KR20210087079A

KR20210087079A - Manufacturing method of electronic components

Info

Publication number: KR20210087079A
Application number: KR1020217017333A
Authority: KR
Inventors: 츠네마사 이리에; 카즈야 야마무라; 켄고 시미즈; 히로시 쿠키
Original assignee: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date: 2019-02-08
Filing date: 2020-02-07
Publication date: 2021-07-09
Also published as: JP7417844B2; JPWO2020162579A1; KR20230098722A; WO2020162579A1; KR102627258B1

Abstract

직사각형상의 그린시트를 캐리어 필름으로부터 양호하게 박리할 수 있는 전자부품의 제조 방법을 제공한다.
한쪽의 주면에 장척상의 그린시트(6)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(5)을 준비하는 준비 공정과, 장척상의 그린시트(6)를 절단하여, 캐리어 필름(5) 상에 직사각형상의 그린시트(7)를 형성하는 절단 공정과, 박리 롤러(4)에 의해, 직사각형상의 그린시트(7)를 캐리어 필름(5)으로부터 박리하는 박리 공정을 포함한 것으로 한다.A method for manufacturing an electronic component capable of satisfactorily peeling a rectangular green sheet from a carrier film is provided.
A preparation step of preparing a long carrier film 5 in which a long green sheet 6 is formed on one main surface, and a rectangular green sheet ( The cutting process of forming 7) and the peeling process of peeling the rectangular green sheet 7 from the carrier film 5 with the peeling roller 4 shall be included.

Description

Manufacturing method of electronic components

본 발명은 전자부품의 제조 방법에 관한 것이고, 더 상세하게는 캐리어 필름 상에 형성된 장척상(長尺狀)의 그린시트를 절단하여 직사각형상의 그린시트를 형성하는 공정과, 직사각형상의 그린시트를 캐리어 필름으로부터 박리하는 공정을 포함한 전자부품의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an electronic component, and more particularly, a step of cutting a long green sheet formed on a carrier film to form a rectangular green sheet, and a step of forming a rectangular green sheet on a carrier It relates to a manufacturing method of an electronic component including a step of peeling from a film.

종래부터 널리 실시되고 있는 전자부품의 제조 방법이, 특허문헌 1(일본 공개특허공보 특개평8-162364호)에 개시되어 있다. 특허문헌 1에 개시된 전자부품의 제조 방법은 캐리어 필름 상에 형성된 장척상의 그린시트를 절단하여 직사각형상의 그린시트를 형성하는 공정과, 직사각형상의 그린시트를 캐리어 필름으로부터 박리하는 공정을 포함한다. 특허문헌 1에 개시된 전자부품의 제조 방법을 도 9(A)~(C)를 참조하여 설명한다. The manufacturing method of the electronic component which is conventionally widely implemented is disclosed by patent document 1 (Unexamined-Japanese-Patent No. 8-162364). The method for manufacturing an electronic component disclosed in Patent Document 1 includes a step of cutting a long green sheet formed on a carrier film to form a rectangular green sheet, and a step of peeling the rectangular green sheet from the carrier film. The manufacturing method of the electronic component disclosed in patent document 1 is demonstrated with reference to FIGS. 9(A)-(C).

우선, 도 9(A)에 나타내는 바와 같이, 주면(主面)에 장척상의 그린시트(101)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(캐리어 테이프)(102)을 펀칭 테이블(103)과 반송 유닛(104) 사이에 공급한다. First, as shown in Fig. 9(A) , a long carrier film (carrier tape) 102 having a long green sheet 101 formed on its main surface is loaded onto a punching table 103 and a conveying unit 104 . supply in between.

펀칭 테이블(103)에는 캐리어 필름(102)을 흡인하기 위한 통기 구멍(흡기구)(103a)과, 펀칭 테이블(103) 자체를 가열하는 열원(전열 히터)(103b)이 형성된다. The punching table 103 is provided with a ventilation hole (intake port) 103a for sucking the carrier film 102, and a heat source (electric heater) 103b for heating the punching table 103 itself.

반송 유닛(104)에는 양측에 1쌍의 커팅 날(직사각형 날)(104a)이 형성된다. 또한, 반송 유닛(104)에는 바닥면에 통기 구멍(흡기구)(104b)이 형성된다. A pair of cutting blades (rectangular blades) 104a are formed on both sides of the conveying unit 104 . Further, in the conveying unit 104, a ventilation hole (intake port) 104b is formed in the bottom surface.

다음으로, 도 9(B)에 나타내는 바와 같이, 반송 유닛(104)을 펀칭 테이블(103)을 향해 강하시킨다. 이 결과, 커팅 날(104a)에 의해, 장척상의 그린시트(101)가 절단되고, 캐리어 필름(102) 상에 직사각형상의 그린시트(105)가 형성된다. Next, as shown in FIG.9(B), the conveyance unit 104 is dropped toward the punching table 103. As shown in FIG. As a result, the long green sheet 101 is cut by the cutting blade 104a, and the rectangular green sheet 105 is formed on the carrier film 102. As shown in FIG.

다음으로, 도 9(C)에 나타내는 바와 같이, 펀칭 테이블(103)을 반송 유닛(104)으로부터 멀어지는 방향(도 9(C)에서의 왼쪽 방향)으로 수평 이동시킨다. 이 결과, 통기 구멍(104b)에 흡인되어서 반송 유닛(104)의 바닥면에 유지된 직사각형상의 그린시트(105)가 캐리어 필름(102)으로부터 박리된다. Next, as shown in FIG.9(C), the punching table 103 is horizontally moved in the direction away from the conveyance unit 104 (the left direction in FIG.9(C)). As a result, the rectangular green sheet 105 attracted by the ventilation hole 104b and held on the bottom surface of the conveying unit 104 is peeled from the carrier film 102 .

상술한 바와 같이, 특허문헌 1의 제조 방법에서는 펀칭 테이블(103)이 열원(103b)에 의해 가열된다. 펀칭 테이블(103)을 가열하는 이유에 대해서는 몇 가지 이유를 생각할 수 있다. As described above, in the manufacturing method of Patent Document 1, the punching table 103 is heated by the heat source 103b. Several reasons are conceivable as to the reason for heating the punching table 103 .

첫 번째 이유로, 그린시트(105)의 바인더를 펀칭 테이블(103)의 열에 의해 연화시키고, 절단을 쉽게 하는 것을 들 수 있다. The first reason is to soften the binder of the green sheet 105 by the heat of the punching table 103 and to make cutting easier.

두 번째 이유로, 뒤에 실시되는 적층 공정에서 그린시트(105)의 가열 압착을 양호하게 실시하는 것을 들 수 있다. 즉, 그린시트(105)는 뒤의 적층 공정에서 적층되고, 가열 압착되어서 적층체가 제작된다. 그러나 그린시트(105)가 상온 그대로이면, 적층 공정에서 적층되는 그린시트(105)가 이미 적층된 적층체로부터 열을 빼앗고, 가열 압착이 양호하게 실시되지 않을 우려가 있다. 따라서, 특허문헌 1의 방법에서는 펀칭 테이블(103)에 의해 그린시트(105)를 가열(예열)하고, 적층 공정에서의 가열 압착을 양호하게 한 것으로 생각할 수 있다. As a second reason, it may be mentioned that heat compression of the green sheet 105 is performed favorably in the lamination process to be carried out later. That is, the green sheets 105 are laminated in a subsequent lamination process and heat-compressed to produce a laminate. However, if the green sheets 105 are at room temperature, the green sheets 105 to be laminated in the lamination process take heat away from the already laminated body, and there is a fear that thermocompression may not be performed well. Therefore, in the method of Patent Document 1, it is considered that the green sheet 105 is heated (preheated) by the punching table 103 and the thermocompression bonding in the lamination process is satisfactory.

일본 공개특허공보 특개평8-162364호Japanese Patent Laid-Open No. 8-162364

특허문헌 1에 개시된 전자부품의 제조 방법에는 다음과 같은 문제가 있었다. The manufacturing method of the electronic component disclosed in patent document 1 had the following problems.

우선, 특허문헌 1에 개시된 제조 방법에는 반송 유닛(104)의 커팅 날(104a)에 의해 절단되고, 반송 유닛(104)의 바닥면에 유지된 직사각형상의 그린시트(105)에 말려 올라감, 찢어짐, 주름 등이 발생할 우려가 있다는 문제가 있었다. 도 10을 참조하여 설명한다. 한편, 도 10은 본건 출원인이 설명을 위해 작성한 것이며, 특허문헌 1에 기재된 것이 아니다. First, in the manufacturing method disclosed in Patent Document 1, it is cut by the cutting blade 104a of the conveying unit 104 and rolled up on the rectangular green sheet 105 held on the bottom surface of the conveying unit 104, torn, There was a problem that wrinkles and the like might occur. It will be described with reference to FIG. 10 . On the other hand, FIG. 10 is prepared by the present applicant for explanation, and is not described in Patent Document 1.

반송 유닛(104)은 금속에 의해 제작된다. 통기 구멍(104b)은 반송 유닛(104)에 통상 기계적 가공에 의해 형성된다. 그 때문에, 반송 유닛(104)에서는 커팅 날(104a)과 통기 구멍(104b) 사이의 거리(X)를 작게 하는 데에 한계가 있었다. 예를 들면, 현재 일반적으로 실시된 기계적 가공 기술에서는 거리(X)를 100㎛ 미만으로 하는 것이 어려웠다. The conveying unit 104 is made of metal. The ventilation hole 104b is formed in the conveying unit 104 by normal mechanical processing. Therefore, in the conveying unit 104, there was a limit in reducing the distance X between the cutting blade 104a and the ventilation hole 104b. For example, it has been difficult to make the distance X less than 100 mu m in the currently generally practiced mechanical processing technology.

