JP2007027605A - Method for manufacturing stacked electronic component, and device thereof - Google Patents

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信也 前波
Toru Inoue
透 井上
Katsuhito Toshikura
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a stacked electronic component capable of shortening time for a stacking process and using a thinned internal structure as a continuously stacking method, and to provide its device. <P>SOLUTION: The manufacturing device of the stacked electronic component is provided with a sheet feeder for supplying green sheets 8, an adhesive applier 3 for applying an adhesive to the green sheets 8, a rotary drum 4 for mounting and stacking the green sheets 8, an adhesive transfer for transferring the adhesive onto the green sheet 8 on the surface of the rotary drum 4, an unwinding roll 16 for feeding the internal structure 15 formed on a conveyance film 19, a detecting and recognizing mechanism 14 for detecting and recognizing the transferred internal structure 15, and a drying mechanism 13 for drying the transferred internal structure 15. The adhesive is transferred with the green sheet 8 on the surface of the rotary drum 4 patterned, and the internal structure 15 on the surface of the conveyance film 19 is similarly separated (exfoliated) and transferred for continuously stacking. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、内部構成体を積層して各種の電子部品を形成する積層体を構成する積層型電子部品の製造方法およびその装置に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer electronic component and a device therefor which constitute a multilayer body in which internal components are stacked to form various electronic components.

従来、積層型電子部品を製造する方法としては、所定のグリーンシートが用意され、これらのグリーンシートを必要数積層することで、シート積層体が製造される。積層されるグリーンシートの面には、必要とする積層型電子部品の機能に応じて適切な材質による内部構成体が形成されるのであり、内部構成体はその形成素材を所定のパターンで直接グリーンシートへのスクリーン印刷や、あるいは真空蒸着法によって形成される。   Conventionally, as a method of manufacturing a multilayer electronic component, a predetermined green sheet is prepared, and a sheet laminate is manufactured by stacking a necessary number of these green sheets. On the surface of the green sheet to be laminated, an internal structure made of an appropriate material is formed according to the required function of the multilayer electronic component, and the internal structure is directly green with a predetermined pattern. It is formed by screen printing on a sheet or vacuum deposition.

そして、シート積層体は個々のチップ型積層型電子部品を得るために、所定形状に切断分割され、それらは所定温度で焼成され、必要に応じ外部電極などがチップの表面あるいは端部に形成される。   The sheet laminate is cut and divided into predetermined shapes to obtain individual chip-type multilayer electronic components, which are fired at a predetermined temperature, and external electrodes are formed on the surface or end of the chip as necessary. The

このような積層型電子部品において、内部構成体をグリーンシートの面に形成する方法として、所定のパターンで直接グリーンシートの面にスクリーン印刷や凹版オフセット印刷して形成する方法や、あるいは真空蒸着法によって内部構成体を搬送フィルムの面上で形成し、グリーンシートの面上に内部構成体をパターン状に押圧して転写する方法、さらに搬送フィルムの面上にパターン上の剥離層を形成し、その上から電極を形成する方法などが知られている。   In such a multilayer electronic component, as a method of forming the internal structure on the surface of the green sheet, a method of forming a predetermined pattern directly on the surface of the green sheet by screen printing or intaglio offset printing, or a vacuum deposition method The internal structure is formed on the surface of the transport film by the method of transferring the internal structure in a pattern on the surface of the green sheet, and further, a release layer on the pattern is formed on the surface of the transport film, A method of forming an electrode from the top is known.

なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2003−86454号公報
As prior art document information relating to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
JP 2003-86454 A

しかしながら、前記従来のグリーンシートの面上にスクリーン印刷や凹版オフセット印刷で直接印刷する方法では、内部構成体の厚みが厚く、積層数が多くなると内部構成体が形成されていない部分に十分な圧力が印加されず、各シート間の接着が弱くなり、チップ形状積層型電子部品の構造欠陥の原因となっている。   However, in the method of printing directly on the surface of the conventional green sheet by screen printing or intaglio offset printing, the thickness of the internal structure is large, and when the number of layers increases, sufficient pressure is applied to the portion where the internal structure is not formed. Is not applied, the adhesion between the sheets is weakened, causing a structural defect of the chip-shaped multilayer electronic component.

また、グリーンシートに内部構成体を転写する方法では、内部構成体の厚みが薄く、剥離層をパターンニングしているため転写性も良くなっているといえるが、剥離層がパターンニングされているために、シートを1枚1枚パターン毎に切断して積層する必要があるのであり、このため製品すなわち積層型電子部品製作における積層工程の時間が増大し、コスト高、および長納期品になるという課題を有していた。   Also, in the method of transferring the internal structure to the green sheet, the internal structure is thin and the release layer is patterned, so that the transferability is improved, but the release layer is patterned. For this reason, it is necessary to cut and stack sheets one by one for each pattern, which increases the time for the stacking process in manufacturing a product, that is, a multilayer electronic component, resulting in high cost and long delivery time. It had the problem that.

