The invention according to claim 3 of the present invention has a sheet roll in which the unwinding speed is controlled by the detection output of the winding diameter detection sensor, in particular, in order to produce a laminated body continuously. It has a configuration that serves as a sheet supply unit of a mechanism for continuously unwinding the sheet, thereby enabling optimum control of the supply of the green sheet, so that the green sheet is continuously and uniformly distributed on the outer circumferential surface of the rotating drum. It has the effect of being able to supply.
本発明の請求項4に記載の発明は、特に、連続して積層するため、ドラム状の回転体とその回転体と同期するパターンの版を有し、前記回転体の回転によりその回転体における同じ位置に前記パターンを形成する機構を有するという構成を有しており、これにより、連続かつ確実に必要所定箇所に、所定パターンの接着剤を塗布し形成することができるという作用効果を有する。 The invention according to claim 4 of the present invention has a drum-like rotating body and a plate having a pattern synchronized with the rotating body in order to continuously laminate, and in the rotating body by the rotation of the rotating body. It has a configuration in which a mechanism for forming the pattern is formed at the same position, thereby having an effect of being able to apply and form a predetermined pattern of adhesive in a predetermined predetermined place continuously and reliably.
本発明の請求項5に記載の発明は、特に、グリーンシートの片面上に、内部構成体を転写させるためのパターンニングされた接着剤を塗布する機構を有してなるという構成を有しており、これにより、連続かつ確実に必要所定箇所に、パターン化された接着剤を塗布し形成することができるという作用効果を有する。 The invention according to claim 5 of the present invention has a configuration in which a mechanism for applying a patterned adhesive for transferring the internal structure is provided on one side of the green sheet. Thus, there is an effect that a patterned adhesive can be applied and formed in a predetermined predetermined place continuously and reliably.
本発明の請求項6に記載の発明は、特に、積層における内部構成体のずれを補正するため、光学系による検出認識機構とアライメント機構による補正部を設けてなるという構成を有しており、これにより、内部構成体の形成や状況を確認でき、先すなわち前積層における内部構成体の位置との相違を演算し、次積層の内部構成体の位置を調整あるいは補正することができるという作用効果を有する。
The invention according to
本発明の積層型電子部品の製造方法およびその装置は、グリーンシートを連続して巻出し、巻出したグリーンシートに接着剤を塗布し、接着剤を塗布したグリーンシートをドラム状の回転体に巻付け、前記の巻付けられたグリーンシートの片面に接着剤をパターンニングして転写し、連続して供給される搬送フィルムの片面に形成された内部構成体を、パターン状にて分離してグリーンシートに転写し前記接着剤により接着して内部構成体を形成した前記グリーンシートの積層を連続して行う構成であり、薄層の内部構成体のシートが使用でき、内部構成体をパターンニングしないことにより、形成部材の連続供給が可能で、薄層シートの連続積層を可能とし、積層工程の時間短縮が図れるという効果を有する。 The method and apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention includes a green sheet continuously unwound, an adhesive applied to the unwound green sheet, and the green sheet coated with the adhesive applied to a drum-shaped rotating body. Winding, patterning and transferring the adhesive on one side of the wound green sheet, separating the internal components formed on one side of the continuously supplied transport film in a pattern The green sheet is transferred to a green sheet and bonded with the adhesive to form an internal structure. The green sheet is continuously laminated. A thin internal sheet can be used, and the internal structure is patterned. By not doing so, it is possible to continuously supply the forming member, to enable continuous lamination of the thin sheet, and to shorten the time of the lamination process.