그리고 커팅 날(104a)과 통기 구멍(104b) 사이의 거리(X)가 크면, 반송 유닛(104)의 바닥면에 유지된 직사각형상의 그린시트(105)의 선단부(P)가 반송 유닛(104)의 바닥면으로부터 말려 올라가는 경우가 있었다. 혹은 그린시트(105)의 선단부(P)가 찢어지거나 그린시트(105)의 선단부(P)에 주름이 가는 경우가 있었다. And when the distance X between the cutting blade 104a and the ventilation hole 104b is large, the front end P of the rectangular green sheet 105 held on the bottom surface of the conveying unit 104 moves to the conveying unit 104 . In some cases, it was rolled up from the bottom surface of the Alternatively, the front end P of the green sheet 105 may be torn or the front end P of the green sheet 105 may be wrinkled.

그리고 그린시트(105)의 선단부(P)에 말려 올라감, 찢어짐, 주름 등이 발생하면, 뒤의 그린시트(105)를 적층하고, 가열 압착하여 적층체를 제작하는 공정에서 적층 불량이 발생하고, 제작된 적층체가 불량품이 되어버리는 경우가 있었다. And if curled up, torn, wrinkled, etc. occur at the tip (P) of the green sheet 105, laminating the green sheet 105 at the back, and heat-compressing to produce a laminate, a lamination defect occurs, The produced laminated body may become a defective product.

또한, 특허문헌 1에 개시된 제조 방법에는 캐리어 필름(102)이 공정의 도중에 파손되어버릴 우려가 있다는 문제가 있었다. Moreover, in the manufacturing method disclosed by patent document 1, there existed a problem that the carrier film 102 might be damaged in the middle of a process.

즉, 특허문헌 1에 개시된 제조 방법에서는 도 9(B), (C)에 나타내는 바와 같이, PET(polyethylene terephthalate) 등에 의해 제작된 캐리어 필름(102)이 열원(103b)에 의해 가열된 펀칭 테이블(103)과 일정한 긴 시간에 걸쳐 접촉한다. 그 때문에, 열에 의해 캐리어 필름(102)이 파손되어 버리는 경우가 있었다. 예를 들면, 캐리어 필름(102)이 부분적으로 찢어지거나 전체 폭에 걸쳐 찢어져서, 캐리어 필름(102)의 반송을 할 수 없게 되는 경우가 있었다. That is, in the manufacturing method disclosed in Patent Document 1, as shown in FIGS. 9(B) and (C), the carrier film 102 made of PET (polyethylene terephthalate) or the like is heated by a heat source 103b on a punching table ( 103) over a long period of time. Therefore, the carrier film 102 may be damaged by heat. For example, the carrier film 102 may be torn partially or torn over the entire width, making it impossible to convey the carrier film 102 in some cases.

더욱이, 특허문헌 1에 개시된 제조 방법에는 가열된 펀칭 테이블(103)의 열에 의해 캐리어 필름(102)에 주름이 발생하고, 그 결과, 캐리어 필름(102)의 주면에 형성된 그린시트(105)의 면의 일부 또는 전부에 주름이 발생할 우려가 있다는 문제가 있었다. 그리고 그린시트(105)에 주름이 발생하면, 뒤의 그린시트(105)를 적층하고 가열 압착하여 적층체를 제작하는 공정에서 적층 불량이 발생하고, 제작된 적층체가 불량품이 되어버리는 경우가 있었다. Furthermore, in the manufacturing method disclosed in Patent Document 1, wrinkles are generated in the carrier film 102 by the heat of the heated punching table 103, and as a result, the surface of the green sheet 105 formed on the main surface of the carrier film 102. There was a problem that there is a possibility that wrinkles may occur in some or all of the. And when wrinkles occur in the green sheet 105, lamination failure occurs in the process of laminating the green sheet 105 behind and thermocompressing the laminate to produce a laminate, and the manufactured laminate may become a defective product.

본 발명은 상술한 종래의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 수단으로서, 본 발명의 한 실시양태에 따른 전자부품의 제조 방법은 한쪽의 주면에 장척상의 그린시트가 형성된 장척상의 캐리어 필름을 준비하는 준비 공정과, 장척상의 그린시트를 절단하여 캐리어 필름 상에 직사각형상의 그린시트를 형성하는 절단 공정과, 박리 롤러에 의해 직사각형상의 그린시트를 캐리어 필름으로부터 박리하는 박리 공정을 포함한 것으로 한다. The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and as a means, the method for manufacturing an electronic component according to an embodiment of the present invention is to prepare a long carrier film in which a long green sheet is formed on one main surface. A preparatory step, a cutting step of cutting the long green sheet to form a rectangular green sheet on the carrier film, and a peeling step of peeling the rectangular green sheet from the carrier film with a peeling roller are included.

본 발명의 전자부품의 제조 방법에 따르면, 박리 롤러에 의해 직사각형상의 그린시트를 캐리어 필름으로부터 양호하게 박리할 수 있다. According to the manufacturing method of the electronic component of this invention, a rectangular green sheet can be peeled favorably from a carrier film by a peeling roller.

도 1은 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법에서 사용하는 전자부품 제조 장치(1000)를 나타내는 주요부 개략도이다.
도 2는 전자부품 제조 장치(1000)의 박리 롤러(4)를 나타내는 단면도이다.
도 3(A)~(C)는 각각 제1 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법의 박리 공정을 나타내는 정면도이다.
도 4(A)~(C)는 각각 제1 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법의 박리 공정을 나타내는 설명도이다.
도 5(A)~(C)는 각각 제1 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법의 적층 공정을 나타내는 정면도이다.
도 6(A)~(C)는 각각 제1 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법의 적층 공정을 나타내는 설명도이다.
도 7(A)~(C)는 각각 제2 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법의 박리 공정을 나타내는 정면도이다.
도 8(A)~(C)는 각각 제2 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법의 박리 공정을 나타내는 설명도이다.
도 9(A)~(C)는 각각 특허문헌 1에 개시된 전자부품의 제조 방법에서의 각 공정을 나타내는 단면도이다.
특허문헌 1에 개시된 전자부품의 제조 방법의 과제를 설명하기 위한 설명도이다. 1 : is a principal part schematic diagram which shows the electronic component manufacturing apparatus 1000 used in the manufacturing method of the electronic component which concerns on embodiment.
2 is a cross-sectional view showing the peeling roller 4 of the electronic component manufacturing apparatus 1000 .
3(A) - (C) are front views each showing the peeling process of the manufacturing method of the electronic component which concerns on 1st Embodiment.
4(A)-(C) are explanatory drawings each showing the peeling process of the manufacturing method of the electronic component which concerns on 1st Embodiment.
5(A) to 5(C) are front views each showing a lamination step of the method for manufacturing an electronic component according to the first embodiment.
6(A) to 6(C) are explanatory views each showing a lamination process of the method for manufacturing an electronic component according to the first embodiment.
7(A) - (C) are front views each showing the peeling process of the manufacturing method of the electronic component which concerns on 2nd Embodiment.
8(A) to 8(C) are explanatory views each showing a peeling step of the method for manufacturing an electronic component according to the second embodiment.
9(A) to 9(C) are cross-sectional views each showing each step in the method for manufacturing an electronic component disclosed in Patent Document 1. FIG.
It is explanatory drawing for demonstrating the subject of the manufacturing method of the electronic component disclosed by patent document 1.

이하, 도면과 함께 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form for implementing this invention with drawings is demonstrated.

한편, 각 실시형태는 본 발명의 실시형태를 예시적으로 나타낸 것이며, 본 발명이 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니다. 또한, 다른 실시형태에 기재된 내용을 조합하여 실시하는 것도 가능하고, 그 경우의 실시 내용도 본 발명에 포함된다. 또한, 도면은 명세서의 이해를 돕기 위한 것으로서, 모식적으로 묘화된 경우가 있고, 묘화된 구성 요소 또는 구성 요소간의 치수의 비율이 명세서에 기재된 그것의 치수의 비율과 일치하지 않는 경우가 있다. 또한, 명세서에 기재된 구성 요소가 도면에서 생략된 경우나, 개수를 생략하여 묘화된 경우 등이 있다. In addition, each embodiment shows embodiment of this invention by way of example, and this invention is not limited to the content of embodiment. In addition, it is also possible to implement by combining the content described in other embodiment, and the implementation content in that case is also included in this invention. In addition, the drawings are for the purpose of helping the understanding of the specification, and there are cases where they are schematically drawn, and the ratio of the drawn components or dimensions between the components does not match the ratio of dimensions thereof described in the specification in some cases. In addition, there are cases in which the components described in the specification are omitted from the drawings, or the cases are drawn by omitting the number.

[제1 실시형태] [First embodiment]

도 1에, 본 실시형태의 전자부품의 제조 방법에서 사용하는 전자부품 제조 장치(1000)의 주요부 개략도를 나타낸다. The principal part schematic diagram of the electronic component manufacturing apparatus 1000 used by the manufacturing method of the electronic component of this embodiment in FIG. 1 is shown.