本発明は前記従来の課題を解決しようとするものであり、シート間の接着が十分で、低コストかつ短納期であり、今後薄層化や高積層化が必要とされる積層型電子部品の積層方法に対し、1枚1枚積層していくバッチ処理ではなく、薄膜化された内部構成体を使用する連続積層方法である積層型電子部品の製造方法およびその装置を提供する事を目的とするものである。   The present invention is intended to solve the above-mentioned conventional problems, and is a multilayer electronic component that has sufficient adhesion between sheets, is low in cost and has a short delivery time, and needs to be thinned and highly laminated in the future. An object of the present invention is to provide a manufacturing method and an apparatus for a multilayer electronic component which is a continuous lamination method using a thinned internal structure rather than a batch process of laminating one sheet at a time. To do.

前記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。   In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

本発明の請求項1に記載の発明は、特に、グリーンシートを連続して巻出し、その巻出したグリーンシートに接着剤を塗布し、接着剤を塗布したグリーンシートをドラム状の回転体の外円周に巻付け、前記の巻付けられたグリーンシートの片面に接着剤をパターンニングして転写し、連続して供給される搬送フィルムの片面に形成された内部構成体をパターン状にて分離してグリーンシートに転写して前記接着剤にて接着し、内部構成体を形成した前記グリーンシートの積層を連続して行うという構成を有しており、これにより、所定パターン形状による接着剤を、また同じく内部構成体をグリーンシートに連続して転写でき、薄層の内部構成体を連続積層することができるという作用効果を有する。   The invention according to the first aspect of the present invention is such that the green sheet is unwound continuously, an adhesive is applied to the unwound green sheet, and the green sheet coated with the adhesive is used as a drum-shaped rotating body. Winding around the outer circumference, patterning and transferring the adhesive on one side of the wound green sheet, the internal structure formed on one side of the transport film continuously supplied in a pattern Separately, transferred to a green sheet and bonded with the adhesive, and the green sheet having an internal structure formed thereon is continuously laminated. Similarly, the internal structure can be continuously transferred to the green sheet, and the thin internal structure can be continuously laminated.

本発明の請求項2に記載の発明は、特に、グリーンシートを供出するための巻径検知用センサーを有するシート供給部、前記グリーンシートに接着剤を塗布する接着剤塗布部、前記接着剤が塗布されたグリーンシートを外円周に配設されたパレットの面上に巻付け載置するドラム状の回転体である回転ドラム、前記グリーンシートを前記回転ドラムにおけるパレットの所定箇所に押圧し密着させる押圧ローラ、凹版およびオフセットロールを有し前記回転ドラムと同期回転あるいは差動機構により独立回転自在でグリーンシートの表面に接着剤を塗布する凹版オフセット印刷部、巻出ロールより連続して供給される搬送フィルムの片面に形成された内部構成体を分離し、前記グリーンシートに転写するための押圧を行う押さえローラ、前記グリーンシートに印刷あるいは転写された接着剤あるいは内部構成体を乾燥させる乾燥機構で構成してなるという構成を有しており、これにより、簡単な構成で、所定パターン形状による接着剤を、また同じく内部構成体をグリーンシートに連続して転写でき、薄層の内部構成体を連続積層することができるという作用効果を有する。   The invention according to claim 2 of the present invention particularly includes a sheet supply unit having a winding diameter detection sensor for supplying a green sheet, an adhesive application unit for applying an adhesive to the green sheet, and the adhesive. A rotating drum, which is a drum-like rotating body for winding and placing the coated green sheet on the surface of a pallet arranged on the outer circumference, and presses the green sheet against a predetermined position of the pallet in the rotating drum. An intaglio offset printing section that has a pressing roller, an intaglio, and an offset roll to rotate and can be rotated independently of the rotating drum by a synchronous mechanism or a differential mechanism, and an adhesive is applied to the surface of the green sheet. A pressing roller for separating the internal structure formed on one side of the transport film and transferring it to the green sheet; The adhesive is printed or transferred to the adhesive sheet or the drying mechanism that dries the internal components. The structure can be transferred continuously to the green sheet, and the thin internal structure can be continuously laminated.

本発明の請求項3に記載の発明は、特に、連続して積層体を製作するため、巻径検知用センサーの検出出力により巻出速度が制御されるシートロールを有し、ロール状のグリーンシートを連続的に巻出す機構のシート供給部としてなるという構成を有しており、これにより、グリーンシートの供給を最適に制御でき、連続かつ均一に回転ドラムの外円周面にグリーンシートを供給することができるという作用効果を有する。   The invention according to claim 3 of the present invention has a sheet roll in which the unwinding speed is controlled by the detection output of the winding diameter detection sensor, in particular, in order to produce a laminated body continuously. It has a configuration that serves as a sheet supply unit of a mechanism for continuously unwinding the sheet, thereby enabling optimum control of the supply of the green sheet, so that the green sheet is continuously and uniformly distributed on the outer circumferential surface of the rotating drum. It has the effect of being able to supply.

