JP2005159097A - Method of manufacturing laminate unit for laminated electronic component, method of manufacturing laminate unit set for laminated electronic component containing the laminate unit, and laminated electronic component manufacturing device - Google Patents
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Description
本発明は、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層体ユニットを含む積層電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法に関するものであり、さらに詳細には、セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを効果的に防止することができ、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを、所望のように、製造することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層体ユニットを含む積層電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method of manufacturing a multilayer unit for a multilayer electronic component in which a ceramic green sheet and an electrode layer are stacked, and a method of manufacturing a multilayer unit set for a multilayer electronic component including the multilayer unit. Specifically, the ceramic green sheet can be prevented from being deformed and broken, and the solvent in the electrode paste can be effectively prevented from penetrating into the ceramic green sheet, and the ceramic green sheet and the electrode layer are laminated. The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component capable of manufacturing a multilayer unit as desired, and a method for manufacturing a multilayer unit set for a multilayer electronic component including the multilayer unit.
本発明はまた、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを含む積層電子部品を、所望のように、製造することができる積層電子部品の製造装置に関するものである。 The present invention also relates to a multilayer electronic component manufacturing apparatus capable of manufacturing a multilayer electronic component including a multilayer unit in which a ceramic green sheet and an electrode layer are stacked as desired.
近年、各種電子機器の小型化にともなって、電子機器に実装される電子部品の小型化および高性能化が要求されるようになっており、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品においても、積層数の増加、積層単位の薄層化が強く要求されている。 In recent years, along with the miniaturization of various electronic devices, there has been a demand for miniaturization and high performance of electronic components mounted on electronic devices, and even in multilayer ceramic electronic components such as multilayer ceramic capacitors, There is a strong demand for an increase in the number of layers and a thinner layer unit.
積層セラミックコンデンサによって代表される積層セラミック電子部品を製造するためには、まず、セラミック粉末と、アクリル樹脂、ブチラール樹脂などのバインダと、フタル酸エステル類、グリコール類、アジピン酸、燐酸エステル類などの可塑剤と、トルエン、メチルエチルケトン、アセトンなどの有機溶媒を混合分散して、誘電体ペーストを調製する。 In order to manufacture a multilayer ceramic electronic component represented by a multilayer ceramic capacitor, first, ceramic powder, a binder such as an acrylic resin or a butyral resin, a phthalate ester, a glycol, an adipic acid, a phosphate ester, etc. A dielectric paste is prepared by mixing and dispersing a plasticizer and an organic solvent such as toluene, methyl ethyl ketone, and acetone.
次いで、誘電体ペーストを、エクストルージョンコーターやグラビアコーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリプロピレン（ＰＰ）などによって形成された支持シート上に、塗布し、加熱して、塗膜を乾燥させ、セラミックグリーンシートを作製する。 Next, the dielectric paste is applied onto a support sheet formed of polyethylene terephthalate (PET) or polypropylene (PP) using an extrusion coater or a gravure coater, and heated to dry the coating film. A ceramic green sheet is produced.
さらに、セラミックグリーンシート上に、ニッケルなどの電極ペーストを、スクリーン印刷機などによって、所定のパターンで、印刷し、乾燥させて、電極層を形成する。 Further, an electrode paste such as nickel is printed in a predetermined pattern on a ceramic green sheet by a screen printer or the like and dried to form an electrode layer.
電極層が形成されると、電極層が形成されたセラミックグリーンシートを支持シートから剥離して、セラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを形成し、所望の数の積層体ユニットを積層して、加圧し、得られた積層体を、チップ状に切断して、グリーンチップを作製する。 When the electrode layer is formed, the ceramic green sheet on which the electrode layer is formed is peeled from the support sheet to form a laminate unit including the ceramic green sheet and the electrode layer, and a desired number of laminate units are laminated. The resulting laminate is cut into chips to produce a green chip.
最後に、グリーンチップからバインダを除去して、グリーンチップを焼成し、外部電極を形成することによって、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品が製造される。 Finally, the binder is removed from the green chip, the green chip is fired, and external electrodes are formed, whereby a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor is manufactured.
電子部品の小型化および高性能化の要請によって、現在では、積層セラミックコンデンサの層間厚さを決定するセラミックグリーンシートの厚さを３μｍあるいは２μｍ以下にすることが要求され、３００以上のセラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを積層することが要求されている。 Due to the demand for miniaturization and high performance of electronic components, it is now required that the thickness of the ceramic green sheet that determines the interlayer thickness of the multilayer ceramic capacitor be 3 μm or 2 μm or less, and more than 300 ceramic green sheets And a laminate unit including an electrode layer are required to be laminated.
しかしながら、きわめて薄いセラミックグリーンシートに、内部電極用の電極ペーストを印刷して、電極層を形成する場合には、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させ、その一方で、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むという不具合があり、短絡不良の原因になるという問題があった。 However, when an electrode paste is formed on an extremely thin ceramic green sheet to form an electrode layer, the solvent in the electrode paste dissolves or swells the binder component of the ceramic green sheet. Thus, there is a problem that the electrode paste soaks into the ceramic green sheet, which causes a short circuit failure.
そこで、特開昭６３−５１６１６号公報および特開平３−２５０６１２号公報は、内部電極パターンペーストを、別の支持シートに印刷して、電極層を形成した後に、電極層を乾燥させ、乾燥した電極層を、セラミックグリーンシートの表面に熱転写する方法を提案している。
しかしながら、この方法では、セラミックグリーンシートの表面に転写された電極層から、支持シートを剥離することが難しいという問題があった。 However, this method has a problem that it is difficult to peel the support sheet from the electrode layer transferred to the surface of the ceramic green sheet.
また、乾燥した電極層を、セラミックグリーンシートの表面に熱転写して、接着するためには、高温下で、高い圧力を加える必要があり、したがって、セラミックグリーンシートおよび電極層が変形し、場合によっては、セラミックグリーンシートが部分的に破壊するという問題があった。 Further, in order to thermally transfer and bond the dried electrode layer to the surface of the ceramic green sheet, it is necessary to apply a high pressure at a high temperature. Therefore, the ceramic green sheet and the electrode layer are deformed, and in some cases Has a problem that the ceramic green sheet is partially broken.
したがって、本発明は、セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを防止することができ、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを、所望のように、製造することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法、積層体ユニットを含む積層電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法および積層電子部品の製造装置を提供することを目的とするものである。 Therefore, the present invention can prevent the deformation and destruction of the ceramic green sheet and can prevent the solvent in the electrode paste from permeating into the ceramic green sheet, and the lamination in which the ceramic green sheet and the electrode layer are laminated. Manufacturing method of multilayer unit for multilayer ceramic electronic component capable of manufacturing body unit as desired, manufacturing method of multilayer unit set for multilayer electronic component including multilayer unit, and manufacturing of multilayer electronic component The object is to provide an apparatus.
本発明の別の目的は、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを含む積層電子部品を、所望のように、製造することができる積層電子部品の製造装置を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a multilayer electronic component manufacturing apparatus capable of manufacturing a multilayer electronic component including a multilayer unit in which ceramic green sheets and electrode layers are stacked as desired. is there.
本発明のかかる目的は、その表面に、接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、剥離層、電極層および前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層が積層された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記接着層と前記電極層および前記スペーサ層とを接着し、前記第一の支持シートを前記接着層から剥離して、前記接着層を前記電極層および前記スペーサ層の表面に転写し、積層セラミック電子部品用の積層体ユニットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記接着層と前記電極層および前記スペーサ層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第二の支持シートの表面に形成された前記電極層および前記スペーサ層を予熱することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is to laminate a first support sheet having an adhesive layer formed on its surface and a release layer, an electrode layer, and a spacer layer formed in a pattern complementary to the electrode layer on the surface. The first support sheet is in contact with the first pressure roller between the first pressure roller and the second pressure roller that are opposed to each other and controlled in temperature. The second support sheet is brought into contact with the second pressure roller, and the first support sheet and the second pressure roller are fed by the first pressure roller and the second pressure roller. Pressurizing the second support sheet to adhere the adhesive layer to the electrode layer and the spacer layer; to peel the first support sheet from the adhesive layer; and to bond the adhesive layer to the electrode layer and the spacer Transfer to the surface of the layer A method of manufacturing a laminated unit for parts, wherein the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (here) , Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). Sometimes the temperature of the second support sheet is determined such that it can be kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet.), The first support sheet and the second support sheet Prior to supplying between the first pressure roller and the second pressure roller, the temperature of the contact surface between the adhesive layer, the electrode layer and the spacer layer is equal to or higher than a predetermined temperature. Formed on the surface of the second support sheet It is achieved by the method for manufacturing a multilayer unit for multilayer ceramic electronic part, characterized by preheating the electrode layer and the spacer layer which is.
本発明によれば、電極層およびスペーサ層の表面に接着された接着層を介して、セラミックグリーンシートを、電極層およびスペーサ層の表面に転写して、積層体ユニットを作製することが可能になるから、低い圧力で、セラミックグリーンシートを、電極層およびスペーサ層の表面に転写することができ、したがって、セラミックグリーンシートの変形および破壊を確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 According to the present invention, it is possible to transfer the ceramic green sheet to the surface of the electrode layer and the spacer layer via the adhesive layer bonded to the surface of the electrode layer and the spacer layer, and to produce a multilayer unit. Thus, at a low pressure, the ceramic green sheet can be transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer, thus reliably preventing deformation and destruction of the ceramic green sheet, It becomes possible to manufacture a laminate unit including a spacer layer.
また、本発明によれば、電極層およびスペーサ層を、第二の支持シートの表面に形成して、乾燥させた後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着させることが可能になるから、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させることを確実に防止することができ、同時に、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 Further, according to the present invention, the electrode layer and the spacer layer can be formed on the surface of the second support sheet, dried, and then adhered to the surface of the ceramic green sheet via the adhesive layer. Therefore, the solvent in the electrode paste can surely prevent the binder component of the ceramic green sheet from being dissolved or swollen, and at the same time, the electrode paste can be surely prevented from penetrating into the ceramic green sheet. It becomes possible to manufacture a laminate unit including a ceramic green sheet, an electrode layer, and a spacer layer.
さらに、本発明によれば、接着層を、第一の支持シートの表面に形成し、乾燥させた後に、電極層およびスペーサ層の表面に転写することが可能になるから、接着剤溶液が、電極層およびスペーサ層に染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 Furthermore, according to the present invention, since the adhesive layer is formed on the surface of the first support sheet and dried, the adhesive layer can be transferred to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer. It is possible to reliably prevent penetration into the electrode layer and the spacer layer, and to manufacture a laminate unit including the ceramic green sheet and the electrode layer and the spacer layer.
また、本発明によれば、接着層を、第一の支持シートの表面に形成して、乾燥させた後に、電極層およびスペーサ層の表面に転写し、接着層を介して、電極層およびスペーサ層と、セラミックグリーンシートを接着することが可能になるから、接着剤溶液が、セラミックグリーンシートに染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 Further, according to the present invention, the adhesive layer is formed on the surface of the first support sheet, dried, then transferred to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer, and the electrode layer and the spacer are interposed via the adhesive layer. The ceramic green sheet can be bonded to the ceramic green sheet, so that the adhesive solution can be surely prevented from penetrating the ceramic green sheet, and the laminate unit including the ceramic green sheet, the electrode layer, and the spacer layer can be obtained. It becomes possible to manufacture.
さらに、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層が形成された多数の積層体ユニットを積層する場合には、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されているため、多数の積層体ユニットが積層された積層体が変形し、あるいは、デラミネーションが発生することがあるが、本発明によれば、剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層が形成されているから、こうして得られた多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層体が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーションの発生を効果的に防止することが可能になる。 Furthermore, when a large number of laminate units having electrode layers formed in a predetermined pattern are laminated on the ceramic green sheet, the surface of the electrode layer and the surface of the ceramic green sheet on which no electrode layer is formed Since a step is formed between the layers, a laminate in which a large number of laminate units are laminated may be deformed or delamination may occur. Since the spacer layer is formed in a pattern complementary to the electrode layer, a large number of laminate units obtained in this way are laminated to effectively prevent deformation of the produced laminate. And the occurrence of delamination can be effectively prevented.
また、本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第二の支持シートの表面に形成された電極層およびスペーサ層が予熱されるように構成されているから、接着層と、電極層およびスペーサ層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、接着層と、電極層およびスペーサ層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、接着層の表面に、さらに、セラミックグリーンシートおよび第二の接着層を、順次、転写して、第二の支持シートの表面に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシートおよび第二の接着層が積層された積層体ユニットを形成し、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニット上に、次々に、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットを積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or lower (where Tg is the second support). Is the glass transition temperature of the sheet, and α is the temperature of the second support sheet when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). From the glass transition temperature Tg of the second support sheet.), The temperature of the second support sheet is kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the surface of the second support sheet is provided prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. The electrode layer and the spacer layer formed on are configured to be preheated Therefore, the contact surface between the adhesive layer, the electrode layer and the spacer layer can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus wrinkles are prevented from occurring on the second support sheet. Since the adhesive layer, the electrode layer and the spacer layer can be bonded with a desired adhesive strength, the ceramic green sheet and the second adhesive layer are sequentially transferred onto the surface of the adhesive layer. And forming a laminate unit in which a release layer, an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer, a ceramic green sheet and a second adhesive layer are laminated on the surface of the second support sheet, When the multilayer unit formed on the surface of the second support sheet is laminated on the multilayer unit formed on the surface one after another to produce a multilayer ceramic component, it is formed on the second support sheet. In a bowl It is possible to effectively prevent the cause for malfunction occurs.
本発明の前記目的はまた、その表面に、セラミックグリーンシートが形成された第一の支持シートと、その表面に、剥離層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および接着層が積層された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記セラミックグリーンシートと前記接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記セラミックグリーンシートから剥離して、前記セラミックグリーンシートを前記接着層の表面に転写し、積層セラミック電子部品用の積層体ユニットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記セラミックグリーンシートと前記接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第二の支持シートの前記電極層および前記スペーサ層の表面に形成された前記接着層を予熱することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also to provide a first support sheet having a ceramic green sheet formed on the surface thereof, a release layer, an electrode layer, and a spacer layer formed in a pattern complementary to the electrode layer on the surface. And the second support sheet on which the adhesive layer is laminated, the first support sheet is disposed between the first pressure roller and the second pressure roller that are opposed to each other and temperature-controlled. A pressure roller, the second support sheet is fed so as to contact the second pressure roller, and the first pressure roller and the second pressure roller are used to Pressurizing the support sheet and the second support sheet to bond the ceramic green sheet and the adhesive layer, peeling the first support sheet from the ceramic green sheet, A method of manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component by transferring to the surface of the adhesive layer, wherein the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller (Tg + α) or less (where Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the second When the temperature of the pressure roller is set to (Tg + α), the temperature of the second support sheet is determined so that it can be kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet). Contact between the ceramic green sheet and the adhesive layer prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. The temperature of the surface is above the specified temperature. As described above, this is achieved by a method for manufacturing a multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component, wherein the adhesive layer formed on the surface of the electrode layer and the spacer layer of the second support sheet is preheated. .
本発明によれば、電極層およびスペーサ層の表面に接着された接着層を介して、セラミックグリーンシートが、電極層およびスペーサ層の表面に転写されて、積層体ユニットが作製されているから、低い圧力で、セラミックグリーンシートを、電極層およびスペーサ層の表面に転写することができ、したがって、セラミックグリーンシートの変形および破壊を確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 According to the present invention, the ceramic green sheet is transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer through the adhesive layer bonded to the surface of the electrode layer and the spacer layer, and thus the laminate unit is manufactured. With a low pressure, the ceramic green sheet can be transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer, thus reliably preventing the deformation and destruction of the ceramic green sheet, and the ceramic green sheet, the electrode layer and the spacer layer It becomes possible to manufacture the laminated body unit containing.
また、本発明によれば、電極層およびスペーサ層を、第二の支持シートの表面に形成して、乾燥させた後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着させることが可能になるから、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させることを確実に防止することができ、同時に、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 Further, according to the present invention, the electrode layer and the spacer layer can be formed on the surface of the second support sheet, dried, and then adhered to the surface of the ceramic green sheet via the adhesive layer. Therefore, the solvent in the electrode paste can surely prevent the binder component of the ceramic green sheet from being dissolved or swollen, and at the same time, the electrode paste can be surely prevented from penetrating into the ceramic green sheet. It becomes possible to manufacture a laminate unit including a ceramic green sheet, an electrode layer, and a spacer layer.