전자부품 제조 장치(1000)에는 후술하는 바와 같이, 주면에 장척상의 그린시트(6)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(5)이 공급되고 반송된다. 그리고 캐리어 필름(5)의 반송의 도중에 장척상의 그린시트(6)가 절단되어서 캐리어 필름(5) 상에 직사각형상의 그린시트(7)가 형성되며, 추가로 직사각형상의 그린시트(7)가 캐리어 필름(5)으로부터 박리된다. As will be described later, the electronic component manufacturing apparatus 1000 is supplied with a long carrier film 5 having a long green sheet 6 formed thereon on its main surface and is conveyed. And the long green sheet 6 is cut in the middle of conveyance of the carrier film 5, the rectangular green sheet 7 is formed on the carrier film 5, and the rectangular green sheet 7 is further formed into a carrier film. It is peeled from (5).

전자부품 제조 장치(1000)는 캐리어 필름(5)의 반송로에 제1 구동 롤러(1a)와 제2 구동 롤러(1b)를 포함한다. 제1 구동 롤러(1a), 제2 구동 롤러(1b)는 캐리어 필름(5)을 능동적으로 반송하기 위한 것이다. The electronic component manufacturing apparatus 1000 includes a first driving roller 1a and a second driving roller 1b in a conveyance path of the carrier film 5 . The first driving roller 1a and the second driving roller 1b are for actively conveying the carrier film 5 .

본 실시형태에서는 제1 구동 롤러(1a), 제2 구동 롤러(1b)에 석션 롤러를 사용했다. 즉, 제1 구동 롤러(1a), 제2 구동 롤러(1b)에는 도시는 생략하지만, 표면에 통기 구멍이 형성되고, 캐리어 필름(5)이 접촉한 부분에서 통기 구멍에 의해 캐리어 필름(5)을 흡인할 수 있다. 그리고 제1 구동 롤러(1a), 제2 구동 롤러(1b)는 캐리어 필름(5)을 흡인한 상태로 회전함으로써 캐리어 필름(5)을 반송할 수 있다. In this embodiment, a suction roller was used for the 1st drive roller 1a and the 2nd drive roller 1b. That is, although not illustrated in the first driving roller 1a and the second driving roller 1b, a vent hole is formed on the surface, and the carrier film 5 is formed by the vent hole in the portion where the carrier film 5 is in contact. can be aspirated. And the 1st drive roller 1a and the 2nd drive roller 1b can convey the carrier film 5 by rotating in the state which attracted|sucked the carrier film 5.

한편, 제1 구동 롤러(1a), 제2 구동 롤러(1b)에는, 석션 롤러 대신에 캐리어 필름(5)과 그린시트(6)를 끼워 넣어서 반송하거나 또는 캐리어 필름(5)을 끼워 넣어서 반송하는, 닙(nip) 롤러 등을 사용해도 된다. On the other hand, in the first driving roller 1a and the second driving roller 1b, instead of the suction roller, the carrier film 5 and the green sheet 6 are sandwiched and conveyed, or the carrier film 5 is sandwiched and conveyed. , a nip roller or the like may be used.

제1 구동 롤러(1a)와 제2 구동 롤러(1b)는 동기하여 회전하도록 제어된다. 즉, 제1 구동 롤러(1a)와 제2 구동 롤러(1b)는 양자의 직경이 동일한 경우에는 동일한 타이밍에 동일한 양만큼 회전하고, 캐리어 필름(5)을 높은 정밀도로 반송한다. The first driving roller 1a and the second driving roller 1b are controlled to rotate synchronously. That is, the 1st drive roller 1a and the 2nd drive roller 1b rotate by the same amount at the same timing when both diameters are the same, and convey the carrier film 5 with high precision.

전자부품 제조 장치(1000)에는 추가로 캐리어 필름(5)의 반송로에 반송 롤러(2a, 2b)가 마련된다. 반송 롤러(2a, 2b)는 제1 구동 롤러(1a)와 제2 구동 롤러(1b) 사이에 마련된다. 반송 롤러(2a, 2b)는 캐리어 필름(5)의 반송 방향을 바꾸고 싶은 경우나, 캐리어 필름(5)에 장력을 주고 싶은 경우 등에 마련된다. In the electronic component manufacturing apparatus 1000, the conveyance rollers 2a, 2b are provided in the conveyance path of the carrier film 5 further. The conveying rollers 2a, 2b are provided between the 1st drive roller 1a and the 2nd drive roller 1b. The conveyance rollers 2a, 2b are provided when it is desired to change the conveyance direction of the carrier film 5, when it wants to apply tension|tensile_strength to the carrier film 5, etc.

본 실시형태에서는 반송 롤러(2a, 2b)에, 캐리어 필름(5)을 능동적으로 반송하는 기능을 포함한 보조 구동 롤러를 사용했다. 반송 롤러(2a, 2b)는 제1 구동 롤러(1a) 및 제2 구동 롤러(1b)와 동기하여 스스로 회전한다. 한편, 반송 롤러(2a, 2b)는 보조 구동 롤러가 아닌, 캐리어 필름(5)의 반송에 따라 수동적으로 회전하는 것이어도 된다. In this embodiment, the auxiliary driving roller including the function of actively conveying the carrier film 5 was used for the conveyance rollers 2a, 2b. The conveying rollers 2a, 2b rotate by themselves in synchronization with the first driving roller 1a and the second driving roller 1b. In addition, the conveyance rollers 2a, 2b may rotate passively according to conveyance of the carrier film 5 instead of an auxiliary drive roller.

전자부품 제조 장치(1000)는 캐리어 필름(5)의 반송로에 절단 영역(A1)과 박리 영역(A2)을 포함한다. 절단 영역(A1)과 박리 영역(A2)은 제1 구동 롤러(1a)와 제2 구동 롤러(1b) 사이에 마련된다. The electronic component manufacturing apparatus 1000 includes the cutting|disconnection area|region A1 and the peeling area|region A2 in the conveyance path of the carrier film 5. The cutting area A1 and the peeling area A2 are provided between the first drive roller 1a and the second drive roller 1b.

절단 영역(A1)은 장척상의 그린시트(6)를 절단하고, 캐리어 필름(5) 상에 직사각형상의 그린시트(7)를 형성하는 영역이다. 절단 영역(A1)에는 1쌍의 커팅 날(3a, 3b)이 소정 간격을 두고 마련된다. The cut area A1 is an area in which the long green sheet 6 is cut and the rectangular green sheet 7 is formed on the carrier film 5 . A pair of cutting blades 3a and 3b are provided at a predetermined interval in the cutting area A1.

박리 영역(A2)은 직사각형상의 그린시트(7)를 캐리어 필름(5)으로부터 박리하는 영역이다. 박리 영역(A2)에는 박리 롤러(4)가 마련된다. The peeling area A2 is an area in which the rectangular green sheet 7 is peeled from the carrier film 5 . A peeling roller 4 is provided in the peeling area A2.

본 실시형태의 박리 롤러(4)는 도 2의 단면도에 나타내는 바와 같이, 바깥둘레의 대략 1/3의 영역에 복수개의 통기 구멍(4a)이 형성된다. 통기 구멍(4a)은 각각 박리 롤러(4)에 마련된 소정의 통기관에 접속된다. 한편, 본 실시형태에서는 직사각형상의 그린시트(7)의 길이에 적합하게 하여, 박리 롤러(4)의 바깥둘레의 대략 1/3의 영역에 통기 구멍(4a)을 마련했는데, 통기 구멍(4a)을 마련하는 영역의 넓이는 임의이며, 예를 들면, 바깥둘레의 대략 1/2에 통기 구멍(4a)을 마련해도 되고, 바깥둘레의 전체 둘레에 통기 구멍(4a)을 마련해도 된다. 한편, 도 4에서는 박리 롤러(4)의 바깥둘레를 따라 마련된 통기 구멍(4a)이 나타나 있는데, 통기 구멍(4a)은 박리 롤러(4)의 폭방향에도 마련된다. In the peeling roller 4 of this embodiment, as shown in the cross-sectional view of FIG. 2, the some ventilation hole 4a is formed in the area|region of about 1/3 of the outer periphery. The ventilation holes 4a are respectively connected to predetermined ventilation pipes provided in the peeling roller 4 . On the other hand, in this embodiment, the ventilation hole 4a was provided in the area|region of about 1/3 of the outer periphery of the peeling roller 4 to suit the length of the rectangular green sheet 7, The ventilation hole 4a The area of the region in which the ? is provided is arbitrary, for example, the ventilation hole 4a may be provided in about 1/2 of the outer periphery, and the ventilation hole 4a may be provided in the whole periphery of the outer periphery. Meanwhile, in FIG. 4 , ventilation holes 4a provided along the outer periphery of the peeling roller 4 are shown. The ventilation holes 4a are also provided in the width direction of the peeling roller 4 .

본 실시형태에서는 박리 롤러(4)가 멀티챔버 석션 롤러 구조를 포함하고, 박리 롤러(4) 표면의 영역마다, 또한 시간의 경과마다, 통기 구멍(4a)의 상태를 흡인 상태, 배기 상태(블로우 상태), 대기 개방 상태 등의 임의의 상태로 할 수 있다. 또한, 흡인 상태나 배기 상태는 박리 롤러(4) 표면의 영역마다 강약을 붙일 수 있다. In this embodiment, the peeling roller 4 has a multi-chamber suction roller structure, and for each area of the surface of the peeling roller 4 and for each lapse of time, the state of the ventilation hole 4a is a suction state and an exhaust state (blow). state), it can be set as arbitrary states, such as an atmospheric release state. In addition, the suction state and the exhaust state can be applied with strength and weakness for each area of the surface of the peeling roller 4 .