以下、実施の形態を用いて、本発明の特に請求項1〜6に記載の発明について図面を参照しながら説明する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1(a)、図1(b)は、本発明の実施の形態における積層型電子部品の製造装置の要部概要構成正面および側面図である。 FIGS. 1A and 1B are a front view and a side view, respectively, of a schematic configuration of a main part of a multilayer electronic component manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
図1において、各種の積層型電子部品を製造するための製造装置1は、グリーンシート8を巻きつけたシートロール2からなるシート供給部を有しており、シート供給部にはシートロール2の直径(外円周径)を計測すなわち巻径検知用のセンサーを取付け、そのセンサーの計測出力によりグリーンシート8の巻出し速度を制御あるいは変更することが出来るのであり、またシート供給部は巻出し速度を適宜変更し、最適となる速度で接着剤塗布部3にグリーンシート8を供給するのである。
In FIG. 1, a
接着剤塗布部3はシート供給部から供給されるグリーンシート8の片面あるいは両面に対し、接着剤の塗布を行うユニットであり、スプレー方式やローラ塗工方式などの方法で接着剤を所定箇所に連続して塗布し、回転ドラム4の外円周面に接着剤の塗布されたグリーンシート8を押圧ロール6に沿わせて供給する。
The adhesive application unit 3 is a unit that applies an adhesive to one or both sides of the
押圧ロール6は、回転ドラム4における外円周面のグリーンシート8に対して積層されたグリーンシート8の各層間の密着性が高められるような構成および配置がなされている。
The
回転ドラム4の外円周面には、その円周を等分割した円弧状で複数のパレット11が、等間隔で配設されており、各パレット11は回転ドラム4の外円周面に着脱自在となっている。
On the outer circumferential surface of the rotating drum 4, a plurality of
また、各パレット11の相互間には切断刃が入る複数の溝10を設けており、パレット11の上面のシート積層体12を、パレット11の単位毎で分離取出すことを可能としている。
Further, a plurality of
凹版オフセット印刷部の凹版5a、オフセットロール5bは、矢印(ウ)、矢印(エ)で示す方向に回転駆動することにより、凹版5aの外円周面の接着剤をオフセットロール5bの外円周面に転写する。その転写された接着剤は、さらに回転ドラム4の外円周面におけるシート積層体12の所定箇所にさらに転写される。
The
なお、硬質弾性体でなるスキージ5cの先端を、凹版5aの外円周面に所定間隔で配設することにより、凹版5aの外円周面における余分な接着剤をかきとることができるのである。
By disposing the tip of the squeegee 5c made of a hard elastic body on the outer circumferential surface of the
凹版オフセット印刷部における凹版5a、オフセットロール5bおよび回転ドラム4は、同じメインの駆動軸により回転駆動されるために同期回転を行うことができ、また、凹版オフセット印刷部は、凹版5aとオフセットロール5bのみを駆動させる駆動軸を有しており、この駆動軸を用いて回転駆動する事により回転ドラム4と凹版オフセット印刷部の回転方向の位置をずらすことができるのであり、その機構すなわち差動機構20は、図1(b)に示す構成および位置に配設されている。
Since the
メインの駆動軸による凹版オフセット印刷部の凹版5aの回転数と回転ドラム4の回転数との比率は、例えば8:1といったように、転写あるいは印刷に最適な一定の比率に設定されている。
The ratio of the rotational speed of the
印刷上下機構は、凹版オフセット印刷部を筐体9に対して上下移動させることを可能とするものであり、筐体9に対して取付けられた印刷上下ガイド7bにより規制しガイドされ、印刷ユニット取付板7cと一体で印刷上下モータ7aにより駆動することができる。
The printing up / down mechanism allows the intaglio offset printing section to move up and down relative to the
シート積層体12は、グリーンシート8を積層する毎に高さすなわち積層厚みが増加し、その結果回転ドラム4の直径(外円周径)を増加させるため、それに合わせて印刷上下機構で凹版オフセット印刷部を上昇させて、接着剤塗布位置すなわち内部構成体15の位置を最適の箇所に合わせることが出来る。
Each time the
また、内部構成体15自体は、搬送フィルム19の片面(あるいは両面)に形成されて巻出ロール16にセットされており、巻出ロール16は巻出し速度を回転ドラム4の直径(外円周径)に合わせて変更することが可能であり、搬送フィルム19を矢印(オ)の方向に送出する。
The
