KR101152765B1 - Apparatus and method for manufacturing laminated electronic component - Google Patents

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Abstract

[과제] 전극 회로간의 단차부를 해소해서 고품질의 적층형 전자 부품을 제조할 수 있는 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법을 제공한다.
[해결수단] 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재(12)와, 성막 기재(12)에 대해서 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성부(16)와, 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성하는 전극 회로 형성부(22)와, 전극 회로(24)의 형성에 의해 생기는 세라믹 시트(S) 상의 단차부(34)에 유전체 도포막(36)을 형성하는 유전체 도포막 형성부(38)와, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 형성하는 적층 지지체(14)를 갖는다.
DISCLOSURE OF THE INVENTION Provided is a laminated electronic component manufacturing apparatus and a method for manufacturing a laminated electronic component that can eliminate a stepped portion between electrode circuits and manufacture a high quality laminated electronic component.
[Solution] An endless continuous film-forming substrate 12 having a releasing treatment on the outer circumference, a film-forming portion 16 for applying a ceramic slurry to the film-forming substrate 12 and drying to form a ceramic sheet, and a ceramic The dielectric coating film 36 is formed on the electrode circuit forming portion 22 that forms the electrode circuit 24 on the sheet S and the step portion 34 on the ceramic sheet S formed by the formation of the electrode circuit 24. A dielectric coating film forming portion 38 for forming a film, and a laminated support 14 for forming a laminated structure S 'of the ceramic sheet S.

Description

적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING LAMINATED ELECTRONIC COMPONENT}Apparatus for manufacturing a multilayer electronic component and a method for manufacturing a multilayer electronic component {APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING LAMINATED ELECTRONIC COMPONENT}

본 발명은 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층형 전자 부품을 제조하기 위한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer electronic component manufacturing apparatus and a method for manufacturing a multilayer electronic component for manufacturing a multilayer electronic component such as a multilayer ceramic capacitor.

하기 특허문헌 1에는 다각 기둥 형상 휠에 감아 걸어진 무한 반송 벨트를 주회시키면서, 무한 반송 벨트 상에서 코트 롤러에 의한 세라믹 그린시트의 성형 및 전사 장치에 의한 내부 전극의 형성을 소정의 순서로 반복한다. 그리고, 무한 반송 벨트의 주회 동안에 무한 반송 벨트의 일정한 영역이 다각 기둥 형상 휠의 평면 부분에 접촉하도록 설정하고, 이 평면 부분에 접촉하는 영역의 범위 내의 크기로 목적으로 하는 세라믹 적층체를 펀칭해서 흡착 헤드에 의해 인출하는 세라믹 적층체의 제조 방법이 개시되어 있다.The following patent document 1 repeats the formation of the ceramic green sheet by a coat roller and formation of the internal electrode by the transfer apparatus in a predetermined order, while winding the endless conveyance belt wound around the polygonal column-shaped wheel. Then, during the circumference of the endless conveying belt, the constant region of the endless conveying belt is set to contact the planar portion of the polygonal column-shaped wheel, and the target ceramic laminate is punched and adsorbed to a size within the range of the region contacting the planar portion. The manufacturing method of the ceramic laminated body pulled out by a head is disclosed.

하기 특허문헌 2에는 제 1 인쇄부, 제 2 인쇄부를 요하고, 제 1 인쇄부에서 도전성 페이스트 막을 형성하고, 제 2 인쇄부에서 상기 도전성 페이스트 막이 형성되어 있지 않은 영역에 단차 해소용 세라믹 슬러리를 형성하여 단차를 해소할 수 있는 기능을 가지고, 적층 공정의 시간 단축 및 도전성 페이스트 막을 높은 정밀도로 형성할 수 있다는 효과를 갖는 적층형 전자 부품의 제조 방법이 개시되어 있다.Patent Literature 2 below requires a first printing portion and a second printing portion, and forms a conductive paste film in the first printing portion, and forms a ceramic slurry for step removal in a region where the conductive paste film is not formed in the second printing portion. The manufacturing method of the laminated electronic component which has a function which can eliminate the step | step, and the effect which can shorten the time of a lamination process and can form an electrically conductive paste film with high precision is disclosed.

일본 특허 공개 평10-32140호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 10-32140 일본 특허 공개 제2006-302932호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2006-302932

상기 특허문헌 1과 같이, 슬러리를 웨트 상태에서 연속적으로 건조한 시트 상에 겹쳐 도포해 가는 방법은 도포된 슬러리의 용제가 아래의 시트를 용해시켜 버려 쇼트나 IR 불량(절연 저항 불량)의 원인이 되는 시트 결함을 발생시킨다. 특히, 요즈음의 적층 세라믹 콘덴서의 시트 두께는 얇아지고 있어 이와 같은 방법에 의한 도포는 적합하지 않다.As described in Patent Document 1, the method of applying the slurry on a sheet continuously dried in a wet state causes the solvent of the applied slurry to dissolve the sheet below, causing short or IR defects (poor insulation resistance). Cause sheet defects. In particular, the sheet thickness of multilayer ceramic capacitors these days has become thin, and coating by such a method is not suitable.

상기 특허문헌 2는 원통 드럼 상에 적층 구조체를 형성하는 것이지만, 세라믹 시트는 필름 등의 지지체가 없는 고강도의 자립성 그린시트에 한정되어 있다. 고중합도의 수지를 함유시켜 강도를 증가시킨 이 시트는 소성 공정에 있어서의 탈지를 곤란하게 하고, 소성 후의 세라믹스의 치밀성을 저해하는 요인으로 되기 때문에 실용성이 낮아 양산에 이용하는 것은 어렵다.Although the said patent document 2 forms a laminated structure on a cylindrical drum, a ceramic sheet is limited to the high strength freestanding green sheet which does not have support bodies, such as a film. This sheet, which contains a high degree of polymerization resin and has increased strength, makes it difficult to degrease in the firing step and inhibits the compactness of the ceramics after firing.

그래서, 본 발명의 목적은 상기 문제점을 감안하여 전극 회로간의 단차부를 해소해서 고품질의 적층형 전자 부품을 제조할 수 있는 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a laminated electronic component manufacturing apparatus and a method for manufacturing a laminated electronic component capable of manufacturing a high quality laminated electronic component by eliminating the step between electrode circuits in view of the above problems.

본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재(成膜 基材)와, 상기 성막 기재에 대해서 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성부와, 상기 세라믹 시트에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성부와, 상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트 상의 단차부에 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성부와, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 지지체를 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치이다.The present invention relates to an endless continuous film-forming substrate having a release treatment on an outer circumference thereof, a film-forming portion for forming a ceramic sheet by coating and drying a ceramic slurry on the film-forming substrate, and the ceramic sheet. An electrode circuit forming portion for forming an electrode circuit, a dielectric coating film forming portion for forming a dielectric coating film on a stepped portion on the ceramic sheet resulting from the formation of the electrode circuit, and a laminated support for forming a laminated structure of the ceramic sheet. It is a laminated electronic component manufacturing apparatus characterized by having.

본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재와, 상기 성막 기재에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성부와, 상기 성막 기재에 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성부와, 상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막을 덮도록 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성부와, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 지지체를 갖는 적층형 전자 부품 제조 장치이다.The present invention provides an endless continuous shape film forming substrate subjected to release treatment on an outer circumference, an electrode circuit forming portion for forming an electrode circuit on the film forming substrate, a dielectric coating film forming portion for forming a dielectric coating film on the film forming substrate, and A deposition support for forming a ceramic sheet on which the electrode circuit and the dielectric coating film are formed by applying and drying a ceramic slurry on the film forming substrate to cover an electrode circuit and the dielectric coating film, and a laminated support for forming a laminated structure of the ceramic sheet. It is a laminated electronic component manufacturing apparatus which has.

본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재와, 상기 성막 기재에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성부와, 상기 전극 회로를 덮도록 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로가 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성부와, 상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트 상의 단차부에 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성부와, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 지지체를 갖는 적층형 전자 부품 제조 장치이다.The present invention provides an endless continuous film forming substrate having a releasing treatment on an outer circumference, an electrode circuit forming unit for forming an electrode circuit on the film forming substrate, and a ceramic slurry is coated and dried on the film forming substrate to cover the electrode circuit. A film forming portion for forming a ceramic sheet on which the electrode circuit is formed, a dielectric coating film forming portion for forming a dielectric coating film on a stepped portion on the ceramic sheet formed by the formation of the electrode circuit, and a laminated structure of the ceramic sheet. It is a laminated electronic component manufacturing apparatus which has a laminated support body.

본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재와, 상기 성막 기재에 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성부와, 상기 유전체 도포막을 덮도록 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성부와, 상기 세라믹 시트 상의 상기 유전체 도포막과는 다른 개소의 상기 세라믹 시트 상에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성부와, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 지지체를 갖는 적층형 전자 부품 제조 장치이다.The present invention provides an endless continuous film forming substrate having a releasing treatment on an outer circumference, a dielectric coating film forming unit for forming a dielectric coating film on the film forming substrate, and a ceramic slurry is applied to the film forming substrate so as to cover the dielectric coating film, and dried. A film forming portion for forming a ceramic sheet on which the dielectric coating film is formed, an electrode circuit forming portion for forming an electrode circuit on the ceramic sheet at a different position from the dielectric coating film on the ceramic sheet, and a stack of the ceramic sheet. It is a laminated electronic component manufacturing apparatus which has a laminated support body which forms a structure.

이 경우, 상기 적층 지지체는 상기 성막 기재에 대해서 상기 세라믹 시트를 통해 접촉하여 상기 세라믹 시트를 상기 성막 기재로부터 박리시켜 외주에 권취함으로써 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that the laminated support body is brought into contact with the film forming substrate through the ceramic sheet to peel the ceramic sheet from the film forming substrate and wound around the film to form a laminated structure of the ceramic sheet.

본 발명은 상기 적층 지지체에 의해 상기 세라믹 시트의 적층 구조체가 형성되어 있을 때에 상기 성막 기재에 새로운 상기 세라믹 시트가 계속해서 형성되는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that the new ceramic sheet is continuously formed on the film-forming substrate when the laminated structure of the ceramic sheet is formed by the laminated support.

본 발명은 상기 성막 기재와 상기 적층 지지체 사이에 개재되도록 하여 설치되고, 상기 성막 기재에 형성된 상기 세라믹 시트를 상기 성막 기재로부터 수취하고, 이 수취한 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지체에 반송하는 반송 부재를 갖는 것을 특징으로 한다.The conveyance member which is provided so as to be interposed between the said film-forming base material and the said laminated support body, receives the said ceramic sheet formed in the said film-forming base material from the said film-forming base material, and conveys this received ceramic sheet to the said laminated | multilayer support body. It is characterized by having.

본 발명은, 상기 전극 회로 형성부는 상기 반송 부재 상의 상기 세라믹 시트에 상기 전극 회로를 형성하고, 상기 유전체 도포막 형성부는 상기 반송 부재 상의 상기 세라믹 시트의 상기 단차부에 상기 유전체 도포막을 형성하는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that the electrode circuit forming portion forms the electrode circuit on the ceramic sheet on the conveying member, and the dielectric coating film forming portion forms the dielectric coating film on the stepped portion of the ceramic sheet on the conveying member. It is done.

본 발명은, 상기 전극 회로 형성부 및 상기 유전체 도포막 형성부는 동일한 상기 반송 부재 상의 상기 세라믹 시트에 대해서 상기 전기 회로와 상기 유전체 도포막을 대략 동일한 타이밍에서 형성하는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that the electrode circuit forming portion and the dielectric coating film forming portion form the electric circuit and the dielectric coating film at approximately the same timing with respect to the ceramic sheet on the same conveying member.

본 발명은, 상기 전극 회로 형성부 및 상기 유전체 도포막 형성부는 무판(無版) 인쇄 장치인 것을 특징으로 한다. 특히, 상기 무판 인쇄 장치는 잉크젯 인쇄 장치인 것이 바람직하다.The present invention is characterized in that the electrode circuit forming portion and the dielectric coating film forming portion are a plateless printing apparatus. In particular, the plateless printing apparatus is preferably an inkjet printing apparatus.

또한, 본 발명은 이하에 나타내는 적층형 전자 부품의 제조 방법에 의해서도 상기 과제를 해결할 수 있다.Moreover, this invention can also solve the said subject by the manufacturing method of the laminated electronic component shown below.

즉, 본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 성막 형성부에 의해 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜서 세라믹 시트를 연속 형성하는 성막 형성 공정과, 전극 회로 형성부에 의해 상기 세라믹 시트에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정과, 상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트 상의 단차부에 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정과, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법이다.That is, according to the present invention, a film forming step of continuously forming a ceramic sheet by coating and drying a ceramic slurry with a film forming forming unit on an endless continuous film forming substrate subjected to a releasing treatment on an outer circumference thereof, and by the electrode circuit forming unit, An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit in a ceramic sheet, a dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion in a step portion on the ceramic sheet formed by the formation of the electrode circuit, and the ceramic It has a laminated structure formation process which forms the laminated structure of a sheet | seat, It is a manufacturing method of the laminated electronic component characterized by the above-mentioned.

본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정과, 유전체 도포막 형성부에 의해 상기 성막 기재에 대해서 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정과, 상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막을 덮도록 상기 성막 기재에 대해서 성막 형성부에 의해 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정과, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정을 갖는 적층형 전자 부품의 제조 방법이다.The present invention provides an electrode circuit forming step of forming an electrode circuit by an electrode circuit forming portion with respect to an endless continuous film forming substrate subjected to release treatment on an outer circumference thereof, and a dielectric coating film on the film forming substrate by a dielectric coating film forming portion. Forming a dielectric coating film, and coating and drying a ceramic slurry on the film-forming substrate to form the ceramic sheet on which the electrode circuit and the dielectric coating film are formed so as to cover the electrode circuit and the dielectric coating film. It is a manufacturing method of the laminated electronic component which has a film-forming formation process and the laminated structure formation process which forms the laminated structure of the said ceramic sheet | seat.

본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정과, 상기 전극 회로를 덮도록 상기 성막 기재에 대해서 성막 형성부에 의해 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로가 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정과, 상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트 상의 단차부에 대해서 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정과, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정을 갖는 적층형 전자 부품의 제조 방법이다.The present invention provides an electrode circuit forming step of forming an electrode circuit by an electrode circuit forming portion with respect to an endless continuous film forming substrate subjected to a release treatment on an outer circumference, and a film forming portion with respect to the film forming substrate so as to cover the electrode circuit. A dielectric film is formed by a film forming step of coating and drying a ceramic slurry to form a ceramic sheet on which the electrode circuit is formed, and a dielectric coating film forming portion with respect to a step portion on the ceramic sheet caused by the formation of the electrode circuit. It is a manufacturing method of the laminated electronic component which has a dielectric coating film formation process and the laminated structure formation process which forms the laminated structure of the said ceramic sheet.

본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정과, 상기 유전체 도포막을 덮도록 성막 형성부에 의해 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정과, 상기 세라믹 시트 상의 상기 유전체 도포막과는 다른 개소의 상기 세라믹 시트 상에 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정과, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정을 갖는 적층형 전자 부품의 제조 방법이다.The present invention provides a dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion on an endless continuous film forming substrate subjected to release treatment on an outer circumference thereof, and the film formation by the film forming portion to cover the dielectric coating film. An electrode circuit is formed by applying and drying a ceramic slurry on a substrate to form a ceramic sheet on which the dielectric coating film is formed, and an electrode circuit forming portion on the ceramic sheet at a location different from the dielectric coating film on the ceramic sheet. It is a manufacturing method of the laminated electronic component which has an electrode circuit formation process of forming the structure, and the laminated structure formation process of forming the laminated structure of the said ceramic sheet | seat.

본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정과, 상기 전극 회로를 덮도록 상기 성막 기재에 대해서 성막 형성부에 의해 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로가 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정과, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정과, 상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트의 적층 구조체 상의 단차부에 대해서 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정을 갖는 적층형 전자 부품의 제조 방법이다.The present invention provides an electrode circuit forming step of forming an electrode circuit by an electrode circuit forming portion with respect to an endless continuous film forming substrate subjected to a release treatment on an outer circumference, and a film forming portion with respect to the film forming substrate so as to cover the electrode circuit. To form a ceramic sheet in which the electrode circuit is formed by applying and drying a ceramic slurry, a laminate structure forming step of forming a laminated structure of the ceramic sheet, and the ceramic sheet formed by the formation of the electrode circuit. It is a manufacturing method of the laminated electronic component which has a dielectric coating film formation process which forms a dielectric coating film with a dielectric coating film formation part with respect to the step part on a laminated structure.

본 발명은 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정과, 상기 유전체 도포막을 덮도록 성막 형성부에 의해 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정과, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정과, 상기 세라믹 시트의 적층 구조체 상의 상기 유전체 도포막과는 다른 개소의 상기 세라믹 시트의 적층 구조체 상에 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정을 갖는 적층형 전자 부품의 제조 방법이다.The present invention provides a dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion on an endless continuous film forming substrate subjected to release treatment on an outer circumference thereof, and the film formation by the film forming portion to cover the dielectric coating film. A film forming step of coating and drying a ceramic slurry on a substrate to form a ceramic sheet on which the dielectric coating film is formed, a laminate structure forming step of forming a laminated structure of the ceramic sheet, and the dielectric coating film on the laminate structure of the ceramic sheet. It is a manufacturing method of the laminated electronic component which has an electrode circuit formation process which forms an electrode circuit by an electrode circuit formation part on the laminated structure of the said ceramic sheet in a different place.

이 경우, 상기 적층 구조체 형성 공정에 있어서 상기 적층 지지체에 의해 상기 세라믹 시트의 적층 구조체가 형성되어 있을 때에 상기 성막 형성 공정에서는 상기 성막 기재에 새로운 상기 세라믹 시트가 계속해서 형성되는 것이 바람직하다.In this case, when the laminated structure of the ceramic sheet is formed by the laminated support in the laminated structure forming step, it is preferable that the new ceramic sheet is continuously formed on the film forming substrate in the film forming step.

이 경우, 상기 적층 구조체 형성 공정에 있어서 상기 적층 지지체를 상기 성막 기재에 대해서 상기 세라믹 시트를 통해 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 성막 기재로부터 박리시키고, 그 박리시킨 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지체의 외주에 권취함으로써 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 것이 바람직하다.In this case, in the laminated structure forming step, the laminated support is brought into contact with the film forming substrate via the ceramic sheet to peel the ceramic sheet from the film forming substrate, and the peeled ceramic sheet is formed on the outer circumference of the laminated support. It is preferable to form the laminated structure of the said ceramic sheet | seat by winding up.

이 경우, 상기 성막 기재와 상기 적층 지지체 사이에 개재되도록 설치된 반송 부재를 갖고, 상기 반송 부재가 상기 성막 기재에 형성된 상기 세라믹 시트를 상기 성막 기재로부터 수취하며 이 수취한 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지체에 반송하는 반송 공정을 갖는 것이 바람직하다.In this case, it has a conveying member provided so that it may be interposed between the said film-forming base material and the said laminated support, and the said conveyance member receives the said ceramic sheet formed in the said film-forming base material from the said film-forming base material, and this received said ceramic sheet | seat is carried out to the said laminated | stacked support body. It is preferable to have a conveyance process to convey.

이 경우, 상기 전극 회로 형성 공정 및 상기 유전체 도포막 형성 공정에 있어서 상기 전극 회로 형성부 및 상기 유전체 도포막 형성부로서 무판 인쇄 장치를 이용하고, 이 무판 인쇄 장치에 의해 상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막이 형성되는 것이 바람직하다. 특히, 무판 인쇄 장치로서 잉크젯 인쇄 장치를 이용하는 것이 바람직하다.In this case, in the electrode circuit forming step and the dielectric coating film forming step, a plateless printing apparatus is used as the electrode circuit forming portion and the dielectric coating film forming portion, and the electrode circuit and the dielectric coating are applied by the plateless printing apparatus. It is preferable that a film is formed. In particular, it is preferable to use an inkjet printing apparatus as a plateless printing apparatus.

<발명의 효과>EFFECTS OF THE INVENTION [

본 발명에 의하면, 전극 회로간의 단차를 해소해서 고품질의 적층형 전자 부품을 제조할 수 있다. 또한, 간헐적인 운전이 아니라 연속 운전함으로써 적층형 전자 부품의 제조 효율(제조 속도)을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, a high quality laminated electronic component can be manufactured by eliminating the step between the electrode circuits. Moreover, the manufacturing efficiency (manufacturing speed) of a laminated electronic component can be improved by continuous operation instead of intermittent operation.

즉, 세라믹 시트 상의 전극 회로간의 단차부를 유전체 도포막(유전체 재료)으로 메움으로써 전극 회로간의 단차부를 해소할 수 있다. 이에 따라, 세라믹 시트의 적층수가 증가된 경우에 발생되기 쉬워지는 적층 어긋남이나 접착 불량을 방지할 수 있고, 또한, 상기 단차부가 있는 것에 기인하는 구조 결함 등의 불량을 억제할 수 있다.In other words, the stepped portion between the electrode circuits can be eliminated by filling the stepped portion between the electrode circuits on the ceramic sheet with a dielectric coating film (dielectric material). Thereby, the lamination | stacking shift | offset | difference and adhesion defect which become easy to generate | occur | produce when the number of laminated sheets of a ceramic sheet is increased can be prevented, and defects, such as a structural defect resulting from having the said step part, can be suppressed.

또한, 세라믹 시트가 성막 기재 상에 연속으로 형성되므로, 간헐적인 도포에 비해 막 두께의 안정 영역이 넓어져서 얻어진 적층 구조체로부터 전자 부품으로서 분할할 수 있는 개수를 늘릴 수 있다.In addition, since the ceramic sheet is continuously formed on the film-forming substrate, the number of parts that can be divided as electronic components from the laminated structure obtained by expanding the stable region of the film thickness compared to the intermittent coating can be increased.

성막 기재 상에 세라믹 시트를 형성하는 프로세스와, 세라믹 시트 상에 전극 회로 및 유전체 도포막을 형성하는 프로세스와, 적층 지지체 상에 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 프로세스를 연속 운전에 의해 실행하기 때문에 보다 단시간에 고생산성으로 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성할 수 있다.The process of forming a ceramic sheet on a film-forming base material, the process of forming an electrode circuit and a dielectric coating film on a ceramic sheet, and the process of forming a laminated structure of a ceramic sheet on a laminated support body by continuous operation are performed for a shorter time. It is possible to form a laminated structure of a ceramic sheet with high productivity.