さらに、本発明によれば、接着層を、第一の支持シートの表面に形成して、乾燥させた後に、電極層およびスペーサ層の表面に転写し、接着層を介して、電極層およびスペーサ層と、セラミックグリーンシートを接着することが可能になるから、接着剤溶液が、セラミックグリーンシートに染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 Furthermore, according to the present invention, the adhesive layer is formed on the surface of the first support sheet, dried, transferred to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer, and the electrode layer and the spacer through the adhesive layer. The ceramic green sheet can be bonded to the ceramic green sheet, so that the adhesive solution can be surely prevented from penetrating the ceramic green sheet, and the laminate unit including the ceramic green sheet, the electrode layer, and the spacer layer can be obtained. It becomes possible to manufacture.
また、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層が形成された多数の積層体ユニットを積層する場合には、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されているため、多数の積層体ユニットが積層された積層体が変形し、あるいは、デラミネーションが発生することがあるが、本発明によれば、剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層が形成されているから、こうして得られた多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層体が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーションの発生を効果的に防止することが可能になる。 Further, when a large number of laminate units having electrode layers formed in a predetermined pattern are laminated on a ceramic green sheet, the surface of the electrode layer and the surface of the ceramic green sheet on which the electrode layer is not formed Since a step is formed between the layers, a laminate in which a large number of laminate units are laminated may be deformed or delamination may occur. Since the spacer layer is formed in a pattern complementary to the electrode layer, a large number of laminate units obtained in this way are laminated to effectively prevent deformation of the produced laminate. And the occurrence of delamination can be effectively prevented.
さらに、本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第二の支持シートの接着層が予熱されるように構成されているから、セラミックグリーンシートと、接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシートと、接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、セラミックグリーンシートの表面に、さらに、第二の接着層を転写して、第二の支持シートの表面に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシートおよび第二の接着層が積層された積層体ユニットを形成し、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニット上に、次々に、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットを積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 Further, according to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support). Is the glass transition temperature of the sheet, and α is the temperature of the second support sheet when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). From the glass transition temperature Tg of the second support sheet.), The temperature of the second support sheet is kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the first support sheet and the second support sheet are bonded to the second support sheet prior to feeding between the first pressure roller and the second pressure roller. Since the layers are configured to be preheated, the ceramic green And the contact surface between the adhesive layer and the ceramic green sheet can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, thus preventing wrinkles on the second support sheet. The layer can be bonded to the surface of the ceramic green sheet by further transferring the second adhesive layer to the surface of the second support sheet. A laminated body unit in which an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer, a ceramic green sheet, and a second adhesive layer are laminated is formed, and the laminated unit formed on the surface of the second support sheet is successively When the laminated unit formed on the surface of the second support sheet is laminated to produce a multilayer ceramic component, it is possible to effectively prevent problems caused by wrinkles formed on the second support sheet. This It becomes possible.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、剥離層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層、第二の接着層およびセラミックグリーンシートが積層されて形成された積層体ユニットを備えた第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記セラミックグリーンシートとを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記セラミックグリーンシートの表面に転写し、少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記接着層と前記セラミックグリーンシートとの接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第二の支持シートの前記セラミックグリーンシートを予熱することを特徴とする少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also formed on the surface of the first support sheet having the first adhesive layer formed thereon, and on the surface of the release sheet, the electrode layer, and a pattern complementary to the electrode layer. A second support sheet having a laminate unit formed by laminating a spacer layer, a second adhesive layer, and a ceramic green sheet is opposed to each other, and the temperature-controlled first pressure roller and second The first support sheet is in contact with the first pressure roller and the second support sheet is in contact with the second pressure roller between the pressure rollers. The first support sheet and the second support sheet are pressed by the pressure roller and the second pressure roller to bond the first adhesive layer and the ceramic green sheet, and One support sheet is bonded to the first The first adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet to produce a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including at least one multilayer unit, The temperature of one pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, α is that when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α), the temperature of the second support sheet is The first support sheet and the second support sheet are connected to the first pressure roller and the second pressurization. Supplied between rollers Prior to the heating, at least the ceramic green sheet of the second support sheet is preheated so that the temperature of the contact surface between the adhesive layer and the ceramic green sheet is equal to or higher than a predetermined temperature. This is achieved by a method for manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including one multilayer unit.
本発明によれば、電極層およびスペーサ層の表面に接着された第二の接着層を介して、セラミックグリーンシートが、電極層およびスペーサ層の表面に転写され、さらに、セラミックグリーンシートの表面に、第一の接着層が転写されて、積層体ユニットが作製されているから、低い圧力で、セラミックグリーンシートを、電極層およびスペーサ層の表面に転写することができ、したがって、セラミックグリーンシートの変形および破壊を確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 According to the present invention, the ceramic green sheet is transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer via the second adhesive layer bonded to the surface of the electrode layer and the spacer layer, and further, the surface of the ceramic green sheet is further transferred. Since the first adhesive layer is transferred and the laminate unit is made, the ceramic green sheet can be transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer with a low pressure. Deformation and destruction can be reliably prevented, and a laminate unit including a ceramic green sheet, an electrode layer, and a spacer layer can be manufactured.
また、本発明によれば、電極層およびスペーサ層を、第二の支持シートの表面に形成して、乾燥させた後に、第二の接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着させることが可能になるから、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解あるいは膨潤させることを確実に防止することができ、同時に、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 Further, according to the present invention, the electrode layer and the spacer layer are formed on the surface of the second support sheet, dried, and then adhered to the surface of the ceramic green sheet via the second adhesive layer. Therefore, it is possible to reliably prevent the solvent in the electrode paste from dissolving or swelling the binder component of the ceramic green sheet, and at the same time, to ensure that the electrode paste penetrates into the ceramic green sheet. Therefore, it is possible to manufacture a laminate unit including a ceramic green sheet, an electrode layer, and a spacer layer.
さらに、本発明によれば、第一の接着層を、第一の支持シートの表面に形成し、乾燥させた後に、セラミックグリーンシートの表面に転写することが可能になるから、接着剤溶液が、セラミックグリーンシートに染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。 Furthermore, according to the present invention, the first adhesive layer can be formed on the surface of the first support sheet, dried, and then transferred to the surface of the ceramic green sheet. Thus, it is possible to reliably prevent the ceramic green sheet from being soaked, and to manufacture a laminate unit including the ceramic green sheet, the electrode layer and the spacer layer.
また、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層が形成された多数の積層体ユニットを積層する場合には、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されているため、多数の積層体ユニットが積層された積層体が変形し、あるいは、デラミネーションが発生することがあるが、本発明によれば、剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層が形成されているから、こうして得られた多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層体が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーションの発生を効果的に防止することが可能になる。 Further, when a large number of laminate units having electrode layers formed in a predetermined pattern are laminated on a ceramic green sheet, the surface of the electrode layer and the surface of the ceramic green sheet on which the electrode layer is not formed Since a step is formed between the layers, a laminate in which a large number of laminate units are laminated may be deformed or delamination may occur. Since the spacer layer is formed in a pattern complementary to the electrode layer, a large number of laminate units obtained in this way are laminated to effectively prevent deformation of the produced laminate. And the occurrence of delamination can be effectively prevented.
さらに、本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第二の支持シートのセラミックグリーンシートが予熱されるように構成されているから、セラミックグリーンシートと第一の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の接着層とセラミックグリーンシートとを、所望の接着強度で、接着して、積層体ユニットを作製することが可能になるから、第二の支持シートの表面に形成された剥離層、電極層、スペーサ層、第二の接着層、セラミックグリーンシートおよび第一の接着層が積層された積層体ユニット上に、次々に、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットを積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 Further, according to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support). Is the glass transition temperature of the sheet, and α is the temperature of the second support sheet when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). From the glass transition temperature Tg of the second support sheet.), The temperature of the second support sheet is kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the first support sheet and the second support sheet are supplied to the ceramic of the second support sheet prior to feeding between the first pressure roller and the second pressure roller. Since the green sheet is configured to be preheated, The contact surface between the Mick Green sheet and the first adhesive layer can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus the first support sheet is prevented from wrinkling while the first support layer is prevented from generating wrinkles. The adhesive layer and the ceramic green sheet can be bonded to each other with a desired adhesive strength to produce a laminate unit. Therefore, a release layer formed on the surface of the second support sheet, an electrode layer, On the laminate unit in which the spacer layer, the second adhesive layer, the ceramic green sheet and the first adhesive layer are laminated, one after another, the laminate unit formed on the surface of the second support sheet is laminated, When producing a multilayer ceramic component, it is possible to effectively prevent the occurrence of problems caused by wrinkles formed on the second support sheet.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の剥離層、第一の電極層および前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層が形成された第一の支持シートと、その表面に、第二の剥離層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層、第一の接着層およびセラミックグリーンシートが積層された積層体ユニットと、第二の接着層とが形成された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第二の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の電極層、前記第一のスペーサ層および前記第一の剥離層を前記第二の接着層の表面に転写し、少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第二の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第二の接着層を予熱することを特徴とする少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 According to another aspect of the present invention, a first release layer, a first electrode layer, and a first spacer layer formed in a pattern complementary to the first electrode layer are formed on the surface. Support sheet, and on its surface, a second release layer, a second electrode layer, a second spacer layer formed in a pattern complementary to the second electrode layer, a first adhesive layer, and ceramic green The laminated unit in which the sheets are laminated and the second support sheet on which the second adhesive layer is formed are opposed to each other and between the first pressure roller and the second pressure roller that are temperature-controlled. The first support sheet is in contact with the first pressure roller, and the second support sheet is in contact with the second pressure roller, and the first pressure roller and By the second pressure roller, the first support sheet and the second pressure sheet Pressurizing the support sheet, adhering the first electrode layer and the first spacer layer and the second adhesive layer, peeling the first support sheet from the first release layer, A multilayer unit for a multilayer ceramic electronic component, wherein the first electrode layer, the first spacer layer, and the first release layer are transferred to the surface of the second adhesive layer, and includes at least one multilayer unit. A method of manufacturing a set, wherein the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the first pressure). The glass transition temperature of the second support sheet, α is the first pressure roller temperature is set to T1, and the second pressure roller temperature is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet is the second support sheet The first support sheet and the second support sheet are interposed between the first pressure roller and the second pressure roller. Prior to supplying the second adhesive layer, the temperature of the contact surface between the first electrode layer and the first spacer layer and the second adhesive layer is equal to or higher than a predetermined temperature. This is achieved by a method of manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including at least one multilayer unit characterized by preheating.
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第二の接着層が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層と、第二の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層と、第二の接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の剥離層の表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the second adhesive layer is preheated prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. The first formed on the surface of the first support sheet The contact surface between the electrode layer and the first spacer layer and the second adhesive layer can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus wrinkles are generated on the second support sheet. The first electrode layer and the first spacer layer formed on the surface of the first support sheet and the second adhesive layer can be bonded with a desired adhesive strength while preventing them. In addition, the adhesive layer is further transferred to the surface of the first release layer, the ceramic green sheet is transferred to the surface of the adhesive layer, the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet, and the surface of the adhesive layer is The electrode layer, spacer layer, and release layer are transferred, the adhesive layer is transferred to the surface of the release layer, and the process of transferring the ceramic green sheet to the surface of the adhesive layer is repeated to include a predetermined number of laminate units. Laminate unit set After the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the laminate unit set, the second support sheet is peeled from the laminate unit set, or two After the laminate unit set including the laminate unit is formed on the second support sheet and the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the laminate unit set, the second support sheet When the laminate unit set is cut, the laminate unit set is cut into a predetermined size to produce a laminate block, and a number of laminate blocks are pressurized and laminated to produce a multilayer ceramic component. In addition, it is possible to effectively prevent the occurrence of problems caused by wrinkles formed on the second support sheet.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、第一の剥離層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層、第二の接着層およびセラミックグリーンシートが積層された積層体ユニットと、第三の接着層と、第二の電極層と、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層と、第二の剥離層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記第二の剥離層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記第二の剥離層の表面に転写し、少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記第二の剥離層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第二の剥離層を予熱することを特徴とする少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also to provide a first support sheet having a first adhesive layer formed on the surface thereof, a first release layer, a first electrode layer, and the first electrode layer formed on the surface thereof. A laminate unit in which a first spacer layer, a second adhesive layer and a ceramic green sheet formed in a complementary pattern are laminated, a third adhesive layer, a second electrode layer, and the second The first pressurization is temperature-controlled, with the second spacer layer formed in a pattern complementary to the electrode layer and the second support sheet on which the second release layer is formed facing each other. Supply between the roller and the second pressure roller so that the first support sheet contacts the first pressure roller and the second support sheet contacts the second pressure roller And the first pressure roller and the second pressure roller, And the second support sheet, the first adhesive layer and the second release layer are bonded, the first support sheet is released from the first adhesive layer, A method for producing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including at least one multilayer unit by transferring a first adhesive layer to the surface of the second release layer, wherein the first pressure layer The temperature of the roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, α is the When the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α), the temperature of the second support sheet is the same as that of the second support sheet. It is determined so that it can be kept below the glass transition temperature Tg. ), Before supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller, A multilayer ceramic electronic component including at least one multilayer unit, wherein the second release layer is preheated so that a temperature of a contact surface with the second release layer is equal to or higher than a predetermined temperature. This is achieved by a method for manufacturing a body unit set.
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第二の剥離層が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と第二の剥離層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と第二の剥離層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の接着層の表面に、さらに、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the second release layer is preheated prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. The first formed on the surface of the first support sheet The contact surface between the adhesive layer and the second release layer can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus the first support sheet can be prevented from wrinkling while the first Since the first adhesive layer and the second release layer formed on the surface of the support sheet can be bonded with a desired adhesive strength, the ceramic green is further added to the surface of the first adhesive layer. The sheet is transferred, the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet, the electrode layer, the spacer layer and the release layer are transferred to the surface of the adhesive layer, and the adhesive layer is transferred to the surface of the release layer. The step of transferring the ceramic green sheet to the surface of the laminate is repeated to form a laminate unit set including a predetermined number of laminate units on the second support sheet, and is positioned on the surface side of the laminate unit set Ceramic gree After transferring the adhesive layer to the surface of the sheet, the second support sheet is peeled off from the laminate unit set, or a laminate unit set including two laminate units is formed on the second support sheet. After transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the laminate unit set, peel the second support sheet from the laminate unit set, and cut the laminate unit set to a predetermined size Then, when producing a laminated body block, pressurizing and laminating a large number of laminated body blocks, and producing a laminated ceramic component, a problem caused by wrinkles formed on the second support sheet occurs. It becomes possible to prevent effectively.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一のセラミックグリーンシートが形成された第一の支持シートと、その表面に、第一の剥離層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層、第一の接着層および第二のセラミックグリーンシートが積層された積層体ユニットと、第二の接着層と、第二の電極層と、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層と、第二の剥離層と、第三の接着層が形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一のセラミックグリーンシートから剥離して、前記第一のセラミックグリーンシートを前記第三の接着層の表面に転写し、前記第二の接着層を介して、２つの積層体ユニットが積層された積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第三の接着層を予熱することを特徴とする２つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also the first support sheet having the first ceramic green sheet formed on the surface thereof, the first release layer, the first electrode layer, the first electrode on the surface thereof. A laminate unit in which a first spacer layer, a first adhesive layer, and a second ceramic green sheet formed in a pattern complementary to the layers are laminated, a second adhesive layer, and a second electrode layer, The second spacer layer formed in a pattern complementary to the second electrode layer, the second release layer, and the second support sheet on which the third adhesive layer is formed are opposed to each other. The first support sheet is in contact with the first pressure roller between the temperature-controlled first pressure roller and the second pressure roller, and the second support sheet is the second pressure sheet. The first pressure roller and the second pressure roller. The first support sheet and the second support sheet are pressed by a pressure roller to bond the first ceramic green sheet and the third adhesive layer, and the first support sheet is The first ceramic green sheet was peeled off from the first ceramic green sheet, transferred to the surface of the third adhesive layer, and two laminate units were laminated via the second adhesive layer. A method for manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component, wherein the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less. (Where Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is (Tg + α Set to The temperature of the second support sheet is determined so that it can be kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet.), The first support sheet and the second support Prior to supplying the sheet between the first pressure roller and the second pressure roller, the temperature of the contact surface between the first ceramic green sheet and the third adhesive layer is predetermined. The third adhesive layer is preheated so that the temperature is equal to or higher than the above temperature. This is achieved by a method for manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including two multilayer units.