押さえロール18はシリコンゴムなどの耐熱性の弾性体であり、ヒータまたは遠赤外線で加熱されており、また押さえロール18はエアーシリンダーなどの駆動で搬送フィルム19をシート積層体12の所定面に押圧することができ、回転ドラム4の直径(外円周径)の増加に対しても追従する構成となっている。
The
巻取りロール17は、内部構成体15がグリーンシート8に転写されて内部構成体15が無くなった搬送フィルム19を巻取るものであり、巻取りロール17の位置は回転ドラム4の直径(外円周径)の増加に対して、追従して支障の無い位置に移動することができる。
The winding
回転ドラム4の中心方向に向かって、形状や構成を認識するセンサーなどによる検出認識機構14が設置されており、NC駆動によって回転ドラム4における積層体の厚みの変化に合わせて検出認識機構14を移動させ、回転ドラム4の外円周面の内部構成体15を常に検出して認識し、アライメント機構である差動機構とでなる補正部により調整や修正などの補正をすることができる認識補正工程を有している。
A
なお、検出認識機構14の例としてCCDカメラなどの光学系の画像入力機構と汎用の認識装置(ユニット)を組み合せることも可能である。
As an example of the detection /
回転ドラム4の外円周の近傍には、転写あるいは印刷された内部構成体15を乾燥させる乾燥工程のための乾燥機構13を配設している。この乾燥工程における乾燥機構13は運転中に風量、温度などの設定変更が可能であり、各使用素材や機能に対して最適とする積層体を形成できるのである。
In the vicinity of the outer circumference of the rotating drum 4, a
次に前記の構成による製造装置1を用いた本発明のグリーンシートの積層方法について図面を参照しながら説明する。
Next, a method for laminating the green sheets of the present invention using the
グリーンシート8の両面には何らの内部構成体15、すなわち積層コンデンサであれば、電極や誘電体などの要素(素体材)は印刷されていないのであり、積層準備として回転ドラム4におけるパレット11の上面には、1層目のグリーンシート8が回転ドラム4の外円周面におけるパレット11に密着するように接着シートをあらかじめ貼付しておく。
On the both sides of the
そしてシート供給部から供出されたグリーンシート8の先端部は、接着剤塗布部3を通過して押圧ローラ6に沿わせて回転ドラム4の外円周面に固定(固着)しておく。
The tip of the
積層開始時にはシートロール2の直径(外円周径)をセンサーで計測しながら、シート供給部のシートロール2から矢印(ア)で示す方向に、巻出し速度を最適となるように切替え設定されて引き出された後、接着剤塗布部3で接着剤をグリーンシート8の片面に塗布され、押圧ローラ6により回転ドラム4の外円周面に沿って供給される。こうして回転ドラム4の外円周面、すなわち各パレット11にグリーンシート8のシート積層体12の1層目が形成される。
At the start of lamination, the diameter (outer circumferential diameter) of the
なお、回転ドラム4は矢印(イ)で示す方向に回転してグリーンシート8を巻きつけるのであり、回転ドラム4の外円周面でのグリーンシート8の層数が増すに従って、グリーンシート8の周面における直径すなわち回転ドラム4の外円周径が大きくなるが、印刷上下機構の印刷上下モータ7aを用いて回転ドラム4とオフセットロール5bの印圧量を一定に保つように凹版オフセット印刷部の上昇あるいは下降を行い、最適な条件状態で接着剤をグリーンシート8の所定箇所に転写する。
The rotating drum 4 rotates in the direction indicated by the arrow (A) and winds the
次に図2を用いて凹版オフセット印刷部の接着剤の操作(動作)について説明する。図2(a)は製造装置の凹版とオフセットロールの要部概要正面図、図2(b)は同矢視Aの部分における接着剤塗布前の平面図、図2(c)は同製造装置の凹版とオフセットロールが回転した要部概要正面図、図2(d)は同矢視Bの部分における接着剤塗布後の平面図である。 Next, the operation (operation) of the adhesive in the intaglio offset printing unit will be described with reference to FIG. 2A is a schematic front view of the main parts of the intaglio and offset roll of the manufacturing apparatus, FIG. 2B is a plan view before application of the adhesive at the portion indicated by arrow A, and FIG. 2C is the manufacturing apparatus. FIG. 2D is a plan view after application of the adhesive in the portion indicated by the arrow B. FIG.