또한, 종래와 같은 길이가 긴 필름 기재를 이용할 필요가 없어 중간 재료 비용을 억제할 수 있다.Moreover, it is not necessary to use a long film base material like the conventional one, and the intermediate material cost can be suppressed.

이상과 같이 해서, 전자 부품의 품질 불량의 발생을 억제하고, 저비용으로, 또한 간헐적인 운전이 아니라 연속적으로 운전함으로써 적층형 전자 부품의 제조 효율(생산 속도)을 향상시킬 수 있다.As described above, the production efficiency (production speed) of the laminated electronic component can be improved by suppressing the occurrence of poor quality of the electronic component and continuously operating at low cost and not intermittently.

또한, 본 발명은 상기 적층 지지체에 의해 상기 세라믹 시트의 적층 구조체가 형성되어 있을 때에 상기 성막 기재에 새로운 상기 세라믹 시트가 계속해서 형성되므로, 간헐적인 운전이 아니라 연속 운전으로 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성할 수 있다. 이에 따라, 세라믹 시트의 적층 구조체를 매우 단시간에 형성할 수 있다. 이 결과, 세라믹 시트의 적층 구조체의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.Further, in the present invention, when the laminated structure of the ceramic sheet is formed by the laminated support, the new ceramic sheet is continuously formed on the film-forming substrate, so that the laminated structure of the ceramic sheet is formed by continuous operation instead of intermittent operation. can do. Thereby, the laminated structure of a ceramic sheet can be formed in a very short time. As a result, the manufacturing efficiency of the laminated structure of a ceramic sheet can be improved.

또한, 본 발명은 유전체 도포막 형성부에 의해 반송 부재 상의 세라믹 시트의 단차부에 유전체 도포막이 형성된다. 이에 따라, 성막 기재 상에서 건조된 세라믹 시트의 단차부에 대해서 유전체 도포막이 형성되기 때문에 유전체 도포막의 형성 위치의 위치 정밀도를 한층 높일 수 있다. 이 결과, 세라믹 시트 상에 발생된 단차부를 확실하게 해소시킬 수 있다.Moreover, in this invention, a dielectric coating film is formed in the step part of the ceramic sheet on a conveyance member by the dielectric coating film forming part. Thereby, since a dielectric coating film is formed with respect to the stepped part of the ceramic sheet dried on the film-forming base material, the positional accuracy of the formation position of a dielectric coating film can be improved further. As a result, the step portion generated on the ceramic sheet can be reliably eliminated.

또한, 본 발명은 상기 전극 회로 형성부 및 상기 유전체 도포막 형성부가 무판 인쇄 장치이기 때문에 세라믹 시트의 각 층마다 다른 패턴의 전극 회로 및 유전체 도포막을 형성할 수 있다. 또한, 적층 지지체 상에서의 세라믹 시트의 적층의 진행에 따라 세라믹 시트의 신축 또는 적층 지지체의 크기에 변화가 발생되더라도 전극 회로간 및 유전체 도포막간의 피치를 조정해서 위치 어긋남이 없는 전극 회로 및 유전체 도포막을 형성할 수 있다.Further, in the present invention, since the electrode circuit forming portion and the dielectric coating film forming portion are plateless printing apparatuses, it is possible to form electrode circuits and dielectric coating films of different patterns for each layer of the ceramic sheet. In addition, even when the ceramic sheet is stretched or stretched in accordance with the progress of lamination of the ceramic sheet on the laminated support, the pitch between the electrode circuit and the dielectric coating film is adjusted to adjust the pitch between the electrode circuit and the dielectric coating film. Can be formed.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 2는 세라믹 시트 상의 결함부의 위치를 나타낸 설명도이다.
도 3은 세라믹 시트 상의 전극 회로간에 발생된 단차부(홈, 오목부)를 나타낸 설명도이다.
도 4는 세라믹 시트 상의 전극 회로와 유전체 도포막을 나타낸 설명도이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 7은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 8은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 9는 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 10은 본 발명의 제 7 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 11은 본 발명의 제 8 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 12는 본 발명의 제 9 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 13은 본 발명의 제 10 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 14는 본 발명의 제 11 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 15는 본 발명의 제 12 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
도 16은 본 발명의 제 13 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치의 설명도이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 1st Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing which shows the position of the defect part on a ceramic sheet | seat.
3 is an explanatory view showing step portions (grooves, recesses) generated between electrode circuits on a ceramic sheet.
4 is an explanatory diagram showing an electrode circuit and a dielectric coating film on a ceramic sheet.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 2nd Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 3rd Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 4th Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 5th Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 6th Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 7th Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 8th Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 9th Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 10th Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 11th Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 12th Embodiment of this invention.
It is explanatory drawing of the laminated electronic component manufacturing apparatus by 13th Embodiment of this invention.

본 발명의 제 1 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 본 발명이 제조 대상으로 하고 있는 「적층형 전자 부품」에는 적층 세라믹 콘덴서나 적층 세라믹 인덕터 등의 적층형 전자 부품이 포함된다. 이하, 적층형 전자 부품으로서 적층 세라믹 콘덴서를 일례로 들어 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION The laminated electronic component manufacturing apparatus and manufacturing method of a laminated electronic component which concern on 1st Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, the "layered electronic component" which this invention makes object includes laminated electronic components, such as a multilayer ceramic capacitor and a multilayer ceramic inductor. Hereinafter, a multilayer ceramic capacitor will be described as an example of a multilayer electronic component.

우선, 적층형 전자 부품 제조 장치에 대해서 설명한다.First, the laminated electronic component manufacturing apparatus is demonstrated.

도 1에 나타내는 바와 같이, 적층형 전자 부품 제조 장치(10)는 주로 표면(외주면)에 이형 처리가 실시되어 세라믹 시트(S)를 형성하는 코팅 롤(12)(성막 기재)과, 코팅 롤(12)로부터 박리한 세라믹 시트(S)를 권취해서 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 형성하는 스태킹 롤(14)(적층 지지체)을 갖고 있다.As shown in FIG. 1, the laminated electronic component manufacturing apparatus 10 mainly carries out the release process on the surface (outer peripheral surface), and forms the coating roll 12 (film-forming base material) which forms the ceramic sheet S, and the coating roll 12 ), It has a stacking roll 14 (laminated support) which winds up the ceramic sheet S peeled off from and forms a laminated structure S 'of the ceramic sheet S.

코팅 롤(12)의 주위에는 코팅 롤(12)의 표면에 세라믹 시트(S)의 재료가 되는 세라믹 슬러리를 도포하기 위한 성막 수단(16)(성막 형성부)과, 성막 수단(16)에 세라믹 슬러리를 공급하기 위한 급액 수단(18)과, 코팅 롤(12)의 표면 상의 세라믹 슬러리를 건조 고화시키기 위한 건조 경화 장치(20)와, 코팅 롤(12)에 세라믹 시트(S)를 통해 접촉해서 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)를 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(32)에 반송하기 위한 중간 반송 롤러(반송 부재)(30)가 배치되어 있다. 또한, 중간 반송 롤러(30)에는 인쇄 반송 롤러(32)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 인쇄 반송 롤러(32)의 주위에는 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)(도 2 참조)를 형성하기 위한 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)과, 전극 회로(24)의 형성에 의해 세라믹 시트(S)의 표면에 발생되는 단차부(34)(도 3 및 도 4 참조)에 유전체 도포막(36)을 형성하기 위한 유전체 도포막 형성 수단(38)(유전체 도포막 형성부)과, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26)와, 인쇄 반송 롤러(32)에 세라믹 시트(S)를 통해 접촉한 스태킹 롤(14)이 배치되어 있다.Around the coating roll 12, the film forming means 16 (film forming part) for applying the ceramic slurry which becomes the material of the ceramic sheet S to the surface of the coating roll 12, and the ceramic film to the film forming means 16 The liquid supply means 18 for supplying a slurry, the dry hardening apparatus 20 for dry-solidifying the ceramic slurry on the surface of the coating roll 12, and the coating roll 12 contacted through the ceramic sheet S, The intermediate conveyance roller (conveying member) 30 for conveying the ceramic sheet S on the coating roll 12 to the printing conveyance roller (conveying member) 32 is arrange | positioned. In addition, the printing conveyance roller 32 is contacting the intermediate conveyance roller 30 through the ceramic sheet | seat S. FIG. Around the printing conveyance roller 32, the electrode circuit forming means 22 (electrode circuit forming portion) for forming the electrode circuit 24 (see FIG. 2) on the ceramic sheet S and the electrode circuit 24 Dielectric coating film forming means 38 (dielectric coating film formation) for forming dielectric coating film 36 on stepped portion 34 (see FIGS. 3 and 4) generated on the surface of ceramic sheet S by formation. And the dry curing apparatus 26 for drying the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36, and the stacking roll 14 which contacted the printing conveyance roller 32 via the ceramic sheet S. It is arranged.

본 실시형태의 적층형 전자 부품 제조 장치(10)는 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성함으로써 단차부(34)[전극 회로간에 발생되는 오목부 또는 세라믹 시트(S) 상의 요철]에 유전체 도포막(36)을 형성해서 단차부(34)를 저감하고, 또한 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 세라믹 시트(S)를 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취해서(적층해서) 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 형성하는 것이 특징이다.The laminated electronic component manufacturing apparatus 10 of this embodiment forms the electrode circuit 24 in the ceramic sheet S to form the stepped portion 34 (concave portions generated between the electrode circuits or irregularities on the ceramic sheet S). The dielectric coating film 36 is formed to reduce the step 34, and the ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed is wound on the outer circumferential surface of the stacking roll 14 ( It is a characteristic that the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed by laminating).

여기서, 성막 수단(16)의 코팅 롤 회전 방향 하류측[성막 수단(16)과 전극 회로 형성 수단(22) 사이]에 코팅 롤(12)의 표면 상의 세라믹 슬러리를 건조 고화시키기 위한 건조 경화 장치(20)가 배치되어 있다. 또한, 전극 회로 형성 수단(22)의 인쇄 반송 롤러 회전 방향 하류측에 유전체 도포막 형성 수단(38)이 배치되어 있다. 또한, 유전체 도포막 형성 수단(38)의 인쇄 반송 롤러 회전 방향 하류측에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26)가 배치되어 있다. 또한, 건조 경화 장치(26)의 인쇄 반송 롤러 회전 방향 하류측에 스태킹 롤(14)이 배치되어 있다.Here, a dry curing apparatus for drying and solidifying the ceramic slurry on the surface of the coating roll 12 on the downstream side of the coating roll rotation direction (between the film forming means 16 and the electrode circuit forming means 22) of the film forming means 16 ( 20) is arranged. Moreover, the dielectric coating film forming means 38 is arrange | positioned at the downstream side of the printing conveyance roller rotation direction of the electrode circuit forming means 22. As shown in FIG. Moreover, the dry hardening apparatus 26 for drying the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 is arrange | positioned downstream of the printing conveyance roller rotation direction of the dielectric coating film forming means 38. As shown in FIG. Moreover, the stacking roll 14 is arrange | positioned at the printing conveyance roller rotation direction downstream side of the dry hardening apparatus 26. As shown in FIG.

구체적으로, 코팅 롤(12)은 표면에 이형 처리가 실시된 금속 등의 강체 롤(원기둥 형상 또는 원통 형상)로 구성되어 있다. 코팅 롤(12)은 도시하지 않은 구동원에 의해 회전 구동되도록 구성되어 있다. 또한, 이형 처리는 예컨대, 불소계 도금 처리 등이 해당된다.Specifically, the coating roll 12 is comprised by rigid rolls (cylindrical shape or cylindrical shape), such as a metal, to which the release process was given to the surface. The coating roll 12 is comprised so that rotation drive may be carried out by the drive source which is not shown in figure. In addition, a mold release process corresponds to a fluorine-type plating process etc., for example.

스태킹 롤(14)은 탈착 가능한 금속제의 원통 지그의 외주면에 탄성체(예컨대, 수지 필름, 탄성 필름, 고무, 점성 시트 등)를 붙여서 구성되어 있다. 이 원통 지그를 회전축에 장착해서 코팅 롤(12)과 동기해서 회전시킨다. 또한, 스태킹 롤(14)은 도시하지 않은 구동원에 의해 회전 구동되도록 구성되어 있어도 좋고, 코팅 롤(12)의 회전력을 받아서 동시 회전하도록 구성되어 있어도 좋다. 스태킹 롤(14)은 도시하지 않은 압력 부여 기구에 의해 인쇄 반송 롤러(32)에 대해서 소정의 압력(압박력)으로 압박되어 있다.The stacking roll 14 is comprised by attaching an elastic body (for example, a resin film, an elastic film, rubber | gum, a viscous sheet, etc.) to the outer peripheral surface of the removable metal cylindrical jig | tool. This cylindrical jig is mounted on a rotating shaft to rotate in synchronism with the coating roll 12. In addition, the stacking roll 14 may be comprised so that rotation driving may be carried out by the drive source which is not shown in figure, and may be comprised so that it may rotate simultaneously with the rotational force of the coating roll 12. FIG. The stacking roll 14 is pressed by the predetermined pressure (pressure force) with respect to the printing conveyance roller 32 by the pressure provision mechanism not shown.

여기서, 코팅 롤(12)의 외주 길이는 스태킹 롤(14)의 외주 길이와 동일 길이이거나, 또는 코팅 롤(12)의 외주 길이 또는 스태킹 롤(14)의 외주 길이 중 한쪽이 다른쪽에 대해서 정수배인 것이 바람직하다.Here, the outer circumferential length of the coating roll 12 is the same length as the outer circumferential length of the stacking roll 14, or one of the outer circumferential length of the coating roll 12 or the outer circumferential length of the stacking roll 14 is an integral multiple of the other. It is preferable.

성막 수단(16)으로서는 예컨대, 다이 코터 등의 압출 도포 방식이나 닥터 블레이드, 롤 코터, 잉크젯형 코터 등이 채용된다. 또한, 코팅 롤(12)의 외주면에 형성되는 세라믹 시트(S)의 막 두께를 보다 얇게 하기 위해서는 다이 코터에 상류 감압 기구를 설치하는 것이 바람직하다. 성막 수단(16)으로부터 코팅 롤(12)에 대해서 연속적(비 간헐적)으로 세라믹 슬러리를 도포해서 세라믹 시트(S)가 형성된다. 이와 같이, 동일한 코팅 롤(12)에 대해서 세라믹 슬러리가 연속적으로 공급된다.As the film forming means 16, for example, an extrusion coating method such as a die coater, a doctor blade, a roll coater, an inkjet coater, or the like is adopted. Moreover, in order to make thinner the film thickness of the ceramic sheet | seat S formed in the outer peripheral surface of the coating roll 12, it is preferable to provide an upstream pressure reduction mechanism in a die coater. The ceramic sheet S is formed by applying the ceramic slurry continuously (non intermittently) to the coating roll 12 from the film forming means 16. As such, the ceramic slurry is continuously supplied to the same coating roll 12.

급액 수단(18)으로서는 예컨대, 기어 펌프가 채용된다. 또한, 급액 수단(18)은 기어 펌프에 한정되는 것은 아니고, 실린더형 디스펜서, 다이어프램 펌프 등을 적절하게 채용해도 좋다.As the liquid supply means 18, for example, a gear pump is employed. In addition, the liquid supply means 18 is not limited to a gear pump, You may employ | adopt a cylindrical dispenser, a diaphragm pump, etc. suitably.

중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)는 점착 등의 수단에 의해 전공정으로부터 세라믹 시트(S)를 수취하고, 수취한 세라믹 시트(S)를 후공정으로 반송하는 기능을 갖고 있다. 중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)는 금속이나 수지의 강체 롤이나 표면에 수지를 코팅한 롤 등을 적절하게 선택한다.The intermediate conveyance roller 30 and the printing conveyance roller 32 have a function which receives the ceramic sheet S from a previous process by means of adhesion | attachment, etc., and conveys the received ceramic sheet S to a later process. The intermediate | middle conveyance roller 30 and the printing conveyance roller 32 select the rigid roll of metal or resin, the roll which coated resin on the surface, etc. suitably.

중간 반송 롤러(30)가 세라믹 시트(S)를 유지하는 힘은 코팅 롤(12)이 세라믹 시트(S)를 유지하는 힘보다 크고, 또한 인쇄 반송 롤러(32)가 세라믹 시트(S)를 유지하는 힘보다 작게 설정되어 있으므로, 세라믹 시트(S)는 코팅 롤(12)로부터 박리되어 중간 반송 롤러(30)에 유지되고, 그 후 인쇄 반송 롤러(32)에 전사된다. 인쇄 반송 롤(32)이 세라믹 시트(S)를 유지하는 힘은 스태킹 롤(14)이 세라믹 시트(S)를 유지하는 힘보다 작게 설정되어 있으므로, 세라믹 시트(S)는 인쇄 반송 롤러(32)로부터 박리되어 스태킹 롤(14)에 전사된다. 스태킹 롤(14)의 탄성체의 표면은 점착, 정전 흡착 등의 수단에 의해 세라믹 시트(S)를 유지한다. 또한, 스태킹 롤(14)에 의해 권취된 세라믹 시트(S)는 서로 겹치는 시트층끼리가 압착되어 서로 유지한다. 이들 유지의 힘은 인쇄 반송 롤러(32)가 세라믹 시트(S)를 유지하는 힘보다 크게 설정되어 있으므로, 세라믹 시트(S)는 인쇄 반송 롤러(32)로부터 박리되어 스태킹 롤(14)에 전사된다.The force that the intermediate transfer roller 30 holds the ceramic sheet S is greater than the force that the coating roll 12 holds the ceramic sheet S, and the print transfer roller 32 holds the ceramic sheet S. Since it is set smaller than the force to be made, the ceramic sheet S is peeled from the coating roll 12, it is hold | maintained by the intermediate conveyance roller 30, and is then transferred to the printing conveyance roller 32. Since the force which the printing conveyance roll 32 hold | maintains the ceramic sheet | seat S is set smaller than the force which the stacking roll 14 hold | maintains the ceramic sheet | seat S, the ceramic sheet | seat S is the printing conveyance roller 32 It peels off and is transferred to the stacking roll 14. The surface of the elastic body of the stacking roll 14 holds the ceramic sheet S by means of adhesion, electrostatic adsorption, or the like. In addition, in the ceramic sheet S wound by the stacking roll 14, the sheet layers overlapping each other are crimped | bonded and hold | maintained. Since the holding force is set larger than the force that the printing conveying roller 32 holds the ceramic sheet S, the ceramic sheet S is peeled off from the printing conveying roller 32 and transferred to the stacking roll 14. .

상세하게는, 중간 반송 롤러(30)는 코팅 롤(12)로부터 세라믹 시트(S)를 박리해서 인쇄 반송 롤러(32)에 전사하는 기능을 갖고 있다. 또한, 인쇄 반송 롤러(32)는 중간 반송 롤러(30)로부터 세라믹 시트(S)를 박리해서 스태킹 롤(14)에 전사하는 기능을 갖고 있다. 또한, 중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)는 세라믹 시트(S)를 흡착(흡인 또는 정전 흡착)해서 박리 반송하는 박리 반송 롤이여도 좋다. 이 때, 중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)는 세라믹 시트(S)를 흡착하는 부위와 흡착하지 않는 부위를 제어하도록 구성되는 것이 바람직하다. 코팅 롤(12)로부터 세라믹 시트(S)를 수취할 때에 세라믹 시트(S)에 접촉하는 중간 반송 롤러(30)의 소정 부위에 흡착 기능을 가지게 하고, 수취한 세라믹 시트(S)를 인쇄 반송 롤러(32)에 전사할 때에 세라믹 시트(S)에 접촉하는 중간 반송 롤러(30)의 소정 부위에 비흡착 영역을 가지게 함으로써 세라믹 시트(S)의 수취와 전사를 원활하게 행할 수 있다. 이 흡착 기능 및 비흡착 영역에 대해서는 인쇄 반송 롤러(32)에 대해서도 마찬가지이다. 즉, 중간 반송 롤러(30)로부터 세라믹 시트(S)를 수취할 때에 세라믹 시트(S)에 접촉하는 인쇄 반송 롤러(32)의 소정 부위에 흡착 기능을 가지게 하고, 수취한 세라믹 시트(S)를 스태킹 롤(14)에 전사할 때에 세라믹 시트(S)에 접촉하는 인쇄 반송 롤러(32)의 소정 부위에 비흡착 영역을 가지게 함으로써 세라믹 시트(S)의 수취와 전사를 원활하게 행할 수 있다.In detail, the intermediate conveyance roller 30 has a function which peels the ceramic sheet S from the coating roll 12, and transfers to the printing conveyance roller 32. As shown in FIG. Moreover, the printing conveyance roller 32 has a function which peels the ceramic sheet S from the intermediate conveyance roller 30, and transfers it to the stacking roll 14. As shown in FIG. In addition, the intermediate | middle conveyance roller 30 and the printing conveyance roller 32 may be a peeling conveyance roll which adsorbs (suctions or electrostaticssorbs) the ceramic sheet S, and peels and conveys them. At this time, it is preferable that the intermediate conveyance roller 30 and the printing conveyance roller 32 are comprised so that the site | part which adsorbs a ceramic sheet S and the site | part which does not adsorb | suck are controlled. When receiving the ceramic sheet S from the coating roll 12, it has a adsorption function to the predetermined site | part of the intermediate | middle conveyance roller 30 which contacts the ceramic sheet S, and receives the received ceramic sheet S in a printing conveyance roller. Receiving and transferring ceramic sheet S can be performed smoothly by having a non-adsorption area | region in the predetermined site | part of the intermediate | middle conveyance roller 30 which contacts the ceramic sheet S at the time of transferring to 32. FIG. The same applies to the print conveying roller 32 for the adsorption function and the non-adsorption area. That is, when receiving the ceramic sheet S from the intermediate conveyance roller 30, it has a adsorption function to the predetermined site | part of the printing conveyance roller 32 which contacts the ceramic sheet S, and receives the received ceramic sheet S. Receiving and transferring ceramic sheet S can be performed smoothly by having a non-adsorption area | region in the predetermined site | part of the printing conveyance roller 32 which contacts the ceramic sheet S when transferring to the stacking roll 14. FIG.

또한, 본 실시형태에서는 인쇄 반송 롤러(32) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된다.In addition, in this embodiment, the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed with respect to the ceramic sheet S on the printing conveyance roller 32.