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第三の接着層が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートと第三の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートと第三の接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一のセラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the third adhesive layer is preheated prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. The first formed on the surface of the first support sheet The contact surface between the ceramic green sheet and the third adhesive layer can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus the first support sheet is prevented from wrinkling while the first Since the first ceramic green sheet and the third adhesive layer formed on the surface of the support sheet can be bonded with a desired adhesive strength, the surface of the first ceramic green sheet is further The process of transferring the adhesive layer, transferring the electrode layer, spacer layer and release layer to the surface of the adhesive layer, transferring the adhesive layer to the surface of the release layer, and transferring the ceramic green sheet to the surface of the adhesive layer Is repeated to form a laminate unit set including a predetermined number of laminate units on the second support sheet, and the surface of the ceramic green sheet positioned on the surface side of the laminate unit set After transferring the adhesive layer, the second support sheet is peeled from the laminate unit set, or a laminate unit set including two laminate units is formed on the second support sheet. After transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the set, the second support sheet is peeled off from the laminate unit set, and the laminate unit set is cut into a predetermined size and laminated When producing a body block, pressurizing and laminating a large number of laminate blocks to produce a multilayer ceramic component, it effectively prevents defects caused by wrinkles formed on the second support sheet It becomes possible to do.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、剥離層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層、第二の接着層およびセラミックグリーンシートが、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層されて、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記セラミックグリーンシートとを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記セラミックグリーンシートの表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記セラミックグリーンシートとの接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記セラミックグリーンシートを予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also to provide a first support sheet having a first adhesive layer formed on the surface thereof, and a peel layer, an electrode layer, and a pattern complementary to the electrode layer on the surface, respectively. The formed spacer layer, the second adhesive layer, and the ceramic green sheet are laminated in this order, and the formed at least two laminate units are laminated via the third adhesive layer, so that two laminates are formed. And a second support sheet on which a laminate unit set including a body unit is formed, and the first support roller is opposed to each other and is temperature-controlled between the first pressure roller and the second pressure roller. The first pressure roller and the second pressure roller are fed so that the sheet comes into contact with the first pressure roller and the second support sheet comes into contact with the second pressure roller. By means of the first support sheet And pressurizing the second support sheet to bond the first adhesive layer and the ceramic green sheet located on the surface of the laminate unit set, and to attach the first support sheet to the first adhesive A multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including a plurality of multilayer units, the first adhesive layer being peeled from the layer and transferred to the surface of the ceramic green sheet located on the surface of the multilayer unit set The temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second pressure). When the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α), α is the glass transition temperature of the support sheet. Support The first support sheet and the second support sheet are added to the first additional sheet. Prior to supplying between the pressure roller and the second pressure roller, the temperature of the contact surface between the first adhesive layer and the ceramic green sheet located on the surface of the laminate unit set is a predetermined value. By the method of manufacturing a multilayer unit set for multilayer ceramic electronic components including a plurality of multilayer units, the ceramic green sheet positioned on the surface of the multilayer unit set is preheated so as to be equal to or higher than a temperature. Achieved.
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックグリーンシートが予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックグリーンシートとの接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックグリーンシートとを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の接着層の表面に、さらに、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the first support sheet and the second support sheet are positioned on the surface of the laminate unit set prior to feeding between the first pressure roller and the second pressure roller. The ceramic green sheet is configured to be preheated Therefore, heating the contact surface between the first adhesive layer formed on the surface of the first support sheet and the ceramic green sheet located on the surface of the laminate unit set to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained. Therefore, it is possible to prevent the generation of wrinkles on the second support sheet, and the first adhesive layer formed on the surface of the first support sheet and the ceramic green sheet positioned on the surface of the laminate unit set Therefore, the electrode layer, the spacer layer and the release layer are further transferred to the surface of the first adhesive layer, and the adhesive layer is applied to the surface of the release layer. The process of transferring and transferring the ceramic green sheet to the surface of the adhesive layer is repeated to form a laminate unit set including a predetermined number of laminate units on the second support sheet. After the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the tset, the second support sheet is peeled off from the laminate unit set, or a laminate unit set including two laminate units, After the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet formed on the second support sheet and positioned on the surface side of the laminate unit set, the second support sheet is peeled off from the laminate unit set, and the laminate The unit set was cut into a predetermined size to produce a laminate block, and a number of laminate blocks were pressed and laminated to form a multilayer ceramic component. It is possible to effectively prevent the occurrence of defects caused by wrinkles.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の剥離層、第一の電極層および前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第二の剥離層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層、第一の接着層およびセラミックグリーンシートが、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第二の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第三の接着層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第三の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の電極層、前記第一のスペーサ層および前記第一の剥離層を前記第三の接着層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第三の接着層を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 According to another aspect of the present invention, a first release layer, a first electrode layer, and a first spacer layer formed in a pattern complementary to the first electrode layer are formed on the surface. And a second spacer layer formed on the surface thereof in a pattern complementary to the second electrode layer, a first adhesive layer, and a first adhesive layer. And the ceramic green sheets are laminated in this order, and the formed laminate unit set and the third adhesive layer are formed via the second adhesive layer. The first support sheet is in contact with the first pressure roller between the first pressure roller and the second pressure roller, which are opposed to each other and controlled in temperature. And the second support sheet contacts the second pressure roller. The first support sheet and the second support sheet are pressurized by the first pressure roller and the second pressure roller, and the first electrode layer and the second pressure sheet are pressed. One spacer layer and the third adhesive layer are bonded, the first support sheet is peeled from the first release layer, and the first electrode layer, the first spacer layer, and the first A method for producing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including a plurality of multilayer units by transferring one release layer to the surface of the third adhesive layer, The temperature is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, and α is the first temperature). The pressure roller temperature is set to T1, and the second (When the temperature of the pressure roller is set to (Tg + α), the temperature of the second support sheet is determined so as to be kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet). Prior to supplying one support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller, the first electrode layer and the first spacer For multilayer ceramic electronic components including a plurality of multilayer units, wherein the third adhesive layer is preheated so that the temperature of the contact surface between the layer and the third adhesive layer is equal to or higher than a predetermined temperature This is achieved by the manufacturing method of the laminate unit set.
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第三の接着層が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層と、第三の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層と、第三の接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の剥離層の表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the third adhesive layer is preheated prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. The first formed on the surface of the first support sheet The contact surface between the electrode layer and the first spacer layer and the third adhesive layer can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus wrinkles are generated on the second support sheet. The first electrode layer and the first spacer layer formed on the surface of the first support sheet and the third adhesive layer can be bonded with a desired adhesive strength while preventing them. Further, the adhesive layer is transferred to the surface of the first release layer, the ceramic green sheet is transferred to the surface of the adhesive layer, the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet, and the surface of the adhesive layer is The electrode layer, spacer layer, and release layer are transferred, the adhesive layer is transferred to the surface of the release layer, and the process of transferring the ceramic green sheet to the surface of the adhesive layer is repeated to include a predetermined number of laminate units. Laminate unit set After the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the laminate unit set, the second support sheet is peeled from the laminate unit set, or two After the laminate unit set including the laminate unit is formed on the second support sheet and the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the laminate unit set, the second support sheet When the laminate unit set is cut, the laminate unit set is cut into a predetermined size to produce a laminate block, and a number of laminate blocks are pressurized and laminated to produce a multilayer ceramic component. In addition, it is possible to effectively prevent the occurrence of problems caused by wrinkles formed on the second support sheet.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第一の剥離層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層、第二の接着層およびセラミックグリーンシートが、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第四の接着層と、第二の電極層と、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層と、第二の剥離層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記第二の剥離層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記第二の剥離層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記第二の剥離層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第二の剥離層を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also to provide a first support sheet having a first adhesive layer formed on the surface thereof, and a first release layer, a first electrode layer, and a first electrode on the surface, respectively. The first spacer layer, the second adhesive layer and the ceramic green sheet formed in a pattern complementary to the electrode layer of the first electrode layer are laminated in this order, and the formed at least two laminate units are connected to the third adhesive layer. Via the layers, a laminated unit set laminated, a fourth adhesive layer, a second electrode layer, a second spacer layer formed in a pattern complementary to the second electrode layer, The second support sheet on which the second release layer is formed is opposed to each other, and the first support sheet is disposed between the first pressure roller and the second pressure roller that are temperature-controlled. The second support sheet is in contact with the first pressure roller; The first pressure-sensitive roller and the second pressure roller are used to press the first support sheet and the second support sheet, and the first adhesion is performed. Bonding the layer and the second release layer, peeling the first support sheet from the first adhesive layer, transferring the first adhesive layer to the surface of the second release layer, A method of manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including a plurality of multilayer units, wherein the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, α is the temperature of the first pressure roller set to T1, When the pressure roller temperature is set to (Tg + α), the first roller The temperature of the support sheet is determined so as to be kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet.), The first support sheet and the second support sheet are Prior to supplying between the pressure roller and the second pressure roller, the temperature of the contact surface between the first adhesive layer and the second release layer is equal to or higher than a predetermined temperature. This is achieved by a method of manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including a plurality of multilayer units, wherein the second release layer is preheated.
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第二の剥離層が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と第二の剥離層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と第二の剥離層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の接着層の表面に、さらに、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the second release layer is preheated prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. The first formed on the surface of the first support sheet The contact surface between the adhesive layer and the second release layer can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus the first support sheet can be prevented from wrinkling while the first Since the first adhesive layer and the second release layer formed on the surface of the support sheet can be bonded with a desired adhesive strength, the ceramic green is further added to the surface of the first adhesive layer. The sheet is transferred, the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet, the electrode layer, the spacer layer and the release layer are transferred to the surface of the adhesive layer, and the adhesive layer is transferred to the surface of the release layer. The step of transferring the ceramic green sheet to the surface of the laminate is repeated to form a laminate unit set including a predetermined number of laminate units on the second support sheet, and is positioned on the surface side of the laminate unit set Ceramic gree After transferring the adhesive layer to the surface of the sheet, the second support sheet is peeled off from the laminate unit set, or a laminate unit set including two laminate units is formed on the second support sheet. After transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the laminate unit set, peel the second support sheet from the laminate unit set, and cut the laminate unit set to a predetermined size Then, when producing a laminated body block, pressurizing and laminating a large number of laminated body blocks, and producing a laminated ceramic component, a problem caused by wrinkles formed on the second support sheet occurs. It becomes possible to prevent effectively.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一のセラミックグリーンシートが形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第一の剥離層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層、第一の接着層および第二のセラミックグリーンシートが、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第二の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第三の接着層と、第二の電極層と、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層と、第二の剥離層と、第四の接着層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第四の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一のセラミックグリーンシートから剥離して、前記第一のセラミックグリーンシートを前記第四の接着層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第四の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第四の接着層を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also to provide a first support sheet having a first ceramic green sheet formed on the surface thereof, and a first release layer, a first electrode layer, A first spacer layer, a first adhesive layer, and a second ceramic green sheet formed in a pattern complementary to one electrode layer are laminated in this order, and at least two laminated units formed are Via the second adhesive layer, the laminated unit set laminated, the third adhesive layer, the second electrode layer, and the second electrode formed in a pattern complementary to the second electrode layer The first pressure roller and the second pressure roller that are temperature-controlled by facing the second support sheet on which the spacer layer, the second release layer, and the fourth adhesive layer are formed. In the meantime, the first support sheet is placed on the first pressure roller. Touching and supplying the second support sheet so as to contact the second pressure roller, and the first pressure sheet and the second pressure roller allow the first support sheet and the second pressure sheet to be in contact with each other. Pressurizing a second support sheet to bond the first ceramic green sheet and the fourth adhesive layer, peeling the first support sheet from the first ceramic green sheet, A method of manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including a plurality of multilayer units by transferring one ceramic green sheet to the surface of the fourth adhesive layer, wherein the first pressure roller Is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, and α is the first temperature). One When the temperature of the roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α), the temperature of the second support sheet is less than the glass transition temperature Tg of the second support sheet. Prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. A plurality of laminates, wherein the fourth adhesive layer is preheated such that the temperature of the contact surface between the first ceramic green sheet and the fourth adhesive layer is equal to or higher than a predetermined temperature. This is achieved by a method for manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including the unit.
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第四の接着層が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートと第四の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートと第四の接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一のセラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the fourth adhesive layer is preheated prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. The first formed on the surface of the first support sheet The contact surface between the ceramic green sheet and the fourth adhesive layer can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus the first support sheet is prevented from wrinkling while the first support sheet is prevented from generating wrinkles. Since the first ceramic green sheet and the fourth adhesive layer formed on the surface of the support sheet can be bonded with a desired adhesive strength, the surface of the first ceramic green sheet is further The process of transferring the adhesive layer, transferring the electrode layer, spacer layer and release layer to the surface of the adhesive layer, transferring the adhesive layer to the surface of the release layer, and transferring the ceramic green sheet to the surface of the adhesive layer Is repeated to form a laminate unit set including a predetermined number of laminate units on the second support sheet, and the surface of the ceramic green sheet positioned on the surface side of the laminate unit set After transferring the adhesive layer, the second support sheet is peeled from the laminate unit set, or a laminate unit set including two laminate units is formed on the second support sheet. After transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the set, the second support sheet is peeled off from the laminate unit set, and the laminate unit set is cut into a predetermined size and laminated When producing a body block, pressurizing and laminating a large number of laminate blocks to produce a multilayer ceramic component, it effectively prevents defects caused by wrinkles formed on the second support sheet It becomes possible to do.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一のセラミックグリーンシート、第一の接着層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層および第一の剥離層が積層されて、第一の積層体ユニットが形成された第一の支持シートと、その表面に、第二の剥離層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層、第二の接着層、第二のセラミックグリーンシートが積層された第二の積層体ユニットと、第三の接着層が積層された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の積層体ユニットの前記第一の剥離層と前記第三の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートから剥離して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の積層体ユニットを、前記第三の接着層の表面に転写し、前記第一の積層体ユニットと前記第二の積層体ユニットが、前記第三の接着層を介して、積層し、２つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の積層体ユニットの前記第一の剥離層と前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第三の接着層を予熱することを特徴とする２つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also to provide a first spacer formed in a pattern complementary to the first ceramic green sheet, the first adhesive layer, the first electrode layer, and the first electrode layer on the surface thereof. The first support sheet in which the first laminate unit is formed by laminating the layer and the first release layer, and on the surface thereof, the second release layer, the second electrode layer, and the second electrode A second laminate unit in which a second spacer layer, a second adhesive layer, and a second ceramic green sheet formed in a pattern complementary to the layer are laminated, and a third laminate layer in which a third adhesive layer is laminated. The first support sheet is in contact with the first pressure roller between the first pressure roller and the second pressure roller, which are opposed to each other and controlled in temperature, Supplying a second support sheet so as to contact the second pressure roller; The first support sheet and the second support sheet are pressed by one pressure roller and the second pressure roller, and the first release layer and the first layer of the first laminate unit are pressed. The first support sheet is peeled off from the first ceramic green sheet of the first laminate unit, and the first support sheet is formed on the surface of the first support sheet. One laminate unit is transferred to the surface of the third adhesive layer, the first laminate unit and the second laminate unit are laminated via the third adhesive layer, and 2 A method of manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including two multilayer units, wherein the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is ( (Tg + α) Here, Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is (Tg + α). When set, the temperature of the second support sheet is determined such that it can be kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet.), The first support sheet and the second support sheet Prior to supplying the support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller, the first release layer and the third adhesive layer of the first laminate unit. A method for producing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component comprising two multilayer units, wherein the third adhesive layer is preheated so that the temperature of the contact surface with the substrate is equal to or higher than a predetermined temperature Achieved by:
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第三の接着層が予熱されるように構成されているから、第一の積層体ユニットの第一の剥離層と第三の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の積層体ユニットの第一の剥離層と第三の接着層とを、所望の接着強度で、接着して、第一の積層体ユニットと第二の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを作製することが可能になるから、第一の積層体ユニットの第一のセラミックグリーンシート上に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、支持シートの表面に形成された剥離層、電極層、スペーサ層、接着層およびセラミックグリーンシートを含む積層体を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the third adhesive layer is preheated prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller. The first release layer of the first laminate unit and the first The contact surface of the first laminate unit can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus wrinkles are not generated on the second support sheet. A single release layer and a third adhesive layer are bonded with a desired adhesive strength to produce a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including the first multilayer unit and the second multilayer unit. It is possible to transfer the adhesive layer onto the first ceramic green sheet of the first laminate unit, and to the surface of the adhesive layer, the release layer formed on the surface of the support sheet, the electrode A step of transferring a laminate including a layer, a spacer layer, an adhesive layer, and a ceramic green sheet is repeated to form a laminate unit set including a predetermined number of laminate units on the second support sheet; Unity After transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the set, the second support sheet is peeled off from the laminate unit set, and the laminate unit set is cut into a predetermined size and laminated When producing a body block, pressurizing and laminating a large number of laminate blocks to produce a multilayer ceramic component, it effectively prevents defects caused by wrinkles formed on the second support sheet It becomes possible to do.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、剥離層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層、第二の接着層およびセラミックグリーンシートが、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層されて、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層と、前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記セラミックグリーンシートとを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記積層体ユニットセットの前記セラミックグリーンシートの表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記セラミックグリーンシートとの接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの前記セラミックグリーンシートを予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also to provide a first support sheet having a first adhesive layer formed on the surface thereof, and a peel layer, an electrode layer, and a pattern complementary to the electrode layer on the surface, respectively. The formed spacer layer, the second adhesive layer, and the ceramic green sheet are laminated in this order, and the formed at least two laminate units are laminated via the third adhesive layer, so that two laminates are formed. And a second support sheet on which a laminate unit set including a body unit is formed, and the first support roller is opposed to each other and is temperature-controlled between the first pressure roller and the second pressure roller. The first pressure roller and the second pressure roller are fed so that the sheet comes into contact with the first pressure roller and the second support sheet comes into contact with the second pressure roller. By means of the first support sheet And pressurizing the second support sheet, the first adhesive layer formed on the surface of the first support sheet, and the laminate unit set formed on the surface of the second support sheet. Bonding the ceramic green sheet located on the surface, peeling the first support sheet from the first adhesive layer, and removing the first adhesive layer from the surface of the ceramic green sheet of the laminate unit set A multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including a plurality of multilayer units, wherein the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the second pressure is applied. The temperature of the roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, second When the temperature of the pressure roller is set to (Tg + α), the temperature of the second support sheet is determined so that it can be kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet). Prior to supplying the first support sheet and the second support sheet between the first pressure roller and the second pressure roller, the first adhesive layer and the ceramic green sheet A plurality of laminates, wherein the ceramic green sheets of the laminate unit set formed on the surface of the second support sheet are preheated such that the temperature of the contact surface with the substrate becomes a predetermined temperature or more This is achieved by a method for manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including the unit.