本発明の請求項4に記載の発明は、特に、連続して積層するため、ドラム状の回転体とその回転体と同期するパターンの版を有し、前記回転体の回転によりその回転体における同じ位置に前記パターンを形成する機構を有するという構成を有しており、これにより、連続かつ確実に必要所定箇所に、所定パターンの接着剤を塗布し形成することができるという作用効果を有する。   The invention according to claim 4 of the present invention has a drum-like rotating body and a plate having a pattern synchronized with the rotating body in order to continuously laminate, and in the rotating body by the rotation of the rotating body. It has a configuration in which a mechanism for forming the pattern is formed at the same position, thereby having an effect of being able to apply and form a predetermined pattern of adhesive in a predetermined predetermined place continuously and reliably.

本発明の請求項5に記載の発明は、特に、グリーンシートの片面上に、内部構成体を転写させるためのパターンニングされた接着剤を塗布する機構を有してなるという構成を有しており、これにより、連続かつ確実に必要所定箇所に、パターン化された接着剤を塗布し形成することができるという作用効果を有する。   The invention according to claim 5 of the present invention has a configuration in which a mechanism for applying a patterned adhesive for transferring the internal structure is provided on one side of the green sheet. Thus, there is an effect that a patterned adhesive can be applied and formed in a predetermined predetermined place continuously and reliably.

本発明の請求項6に記載の発明は、特に、積層における内部構成体のずれを補正するため、光学系による検出認識機構とアライメント機構による補正部を設けてなるという構成を有しており、これにより、内部構成体の形成や状況を確認でき、先すなわち前積層における内部構成体の位置との相違を演算し、次積層の内部構成体の位置を調整あるいは補正することができるという作用効果を有する。   The invention according to claim 6 of the present invention has a configuration in which a detection recognition mechanism using an optical system and a correction unit using an alignment mechanism are provided, in particular, in order to correct the displacement of the internal components in the stack. As a result, the formation and status of the internal structure can be confirmed, the difference from the position of the internal structure in the previous stack, that is, the position of the internal structure in the previous stack can be calculated, and the position of the internal structure in the next stack can be adjusted or corrected. Have

本発明の積層型電子部品の製造方法およびその装置は、グリーンシートを連続して巻出し、巻出したグリーンシートに接着剤を塗布し、接着剤を塗布したグリーンシートをドラム状の回転体に巻付け、前記の巻付けられたグリーンシートの片面に接着剤をパターンニングして転写し、連続して供給される搬送フィルムの片面に形成された内部構成体を、パターン状にて分離してグリーンシートに転写し前記接着剤により接着して内部構成体を形成した前記グリーンシートの積層を連続して行う構成であり、薄層の内部構成体のシートが使用でき、内部構成体をパターンニングしないことにより、形成部材の連続供給が可能で、薄層シートの連続積層を可能とし、積層工程の時間短縮が図れるという効果を有する。   The method and apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention includes a green sheet continuously unwound, an adhesive applied to the unwound green sheet, and the green sheet coated with the adhesive applied to a drum-shaped rotating body. Winding, patterning and transferring the adhesive on one side of the wound green sheet, separating the internal components formed on one side of the continuously supplied transport film in a pattern The green sheet is transferred to a green sheet and bonded with the adhesive to form an internal structure. The green sheet is continuously laminated. A thin internal sheet can be used, and the internal structure is patterned. By not doing so, it is possible to continuously supply the forming member, to enable continuous lamination of the thin sheet, and to shorten the time of the lamination process.

以下、実施の形態を用いて、本発明の特に請求項1〜6に記載の発明について図面を参照しながら説明する。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1(a)、図1(b)は、本発明の実施の形態における積層型電子部品の製造装置の要部概要構成正面および側面図である。   FIGS. 1A and 1B are a front view and a side view, respectively, of a schematic configuration of a main part of a multilayer electronic component manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

図1において、各種の積層型電子部品を製造するための製造装置1は、グリーンシート8を巻きつけたシートロール2からなるシート供給部を有しており、シート供給部にはシートロール2の直径(外円周径)を計測すなわち巻径検知用のセンサーを取付け、そのセンサーの計測出力によりグリーンシート8の巻出し速度を制御あるいは変更することが出来るのであり、またシート供給部は巻出し速度を適宜変更し、最適となる速度で接着剤塗布部3にグリーンシート8を供給するのである。   In FIG. 1, a manufacturing apparatus 1 for manufacturing various laminated electronic components has a sheet supply unit composed of a sheet roll 2 around which a green sheet 8 is wound. A sensor for measuring the diameter (outer circumferential diameter), that is, a winding diameter detection is attached, and the unwinding speed of the green sheet 8 can be controlled or changed by the measurement output of the sensor, and the sheet supply unit unwinds. The speed is appropriately changed, and the green sheet 8 is supplied to the adhesive application unit 3 at an optimum speed.

接着剤塗布部3はシート供給部から供給されるグリーンシート8の片面あるいは両面に対し、接着剤の塗布を行うユニットであり、スプレー方式やローラ塗工方式などの方法で接着剤を所定箇所に連続して塗布し、回転ドラム4の外円周面に接着剤の塗布されたグリーンシート8を押圧ロール6に沿わせて供給する。   The adhesive application unit 3 is a unit that applies an adhesive to one or both sides of the green sheet 8 supplied from the sheet supply unit. The adhesive is applied to a predetermined place by a method such as a spray method or a roller coating method. The green sheet 8 coated continuously and coated with an adhesive on the outer circumferential surface of the rotating drum 4 is supplied along the pressing roll 6.