전극 회로 형성 수단(22)으로서는 예컨대, 잉크젯 인쇄 장치가 채용된다. 전극 회로 형성 수단(22)은 무판 인쇄 수단이 바람직하지만, 건조 후의 전극 회로(24)를 전사해도 좋고, 요판 인쇄, 요판 오프셋 인쇄 등 수단은 상관 없다. 또한, 전극 회로 형성 수단(22)에서 사용되는 전극재 잉크는 예컨대, 유기 용매에 Ni 분말(니켈 분말)과 수지를 용해 분산시킨 것이 사용된다. UV 경화성의 수지에 Ni 분말을 분산시킨 것이여도 좋다. 특히, 세라믹 도포막에 대해서 팽윤성이 낮은 용매를 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 용매는 수계(水系)이여도 좋다.As the electrode circuit forming means 22, for example, an inkjet printing apparatus is employed. The electrode circuit forming means 22 is preferably a plateless printing means, but the electrode circuit 24 after drying may be transferred, and means such as intaglio printing and intaglio offset printing may be used. As the electrode material ink used in the electrode circuit forming means 22, for example, one obtained by dissolving and dispersing Ni powder (nickel powder) and resin in an organic solvent is used. What disperse | distributed Ni powder to UV curable resin may be sufficient. In particular, it is preferable to use a solvent with low swelling property with respect to a ceramic coating film. In addition, the solvent may be an aqueous system.

유전체 도포막 형성 수단(38)으로서는 예컨대, 잉크젯 인쇄 장치가 채용된다. 유전체 도포막 형성 수단(38)은 무판 인쇄 수단이 바람직하지만, 건조 후의 유전체 도포막을 전사해도 좋고, 요판 인쇄, 요판 오프셋 인쇄, 그라비어 인쇄, 그라비어 오프셋 인쇄, 로터리 스크린 인쇄 등 수단은 상관 없다. 또한, 유전체 도포막 형성 수단(38)에서 사용되는 유전체 재료는 세라믹 잉크, 예컨대, 유기 용매에 세라믹스 분말과 수지를 용해 분해시킨 것이다. UV 경화 수지에 세라믹스 분말을 분산시킨 것을 이용해도 좋다. 특히, 세라믹 도포막에 대해서 팽윤성이 낮은 용매를 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 용매는 수계이여도 좋다.As the dielectric coating film forming means 38, for example, an inkjet printing apparatus is employed. The dielectric coating film forming means 38 is preferably a plateless printing means. However, the dielectric coating film after drying may be transferred, and any means such as intaglio printing, intaglio offset printing, gravure printing, gravure offset printing, or rotary screen printing may be used. The dielectric material used in the dielectric coating film forming means 38 is obtained by dissolving and dissolving ceramic powder and resin in a ceramic ink, for example, an organic solvent. You may use what disperse | distributed the ceramic powder to UV hardening resin. In particular, it is preferable to use a solvent with low swelling property with respect to a ceramic coating film. In addition, the solvent may be aqueous.

건조 경화 장치(20,26)로서는 예컨대, 열풍에 의해 건조시키는 방법이나 코팅 롤(12)의 외주면을 가열하는 방법이 채용된다. UV 경화성의 수지를 이용하고 있을 경우, UV 조사해서 경화시켜도 좋다. 건조 경화 장치(20,26)는 도포된 세라믹 슬러리나 전극재 잉크를 건조 또는 경화시키기 위한 것이다. 또한, 코팅 롤(12) 상의 세라믹 슬러리를 건조 경화시키기 위한 건조 경화 장치(20)에는 진공 건조 수단을 이용해도 좋다. 건조 경화 장치(26)는 인쇄 반송 롤러(32) 상의 세라믹 시트(S)에 형성된 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 것이다.As the dry hardening apparatus 20,26, the method of drying by hot air and the method of heating the outer peripheral surface of the coating roll 12 are employ | adopted, for example. When using UV curable resin, you may irradiate and harden UV. The dry curing apparatuses 20 and 26 are for drying or curing the applied ceramic slurry or electrode material ink. In addition, you may use a vacuum drying means for the dry hardening apparatus 20 for dry hardening the ceramic slurry on the coating roll 12. As shown in FIG. The dry curing apparatus 26 is for drying the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 formed on the ceramic sheet S on the print conveying roller 32.

세라믹 슬러리로서는 예컨대, 유기 용매에 세라믹스 분말과 수지를 용해 분산시킨 것이 채용된다. UV 경화 수지에 세라믹스 분말을 분산시킨 것을 이용해도 좋다. 또한, 용매는 수계이여도 좋다.As a ceramic slurry, what melt | dissolved and disperse | distributed the ceramic powder and resin in the organic solvent is employ | adopted, for example. You may use what disperse | distributed the ceramic powder to UV hardening resin. In addition, the solvent may be aqueous.

이어서, 적층형 전자 부품 제조 장치(10)를 이용한 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')의 제조 방법에 대해서 설명한다.Next, the manufacturing method of the laminated structure S 'of the ceramic sheet S using the laminated electronic component manufacturing apparatus 10 is demonstrated.

이형 처리를 실시한 코팅 롤(12)을 소정의 속도로 회전시키고, 이 외주면에 세라믹 슬러리를 성막 수단(16)에 의해 도포한다. 또한, 세라믹 슬러리의 공급은 급액 수단(18)인 기어 펌프를 이용해서 행해진다. 그리고, 코팅 롤(12) 상에서 세라믹 슬러리를 건조 경화 장치(20)를 이용하여 건조시켜 고화시킨다. 여기서, 건조 경화 장치(20)에 의한 세라믹 슬러리의 건조에는 소정 온도의 열풍을 이용한다. 코팅 롤(12)의 외주면이 적정 온도가 되도록 별도의 온도 조절기로 가열 또는 냉각해서 온도 조정한다. 또한, 이들 온도는 세라믹 시트(S)의 재료에 따라 적절하게 조정한다. 이와 같이 해서, 성막 수단(16) 및 급액 수단(18)에 의해 세라믹 슬러리가 코팅 롤(12)에 대해서 연속적으로 공급되어 세라믹 시트(S)가 계속해서 형성된다. 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 인쇄되어 있지 않은 세라믹 시트(S)를 스태킹 롤(14)로 소정 층만큼 권취해서 적층 구조체(S')의 외층부를 형성한다.The coating roll 12 which performed the mold release process is rotated at a predetermined speed, and a ceramic slurry is apply | coated to this outer peripheral surface by the film-forming means 16. FIG. In addition, supply of a ceramic slurry is performed using the gear pump which is a liquid supply means 18. As shown in FIG. Then, the ceramic slurry is dried and solidified on the coating roll 12 using the dry curing apparatus 20. Here, hot air of a predetermined temperature is used for drying the ceramic slurry by the dry curing device 20. The temperature is adjusted by heating or cooling with a separate temperature controller so that the outer circumferential surface of the coating roll 12 is an appropriate temperature. In addition, these temperatures are adjusted suitably according to the material of the ceramic sheet S. FIG. In this way, the ceramic slurry is continuously supplied to the coating roll 12 by the film forming means 16 and the liquid supply means 18 so that the ceramic sheet S is continuously formed. The ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are not printed is wound by the stacking roll 14 by a predetermined layer to form an outer layer portion of the laminated structure S '.

이어서, 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)를 중간 반송 롤러(30)에 의해 코팅 롤(12) 상으로부터 박리해서 인쇄 반송 롤러(32)에 반송한다. 이에 따라, 세라믹 시트(S)는 인쇄 반송 롤러(32) 상으로 이동한다. 인쇄 반송 롤러(32) 상으로 이동한 세라믹 시트(S)는 인쇄 반송 롤러(32)의 회전과 함께 이동해서 전극 회로 형성 수단(22)(예컨대, 잉크젯 인쇄)의 바로 아래에 도달한다. 그리고, 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로 형성 수단(22)으로부터 전극재 잉크를 도포하고, 소정의 도형 패턴의 전극 회로(내부 전극 회로)(24)를 인쇄한다. 인쇄 반송 롤러(32)의 외주면은 적정 온도가 되도록 온도 조절기에 의해 온도 조정되어 있다.Next, the ceramic sheet S on the coating roll 12 is peeled from the coating roll 12 on the intermediate conveying roller 30, and is conveyed to the printing conveying roller 32. As a result, the ceramic sheet S moves on the print conveyance roller 32. The ceramic sheet S moved onto the print conveyance roller 32 moves with the rotation of the print conveyance roller 32 to reach just below the electrode circuit forming means 22 (for example, inkjet printing). And the electrode material ink is apply | coated from the electrode circuit formation means 22 to the ceramic sheet S on the coating roll 12, and the electrode circuit (internal electrode circuit) 24 of a predetermined figure pattern is printed. The outer peripheral surface of the printing conveyance roller 32 is temperature-controlled by the temperature controller so that it may become a suitable temperature.

이어서, 전극 회로(24)가 형성된 세라믹 시트(S)는 인쇄 반송 롤러(32)의 회전과 함께 이동해서 유전체 도포막 형성 수단(38)(예컨대, 잉크젯 인쇄)의 바로 아래에 도달한다. 그리고, 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)의 단차부에 대해서 유전체 도포막 형성 수단(38)으로부터 세라믹 잉크를 도포하고, 소정의 도형 패턴의 유전체 도포막(36)을 인쇄한다. 여기서, 유전체 도포막(36)의 형성 위치는 세라믹 시트(S) 상의 전극 회로(24) 사이에 형성된 오목부가 된다. 즉, 도 3에 나타내는 바와 같이, 세라믹 시트(S) 상에 전극 회로(24)가 형성되면 세라믹 시트(S) 상에 요철이 생기고, 소위 단차부(34)가 발생된다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 이 전극 회로(24) 사이에 형성된 단차부(34)에 유전체 도포막(36)을 인쇄함으로써 단차부(오목부)(34)가 저감되어 세라믹 시트(S)의 표면이 평탄 형상이 된다.Subsequently, the ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 is formed moves together with the rotation of the print conveying roller 32 to reach just below the dielectric coating film forming means 38 (for example, inkjet printing). Then, ceramic ink is applied from the dielectric coating film forming means 38 to the stepped portion of the ceramic sheet S on the coating roll 12, and the dielectric coating film 36 having a predetermined figure pattern is printed. Here, the formation position of the dielectric coating film 36 becomes a recess formed between the electrode circuits 24 on the ceramic sheet S. As shown in FIG. That is, as shown in FIG. 3, when the electrode circuit 24 is formed on the ceramic sheet S, an unevenness | corrugation will arise on the ceramic sheet S, and what is called a step part 34 is produced. As shown in FIG. 4, the stepped portion (concave portion) 34 is reduced by printing the dielectric coating film 36 on the stepped portion 34 formed between the electrode circuits 24, thereby reducing the surface of the ceramic sheet S. This flat shape is obtained.

이어서, 전극 회로(내부 전극 회로)(24) 및 유전체 도포막(36)의 인쇄 후에 건조 경화 장치(26)로부터 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)에 대해서 소정 온도의 온풍을 분사해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시킨다. 여기서, 전극 회로(24)의 형성 공정에서는 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되었을 때에 각 층(각 둘레)마다 전극 회로(24)가 대향 전극이 되도록 도형 패턴 및 형상을 바꾸어서 전극 인쇄가 행해진다. 또한, 유전체 도포막(36)의 형성 공정에서는 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되었을 때에 각 층마다 유전체 도포막(36)이 대향 전극이 되도록 도형 패턴 및 형상을 바꾸어서 인쇄가 행해진다. 이와 같이 해서, 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된다.Subsequently, after printing of the electrode circuit (inner electrode circuit) 24 and the dielectric coating film 36, hot air of a predetermined temperature is sprayed from the dry curing device 26 onto the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36. The electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are dried. Here, in the formation process of the electrode circuit 24, when it is wound by the outer peripheral surface of the stacking roll 14, electrode printing is performed by changing a figure pattern and a shape so that the electrode circuit 24 may become a counter electrode for each layer (each perimeter). . In addition, in the formation process of the dielectric coating film 36, printing is performed by changing a figure pattern and a shape so that the dielectric coating film 36 may become a counter electrode for each layer when it is wound up on the outer peripheral surface of the stacking roll 14. As shown in FIG. In this way, the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S on the coating roll 12.

이어서, 코팅 롤(12)에 대해서 스태킹 롤(14)을 소정의 가압력으로 가압 접촉시킨다. 또한, 상기 가압력은 세라믹 시트(S)의 재료에 의해 적절하게 조정할 필요가 있다. 그리고, 코팅 롤(12)의 외주면에 형성된 건조 후의 세라믹 시트(S)(전극 회로 및 유전체 도포막 형성 완료)를 코팅 롤(12)의 외주면으로부터 박리시키고 스태킹 롤(14)의 외주면 상에 전사시켜서 권취한다. 여기서, 코팅 롤(12)의 외주면에는 이형 처리가 실시되어 있고, 또한 스태킹 롤(14)이 코팅 롤(12)에 대해서 소정의 가압력으로 접촉하고 있으므로, 코팅 롤(12)의 외주면에 형성된 건조 후의 세라믹 시트(S)는 코팅 롤(12)의 외주면으로부터 용이하게 박리되어 스태킹 롤(14)의 외주면측에 전사된다. 스태킹 롤(14)은 금속제의 원통형 지그의 외주면에 수지 필름이 권취되어 있고, 그 외주면의 온도가 소정의 온도가 되도록 온도 조정되어 있다. 또한, 외주면의 온도는 세라믹 시트(S)의 재료에 따라 적절하게 조정할 필요가 있다.Next, the stacking roll 14 is pressed against the coating roll 12 at a predetermined pressing force. In addition, it is necessary to adjust the said pressing force suitably with the material of the ceramic sheet S. FIG. Then, the dried ceramic sheet S (completely formed electrode circuit and dielectric coating film) formed on the outer circumferential surface of the coating roll 12 is peeled from the outer circumferential surface of the coating roll 12 and transferred onto the outer circumferential surface of the stacking roll 14. Wind up. Here, since the mold release process is given to the outer peripheral surface of the coating roll 12, and the stacking roll 14 is contacting with respect to the coating roll 12 by predetermined pressure, after drying formed in the outer peripheral surface of the coating roll 12, The ceramic sheet S is easily peeled from the outer circumferential surface of the coating roll 12 and transferred to the outer circumferential surface side of the stacking roll 14. In the stacking roll 14, a resin film is wound around the outer circumferential surface of the metal cylindrical jig, and the temperature is adjusted so that the temperature of the outer circumferential surface becomes a predetermined temperature. In addition, the temperature of the outer peripheral surface needs to be adjusted appropriately according to the material of the ceramic sheet S. FIG.

스태킹 롤(14)로 세라믹 시트(S)를 소정 층만큼 권취한 후, 전극 회로 형성 수단(22)에 의한 전극 회로(24)의 인쇄, 및 유전체 도포막 형성 수단(38)에 의한 유전체 도포막(36)의 인쇄가 정지된다. 계속해서, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 인쇄가 되어 있지 않은 세라믹 시트(S)를 소정의 층만큼 스태킹 롤(14)에 권취해서 적층 구조체(S')의 외층부를 형성한다. 그 후, 코팅 롤(12)에 대한 세라믹 슬러리의 공급을 정지해서 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')의 형성을 종료하거나, 또는, 체인저 기구에 의해 스태킹 롤(14) 대신에 별도의 스태킹 롤을 코팅 롤(12)의 외주면에 가압 접촉시켜 코팅 롤의 외주면에 세라믹 시트(S)[전극 회로(24) 및 유전체 도포막 형성 후의 것]를 권취한다. 이와 같이 해서 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 형성한다.After winding the ceramic sheet S with the stacking roll 14 by a predetermined layer, printing the electrode circuit 24 by the electrode circuit forming means 22 and the dielectric coating film by the dielectric coating film forming means 38. Printing of 36 is stopped. Subsequently, the ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are not printed is wound on the stacking roll 14 by a predetermined layer to form an outer layer portion of the laminated structure S '. . Thereafter, the supply of the ceramic slurry to the coating roll 12 is stopped to terminate the formation of the laminated structure S 'of the ceramic sheet S, or alternatively to the stacking roll 14 by a changer mechanism. The stacking roll is brought into pressure contact with the outer circumferential surface of the coating roll 12 to wind the ceramic sheet S (after forming the electrode circuit 24 and the dielectric coating film) on the outer circumferential surface of the coating roll. In this way, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed.

또한, 스태킹 롤(14)[또는 스태킹 롤(15)]에 형성된 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 원통형 지그와 함께 분리하고, 원통 형상인 채로 가압 프레스를 행하고, 다이서 커팅(dicer cutting)에 의해 칩 형상으로 절단한다. 그 후, 소성, 전극 회로(외부 전극 회로)를 형성하거나 해서 통상의 제조 프로세스를 거쳐 적층 세라믹 콘덴서를 제조한다.Moreover, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S formed in the stacking roll 14 (or stacking roll 15) is isolate | separated with a cylindrical jig, a press press is carried out with cylindrical shape, and dicer cutting ( cut into chip shape by dicer cutting). Thereafter, firing, an electrode circuit (external electrode circuit) is formed, and a multilayer ceramic capacitor is manufactured through a normal manufacturing process.

특히, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성하면 전극 회로(24) 사이에 오목부가 생겨 세라믹 시트(S) 상에 단차부(34)(오목부)가 발생되지만, 이 단차부(34)에 유전체 도포막(36)(세라믹 재료)을 인쇄함으로써 단차부(34)를 저감할 수 있다. 이와 같이, 전극 회로간의 단차부(34)를 유전체 도포막(36)으로 메움으로써 세라믹 시트(S)의 적층수가 증가했을 경우에 발생되기 쉬워지는 적층 어긋남이나 접착 불량을 방지할 수 있고, 또한, 단차부(34)가 존재하는 것에 기인하는 구조 결함을 억제할 수 있다. 이 결과, 제조되는 전자 부품의 품질 불량을 방지할 수 있다. 또한, 유전체 도포막(36)과 전극 회로(24)의 형성 순서는 특별히 문제되지 않는다. 유전체 도포막 형성 수단(38)의 설치 위치와 전극 회로 형성 수단(22)의 설치 위치도 특별히 문제되지 않는다.In particular, as shown in FIG. 3 and FIG. 4, when the electrode circuit 24 is formed in the ceramic sheet S, a recess is formed between the electrode circuits 24 and the step portion 34 (concave) is formed on the ceramic sheet S. Part), but the step part 34 can be reduced by printing the dielectric coating film 36 (ceramic material) on the step part 34. FIG. In this way, by filling the step portion 34 between the electrode circuits with the dielectric coating film 36, lamination shifts and poor adhesion which tend to occur when the number of laminated sheets of the ceramic sheet S increase can be prevented, The structural defect resulting from the presence of the stepped portion 34 can be suppressed. As a result, the quality defect of the electronic component manufactured can be prevented. In addition, the formation order of the dielectric coating film 36 and the electrode circuit 24 does not have a problem in particular. The installation position of the dielectric coating film forming means 38 and the installation position of the electrode circuit forming means 22 are not particularly problematic.

특히, 전기 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 인쇄 반송 롤러(32) 상에서 대략 동일한 타이밍에서 형성됨으로써 전기 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 위치 정밀도를 높일 수 있다. 이에 따라, CCD 카메라 등의 검지 수단을 별도 설치하지 않아도 고정밀도의 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 제조할 수 있다.In particular, since the electric circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the printing conveyance roller 32 at substantially the same timing, the positional accuracy of the electric circuit 24 and the dielectric coating film 36 can be improved. Thereby, the laminated structure S 'of the high precision ceramic sheet S can be manufactured, without providing a detection means, such as a CCD camera.

또한, 세라믹 시트(S)가 코팅 롤(12)로부터 박리되고 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 형성되어 있을 때에 코팅 롤(12)에는 새로운 세라믹 시트(S)가 계속해서 형성되므로, 코팅 롤(12)에 있어서의 세라믹 시트(S)의 형성과 스태킹 롤(14)에 있어서의 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')의 형성이 동시에 실행된다. 이에 따라, 코팅 롤(12)의 회전 구동을 일단 정지하지 않고 연속적으로 세라믹 시트(S)를 형성할 수 있고, 또한, 스태킹 롤(14)의 회전 구동을 일단 정지하지 않고 연속적으로 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 제조할 수 있다. 이와 같이, 간헐적인 운전이 아니라 연속 운전으로 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 형성할 수 있다. 이 결과, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 매우 단시간에 형성할 수 있어 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, when the ceramic sheet S is peeled off from the coating roll 12 and wound around the outer circumferential surface of the stacking roll 14 to form the laminated structure S 'of the ceramic sheet S, a new coating roll 12 is applied to the coating roll 12. Since the ceramic sheet S is formed continuously, formation of the ceramic sheet S in the coating roll 12 and formation of the laminated structure S 'of the ceramic sheet S in the stacking roll 14 are performed. Run concurrently. Thereby, the ceramic sheet S can be formed continuously without stopping rotation drive of the coating roll 12 once, and also ceramic sheet S continuously without stopping rotation drive of the stacking roll 14 once. ) Laminated structure (S ') can be produced. Thus, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S can be formed by continuous operation instead of intermittent operation. As a result, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S can be formed in a very short time, and the manufacturing efficiency of the laminated structure S' of the ceramic sheet S can be improved.

또한, 세라믹 시트(S)가 강체인 코팅 롤(12) 상에 형성되고, 시트 성형으로부터 시트 적층 공정까지를 코팅 반송 롤(12)이나 전사 롤(14)로 시트면을 지지하면서 반송하므로, 얇고 저강도인 세라믹 시트(S)를 사용해도 세라믹 시트(S)의 깨짐이나 손상의 발생을 억제할 수 있다. 이 결과, 얇고 저강도인 세라믹 시트(S)의 핸들링성을 높일 수 있다.Moreover, since the ceramic sheet S is formed on the coating roll 12 which is a rigid body, and conveys from sheet molding to the sheet | seat lamination process, supporting a sheet surface with the coating conveyance roll 12 or the transfer roll 14, it is thin, Even when the low-strength ceramic sheet S is used, cracking and damage of the ceramic sheet S can be suppressed. As a result, the handling property of the thin, low-strength ceramic sheet S can be improved.

또한, 공지의 세라믹 슬러리의 간헐적인 도포를 이용하는 방법보다 세라믹 시트(S)의 막 두께의 균일성, 높은 생산성이 얻어진다. 즉, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 시트를 연속해서 성형하므로 간헐 도포에 비해서 막 두께의 안정 영역이 넓어진다. 이 결과, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')로부터 안정된 품질의 전자 부품을 취득할 수 있다. 세라믹 시트(S)의 적층 구조체 단위체적당 취득할 수 있는 전자 부품의 개수가 많아진다.Moreover, the uniformity and the high productivity of the film thickness of the ceramic sheet S are obtained rather than the method using the intermittent application | coating of a well-known ceramic slurry. That is, since the laminated structure S 'of the ceramic sheet S continuously forms the sheet, the stable region of the film thickness is wider than the intermittent coating. As a result, the electronic component of stable quality can be acquired from the laminated structure S 'of the ceramic sheet S. FIG. The number of electronic components which can be acquired per unit volume of the laminated structure of the ceramic sheet S increases.