박리 롤러(4)에는 박리된 그린시트(7)를 가열(예열)하기 위해, 열원(4b)이 마련된다. 열원(4b)의 종류는 임의이지만, 예를 들면, 카트리지 히터, 플레이트 히터 등의 저항 가열 방식, 유도 가열, 유전 가열 방식, 열매(熱媒)를 이용한 히트펌프 방식 등을 사용할 수 있다. The peeling roller 4 is provided with a heat source 4b for heating (preheating) the peeled green sheet 7 . Although the kind of heat source 4b is arbitrary, For example, the resistance heating system, such as a cartridge heater and a plate heater, induction heating, a dielectric heating system, the heat pump system using a heat medium, etc. can be used.

박리 롤러(4)의 재질은 임의인데, 예를 들면, 알루미늄, 카본, SUS 등을 사용할 수 있다. 박리 롤러(4)의 직경은 임의이지만, 예를 들면, 50㎜ 이상, 1000㎜ 이하로 할 수 있다. Although the material of the peeling roller 4 is arbitrary, for example, aluminum, carbon, SUS, etc. can be used. Although the diameter of the peeling roller 4 is arbitrary, it can be set as 50 mm or more and 1000 mm or less, for example.

이하에, 전자부품 제조 장치(1000)를 사용하여 실시하는, 본 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법에 대해 설명한다. 한편, 제조하는 전자부품의 종류는 임의이지만, 본 실시형태에서는 일례로서 적층 세라믹 콘덴서를 제조한다. Below, the manufacturing method of the electronic component which concerns on this embodiment implemented using the electronic component manufacturing apparatus 1000 is demonstrated. In addition, although the kind of electronic component to manufacture is arbitrary, a multilayer ceramic capacitor is manufactured as an example in this embodiment.

우선, 캐리어 필름(5)을 준비한다. 캐리어 필름(5)의 재질은 임의이지만, 예를 들면, PET를 사용할 수 있다. 또한, 캐리어 필름(5)의 길이, 폭, 두께 등의 치수는 임의이며, 원하는 것을 사용할 수 있다. First, the carrier film 5 is prepared. Although the material of the carrier film 5 is arbitrary, PET can be used, for example. In addition, dimensions, such as length, width|variety, thickness, etc. of the carrier film 5 are arbitrary, what you want can be used.

다음으로, 제조하는 전자부품에 따른 재질, 입경 등으로 이루어지는 유전체 세라믹스의 분말, 바인더 수지, 용제 등을 준비하고, 이들을 습식 혼합하여 세라믹 슬러리를 제작한다. Next, powder, binder resin, solvent, etc. of dielectric ceramics made of a material, particle size, etc. according to the electronic component to be manufactured are prepared, and the ceramic slurry is prepared by wet mixing them.

다음으로, 캐리어 필름(5) 상에 세라믹 슬러리를, 다이 코터, 그라비아 코터, 마이크로 그라비어 코터 등을 이용하여 시트 형상으로 도포하고, 건조시킨다. 한편, 도포하는 세라믹 슬러리의 두께는 임의이며, 원하는 그린시트(6)의 두께에 따라 적절히 설정한다. Next, the ceramic slurry is applied on the carrier film 5 in a sheet shape using a die coater, a gravure coater, a micro gravure coater, or the like, and dried. On the other hand, the thickness of the ceramic slurry to be applied is arbitrary, and is appropriately set according to the desired thickness of the green sheet 6 .

이상에 의해, 한쪽의 주면에 장척상의 그린시트(6)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(5)이 완성된다. By the above, the long carrier film 5 in which the long green sheet 6 was formed in one main surface is completed.

다음으로, 필요에 따라, 내부전극을 형성하기 위해, 장척상의 그린시트(6)의 주면에 도전성 페이스트를 원하는 패턴으로 인쇄한다. Next, if necessary, a conductive paste is printed in a desired pattern on the main surface of the long green sheet 6 in order to form internal electrodes.

다음으로, 도 1에 나타내는 바와 같이, 장척상의 그린시트(6)가 형성된 장척상의 캐리어 필름(5)을 순차적으로 전자부품 제조 장치(1000)에 공급한다. 본 실시형태에서는 캐리어 필름(5)을, 제1 구동 롤러(1a), 절단 영역(A1), 박리 영역(A2), 반송 롤러(2a), 반송 롤러(2b), 제2 구동 롤러(1b)를 순서대로 경유하는 경로에 공급한다. 캐리어 필름(5)은 제1 구동 롤러(1a), 제2 구동 롤러(1b), 및 보조 구동 롤러인 반송 롤러(2a, 2b)에 의해, 높은 정밀도로 제어되어서 반송된다. Next, as shown in FIG. 1, the elongate carrier film 5 in which the elongate green sheet 6 was formed is sequentially supplied to the electronic component manufacturing apparatus 1000. As shown in FIG. In this embodiment, the carrier film 5 is set to the 1st drive roller 1a, the cutting|disconnection area|region A1, the peeling area|region A2, the conveyance roller 2a, the conveyance roller 2b, the 2nd drive roller 1b. is supplied to the route passing through in order. The carrier film 5 is controlled and conveyed with high precision by the 1st drive roller 1a, the 2nd drive roller 1b, and the conveyance rollers 2a, 2b which are auxiliary drive rollers.

다음으로, 장척상의 그린시트(6)를 직사각형상의 그린시트(7)로 절단한다. 구체적으로는, 우선 캐리어 필름(5)의 반송을 정지시킨다. 다음으로, 절단 영역(A1)에서 커팅 날(3a, 3b)을 하강시키고, 장척상의 그린시트(6)를 원하는 치수의 직사각형상의 그린시트(7)로 절단한다. 이때, 커팅 날(3a, 3b)은 그린시트(6)만 절단하고, 캐리어 필름(5)을 절단하지 않도록 한다. 이 결과, 장척상의 캐리어 필름(5) 상에 직사각형상의 그린시트(7)가 형성된다. Next, the long green sheet 6 is cut into the rectangular green sheet 7 . Specifically, first, conveyance of the carrier film 5 is stopped. Next, the cutting blades 3a and 3b are lowered in the cutting area A1, and the long green sheet 6 is cut into a rectangular green sheet 7 having a desired size. At this time, the cutting blades 3a and 3b cut only the green sheet 6 and do not cut the carrier film 5 . As a result, a rectangular green sheet 7 is formed on the long carrier film 5 .

다음으로, 캐리어 필름(5)을 간헐적으로 반송하고, 절단된 직사각형상의 그린시트(7)를 박리 영역(A2)의 방향으로 반송함과 함께, 절단 영역(A1)에 장척상의 그린시트(6) 다음으로 절단해야 할 부분을 반송한다. Next, while conveying the carrier film 5 intermittently and conveying the cut|disconnected rectangular green sheet 7 in the direction of the peeling area A2, the long green sheet 6 in the cutting area A1. Next, the part to be cut is conveyed.

이상의 장척상의 그린시트(6)의 직사각형상의 그린시트(7)에 대한 절단과, 캐리어 필름(5)의 간헐적인 반송을 순차적으로 반복한다. Cutting of the above long green sheet 6 to the rectangular green sheet 7 and intermittent conveyance of the carrier film 5 are sequentially repeated.

한편, 먼저 절단된 직사각형상의 그린시트(7)와 다음에 절단된 직사각형상의 그린시트(7) 사이의 캐리어 필름(5) 상에, 장척상의 그린시트(6)의 불(不)사용 부분(직사각형상의 그린시트(7)로서 절단하지 않은 부분)이 남는 경우가 있는데, 도 1 등에서는 이러한 불사용 부분의 도시를 생략했다. On the other hand, on the carrier film 5 between the rectangular green sheet 7 cut first and the rectangular green sheet 7 cut next, an unused portion of the long green sheet 6 (rectangular) A portion that is not cut as the upper green sheet 7) may remain, but illustration of such an unused portion is omitted in FIG. 1 and the like.

다음으로, 도 3(A)~(C), 도 4(A)~(C)에 나타내는 바와 같이, 박리 영역(A2)에서 캐리어 필름(5) 상에 형성된 직사각형상의 그린시트(7)를 캐리어 필름(5)으로부터 박리한다. 한편, 도 3(A)~(C)는 정면도, 도 4(A)~(C)는 설명도이며, 도 3(A)와 도 4(A), 도 3(B)와 도 4(B), 도 3(C)와 도 4(C)가 각각 동일한 시점을 나타낸다. 한편, 도 4(A)~(C)는 박리 롤러(4)의 통기 구멍(4a)의 상태(흡인 상태, 대기 개방 상태, 배기 상태)를 나타낸다. Next, as shown in Figs. 3(A) to (C) and Figs. 4(A) to (C), the rectangular green sheet 7 formed on the carrier film 5 in the peeling area A2 is transferred to the carrier. It peels from the film 5. On the other hand, FIGS. 3(A)-(C) are front views, FIGS. 4(A)-(C) are explanatory views, and FIGS. 3(A) and 4(A), 3(B) and 4( B), FIG. 3(C) and FIG. 4(C) show the same time point, respectively. On the other hand, Figs. 4(A) to 4(C) show the state (suction state, air release state, exhaust state) of the ventilation hole 4a of the peeling roller 4 .