図2(a)において、スキージ5cは凹版5aの回転中に所定間隔で接近し、供給された接着剤21のパターンからはみ出た余分の接着剤21をかきとるのであり、矢視Aの部分にはまだ接着剤21は塗布されていない。
In FIG. 2 (a), the squeegee 5c approaches at a predetermined interval during the rotation of the
次に図2(c)に示すように、凹版5a、オフセットロール5bが同期して回転することで、矢視Aの接着剤が塗布されていない部分には、矢視Bのように接着剤21が所定のパターン状にて転写される。さらにオフセットロール5b、回転ドラム4が回転することにより、オフセットロール5bに転写された接着剤21は、回転ドラム4の外円周面におけるグリーンシート8の面上に転写されるのである。
Next, as shown in FIG. 2 (c), the
次に、例えば積層コンデンサにおける電極や誘電体などの要素(素体材)でなる内部構成体15の供給について図3を用いて説明する。内部構成体15は図3(a)に示すように、搬送フィルム19の片面上に薄膜の状態で、搬送フィルム19と内部構成体15の分離や離脱を確実にするための剥離層22を介して形成されている。
Next, the supply of the
前記の内部構成体15は搬送フィルム19の片面上に形成され、ロール状に巻取られ、巻出ロール16にセットされている。
The
本製造装置1の運転開始前に巻出ロール16から搬送フィルム19を、図3(b)に示すように矢印(オ)の方向に引き出して、押さえロール18を経由してから巻取りロール17に搬送フィルム19の先端部を、貼り付けなどにより固定あるいは固着しておく。
Before starting the operation of the
セットされた搬送フィルム19は、押さえロール18によってグリーンシート8に押圧されるのであり、その際、グリーンシート8には凹版オフセット印刷部にて所定のパターン状の接着剤21がすでに塗布されている。
The
押さえロール18によって押圧された搬送フィルム19の片面上における内部構成体15は、グリーンシート8の片面上に塗布された接着剤21のため、搬送フィルム19から所定のパターン状にて分離(剥離)して転写される。
The
転写された内部構成体15は検出認識機構14により検出し認識される。前回(先の)積層時の内部構成体15の位置と今回の内部構成体15の位置とを比較し、その位置の差(相違)を差動機構にフィードバックする。補正部を構成する差動機構すなわちアライメント機構により、凹版5aとオフセットロール5bとを回転ドラム4とは別の駆動により回転駆動による補正を行うことができるのであり、この機能を用いて位置の差分(相違)を回転補正させて、次の接着剤21を塗布する位置を調整あるいは修正などの補正を行い設定する。
The transferred
転写された内部構成体15の接着剤21や接着剤塗布部で塗布された接着剤を、乾燥機構13において所定条件状態で乾燥させ、その乾燥済みのシート積層体12の片面上に、次のグリーンシート8が積層される。以上の積層工程を連続で行って、必要とする積層体を製作するのである。
The adhesive 21 applied to the transferred
本発明にかかる積層型電子部品の製造方法およびその装置は、薄層の内部構成体を用いることができ、従来に比べて製造工程の時間を短縮できるという効果を有し、膜形成装置や各種の小型電子部品の製造装置などの用途として有用である。 The method and apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention can use a thin-layer internal structure, and has the effect of shortening the manufacturing process time compared to the prior art. This is useful as a device for manufacturing small electronic components.
1 製造装置
2 シートロール
3 接着剤塗布部
4 回転ドラム
5a 凹版
5b オフセットロール
5c スキージ
6 押圧ロール
7a 印刷上下モータ
7b 印刷上下ガイド
7c 印刷ユニット取付板
8 グリーンシート
9 筐体
10 溝
11 パレット
12 シート積層体
13 乾燥機構
14 検出認識機構
15 内部構成体
16 巻出ロール
17 巻取りロール
18 押さえロール
19 搬送フィルム
20 差動機構
21 接着剤
22 剥離層
(ア) グリーンシートのシート供給方向
(イ) 回転ドラムの回転方向
(ウ) 凹版の回転方向
(エ) オフセットロールの回転方向
(オ) 搬送フィルム巻出し方向
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JP2011258928A (en) * | 2010-05-13 | 2011-12-22 | Murata Mfg Co Ltd | Laminated electronic component manufacturing device and method for manufacturing laminated electronic components |
KR101152214B1 (en) | 2010-05-13 | 2012-06-08 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | Apparatus and method for manufacturing laminated electronic component |
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