또한, 본 실시형태에서는 1회용 기재(PET 필름 등)의 중간 소비재를 사용할 필요가 없고 보관이나 운반 등을 포함한 중간 재료 비용을 삭감할 수 있으므로, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S'), 나아가서는 전자 부품의 제조 비용을 대폭적으로 저감하는 것이 가능하다.In addition, in this embodiment, since it is not necessary to use the intermediate consumer goods of disposable base materials (PET film etc.), and the intermediate material cost including storage, transportation, etc. can be reduced, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S, Furthermore, the manufacturing cost of an electronic component can be reduced significantly.

또한, 본 실시형태에서는 성막 공정이나 인쇄 공정이나 단차 해소 공정이나 적층 공정을 연결함으로써 필요한 만큼만의 세라믹 시트(S)의 형성만으로 끝나고, 종래와 같이 적층의 반송 경로에서의 손실이나 적층 단수(端數) 등의 만큼이 발생하는 일은 없어지므로 재료 손실의 저감을 도모할 수 있다.In addition, in this embodiment, only the ceramic sheet S which is necessary is formed by connecting a film forming process, a printing process, a step | step difference elimination process, and a lamination | stacking process, and the loss of the conveyance path of a lamination | stacking and lamination | stacking number ), Etc., are eliminated, so that material loss can be reduced.

또한, 본 실시형태에서는 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주면에 적층되기 전에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성되므로, 바꾸어 말하면, 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 후에 전극 회로 및 유전체 도포막 형성이 완료된 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다. 이에 따라, 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주면에 적층된 후에 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성되면 하층의 세라믹 시트(S)에 형성된 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36), 또는 하층의 전극 회로 및 유전체 도포막 형성이 완료된 세라믹 시트(S)에 전극 용매 및 유전체 도포막 용매가 원인이 되어서 시트 어택(sheet attack)이 발생된다. 본 발명과 같이 단층의 세라믹 시트의 상태로 전극 회로가 형성되면 시트 어택의 영향을 단층만의 최소한으로 억제할 수 있게 되어 쇼트 또는 IR(절연 저항 불량) 불량 등의 문제를 저감할 수 있다.In addition, in this embodiment, since the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed before the ceramic sheet S is laminated | stacked on the outer peripheral surface of the stacking roll 14, in other words, an electrode circuit in the ceramic sheet S is carried out. After the 24 and the dielectric coating film 36 are formed, the ceramic sheet S on which the electrode circuit and the dielectric coating film formation are completed is wound and laminated on the outer circumferential surface of the stacking roll 14. Accordingly, when the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S after the ceramic sheet S is laminated on the outer circumferential surface of the stacking roll 14, the ceramic sheet S is formed on the lower ceramic sheet S. Sheet attack occurs due to the electrode solvent and the dielectric coating film solvent in the electrode sheet 24 and the dielectric coating film 36 or the ceramic sheet S on which the lower electrode circuit and the dielectric coating film are completed. do. When the electrode circuit is formed in the state of the single-layer ceramic sheet as in the present invention, the influence of the sheet attack can be suppressed to the minimum of the single layer, so that problems such as short or poor IR (poor insulation resistance) can be reduced.

특히, 코팅 롤(12) 상에서 세라믹 시트(S)의 형성과 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 형성을 동시에 행하므로, 하나의 설비 전체를 심플하고 콤팩트하게 할 수 있고, 설비 가격을 낮게, 면적을 작게 할 수 있고, 또한 설비의 신뢰성을 높일 수 있다.In particular, since the formation of the ceramic sheet S and the formation of the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 on the coating roll 12 are performed at the same time, it is possible to make the whole of a single facility simple and compact. Can be made low, the area can be made small, and the reliability of the equipment can be improved.

또한, 코팅 롤(12) 상에서 세라믹 슬러리를 건조시키고, 별도 설치한 스태킹 롤(14)에 세라믹 시트(S)를 적층해 가므로, 건조된 세라믹 시트(S) 상에 세라믹 슬러리가 도포되는 일이 없어 재용해에 의한 시트 어택이 발생되지 않는다. In addition, since the ceramic slurry is dried on the coating roll 12 and the ceramic sheet S is laminated on the stacking roll 14 separately installed, the ceramic slurry is applied on the dried ceramic sheet S. There is no sheet attack by remelting.

또한, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 형성에 잉크젯 등의 무판 인쇄 공법을 이용함으로써 세라믹 시트(S)의 각 층마다에 있어서 다른 전극 패턴을 구비한 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 형성이 가능하다. 특히, 세라믹 시트(S)의 적층의 진행에 따라 세라믹 시트(S)의 변형이나 스태킹 롤(14)의 외경이 증가하거나 해서 주위 길이 증가가 발생되어도 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 패턴이나 형성 위치를 자유롭게 변경할 수 있기 때문에, 전극 회로(24) 사이 및 유전체 도포막(36) 사이의 피치(간격)를 적절하게 조정해서 위치 어긋남이 없는 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 형성이 가능하게 된다.Further, by using a plateless printing method such as inkjet for forming the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36, the electrode circuit 24 and the dielectric having different electrode patterns for each layer of the ceramic sheet S are provided. The coating film 36 can be formed. In particular, even when the deformation of the ceramic sheet S or the outer diameter of the stacking roll 14 increases or the peripheral length increases due to the progress of the stacking of the ceramic sheet S, the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are generated. Since the pattern and the formation position of can be freely changed, the pitch (spacing) between the electrode circuits 24 and the dielectric coating film 36 is appropriately adjusted so that the electrode circuit 24 and the dielectric coating film (without position shift) 36) becomes possible.

특히, 코팅 롤(12)과 스태킹 롤(14) 사이에 중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)가 개재되어 있으므로, 코팅 롤(12)로부터의 세라믹 시트(S)의 박리가 스태킹 롤(14)측의 상태에 영향을 주지 않아 안정된 핸들링이 가능하게 된다. 구체적으로는 스태킹 롤(14)에 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 형성되어 가면 스태킹 롤(14)의 세라믹 시트를 포함한 크기(외경)가 커져 가는 등의 외형상의 상태 변화가 생긴다. 그러나, 코팅 롤(12)과 스태킹 롤(14) 사이에 중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)를 개재시킴으로써 상기한 스태킹 롤(14)의 상태 변화에 맞추어 스태킹 롤(14)과 중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)의 위치 관계나 압력 등을 적절하게 조정할 수 있다. 이에 따라, 스태킹 롤(14)의 상태 변화에 의해 스태킹 롤(14) 상에 형성되는 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')의 품질이 열화되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 스태킹 롤(14)이 코팅 롤(12)에 직접 접촉하지 않도록 설계함으로써 스태킹 롤(14)의 상태 변화에 따라 스태킹 롤(14)이 코팅 롤(12) 상에 형성되는 세라믹 시트(S)에 손상을 주는 것을 방지할 수 있고, 세라믹 시트(S) 나아가서는 전자 부품의 품질을 열화시켜 버리는 것을 방지할 수 있다.In particular, since the intermediate | middle conveyance roller 30 and the printing conveyance roller 32 are interposed between the coating roll 12 and the stacking roll 14, peeling of the ceramic sheet S from the coating roll 12 is a stacking roll. It does not affect the state of the (14) side, and stable handling is attained. Specifically, when the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed on the stacking roll 14, the state change of the appearance such as the size (outer diameter) including the ceramic sheet of the stacking roll 14 increases. . However, by interposing the intermediate conveying roller 30 and the printing conveying roller 32 between the coating roll 12 and the stacking roll 14, the stacking roll 14 and the intermediate | middle in accordance with the state change of the stacking roll 14 mentioned above. The positional relationship, the pressure, etc. of the conveyance roller 30 and the printing conveyance roller 32 can be adjusted suitably. Thereby, deterioration of the quality of the laminated structure S 'of the ceramic sheet S formed on the stacking roll 14 by the state change of the stacking roll 14 can be prevented. In addition, the ceramic sheet S in which the stacking roll 14 is formed on the coating roll 12 according to the change of the state of the stacking roll 14 by designing the stacking roll 14 so as not to directly contact the coating roll 12. Damage to the ceramic sheet S can be prevented, and deterioration of the quality of the ceramic sheet S and thus the electronic components can be prevented.

또한, 중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)를 설치함으로써 코팅 롤(12)을 대형화하지 않고 스태킹 롤(14)에 반송될 때까지 세라믹 시트(S)가 이동하는 경로를 길게 할 수 있으므로 세라믹 시트(S)의 건조 시간을 길게 가질 수 있다. 그리고, 코팅 롤(12)에는 연속해서 세라믹 슬러리가 계속해서 도포되기 때문에 코팅 롤(12)로부터 중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)를 통해서 스태킹 롤(14)에 반송될 때까지의 세라믹 시트(S)의 이동 공정을 연속해서 행할 수 있다. 이 결과, 설비의 라인 속도를 높여 세라믹 시트(S)의 제조 속도(제조 효율)를 높일 수 있고, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S'), 나아가서는 전자 부품의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.Moreover, by providing the intermediate conveyance roller 30 and the printing conveyance roller 32, the path | route which the ceramic sheet | seat S moves to can be lengthened until it conveys to the stacking roll 14, without making the coating roll 12 large. Therefore, the drying time of the ceramic sheet S may be long. And since the ceramic slurry is continuously apply | coated to the coating roll 12 continuously from the coating roll 12 to the stacking roll 14 through the intermediate conveyance roller 30 and the printing conveyance roller 32, The movement process of the ceramic sheet S can be performed continuously. As a result, the line speed of the equipment can be increased to increase the manufacturing speed (manufacturing efficiency) of the ceramic sheet S, and the manufacturing efficiency of the laminated structure S 'of the ceramic sheet S, and moreover, the electronic component can be improved. have.

또한, 도 4에 나타내는 바와 같이, 인쇄 반송 롤러(32) 상의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된다. 이에 따라, 코팅 롤(12) 상에서 확실하게 건조시킨 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 형성하기 때문에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 형성 위치의 위치 정밀도를 한층 높일 수 있다. 반대로, 반건조의 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 형성하면 지반이 되는 세라믹 시트(S)가 변형되거나 하기 때문에 이 위에 형성된 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 위치도 어긋날 우려가 있다. 본 실시형태는 이러한 문제를 해소하기 위해서 코팅 롤(12) 상에서 확실하게 건조시킨 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 형성한 것이다.4, the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed in the ceramic sheet S on the printing conveyance roller 32. As shown in FIG. Thereby, since the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed with respect to the ceramic sheet S dried on the coating roll 12, formation of the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 is carried out. The positional accuracy of the position can be further improved. On the contrary, when the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the semi-dry ceramic sheet S, the electrode circuit 24 and the dielectric formed thereon are deformed because the ceramic sheet S to be ground is deformed. There exists a possibility that the position of the coating film 36 may shift. In this embodiment, in order to solve such a problem, the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S which is reliably dried on the coating roll 12.

특히, 전극 회로 형성 수단(22) 및 유전체 도포막 형성 수단(38)에 잉크젯 방식을 채용하면 잉크의 용제량이 많으므로 잉크가 건조되기 어려워진다. 그래서, 인쇄 반송 롤러(32) 상에서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 형성함으로써 대경의 롤을 채용하지 않아도 세라믹 시트(S)의 이동 거리가 길어져서 세라믹 시트(S) 상의 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 시간을 길게 할 수 있다. 이 때문에, 잉크젯 방식으로 형성된 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 품질 편차가 없어져 전자 부품의 품질을 고품질로 유지할 수 있다.In particular, when the ink-jet method is adopted for the electrode circuit forming means 22 and the dielectric coating film forming means 38, the amount of solvent of the ink is large, so that the ink becomes difficult to dry. Therefore, by forming the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 on the printing conveyance roller 32, the moving distance of the ceramic sheet S becomes long even if a large diameter roll is not employ | adopted, and the electrode circuit on the ceramic sheet S is carried out. (24) and the time for drying the dielectric coating film 36 can be lengthened. For this reason, the quality variation of the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 formed by the inkjet method is eliminated, and the quality of an electronic component can be maintained at high quality.

또한, 제 1 실시형태에서는 코팅 롤(12)이 본 발명의 「성막 기재」에 대응하고, 스태킹 롤(14)이 본 발명의 「적층 지지체」에 대응한다. 또한, 제 1 실시형태의 전극 회로 형성 수단(22)이 본 발명의 「전극 회로 형성부」에 대응한다. 또한, 제 1 실시형태의 유전체 도포막 형성 수단(38)이 본 발명의 「유전체 도포막 형성부」에 대응한다. 또한, 제 1 실시형태의 중간 반송 롤러(30) 및 인쇄 반송 롤러(32)가 본 발명의 「반송 부재」에 대응한다.In addition, in 1st Embodiment, the coating roll 12 corresponds to the "film-forming base material" of this invention, and the stacking roll 14 corresponds to the "laminated support body" of this invention. In addition, the electrode circuit forming means 22 of the first embodiment corresponds to the "electrode circuit forming portion" of the present invention. The dielectric coating film forming means 38 of the first embodiment corresponds to the "dielectric coating film forming part" of the present invention. In addition, the intermediate conveyance roller 30 and the printing conveyance roller 32 of 1st Embodiment correspond to the "conveyance member" of this invention.

이어서, 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 제 1 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concern on 2nd Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 1st Embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

도 3, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 제 2 실시형태는 무한 반송 벨트(반송 부재)(40) 상에서 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)(도 4 참조)이 형성되는 것이다. 즉, 코팅 롤(12)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(42)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 또한, 중간 반송 롤러(42)에는 무한 반송 벨트(40)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 또한, 무한 반송 벨트(40)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(44)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 중간 반송 롤러(44)에는 2개의 스태킹 롤(14) 또는 스태킹 롤(15)이 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 2개의 스태킹 롤(14) 또는 스태킹 롤(15)에는 2개의 프레스 롤(46,48)이 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 이와 같이, 코팅 롤(12)과 각 스태킹 롤(14,15) 사이에는 중간 반송 롤러 롤(42), 무한 반송 벨트(40) 및 중간 반송 롤러(44)가 개재되어 있다. 이 때문에, 코팅 롤(12)과 각 스태킹 롤(14,15)은 간접적으로 접촉된 상태(기계적으로 동력 전달이 가능해지는 상태)가 된다.As shown in FIG. 3, FIG. 4, and FIG. 5, 2nd Embodiment is the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 (FIG. 4) on the ceramic sheet S on the infinite conveyance belt (conveying member) 40. As shown in FIG. Is formed). That is, the intermediate conveying roller (conveying member) 42 is in contact with the coating roll 12 via the ceramic sheet S. FIG. In addition, the endless conveyance belt 40 is in contact with the intermediate conveyance roller 42 through the ceramic sheet S. As shown in FIG. In addition, the intermediate conveyance roller (conveying member) 44 is in contact with the endless conveyance belt 40 via the ceramic sheet S. FIG. Two stacking rolls 14 or stacking rolls 15 are in contact with the intermediate transfer roller 44 via the ceramic sheet S. As shown in FIG. Two press rolls 46 and 48 are in contact with the two stacking rolls 14 or the stacking rolls 15 through the ceramic sheet S. FIG. Thus, the intermediate | middle conveyance roller roll 42, the infinite conveyance belt 40, and the intermediate | middle conveyance roller 44 are interposed between the coating roll 12 and each stacking roll 14 and 15. As shown in FIG. For this reason, the coating roll 12 and each of the stacking rolls 14 and 15 are in an indirectly contacted state (a state in which mechanical power transmission is possible).

또한, 코팅 롤(12)의 주위에는 코팅 롤(12)의 표면에 세라믹 시트(S)의 재료가 되는 세라믹 슬러리를 도포하기 위한 성막 수단(16)(성막 형성부)과, 성막 수단(16)에 세라믹 슬러리를 공급하기 위한 급액 수단(18)과, 성막 수단(16)의 코팅 롤 회전 방향 하류측에 위치하여 코팅 롤(12)의 표면 상의 세라믹 슬러리를 건조 고화시키기 위한 건조 경화 장치(20)와, 상기한 중간 반송 롤러(42)가 배치되어 있다. 또한, 무한 반송 벨트(40)의 주위에는 스태킹 롤(14,15)의 외주면에 권취되기(적층되기) 전의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성하기 위한 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)과, 전극 회로 형성 수단(22)의 무한 반송 벨트 회전 방향 하류측에 위치하여 전극 회로(24)를 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26)와, 상기한 중간 반송 롤러(44)가 배치되어 있다.Moreover, the film-forming means 16 (film-forming part) and film-forming means 16 for apply | coating the ceramic slurry which becomes a material of ceramic sheet S on the surface of the coating roll 12 around the coating roll 12 are formed. A liquid supply means 18 for supplying a ceramic slurry to the film, and a dry curing apparatus 20 for drying and solidifying the ceramic slurry on the surface of the coating roll 12 located downstream of the coating roll rotational direction of the film forming means 16. And the said intermediate conveyance roller 42 is arrange | positioned. In addition, the electrode circuit forming means 22 for forming the electrode circuit 24 in the ceramic sheet S before being wound (laminated) on the outer circumferential surfaces of the stacking rolls 14 and 15 around the endless conveyance belt 40. (Electrode circuit forming portion), a dry curing apparatus 26 for drying the electrode circuit 24 located on the downstream side of the endless conveying belt rotation direction of the electrode circuit forming means 22, and the intermediate conveying roller 44 described above. ) Is arranged.

상세하게는, 중간 반송 롤러(42)는 코팅 롤(12)로부터 세라믹 시트(S)를 박리해서 무한 반송 벨트(40)에 전사(반송)하는 기능을 갖고 있다. 무한 반송 벨트(40)는 중간 반송 롤러(42)로부터 세라믹 시트(S)를 박리해서 중간 반송 롤러(44)에 전사하는 기능을 갖고 있다. 또한, 중간 반송 롤러(44)는 무한 반송 벨트(40)로부터 세라믹 시트(S)를 박리해서 스태킹 롤(14)[또는 스태킹 롤(15)]에 전사하는 기능을 갖고 있다.In detail, the intermediate conveyance roller 42 has a function which peels the ceramic sheet S from the coating roll 12, and transfers (conveys) to the infinite conveyance belt 40. As shown in FIG. The endless conveyance belt 40 has a function of peeling the ceramic sheet S from the intermediate conveying roller 42 and transferring it to the intermediate conveying roller 44. Moreover, the intermediate conveyance roller 44 has a function which peels the ceramic sheet | seat S from the endless conveyance belt 40, and transfers to the stacking roll 14 (or stacking roll 15).

특히, 제 2 실시형태에서는 반송 부재인 무한 반송 벨트(40) 상에서 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성되는 것이 특징으로 되어 있다.In particular, in the second embodiment, the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S on the endless conveyance belt 40 which is the conveying member.

제 2 실시형태에서는 코팅 롤(12)의 외주면에 세라믹 슬러리를 성막 수단(16) 및 급액 수단(18)에 의해 공급한다. 그리고, 코팅 롤(12) 상에서 세라믹 슬러리를 건조 경화 장치(20)에 의해 건조ㆍ고화한다. 이와 같이 해서 세라믹 시트(S)가 형성된다. 또한, 코팅 롤(12)로부터 중간 반송 롤러(42) 상을 거쳐 무한 반송 벨트(40)로 이동한 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로 형성 수단(22)(예컨대, 잉크젯 인쇄)으로부터 전극재 잉크를 도포하고, 소정의 도형 패턴의 전극 회로(24)를 인쇄한다. 계속해서, 전극 회로(24)가 형성된 세라믹 시트(S)에 대해서 유전체 도포막 형성 수단(38)으로부터 세라믹 잉크(세라믹 재료)를 도포해서 전극 회로(24) 사이에 형성된 단차부(34)에 소정의 도형 패턴의 유전체 도포막(36)을 인쇄한다. 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 인쇄 후에 무한 반송 벨트(40) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 건조 경화 장치(26)로부터 소정 온도의 온풍을 분사해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시킨다. 이와 같이 해서, 무한 반송 벨트(40) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로(24)가 형성되고, 전극 회로(24)의 형성에 의해 발생된 단차부(34)에 유전체 도포막(36)이 형성된다. 그 후, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 세라믹 시트(S)는 중간 반송 롤러(44)에 수취되고 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다. 이에 따라, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 형성된다. 이와 같이, 제 2 실시형태에 있어서도 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 후, 최종적으로는 전극 회로 및 유전체 도포막 형성이 완료된 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다.In the second embodiment, the ceramic slurry is supplied to the outer circumferential surface of the coating roll 12 by the film forming means 16 and the liquid supply means 18. Then, the ceramic slurry is dried and solidified on the coating roll 12 by the dry curing device 20. In this way, the ceramic sheet S is formed. Moreover, the electrode material ink from the electrode circuit forming means 22 (for example, inkjet printing) with respect to the ceramic sheet | seat S which moved from the coating roll 12 to the infinite conveyance belt 40 on the intermediate conveyance roller 42. Is applied, and the electrode circuit 24 of a predetermined figure pattern is printed. Subsequently, a ceramic ink (ceramic material) is applied from the dielectric coating film forming means 38 to the ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 is formed, and predetermined to the stepped portion 34 formed between the electrode circuits 24. The dielectric coating film 36 of the figure pattern is printed. After printing of the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36, the warm air of a predetermined temperature is sprayed from the dry curing apparatus 26 onto the ceramic sheet S on the endless conveying belt 40 to thereby form the electrode circuit 24 and the dielectric. The coating film 36 is dried. In this way, the electrode circuit 24 is formed with respect to the ceramic sheet S on the endless conveyance belt 40, and the dielectric coating film 36 is formed on the stepped portion 34 generated by the formation of the electrode circuit 24. Is formed. Thereafter, the ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed is received by the intermediate conveying roller 44 and wound and laminated on the outer circumferential surface of the stacking roll 14. Thereby, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed. As described above, also in the second embodiment, after the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S, the ceramic sheet S on which the electrode circuit and the dielectric coating film are completed is finally stacked. It is wound up and laminated on the outer peripheral surface of the roll 14.