우선, 도 3(A), 도 4(A)에 나타내는 바와 같이, 캐리어 필름(5)에 의해, 직사각형상의 그린시트(7)가 박리 영역(A2)으로 반송되고, 그 선단이 박리 롤러(4)의 최하부에 접촉한다. 이 시점에서는 박리 롤러(4)의 통기 구멍(4a)은 대기 개방 상태(또는 배기 상태)에 있고, 흡인은 하지 않았다. First, as shown in Fig. 3(A) and Fig. 4(A), the rectangular green sheet 7 is conveyed to the peeling area A2 by the carrier film 5, and its tip is the peeling roller 4 ) in contact with the lowermost part of the At this time, the ventilation hole 4a of the peeling roller 4 is in an open state (or exhaust state) to the atmosphere, and suction is not performed.

다음으로, 도 3(B), 도 4(B)에 나타내는 바와 같이, 캐리어 필름(5)에 의해 직사각형상의 그린시트(7)를 추가로 반송하고, 그에 동기시켜서 박리 롤러(4)를 회전시킨다. 이때, 통기 구멍(4a)은 박리 롤러(4)의 최하부를 넘으면, 순차적으로 대기 개방 상태(또는 배기 상태)로부터 흡인 상태로 바뀌고, 직사각형상의 그린시트(7)를 흡인한다. 그리고 박리 롤러(4)의 회전에 따라, 직사각형상의 그린시트(7)가 캐리어 필름(5)으로부터 박리된다. Next, as shown in FIG.3(B) and FIG.4(B), the rectangular green sheet 7 is further conveyed by the carrier film 5, and the peeling roller 4 is rotated in synchronism with it. . At this time, when the vent hole 4a exceeds the lowermost part of the peeling roller 4, it sequentially changes from an atmospheric release state (or an exhaust state) to a suction state, and sucks the rectangular green sheet 7 . And in accordance with the rotation of the peeling roller 4 , the rectangular green sheet 7 is peeled off from the carrier film 5 .

다음으로, 도 3(C), 도 4(C)에 나타내는 바와 같이, 직사각형상의 그린시트(7)가 캐리어 필름(5)으로부터 완전히 박리되고, 직사각형상의 그린시트(7)가 박리 롤러(4)의 표면에 유지된다. Next, as shown in Figs. 3(C) and 4(C), the rectangular green sheet 7 is completely peeled off from the carrier film 5, and the rectangular green sheet 7 is removed by the peeling roller 4 is kept on the surface of

한편, 본 실시형태에서는 박리 롤러(4)의 표면에 유지된 직사각형상의 그린시트(7)가 박리 롤러(4)의 열원(4b)에 의해 가열(예열)된다. 또한, 본 실시형태에서는 박리 롤러(4)가 다음 공정인 적층 공정에서 직사각형상의 그린시트(7)를 적층하는 적층 롤러를 겸한다. 그 때문에, 직사각형상의 그린시트(7)가 박리 롤러(4)의 표면에 유지되면, 적층 공정을 실시하는 공간을 확보하기 위해, 캐리어 필름(5)과 반송 롤러(2a)가 일단 박리 롤러(4) 아래로부터 퇴각한다. 한편, 캐리어 필름(5)과 반송 롤러(2a)를 퇴각시키는 대신에 직사각형상의 그린시트(7)를 유지한 박리 롤러(4)를 다른 장소에 이동시키도록 해도 된다. On the other hand, in this embodiment, the rectangular green sheet 7 held on the surface of the peeling roller 4 is heated (preheated) by the heat source 4b of the peeling roller 4 . In addition, in this embodiment, the peeling roller 4 also serves as a lamination|stacking roller which laminates|stacks the rectangular green sheet 7 in the lamination|stacking process which is the next process. Therefore, when the rectangular green sheet 7 is held on the surface of the peeling roller 4, in order to secure a space for performing the lamination process, the carrier film 5 and the conveying roller 2a are once separated by the peeling roller 4 ) retreat from below. On the other hand, instead of retracting the carrier film 5 and the conveyance roller 2a, you may make it move the peeling roller 4 which hold|maintained the rectangular green sheet 7 to another place.

다음으로, 도 5(A)~(C), 도 6(A)~(C)에 나타내는 바와 같이, 적층 롤러를 겸하는 박리 롤러(4)에 유지된 직사각형상의 그린시트(7)를 적층 스테이지(8) 상에 적층하고, 적층체(9)를 제작한다. 한편, 도 5(A)~(C)는 정면도, 도 6(A)~(C)는 설명도이며, 도 5(A)와 도 6(A), 도 5(B)와 도 6(B), 도 5(C)와 도 6(C)가 각각 동일한 시점을 나타낸다. 한편, 도 6(A)~(C)는 적층 롤러를 겸하는 박리 롤러(4)의 통기 구멍(4a)의 상태(흡인 상태, 대기 개방 상태, 배기 상태)를 나타낸다. Next, as shown in Figs. 5(A) to (C) and Figs. 6(A) to (C), the rectangular green sheet 7 held by the peeling roller 4 which also serves as a lamination roller is transferred to a lamination stage ( 8) It laminates|stacks on it, and the laminated body 9 is produced. On the other hand, FIGS. 5(A)-(C) are front views, FIGS. 6(A)-(C) are explanatory views, and FIGS. 5(A) and 6(A), FIG. 5(B) and FIG. 6( B), FIG. 5(C) and FIG. 6(C) show the same time point, respectively. On the other hand, Figs. 6(A) to 6(C) show the state (suction state, atmospheric release state, exhaust state) of the ventilation hole 4a of the peeling roller 4 also serving as the lamination roller.

본 공정에서는 적층 스테이지(8)가 사용된다. 적층 스테이지(8)의 내부에는 적층체(9)를 가열하기 위해 열원(8a)이 마련된다. In this process, the lamination stage 8 is used. A heat source 8a is provided inside the lamination stage 8 to heat the laminate 9 .

우선, 도 5(A), 도 6(A)에 나타내는 바와 같이, 직사각형상의 그린시트(7)가 유지된, 적층 롤러를 겸하는 박리 롤러(4) 아래에 적층 스테이지(8)를 이동시킨다. 도 5(A), 도 6(A)에서는 적층 스테이지(8) 상에 이미 복수개의 직사각형상의 그린시트(7)가 적층되고, 가열 압착되어서 제작 도중의 적층체(9)가 존재한다. 단, 첫 번째 층의 그린시트(7)를 적층하는 경우에는 적층 스테이지(8) 상에 적층체(9)(그린시트(7))는 존재하지 않는다. First, as shown in Figs. 5(A) and 6(A), the lamination stage 8 is moved under the peeling roller 4 serving as the lamination roller, on which the rectangular green sheet 7 is held. In Figs. 5(A) and 6(A), a plurality of rectangular green sheets 7 are already laminated on the lamination stage 8, and the laminate 9 is present in the process of being heated and pressed. However, when the green sheet 7 of the first layer is laminated, the laminate 9 (green sheet 7) does not exist on the lamination stage 8 .

박리 롤러(4)의 최하부에서, 박리 롤러(4)에 유지된 그린시트(7)의 선단과, 적층체(9)의 최상층에 적층된 그린시트(7)의 선단이 위치시켜진다. 이 시점에서는 박리 롤러(4)의 통기 구멍(4a)은 흡인 상태에 있고, 직사각형상의 그린시트(7)는 박리 롤러(4)에 유지된다. At the lowermost portion of the peeling roller 4, the tip of the green sheet 7 held on the peeling roller 4 and the tip of the green sheet 7 laminated on the uppermost layer of the laminate 9 are positioned. At this point, the ventilation hole 4a of the peeling roller 4 is in the suction state, and the rectangular green sheet 7 is held by the peeling roller 4 .

다음으로, 도 5(B), 도 6(B)에 나타내는 바와 같이, 적층 롤러를 겸하는 박리 롤러(4)를 회전시키고, 그것에 동기시켜서 적층 스테이지(8)를 회전과 동일한 방향(도 5(B), 도 6(B)에서의 오른쪽 방향)으로 이동시킨다. 이때, 통기 구멍(4a)은 박리 롤러(4)의 최하부를 넘으면, 순차적으로 흡인 상태로부터 배기 상태(또는 대기 개방 상태)로 바뀐다. 이 결과, 적층 롤러를 겸하는 박리 롤러(4)에 유지된 그린시트(7)가 적층 스테이지(8) 상의 적층체(9)의 최상층에 적층되고, 가열 압착된다. Next, as shown in Fig. 5(B) and Fig. 6(B), the peeling roller 4 serving as a lamination roller is rotated, and in synchronization with it, the lamination stage 8 is rotated in the same direction as the rotation (Fig. 5(B)). ), in the right direction in FIG. 6(B)). At this time, when the ventilation hole 4a exceeds the lowermost part of the peeling roller 4, it sequentially changes from a suction state to an exhaust state (or an atmosphere open state). As a result, the green sheet 7 held by the peeling roller 4 serving as the lamination roller is laminated on the uppermost layer of the laminate 9 on the lamination stage 8, and is heat-compressed.

이때, 적층 롤러를 겸하는 박리 롤러(4)에 유지된 직사각형상의 그린시트(7)는 박리 롤러(4)의 열원(4b)에 의해 가열(예열)되기 때문에, 상기 그린시트(7)가 적층체(9)로부터 열을 빼앗지 않고, 상기 그린시트(7)는 적층체(9)의 최상층에 양호하게 가열 압착된다. At this time, since the rectangular green sheet 7 held by the peeling roller 4 serving as the lamination roller is heated (preheated) by the heat source 4b of the peeling roller 4, the green sheet 7 is formed into a laminated body. Without taking heat away from (9), the green sheet (7) is well heat-compressed to the uppermost layer of the laminate (9).