押圧ロール6は、回転ドラム4における外円周面のグリーンシート8に対して積層されたグリーンシート8の各層間の密着性が高められるような構成および配置がなされている。   The pressing roll 6 is configured and arranged so that the adhesion between the layers of the green sheet 8 laminated on the green sheet 8 on the outer circumferential surface of the rotating drum 4 is improved.

回転ドラム4の外円周面には、その円周を等分割した円弧状で複数のパレット11が、等間隔で配設されており、各パレット11は回転ドラム4の外円周面に着脱自在となっている。   On the outer circumferential surface of the rotating drum 4, a plurality of pallets 11 are arranged at equal intervals in an arc shape obtained by equally dividing the circumference, and each pallet 11 is attached to and detached from the outer circumferential surface of the rotating drum 4. It is free.

また、各パレット11の相互間には切断刃が入る複数の溝10を設けており、パレット11の上面のシート積層体12を、パレット11の単位毎で分離取出すことを可能としている。   Further, a plurality of grooves 10 into which cutting blades are inserted are provided between the pallets 11, and the sheet laminate 12 on the upper surface of the pallet 11 can be separated and taken out for each unit of the pallet 11.

凹版オフセット印刷部の凹版5a、オフセットロール5bは、矢印(ウ)、矢印(エ)で示す方向に回転駆動することにより、凹版5aの外円周面の接着剤をオフセットロール5bの外円周面に転写する。その転写された接着剤は、さらに回転ドラム4の外円周面におけるシート積層体12の所定箇所にさらに転写される。   The intaglio 5a and the offset roll 5b of the intaglio offset printing section are rotationally driven in the directions indicated by arrows (c) and (d), so that the adhesive on the outer circumferential surface of the intaglio 5a is transferred to the outer circumference of the offset roll 5b. Transfer to the surface. The transferred adhesive is further transferred to a predetermined portion of the sheet laminate 12 on the outer circumferential surface of the rotating drum 4.

なお、硬質弾性体でなるスキージ5cの先端を、凹版5aの外円周面に所定間隔で配設することにより、凹版5aの外円周面における余分な接着剤をかきとることができるのである。   By disposing the tip of the squeegee 5c made of a hard elastic body on the outer circumferential surface of the intaglio 5a at a predetermined interval, it is possible to scrape off excess adhesive on the outer circumferential surface of the intaglio 5a. .

凹版オフセット印刷部における凹版5a、オフセットロール5bおよび回転ドラム4は、同じメインの駆動軸により回転駆動されるために同期回転を行うことができ、また、凹版オフセット印刷部は、凹版5aとオフセットロール5bのみを駆動させる駆動軸を有しており、この駆動軸を用いて回転駆動する事により回転ドラム4と凹版オフセット印刷部の回転方向の位置をずらすことができるのであり、その機構すなわち差動機構20は、図1(b)に示す構成および位置に配設されている。   Since the intaglio 5a, the offset roll 5b, and the rotary drum 4 in the intaglio offset printing section are rotationally driven by the same main drive shaft, they can be rotated synchronously, and the intaglio offset printing section includes the intaglio 5a and the offset roll. 5b has a drive shaft that drives only 5b, and the rotational direction of the rotary drum 4 and the intaglio offset printing section can be shifted by rotating the drive shaft using this drive shaft. The mechanism 20 is disposed in the configuration and position shown in FIG.

メインの駆動軸による凹版オフセット印刷部の凹版5aの回転数と回転ドラム4の回転数との比率は、例えば8:1といったように、転写あるいは印刷に最適な一定の比率に設定されている。   The ratio of the rotational speed of the intaglio 5a of the intaglio offset printing section by the main drive shaft and the rotational speed of the rotary drum 4 is set to a constant ratio optimum for transfer or printing, such as 8: 1.

印刷上下機構は、凹版オフセット印刷部を筐体9に対して上下移動させることを可能とするものであり、筐体9に対して取付けられた印刷上下ガイド7bにより規制しガイドされ、印刷ユニット取付板7cと一体で印刷上下モータ7aにより駆動することができる。   The printing up / down mechanism allows the intaglio offset printing section to move up and down relative to the housing 9 and is regulated and guided by a printing up / down guide 7b attached to the housing 9 to attach the printing unit. It can be driven integrally with the plate 7c by a printing vertical motor 7a.

シート積層体12は、グリーンシート8を積層する毎に高さすなわち積層厚みが増加し、その結果回転ドラム4の直径(外円周径)を増加させるため、それに合わせて印刷上下機構で凹版オフセット印刷部を上昇させて、接着剤塗布位置すなわち内部構成体15の位置を最適の箇所に合わせることが出来る。   Each time the green sheets 8 are stacked, the sheet stack 12 increases in height, that is, the stack thickness, and as a result, increases the diameter (outer circumferential diameter) of the rotating drum 4. By raising the printing portion, the adhesive application position, that is, the position of the internal structure 15 can be adjusted to the optimum position.