제 2 실시형태에 의하면, 길이가 긴 벨트인 무한 반송 벨트(40)의 외주 길이가 코팅 롤(12)의 외주 길이보다 길어지므로 무한 반송 벨트(40) 상의 세라믹 시트(S)의 건조 영역[건조 경화 장치(26)에 의해 건조 가능한 영역]을 확장할 수 있다. 이에 따라, 세라믹 시트(S) 상에 있는 세라믹 시트(S)의 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 형성 속도(건조 속도도 포함함)가 빨라지고, 나아가서는 전자 부품의 제조 속도를 높일 수 있다.According to 2nd Embodiment, since the outer periphery length of the endless conveyance belt 40 which is a long length belt becomes longer than the outer periphery length of the coating roll 12, the drying area | region of the ceramic sheet S on the endless conveyance belt 40 (drying) Region that can be dried by the curing device 26] can be expanded. As a result, the formation speed (including the drying speed) of the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 of the ceramic sheet S on the ceramic sheet S is increased, thereby increasing the manufacturing speed of the electronic component. It can increase.

특히, 전극 회로 형성 수단(22) 및 유전체 도포막 형성 수단(38)에 잉크젯 방식을 채용하면 잉크의 용제량이 많으므로 잉크가 건조되기 어려워진다. 그래서, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 인쇄 부위에 무한 반송 벨트(40)를 채용함으로써 대경의 롤을 채용하지 않아도 세라믹 시트(S)의 이동 거리가 길어져 세라믹 시트(S) 상의 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 시간을 길게 할 수 있다. 이 때문에, 잉크젯 방식으로 형성된 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 품질 편차가 없어져 전자 부품의 품질을 고품질로 유지할 수 있다.In particular, when the ink-jet method is adopted for the electrode circuit forming means 22 and the dielectric coating film forming means 38, the amount of solvent of the ink is large, so that the ink becomes difficult to dry. Therefore, by employing the endless conveying belt 40 in the printing portion of the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36, the moving distance of the ceramic sheet S is increased even when a large diameter roll is not employed. The time for drying the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 can be lengthened. For this reason, the quality variation of the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 formed by the inkjet method is eliminated, and the quality of an electronic component can be maintained at high quality.

또한, 제 2 실시형태에서는 코팅 롤(12)이 본 발명의 「성막 기재」에 대응하고, 스태킹 롤(14,15)이 본 발명의 「적층 지지체」에 대응한다. 또한, 제 2 실시형태의 전극 회로 형성 수단(22)이 본 발명의 「전극 회로 형성부」에 대응한다. 또한, 제 2 실시형태의 유전체 도포막 형성 수단(38)이 본 발명의 「유전체 도포막 형성부」에 대응한다. 또한, 제 2 실시형태의 중간 반송 롤러(42), 무한 반송 벨트(40) 및 중간 반송 롤러가 본 발명의 「반송 부재」에 대응한다.In addition, in 2nd Embodiment, the coating roll 12 corresponds to the "film-forming base material" of this invention, and the stacking rolls 14 and 15 correspond to the "lamination support body" of this invention. In addition, the electrode circuit forming means 22 of the second embodiment corresponds to the "electrode circuit forming portion" of the present invention. The dielectric coating film forming means 38 of the second embodiment corresponds to the "dielectric coating film forming part" of the present invention. In addition, the intermediate conveyance roller 42 of the 2nd embodiment, the infinite conveyance belt 40, and the intermediate conveyance roller correspond to the "conveyance member" of this invention.

이어서, 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 각 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concern on 3rd Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of each embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

도 3, 도 4 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 제 3 실시형태의 적층형 전자 부품 제조 장치는 주로 표면(외주면)에 이형 처리가 실시되어 세라믹 시트(S)를 형성하는 코팅 롤(12)(성막 기재)과, 코팅 롤(12)로부터 박리한 세라믹 시트(S)를 권취해서 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 형성하는 스태킹 롤(14,15)(적층 지지체)을 갖고 있다.As shown to FIG. 3, FIG. 4 and FIG. 6, the laminated electronic component manufacturing apparatus of 3rd Embodiment mainly carries out the release process to the surface (outer peripheral surface), and forms the coating roll 12 (film formation) which forms a ceramic sheet S. FIG. Base material) and the stacking rolls 14 and 15 (laminated support body) which wind up the ceramic sheet S peeled from the coating roll 12, and form the laminated structure S 'of the ceramic sheet S.

코팅 롤(12)의 주위에는 코팅 롤(12)의 표면에 세라믹 시트(S)의 재료가 되는 세라믹 슬러리를 도포하기 위한 성막 수단(16)(성막 형성부)과, 성막 수단(16)에 세라믹 슬러리를 공급하기 위한 급액 수단(18)과, 코팅 롤(12)의 표면 상의 세라믹 슬러리를 건조 고화시키기 위한 건조 경화 장치(20)와, 스태킹 롤(14,15)의 외주면에 권취되기(적층되기) 전의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)(도 2 참조)를 형성하기 위한 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)과, 전극 회로(24)가 형성된 세라믹 시트(S)의 단차부(34)(도 3 참조)에 유전체 도포막(36)(도 4 참조)을 형성하기 위한 유전체 도포막 형성 수단(38)(유전체 도포막 형성부)과, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26)와, 상기한 스태킹 롤(14,15)이 배치되어 있다.Around the coating roll 12, the film forming means 16 (film forming part) for applying the ceramic slurry which becomes the material of the ceramic sheet S to the surface of the coating roll 12, and the ceramic film to the film forming means 16 The liquid supply means 18 for supplying a slurry, the dry hardening apparatus 20 for dry-solidifying the ceramic slurry on the surface of the coating roll 12, and the outer peripheral surface of the stacking rolls 14 and 15 are wound up (laminated) ) Of the ceramic sheet S on which the electrode circuit forming means 22 (electrode circuit forming portion) for forming the electrode circuit 24 (see FIG. 2) on the ceramic sheet S is formed. Dielectric coating film forming means 38 (dielectric coating film forming portion) for forming dielectric coating film 36 (see Fig. 4) in step portion 34 (see Fig. 3), electrode circuit 24 and dielectric The dry curing apparatus 26 for drying the coating film 36 and the above-mentioned stacking rolls 14 and 15 are arrange | positioned.

본 실시형태의 적층형 전자 부품 제조 장치에서는 스태킹 롤(14,15)의 외주면에 권취되기 전의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 형성하고, 그 후, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 형성한 세라믹 시트(S)를 스태킹 롤(14,15)의 외주면에 권취해서 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 형성하는 것이 특징이다.In the laminated electronic component manufacturing apparatus of this embodiment, the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S before being wound on the outer circumferential surfaces of the stacking rolls 14 and 15, and then the electrode circuit The ceramic sheet S on which the 24 and the dielectric coating film 36 are formed is wound on the outer circumferential surfaces of the stacking rolls 14 and 15 to form a laminated structure S 'of the ceramic sheet S.

이어서, 적층형 전자 부품 제조 장치(10)를 이용한 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')의 제조 방법에 대해서 설명한다.Next, the manufacturing method of the laminated structure S 'of the ceramic sheet S using the laminated electronic component manufacturing apparatus 10 is demonstrated.

이형 처리를 실시한 코팅 롤(12)을 소정의 속도로 회전시키고, 이 외주면에 세라믹 슬러리를 성막 수단(16)에 의해 도포한다. 또한, 세라믹 슬러리의 공급은 급액 수단(18)인 기어 펌프를 이용해서 행해진다. 그리고, 코팅 롤(12) 상에서 세라믹 슬러리를 건조 경화 장치(20)를 이용하여 건조시켜 고화시킨다. 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 인쇄되어 있지 않은 세라믹 시트(S)를 스태킹 롤(14)로 소정 층만큼 권취해서 적층 구조체(S')의 외층부를 형성한다.The coating roll 12 which performed the mold release process is rotated at a predetermined speed, and a ceramic slurry is apply | coated to this outer peripheral surface by the film-forming means 16. FIG. In addition, supply of a ceramic slurry is performed using the gear pump which is a liquid supply means 18. As shown in FIG. Then, the ceramic slurry is dried and solidified on the coating roll 12 using the dry curing apparatus 20. The ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are not printed is wound by the stacking roll 14 by a predetermined layer to form an outer layer portion of the laminated structure S '.

이어서, 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로 형성 수단(22)(예컨대, 잉크젯 인쇄)으로부터 전극재 잉크를 도포하고, 소정의 도형 패턴의 전극 회로(내부 전극 회로)(24)를 인쇄한다. 계속해서, 전극 회로(24)가 형성된 세라믹 시트(S)에 대해서 유전체 도포막 형성 수단(38)으로부터 세라믹 잉크(세라믹 재료)를 도포해서 전극 회로(24) 사이에 형성된 단차부(34)(오목부)에 소정의 도형 패턴의 유전체 도포막(36)을 인쇄한다(도 3 및 도 4 참조). 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 인쇄 후에 건조 경화 장치(26)로부터 소정 온도의 온풍을 분사해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시킨다. 여기서, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 각 형성 공정은 스태킹 롤(14,15)의 외주면에 권취되었을 때에 각 층(각 둘레)마다 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 대향 전극이 되도록 도형 패턴을 바꾸어서 인쇄가 행해진다. 이와 같이 해서, 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된다.Next, the electrode material ink is applied to the ceramic sheet S on the coating roll 12 from the electrode circuit forming means 22 (for example, inkjet printing), and the electrode circuit (internal electrode circuit) 24 having a predetermined figure pattern is applied. ). Subsequently, the stepped portion 34 (concave) formed between the electrode circuit 24 by applying ceramic ink (ceramic material) from the dielectric coating film forming means 38 to the ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 is formed. A dielectric coating film 36 of a predetermined figure pattern is printed (see Figs. 3 and 4). After printing the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36, the warm air of a predetermined temperature is blown from the dry curing apparatus 26 to dry the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36. Here, each forming process of the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 is carried out on the outer circumferential surfaces of the stacking rolls 14 and 15, and the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 for each layer (each circumference). Printing is performed by changing the figure pattern so that)) becomes the counter electrode. In this way, the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S on the coating roll 12.

이어서, 코팅 롤(12)의 외주면에 형성된 건조 후의 세라믹 시트(S)(전극 회로 및 유전체 도포막 형성 완료)를 코팅 롤(12)의 외주면으로부터 박리시키고 스태킹 롤(14)의 외주면 상에 전사시켜서 권취한다. 여기서, 코팅 롤(12)의 외주면에는 이형 처리가 실시되어 있고, 또한 스태킹 롤(14)이 코팅 롤(12)에 대해서 소정의 가압력으로 접촉하고 있기 때문에, 코팅 롤(12)의 외주면에 형성된 건조 후의 세라믹 시트(S)는 코팅 롤(12)의 외주면으로부터 용이하게 박리되어 스태킹 롤(14)의 외주면에 전사된다.Subsequently, the dried ceramic sheet S (completely formed electrode circuit and dielectric coating film) formed on the outer circumferential surface of the coating roll 12 is peeled from the outer circumferential surface of the coating roll 12 and transferred onto the outer circumferential surface of the stacking roll 14. Wind up. Here, since the mold release process is given to the outer peripheral surface of the coating roll 12, and the stacking roll 14 is contacting with respect to the coating roll 12 by predetermined pressing force, the drying formed in the outer peripheral surface of the coating roll 12 was carried out. The later ceramic sheet S is easily peeled from the outer circumferential surface of the coating roll 12 and transferred to the outer circumferential surface of the stacking roll 14.

스태킹 롤(14)로 세라믹 시트(S)를 소정 층만큼 권취한 후, 전극 회로 형성 수단(22)에 의한 전극 회로(24)의 인쇄, 및 유전체 도포막 형성 수단(38)(예컨대, 잉크젯 인쇄)에 의한 유전체 도포막(36)의 인쇄가 정지된다. 계속해서, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 인쇄가 되어 있지 않은 세라믹 시트(S)를 소정의 층만큼 스태킹 롤(14)에 권취해서 적층 구조체(S')의 외층부를 형성한다. 그 후, 코팅 롤(12)에 대한 세라믹 슬러리의 공급을 정지해서 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')의 형성을 종료하거나, 또는, 체인저 기구에 의해 스태킹 롤(14) 대신에 스태킹 롤(15)을 코팅 롤(12)의 외주면에 가압 접촉시켜서 코팅 롤(15)의 외주면에 세라믹 시트(S)[전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 형성 후의 것]를 권취한다. 이와 같이 해서 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 형성한다.After winding the ceramic sheet S by a predetermined layer with the stacking roll 14, the electrode circuit forming means 22 prints the electrode circuit 24, and the dielectric coating film forming means 38 (for example, inkjet printing). Printing of the dielectric coating film 36 is stopped. Subsequently, the ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are not printed is wound on the stacking roll 14 by a predetermined layer to form an outer layer portion of the laminated structure S '. . Then, supply of the ceramic slurry to the coating roll 12 is stopped and the formation of the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is complete | finished, or instead of the stacking roll 14 by a changer mechanism (15) is brought into pressure contact with the outer circumferential surface of the coating roll 12 to wind the ceramic sheet S (after forming the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36) on the outer circumferential surface of the coating roll 15. In this way, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed.

또한, 스태킹 롤(14)에 형성된 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 원통형 지그와 함께 분리하고, 원통 형상인 채로 가압 프레스를 행하고, 다이서 커팅에 의해 칩 형상으로 절단한다. 그 후, 소성, 전극 회로(외부 전극 회로)를 형성하거나 해서 통상의 제조 프로세스를 거쳐 적층 세라믹 콘덴서를 제조한다.Moreover, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S formed in the stacking roll 14 is isolate | separated with a cylindrical jig, press press is carried out with cylindrical shape, and it cuts to chip shape by dicer cutting. Thereafter, firing, an electrode circuit (external electrode circuit) is formed, and a multilayer ceramic capacitor is manufactured through a normal manufacturing process.

제 3 실시형태에 의하면, 특히, 반송 롤러 등의 반송 부재가 전혀 필요하지 않으므로 설비의 소형화를 도모할 수 있다. 이 결과, 전자 부품의 제조 비용을 저감할 수 있다. 또한, 세라믹 시트(S)가 형성되고나서 스태킹 롤(14)에 권취될 때까지의 세라믹 시트(S)의 이동 거리가 짧아지므로 세라믹 시트(S)의 구조체(S')를 단시간에 제조할 수 있고, 나아가서는 전자 부품의 제조 속도(제조 효율)를 높일 수 있다.According to 3rd Embodiment, especially conveyance members, such as a conveyance roller, are not needed at all, and it can aim at miniaturization of facilities. As a result, the manufacturing cost of an electronic component can be reduced. In addition, since the movement distance of the ceramic sheet S from the formation of the ceramic sheet S until the winding of the stacking roll 14 becomes short, the structure S 'of the ceramic sheet S can be manufactured in a short time. Furthermore, the manufacturing speed (manufacturing efficiency) of an electronic component can be raised.

또한, 제 3 실시형태에서는 코팅 롤(12)이 본 발명의 「성막 기재」에 대응하고, 스태킹 롤(14,15)이 본 발명의 「적층 지지체」에 대응한다. 또한, 제 3 실시형태의 전극 회로 형성 수단(22)이 본 발명의 「전극 회로 형성부」에 대응한다. 또한, 제 3 실시형태의 유전체 도포막 형성 수단(38)이 본 발명의 「유전체 도포막 형성부」에 대응한다.In addition, in 3rd Embodiment, the coating roll 12 corresponds to the "film-forming base material" of this invention, and the stacking rolls 14 and 15 correspond to the "laminated support body" of this invention. In addition, the electrode circuit forming means 22 of the third embodiment corresponds to the "electrode circuit forming portion" of the present invention. The dielectric coating film forming means 38 of the third embodiment corresponds to the "dielectric coating film forming part" of the present invention.

이어서, 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 각 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concern on 4th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of each embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

도 3, 도 4 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 제 4 실시형태의 코팅 롤(12)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(50)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 또한, 중간 반송 롤러(50)에는 외주면에서 세라믹 시트(S)에 유전체 도포막(36)이 형성되는 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(52)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 인쇄 반송 롤러(52)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(54)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 중간 반송 롤러(54)에는 외주면 상에서 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)가 형성되는 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(56)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(56)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(58)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 중간 반송 롤러(58)에는 스태킹 롤(14)이 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 스태킹 롤(14)에는 2개의 프레스 롤(46,48)이 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 이와 같이, 코팅 롤(12)과 각 스태킹 롤(14) 사이에는 중간 반송 롤러(50), 인쇄 반송 롤러(52), 중간 반송 롤러(54), 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(56) 및 중간 반송 롤러(58)가 개재되어 있다. 이 때문에, 코팅 롤(12)과 각 스태킹 롤(14)은 간접적으로 접촉된 상태(기계적으로 동력 전달이 가능해지는 상태)가 된다.As shown in FIG. 3, FIG. 4, and FIG. 7, the intermediate | middle conveyance roller (conveyance member) 50 is contacting through the ceramic sheet | seat S with the coating roll 12 of 4th Embodiment. Moreover, the printing conveyance roller (conveying member) 52 in which the dielectric coating film 36 is formed in the ceramic sheet S on the outer peripheral surface is in contact with the intermediate conveyance roller 50 via the ceramic sheet S. As shown in FIG. The intermediate conveying roller (conveying member) 54 is in contact with the printing conveying roller 52 via the ceramic sheet S. FIG. The printing conveyance roller (conveying member) 56 in which the electrode circuit 24 is formed in the ceramic sheet S on the outer peripheral surface is in contact with the intermediate conveyance roller 54 via the ceramic sheet S. As shown in FIG. The intermediate conveying roller (conveying member) 58 is in contact with the printing conveying roller (conveying member) 56 via the ceramic sheet S. FIG. The stacking roll 14 is in contact with the intermediate transfer roller 58 via the ceramic sheet S. FIG. Two press rolls 46 and 48 are in contact with the stacking roll 14 through the ceramic sheet S. FIG. Thus, between the coating roll 12 and each stacking roll 14, the intermediate conveying roller 50, the printing conveying roller 52, the intermediate conveying roller 54, the printing conveying roller (conveying member) 56, and the intermediate | middle The conveyance roller 58 is interposed. For this reason, the coating roll 12 and each stacking roll 14 are in the state which contacted indirectly (the state which enables mechanical power transmission).

또한, 코팅 롤(12)의 주위에는 코팅 롤(12)의 표면에 세라믹 시트(S)의 재료가 되는 세라믹 슬러리를 도포하기 위한 성막 수단(16)(성막 형성부)과, 성막 수단(16)에 세라믹 슬러리를 공급하기 위한 급액 수단(18)과, 성막 수단(16)의 코팅 롤 회전 방향 하류측에 위치하여 코팅 롤(12)의 표면 상의 세라믹 슬러리를 건조 고화시키기 위한 건조 경화 장치(20)와, 중간 반송 롤러(50)가 배치되어 있다. 또한, 인쇄 반송 롤러(52)의 주위에는 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되기(적층되기) 전의 세라믹 시트(S)에 유전체 도포막(36)을 형성하기 위한 유전체 도포막 형성 수단(38)(유전체 도포막 형성부)과, 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26A)와, 상기한 중간 반송 롤러(50) 및 중간 반송 롤러(54)가 배치되어 있다. 또한, 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(56)의 주위에는 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되기 전의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성하기 위한 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)과, 전극 회로(24)를 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26B)와, 상기한 중간 반송 롤러(54) 및 중간 반송 롤러(58)가 배치되어 있다.Moreover, the film-forming means 16 (film-forming part) and film-forming means 16 for apply | coating the ceramic slurry which becomes a material of ceramic sheet S on the surface of the coating roll 12 around the coating roll 12 are formed. A liquid supply means 18 for supplying a ceramic slurry to the film, and a dry curing apparatus 20 for drying and solidifying the ceramic slurry on the surface of the coating roll 12 located downstream of the coating roll rotational direction of the film forming means 16. And the intermediate conveyance roller 50 is arrange | positioned. Further, the dielectric coating film forming means 38 for forming the dielectric coating film 36 on the ceramic sheet S before being wound (laminated) on the outer circumferential surface of the stacking roll 14 around the printing conveying roller 52. (Dielectric coating film forming part), 26 A of dry hardening apparatuses for drying the dielectric coating film 36, and the said intermediate conveyance roller 50 and the intermediate conveyance roller 54 are arrange | positioned. Moreover, the electrode circuit forming means 22 (electrode) for forming the electrode circuit 24 in the ceramic sheet S before being wound on the outer peripheral surface of the stacking roll 14 around the printing conveyance roller (conveying member) 56. Circuit formation part), the dry hardening apparatus 26B for drying the electrode circuit 24, and the said intermediate | middle conveyance roller 54 and the intermediate | middle conveyance roller 58 are arrange | positioned.

제 4 실시형태에서는 코팅 롤(12)의 외주면에 세라믹 슬러리를 성막 수단(16) 및 급액 수단(18)에 의해 공급한다. 그리고, 코팅 롤(12) 상에서 세라믹 슬러리를 건조 경화 장치(20)에 의해 건조ㆍ고화한다. 이와 같이 해서 세라믹 시트(S)가 형성된다. 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)는 중간 반송 롤러(50)를 거쳐 인쇄 반송 롤러(52)로 이동한다. 인쇄 반송 롤러(52) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 소정 패턴의 유전체 도포막(36)이 유전체 도포막 형성 수단(38)(유전체 도포막 형성부)에 의해 형성(인쇄)된다. 또한, 유전체 도포막(36)이 형성되는 부위는 후공정에서 형성되는 전극 회로(24) 사이에 발생되는 단차부(34)가 되도록 위치 제어되어 있다. 이 유전체 도포막(36)은 인쇄 반송 롤러(52) 상에서 건조 경화 장치(26A)에 의해 건조된다. 이와 같이 해서, 유전체 도포막(36)이 형성된 세라믹 시트(S)는 중간 반송 롤러(54)를 거쳐 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(56)로 이동한다. 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(56) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 소정 패턴의 전극 회로(24)가 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)에 의해 형성(인쇄)된다. 이 전극 회로(24)는 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(56) 상에서 건조 경화 장치(26B)에 의해 건조된다. 그 후, 전극 회로(내부 전극 회로)(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 세라믹 시트(S)는 중간 반송 롤러(58)에 수취되고 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다. 이에 따라, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 형성된다. 이와 같이, 제 4 실시형태에 있어서도 세라믹 시트(S)에 유전체 도포막(36) 및 전극 회로(24)가 형성된 후, 유전체 도포막 및 전극 회로 형성이 완료된 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다.In 4th Embodiment, a ceramic slurry is supplied to the outer peripheral surface of the coating roll 12 by the film-forming means 16 and the liquid supply means 18. As shown in FIG. Then, the ceramic slurry is dried and solidified on the coating roll 12 by the dry curing device 20. In this way, the ceramic sheet S is formed. The ceramic sheet S on the coating roll 12 moves to the printing conveying roller 52 via the intermediate conveying roller 50. The dielectric coating film 36 of a predetermined pattern is formed (printed) by the dielectric coating film forming means 38 (dielectric coating film forming part) with respect to the ceramic sheet S on the printing conveyance roller 52. In addition, the site | part in which the dielectric coating film 36 is formed is position-controlled so that it may become the step part 34 generate | occur | produced between the electrode circuits 24 formed in a later process. This dielectric coating film 36 is dried by the dry curing device 26A on the print conveying roller 52. In this way, the ceramic sheet S on which the dielectric coating film 36 is formed moves to the printing conveying roller (conveying member) 56 via the intermediate conveying roller 54. The electrode circuit 24 of a predetermined pattern is formed (printed) by the electrode circuit forming means 22 (electrode circuit forming portion) with respect to the ceramic sheet S on the print conveying roller (conveying member) 56. This electrode circuit 24 is dried by the dry curing apparatus 26B on the printing conveyance roller (conveying member) 56. Thereafter, the ceramic sheet S on which the electrode circuit (inner electrode circuit) 24 and the dielectric coating film 36 are formed is received by the intermediate conveying roller 58 and wound and laminated on the outer circumferential surface of the stacking roll 14. Thereby, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed. In this manner, also in the fourth embodiment, after the dielectric coating film 36 and the electrode circuit 24 are formed on the ceramic sheet S, the ceramic sheet S on which the dielectric coating film and the electrode circuit formation are completed is stacked. ) Is wound and laminated on the outer circumferential surface.