다음으로, 도 5(C), 도 6(C)에 나타내는 바와 같이, 직사각형의 그린시트(7)가 적층체(9)에 완전히 가열 압착되어서 상기 그린시트(7)의 적층이 완료된다. Next, as shown in Figs. 5(C) and 6(C), the rectangular green sheet 7 is completely heat-pressed to the laminate 9 to complete the lamination of the green sheet 7 .

이상의 직사각형의 그린시트(7)의 적층을 원하는 횟수 반복하고, 적층체(9)를 완성시킨다. The above rectangular green sheets 7 are repeated a desired number of times to complete the laminate 9 .

다음으로, 필요에 따라, 적층체(9)를 복수개의 개편(個片)의 미(未)소성 세라믹 소체로 분할한다. Next, if necessary, the laminate 9 is divided into a plurality of pieces of unfired ceramic body.

다음으로, 미소성 세라믹 소체를 소정 프로파일로 소성하고, 세라믹 소체를 제작한다. 이때, 그린시트(7)의 층간에 마련된 도전성 페이스트도 소성되고, 세라믹 소체의 층간에 내부전극이 형성된다. Next, the unfired ceramic body is fired to a predetermined profile to produce a ceramic body. At this time, the conductive paste provided between the layers of the green sheet 7 is also fired, and internal electrodes are formed between the layers of the ceramic body.

다음으로, 세라믹 소체의 표면에 외부전극을 형성하여, 본 실시형태에 따른 전자부품(적층 세라믹 콘덴서)이 완성된다. Next, external electrodes are formed on the surface of the ceramic body to complete the electronic component (multilayer ceramic capacitor) according to the present embodiment.

본 실시형태의 전자부품의 제조 방법에서는 직사각형상의 그린시트(7)의 캐리어 필름(5)으로부터의 박리를 박리 롤러(4)에 의해 실시하기 때문에, 직사각형상의 그린시트(7)를 캐리어 필름(5)으로부터 극히 양호하게 박리할 수 있다. In the manufacturing method of the electronic component of this embodiment, since peeling of the rectangular green sheet 7 from the carrier film 5 is performed by the peeling roller 4, the rectangular green sheet 7 is removed from the carrier film 5 ) can be peeled off very well.

즉, 도 10에 나타낸 바와 같이, 바닥면이 평판상의 반송 유닛(104)을 사용하여 직사각형상의 그린시트(105)를 박리하는 종래의 방법에서는 커팅 날(104a)과, 기계적 가공에 의해 반송 유닛(104)에 형성된 통기 구멍(104b)의 거리(X)가 크기 때문에, 그린시트(105)의 선단부(P)가 반송 유닛(104)의 바닥면으로부터 말려 올라가거나 찢어지거나 주름이 가는 경우가 있었다. 그리고 그린시트(105)를 적층하여 제작된 적층체가 불량품이 되어버리는 경우가 있었다. That is, as shown in Fig. 10, in the conventional method of peeling off the rectangular green sheet 105 using a flat-bottomed conveying unit 104, a cutting blade 104a and a conveying unit ( Since the distance X of the ventilation hole 104b formed in 104 is large, the front end P of the green sheet 105 may be rolled up, torn, or wrinkled from the bottom surface of the conveying unit 104 . And the laminated body produced by laminating|stacking the green sheets 105 may become a defective product.

이에 반하여, 본 실시형태에서는 절단 영역(A1)에서의 장척상의 그린시트(6)의 직사각형상의 그린시트(7)에 대한 절단과, 제1 구동 롤러(1a), 제2 구동 롤러(1b)에 의한 캐리어 필름(5)의 반송과, 박리 영역(A2)에서의 박리 롤러(4)의 회전을 동기시켜서 정확한 타이밍에 제어하면, 도 2에 나타내는 바와 같이, 직사각형상의 그린시트(7)의 선단과, 박리 롤러(4)에 마련된 선두의 통기 구멍(4a) 사이의 거리(Y)를 예를 들면 10㎛ 이하라고 하는 바와 같이, 극히 작게 할 수 있다. In contrast to this, in the present embodiment, the cutting of the long green sheet 6 in the cutting area A1 to the rectangular green sheet 7, and the first driving roller 1a and the second driving roller 1b When the conveyance of the carrier film 5 is controlled at the correct timing by synchronizing the rotation of the peeling roller 4 in the peeling area A2 with the front end of the rectangular green sheet 7, as shown in FIG. , it is possible to make the distance Y between the leading vent holes 4a provided in the peeling roller 4 extremely small, for example, 10 µm or less.

본 실시형태에서는 박리 영역(A2)에서 직사각형상의 그린시트(7)의 선단과 박리 롤러(4)에 마련된 선두의 통기 구멍(4a) 사이의 거리(Y)를 극히 작게 할 수 있기 때문에, 그린시트(7)의 선단부(P)가 박리 롤러(4)의 표면으로부터 말려 올라가거나 찢어지거나 주름이 가는 일은 없다. 따라서, 그린시트(7)의 선단부(P)의 말려 올라감, 찢어짐, 주름 등에 기인하여, 적층체가 불량품이 되어버리는 일이 없다. In this embodiment, since the distance Y between the tip of the rectangular green sheet 7 and the leading vent hole 4a provided in the peeling roller 4 in the peeling area A2 can be made extremely small in the present embodiment, the green sheet The tip P of (7) is not curled up from the surface of the peeling roller 4, torn, or wrinkled. Accordingly, the laminate does not become a defective product due to curling up, tearing, wrinkles, or the like of the tip portion P of the green sheet 7 .

또한, 본 실시형태에서는 캐리어 필름(5)의 각 부분이 박리 롤러(4)와 접촉한 시간이 짧고, 또한 그린시트(7)를 통해 간접적으로 접촉하기 때문에, 박리 롤러(4)에 마련된 열원(4b)의 열에 의해, 캐리어 필름(5)이 파손되어 버리는 일이 없다. 또한, 박리 롤러(4)에 마련된 열원(4b)의 열에 의해, 캐리어 필름(5)에 주름이 발생할 일이 없기 때문에, 캐리어 필름(5)에 발생한 주름에 기인하여, 캐리어 필름(5) 상에 형성된 그린시트(7)에 주름이 발생할 일이 없다. 그 때문에, 그린시트(7)에 발생한 주름에 기인하여, 적층체가 불량품이 되어버리는 일이 없다. In addition, in this embodiment, since the contact time of each part of the carrier film 5 with the peeling roller 4 is short, and also indirectly contacting through the green sheet 7, the heat source provided in the peeling roller 4 ( The carrier film 5 is not damaged by the heat|fever of 4b). Moreover, since wrinkles do not generate|occur|produce in the carrier film 5 by the heat|fever of the heat source 4b provided in the peeling roller 4, it originates in the wrinkles which generate|occur|produced in the carrier film 5, and on the carrier film 5 Wrinkles do not occur in the formed green sheet 7 . Therefore, it originates in the wrinkle which generate|occur|produced in the green sheet 7, and a laminated body does not become a defective article.

[제2 실시형태] [Second embodiment]

제1 실시형태의 일부에 변경을 가하여, 제2 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법을 실시한다. 구체적으로는 제1 실시형태에서는 박리 롤러(4)가 적층 롤러를 겸했다. 제2 실시형태에서는 이에 변경을 가하여, 전용 박리 롤러(14)와 전용 적층 롤러(24)를 사용한다. 한편, 박리 롤러(14) 및 적층 롤러(24)는 모두 멀티챔버 석션 롤러 구조를 포함하고, 표면에 형성된 통기 구멍의 상태를 흡인 상태, 대기 개방 상태, 배기 상태 등으로 바꿀 수 있다. The manufacturing method of the electronic component which concerns on 2nd Embodiment is implemented by adding a change to a part of 1st Embodiment. Specifically, in the first embodiment, the peeling roller 4 also served as a lamination roller. In the second embodiment, a change is made to this, and a dedicated peeling roller 14 and a dedicated lamination roller 24 are used. On the other hand, both the peeling roller 14 and the lamination roller 24 have a multi-chamber suction roller structure, and the state of the vent hole formed on the surface can be changed into a suction state, an open air state, an exhaust state, and the like.

도 7(A)~(C), 도 8(A)~(C)에, 본 실시형태에서의, 박리 롤러(14)에 의한 직사각형상의 그린시트(7)의 박리와, 박리 롤러(14)로부터 적층 롤러(24)로의 직사각형상의 그린시트(7)의 주고 받음을 나타낸다. 한편, 도 7(A)~(C)는 정면도, 도 8(A)~(C)는 설명도이며, 도 7(A)와 도 8(A), 도 7(B)와 도 8(B), 도 7(C)와 도 8(C)가 각각 동일한 시점을 나타낸다. 한편, 도 8(A)~(C)는 박리 롤러(14) 및 적층 롤러(24)의 표면에 형성된 통기 구멍의 상태(흡인 상태, 대기 개방 상태, 배기 상태)를 나타낸다. 7(A) to (C) and 8(A) to (C), in this embodiment, peeling of the rectangular green sheet 7 by the peeling roller 14 and the peeling roller 14 It shows the sending and receiving of the rectangular green sheet 7 from the lamination|stacking roller 24. On the other hand, FIGS. 7(A)-(C) are front views, FIGS. 8(A)-(C) are explanatory views, and FIGS. 7(A) and 8(A), FIG. 7(B) and FIG. 8( B), FIG. 7(C) and FIG. 8(C) show the same time point, respectively. On the other hand, Figs. 8(A) to 8(C) show the states (suction state, atmospheric release state, exhaust state) of the ventilation holes formed on the surfaces of the peeling roller 14 and the lamination roller 24 .