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシートが予熱されるように構成されているから、第一の接着層と、積層体ユニットセットのセラミックグリーンシートとの接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の接着層と積層体ユニットセットのセラミックグリーンシートとを、所望の接着強度で、接着して、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを作製することが可能になるから、第一の接着層の表面に、さらに、支持シートの表面に形成された剥離層、電極層、スペーサ層、接着層およびセラミックグリーンシートを含む積層体を転写し、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the first support sheet and the second support sheet are applied to the surface of the second support sheet prior to feeding between the first pressure roller and the second pressure roller. Pre-heated ceramic green sheets of the formed laminate unit set Therefore, the contact surface between the first adhesive layer and the ceramic green sheet of the laminate unit set can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained. Multilayer ceramic electronic including a plurality of multilayer units by bonding the first adhesive layer and the ceramic green sheet of the multilayer unit set with desired adhesive strength while preventing wrinkles from occurring on the support sheet Since it becomes possible to produce a laminate unit set for parts, a release layer, an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer and ceramic green formed on the surface of the first adhesive layer and further on the surface of the support sheet The laminate including the sheet is transferred, and the process of transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet is repeated, so that the laminate unit including the predetermined number of laminate units is obtained. Is formed on the second support sheet, and after transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the laminate unit set, the second support sheet is peeled off from the laminate unit set. When the multilayer unit set is cut into a predetermined size to produce a multilayer block, a number of laminate blocks are pressurized and laminated to produce a multilayer ceramic component, the second support sheet It becomes possible to prevent effectively that the malfunction resulting from the formed wrinkles arises.
本発明の前記目的はまた、その表面に、第一のセラミックグリーンシート、第一の接着層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層および第一の剥離層が積層されて、積層体ユニットが形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第二の剥離層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層、第二の接着層および第二のセラミックグリーンシートが、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第四の接着層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットの前記第一の剥離層と、前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記第四の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを、前記積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートから剥離して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットを、前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記第四の接着層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇは前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、前記第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の剥離層と前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記第四の接着層を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。 The object of the present invention is also to provide a first spacer formed in a pattern complementary to the first ceramic green sheet, the first adhesive layer, the first electrode layer, and the first electrode layer on the surface thereof. A first support sheet in which a laminate unit is formed by laminating a layer and a first release layer, and a second release layer, a second electrode layer, and a second electrode on the surface, respectively. The second spacer layer, the second adhesive layer, and the second ceramic green sheet formed in a pattern complementary to the layers are laminated in this order, and the formed at least two laminate units are the third The first pressure roller and the second pressure controlled by the temperature-controlled first pressure roller and the second support sheet on which the laminated unit set laminated and the fourth adhesive layer are formed via the adhesive layer. Between the pressure rollers of the first support sheet Contacting the first pressure roller, supplying the second support sheet so as to contact the second pressure roller, by the first pressure roller and the second pressure roller, Pressurizing the first support sheet and the second support sheet, the first release layer of the laminate unit formed on the surface of the first support sheet, and the second support sheet Bonding the fourth adhesive layer located on the surface of the laminate unit set formed on the surface, peeling the first support sheet from the first ceramic green sheet of the laminate unit The multilayer ceramic unit comprising a plurality of multilayer units, wherein the multilayer unit formed on the surface of the first support sheet is transferred to the surface of the fourth adhesive layer located on the surface of the multilayer unit set. Electronics And a temperature of the first pressure roller is set to T1, and a temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (here) , Tg is the glass transition temperature of the second support sheet, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). Sometimes the temperature of the second support sheet is determined such that it can be kept below the glass transition temperature Tg of the second support sheet.), The first support sheet and the second support sheet Prior to supplying between the first pressure roller and the second pressure roller, the temperature of the contact surface between the first release layer and the third adhesive layer is a predetermined temperature. As described above, formed on the surface of the second support sheet This is achieved by a method for manufacturing a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including a plurality of multilayer units, wherein the fourth adhesive layer located on the surface of the multilayer unit set is preheated.
本発明によれば、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が、（Ｔｇ＋α）以下に設定されている（ここに、Ｔｇは第二の支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。）から、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットセットの表面に位置する第四の接着層が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された積層体ユニットの第一の剥離層と、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットセットの第四の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された積層体ユニットの第一の剥離層と第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットセットの第四の接着層とを、所望の接着強度で、接着して、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを作製することが可能になるから、第一のセラミックグリーンシート上に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、支持シートの表面に形成された剥離層、電極層、スペーサ層、接着層およびセラミックグリーンシートを含む積層体を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。 According to the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less (where Tg is the second support sheet). Α is the glass transition temperature of the first pressure roller when the temperature of the first pressure roller is set to T1 and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α). The temperature of the second support sheet can be maintained below the glass transition temperature Tg of the second support sheet. While the first support sheet and the second support sheet are applied to the surface of the second support sheet prior to feeding between the first pressure roller and the second pressure roller. The fourth adhesive layer located on the surface of the formed laminate unit set is preheated. The first release layer of the laminate unit formed on the surface of the first support sheet, and the fourth of the laminate unit set formed on the surface of the second support sheet. The contact surface with the adhesive layer can be heated to a temperature at which sufficient adhesive strength can be obtained, and thus formed on the surface of the first support sheet while preventing wrinkles from forming on the second support sheet A plurality of laminates are bonded to each other with the desired adhesive strength between the first release layer of the laminated unit and the fourth adhesive layer of the laminate unit set formed on the surface of the second support sheet. Since it becomes possible to produce a multilayer unit set for a multilayer ceramic electronic component including the unit, the adhesive layer is further transferred onto the first ceramic green sheet, and the surface of the support sheet is transferred to the surface of the adhesive layer. Peeling formed on Repeating the process of transferring the laminate including the layer, the electrode layer, the spacer layer, the adhesive layer, and the ceramic green sheet, a laminate unit set including a predetermined number of laminate units is formed on the second support sheet. After transferring the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet located on the surface side of the laminate unit set, peel the second support sheet from the laminate unit set, and cut the laminate unit set to a predetermined size Then, when producing a laminated body block, pressurizing and laminating a large number of laminated body blocks, and producing a laminated ceramic component, a problem caused by wrinkles formed on the second support sheet occurs. It becomes possible to prevent effectively.
本発明の前記目的はまた、その表面に、少なくとも１つの層が形成された第一の支持シートを繰り出し可能な第一の繰り出しローラと、その表面に、２以上の層が形成された第二の支持シートを繰り出し可能な第二の繰り出しローラと、その温度が制御された第一の加圧ローラと、前記第一の加圧ローラとの間に、ニップが形成されるように、前記第一の加圧ローラに対向して、配置され、その温度が制御された第二の加圧ローラと、前記第一の加圧ローラと前記第二の加圧ローラとによって形成された前記ニップを通過後に、前記第一の支持シートを巻き取る第一の巻き取りローラと、前記第一の加圧ローラと前記第二の加圧ローラとによって形成された前記ニップを通過後に、前記第二の支持シートを巻き取る第二の巻き取りローラと、前記第二の繰り出しローラと、前記第一の加圧ローラと前記第二の加圧ローラとによって形成された前記ニップとの間の前記第二の支持シートの搬送経路に設けられた予熱器とを備えたことを特徴とする積層電子部品の製造装置によって達成される。 The object of the present invention is also the first feeding roller capable of feeding the first support sheet having at least one layer formed on the surface thereof, and the second having two or more layers formed on the surface thereof. The second feeding roller capable of feeding the support sheet, the first pressure roller whose temperature is controlled, and the first pressure roller so as to form a nip. The nip formed by the second pressure roller disposed opposite to the one pressure roller and controlled in temperature, and the first pressure roller and the second pressure roller. After passing, after passing through the nip formed by the first winding roller that winds up the first support sheet, the first pressure roller, and the second pressure roller, A second take-up roller for taking up the support sheet; A pre-heater provided in a conveyance path of the second support sheet between the second feeding roller and the nip formed by the first pressure roller and the second pressure roller; This is achieved by a laminated electronic component manufacturing apparatus characterized by comprising:
本発明の好ましい実施態様においては、積層電子部品の製造装置は、さらに、前記第一の繰り出しローラと、前記第一の加圧ローラと前記第二の加圧ローラとによって形成された前記ニップとの間の前記第一の支持シートの搬送経路、前記第一の加圧ローラと前記第二の加圧ローラとによって形成された前記ニップと、前記第一の巻き取りローラとの間の前記第一の支持シートの搬送経路、前記第二の繰り出しローラと、前記第一の加圧ローラと前記第二の加圧ローラとによって形成された前記ニップとの間の前記第二の支持シートの搬送経路、および、前記第一の加圧ローラと前記第二の加圧ローラとによって形成された前記ニップと、前記第二の巻き取りローラとの間の前記第二の支持シートの搬送経路の少なくとも１つの搬送経路に、前記第一の支持シートまたは前記第二の支持シートの幅方向の搬送位置を調整する蛇行調整デバイスを備えている。 In a preferred embodiment of the present invention, the laminated electronic component manufacturing apparatus further includes the first feeding roller, the nip formed by the first pressure roller, and the second pressure roller. The first support sheet conveyance path between the first pressure roller and the second pressure roller, the nip formed by the first pressure roller, and the first take-up roller. Conveyance path of one support sheet, conveyance of the second support sheet between the second feeding roller, and the nip formed by the first pressure roller and the second pressure roller At least a path of the second support sheet between the path and the nip formed by the first pressure roller and the second pressure roller and the second winding roller. In one transport path, And a walk adjustment device for adjusting the carrying position of the serial first support sheet or width direction of the second support sheet.
本発明のさらに好ましい実施態様においては、積層電子部品の製造装置は、さらに、前記第二の支持シートの搬送経路に設けられ、複数のローラを備え、前記第二の支持シートのテンションを調整する少なくとも１つのシートテンション調整デバイスを備えている。 In a further preferred aspect of the present invention, the multilayer electronic component manufacturing apparatus further includes a plurality of rollers provided in a conveyance path of the second support sheet, and adjusts the tension of the second support sheet. At least one sheet tension adjusting device is provided.
本発明のさらに好ましい実施態様においては、積層電子部品の製造装置は、さらに、前記第二の支持シートを、前記第二の巻き取りローラによって、巻き取るのに先立って、前記第二の支持シートの表面に形成された前記２以上の層の表面に付着させる中間シートを繰り出し可能な中間シート繰り出しローラを備えている。 In a further preferred embodiment of the present invention, the multilayer electronic component manufacturing apparatus further includes the second support sheet prior to winding the second support sheet by the second winding roller. An intermediate sheet feeding roller capable of feeding an intermediate sheet to be adhered to the surfaces of the two or more layers formed on the surface.
本発明のさらに好ましい実施態様においては、積層電子部品の製造装置は、さらに、前記中間シート繰り出しローラと、前記第二の巻き取りローラとの間の前記中間シートの搬送経路に設けられ、前記中間シートの幅方向の搬送位置を調整する蛇行調整デバイスを備えている。 In a further preferred aspect of the present invention, the laminated electronic component manufacturing apparatus is further provided in a conveyance path of the intermediate sheet between the intermediate sheet feeding roller and the second winding roller, A meandering adjustment device for adjusting the conveyance position in the width direction of the sheet is provided.
本発明のさらに好ましい実施態様においては、積層電子部品の製造装置は、さらに、前記第二の繰り出しローラから繰り出された前記第二の支持シートの前記２以上の層の表面に付着した前記中間シートを巻き取る中間シート巻き取りローラを備えている。 In a further preferred aspect of the present invention, the laminated electronic component manufacturing apparatus further includes the intermediate sheet attached to the surface of the two or more layers of the second support sheet fed from the second feeding roller. Is provided with an intermediate sheet take-up roller.
本発明のさらに好ましい実施態様においては、積層電子部品の製造装置は、さらに、前記第二の繰り出しローラと、前記中間シート巻き取りローラとの間の前記中間シートの搬送経路に設けられ、前記中間シートの幅方向の搬送位置を調整する蛇行調整デバイスを備えている。 In a further preferred aspect of the present invention, the laminated electronic component manufacturing apparatus is further provided in a conveyance path of the intermediate sheet between the second feeding roller and the intermediate sheet take-up roller, A meandering adjustment device for adjusting the conveyance position in the width direction of the sheet is provided.
本発明において、セラミックグリーンシートを形成するために用いる誘電体ペーストは、通常、誘電体材料と、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルを混練して、調製される。 In the present invention, the dielectric paste used for forming the ceramic green sheet is usually prepared by kneading a dielectric material and an organic vehicle in which a binder is dissolved in an organic solvent.
誘電体材料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、これらを混合して、用いることができる。誘電体材料は、通常、平均粒子径が約０．１μｍないし約３．０μｍ程度の粉末として用いられる。誘電体材料の粒径は、セラミックグリーンシートの厚さより小さいことが好ましい。 The dielectric material is appropriately selected from various compounds that become complex oxides and oxides, such as carbonates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds, and the like, and can be used by mixing them. The dielectric material is usually used as a powder having an average particle size of about 0.1 μm to about 3.0 μm. The particle size of the dielectric material is preferably smaller than the thickness of the ceramic green sheet.
有機ビヒクルに用いられるバインダは、とくに限定されるものではなく、エチルセルロース、ポリビニルブチラール、アクリル樹脂などの通常の各種バインダが用いることができるが、セラミックグリーンシートを薄層化するためには、ポリビニルブチラールなどのブチラール系樹脂が、好ましく用いられる。 The binder used in the organic vehicle is not particularly limited, and various ordinary binders such as ethyl cellulose, polyvinyl butyral, and acrylic resin can be used. Butyral resins such as are preferably used.
有機ビヒクルに用いられる有機溶剤も、とくに限定されるものではなく、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエンなどの有機溶剤が用いられる。 The organic solvent used in the organic vehicle is not particularly limited, and organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, and toluene are used.