제 4 실시형태에 의하면, 유전체 도포막(36)과 전극 회로(24)가 각각의 반송 롤러에서 형성된다. 이 때문에, 유전체 도포막(36)을 확실하게 건조시켜서 고화한 후에 전극 회로(24)가 형성되므로, 유전체 도포막(36)과 전극 회로(24)가 동시에 형성될 때에 우려된 양자의 잉크가 혼재된다는 문제점을 해결할 수 있다. 이 결과, 유전체 도포막(36)과 전극 회로(24)의 품질을 양호하게 유지할 수 있으므로 제조되는 전자 부품의 품질 불량을 방지할 수 있다.According to the fourth embodiment, the dielectric coating film 36 and the electrode circuit 24 are formed at each conveying roller. For this reason, since the electrode circuit 24 is formed after the dielectric coating film 36 is reliably dried and solidified, both the inks concerned when the dielectric coating film 36 and the electrode circuit 24 are simultaneously formed are mixed. This can solve the problem. As a result, since the quality of the dielectric coating film 36 and the electrode circuit 24 can be kept favorable, the quality defect of the electronic component manufactured can be prevented.

또한, 유전체 도포막(36)과 전극 회로(24)가 각각의 반송 롤러에서 형성되기 때문에 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 시간과 전극 회로(24)를 건조시키기 위한 시간을 확보할 수 있다. 이에 따라, 유전체 도포막(36)과 전극 회로(24)를 확실하게 건조시킬 수 있기 때문에 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')의 제조 속도를 높일 수 있다.In addition, since the dielectric coating film 36 and the electrode circuit 24 are formed at the respective conveying rollers, time for drying the dielectric coating film 36 and time for drying the electrode circuit 24 can be ensured. . Thereby, since the dielectric coating film 36 and the electrode circuit 24 can be reliably dried, the manufacturing speed of the laminated structure S 'of the ceramic sheet S can be raised.

본 실시형태에서는 유전체 도포막(36)이 전극 회로(24)보다 먼저 형성되어 있지만, 전극 회로(24)를 유전체 도포막(36)보다 먼저 형성하도록 해도 좋다. 즉, 인쇄 반송 롤러(52) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 전극 회로(24)를 형성하고, 전극 회로(24)를 확실하게 건조ㆍ고화시키고나서, 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(56) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 유전체 도포막(36)을 형성하도록 해도 좋다.In the present embodiment, the dielectric coating film 36 is formed before the electrode circuit 24, but the electrode circuit 24 may be formed before the dielectric coating film 36. That is, the electrode circuit 24 is formed with respect to the ceramic sheet S on the printing conveyance roller 52, the electrode circuit 24 is reliably dried and solidified, and then on the printing conveyance roller (transport member) 56 is formed. The dielectric coating film 36 may be formed for the ceramic sheet S. FIG.

또한, 제 4 실시형태에서는 코팅 롤(12)이 본 발명의 「성막 기재」에 대응하고, 스태킹 롤(14)이 본 발명의 「적층 지지체」에 대응한다. 또한, 제 4 실시형태의 전극 회로 형성 수단(22)이 본 발명의 「전극 회로 형성부」에 대응한다. 또한, 제 4 실시형태의 유전체 도포막 형성 수단(38)이 본 발명의 「유전체 도포막 형성부」에 대응한다. 또한, 제 4 실시형태의 중간 반송 롤러(50), 인쇄 반송 롤러(52), 중간 반송 롤러(54), 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(56) 및 중간 반송 롤러(58)가 본 발명의 「반송 부재」에 대응한다.In addition, in 4th Embodiment, the coating roll 12 corresponds to the "film-forming base material" of this invention, and the stacking roll 14 corresponds to the "laminated support body" of this invention. In addition, the electrode circuit forming means 22 of the fourth embodiment corresponds to the "electrode circuit forming portion" of the present invention. The dielectric coating film forming means 38 of the fourth embodiment corresponds to the "dielectric coating film forming part" of the present invention. In addition, the intermediate conveyance roller 50, the print conveyance roller 52, the intermediate conveyance roller 54, the print conveyance roller (conveyance member) 56, and the intermediate conveyance roller 58 of 4th Embodiment are the " Conveying member ”.

이어서, 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 각 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concerns on 5th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of each embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

도 3, 도 4 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 제 5 실시형태의 코팅 롤(12)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(60)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 또한, 중간 반송 롤러(60)에는 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(62)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 인쇄 반송 롤러(62)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(64)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 중간 반송 롤러(64)는 평판 형상의 적층 스테이지(66)에 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')를 반송한다. 적층 스테이지(66)에는 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 적층된다. 또한, 적층 스테이지(66)는 평판 형상의 것에 한정되는 것은 아니고, 원통 형상(롤 형상)의 것이여도 좋다. 이와 같이, 코팅 롤(12)과 적층 스테이지(66) 사이에는 중간 반송 롤러(60), 인쇄 반송 롤러(62), 및 중간 반송 롤러(64)가 개재되어 있다.As shown in FIG. 3, FIG. 4, and FIG. 8, the intermediate | middle conveyance roller (conveyance member) 60 is contacting through the ceramic sheet S to the coating roll 12 of 5th Embodiment. In addition, the printing conveyance roller (conveying member) 62 is in contact with the intermediate conveyance roller 60 via the ceramic sheet S. FIG. The intermediate conveying roller (conveying member) 64 is in contact with the printing conveying roller 62 via the ceramic sheet S. FIG. The intermediate conveyance roller 64 conveys the laminated structure S 'of the ceramic sheet S to the flat laminated stage 66. In the stacking stage 66, a stack structure S ′ of the ceramic sheet S is stacked. In addition, the lamination stage 66 is not limited to the thing of flat form, The thing of cylindrical shape (roll shape) may be sufficient. Thus, the intermediate conveyance roller 60, the printing conveyance roller 62, and the intermediate conveyance roller 64 are interposed between the coating roll 12 and the lamination stage 66. As shown in FIG.

또한, 코팅 롤(12)의 주위에는 코팅 롤(12)의 표면에 세라믹 시트(S)의 재료가 되는 세라믹 슬러리를 도포하기 위한 성막 수단(16)(성막 형성부)과, 성막 수단(16)에 세라믹 슬러리를 공급하기 위한 급액 수단(18)과, 성막 수단(16)의 코팅 롤 회전 방향 하류측에 위치하여 코팅 롤(12)의 표면 상의 세라믹 슬러리를 건조 고화시키기 위한 건조 경화 장치(20)와, 적층 스테이지(66) 상에 반송되기 전의 세라믹 시트(S)에 유전체 도포막(36)을 형성하기 위한 유전체 도포막 형성 수단(38)(유전체 도포막 형성부)과, 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26A)와, 중간 반송 롤러(60)가 배치되어 있다. 또한, 인쇄 반송 롤러(62)의 주위에는 적층 스테이지(66) 상에 반송되기 전의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성하기 위한 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)과, 전극 회로(24)를 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26B)와, 상기한 중간 반송 롤러(64)가 배치되어 있다.Moreover, the film-forming means 16 (film-forming part) and film-forming means 16 for apply | coating the ceramic slurry which becomes a material of ceramic sheet S on the surface of the coating roll 12 around the coating roll 12 are formed. A liquid supply means 18 for supplying a ceramic slurry to the film, and a dry curing apparatus 20 for drying and solidifying the ceramic slurry on the surface of the coating roll 12 located downstream of the coating roll rotational direction of the film forming means 16. A dielectric coating film forming means 38 (dielectric coating film forming portion) for forming the dielectric coating film 36 on the ceramic sheet S before being conveyed on the lamination stage 66, and the dielectric coating film 36. ), The drying curing apparatus 26A and the intermediate conveyance roller 60 are arranged. Moreover, around the printing conveyance roller 62, the electrode circuit forming means 22 (electrode circuit forming part) for forming the electrode circuit 24 in the ceramic sheet S before conveying on the lamination stage 66, and The dry curing device 26B for drying the electrode circuit 24 and the intermediate transfer roller 64 are arranged.

또한, 본 실시형태에서는 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)에 유전체 도포막(36)을 형성하고, 인쇄 반송 롤러(62) 상의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성한 예를 나타내었지만, 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 먼저 형성하고, 그 후, 인쇄 반송 롤러(62) 상의 세라믹 시트(S)에 유전체 도포막(36)을 형성하는 구성이여도 좋다.In addition, in this embodiment, the dielectric coating film 36 was formed in the ceramic sheet S on the coating roll 12, and the example which formed the electrode circuit 24 in the ceramic sheet S on the printing conveyance roller 62 was carried out. Although the electrode circuit 24 is first formed in the ceramic sheet S on the coating roll 12 after that, the dielectric coating film 36 is formed in the ceramic sheet S on the printing conveyance roller 62 after that. The configuration may be.

제 5 실시형태에서는 코팅 롤(12)의 외주면에 세라믹 슬러리를 성막 수단(16) 및 급액 수단(18)에 의해 반송한다. 그리고, 코팅 롤(12) 상에서 세라믹 슬러리를 건조 경화 장치(20)에 의해 건조ㆍ고화한다. 그리고, 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 소정 패턴의 유전체 도포막(36)이 유전체 도포막 형성 수단(38)(유전체 도포막 형성부)에 의해 형성(인쇄)된다. 또한, 유전체 도포막(36)이 형성되는 부위는 후공정에서 형성되는 전극 회로(24) 사이에 발생되는 단차부(34)가 되도록 위치 제어되어 있다. 이 유전체 도포막(36)은 코팅 롤(12) 상에서 건조 경화 장치(26A)에 의해 건조된다. 이와 같이 해서, 유전체 도포막(36)이 형성된 세라믹 시트(S)는 중간 반송 롤러(60)를 거쳐 인쇄 반송 롤러(62)로 이동한다. 인쇄 반송 롤러(62) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 소정 패턴의 전극 회로(24)가 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)에 의해 형성(인쇄)된다. 이 전극 회로(24)는 인쇄 반송 롤러(62) 상에서 건조 경화 장치(26B)에 의해 건조된다. 그 후, 전극 회로(내부 전극 회로)(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 세라믹 시트(S)는 중간 반송 롤러(64)에 수취되고 적층 스테이지(66)에 반송되어 적층 스테이지(66) 상에서 적층된다. 이에 따라, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 형성된다. 이와 같이, 제 5 실시형태에 있어서도 세라믹 시트(S)에 유전체 도포막(36) 및 전극 회로(24)가 형성된 후, 유전체 도포막 및 전극 회로 형성이 완료된 세라믹 시트(S)가 적층 스테이지(6)에서 적층된다. 특히, 제 5 실시형태에서는 세라믹 시트(S)가 평판 형상의 적층 스테이지(66) 상에서 적층되어 적층 구조체(S')가 형성된다.In 5th Embodiment, a ceramic slurry is conveyed by the film-forming means 16 and the liquid supply means 18 to the outer peripheral surface of the coating roll 12. FIG. Then, the ceramic slurry is dried and solidified on the coating roll 12 by the dry curing device 20. Then, the dielectric coating film 36 having a predetermined pattern is formed (printed) on the ceramic sheet S on the coating roll 12 by the dielectric coating film forming means 38 (dielectric coating film forming portion). In addition, the site | part in which the dielectric coating film 36 is formed is position-controlled so that it may become the step part 34 generate | occur | produced between the electrode circuits 24 formed in a later process. This dielectric coating film 36 is dried by a dry curing device 26A on the coating roll 12. In this way, the ceramic sheet S on which the dielectric coating film 36 is formed moves to the printing conveying roller 62 via the intermediate conveying roller 60. The electrode circuit 24 of a predetermined pattern is formed (printed) by the electrode circuit forming means 22 (electrode circuit forming part) with respect to the ceramic sheet S on the printing conveyance roller 62. This electrode circuit 24 is dried by the dry curing device 26B on the print conveying roller 62. Thereafter, the ceramic sheet S on which the electrode circuit (internal electrode circuit) 24 and the dielectric coating film 36 are formed is received by the intermediate conveying roller 64 and conveyed to the lamination stage 66 to form the lamination stage 66. Stacked on. Thereby, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed. Thus, also in the fifth embodiment, after the dielectric coating film 36 and the electrode circuit 24 are formed in the ceramic sheet S, the ceramic sheet S on which the dielectric coating film and the electrode circuit formation are completed is laminated stage 6 Stacked). In particular, in the fifth embodiment, the ceramic sheet S is laminated on the flat lamination stage 66 to form the laminated structure S '.

또한, 제 5 실시형태에서는 코팅 롤(12)이 본 발명의 「성막 기재」에 대응하고, 적층 스테이지(66)가 본 발명의 「적층 지지체」에 대응한다. 또한, 제 5 실시형태의 전극 회로 형성 수단(22)이 본 발명의 「전극 회로 형성부」에 대응한다. 또한, 제 5 실시형태의 유전체 도포막 형성 수단(38)이 본 발명의 「유전체 도포막 형성부」에 대응한다. 또한, 제 5 실시형태의 중간 반송 롤러(60), 인쇄 반송 롤러(62), 중간 반송 롤러(64)가 본 발명의 「반송 부재」에 대응한다.In addition, in 5th Embodiment, the coating roll 12 corresponds to the "film-forming base material" of this invention, and the lamination stage 66 corresponds to the "lamination support body" of this invention. In addition, the electrode circuit forming means 22 of the fifth embodiment corresponds to the "electrode circuit forming portion" of the present invention. The dielectric coating film forming means 38 of the fifth embodiment corresponds to the "dielectric coating film forming part" of the present invention. In addition, the intermediate conveyance roller 60, the printing conveyance roller 62, and the intermediate conveyance roller 64 of 5th Embodiment correspond to the "conveyance member" of this invention.

이어서, 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 각 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concerns on 6th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of each embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

도 3, 도 4 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 제 6 실시형태의 코팅 롤(12)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(68)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 또한, 중간 반송 롤러(68)에는 외주면에서 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성되는 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(70)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 인쇄 반송 롤러(70)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(72)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 중간 반송 롤러(72)에는 스태킹 롤(14)이 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 스태킹 롤(14)에는 2개의 프레스 롤(46,48)이 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 이와 같이, 코팅 롤(12)과 각 스태킹 롤(14) 사이에는 중간 반송 롤러(68), 인쇄 반송 롤러(70), 중간 반송 롤러(72)가 개재되어 있다. 이 때문에, 코팅 롤(12)과 각 스태킹 롤(14)은 간접적으로 접촉된 상태(기계적으로 동력 전달이 가능해지는 상태)가 된다.As shown to FIG. 3, FIG. 4 and FIG. 9, the intermediate | middle conveyance roller (conveyance member) 68 is contacting through the ceramic sheet S to the coating roll 12 of 6th Embodiment. Further, a print conveying roller (conveying member) 70 in which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S on the outer circumferential surface of the intermediate conveying roller 68 through the ceramic sheet S. I'm in contact. The intermediate conveying roller (conveying member) 72 is in contact with the printing conveying roller 70 via the ceramic sheet S. FIG. The stacking roll 14 is in contact with the intermediate transfer roller 72 via the ceramic sheet S. As shown in FIG. Two press rolls 46 and 48 are in contact with the stacking roll 14 through the ceramic sheet S. FIG. Thus, the intermediate conveyance roller 68, the printing conveyance roller 70, and the intermediate conveyance roller 72 are interposed between the coating roll 12 and each stacking roll 14. As shown in FIG. For this reason, the coating roll 12 and each stacking roll 14 are in the state which contacted indirectly (the state which enables mechanical power transmission).

또한, 코팅 롤(12)의 주위에는 코팅 롤(12)의 표면에 세라믹 시트(S)의 재료가 되는 세라믹 슬러리를 도포하기 위한 성막 수단(16)(성막 형성부)과, 성막 수단(16)에 세라믹 슬러리를 공급하기 위한 급액 수단(18)과, 성막 수단(16)의 코팅 롤 회전 방향 하류측에 위치하여 코팅 롤(12)의 표면 상의 세라믹 슬러리를 건조 고화시키기 위한 건조 경화 장치(20)와, 중간 반송 롤러(68)가 배치되어 있다. 또한, 인쇄 반송 롤러(70)의 주위에는 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되기(적층되기) 전의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성하기 위한 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)과, 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되기 전의 세라믹 시트(S)에 유전체 도포막(36)을 형성하기 위한 유전체 도포막 형성 수단(38)(유전체 도포막 형성부)과, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26)와, 상기한 중간 반송 롤러(68) 및 중간 반송 롤러(72)가 배치되어 있다.Moreover, the film-forming means 16 (film-forming part) and film-forming means 16 for apply | coating the ceramic slurry which becomes a material of ceramic sheet S on the surface of the coating roll 12 around the coating roll 12 are formed. A liquid supply means 18 for supplying a ceramic slurry to the film, and a dry curing apparatus 20 for drying and solidifying the ceramic slurry on the surface of the coating roll 12 located downstream of the coating roll rotational direction of the film forming means 16. And the intermediate conveyance roller 68 is arrange | positioned. Moreover, the electrode circuit forming means 22 (electrode) for forming the electrode circuit 24 in the ceramic sheet S before winding (laminating) on the outer peripheral surface of the stacking roll 14 around the printing conveyance roller 70 A circuit forming portion), dielectric coating film forming means 38 (dielectric coating film forming portion) for forming the dielectric coating film 36 on the ceramic sheet S before being wound on the outer circumferential surface of the stacking roll 14; The dry hardening apparatus 26 for drying the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36, the said intermediate | middle conveyance roller 68, and the intermediate | middle conveyance roller 72 are arrange | positioned.

여기서, 전극 회로 형성 수단(22)은 그라비어 오프셋 인쇄 방식이 채용되어 있다. 즉, 그라비어 오프셋 인쇄 방식의 전극 회로 형성 수단(22)은 외주면에 전극 회로(24)가 되어야 할 도전성 페이스트 막의 패턴에 대응하는 홈(도전성 페이스트가 충전되는 홈)이 새겨진 패턴 형성 롤(그라비어 롤)(22A)과, 패턴 형성 롤(22A)에 형성된 패턴이 전사되는 전사 롤(오프셋 롤)(22B)을 갖고 있다. 전사 롤(22B) 상에 전사된 전극 회로(24)의 패턴은 인쇄 반송 롤러(70)에 전사되어 인쇄 반송 롤러(70) 상의 세라믹 시트(S)에 소정 패턴의 전극 회로(24)가 형성된다.Here, the gravure offset printing method is adopted for the electrode circuit forming means 22. That is, the electrode circuit forming means 22 of the gravure offset printing method has a pattern forming roll (gravure roll) engraved with a groove (a groove filled with a conductive paste) corresponding to the pattern of the conductive paste film to be the electrode circuit 24 on the outer circumferential surface thereof. 22A and the transfer roll (offset roll) 22B with which the pattern formed in 22 A of pattern formation rolls is transferred. The pattern of the electrode circuit 24 transferred on the transfer roll 22B is transferred to the print conveying roller 70 so that the electrode circuit 24 of a predetermined pattern is formed on the ceramic sheet S on the print conveying roller 70. .

제 6 실시형태에 의하면, 코팅 롤(12)의 외주면에 세라믹 슬러리를 성막 수단(16) 및 급액 수단(18)에 의해 공급한다. 그리고, 코팅 롤(12) 상에서 세라믹 슬러리를 건조 경화 장치(20)에 의해 건조ㆍ고화한다. 코팅 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)는 중간 반송 롤러(68)를 거쳐 인쇄 반송 롤러(70)로 이동한다. 인쇄 반송 롤러(70) 상의 세라믹 시트(S)에 대해서 전사 롤(22B)로부터 소정 패턴의 전극 회로(24)가 전사되어 형성된다. 그 후, 전극 회로(내부 전극 회로)(24)가 형성된 세라믹 시트(S)의 단차부(34)에 소정 패턴의 유전체 도포막(36)이 유전체 도포막 형성 수단(38)에 의해 형성된다. 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 건조 경화 장치(26)에 의해 건조ㆍ고화된다. 그 후, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 세라믹 시트(S)는 중간 반송 롤러(72)를 거쳐 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다. 이에 따라, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 형성된다. 이와 같이, 제 6 실시형태에 있어서도 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 후, 전극 회로 및 유전체 도포막 형성이 완료된 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다.According to the sixth embodiment, the ceramic slurry is supplied to the outer circumferential surface of the coating roll 12 by the film forming means 16 and the liquid supply means 18. Then, the ceramic slurry is dried and solidified on the coating roll 12 by the dry curing device 20. The ceramic sheet S on the coating roll 12 moves to the printing conveying roller 70 via the intermediate conveying roller 68. The electrode circuit 24 of a predetermined pattern is transferred and formed from the transfer roll 22B with respect to the ceramic sheet S on the printing conveyance roller 70. Thereafter, a dielectric coating film 36 having a predetermined pattern is formed on the stepped portion 34 of the ceramic sheet S on which the electrode circuit (internal electrode circuit) 24 is formed. The electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are dried and solidified by the dry curing device 26. Thereafter, the ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed is wound and laminated on the outer circumferential surface of the stacking roll 14 via the intermediate transfer roller 72. Thereby, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed. As described above, in the sixth embodiment, after the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S, the ceramic sheet S on which the electrode circuit and the dielectric coating film are formed is stacked. ) Is wound and laminated on the outer circumferential surface.