우선, 제1 실시형태와 동일한 방법에 의해, 장척상의 그린시트(6)를 직사각형상의 그린시트(7)로 절단한다. First, the long green sheet 6 is cut into the rectangular green sheet 7 by the same method as in the first embodiment.

다음으로, 도 7(A), 도 8(A)에 나타내는 바와 같이, 전용 박리 롤러(14)에 의해, 제1 실시형태와 동일한 방법으로 직사각형상의 그린시트(7)를 캐리어 필름(5)으로부터 박리한다. 박리된 직사각형상의 그린시트(7)는 박리 롤러(14)의 표면에 유지된다. 이때, 박리 롤러(14)의 통기 구멍은 흡인 상태에 있다. Next, as shown in Figs. 7(A) and 8(A), the rectangular green sheet 7 is removed from the carrier film 5 by the dedicated peeling roller 14 in the same manner as in the first embodiment. peel off The peeled rectangular green sheet 7 is held on the surface of the peeling roller 14 . At this time, the ventilation hole of the peeling roller 14 is in a suction state.

다음으로, 도 7(B), 도 8(B)에 나타내는 바와 같이, 박리 롤러(14)와 적층 롤러(24)를 동기시켜 역방향으로 회전시켜서, 박리 롤러(14)의 표면에 유지된 직사각형상의 그린시트(7)를 적층 롤러(24)의 표면에 주고 받는다. 보다 상세하게는 박리 롤러(14)의 표면에 형성된 통기 구멍은 박리 롤러(14)의 최상부를 넘으면, 순차적으로 흡인 상태로부터 배기 상태(또는 대기 개방 상태)로 바뀐다. 한편, 적층 롤러(24)의 표면에 형성된 통기 구멍은 적층 롤러(24)의 최하부를 넘으면, 순차적으로 대기 개방 상태(또는 배기 상태)로부터 흡인 상태로 바뀐다. 이 결과, 박리 롤러(14)의 표면에 유지된 직사각형상의 그린시트(7)가 순차적으로 적층 롤러(24)의 표면에 주고 받아진다. Next, as shown in Figs. 7(B) and 8(B), the release roller 14 and the lamination roller 24 are synchronously rotated in the opposite direction to form a rectangular shape held on the surface of the release roller 14 . The green sheet 7 is sent and received on the surface of the lamination roller 24 . More specifically, when the ventilation hole formed in the surface of the peeling roller 14 exceeds the uppermost part of the peeling roller 14, it sequentially changes from a suction state to an exhaust state (or an atmosphere open state). On the other hand, when the ventilation hole formed in the surface of the lamination roller 24 exceeds the lowermost part of the lamination roller 24, it sequentially changes from an atmospheric-open state (or an exhaust state) to a suction state. As a result, the rectangular green sheets 7 held on the surface of the peeling roller 14 are sequentially transferred to and received from the surface of the lamination roller 24 .

다음으로, 도 7(C), 도 8(C)에 나타내는 바와 같이, 박리 롤러(14)로부터 적층 롤러(24)로의 직사각형상의 그린시트(7)의 주고 받음이 완료되면, 캐리어 필름(5)과 반송 롤러(2a)와 박리 롤러(14)가 일단 적층 롤러(24)의 아래로부터 퇴각한다. 한편, 캐리어 필름(5)과 반송 롤러(2a)와 박리 롤러(14)를 퇴각시키는 대신에 직사각형상의 그린시트(7)를 유지한 적층 롤러(24)를 다른 장소로 이동시켜도 된다. Next, as shown in Figs. 7(C) and 8(C), when the transfer of the rectangular green sheet 7 from the peeling roller 14 to the lamination roller 24 is completed, the carrier film 5 And the conveyance roller 2a and the peeling roller 14 retreat from the bottom of the lamination|stacking roller 24 once. On the other hand, instead of retreating the carrier film 5, the conveying roller 2a, and the peeling roller 14, the lamination roller 24 holding the rectangular green sheet 7 may be moved to another place.

다음으로, 적층 롤러(24)의 표면에 유지된 직사각형상의 그린시트(7)를 적층 롤러(24)에 의해 제1 실시형태와 동일한 방법에 의해 적층하고, 가열 압착하여 적층체(9)를 제작한다. Next, the rectangular green sheets 7 held on the surface of the lamination roller 24 are laminated by the lamination roller 24 in the same manner as in the first embodiment, and the laminate 9 is produced by thermocompression bonding. do.

이하의 공정은 제1 실시형태와 마찬가지로 한다. The following steps are the same as in the first embodiment.

이상, 제1 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법과, 제2 실시형태에 따른 전자부품의 제조 방법에 대해 설명했다. 그러나 본 발명이 상술한 내용에 한정되는 것은 아니며, 발명의 취지를 따라 다양한 변경을 할 수 있다. As mentioned above, the manufacturing method of the electronic component which concerns on 1st Embodiment, and the manufacturing method of the electronic component which concerns on 2nd Embodiment were demonstrated. However, the present invention is not limited to the above, and various changes can be made according to the spirit of the invention.

예를 들면, 상기 실시형태에서는 전자부품으로서 적층 세라믹 콘덴서를 제작했는데, 제작하는 전자부품의 종류는 임의이며, 적층 세라믹 서미스터, 적층 세라믹 인덕터, 적층 세라믹 복합 부품 등, 다른 종류의 전자부품이어도 된다. For example, although a multilayer ceramic capacitor is manufactured as an electronic component in the above embodiment, the type of electronic component to be manufactured is arbitrary, and other types of electronic components such as a multilayer ceramic thermistor, a multilayer ceramic inductor, and a multilayer ceramic composite component may be used.

또한, 상기 실시형태에서는 박리 롤러(4)(또는 14)의 바깥둘레의 약 1/3의 영역에 통기 구멍(4a)이 형성되었는데, 통기 구멍(4a)을 마련하는 영역의 넓이는 임의이며, 예를 들면, 바깥둘레의 대략 1/2에 통기 구멍(4a)을 마련해도 되고, 바깥둘레의 전체 둘레에 통기 구멍(4a)을 마련해도 된다. In addition, in the above embodiment, the ventilation hole 4a is formed in an area of about 1/3 of the outer periphery of the peeling roller 4 (or 14), and the area of the area in which the ventilation hole 4a is provided is arbitrary, For example, the ventilation hole 4a may be provided in about 1/2 of the outer periphery, or the ventilation hole 4a may be provided in the whole periphery of the outer periphery.

또한, 상기 실시형태에서는 박리 롤러(4, 14)가 멀티챔버 석션 롤러 구조를 포함했는데, 이 구조는 필수적인 것은 아니다. Further, in the above embodiment, the peeling rollers 4 and 14 included a multi-chamber suction roller structure, but this structure is not essential.

또한, 제2 실시형태에서는 직사각형상의 그린시트(7)를 박리 롤러(14)로부터 적층 롤러(24)로 직접적으로 주고 받았는데, 박리 롤러(14)와 적층 롤러(24) 사이에 하나 또는 복수개의 유지 롤러를 개재시키고, 직사각형상의 그린시트(7)를 박리 롤러(14)로부터 적층 롤러(24)로 유지 롤러를 개재시켜서 주고 받도록 해도 된다. Further, in the second embodiment, the rectangular green sheet 7 is directly transferred from the peeling roller 14 to the laminating roller 24, and one or a plurality of holdings are provided between the peeling roller 14 and the laminating roller 24. A roller may be interposed therebetween, and the rectangular green sheet 7 may be transferred from the peeling roller 14 to the lamination roller 24 via a holding roller.

본 발명의 한 실시양태에 따른 전자부품의 제조 방법은 "과제를 해결하기 위한 수단"의 란에 기재한 바와 같다. A method of manufacturing an electronic component according to an embodiment of the present invention is as described in the "Means for Solving Problems" column.

이 전자부품의 제조 방법에서 박리 롤러의 표면에 통기 구멍이 형성되고, 박리 공정에서 직사각형상의 그린시트는 통기 구멍에 의해 흡인되며, 박리 롤러의 회전에 따라 캐리어 필름으로부터 박리되고, 박리 롤러의 표면에 유지되도록 해도 된다. 이 경우에는 직사각형상의 그린시트가 캐리어 필름으로부터 확실하게 박리된다. In this electronic component manufacturing method, a ventilation hole is formed on the surface of the peeling roller, and in the peeling process, the rectangular green sheet is sucked by the ventilation hole, and is peeled from the carrier film according to the rotation of the peeling roller, and on the surface of the peeling roller. may be maintained. In this case, the rectangular green sheet is reliably peeled from the carrier film.

또한, 박리 롤러에 열원이 마련되고, 열원에 의해 직사각형상의 그린시트가 가열되도록 해도 된다. 이 경우에는 적층 공정에서 새롭게 적층되는 직사각형상의 그린시트가, 그때까지 적층된 제작 도중의 적층체로부터 열을 빼앗지 않고, 직사각형상의 그린시트가 적층체의 최상층에 양호하게 가열 압착된다. Further, a heat source may be provided on the peeling roller, and the rectangular green sheet may be heated by the heat source. In this case, the rectangular green sheet newly laminated in the lamination process does not take heat from the laminate in the middle of production which has been laminated up to that point, and the rectangular green sheet is satisfactorily thermocompressed to the uppermost layer of the laminate.