本発明において、誘電体ペーストは、誘電体材料と、水中に水溶性バインダを溶解させたビヒクルを混練して、生成することもできる。 In the present invention, the dielectric paste can be produced by kneading a dielectric material and a vehicle in which a water-soluble binder is dissolved in water.
水溶性バインダは、とくに限定されるものではなく、ポリビニルアルコール、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、水溶性アクリル樹脂、エマルジョンなどが用いられる。 The water-soluble binder is not particularly limited, and polyvinyl alcohol, methyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, water-soluble acrylic resin, emulsion and the like are used.
誘電体ペースト中の各成分の含有量は、とくに限定されるものではなく、たとえば、約１重量％ないし約５重量％のバインダと、約１０重量％ないし約５０重量％の溶剤を含むように、誘電体ペーストを調製することができる。 The content of each component in the dielectric paste is not particularly limited, and includes, for example, about 1 wt% to about 5 wt% binder and about 10 wt% to about 50 wt% solvent. A dielectric paste can be prepared.
誘電体ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、可塑剤、誘電体、副成分化合物、ガラスフリット、絶縁体などから選択される添加物が含有されていてもよい。誘電体ペースト中に、これらの添加物を添加する場合には、総含有量を、約１０重量％以下にすることが望ましい。バインダ樹脂として、ブチラール系樹脂を用いる場合には、可塑剤の含有量は、バインダ樹脂１００重量部に対して、約２５重量部ないし約１００重量部であることが好ましい。可塑剤が少なすぎると、生成されたセラミックグリーンシートが脆くなる傾向があり、多すぎると、可塑剤が滲み出して、取り扱いが困難になり、好ましくない。 The dielectric paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, subcomponent compounds, glass frit, insulators, and the like, if necessary. When these additives are added to the dielectric paste, the total content is desirably about 10% by weight or less. When a butyral resin is used as the binder resin, the plasticizer content is preferably about 25 parts by weight to about 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder resin. If the amount of the plasticizer is too small, the produced ceramic green sheet tends to become brittle. If the amount is too large, the plasticizer oozes out, making handling difficult, which is not preferable.
本発明において、セラミックグリーンシートは、それぞれ、誘電体ペーストを、支持シート上に塗布し、乾燥して、作製される。 In the present invention, each ceramic green sheet is produced by applying a dielectric paste on a support sheet and drying it.
誘電体ペーストは、エクストルージョンコーターやワイヤーバーコーターなどを用いて、支持シート上に塗布され、塗膜が形成される。 The dielectric paste is applied onto the support sheet using an extrusion coater, a wire bar coater, or the like, and a coating film is formed.
その表面に、セラミックグリーンシートが形成される支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。 As the support sheet on which the ceramic green sheet is formed, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and the surface is coated with a silicon resin, an alkyd resin, or the like in order to improve the peelability. The thickness of the support sheet is not particularly limited, but is preferably about 5 μm to about 100 μm.
こうして形成された塗膜は、たとえば、約５０℃ないし約１００°Ｃの温度で、約１分ないし約２０分にわたって、乾燥され、支持シート上に、セラミックグリーンシートが形成される。 The coating film thus formed is dried, for example, at a temperature of about 50 ° C. to about 100 ° C. for about 1 minute to about 20 minutes, and a ceramic green sheet is formed on the support sheet.
本発明において、乾燥後におけるセラミックグリーンシートの厚さは、それぞれ、３μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは、１．５μｍ以下である。 In the present invention, the thickness of the ceramic green sheet after drying is preferably 3 μm or less, and more preferably 1.5 μm or less.
本発明において、電極層およびスペーサ層は、それぞれ、支持シート上に、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、印刷される。 In the present invention, the electrode layer and the spacer layer are each printed on a support sheet using a printing machine such as a screen printing machine or a gravure printing machine.
その表面に、電極層およびスペーサ層が形成される支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シートの厚さは、とくに限定されるものではなく、セラミックグリーンシートが形成される支持シートの厚さと同じであっても、異なっていてもよいが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。 As the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and the surface is coated with silicon resin, alkyd resin, or the like in order to improve the peelability. . The thickness of the support sheet is not particularly limited, and may be the same as or different from the thickness of the support sheet on which the ceramic green sheet is formed, but is preferably about 5 μm to about 100 μm. .
本発明において、支持シート上に、電極層およびスペーサ層を形成するのに先立って、まず、誘電体ペーストが調製され、誘電体ペーストが支持シート上に塗布されて、剥離層が、支持シート上に形成される。 In the present invention, prior to forming the electrode layer and the spacer layer on the support sheet, first, a dielectric paste is prepared, the dielectric paste is applied on the support sheet, and the release layer is formed on the support sheet. Formed.
剥離層を形成するための誘電体ペーストは、好ましくは、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子を含んでいる。 The dielectric paste for forming the release layer preferably contains particles of a dielectric material having substantially the same composition as the dielectric material contained in the ceramic green sheet.
剥離層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体材料の粒子以外に、バインダと、任意成分として、可塑剤および剥離剤とを含んでいる。誘電体材料の粒子の粒径は、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料の粒子の粒径と同じでもよいが、より小さいことが好ましい。 The dielectric paste for forming the release layer contains a binder and, as optional components, a plasticizer and a release agent in addition to the dielectric material particles. The particle size of the dielectric material particles may be the same as the particle size of the dielectric material particles contained in the ceramic green sheet, but is preferably smaller.
バインダとしては、たとえば、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、または、これらの共重合体、または、これらのエマルジョンを用いることができる。 As the binder, for example, an acrylic resin, polyvinyl butyral, polyvinyl acetal, polyvinyl alcohol, polyolefin, polyurethane, polystyrene, a copolymer thereof, or an emulsion thereof can be used.
剥離層を形成するための誘電体ペーストに含まれているバインダは、セラミックグリーンシートに含まれているバインダを同系であっても、同系でなくてもよいが、同系のバインダであることが好ましい。 The binder contained in the dielectric paste for forming the release layer may or may not be the same as the binder contained in the ceramic green sheet, but is preferably a similar binder. .
剥離層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体材料の粒子１００重量部に対して、好ましくは、約２．５重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約５重量部ないし約３０重量部、とくに好ましくは、約８重量部ないし約３０重量部のバインダを含んでいる。 The dielectric paste for forming the release layer is preferably about 2.5 parts by weight to about 200 parts by weight, more preferably about 5 parts by weight to about 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the particles of the dielectric material. Part by weight, particularly preferably about 8 to about 30 parts by weight of binder is included.
可塑剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、フタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができる。剥離層を形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートに含まれる可塑剤と同系であっても、同系でなくてもよい。 The plasticizer is not particularly limited, and examples thereof include phthalic acid ester, adipic acid, phosphoric acid ester, and glycols. The plasticizer contained in the dielectric paste for forming the release layer may or may not be the same as the plasticizer contained in the ceramic green sheet.
剥離層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約２００重量部、好ましくは、約２０重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約５０重量部ないし約１００重量部の可塑剤を含んでいる。 The dielectric paste for forming the release layer is about 0 to about 200 parts by weight, preferably about 20 to about 200 parts by weight, and more preferably about 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder. Part to about 100 parts by weight of plasticizer.
剥離層を形成するための誘電体ペーストに含まれる剥離剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、パラフィン、ワックス、シリコーン油などを挙げることができる。 The release agent contained in the dielectric paste for forming the release layer is not particularly limited, and examples thereof include paraffin, wax, and silicone oil.
剥離層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約１００重量部、好ましくは、約２重量部ないし約５０重量部、さらに好ましくは、約５重量部ないし約２０重量部の剥離剤を含んでいる。 The dielectric paste for forming the release layer is about 0 to about 100 parts by weight, preferably about 2 to about 50 parts by weight, and more preferably about 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder. Part to about 20 parts by weight of a release agent.
本発明において、剥離層に含まれる誘電体材料に対するバインダの含有割合が、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料に対するバインダの含有割合と同等、あるいは、それよりも低いことが好ましい。また、剥離層に含まれる誘電体材料に対する可塑剤の含有割合が、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料に対する可塑剤の含有割合と同等、あるいは、高いことが好ましい。さらに、剥離層に含まれる誘電体材料に対する離型剤の含有割合が、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料に対する離型剤の含有割合よりも高いことが好ましい。 In this invention, it is preferable that the content rate of the binder with respect to the dielectric material contained in a peeling layer is equivalent to or lower than the content rate of the binder with respect to the dielectric material contained in a ceramic green sheet. Moreover, it is preferable that the content rate of the plasticizer with respect to the dielectric material contained in the peeling layer is equal to or higher than the content rate of the plasticizer with respect to the dielectric material contained in the ceramic green sheet. Furthermore, it is preferable that the content rate of the mold release agent with respect to the dielectric material contained in the release layer is higher than the content rate of the mold release agent with respect to the dielectric material contained in the ceramic green sheet.
このような組成を有する剥離層を形成することにより、セラミックグリーンシートをきわめて薄層化しても、剥離層の強度を、セラミックグリーンシートの破壊強度よりも低くすることができ、剥離層から、支持シートを剥離する際に、セラミックグリーンシートが破壊されることを確実に防止することが可能になる。 By forming a release layer having such a composition, the strength of the release layer can be made lower than the breaking strength of the ceramic green sheet even if the ceramic green sheet is made extremely thin. When peeling off the sheet, it is possible to reliably prevent the ceramic green sheet from being destroyed.
剥離層は、ワイヤーバーコーターなどを用いて、支持シート上に、誘電体ペーストを塗布することによって、形成される。 The release layer is formed by applying a dielectric paste on a support sheet using a wire bar coater or the like.
剥離層の厚さは、その上に形成される電極層の厚さ以下であることが好ましく、好ましくは、電極層の厚さの約６０％以下、さらに好ましくは、電極層の厚さの約３０％以下である。 The thickness of the release layer is preferably not more than the thickness of the electrode layer formed thereon, preferably not more than about 60% of the thickness of the electrode layer, more preferably about the thickness of the electrode layer. 30% or less.
剥離層の形成後、剥離層は、たとえば、約５０℃ないし約１００℃で、約１分ないし約１０分にわたって、乾燥される。 After formation of the release layer, the release layer is dried, for example, at about 50 ° C. to about 100 ° C. for about 1 minute to about 10 minutes.
剥離層が乾燥された後、剥離層の表面上に、焼成後に、内部電極層を構成する電極層が、所定パターンで形成される。 After the release layer is dried, an electrode layer constituting the internal electrode layer is formed in a predetermined pattern on the surface of the release layer after firing.
本発明において、電極層を形成するために用いられる電極ペーストは、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、焼成後に、各種導電性金属や合金からなる導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、または、レジネートなどと、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルとを混練して、調製される。 In the present invention, the electrode paste used to form the electrode layer includes a conductive material made of various conductive metals and alloys, and various oxides and organics that become conductive materials made of various conductive metals and alloys after firing. It is prepared by kneading a metal compound or resinate with an organic vehicle in which a binder is dissolved in an organic solvent.
電極ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、Ｎｉ、Ｎｉ合金あるいはこれらの混合物が、好ましく用いられる。導電体材料の形状は、とくに限定されるものではなく、球状でも、鱗片状でも、あるいは、これらの形状のものが混合されていてもよい。また、導電体材料の平均粒子径は、とくに限定されるものではないが、通常、約０．１μｍないし約２μｍ、好ましくは、約０．２μｍないし約１μｍの導電性材料が用いられる。 As a conductor material used when manufacturing the electrode paste, Ni, Ni alloy, or a mixture thereof is preferably used. The shape of the conductor material is not particularly limited, and may be spherical, scaly, or a mixture of these shapes. The average particle diameter of the conductor material is not particularly limited, but a conductive material of about 0.1 μm to about 2 μm, preferably about 0.2 μm to about 1 μm is usually used.
有機ビヒクルに用いられるバインダは、とくに限定されるものではなく、エチルセルロース、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、あるいはは、これらの共重合体などを用いることができるが、とくに、ポリビニルブチラールなどのブチラール系バインダが好ましく用いられる。 The binder used in the organic vehicle is not particularly limited, and ethyl cellulose, acrylic resin, polyvinyl butyral, polyvinyl acetal, polyvinyl alcohol, polyolefin, polyurethane, polystyrene, or a copolymer thereof can be used. However, a butyral binder such as polyvinyl butyral is particularly preferably used.
電極ペーストは、導電体材料１００重量部に対して、好ましくは、約２．５重量部ないし約２０重量部のバインダを含んでいる。 The electrode paste preferably contains about 2.5 parts by weight to about 20 parts by weight of binder with respect to 100 parts by weight of the conductive material.
溶剤としては、たとえば、テルピネオール、ブチルカルビトール、ケロシンなど、公知の溶剤を用いることができる。溶剤の含有量は、電極ペースト全体に対して、好ましくは、約２０重量％ないし約５５重量％である。 As the solvent, for example, known solvents such as terpineol, butyl carbitol, and kerosene can be used. The content of the solvent is preferably about 20% by weight to about 55% by weight with respect to the entire electrode paste.
接着性を改善するために、電極ペーストが、可塑剤を含んでいることが好ましい。 In order to improve adhesiveness, the electrode paste preferably contains a plasticizer.
電極ペーストに含まれる可塑剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、フタル酸ベンジルブチル（ＢＢＰ）などのフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができる。電極ペーストは、バインダ１００重量部に対して、好ましくは、約１０重量部ないし約３００重量部、さらに好ましくは、約１０重量部ないし約２００重量部の可塑剤を含んでいることが好ましい。 The plasticizer contained in the electrode paste is not particularly limited, and examples thereof include phthalic acid esters such as benzylbutyl phthalate (BBP), adipic acid, phosphoric acid ester, and glycols. The electrode paste preferably contains about 10 parts by weight to about 300 parts by weight, more preferably about 10 parts by weight to about 200 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder.
可塑剤の添加量が多すぎると、電極層の強度が著しく低下する傾向があり、好ましくない。 When the amount of the plasticizer added is too large, the strength of the electrode layer tends to be remarkably lowered, which is not preferable.
電極層は、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、支持シート上に形成された剥離層の表面に、電極ペーストを印刷することによって、形成される。 The electrode layer is formed by printing an electrode paste on the surface of the release layer formed on the support sheet using a printing machine such as a screen printing machine or a gravure printing machine.
電極層の厚さは、約０．１μｍないし約５μｍの厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約０．１μｍないし約１．５μｍである。 The thickness of the electrode layer is preferably about 0.1 μm to about 5 μm, and more preferably about 0.1 μm to about 1.5 μm.
支持シート上に形成された剥離層の表面の電極層が形成されていない部分には、さらに、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、電極層と相補的なパターンによって、誘電体ペーストが印刷されて、スペーサ層が形成される。 In the part where the electrode layer on the surface of the release layer formed on the support sheet is not formed, further, using a printing machine such as a screen printing machine or a gravure printing machine, a dielectric pattern is formed by a pattern complementary to the electrode layer. The body paste is printed to form the spacer layer.
電極層の形成に先立って、支持シート上に形成された剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層を形成することもできる。 Prior to the formation of the electrode layer, a spacer layer can be formed on the surface of the release layer formed on the support sheet in a pattern complementary to the electrode layer.
本発明において、スペーサ層を形成するために用いる誘電体ペーストは、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストと同様にして、調製される。 In the present invention, the dielectric paste used for forming the spacer layer is prepared in the same manner as the dielectric paste for forming the ceramic green sheet.
スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子を含んでいる。 The dielectric paste for forming the spacer layer contains particles of a dielectric material having substantially the same composition as the dielectric contained in the ceramic green sheet.
スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体材料の粒子以外に、バインダと、任意成分として、可塑剤および剥離剤を含んでいる。 The dielectric paste for forming the spacer layer contains a binder and, as optional components, a plasticizer and a release agent in addition to the dielectric material particles.
スペーサ層に含まれる誘電体材料の粒子の粒径は、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料の粒子の粒径と同じでもよいが、とくに限定されるものではない。 The particle size of the dielectric material particles contained in the spacer layer may be the same as the particle size of the dielectric material particles contained in the ceramic green sheet, but is not particularly limited.
バインダとしては、たとえば、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、または、これらの共重合体、または、これらのエマルジョンを用いることができる。 As the binder, for example, an acrylic resin, polyvinyl butyral, polyvinyl acetal, polyvinyl alcohol, polyolefin, polyurethane, polystyrene, a copolymer thereof, or an emulsion thereof can be used.
スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれているバインダは、セラミックグリーンシートに含まれているバインダと同系であっても、同系でなくてもよいが、同系であることが好ましい。 The binder contained in the dielectric paste for forming the spacer layer may or may not be the same as the binder contained in the ceramic green sheet, but is preferably the same.
スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体材料の粒子１００重量部に対して、好ましくは、約２．５重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約４重量部ないし約１５重量部、とくに好ましくは、約６重量部ないし約１０重量部のバインダを含んでいる。 The dielectric paste for forming the spacer layer is preferably about 2.5 parts by weight to about 200 parts by weight, more preferably about 4 parts by weight to about 15 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the particles of the dielectric material. Part by weight, particularly preferably about 6 to about 10 parts by weight of binder is included.
スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれている可塑剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、フタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができるスペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートに含まれる可塑剤と同系であっても、同系でなくてもよい。 The plasticizer contained in the dielectric paste for forming the spacer layer is not particularly limited. For example, a spacer layer that can include phthalate ester, adipic acid, phosphate ester, glycols, etc. The plasticizer contained in the dielectric paste for forming may or may not be the same as the plasticizer contained in the ceramic green sheet.
スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約２００重量部、好ましくは、約２０重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約５０重量部ないし約１００重量部の可塑剤を含んでいる。 The dielectric paste for forming the spacer layer is about 0 to about 200 parts by weight, preferably about 20 to about 200 parts by weight, and more preferably about 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder. Part to about 100 parts by weight of plasticizer.
スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれる剥離剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、パラフィン、ワックス、シリコーン油などを挙げることができる。 The release agent contained in the dielectric paste for forming the spacer layer is not particularly limited, and examples thereof include paraffin, wax, and silicone oil.
スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約１００重量部、好ましくは、約２重量部ないし約５０重量部、より好ましくは、約５重量部ないし約２０重量部の剥離剤を含んでいる。 The dielectric paste for forming the spacer layer is about 0 to about 100 parts by weight, preferably about 2 to about 50 parts by weight, and more preferably about 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder. Part to about 20 parts by weight of a release agent.
本発明において、電極層およびスペーサ層は、０．７≦ｔｓ／ｔｅ≦１．３（ｔｓは、スペーサ層の厚さであり、ｔｅは、電極層の厚さである。）を満たすように形成されることが好ましく、より好ましくは、０．８≦ｔｓ／ｔｅ≦１．２、さらに好ましくは、０．９≦ｔｓ／ｔｅ≦１．２を満たすように形成される。 In the present invention, the electrode layer and the spacer layer satisfy 0.7 ≦ ts / te ≦ 1.3 (ts is the thickness of the spacer layer, and te is the thickness of the electrode layer). It is preferably formed, more preferably 0.8 ≦ ts / te ≦ 1.2, and still more preferably 0.9 ≦ ts / te ≦ 1.2.
電極層およびスペーサ層は、たとえば、約７０℃ないし１２０℃の温度で、約５分ないし約１５分にわたって、乾燥される。電極層およびスペーサ層の乾燥条件は、とくに限定されるものではない。 The electrode layer and spacer layer are dried, for example, at a temperature of about 70 ° C. to 120 ° C. for about 5 minutes to about 15 minutes. The drying conditions for the electrode layer and the spacer layer are not particularly limited.
セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層は、接着層を介して、接着され、接着層を形成するために、別の支持シートが用意される。 The ceramic green sheet is bonded to the electrode layer and the spacer layer through the adhesive layer, and another support sheet is prepared to form the adhesive layer.
接着層を形成するための支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。 As the support sheet for forming the adhesive layer, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and the surface thereof is coated with a silicon resin, an alkyd resin or the like in order to improve the peelability. The thickness of the support sheet is not particularly limited, but is preferably about 5 μm to about 100 μm.
接着層は、支持シート上に、接着剤溶液が塗布されて、形成される。 The adhesive layer is formed by applying an adhesive solution on the support sheet.
本発明において、接着層を形成するための接着剤溶液は、バインダと、任意成分として、帯電防止剤、可塑剤、剥離剤およびセラミックグリーンシートに含まれている誘電体と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子とを含んでいる。 In the present invention, the adhesive solution for forming the adhesive layer has a binder and, as an optional component, an antistatic agent, a plasticizer, a release agent, and a dielectric material contained in the ceramic green sheet. And particles of dielectric material.
接着剤溶液中の誘電体材料の粒子のバインダ重量に対する割合は、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料の粒子のバインダ重量に対する割合より小さいことが好ましく、好ましくは、接着剤溶液は、バインダ重量に対して、０．５重量％ないし２５重量％の誘電体材料の粒子を含んでいる。 The ratio of the particles of the dielectric material in the adhesive solution to the binder weight is preferably smaller than the ratio of the particles of the dielectric material contained in the ceramic green sheet to the binder weight, and preferably the adhesive solution is a binder solution. It contains 0.5% to 25% by weight of particles of dielectric material, based on weight.
本発明において、接着剤溶液中の誘電体材料の粒径は、接着層の厚さ以下であることが好ましい。 In the present invention, the particle size of the dielectric material in the adhesive solution is preferably equal to or less than the thickness of the adhesive layer.
接着剤溶液に含まれるバインダは、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系であることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系でなくてもよい。 The binder contained in the adhesive solution is preferably the same type as the binder contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet, but the same type as the binder contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet. Not necessarily.
接着剤溶液に含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤と同系であることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤と同系でなくてもよい。 The plasticizer contained in the adhesive solution is preferably the same as the plasticizer contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet, but the plasticizer contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet. It does not have to be the same as the agent.
可塑剤の含有量は、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約２００重量部、好ましくは、約２０重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約５０重量部ないし約１００重量部である。 The content of the plasticizer is about 0 to about 200 parts by weight, preferably about 20 to about 200 parts by weight, and more preferably about 50 to about 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder. Part.
本発明において、好ましくは、接着剤溶液は、バインダ重量の０．０１重量％ないし１５重量％の帯電防止剤を含み、さらに好ましくは、０．０１重量％ないし１０重量％の帯電防止剤を含んでいる。 In the present invention, preferably, the adhesive solution contains 0.01% to 15% by weight of the antistatic agent, more preferably 0.01% to 10% by weight of the binder. It is out.
本発明において、接着剤溶液に含まれる帯電防止剤は、吸湿性を有する有機溶剤であればよく、たとえば、エチレングリコール；ポリエチレングリコール；２−３ブタンジオール；グリセリン；イミダゾリン系界面活性剤、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤、カルボン酸アミジン塩系界面活性剤などの両性界面活性剤などが、接着剤溶液に含まれる帯電防止剤として使用することができる。 In the present invention, the antistatic agent contained in the adhesive solution may be an organic solvent having hygroscopicity, for example, ethylene glycol; polyethylene glycol; 2-3 butanediol; glycerin; imidazoline surfactant, polyalkylene. Amphoteric surfactants such as glycol derivative surfactants and carboxylic acid amidine salt surfactants can be used as antistatic agents contained in the adhesive solution.
これらの帯電防止剤の中では、少量で、静電気を防止することが可能であるとともに、小さい剥離力で、接着層から、支持シートを剥離することが可能であるため、イミダゾリン系界面活性剤、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤、カルボン酸アミジン塩系界面活性剤などの両性界面活性剤が好ましく、イミダゾリン系界面活性剤は、とくに小さな剥離力で、接着層から、支持シートを剥離することができるため、とくに好ましい。 Among these antistatic agents, it is possible to prevent static electricity in a small amount, and since it is possible to peel the support sheet from the adhesive layer with a small peel force, an imidazoline surfactant, Amphoteric surfactants such as polyalkylene glycol derivative surfactants and carboxylic acid amidine salt surfactants are preferred, and imidazoline surfactants can release a support sheet from an adhesive layer with a particularly small peeling force. This is particularly preferable because it can be performed.
接着剤溶液は、たとえば、バーコータ、エクストルージョンコータ、リバースコータ、ディップコーター、キスコーターなどによって、支持シート上に塗布される。 The adhesive solution is applied onto the support sheet by, for example, a bar coater, an extrusion coater, a reverse coater, a dip coater, or a kiss coater.
本発明において、接着層は、好ましくは、約０．３μｍ以下、より好ましくは、約０．０２μｍないし約０．３μｍ、さらに好ましくは、約０．０２μｍないし約０．２μｍの厚さを有するように、支持シート上に、形成される。接着層の厚さが、約０．０２μｍ未満の場合には、接着力が低下し、一方、接着層の厚さが、約０．３μｍを越えると、欠陥（隙間）の発生原因となり、好ましくない。 In the present invention, the adhesive layer preferably has a thickness of about 0.3 μm or less, more preferably about 0.02 μm to about 0.3 μm, and still more preferably about 0.02 μm to about 0.2 μm. And formed on the support sheet. When the thickness of the adhesive layer is less than about 0.02 μm, the adhesive strength is reduced. On the other hand, when the thickness of the adhesive layer exceeds about 0.3 μm, it may cause defects (gap). Absent.
接着層は、たとえば、室温（２５℃）ないし約８０℃の温度で、約１分ないし約５分にわたって、乾燥される。接着層の乾燥条件は、とくに限定されるものではない。 The adhesive layer is dried, for example, at a temperature from room temperature (25 ° C.) to about 80 ° C. for about 1 minute to about 5 minutes. The drying conditions for the adhesive layer are not particularly limited.
支持シート上に形成された接着層は、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層の表面に転写される。 The adhesive layer formed on the support sheet is transferred to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer formed on the support sheet.
支持シート上に形成された接着層を、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層の表面に転写するにあたっては、その温度が制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、接着層が形成された支持シートと、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートとを、接着層が形成された支持シートが第一の加圧ローラに接触し、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給し、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとによって、接着層が形成された支持シートと、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートとを加圧することによって、接着層と電極層およびスペーサ層とが接着され、その後に、支持シートが接着層から剥離される。 When the adhesive layer formed on the support sheet is transferred to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer formed on the support sheet, the first pressure roller and the second pressure roller whose temperatures are controlled Between the support sheet on which the adhesive layer is formed and the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed, the support sheet on which the adhesive layer is formed contacts the first pressure roller, and the electrode layer And the support sheet on which the spacer layer is formed so as to come into contact with the second pressure roller, and the support sheet on which the adhesive layer is formed by the first pressure roller and the second pressure roller; By pressing the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed, the adhesive layer is bonded to the electrode layer and the spacer layer, and then the support sheet is peeled from the adhesive layer.
本発明においては、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）以下に設定される。ここに、Ｔｇは電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートの温度が、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。 In the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less. Here, Tg is the glass transition temperature of the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is ( When set to (Tg + α), the temperature of the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed is determined so as to be maintained below the glass transition temperature Tg of the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed.
本発明において、接着層が形成された支持シートと、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートとが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、接着層と電極層およびスペーサ層の接触面の温度が、接着層と電極層およびスペーサ層とを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、支持シート上に形成された接着層を、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層の表面に転写するに先立って、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層が予熱される。 In the present invention, when the support sheet on which the adhesive layer is formed and the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed are pressed by the first pressure roller and the second pressure roller, It is formed on the support sheet so that the temperature of the contact surface between the adhesive layer, the electrode layer, and the spacer layer is equal to or higher than the adhesive temperature required to bond the adhesive layer, the electrode layer, and the spacer layer with a predetermined adhesive strength. Prior to transferring the adhesive layer to the surface of the electrode layer and spacer layer formed on the support sheet, the electrode layer and spacer layer formed on the support sheet are preheated.
本発明において、接着層と電極層およびスペーサ層は、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、接着層と電極層およびスペーサ層が接着される。 In the present invention, the adhesive layer, the electrode layer, and the spacer layer are pressurized at a pressure of about 0.2 MPa to about 15 MPa, preferably about 0.2 MPa to about 6 MPa. The spacer layer is adhered.
こうして、接着層が、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層の表面に転写された後に、支持シートを巻き取るときは、支持シートの巻き取りに先立って、中間シートを、接着層の表面に付着させることが好ましい。 Thus, when the support sheet is wound after the adhesive layer is transferred to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer formed on the support sheet, the intermediate sheet is placed on the adhesive layer prior to winding the support sheet. It is preferable to adhere to the surface.
中間シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどを用いることができるが、後の工程において、接着層からの中間シートの剥離を容易にさせるためには、中間シートとして、接着層を形成した支持シートと実質的に同一の物性を有するシートを用いることが好ましい。 As the intermediate sheet, for example, a polyethylene terephthalate film or the like can be used. However, in order to facilitate the peeling of the intermediate sheet from the adhesive layer in a later step, the support sheet in which the adhesive layer is formed as the intermediate sheet. It is preferable to use a sheet having substantially the same physical properties.
本発明において、さらに好ましくは、中間シートの接着層に付着させるべき表面に、剥離性を改善するために、接着層を形成した支持シートの表面と同等の表面処理が施され、たとえば、中間シートの表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。 In the present invention, more preferably, the surface to be adhered to the adhesive layer of the intermediate sheet is subjected to a surface treatment equivalent to the surface of the support sheet on which the adhesive layer is formed in order to improve the peelability. The surface is coated with silicon resin, alkyd resin, or the like.
本発明において、中間シートを接着層に付着させたときに、中間シートと接着層との間に、エアが保持されて、中間シートに皺が生じたり、あるいは、長尺状の支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層および中間シートが積層された積層体を巻き取る際に、積層体が蛇行することを防止するために、接着層を形成した支持シートと実質的に同一の物性を有するシートに代えて、少なくとも接着層に付着されるべき表面に、高さ１μｍないし１０μｍの凹凸が形成されている中間シートを用いることもでき、かかる中間シートとしては、少なくとも接着層に付着されるべき表面に、高さ１μｍないし５μｍの凹凸が形成されていることが、より好ましい。 In the present invention, when the intermediate sheet is adhered to the adhesive layer, air is held between the intermediate sheet and the adhesive layer, and the intermediate sheet is wrinkled, or on the long support sheet. In order to prevent the laminate from meandering when winding the laminate in which the release layer, the electrode layer, the spacer layer, the adhesive layer, and the intermediate sheet are wound, the support sheet formed with the adhesive layer is substantially Instead of a sheet having the same physical properties, an intermediate sheet having unevenness with a height of 1 μm to 10 μm formed on at least the surface to be attached to the adhesive layer can be used. As such an intermediate sheet, at least the adhesive layer It is more preferable that irregularities having a height of 1 μm to 5 μm are formed on the surface to be attached to the surface.
本発明において、少なくとも接着層に付着されるべき表面に、凹凸が形成されている中間シートを用いる場合には、少なくとも中間シートの接着層に付着されるべき表面に、高さ１μｍないし５μｍの凹凸が、１ｍｍ２あたりに、８００個以上形成されていることがより好ましい。 In the present invention, when using an intermediate sheet in which irregularities are formed at least on the surface to be adhered to the adhesive layer, the irregularities having a height of 1 μm to 5 μm are formed at least on the surface to be adhered to the adhesive layer of the intermediate sheet. However, it is more preferable that 800 or more are formed per 1 mm 2 .
本発明において、さらに、中間シートを接着層に付着させたときに、中間シートと接着層との間に、エアが保持されて、中間シートに皺が生じたり、あるいは、長尺状の支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層および中間シートが積層された積層体を巻き取る際に、積層体が蛇行することを防止するために、ガーレー透気度が１００００ｓ／５０ｍｌ未満の中間シートを用いることもできる。 In the present invention, when the intermediate sheet is further adhered to the adhesive layer, air is held between the intermediate sheet and the adhesive layer, and the intermediate sheet is wrinkled or is a long support sheet. Gurley air permeability is less than 10,000 s / 50 ml in order to prevent the laminate from meandering when the laminate having the release layer, electrode layer, spacer layer, adhesive layer and intermediate sheet is wound thereon. Intermediate sheets can also be used.
中間シートのガーレー透気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して、測定され、本明細書においては、中間シートを、５０ｍｌのエアが透過するのに要する秒数によって定義される。 The Gurley air permeability of the intermediate sheet is measured according to JIS P8117, and is defined in this specification by the number of seconds required for 50 ml of air to pass through the intermediate sheet.