또한, 제 6 실시형태에서는 코팅 롤(12)이 본 발명의 「성막 기재」에 대응하고, 스태킹 롤(14)이 본 발명의 「적층 지지체」에 대응한다. 또한, 제 6 실시형태의 전극 회로 형성 수단(22)이 본 발명의 「전극 회로 형성부」에 대응한다. 또한, 제 6 실시형태의 유전체 도포막 형성 수단(38)이 본 발명의 「유전체 도포막 형성부」에 대응한다. 또한, 제 6 실시형태의 중간 반송 롤러(68), 인쇄 반송 롤러(70), 중간 반송 롤러(72)가 본 발명의 「반송 부재」에 대응한다.In addition, in 6th Embodiment, the coating roll 12 corresponds to the "film-forming base material" of this invention, and the stacking roll 14 corresponds to the "laminated support body" of this invention. In addition, the electrode circuit forming means 22 of the sixth embodiment corresponds to the "electrode circuit forming portion" of the present invention. The dielectric coating film forming means 38 of the sixth embodiment corresponds to the "dielectric coating film forming part" of the present invention. In addition, the intermediate conveyance roller 68, the printing conveyance roller 70, and the intermediate conveyance roller 72 of 6th Embodiment respond | correspond to the "conveyance member" of this invention.

이어서, 본 발명의 제 7 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 각 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the laminated electronic component manufacturing apparatus and manufacturing method of a laminated electronic component which concern on 7th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of each embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

도 3, 도 4 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 제 7 실시형태의 코팅 롤(12)에는 중간 반송 롤러(반송 부재)(74)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 또한, 중간 반송 롤러(74)에는 외주면 상에서 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)가 형성되는 인쇄 반송 롤러(반송 부재)(76)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 인쇄 반송 롤러(76)에는 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성하기 위한 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)과, 중간 반송 롤러(반송 부재)(78)가 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 중간 반송 롤러(78)에는 스태킹 롤(14)이 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 스태킹 롤(14)에는 유전체 도포막(36)을 형성하기 위한 유전체 도포막 형성 수단(38)(유전체 도포막 형성부)과, 프레스 롤(46)이 세라믹 시트(S)를 통해 접촉하고 있다. 이와 같이, 코팅 롤(12)과 각 스태킹 롤(14) 사이에는 중간 반송 롤러(74), 인쇄 반송 롤러(76), 중간 반송 롤러(78)가 개재되어 있다. 이 때문에, 코팅 롤(12)과 각 스태킹 롤(14)은 간접적으로 접촉된 상태(기계적으로 동력 전달이 가능해지는 상태)가 된다.As shown to FIG. 3, FIG. 4 and FIG. 10, the intermediate | middle conveyance roller (conveyance member) 74 is contacting through the ceramic sheet | seat S with the coating roll 12 of 7th Embodiment. Moreover, the printing conveyance roller (conveying member) 76 in which the electrode circuit 24 is formed in the ceramic sheet S on the outer peripheral surface is in contact with the intermediate conveyance roller 74 via the ceramic sheet S. FIG. In the printing conveyance roller 76, the electrode circuit forming means 22 (electrode circuit formation part) for forming the electrode circuit 24 in the ceramic sheet S, and the intermediate conveyance roller (conveying member) 78 are a ceramic sheet | seat. Contact is made via (S). The stacking roll 14 is in contact with the intermediate transfer roller 78 via the ceramic sheet S. FIG. The stacking roll 14 is in contact with the dielectric coating film forming means 38 (dielectric coating film forming portion) for forming the dielectric coating film 36 and the press roll 46 through the ceramic sheet S. FIG. Thus, the intermediate conveyance roller 74, the printing conveyance roller 76, and the intermediate conveyance roller 78 are interposed between the coating roll 12 and each stacking roll 14. As shown in FIG. For this reason, the coating roll 12 and each stacking roll 14 are in the state which contacted indirectly (the state which enables mechanical power transmission).

또한, 코팅 롤(12)의 주위에는 코팅 롤(12)의 표면에 세라믹 시트(S)의 재료가 되는 세라믹 슬러리를 도포하기 위한 성막 수단(16)(성막 형성부)과, 성막 수단(16)에 세라믹 슬러리를 공급하기 위한 급액 수단(18)과, 성막 수단(16)의 코팅 롤 회전 방향 하류측에 위치하여 코팅 롤(12)의 표면 상의 세라믹 슬러리를 건조 고화시키기 위한 건조 경화 장치(20)와, 중간 반송 롤러(74)가 배치되어 있다. 또한, 인쇄 반송 롤러(76)의 주위에는 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되기(적층되기) 전의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24)를 형성하기 위한 전극 회로 형성 수단(22)(전극 회로 형성부)과, 상기한 중간 반송 롤러(74) 및 중간 반송 롤러(78)가 배치되어 있다. 또한, 스태킹 롤(14)의 주위에는 스태킹 롤(14) 상의 세라믹 시트(S)의 단차부(34)에 유전체 도포막(36)을 형성하기 위한 유전체 도포막 형성 수단(38)(유전체 도포막 형성부)과, 상기한 중간 반송 롤러(78)와, 프레스 롤(46)이 배치되어 있다.Moreover, the film-forming means 16 (film-forming part) and film-forming means 16 for apply | coating the ceramic slurry which becomes a material of ceramic sheet S on the surface of the coating roll 12 around the coating roll 12 are formed. A liquid supply means 18 for supplying a ceramic slurry to the film, and a dry curing apparatus 20 for drying and solidifying the ceramic slurry on the surface of the coating roll 12 located downstream of the coating roll rotational direction of the film forming means 16. And the intermediate conveyance roller 74 is arrange | positioned. Moreover, the electrode circuit forming means 22 (electrode) for forming the electrode circuit 24 in the ceramic sheet S before winding (laminating) on the outer peripheral surface of the stacking roll 14 around the printing conveyance roller 76 Circuit formation part), the said intermediate | middle conveyance roller 74, and the intermediate | middle conveyance roller 78 are arrange | positioned. In addition, the dielectric coating film forming means 38 (dielectric coating film) for forming the dielectric coating film 36 in the step 34 of the ceramic sheet S on the stacking roll 14 around the stacking roll 14. Formation part), the said intermediate | middle conveyance roller 78, and the press roll 46 are arrange | positioned.

여기서, 전극 회로 형성 수단(22)은 그라비어 오프셋 인쇄 방식이 채용되어 있다. 즉, 그라비어 오프셋 인쇄 방식의 전극 회로 형성 수단(22)은 외주면에 전극 회로(24)가 되어야 할 도전성 페이스트 막의 패턴에 대응하는 홈(도전성 페이스트가 충전되는 홈)이 새겨진 패턴 형성 롤(그라비어 롤)(22A)과, 패턴 형성 롤(22A)에 형성된 패턴이 전사되는 전사 롤(오프셋 롤)(22B)을 갖고 있다. 전사 롤(22B) 상에 전사된 전극 회로(24)의 패턴은 인쇄 반송 롤러(76)에 전사되어 인쇄 반송 롤러(76) 상의 세라믹 시트(S)에 소정 패턴의 전극 회로(24)가 형성된다. 또한, 전사 롤(22B)의 주위에는 전사 롤(22B) 상에 전사된 전극 회로(24)를 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26B)가 배치되어 있다. 이 때문에, 전사 롤(22B) 상에 전사된 전극 회로(24)는 건조 경화 장치(26B)에 의해 건조ㆍ고화된다.Here, the gravure offset printing method is adopted for the electrode circuit forming means 22. That is, the electrode circuit forming means 22 of the gravure offset printing method has a pattern forming roll (gravure roll) engraved with a groove (a groove filled with a conductive paste) corresponding to the pattern of the conductive paste film to be the electrode circuit 24 on the outer circumferential surface thereof. 22A and the transfer roll (offset roll) 22B with which the pattern formed in 22 A of pattern formation rolls is transferred. The pattern of the electrode circuit 24 transferred on the transfer roll 22B is transferred to the print conveying roller 76 so that the electrode circuit 24 of a predetermined pattern is formed on the ceramic sheet S on the print conveying roller 76. . Moreover, around the transfer roll 22B, the dry hardening apparatus 26B for drying the electrode circuit 24 transferred on the transfer roll 22B is arrange | positioned. For this reason, the electrode circuit 24 transferred onto the transfer roll 22B is dried and solidified by the dry curing device 26B.

여기서, 유전체 도포막 형성 수단(38)은 그라비어 오프셋 인쇄 방식이 채용되어 있다. 즉, 그라비어 오프셋 인쇄 방식의 유전체 도포막 형성 수단(38)은 외주면에 유전체 도포막(36)이 되어야 할 도전성 페이스트 막의 패턴에 대응하는 홈(도전성 페이스트가 충전되는 홈)이 새겨진 패턴 형성 롤(그라비어 롤)(38A)과, 패턴 형성 롤(38A)에 형성된 패턴이 전사되는 전사 롤(오프셋 롤)(38B)을 갖고 있다. 전사 롤(38B) 상에 전사된 유전체 도포막(36)의 패턴은 스태킹 롤(14) 상의 세라믹 시트(S)에 전사되어 스태킹 롤(14) 상의 세라믹 시트(S)의 단차부(34)에 소정 패턴의 유전체 도포막(36)이 형성된다. 또한, 전사 롤(38B)의 주위에는 전사 롤(38B) 상에 전사된 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26A)가 배치되어 있다. 이 때문에, 전사 롤(38B) 상에 전사된 유전체 도포막(36)은 건조 경화 장치(26A)에 의해 건조ㆍ고화된다. 이와 같이 해서, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 세라믹 시트(S)는 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다. 이에 따라, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 형성된다. 이와 같이, 제 7 실시형태에 있어서도 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 후, 전극 회로 및 유전체 도포막 형성이 완료된 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다.Here, the gravure offset printing method is adopted for the dielectric coating film forming means 38. That is, the gravure offset printing type dielectric coating film forming means 38 has a pattern forming roll (gravure) in which a groove (a groove filled with a conductive paste) corresponding to the pattern of the conductive paste film to be the dielectric coating film 36 is formed on the outer circumferential surface thereof. Roll) 38A and a transfer roll (offset roll) 38B to which the pattern formed on the pattern forming roll 38A is transferred. The pattern of the dielectric coating film 36 transferred onto the transfer roll 38B is transferred to the ceramic sheet S on the stacking roll 14 to the step 34 of the ceramic sheet S on the stacking roll 14. A dielectric coating film 36 of a predetermined pattern is formed. In addition, around the transfer roll 38B, a dry curing apparatus 26A for drying the dielectric coating film 36 transferred onto the transfer roll 38B is disposed. For this reason, the dielectric coating film 36 transferred onto the transfer roll 38B is dried and solidified by the dry curing device 26A. In this way, the ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed is wound and laminated on the outer circumferential surface of the stacking roll 14. Thereby, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed. As described above, in the seventh embodiment, after the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed on the ceramic sheet S, the ceramic sheet S on which the electrode circuit and the dielectric coating film are formed is stacked. ) Is wound and laminated on the outer circumferential surface.

또한, 제 7 실시형태에서는 코팅 롤(12)이 본 발명의 「성막 기재」에 대응하고, 스태킹 롤(14)이 본 발명의 「적층 지지체」에 대응한다. 또한, 제 7 실시형태의 전극 회로 형성 수단(22)이 본 발명의 「전극 회로 형성부」에 대응한다. 또한, 제 7 실시형태의 유전체 도포막 형성 수단(38)이 본 발명의 「유전체 도포막 형성부」에 대응한다. 또한, 제 7 실시형태의 중간 반송 롤러(74), 인쇄 반송 롤러(76), 중간 반송 롤러(78)가 본 발명의 「반송 부재」에 대응한다.In addition, in 7th Embodiment, the coating roll 12 corresponds to the "film-forming base material" of this invention, and the stacking roll 14 corresponds to the "laminated support body" of this invention. In addition, the electrode circuit forming means 22 of the seventh embodiment corresponds to the "electrode circuit forming portion" of the present invention. The dielectric coating film forming means 38 of the seventh embodiment corresponds to the "dielectric coating film forming part" of the present invention. In addition, the intermediate conveyance roller 74, the printing conveyance roller 76, and the intermediate conveyance roller 78 of 7th Embodiment respond | correspond to the "conveyance member" of this invention.

이어서, 본 발명의 제 8 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 각 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concern on 8th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of each embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

도 3, 도 4 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 제 8 실시형태의 적층형 전자 부품 제조 장치는 제 7 실시형태의 구성을 베이스로 하면서 그 일부를 개량한 것이며, 유전체 도포막 형성 수단(38)이 인쇄 반송 롤러(76)의 주위에 배치된 것이다. 즉, 그라비어 오프셋 인쇄 방식의 유전체 도포막 형성 수단(38)은 외주면에 유전체 도포막(36)이 되어야 할 도전성 페이스트 막의 패턴에 대응하는 홈(도전성 페이스트가 충전되는 홈)이 새겨진 패턴 형성 롤(그라비어 롤)(38A)과, 패턴 형성 롤(38A)에 형성된 패턴이 전사되는 전사 롤(오프셋 롤)(38B)을 갖고 있다. 패턴 형성 롤(38A)로부터 전사 롤(38B) 상에 전사된 유전체 도포막(36)의 패턴은 인쇄 반송 롤러(76) 상의 세라믹 시트(S)에 전사되어 인쇄 반송 롤러(76) 상의 세라믹 시트(S)의 단차부(34)에 소정 패턴의 유전체 도포막(36)이 형성된다. 또한, 전사 롤(38B)과의 주위에는 전사 롤(38B) 상에 전사된 유전체 도포막(36)을 건조시키기 위한 건조 경화 장치(26A)가 배치되어 있다. 이 때문에, 전사 롤(38B) 상에 전사된 유전체 도포막(36)은 건조 경화 장치(26A)에 의해 건조ㆍ고화된다. 이와 같이 해서, 인쇄 반송 롤러(76) 상의 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된다. 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 세라믹 시트(S)는 중간 반송 롤러(78)를 거쳐 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다. 이에 따라, 세라믹 시트(S)의 적층 구조체(S')가 형성된다. 이와 같이, 제 8 실시형태에 있어서도 세라믹 시트(S)에 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)이 형성된 후, 전극 회로 및 유전체 도포막 형성이 완료된 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 적층된다.As shown in FIG. 3, FIG. 4, and FIG. 11, the laminated electronic component manufacturing apparatus of 8th Embodiment improved the one part based on the structure of 7th Embodiment, and the dielectric coating film forming means 38 is It is arrange | positioned around the printing conveyance roller 76. FIG. That is, the gravure offset printing type dielectric coating film forming means 38 has a pattern forming roll (gravure) in which a groove (a groove filled with a conductive paste) corresponding to the pattern of the conductive paste film to be the dielectric coating film 36 is formed on the outer circumferential surface thereof. Roll) 38A and a transfer roll (offset roll) 38B to which the pattern formed on the pattern forming roll 38A is transferred. The pattern of the dielectric coating film 36 transferred from the pattern forming roll 38A onto the transfer roll 38B is transferred to the ceramic sheet S on the print conveying roller 76 to form a ceramic sheet on the print conveying roller 76 ( The dielectric coating film 36 of a predetermined pattern is formed in the step portion 34 of S). In addition, a dry curing device 26A for drying the dielectric coating film 36 transferred onto the transfer roll 38B is disposed around the transfer roll 38B. For this reason, the dielectric coating film 36 transferred onto the transfer roll 38B is dried and solidified by the dry curing device 26A. In this way, the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed in the ceramic sheet S on the printing conveyance roller 76. The ceramic sheet S on which the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed is wound and laminated on the outer circumferential surface of the stacking roll 14 via the intermediate transfer roller 78. Thereby, the laminated structure S 'of the ceramic sheet S is formed. As described above, in the eighth embodiment, after the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 are formed in the ceramic sheet S, the ceramic sheet S on which the electrode circuit and the dielectric coating film are formed is stacked. ) Is wound and laminated on the outer circumferential surface.

또한, 제 8 실시형태에서는 코팅 롤(12)이 본 발명의 「성막 기재」에 대응하고, 스태킹 롤(14)이 본 발명의 「적층 지지체」에 대응한다. 또한, 제 8 실시형태의 전극 회로 형성 수단(22)이 본 발명의 「전극 회로 형성부」에 대응한다. 또한, 제 8 실시형태의 유전체 도포막 형성 수단(38)이 본 발명의 「유전체 도포막 형성부」에 대응한다. 또한, 제 8 실시형태의 중간 반송 롤러(74), 인쇄 반송 롤러(76), 중간 반송 롤러(78)가 본 발명의 「반송 부재」에 대응한다.In addition, in 8th Embodiment, the coating roll 12 corresponds to the "film-forming base material" of this invention, and the stacking roll 14 corresponds to the "laminated support body" of this invention. In addition, the electrode circuit forming means 22 of the eighth embodiment corresponds to the "electrode circuit forming portion" of the present invention. The dielectric coating film forming means 38 of the eighth embodiment corresponds to the "dielectric coating film forming part" of the present invention. In addition, the intermediate conveyance roller 74, the printing conveyance roller 76, and the intermediate conveyance roller 78 of 8th Embodiment correspond to the "conveyance member" of this invention.

또한, 본 발명은 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)의 인쇄가 코팅 롤(12), 반송 부재를 구성하는 각 반송 롤러, 무한 반송 벨트 상 중 어느 하나의 장소에서 행해지는 것이 바람직하고, 특별히 인쇄 장소가 한정되는 취지는 아니다. 또한, 전극 회로(24)의 인쇄 장소 및 유전체 도포막(36)의 인쇄 장소는 동일한 장소이여도 좋고, 또한, 각각의 장소이여도 좋다. 또한, 잉크젯 방식을 이용하여 인쇄한 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(38)을 건조시킨 후에 세라믹 시트(S)에 전사해도 좋다.In the present invention, it is preferable that printing of the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36 is performed at any one of the coating roll 12, each conveying roller constituting the conveying member, and the endless conveying belt. In particular, the printing place is not limited. In addition, the printing place of the electrode circuit 24 and the printing place of the dielectric coating film 36 may be the same place, and each place may be sufficient as it. The electrode circuit 24 and the dielectric coating film 38 printed by the inkjet method may be dried and then transferred to the ceramic sheet S. FIG.

이어서, 본 발명의 제 9 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 제 9 실시형태는 제 3 실시형태의 변형예로서 위치 부여되므로, 제 3 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concerns on 9th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, since 9th Embodiment is positioned as a modification of 3rd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 3rd Embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

제 9 실시형태에서는 전극 회로(24), 유전체 도포막(36), 세라믹 시트(S), 세라믹 시트의 적층 구조체(S')의 순서로 형성된다. 즉, 도 12에 나타내는 바와 같이, 우선, 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 코팅 롤(12)에 대해서 전극 회로 형성 수단(22)에 의해 전극 회로(24)가 형성된다. 이어서, 유전체 도포막 형성 수단(38)에 의해 코팅 롤(12)에 대해서 유전체 도포막(36)이 형성된다. 유전체 도포막(36)은 전극 회로(24)의 단차부(34)에 형성된다. 이어서, 전극 회로(24) 및 유전체 도포막(36)을 덮도록 코팅 롤(12)에 대해서 성막 수단(16)에 의해 세라믹 슬러리가 도포되고, 이것이 건조되어 전극 회로 및 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트(S)가 형성된다. 또한, 전극 회로 및 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주면에 권취되어 세라믹 시트의 적층 구조체(S')가 형성된다.In the ninth embodiment, the electrode circuit 24, the dielectric coating film 36, the ceramic sheet S, and the stacked structure S 'of the ceramic sheet are formed in this order. That is, as shown in FIG. 12, the electrode circuit 24 is formed by the electrode circuit formation means 22 about the coating roll 12 of the continuous continuous shape in which the mold release process was performed to the outer periphery first. Subsequently, the dielectric coating film 36 is formed on the coating roll 12 by the dielectric coating film forming means 38. The dielectric coating film 36 is formed in the stepped portion 34 of the electrode circuit 24. Subsequently, a ceramic slurry is applied by the film forming means 16 to the coating roll 12 so as to cover the electrode circuit 24 and the dielectric coating film 36, which are dried to form an electrode circuit and the dielectric coating film. (S) is formed. In addition, the ceramic sheet S on which the electrode circuit and the dielectric coating film are formed is wound on the outer circumferential surface of the stacking roll 14 to form a laminated structure S 'of the ceramic sheet.

이어서, 본 발명의 제 10 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 제 10 실시형태는 제 5 실시형태의 변형예로서 위치 부여되므로, 제 5 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concerns on 10th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, since 10th Embodiment is positioned as a modification of 5th Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 5th Embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

제 10 실시형태에서는 전극 회로(24), 세라믹 시트(S), 유전체 도포막(36), 세라믹 시트의 적층 구조체(S')의 순서로 형성된다. 즉, 도 13에 나타내는 바와 같이, 우선, 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 코팅 롤(12)에 대해서 전극 회로 형성 수단(22)에 의해 전극 회로(24)가 형성된다. 이어서, 전극 회로(24)를 덮도록 코팅 롤(12)에 대해서 성막 수단에 의해 세라믹 슬러리가 도포되고, 그것이 건조되어 전극 회로가 형성된 세라믹 시트(S)가 형성된다. 전극 회로(24)의 형성에 의해 생긴 세라믹 시트 상의 단차부(34)에 대해서 유전체 도포막 형성 수단(38)에 의해 유전체 도포막(도 13에서는 도시 생략)이 형성된다. 그리고, 적층 스테이지(66) 상에 세라믹 시트의 적층 구조체(S')가 형성된다.In the tenth embodiment, the electrode circuit 24, the ceramic sheet S, the dielectric coating film 36, and the stacked structure S 'of the ceramic sheet are formed in this order. That is, as shown in FIG. 13, the electrode circuit 24 is formed by the electrode circuit formation means 22 about the coating roll 12 of the continuous continuous shape in which the mold release process was performed to the outer periphery first. Subsequently, a ceramic slurry is applied to the coating roll 12 by the film forming means so as to cover the electrode circuit 24, and it is dried to form a ceramic sheet S on which the electrode circuit is formed. The dielectric coating film (not shown in FIG. 13) is formed by the dielectric coating film forming means 38 with respect to the step portion 34 on the ceramic sheet formed by the formation of the electrode circuit 24. And the laminated structure S 'of a ceramic sheet | seat is formed on the lamination stage 66. FIG.