また、内部構成体15自体は、搬送フィルム19の片面(あるいは両面)に形成されて巻出ロール16にセットされており、巻出ロール16は巻出し速度を回転ドラム4の直径(外円周径)に合わせて変更することが可能であり、搬送フィルム19を矢印(オ)の方向に送出する。   The internal structure 15 itself is formed on one side (or both sides) of the transport film 19 and is set on the unwinding roll 16, and the unwinding roll 16 sets the unwinding speed to the diameter (outer circumference) of the rotating drum 4. The conveying film 19 is sent out in the direction of the arrow (v).

押さえロール18はシリコンゴムなどの耐熱性の弾性体であり、ヒータまたは遠赤外線で加熱されており、また押さえロール18はエアーシリンダーなどの駆動で搬送フィルム19をシート積層体12の所定面に押圧することができ、回転ドラム4の直径(外円周径)の増加に対しても追従する構成となっている。   The pressing roll 18 is a heat-resistant elastic body such as silicon rubber, and is heated by a heater or far infrared rays. The pressing roll 18 presses the transport film 19 against a predetermined surface of the sheet laminate 12 by driving an air cylinder or the like. It is possible to follow the increase in the diameter (outer circumferential diameter) of the rotating drum 4.

巻取りロール17は、内部構成体15がグリーンシート8に転写されて内部構成体15が無くなった搬送フィルム19を巻取るものであり、巻取りロール17の位置は回転ドラム4の直径(外円周径)の増加に対して、追従して支障の無い位置に移動することができる。   The winding roll 17 winds the transport film 19 in which the internal structure 15 is transferred to the green sheet 8 and the internal structure 15 is lost. The position of the winding roll 17 is the diameter of the rotating drum 4 (outer circle). It is possible to follow the increase in the (circumferential diameter) and move to a position where there is no hindrance.

回転ドラム4の中心方向に向かって、形状や構成を認識するセンサーなどによる検出認識機構14が設置されており、NC駆動によって回転ドラム4における積層体の厚みの変化に合わせて検出認識機構14を移動させ、回転ドラム4の外円周面の内部構成体15を常に検出して認識し、アライメント機構である差動機構とでなる補正部により調整や修正などの補正をすることができる認識補正工程を有している。   A detection recognition mechanism 14 using a sensor for recognizing the shape and configuration is installed toward the central direction of the rotary drum 4. The detection recognition mechanism 14 is adjusted according to a change in the thickness of the laminate in the rotary drum 4 by NC driving. A recognition correction that can be moved, always detecting and recognizing the internal structure 15 on the outer circumferential surface of the rotating drum 4, and performing corrections such as adjustment and correction by a correction unit including a differential mechanism that is an alignment mechanism It has a process.

なお、検出認識機構14の例としてCCDカメラなどの光学系の画像入力機構と汎用の認識装置(ユニット)を組み合せることも可能である。   As an example of the detection / recognition mechanism 14, an optical image input mechanism such as a CCD camera and a general-purpose recognition device (unit) can be combined.

回転ドラム4の外円周の近傍には、転写あるいは印刷された内部構成体15を乾燥させる乾燥工程のための乾燥機構13を配設している。この乾燥工程における乾燥機構13は運転中に風量、温度などの設定変更が可能であり、各使用素材や機能に対して最適とする積層体を形成できるのである。   In the vicinity of the outer circumference of the rotating drum 4, a drying mechanism 13 for a drying process for drying the transferred or printed internal structure 15 is disposed. The drying mechanism 13 in this drying process can change settings such as air volume and temperature during operation, and can form a laminate that is optimal for each material and function used.

次に前記の構成による製造装置1を用いた本発明のグリーンシートの積層方法について図面を参照しながら説明する。   Next, a method for laminating the green sheets of the present invention using the manufacturing apparatus 1 having the above configuration will be described with reference to the drawings.

グリーンシート8の両面には何らの内部構成体15、すなわち積層コンデンサであれば、電極や誘電体などの要素(素体材)は印刷されていないのであり、積層準備として回転ドラム4におけるパレット11の上面には、1層目のグリーンシート8が回転ドラム4の外円周面におけるパレット11に密着するように接着シートをあらかじめ貼付しておく。   On the both sides of the green sheet 8, any internal components 15, that is, elements (element materials) such as electrodes and dielectrics are not printed in the case of a multilayer capacitor. An adhesive sheet is attached in advance so that the first green sheet 8 is in close contact with the pallet 11 on the outer circumferential surface of the rotating drum 4.

そしてシート供給部から供出されたグリーンシート8の先端部は、接着剤塗布部3を通過して押圧ローラ6に沿わせて回転ドラム4の外円周面に固定(固着)しておく。   The tip of the green sheet 8 delivered from the sheet supply unit passes through the adhesive application unit 3 and is fixed (adhered) to the outer circumferential surface of the rotating drum 4 along the pressing roller 6.