또한, 박리 롤러가 멀티챔버 석션 롤러 구조를 포함하고, 통기 구멍에 의해 직사각형상의 그린시트를 흡인하는 흡인 기능과, 통기 구멍으로부터 직사각형상의 그린시트를 개방하는 배기 기능 또는 대기 개방 기능을 포함한 것이어도 된다. 이 경우에는 박리 롤러에 의한, 직사각형상의 그린시트의 박리, 유지, 다른 롤러로의 주고 받음, 적층체로의 적층 등을 양호하게 실시할 수 있다. In addition, the release roller may have a multi-chamber suction roller structure, and may include a suction function for sucking the rectangular green sheet through the ventilation hole, and an exhaust function or air release function for opening the rectangular green sheet from the ventilation hole. . In this case, peeling and holding of the rectangular green sheet by the peeling roller, transfer to another roller, lamination into a laminate, and the like can be performed favorably.

또한, 절단 공정이 절단 영역에서 실시되고, 박리 공정이 박리 영역에서 실시되며, 캐리어 필름은 절단 영역으로부터 박리 영역을 향하는 방향으로 반송되고, 절단 영역 앞, 및 박리 영역 뒤에 각각 캐리어 필름을 반송하는 구동 롤러가 마련되며, 구동 롤러가 석션 롤러 또는 닙 롤러이도록 해도 된다. 이 경우에는 구동 롤러에 의해, 캐리어 필름을 높은 정밀도로 반송할 수 있다. Further, the cutting process is performed in the cutting area, the peeling process is performed in the peeling area, the carrier film is conveyed in a direction from the cutting area to the peeling area, and a drive for conveying the carrier film in front of the cutting area and after the peeling area, respectively A roller is provided, and the driving roller may be a suction roller or a nip roller. In this case, a carrier film can be conveyed with high precision by a drive roller.

또한, 절단 영역 앞의 구동 롤러와 박리 영역 뒤의 구동 롤러 사이에 적어도 하나의 반송 롤러가 마련되고, 반송 롤러 중 적어도 하나가 캐리어 필름을 능동적으로 반송하는 보조 구동 롤러여도 된다. 이 경우에는 캐리어 필름을 더 높은 정밀도로 반송할 수 있다. Further, at least one conveying roller is provided between the driving roller in front of the cutting area and the driving roller behind the peeling area, and at least one of the conveying rollers may be an auxiliary driving roller that actively conveys the carrier film. In this case, the carrier film can be conveyed with higher precision.

또한, 박리 롤러의 직경을 50㎜ 이상, 1000㎜ 이하로 해도 된다. 이 경우에는 직사각형상의 그린시트를 캐리어 필름으로부터 양호하게 박리할 수 있다. 또한, 박리되는 직사각형상의 그린시트 선단과, 박리 롤러에 형성된 통기 구멍의 위치 맞춤이 용이해진다. Moreover, it is good also considering the diameter of a peeling roller as 50 mm or more and 1000 mm or less. In this case, the rectangular green sheet can be satisfactorily peeled from the carrier film. In addition, the alignment of the distal end of the rectangular green sheet to be peeled off and the ventilation hole formed in the peeling roller is facilitated.

또한, 박리 공정 후에 직사각형상의 그린시트를 적층하는 적층 공정을 포함해도 된다. 이 경우에는 일련의 공정 라인에 의해, 전자부품을 높은 생산성으로 제조할 수 있다. Moreover, you may include the lamination|stacking process of laminating|stacking a rectangular green sheet after a peeling process. In this case, an electronic component can be manufactured with high productivity by a series of process lines.

또한, 박리 롤러가 직사각형상의 그린시트를 적층하는 기능을 겸비하고, 적층 공정이 박리 롤러를 사용하여 실시되도록 해도 된다. 이 경우에는 직사각형상의 그린시트를, 박리 롤러로부터 적층 롤러 등으로 주고 받는 공정을 생략할 수 있기 때문에 전자부품을 높은 생산성으로 제조할 수 있다. In addition, the peeling roller may have a function of laminating the rectangular green sheets, and the lamination process may be performed using the peeling roller. In this case, since the step of transferring the rectangular green sheet from the peeling roller to the lamination roller or the like can be omitted, electronic components can be manufactured with high productivity.

또한, 적층 공정이 적층 롤러를 사용하여 실시되고, 직사각형상의 그린시트가 박리 롤러로부터 적층 롤러로 직접적으로 주고 받아지거나, 또는 적어도 하나의 유지 롤러를 통해 주고 받아지도록 해도 된다. 이 경우에는 적층 롤러에 의해, 직사각형상의 그린시트를 높은 정밀도로 적층할 수 있다. In addition, the lamination process may be performed using a lamination roller, and the rectangular green sheet may be sent and received directly from the release roller to the lamination roller, or may be transferred through at least one holding roller. In this case, the rectangular green sheets can be laminated with high precision by the lamination roller.

또한, 적층 롤러 및 유지 롤러 중 적어도 한쪽이 통기 구멍 및 멀티챔버 석션 롤러 구조를 포함하고, 통기 구멍에 의해 직사각형상의 그린시트를 흡인하는 흡인 기능과, 통기 구멍으로부터 직사각형상의 그린시트를 개방하는 배기 기능 또는 대기 개방 기능을 포함한 것으로 해도 된다. 이 경우에는 박리 롤러와 적층 롤러 사이, 박리 롤러와 유지 롤러 사이, 유지 롤러와 적층 롤러 사이에서의, 직사각형상의 그린시트의 주고 받음을 양호하게 실시할 수 있다. Further, at least one of the lamination roller and the holding roller includes a ventilation hole and a multi-chamber suction roller structure, and a suction function for sucking the rectangular green sheet through the ventilation hole and an exhaust function for opening the rectangular green sheet from the ventilation hole Or it is good also as a thing including the atmospheric release function. In this case, the rectangular green sheet can be transferred favorably between the release roller and the lamination roller, between the release roller and the retaining roller, and between the retaining roller and the lamination roller.

1a: 제1 구동 롤러
1b: 제2 구동 롤러
2a, 2b: 반송 롤러
3a, 3b: 커팅 날
4: 박리 롤러(적층 롤러를 겸함)
4a: 통기 구멍
4b: 열원
5: 캐리어 필름
6: 장척상의 그린시트
7: 직사각형상의 그린시트
8: 적층 스테이지
8a: 열원
9: 적층체
14: 박리 롤러
24: 적층 롤러
A1: 절단 영역
A2: 박리 영역 1a: first driving roller
1b: second driving roller
2a, 2b: conveying roller
3a, 3b: cutting blade
4: Release roller (also serves as lamination roller)
4a: ventilation hole
4b: heat source
5: carrier film
6: Long green sheet
7: Rectangular green sheet
8: Lamination stage
8a: heat source
9: Laminate
14: peeling roller
24: lamination roller
A1: Cutting area
A2: peel area

Claims

A method for manufacturing an electronic component, comprising:
A preparation step of preparing a long carrier film in which a long green sheet is formed on one main surface;
A cutting step of cutting the long green sheet to form a rectangular green sheet on the carrier film;
A method for manufacturing an electronic component including a peeling step of peeling the rectangular green sheet from the carrier film by a peeling roller.

According to claim 1,
A ventilation hole is formed in the surface of the peeling roller,
In the peeling process,
The rectangular green sheet is sucked by the ventilation hole, peeled from the carrier film according to rotation of the peeling roller, and held on a surface of the peeling roller.

3. The method of claim 1 or 2,
A heat source is provided on the peeling roller, and the rectangular green sheet is heated by the heat source.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
the peeling roller,
including a multi-chamber suction roller structure,
a suction function of sucking the rectangular green sheet through the ventilation hole;
A method of manufacturing an electronic component including an exhaust function or an air release function of opening the rectangular green sheet from the ventilation hole.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The cutting process is carried out in the cutting area,
The peeling process is carried out in the peeling area,
the carrier film is conveyed in a direction from the cutting area toward the peeling area,
A driving roller for conveying the carrier film is provided in front of the cutting area and behind the peeling area, respectively,
The method for manufacturing an electronic component, wherein the driving roller is a suction roller or a nip roller.

6. The method of claim 5,
at least one conveying roller is provided between the driving roller in front of the cutting area and the driving roller behind the peeling area;
At least one of the conveying rollers is an auxiliary driving roller that actively conveys the carrier film.

7. The method according to any one of claims 1 to 6,
The manufacturing method of the electronic component whose diameter of the said peeling roller is 50 mm or more and 1000 mm or less.

8. The method according to any one of claims 1 to 7,
and a lamination process of laminating the rectangular green sheet after the peeling process.

9. The method of claim 8,
The peeling roller has a function of laminating the rectangular green sheet,
The manufacturing method of the electronic component, wherein the lamination process is performed using the peeling roller.

9. The method of claim 8,
The lamination process is carried out using a lamination roller,
The method for manufacturing an electronic component, wherein the rectangular green sheet is sent and received directly from the peeling roller to the lamination roller, or is sent and received through at least one holding roller.

11. The method of claim 10,
At least one of the lamination roller and the holding roller
a vent hole and a multi-chamber suction roller structure;
a suction function of sucking the rectangular green sheet through the ventilation hole;
and an exhaust function or an air release function of opening the rectangular green sheet from the vent hole.

12. The method according to any one of claims 1 to 11,
A method for manufacturing an electronic component, wherein the electronic component to be manufactured is a multilayer ceramic capacitor.