이어서, 본 발명의 제 11 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 제 11 실시형태는 제 5 실시형태의 변형예로서 위치 부여되므로, 제 5 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concerns on 11th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, since 11th Embodiment is positioned as a modification of 5th Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 5th Embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

제 11 실시형태에서는 유전체 도포막(36), 세라믹 시트(S), 전극 회로(24), 세라믹 시트의 적층 구조체(S')의 순서로 형성된다. 즉, 도 14에 나타내는 바와 같이, 우선, 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 코팅 롤(12)에 대해서 유전체 도포막 형성 수단(38)에 의해 유전체 도포막(36)이 형성된다. 이어서, 유전체 도포막(36)을 덮도록 성막 수단(16)에 의해 코팅 롤(12)에 대해서 세라믹 슬러리가 도포되고, 그것이 건조되어 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트(S)가 형성된다. 또한, 세라믹 시트(S) 상의 유전체 도포막(36)과는 다른 개소에 전극 회로 형성 수단(22)에 의해 전극 회로(도 14에서는 도시 생략)가 형성된다. 그리고, 적층 스테이지(66) 상에 세라믹 시트의 적층 구조체(S')가 형성된다.In the eleventh embodiment, the dielectric coating film 36, the ceramic sheet S, the electrode circuit 24, and the stacked structure S 'of the ceramic sheet are formed in this order. That is, as shown in FIG. 14, the dielectric coating film 36 is first formed by the dielectric coating film forming means 38 with respect to the endless continuous coating roll 12 to which the mold release process was performed to the outer periphery. Subsequently, a ceramic slurry is applied to the coating roll 12 by the film forming means 16 so as to cover the dielectric coating film 36, which is dried to form a ceramic sheet S on which the dielectric coating film is formed. In addition, the electrode circuit (not shown in FIG. 14) is formed by the electrode circuit forming means 22 at a location different from the dielectric coating film 36 on the ceramic sheet S. As shown in FIG. And the laminated structure S 'of a ceramic sheet | seat is formed on the lamination stage 66. FIG.

이어서, 본 발명의 제 12 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 제 12 실시형태는 제 10 실시형태의 변형예로서 위치 부여되므로, 제 10 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concerns on 12th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, since 12th Embodiment is positioned as a modification of 10th Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 10th Embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

제 12 실시형태에서는 전극 회로(24), 세라믹 시트(S), 세라믹 시트의 적층 구조체(S'), 유전체 도포막(36)의 순서로 형성된다. 즉, 도 15에 나타내는 바와 같이, 우선, 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 코팅 롤(12)에 대해서 전극 회로 형성 수단(22)에 의해 전극 회로(24)가 형성된다. 이어서, 전극 회로(24)를 덮도록 코팅 롤(12)에 대해서 성막 수단에 의해 세라믹 슬러리가 도포되고, 그것이 건조되어 전극 회로가 형성된 세라믹 시트(S)가 형성된다. 그리고, 이 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주에 권취되어 세라믹 시트의 적층 구조체(S')가 형성된다. 그 후, 스태킹 롤(14)의 외주에 권취된 세라믹 시트의 적층 구조체(S') 상의 단차부(34)에 대해서 유전체 도포막 형성 수단(38)에 의해 유전체 도포막(도 15에서는 도시 생략)이 형성된다.In the twelfth embodiment, the electrode circuit 24, the ceramic sheet S, the laminated structure S 'of the ceramic sheet, and the dielectric coating film 36 are formed in this order. That is, as shown in FIG. 15, the electrode circuit 24 is formed by the electrode circuit formation means 22 about the coating roll 12 of the continuous continuous shape in which the mold release process was performed to the outer periphery first. Subsequently, a ceramic slurry is applied to the coating roll 12 by the film forming means so as to cover the electrode circuit 24, and it is dried to form a ceramic sheet S on which the electrode circuit is formed. And this ceramic sheet S is wound around the outer periphery of the stacking roll 14, and the laminated structure S 'of a ceramic sheet is formed. Then, the dielectric coating film (not shown in FIG. 15) by the dielectric coating film forming means 38 with respect to the step 34 on the laminated structure S 'of the ceramic sheet wound around the stacking roll 14. Is formed.

이어서, 본 발명의 제 13 실시형태에 의한 적층형 전자 부품 제조 장치 및 적층형 전자 부품의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 제 13 실시형태는 제 11 실시형태의 변형예로서 위치 부여되므로, 제 11 실시형태의 구성과 중복되는 구성에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 중복되는 구성 및 작용 효과의 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the laminated electronic component manufacturing apparatus and laminated electronic component which concern on 13th Embodiment of this invention are demonstrated with reference to drawings. In addition, since 13th Embodiment is positioned as a modification of 11th Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 11th Embodiment, and description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.

제 13 실시형태에서는 유전체 도포막(36), 세라믹 시트(S), 세라믹 시트의 적층 구조체(S'), 전극 회로(24)의 순서로 형성된다. 즉, 도 16에 나타내는 바와 같이, 우선, 외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 코팅 롤(12)에 대해서 유전체 도포막 형성 수단(38)에 의해 유전체 도포막(36)이 형성된다. 이어서, 유전체 도포막(36)을 덮도록 성막 수단(16)에 의해 코팅 롤(12)에 대해서 세라믹 슬러리가 도포되고, 그것이 건조되어 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트(S)가 형성된다. 그리고, 이 세라믹 시트(S)가 스태킹 롤(14)의 외주에 권취되어 세라믹 시트의 적층 구조체(S')가 형성된다. 그 후, 세라믹 시트의 적층 구조체(S') 상의 유전체 도포막(36)과는 다른 개소에 전극 회로 형성 수단(22)에 의해 전극 회로(도 16에서는 도시 생략)가 형성된다.In the thirteenth embodiment, the dielectric coating film 36, the ceramic sheet S, the laminated structure S 'of the ceramic sheet, and the electrode circuit 24 are formed in this order. That is, as shown in FIG. 16, the dielectric coating film 36 is first formed by the dielectric coating film forming means 38 with respect to the endless continuous coating roll 12 to which the mold release process was performed to the outer periphery. Subsequently, a ceramic slurry is applied to the coating roll 12 by the film forming means 16 so as to cover the dielectric coating film 36, which is dried to form a ceramic sheet S on which the dielectric coating film is formed. And this ceramic sheet S is wound around the outer periphery of the stacking roll 14, and the laminated structure S 'of a ceramic sheet is formed. Thereafter, the electrode circuit (not shown in FIG. 16) is formed by the electrode circuit forming means 22 at a location different from the dielectric coating film 36 on the laminated structure S 'of the ceramic sheet.

10 : 적층형 전자 부품 제조 장치 12 : 코팅 롤(성막 기재)
14 : 스태킹 롤(적층 지지체) 15 : 스태킹 롤(적층 지지체)
16 : 성막 수단(성막 형성부)
22 : 전극 회로 형성 수단(전극 회로 형성부)
24 : 전극 회로 30 : 중간 반송 롤러(반송 부재)
32 : 인쇄 반송 롤러(반송 부재) 34 : 단차부
36 : 유전체 도포막
38 : 유전체 도포막 형성 수단(유전체 도포막 형성부)
40 : 무한 반송 벨트(반송 부재) 42 : 중간 반송 롤러(반송 부재)
44 : 중간 반송 롤러(반송 부재) 50 : 중간 반송 롤러(반송 부재)
52 : 인쇄 반송 롤러(반송 부재) 54 : 중간 반송 롤러(반송 부재)
56 : 인쇄 반송 롤러(반송 부재) 58 : 중간 반송 롤러(반송 부재)
60 : 중간 반송 롤러(반송 부재) 62 : 인쇄 반송 롤러(반송 부재)
64 : 중간 반송 롤러(반송 부재) 66 : 적층 스테이지(적층 지지체)
68 : 중간 반송 롤러(반송 부재) 70 : 인쇄 반송 롤러(반송 부재)
72 : 중간 반송 롤러(반송 부재) 74 : 중간 반송 롤러(반송 부재)
76 : 인쇄 반송 롤러(반송 부재) 78 : 중간 반송 롤러(반송 부재)
S : 세라믹 시트 S' : 세라믹 시트의 적층 구조체
10: laminated electronic component manufacturing apparatus 12: coating roll (film formation base material)
14 stacking roll (laminated support) 15 stacking roll (laminated support)
16: film forming means (film forming part)
22: electrode circuit forming means (electrode circuit forming unit)
24: electrode circuit 30: intermediate conveying roller (conveying member)
32: printing conveying roller (conveying member) 34: stepped portion
36: dielectric coating film
38: dielectric coating film forming means (dielectric coating film forming section)
40: endless conveying belt (conveying member) 42: intermediate conveying roller (conveying member)
44: intermediate conveying roller (conveying member) 50: intermediate conveying roller (conveying member)
52: Printing conveying roller (conveying member) 54: Intermediate conveying roller (conveying member)
56: printing conveying roller (conveying member) 58: intermediate conveying roller (conveying member)
60: intermediate conveying roller (conveying member) 62: printing conveying roller (conveying member)
64: intermediate conveying roller (conveying member) 66: lamination stage (lamination support)
68: intermediate conveying roller (conveying member) 70: printing conveying roller (conveying member)
72: intermediate conveying roller (conveying member) 74: intermediate conveying roller (conveying member)
76: printing conveying roller (conveying member) 78: intermediate conveying roller (conveying member)
S: ceramic sheet S ': laminated structure of ceramic sheet

Claims (21)

외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재;
상기 성막 기재에 대해서 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성부;
상기 세라믹 시트에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성부;
상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트 상의 단차부에 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성부; 및
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 지지체를 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
An endless continuous shape film-forming substrate subjected to a release treatment on an outer circumference;
A film forming part for coating and drying a ceramic slurry on the film forming substrate to form a ceramic sheet;
An electrode circuit forming unit forming an electrode circuit on the ceramic sheet;
A dielectric coating film forming portion for forming a dielectric coating film on the stepped portion on the ceramic sheet caused by the formation of the electrode circuit; And
The laminated electronic component manufacturing apparatus characterized by having the laminated support body which forms the laminated structure of the said ceramic sheet | seat.
외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재;
상기 성막 기재에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성부;
상기 성막 기재에 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성부;
상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막을 덮도록 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성부; 및
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 지지체를 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
An endless continuous shape film-forming substrate subjected to a release treatment on an outer circumference;
An electrode circuit forming unit forming an electrode circuit on the film forming substrate;
A dielectric coating film forming unit for forming a dielectric coating film on the film forming substrate;
A film forming part to form a ceramic sheet on which the electrode circuit and the dielectric coating film are formed by coating and drying a ceramic slurry on the film forming substrate to cover the electrode circuit and the dielectric coating film; And
The laminated electronic component manufacturing apparatus characterized by having the laminated support body which forms the laminated structure of the said ceramic sheet | seat.
외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재;
상기 성막 기재에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성부;
상기 전극 회로를 덮도록 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로가 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성부;
상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트 상의 단차부에 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성부; 및
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 지지체를 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
An endless continuous shape film-forming substrate subjected to a release treatment on an outer circumference;
An electrode circuit forming unit forming an electrode circuit on the film forming substrate;
A film forming part to form a ceramic sheet on which the electrode circuit is formed by applying and drying a ceramic slurry on the film forming substrate to cover the electrode circuit;
A dielectric coating film forming portion for forming a dielectric coating film on the stepped portion on the ceramic sheet caused by the formation of the electrode circuit; And
The laminated electronic component manufacturing apparatus characterized by having the laminated support body which forms the laminated structure of the said ceramic sheet | seat.
외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재;
상기 성막 기재에 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성부;
상기 유전체 도포막을 덮도록 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성부;
상기 세라믹 시트 상의 상기 유전체 도포막과는 다른 개소의 상기 세라믹 시트 상에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성부; 및
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 지지체를 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
An endless continuous shape film-forming substrate subjected to a release treatment on an outer circumference;
A dielectric coating film forming unit for forming a dielectric coating film on the film forming substrate;
A film forming part to form a ceramic sheet on which the dielectric coating film is formed by coating and drying a ceramic slurry on the film forming substrate to cover the dielectric coating film;
An electrode circuit forming portion for forming an electrode circuit on the ceramic sheet at a location different from the dielectric coating film on the ceramic sheet; And
The laminated electronic component manufacturing apparatus characterized by having the laminated support body which forms the laminated structure of the said ceramic sheet | seat.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적층 지지체에 의해 상기 세라믹 시트의 적층 구조체가 형성되어 있을 때에,
상기 성막 기재에 새로운 상기 세라믹 시트가 계속해서 형성되는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
The method according to any one of claims 1 to 4,
When the laminated structure of the ceramic sheet is formed by the laminated support,
The new ceramic sheet is continuously formed on the film forming substrate, characterized in that the laminated electronic component manufacturing apparatus.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 적층 지지체는 상기 성막 기재에 대해서 상기 세라믹 시트를 통해 접촉하여 상기 세라믹 시트를 상기 성막 기재로부터 박리시켜 외주에 권취함으로써 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
The method according to claim 1 or 2,
The laminated support is in contact with the film forming substrate through the ceramic sheet to peel the ceramic sheet from the film forming substrate and wound around the outer periphery to form a laminated structure of the ceramic sheet.
제 1 항, 제 3 항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 성막 기재와 상기 적층 지지체 사이에 개재되도록 하여 설치되고,
상기 성막 기재에 형성된 상기 세라믹 시트를 상기 성막 기재로부터 수취하고, 이 수취한 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지체에 반송하는 반송 부재를 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
The method according to any one of claims 1, 3 or 4,
It is provided so that it may be interposed between the said film-forming base material and the said laminated support body,
And a conveying member for receiving the ceramic sheet formed on the film forming substrate from the film forming substrate and conveying the received ceramic sheet to the laminated support.
제 1 항에 있어서,
상기 전극 회로 형성부는 상기 반송 부재 상의 상기 세라믹 시트에 상기 전극 회로를 형성하고;
상기 유전체 도포막 형성부는 상기 반송 부재 상의 상기 세라믹 시트의 상기 단차부에 상기 유전체 도포막을 형성하는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
The method of claim 1,
The electrode circuit forming portion forms the electrode circuit in the ceramic sheet on the conveying member;
The dielectric coating film forming portion forms the dielectric coating film on the stepped portion of the ceramic sheet on the transfer member.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전극 회로 형성부 및 상기 유전체 도포막 형성부는 무판 인쇄 장치인 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
The method according to any one of claims 1 to 4,
And said electrode circuit forming portion and said dielectric coating film forming portion are plateless printing apparatuses.
제 9 항에 있어서,
상기 무판 인쇄 장치는 잉크젯 인쇄 장치인 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품 제조 장치.
The method of claim 9,
The plateless printing apparatus is an inkjet printing apparatus, characterized in that the laminated electronic component manufacturing apparatus.
외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 성막 형성부에 의해 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜서 세라믹 시트를 연속 형성하는 성막 형성 공정;
전극 회로 형성부에 의해 상기 세라믹 시트에 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정;
상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트 상의 단차부에 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정; 및
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
A film-forming step of continuously forming a ceramic sheet by applying and drying a ceramic slurry by a film-forming forming unit to an endless continuous film-forming substrate subjected to a release treatment on an outer circumference;
An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit in the ceramic sheet by an electrode circuit forming portion;
A dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion in a step portion on the ceramic sheet caused by the formation of the electrode circuit; And
It has a laminated structure formation process which forms the laminated structure of the said ceramic sheet, The manufacturing method of the laminated electronic component characterized by the above-mentioned.
외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정;
유전체 도포막 형성부에 의해 상기 성막 기재에 대해서 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정;
상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막을 덮도록 상기 성막 기재에 대해서 성막 형성부에 의해 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정; 및
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit by an electrode circuit forming portion with respect to an endless continuous film-forming substrate on which an releasing treatment is performed on an outer circumference;
A dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film on the film forming substrate by a dielectric coating film forming portion;
A film-forming step of forming a ceramic sheet on which the electrode circuit and the dielectric-coated film are formed by applying and drying a ceramic slurry to the film-forming base material by a film forming part to cover the electrode circuit and the dielectric coating film; And
It has a laminated structure formation process which forms the laminated structure of the said ceramic sheet, The manufacturing method of the laminated electronic component characterized by the above-mentioned.
외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정;
상기 전극 회로를 덮도록 상기 성막 기재에 대해서 성막 형성부에 의해 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로가 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정;
상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트 상의 단차부에 대해서 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정; 및
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit by an electrode circuit forming portion with respect to an endless continuous film-forming substrate on which an releasing treatment is performed on an outer circumference;
A film-forming step of forming a ceramic sheet on which the electrode circuit is formed by applying and drying a ceramic slurry to the film-forming base material by a film-forming forming part so as to cover the electrode circuit;
A dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion with respect to the stepped portion on the ceramic sheet caused by the formation of the electrode circuit; And
It has a laminated structure formation process which forms the laminated structure of the said ceramic sheet, The manufacturing method of the laminated electronic component characterized by the above-mentioned.
외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정;
상기 유전체 도포막을 덮도록 성막 형성부에 의해 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정;
상기 세라믹 시트 상의 상기 유전체 도포막과는 다른 개소의 상기 세라믹 시트 상에 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정; 및
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
A dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion on an endless continuous film forming substrate subjected to a release treatment on an outer circumference;
A film forming step of forming a ceramic sheet on which the dielectric coating film is formed by applying and drying a ceramic slurry on the film forming substrate by a film forming portion to cover the dielectric coating film;
An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit on the ceramic sheet at a portion different from the dielectric coating film on the ceramic sheet by an electrode circuit forming portion; And
It has a laminated structure formation process which forms the laminated structure of the said ceramic sheet, The manufacturing method of the laminated electronic component characterized by the above-mentioned.
외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정;
상기 전극 회로를 덮도록 상기 성막 기재에 대해서 성막 형성부에 의해 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 전극 회로가 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정;
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정; 및
상기 전극 회로의 형성에 의해 생기는 상기 세라믹 시트의 적층 구조체 상의 단차부에 대해서 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit by an electrode circuit forming portion with respect to an endless continuous film-forming substrate on which an releasing treatment is performed on an outer circumference;
A film-forming step of forming a ceramic sheet on which the electrode circuit is formed by applying and drying a ceramic slurry to the film-forming base material by a film-forming forming part so as to cover the electrode circuit;
A laminated structure forming step of forming a laminated structure of the ceramic sheet; And
And a dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion with respect to the stepped portion on the laminated structure of the ceramic sheet caused by the formation of the electrode circuit.
외주에 이형 처리가 실시된 무단 연속 형상의 성막 기재에 대해서 유전체 도포막 형성부에 의해 유전체 도포막을 형성하는 유전체 도포막 형성 공정;
상기 유전체 도포막을 덮도록 성막 형성부에 의해 상기 성막 기재에 세라믹 슬러리를 도포, 건조시켜 상기 유전체 도포막이 형성된 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정;
상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 적층 구조체 형성 공정; 및
상기 세라믹 시트의 적층 구조체 상의 상기 유전체 도포막과는 다른 개소의 상기 상기 세라믹 시트의 적층 구조체 상에 전극 회로 형성부에 의해 전극 회로를 형성하는 전극 회로 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
A dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion on an endless continuous film forming substrate subjected to a release treatment on an outer circumference;
A film forming step of forming a ceramic sheet on which the dielectric coating film is formed by applying and drying a ceramic slurry on the film forming substrate by a film forming portion to cover the dielectric coating film;
A laminated structure forming step of forming a laminated structure of the ceramic sheet; And
And an electrode circuit forming step of forming an electrode circuit by an electrode circuit forming portion on a layered structure of the ceramic sheet at a location different from the dielectric coating film on the layered structure of the ceramic sheet. Manufacturing method.
제 11 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적층 구조체 형성 공정에 있어서 상기 적층 지지체에 의해 상기 세라믹 시트의 적층 구조체가 형성되어 있을 때에,
상기 성막 형성 공정에서는 상기 성막 기재에 새로운 상기 세라믹 시트가 계속해서 형성되는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
17. The method according to any one of claims 11 to 16,
When the laminated structure of the ceramic sheet is formed by the laminated support in the laminated structure forming step,
In the film forming step, a new ceramic sheet is continuously formed on the film forming substrate.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
상기 적층 구조체 형성 공정에 있어서 상기 적층 지지체를 상기 성막 기재에 대해서 상기 세라믹 시트를 통해 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 성막 기재로부터 박리시키고, 그 박리시킨 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지체의 외주에 권취함으로써 상기 세라믹 시트의 적층 구조체를 형성하는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
The method according to claim 11 or 12,
In the laminated structure forming step, the ceramic support sheet is peeled from the film forming substrate by contacting the laminated support with the film forming substrate through the ceramic sheet, and the wound ceramic sheet is wound around the laminated support. A method for manufacturing a laminated electronic component, comprising forming a laminated structure of a ceramic sheet.
제 11 항, 제 13 항, 제 14 항, 제 15 항 또는 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 성막 기재와 상기 적층 지지체 사이에 개재되도록 설치된 반송 부재를 갖고;
상기 반송 부재는 상기 성막 기재에 형성된 상기 세라믹 시트를 상기 성막 기재로부터 수취하고, 이 수취한 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지체에 반송하는 반송 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
The method according to any one of claims 11, 13, 14, 15 or 16,
It has a conveyance member provided so that it may be interposed between the said film-forming base material and the said laminated support body;
The said conveyance member has a conveyance process which receives the said ceramic sheet formed in the said film-forming base material from the said film-forming base material, and conveys this received ceramic sheet to the said laminated support body, The manufacturing method of the laminated electronic component characterized by the above-mentioned.
제 11 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전극 회로 형성 공정 및 상기 유전체 도포막 형성 공정에 있어서 상기 전극 회로 형성부 및 상기 유전체 도포막 형성부로서 무판 인쇄 장치를 이용하고, 이 무판 인쇄 장치에 의해 상기 전극 회로 및 상기 유전체 도포막이 형성되는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
17. The method according to any one of claims 11 to 16,
In the electrode circuit forming step and the dielectric coating film forming step, a plateless printing apparatus is used as the electrode circuit forming portion and the dielectric coating film forming portion, and the electrode circuit and the dielectric coating film are formed by the plateless printing apparatus. The manufacturing method of the laminated electronic component characterized by the above-mentioned.
제 20 항에 있어서,
상기 무판 인쇄 장치로서 잉크젯 인쇄 장치를 이용하는 것을 특징으로 하는 적층형 전자 부품의 제조 방법.
21. The method of claim 20,
An inkjet printing apparatus is used as the plateless printing apparatus.
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