積層開始時にはシートロール2の直径(外円周径)をセンサーで計測しながら、シート供給部のシートロール2から矢印(ア)で示す方向に、巻出し速度を最適となるように切替え設定されて引き出された後、接着剤塗布部3で接着剤をグリーンシート8の片面に塗布され、押圧ローラ6により回転ドラム4の外円周面に沿って供給される。こうして回転ドラム4の外円周面、すなわち各パレット11にグリーンシート8のシート積層体12の1層目が形成される。   At the start of lamination, the diameter (outer circumferential diameter) of the sheet roll 2 is measured with a sensor, and the unwinding speed is switched and set in the direction indicated by the arrow (A) from the sheet roll 2 of the sheet supply unit. Then, the adhesive is applied to one side of the green sheet 8 by the adhesive application unit 3 and supplied along the outer circumferential surface of the rotating drum 4 by the pressing roller 6. Thus, the first layer of the sheet laminate 12 of the green sheets 8 is formed on the outer circumferential surface of the rotating drum 4, that is, on each pallet 11.

なお、回転ドラム4は矢印(イ)で示す方向に回転してグリーンシート8を巻きつけるのであり、回転ドラム4の外円周面でのグリーンシート8の層数が増すに従って、グリーンシート8の周面における直径すなわち回転ドラム4の外円周径が大きくなるが、印刷上下機構の印刷上下モータ7aを用いて回転ドラム4とオフセットロール5bの印圧量を一定に保つように凹版オフセット印刷部の上昇あるいは下降を行い、最適な条件状態で接着剤をグリーンシート8の所定箇所に転写する。   The rotating drum 4 rotates in the direction indicated by the arrow (A) and winds the green sheet 8. As the number of layers of the green sheet 8 on the outer circumferential surface of the rotating drum 4 increases, The diameter of the peripheral surface, that is, the outer circumferential diameter of the rotary drum 4 is increased, but the intaglio offset printing unit is used to keep the printing pressure amount of the rotary drum 4 and the offset roll 5b constant by using the printing vertical motor 7a of the printing vertical mechanism Is raised or lowered, and the adhesive is transferred to a predetermined portion of the green sheet 8 under the optimum conditions.

次に図2を用いて凹版オフセット印刷部の接着剤の操作(動作)について説明する。図2(a)は製造装置の凹版とオフセットロールの要部概要正面図、図2(b)は同矢視Aの部分における接着剤塗布前の平面図、図2(c)は同製造装置の凹版とオフセットロールが回転した要部概要正面図、図2(d)は同矢視Bの部分における接着剤塗布後の平面図である。   Next, the operation (operation) of the adhesive in the intaglio offset printing unit will be described with reference to FIG. 2A is a schematic front view of the main parts of the intaglio and offset roll of the manufacturing apparatus, FIG. 2B is a plan view before application of the adhesive at the portion indicated by arrow A, and FIG. 2C is the manufacturing apparatus. FIG. 2D is a plan view after application of the adhesive in the portion indicated by the arrow B. FIG.

図2(a)において、スキージ5cは凹版5aの回転中に所定間隔で接近し、供給された接着剤21のパターンからはみ出た余分の接着剤21をかきとるのであり、矢視Aの部分にはまだ接着剤21は塗布されていない。   In FIG. 2 (a), the squeegee 5c approaches at a predetermined interval during the rotation of the intaglio 5a, and scrapes off the excess adhesive 21 protruding from the supplied adhesive 21 pattern. The adhesive 21 has not been applied yet.

次に図2(c)に示すように、凹版5a、オフセットロール5bが同期して回転することで、矢視Aの接着剤が塗布されていない部分には、矢視Bのように接着剤21が所定のパターン状にて転写される。さらにオフセットロール5b、回転ドラム4が回転することにより、オフセットロール5bに転写された接着剤21は、回転ドラム4の外円周面におけるグリーンシート8の面上に転写されるのである。   Next, as shown in FIG. 2 (c), the intaglio 5a and the offset roll 5b rotate in synchronism, so that the adhesive as indicated by the arrow A is not applied as indicated by the arrow B. 21 is transferred in a predetermined pattern. Further, when the offset roll 5 b and the rotating drum 4 are rotated, the adhesive 21 transferred to the offset roll 5 b is transferred onto the surface of the green sheet 8 on the outer circumferential surface of the rotating drum 4.

次に、例えば積層コンデンサにおける電極や誘電体などの要素(素体材)でなる内部構成体15の供給について図3を用いて説明する。内部構成体15は図3(a)に示すように、搬送フィルム19の片面上に薄膜の状態で、搬送フィルム19と内部構成体15の分離や離脱を確実にするための剥離層22を介して形成されている。   Next, the supply of the internal structure 15 made of elements (element materials) such as electrodes and dielectrics in a multilayer capacitor will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3A, the internal structure 15 is in a thin film state on one side of the transport film 19, with a release layer 22 for ensuring separation and separation of the transport film 19 and the internal structure 15. Is formed.

前記の内部構成体15は搬送フィルム19の片面上に形成され、ロール状に巻取られ、巻出ロール16にセットされている。   The internal structure 15 is formed on one side of the transport film 19, wound into a roll, and set on the unwinding roll 16.

本製造装置1の運転開始前に巻出ロール16から搬送フィルム19を、図3(b)に示すように矢印(オ)の方向に引き出して、押さえロール18を経由してから巻取りロール17に搬送フィルム19の先端部を、貼り付けなどにより固定あるいは固着しておく。   Before starting the operation of the manufacturing apparatus 1, the transport film 19 is pulled out from the unwinding roll 16 in the direction of the arrow (v) as shown in FIG. The leading end of the transport film 19 is fixed or fixed by sticking or the like.