本発明において、少なくとも接着層に付着されるべき表面に、凹凸が形成されている中間シートを用いる場合あるいはガーレー透気度が１００００ｓ／５０ｍｌ未満の中間シートを用いる場合においても、中間シートの接着層に付着させるべき表面に、剥離性を改善するために、接着層を形成した支持シートの表面と同等の表面処理が施されていることが好ましく、たとえば、中間シートの表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。 In the present invention, even when an intermediate sheet having irregularities formed on at least the surface to be attached to the adhesive layer or an intermediate sheet having a Gurley air permeability of less than 10000 s / 50 ml is used, the adhesive layer of the intermediate sheet In order to improve releasability, the surface to be adhered to the surface is preferably subjected to a surface treatment equivalent to the surface of the support sheet on which the adhesive layer is formed. For example, the surface of the intermediate sheet is coated with silicon resin, alkyd Resin is coated.
本発明において、中間シートを接着層の表面に付着させる場合、中間シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。 In the present invention, when the intermediate sheet is adhered to the surface of the adhesive layer, the thickness of the intermediate sheet is not particularly limited, but is preferably about 5 μm to about 100 μm.
中間シートを、接着層の表面に付着させるにあたっては、接着層が形成された支持シートと、中間シートとを、プレス機を用いて、加圧しても、一対の加圧ローラを用いて、加圧してもよいが、一対の加圧ローラによって、支持シートと中間シートとを加圧することが好ましい。 In attaching the intermediate sheet to the surface of the adhesive layer, even if the support sheet on which the adhesive layer is formed and the intermediate sheet are pressed using a press, they are applied using a pair of pressure rollers. Although the pressure may be applied, the support sheet and the intermediate sheet are preferably pressed by a pair of pressure rollers.
中間シートが、接着層の表面に付着されると、長尺状の支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層および中間シートが積層された積層体が、ローラによって巻き取られる。 When the intermediate sheet is attached to the surface of the adhesive layer, a laminate in which the release layer, the electrode layer, the spacer layer, the adhesive layer, and the intermediate sheet are laminated on the long support sheet is wound up by a roller. .
このように、中間シートを、接着層の表面に付着させることによって、接着層が支持シートに付着することを確実に防止して、長尺状の支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層および中間シートが積層された積層体を、ローラによって巻き取ることができ、したがって、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。 In this way, by attaching the intermediate sheet to the surface of the adhesive layer, the adhesive layer is reliably prevented from adhering to the support sheet, and the release layer, the electrode layer, the spacer are formed on the long support sheet. The laminated body in which the layer, the adhesive layer, and the intermediate sheet are laminated can be wound up by the roller, and therefore, it is possible to prevent the production line from becoming lengthy.
次いで、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層とが、接着層を介して、接着される。 Next, the ceramic green sheet is bonded to the electrode layer and the spacer layer through the adhesive layer.
セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を、接着層を介して、接着するにあたっては、まず、長尺状の支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層および中間シートが積層された積層体が巻回されたローラが、接着装置にセットされる。 When adhering the ceramic green sheet, the electrode layer and the spacer layer through the adhesive layer, first, the release layer, the electrode layer, the spacer layer, the adhesive layer and the intermediate sheet are laminated on the long support sheet. The roller around which the laminated body is wound is set in the bonding apparatus.
次いで、ローラから、長尺状の支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層および中間シートが積層された積層体が繰り出されて、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離され、その結果、接着層が露出される。 Next, a laminated body in which a release layer, an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer and an intermediate sheet are laminated on a long support sheet from the roller is drawn out, and an intermediate sheet attached to the surface of the adhesive layer is obtained. Peeling from the adhesive layer results in the adhesive layer being exposed.
ローラから、長尺状の支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層および中間シートが積層された積層体が繰り出され、中間シートが接着層から剥離されるのと同期して、表面にセラミックグリーンシートが形成され、ローラに巻回された支持シートが、ローラから繰り出されて、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、セラミックグリーンシートが形成された支持シートが、第一の加圧ローラに接触し、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給される。 From the roller, a laminate in which a release layer, an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer and an intermediate sheet are laminated on a long support sheet is fed out, and in synchronization with the intermediate sheet being peeled from the adhesive layer The ceramic green sheet is formed on the surface, and the support sheet wound around the roller is fed from the roller, and the temperature is controlled between the first pressure roller and the second pressure roller. The support sheet on which the sheet is formed comes into contact with the first pressure roller, and the support sheet on which the release layer, the electrode layer, and the spacer layer are formed is supplied in contact with the second pressure roller.
本発明においては、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）以下に設定される。Ｔｇは電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）に設定したときに、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートの温度が、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。 In the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less. Tg is the glass transition temperature of the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed. Α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is (Tg + α). When set, the temperature of the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed is determined so that it can be kept below the glass transition temperature Tg of the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed.
本発明において、セラミックグリーンシートが形成された支持シートと、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートとが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層の表面に転写された接着層との接触面の温度が、セラミックグリーンシートと接着層とを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートを、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層上の接着層の表面に転写するに先立って、支持シート上に形成された接着層が予熱される。 In the present invention, when the support sheet on which the ceramic green sheet is formed and the support sheet on which the electrode layer and the spacer layer are formed are pressed by the first pressure roller and the second pressure roller. The temperature of the contact surface between the ceramic green sheet and the adhesive layer transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer is higher than the adhesive temperature necessary for adhering the ceramic green sheet and the adhesive layer with a predetermined adhesive strength. An adhesive layer formed on the support sheet prior to transferring the ceramic green sheet formed on the support sheet to the surface of the electrode layer formed on the support sheet and the adhesive layer on the spacer layer Is preheated.
本発明において、セラミックグリーンシートと接着層は、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、セラミックグリーンシートと接着層が接着される。 In the present invention, the ceramic green sheet and the adhesive layer are pressurized at a pressure of about 0.2 MPa to about 15 MPa, preferably about 0.2 MPa to about 6 MPa, so that the ceramic green sheet and the adhesive layer are bonded. Is done.
セラミックグリーンシートと接着層が接着された後、セラミックグリーンシートから、支持シートが剥離される。 After the ceramic green sheet and the adhesive layer are bonded, the support sheet is peeled from the ceramic green sheet.
こうして、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層およびセラミックグリーンシートが積層された積層体ユニットが作製され、作製された積層体ユニットは、ローラによって巻き取られる。 Thus, a laminate unit in which the release layer, the electrode layer, the spacer layer, the adhesive layer, and the ceramic green sheet are laminated on the support sheet is produced, and the produced laminate unit is wound up by a roller.
以上のようにして、積層体ユニットが作製され、さらに、多数の積層体ユニットが、接着層を介して、積層されて、多数の積層体ユニットを含む積層体ブロックが作製され、あるいは、支持シート上に、接着層を介して、さらに、多数の積層体ユニットが形成されて、積層体ブロックが作製される。 As described above, a laminate unit is produced, and further, a large number of laminate units are laminated via an adhesive layer to produce a laminate block including a large number of laminate units, or a support sheet. On top of this, a number of laminate units are further formed through an adhesive layer to produce a laminate block.
多数の積層体ユニットを含む積層体ブロックを作製するにあたっては、まず、電極層およびスペーサ層の表面に、支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写される。 In producing a laminate block including a large number of laminate units, first, in the same manner that the adhesive layer formed on the surface of the support sheet was transferred to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer, The adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet.
積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された積層体ユニットを、ローラによって巻き取る場合には、さらに、接着層に表面に、中間シートが付着された後、積層体ユニットが、ローラによって巻き取られる。 When the laminate unit with the adhesive layer transferred to the surface of the ceramic green sheet of the laminate unit is wound up by a roller, the laminate unit is further attached after the intermediate sheet is attached to the surface of the adhesive layer. It is wound up by a roller.
多数の積層体ユニットを積層して、多数の積層体ユニットを含む積層体ブロックを作製する場合には、次いで、積層体ユニットが巻回されたローラが、裁断装置あるいは積層装置にセットされる。 When a large number of laminate units are laminated to produce a laminate block including a large number of laminate units, the roller around which the laminate unit is wound is then set in a cutting device or a laminate device.
積層体ユニットが巻回されたローラが、裁断装置にセットされた場合には、積層体ユニットが、ローラから繰り出され、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離され、表面に接着層が形成された積層体ユニットが、所定のサイズに、裁断される。 When the roller around which the laminate unit is wound is set in a cutting device, the laminate unit is unwound from the roller, and the intermediate sheet attached to the surface of the adhesive layer is peeled off from the adhesive layer, and is then applied to the surface. The laminate unit on which the adhesive layer is formed is cut into a predetermined size.
所定のサイズに、裁断された多数の積層体ユニットは、接着層を介して、積層されて、積層体ブロックが作製される。 A large number of laminate units cut into a predetermined size are laminated through an adhesive layer to produce a laminate block.
多数の積層体ユニットの積層にあたっては、まず、支持体が、基板上に固定され、支持体の表面に、接着層が密着するように、積層体ユニットが位置決めされて、積層体ユニット上に圧力が加えられる。 When laminating a large number of laminate units, first, the support unit is fixed on the substrate, and the laminate unit is positioned so that the adhesive layer is in close contact with the surface of the support unit. Is added.
支持体としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられる。 For example, a polyethylene terephthalate film or the like is used as the support.
支持体の厚さは、積層体ユニットを支持可能な厚さであれば、とくに限定されるものではない。 The thickness of the support is not particularly limited as long as the support can support the multilayer unit.
支持体の表面に、接着層が接着されると、積層体ユニットの剥離層から、支持シートが剥離される。 When the adhesive layer is bonded to the surface of the support, the support sheet is peeled from the release layer of the laminate unit.
さらに、セラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された新たな積層体ユニットが、接着層が、支持体に接着された積層体ユニットの剥離層に密着するように、支持体に接着された積層体ユニット上に位置決めされて、新たな積層体ユニットが、基板に向けて、加圧され、支持体に接着された積層体ユニット上に、新たな積層体ユニットが積層される。 Furthermore, the new laminate unit having the adhesive layer transferred onto the surface of the ceramic green sheet was adhered to the support so that the adhesive layer was in close contact with the release layer of the laminate unit adhered to the support. The new laminate unit is positioned on the laminate unit, and the new laminate unit is pressed toward the substrate, and the new laminate unit is laminated on the laminate unit bonded to the support.
次いで、新たに積層された積層体ユニットの剥離層から、支持シートが剥離される。 Next, the support sheet is peeled from the release layer of the newly laminated laminate unit.
同様にして、所定の数の積層体ユニットが積層されて、積層体ブロックが作製され、所定の数の積層体ブロックが積層されて、積層セラミック電子部品が製造される。 Similarly, a predetermined number of laminated body units are laminated to produce a laminated body block, and a predetermined number of laminated body blocks are laminated to produce a laminated ceramic electronic component.
これに対して、積層体ユニットが巻回されたローラが、積層体ユニット積層装置にセットされた場合には、まず、積層体ユニットが、ローラから繰り出され、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離される。 On the other hand, when the roller around which the laminate unit is wound is set in the laminate unit laminating apparatus, first, the laminate unit is unwound from the roller and attached to the surface of the adhesive layer. The sheet is peeled from the adhesive layer.
中間シートが積層体ユニットの接着層から剥離されるのと同期して、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層が積層された新たに積層すべき別の積層体ユニットが、ローラから繰り出され、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、新たに積層すべき積層体ユニットが形成された支持シートが第一の加圧ローラに接触し、積層体ユニットが形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給される。 In synchronization with the peeling of the intermediate sheet from the adhesive layer of the laminate unit, another ceramic layer, an adhesive layer, an electrode layer, a spacer layer, and a release layer are laminated on the support sheet. A laminate sheet is fed from a roller and a temperature-controlled first pressure roller and a second pressure roller are provided with a support sheet on which a laminate unit to be newly laminated is formed. The support sheet on which the laminate unit is formed is brought into contact with the pressure roller and is supplied so as to contact the second pressure roller.
本発明においては、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）以下に設定される。ここに、Ｔｇは、第二の加圧ローラに接触する支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）に設定したときに、第二の加圧ローラに接触する支持シートの温度が、その支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。 In the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less. Where Tg is the glass transition temperature of the support sheet in contact with the second pressure roller, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is When set to (Tg + α), the temperature of the support sheet in contact with the second pressure roller is determined so that it can be maintained below the glass transition temperature Tg of the support sheet.
本発明において、２つの積層体ユニットが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、新たに積層すべき積層体ユニットの剥離層と、積層体ユニットの接着層との接触面の温度が、剥離層と接着層とを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、新たに積層すべき積層体ユニットの剥離層を、積層体ユニットの接着層の表面に転写するに先立って、積層体ユニットの接着層が予熱される。 In the present invention, when the two laminate units are pressed by the first pressure roller and the second pressure roller, the release layer of the laminate unit to be newly laminated, and the laminate unit Laminate the release layer of the laminate unit to be newly laminated so that the temperature of the contact surface with the adhesive layer is equal to or higher than the adhesive temperature necessary for bonding the release layer and the adhesive layer with a predetermined adhesive strength. Prior to transfer to the surface of the adhesive layer of the body unit, the adhesive layer of the laminate unit is preheated.
本発明において、２つの積層体ユニットは、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、剥離層と接着層が接着される。 In the present invention, the two laminate units are pressurized at a pressure of about 0.2 MPa to about 15 MPa, preferably at a pressure of about 0.2 MPa to about 6 MPa, to bond the release layer and the adhesive layer. .
次いで、新たに積層された積層体ユニットのセラミックグリーンシートから、支持シートが剥離され、２つの積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製される。 Next, the support sheet is peeled off from the newly laminated ceramic green sheets of the laminate unit to produce a laminate unit set in which two laminate units are laminated.
こうして作製された積層体ユニットセットは、ローラによって、巻き取られる。 The laminate unit set thus produced is wound up by a roller.
さらに、積層体ユニットセットが、ローラから繰り出され、セラミックグリーンシートの表面に、支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、積層体ユニットセットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写され、次いで、接着層が転写されるのと同期して、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層が積層された新たに積層すべき別の積層体ユニットが、ローラから繰り出され、積層体ユニットのセラミックグリーンシートと、別の積層体ユニットの剥離層とを、接着層を介して、接着したのと同様にして、積層体ユニットセットのセラミックグリーンシートと、新たに積層すべき積層体ユニットの剥離層が、接着層を介して、加圧されて、積層体ユニットセットのセラミックグリーンシートと、新たに積層すべき積層体ユニットの剥離層が、接着層を介して、接着される。 Further, the laminate unit set is fed out from the roller and transferred to the surface of the ceramic green sheet of the laminate unit set in the same manner as the adhesive layer formed on the surface of the support sheet is transferred to the surface of the ceramic green sheet. The adhesive layer is transferred, and then in synchronization with the transfer of the adhesive layer, a ceramic green sheet, an adhesive layer, an electrode layer, a spacer layer and a release layer are laminated on the support sheet. Another laminate unit is unrolled from the roller, and the laminate unit set is obtained in the same manner that the ceramic green sheet of the laminate unit and the release layer of the other laminate unit are bonded via the adhesive layer. The ceramic green sheet and the release layer of the laminate unit to be newly laminated are pressed through the adhesive layer, and the laminate unit unit is pressed. DOO ceramic green sheet, the release layer of the multilayer unit to be newly laminated, through the adhesive layer is adhered.
同様にして、次々に、積層体ユニットが積層され、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製されると、積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。 Similarly, when the laminate unit is laminated one after another and a laminate unit set in which a predetermined number of laminate units are laminated is produced, the laminate unit set is cut into a predetermined size and stacked. A body block is created.
こうして作製された積層体ブロックが積層されて、積層セラミック電子部品が製造される。 The laminated body blocks thus produced are laminated to produce a multilayer ceramic electronic component.
一方、支持シート上に形成された積層体ユニット上に、接着層を介して、さらに、多数の積層体ユニットを形成して、多数の積層体ユニットを含む積層体ブロックを作製する場合には、積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写され、接着層の表面に、中間シートが付着された積層体ユニットが巻回されたローラが積層装置にセットされる。 On the other hand, on the laminate unit formed on the support sheet, when forming a laminate block including a large number of laminate units by further forming a large number of laminate units via an adhesive layer, An adhesive layer is transferred onto the surface of the ceramic green sheet of the laminate unit, and a roller around which the laminate unit with the intermediate sheet attached is wound around the surface of the adhesive layer is set in the laminating apparatus.