セットされた搬送フィルム19は、押さえロール18によってグリーンシート8に押圧されるのであり、その際、グリーンシート8には凹版オフセット印刷部にて所定のパターン状の接着剤21がすでに塗布されている。   The set transport film 19 is pressed against the green sheet 8 by the pressing roll 18, and at this time, the green sheet 8 is already coated with a predetermined pattern-shaped adhesive 21 at the intaglio offset printing section. .

押さえロール18によって押圧された搬送フィルム19の片面上における内部構成体15は、グリーンシート8の片面上に塗布された接着剤21のため、搬送フィルム19から所定のパターン状にて分離(剥離)して転写される。   The internal structure 15 on one side of the transport film 19 pressed by the pressing roll 18 is separated (peeled) from the transport film 19 in a predetermined pattern because of the adhesive 21 applied on one side of the green sheet 8. And transferred.

転写された内部構成体15は検出認識機構14により検出し認識される。前回(先の)積層時の内部構成体15の位置と今回の内部構成体15の位置とを比較し、その位置の差(相違)を差動機構にフィードバックする。補正部を構成する差動機構すなわちアライメント機構により、凹版5aとオフセットロール5bとを回転ドラム4とは別の駆動により回転駆動による補正を行うことができるのであり、この機能を用いて位置の差分(相違)を回転補正させて、次の接着剤21を塗布する位置を調整あるいは修正などの補正を行い設定する。   The transferred internal structure 15 is detected and recognized by the detection recognition mechanism 14. The position of the internal structure 15 at the previous (previous) stacking is compared with the position of the current internal structure 15, and the difference (difference) in the position is fed back to the differential mechanism. The intaglio 5a and the offset roll 5b can be corrected by rotation driving by a drive different from the rotary drum 4 by a differential mechanism, that is, an alignment mechanism that constitutes a correction unit. (Difference) is rotationally corrected, and the position for applying the next adhesive 21 is set by adjusting or correcting.

転写された内部構成体15の接着剤21や接着剤塗布部で塗布された接着剤を、乾燥機構13において所定条件状態で乾燥させ、その乾燥済みのシート積層体12の片面上に、次のグリーンシート8が積層される。以上の積層工程を連続で行って、必要とする積層体を製作するのである。   The adhesive 21 applied to the transferred internal component 15 and the adhesive applied by the adhesive application unit are dried under a predetermined condition in the drying mechanism 13, and the following is performed on one side of the dried sheet laminate 12. Green sheets 8 are laminated. The above-described lamination process is continuously performed to produce a necessary laminate.

本発明にかかる積層型電子部品の製造方法およびその装置は、薄層の内部構成体を用いることができ、従来に比べて製造工程の時間を短縮できるという効果を有し、膜形成装置や各種の小型電子部品の製造装置などの用途として有用である。   The method and apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention can use a thin-layer internal structure, and has the effect of shortening the manufacturing process time compared to the prior art. This is useful as a device for manufacturing small electronic components.

(a)本発明の実施の形態における積層型電子部品の製造装置の要部概要構成正面図、(b)同要部概要構成側面図(A) Front view of main part outline configuration of apparatus for manufacturing multilayer electronic component according to embodiment of the present invention, (b) Side view of main part outline configuration (a)製造装置の凹版とオフセットロールの要部概要正面図、(b)同矢視Aの部分における接着剤塗布前の平面図、(c)同製造装置の凹版とオフセットロールが回転した要部概要正面図、(d)同矢視Bの部分における接着剤塗布後の平面図(A) The main part outline | summary front view of the intaglio and offset roll of a manufacturing apparatus, (b) The top view before the adhesive agent application | coating in the part of the arrow A, (c) The intaglio and offset roll of the same manufacturing apparatus have rotated Part outline front view, (d) Plan view after application of adhesive in part B (a)同搬送フィルムの要部概要断面図、(b)同内部構成体の分離(剥離)を説明する要部概要斜視図(A) principal part outline sectional view of the conveyance film, (b) principal part outline perspective view explaining separation (peeling) of the internal structure

符号の説明Explanation of symbols

1 製造装置
2 シートロール
3 接着剤塗布部
4 回転ドラム
5a 凹版
5b オフセットロール
5c スキージ
6 押圧ロール
7a 印刷上下モータ
7b 印刷上下ガイド
7c 印刷ユニット取付板
8 グリーンシート
9 筐体
10 溝
11 パレット
12 シート積層体
13 乾燥機構
14 検出認識機構
15 内部構成体
16 巻出ロール
17 巻取りロール
18 押さえロール
19 搬送フィルム
20 差動機構
21 接着剤
22 剥離層
(ア) グリーンシートのシート供給方向
(イ) 回転ドラムの回転方向
(ウ) 凹版の回転方向
(エ) オフセットロールの回転方向
(オ) 搬送フィルム巻出し方向
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Manufacturing apparatus 2 Sheet roll 3 Adhesive application part 4 Rotating drum 5a Intaglio 5b Offset roll 5c Squeegee 6 Press roll 7a Printing vertical motor 7b Printing vertical guide 7c Printing unit mounting plate 8 Green sheet 9 Case 10 Groove 11 Palette 12 Sheet lamination Body 13 Drying mechanism 14 Detection / recognition mechanism 15 Internal component 16 Unwinding roll 17 Winding roll 18 Pressing roll 19 Conveying film 20 Differential mechanism 21 Adhesive 22 Release layer (A) Sheet supply direction of green sheet (A) Rotating drum (C) Intaglio plate rotation direction (d) Offset roll rotation direction (e) Conveyance film unwinding direction

Claims (6)

グリーンシートを連続して巻出し、その巻出したグリーンシートに接着剤を塗布し、接着剤を塗布したグリーンシートをドラム状の回転体の外円周に巻付け、前記の巻付けられたグリーンシートの片面に接着剤をパターンニングして転写し、連続して供給される搬送フィルムの片面に形成された内部構成体をパターン状にて分離してグリーンシートに転写して前記接着剤にて接着し、内部構成体を形成した前記グリーンシートの積層を連続して行う積層型電子部品の製造方法。 The green sheet is continuously unwound, an adhesive is applied to the unwound green sheet, and the green sheet coated with the adhesive is wound around the outer circumference of the drum-shaped rotating body. The adhesive is patterned on one side of the sheet and transferred, and the internal structure formed on one side of the continuously supplied transport film is separated in a pattern and transferred to the green sheet. A method of manufacturing a multilayer electronic component, wherein the green sheets that are bonded to form an internal structure are continuously stacked. グリーンシートを供出するための巻径検知用センサーを有するシート供給部と、前記グリーンシートに接着剤を塗布する接着剤塗布部と、前記接着剤が塗布されたグリーンシートを外円周に配設されたパレットの面上に巻付け載置するドラム状の回転体である回転ドラムと、前記グリーンシートを前記回転ドラムにおけるパレットの所定箇所に押圧し密着させる押圧ローラと、凹版およびオフセットロールを有し前記回転ドラムと同期回転あるいは差動機構により独立回転自在でグリーンシートの表面に接着剤を塗布する凹版オフセット印刷部と、巻出ロールより連続して供給される搬送フィルムの片面に形成された内部構成体を分離し、前記グリーンシートに転写するための押圧を行う押さえローラと、前記グリーンシートに印刷あるいは転写された接着剤あるいは内部構成体を乾燥させる乾燥機構とを備えた積層型電子部品の製造装置。 A sheet supply unit having a winding diameter detection sensor for delivering a green sheet, an adhesive application unit for applying an adhesive to the green sheet, and a green sheet coated with the adhesive are arranged on the outer circumference. A rotating drum that is a drum-like rotating body wound and placed on the surface of the pallet, a pressing roller that presses the green sheet against a predetermined portion of the pallet in the rotating drum, an intaglio, and an offset roll. And an intaglio offset printing section for applying an adhesive to the surface of the green sheet, which can be independently rotated by a synchronous rotation or differential mechanism with the rotating drum, and formed on one side of a transport film continuously supplied from an unwinding roll. A pressing roller for separating the internal structure and transferring it to the green sheet; and printing or printing on the green sheet Multilayer electronic component manufacturing apparatus provided with a drying mechanism for drying the photographed adhesive or internal structure. 連続して積層体を製作するため、巻径検知用センサーの検出出力により巻出速度が制御されるシートロールを有し、ロール状のグリーンシートを連続的に巻出す機構のシート供給部を備えた請求項2に記載の積層型電子部品の製造装置。 In order to continuously manufacture a laminated body, it has a sheet roll whose unwinding speed is controlled by the detection output of the winding diameter detection sensor, and has a sheet supply portion of a mechanism for continuously unwinding a roll-shaped green sheet. The apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to claim 2. 連続して積層するため、ドラム状の回転体とその回転体と同期するパターンの版を有し、前記回転体の回転によりその回転体における同じ位置に前記パターンを形成する機構を有した請求項2あるいは3に記載の積層型電子部品の製造装置。 The invention has a drum-shaped rotating body and a pattern plate synchronized with the rotating body for continuous lamination, and a mechanism for forming the pattern at the same position on the rotating body by the rotation of the rotating body. 2. The apparatus for manufacturing a laminated electronic component according to 2 or 3. グリーンシートの片面上に、内部構成体を転写させるためのパターンニングされた接着剤を塗布する機構を有した請求項2〜4のいずれか1つに記載の積層型電子部品の製造装置。 The multilayer electronic component manufacturing apparatus according to any one of claims 2 to 4, further comprising a mechanism for applying a patterned adhesive for transferring the internal structure on one side of the green sheet. 積層時における内部構成体のずれを補正するため、光学系による検出認識機構とアライメント機構による補正部を設けた請求項2〜5のいずれか1つに記載の積層型電子部品の製造装置。 The apparatus for manufacturing a multilayer electronic component according to any one of claims 2 to 5, further comprising a detection recognition mechanism using an optical system and a correction unit using an alignment mechanism in order to correct a displacement of an internal component during stacking.
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