次いで、積層体ユニットが、ローラから繰り出され、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離される。 Next, the laminate unit is unwound from the roller, and the intermediate sheet attached to the surface of the adhesive layer is peeled off from the adhesive layer.
中間シートが積層体ユニットの接着層から剥離されるのと同期して、表面に、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートが、ローラから繰り出され、支持シート上に形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層上に、支持シート上に形成された電極層、スペーサ層および剥離層が転写される。 In synchronization with the release of the intermediate sheet from the adhesive layer of the laminate unit, a support sheet having a release layer, an electrode layer, and a spacer layer formed on the surface was fed out from the roller and formed on the support sheet. The electrode layer, spacer layer and release layer formed on the support sheet are transferred onto the adhesive layer transferred to the surface of the laminate unit.
支持シート上に形成された電極層、スペーサ層および剥離層を、支持シート上に形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層上に転写するにあたっては、その温度が制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートと、積層体ユニットが形成された支持シートとを、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートが第一の加圧ローラに接触し、積層体ユニットが形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給し、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとによって、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートと、積層体ユニットが形成された支持シートとを加圧することによって、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層と、支持シート上に形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層とが接着され、その後に、支持シートが剥離層から剥離される。 In transferring the electrode layer, spacer layer and release layer formed on the support sheet onto the adhesive layer transferred to the surface of the laminate unit formed on the support sheet, the temperature is controlled first. The support sheet on which the release layer, the electrode layer, and the spacer layer are formed, and the support sheet on which the laminate unit is formed between the pressure roller and the second pressure roller of the release layer, the electrode layer, and The support sheet on which the spacer layer is formed is in contact with the first pressure roller, and the support sheet on which the laminate unit is formed is in contact with the second pressure roller. The electrode formed on the support sheet by pressing the support sheet on which the release layer, the electrode layer, and the spacer layer are formed and the support sheet on which the laminate unit is formed by the second pressure roller. And a spacer layer, and the adhesive layer transferred to the surface of the laminate unit formed on the support sheet is bonded, thereafter, the support sheet is peeled from the release layer.
本発明においては、第一の加圧ローラの温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）以下に設定される。ここに、Ｔｇは、積層体ユニットが形成された支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、積層体ユニットが形成された支持シートの温度が、積層体ユニットが形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。 In the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or less. Here, Tg is the glass transition temperature of the support sheet on which the laminate unit is formed, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is (Tg + α ), The temperature of the support sheet on which the laminate unit is formed is determined so that it can be kept below the glass transition temperature Tg of the support sheet on which the laminate unit is formed.
本発明において、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートと、積層体ユニットが形成された支持シートとが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、電極層およびスペーサ層と積層体ユニットの表面に転写された接着層との接触面の温度が、電極層およびスペーサ層と積層体ユニットの表面に転写された接着層とを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層を、支持シート上に形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層の表面に転写するのに先立って、積層体ユニットの表面に転写された接着層が予熱される。 In the present invention, the support sheet on which the release layer, the electrode layer, and the spacer layer are formed, and the support sheet on which the laminate unit is formed are pressed by the first pressure roller and the second pressure roller. When the temperature of the contact surface between the electrode layer and the spacer layer and the adhesive layer transferred to the surface of the laminate unit is changed, the electrode layer and the spacer layer and the adhesive layer transferred to the surface of the laminate unit are The electrode layer and the spacer layer formed on the support sheet are transferred to the surface of the laminate unit formed on the support sheet so that the bonding temperature is higher than that necessary for bonding with the adhesive strength. Prior to transferring to the surface, the adhesive layer transferred to the surface of the laminate unit is preheated.
本発明において、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層と、支持シートに形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層は、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層と、支持シートに形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層が接着される。 In the present invention, the electrode layer and spacer layer formed on the support sheet and the adhesive layer transferred to the surface of the laminate unit formed on the support sheet are preferably at a pressure of about 0.2 MPa to about 15 MPa, The electrode layer and the spacer layer formed on the support sheet are pressed with a pressure of about 0.2 MPa to about 6 MPa, and the adhesive layer transferred to the surface of the laminate unit formed on the support sheet is bonded. Is done.
こうして、剥離層から、支持シートが剥離され、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層が積層された積層体が作製され、ローラによって巻き取られる。 Thus, the support sheet is peeled from the release layer, and a laminate in which the release layer, the electrode layer, the spacer layer, the adhesive layer, the ceramic green sheet, the adhesive layer, the electrode layer, the spacer layer, and the release layer are laminated on the support sheet. Is produced and wound up by a roller.
さらに、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層が積層された積層体が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、積層体ユニットの電極層およびスペーサ層の表面に、支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、積層体の剥離層の表面に、接着層が転写される。 Furthermore, a roller in which a laminate in which a release layer, an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer, a ceramic green sheet, an adhesive layer, an electrode layer, a spacer layer, and a release layer are laminated is wound on a support sheet is a lamination device. The adhesive layer is transferred to the surface of the release layer of the laminate in the same manner as the adhesive layer formed on the surface of the support sheet is transferred to the surface of the electrode layer and spacer layer of the laminate unit. The
剥離層の表面に、接着層が転写された積層体を、ローラによって巻き取る場合には、さらに、接着層に表面に、中間シートが付着された後、積層体が、ローラによって巻き取られる。 When the laminate having the adhesive layer transferred to the surface of the release layer is wound by a roller, the laminate is further wound by the roller after the intermediate sheet is attached to the surface of the adhesive layer.
次いで、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層、接着層および中間シートが積層された積層体が巻回されたローラが積層装置にセットされて、積層体が、ローラから繰り出され、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離される。 Next, a laminate in which a release layer, an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer, a ceramic green sheet, an adhesive layer, an electrode layer, a spacer layer, a release layer, an adhesive layer, and an intermediate sheet are laminated on a support sheet is wound. The roller is set in the laminating apparatus, the laminated body is fed out from the roller, and the intermediate sheet attached to the surface of the adhesive layer is peeled off from the adhesive layer.
中間シートが積層体の接着層から剥離されるのと同期して、セラミックグリーンシートが形成された支持シートが、ローラから繰り出され、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層および接着層が積層された積層体の接着層上に、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートが転写される。 In synchronization with the release of the intermediate sheet from the adhesive layer of the laminate, the support sheet on which the ceramic green sheet is formed is fed out from the roller, and on the support sheet, the release layer, the electrode layer, the spacer layer, and the adhesive layer The ceramic green sheet formed on the support sheet is transferred onto the adhesive layer of the laminate in which the ceramic green sheet, the adhesive layer, the electrode layer, the spacer layer, the release layer, and the adhesive layer are laminated.
支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートを、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層および接着層が積層された積層体の接着層上に転写するにあたっては、その温度が制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、セラミックグリーンシートが形成された支持シートと、積層体が形成された支持シートとを、セラミックグリーンシートが形成された支持シートが第一の加圧ローラに接触し、積層体が形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給し、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとによって、セラミックグリーンシートが形成された支持シートと、積層体が形成された支持シートとを加圧することによって、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートと、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層および接着層が積層された積層体の接着層とが接着され、その後に、支持シートがセラミックグリーンシートから剥離される。 The ceramic green sheet formed on the support sheet is laminated on the support sheet with the release layer, electrode layer, spacer layer, adhesive layer, ceramic green sheet, adhesive layer, electrode layer, spacer layer, release layer and adhesive layer. In transferring onto the adhesive layer of the laminated body, a support sheet in which a ceramic green sheet is formed between the first pressure roller and the second pressure roller whose temperature is controlled, and the laminated body The support sheet on which the ceramic green sheet is formed is in contact with the first pressure roller, and the support sheet on which the laminate is formed is in contact with the second pressure roller. Then, the first pressure roller and the second pressure roller press the support sheet on which the ceramic green sheet is formed and the support sheet on which the laminate is formed. The ceramic green sheet formed on the support sheet and the release layer, the electrode layer, the spacer layer, the adhesive layer, the ceramic green sheet, the adhesive layer, the electrode layer, the spacer layer, the release layer, and the adhesive layer on the support sheet. The laminated laminate is bonded to the adhesive layer, and then the support sheet is peeled from the ceramic green sheet.
本発明においては、第一の加圧ローラの温度がＴ１以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ＋α）以下に設定される。ここに、Ｔｇは、積層体が形成された支持シートのガラス転移温度であり、αは、第一の加圧ローラの温度をＴ１に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ＋α）に設定したときに、積層体が形成された支持シートの温度が、積層体が形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ未満に保持可能なように決定される。 In the present invention, the temperature of the first pressure roller is set to T1 or lower, and the temperature of the second pressure roller is set to (Tg + α) or lower. Here, Tg is the glass transition temperature of the support sheet on which the laminate is formed, α is the temperature of the first pressure roller is set to T1, and the temperature of the second pressure roller is (Tg + α) Is set so that the temperature of the support sheet on which the laminate is formed can be kept below the glass transition temperature Tg of the support sheet on which the laminate is formed.
本発明において、セラミックグリーンシートが形成された支持シートと、積層体が形成された支持シートとが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、セラミックグリーンシートと接着層との接触面の温度が、セラミックグリーンシートと接着層とを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートを、支持シート上に形成された積層体の接着層の表面に転写するのに先立って、支持シートに形成された積層体の接着層が予熱される。 In the present invention, when the support sheet on which the ceramic green sheet is formed and the support sheet on which the laminate is formed are pressed by the first pressure roller and the second pressure roller, the ceramic green sheet The ceramic green sheet formed on the support sheet is adjusted so that the temperature of the contact surface between the sheet and the adhesive layer is equal to or higher than the adhesive temperature necessary to bond the ceramic green sheet and the adhesive layer with a predetermined adhesive strength. Prior to transfer onto the surface of the adhesive layer of the laminate formed on the support sheet, the adhesive layer of the laminate formed on the support sheet is preheated.
本発明において、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートと、支持シートに形成された積層体の接着層は、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートと、支持シートに形成された積層体の接着層が接着される。 In the present invention, the ceramic green sheet formed on the support sheet and the adhesive layer of the laminate formed on the support sheet are at a pressure of about 0.2 MPa to about 15 MPa, preferably about 0.2 MPa to about 6 MPa. The ceramic green sheet formed on the support sheet and the adhesive layer of the laminate formed on the support sheet are bonded to each other.
支持シートに形成された積層体の接着層と、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートとが接着されると、接着層に接着したセラミックグリーンシートから、支持シートが剥離される。 When the adhesive layer of the laminate formed on the support sheet is bonded to the ceramic green sheet formed on the support sheet, the support sheet is peeled from the ceramic green sheet bonded to the adhesive layer.
こうして、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシートからなる積層体ユニットと、電極層、スペーサ層、剥離層、接着層およびセラミックグリーンシートからなる積層体ユニットが、接着層を介して、積層され、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットが作製され、作製された積層体ユニットは、ローラによって巻き取られる。 Thus, on the support sheet, a laminate unit composed of a release layer, an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer, and a ceramic green sheet, and a laminate unit composed of an electrode layer, a spacer layer, a release layer, an adhesive layer, and a ceramic green sheet The laminate unit set including two laminate units is produced through the adhesive layer, and the produced laminate unit is wound up by a roller.
さらに、２つの積層体ユニットが、接着層を介して、積層された積層体ユニットセットが巻回されたローラが、積層装置にセットされ、電極層およびスペーサ層の表面に、支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、積層体ユニットセットの表面のセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写される。 Furthermore, a roller around which two laminated unit units are laminated with an adhesive layer wound thereon is set in a laminating apparatus, on the surface of the electrode layer and the spacer layer, on the surface of the support sheet. The adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet on the surface of the multilayer unit set in the same manner as the transferred adhesive layer is transferred.
こうして、支持シート上に、２つの積層体ユニットが積層されて、積層体ユニットセットが作製され、積層体ユニットセットの表面のセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写されると、積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。 Thus, two laminate units are laminated on the support sheet to produce a laminate unit set, and when the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet on the surface of the laminate unit set, the laminate unit is obtained. The set is cut into a predetermined size to produce a laminate block.
あるいは、同様にして、次々に、積層体ユニットが、支持シート上の積層体ユニットセット上に積層されて、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製されると、積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。 Alternatively, in the same manner, the laminate units are sequentially laminated on the laminate unit set on the support sheet to produce a laminate unit set in which a predetermined number of laminate units are laminated. The body unit set is cut into a predetermined size to produce a laminated body block.
こうして作製された積層体ブロックが積層されて、積層セラミック電子部品が製造される。 The laminated body blocks thus produced are laminated to produce a multilayer ceramic electronic component.
本発明によれば、セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを防止することができ、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを、所望のように、製造することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法、積層体ユニットを含む積層電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法および積層電子部品の製造装置を提供することが可能になる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while preventing a deformation | transformation and destruction of a ceramic green sheet, it can prevent that the solvent in an electrode paste permeates into a ceramic green sheet, Lamination | stacking by which the ceramic green sheet and the electrode layer were laminated | stacked Manufacturing method of multilayer unit for multilayer ceramic electronic component capable of manufacturing body unit as desired, manufacturing method of multilayer unit set for multilayer electronic component including multilayer unit, and manufacture of multilayer electronic component An apparatus can be provided.
また、本発明によれば、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを含む積層電子部品を、所望のように、製造することができる積層電子部品の製造装置を提供することが可能になる。 In addition, according to the present invention, it is possible to provide a multilayer electronic component manufacturing apparatus capable of manufacturing a multilayer electronic component including a multilayer unit in which ceramic green sheets and electrode layers are stacked as desired. It becomes possible.
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法につき、詳細に説明を加える。 Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
積層セラミックコンデンサを製造するにあたっては、まず、セラミックグリーンシートを製造するために、誘電体ペーストが調製される。 In manufacturing a multilayer ceramic capacitor, first, a dielectric paste is prepared in order to manufacture a ceramic green sheet.
誘電体ペーストは、通常、誘電体材料と、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルを混練して、調製される。 The dielectric paste is usually prepared by kneading a dielectric material and an organic vehicle in which a binder is dissolved in an organic solvent.
調製された誘電体ペーストは、たとえば、エクストルージョンコーターやワイヤーバーコーターなどを用いて、支持シート上に塗布され、塗膜が形成される。 The prepared dielectric paste is applied onto a support sheet using, for example, an extrusion coater or a wire bar coater, and a coating film is formed.
誘電体ペーストを塗布する支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。 As the support sheet to which the dielectric paste is applied, for example, a polyethylene terephthalate film or the like is used, and a silicon resin, an alkyd resin, or the like is coated on the surface in order to improve the peelability. The thickness of the support sheet is not particularly limited, but is preferably about 5 μm to about 100 μm.
次いで、塗膜が、たとえば、約５０℃ないし約１００℃の温度で、約１分ないし約２０分にわたって、乾燥され、支持シート上に、セラミックグリーンシートが形成される。 The coating is then dried, for example, at a temperature of about 50 ° C. to about 100 ° C. for about 1 minute to about 20 minutes to form a ceramic green sheet on the support sheet.
乾燥後におけるセラミックグリーンシートの厚さは３μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは、１．５μｍ以下である。 The thickness of the ceramic green sheet after drying is preferably 3 μm or less, and more preferably 1.5 μm or less.
また、セラミックグリーンシートが形成される支持シートの幅は、通常、１００ｍｍないし４００ｍｍ程度である。 The width of the support sheet on which the ceramic green sheet is formed is usually about 100 mm to 400 mm.
図１は、支持シートの表面上に、セラミックグリーンシートが形成された状態を示す略断面図である。 FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a ceramic green sheet is formed on the surface of a support sheet.
実際には、支持シート１は、長尺状をなし、セラミックグリーンシート２は、長尺状の支持シート１の表面に、連続的に形成される。
Actually, the
セラミックグリーンシート２が形成された後、支持シート１は、ローラ（図示せず）によって、巻き取られる。
After the ceramic
一方、セラミックグリーンシート２を形成する支持シート１とは別の支持シートが用意されて、別の支持シート上に、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成される。
On the other hand, a support sheet different from the
図２は、その表面上に、剥離層および電極層が形成された支持シートの略一部断面図である。 FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view of a support sheet having a release layer and an electrode layer formed on the surface thereof.
実際には、支持シート４は、長尺状をなし、剥離層５は、長尺状の支持シート４の表面に、連続的に形成され、剥離層５の表面に、電極層６が、所定のパターンで形成される。
Actually, the
支持シート４の表面に、剥離層５を形成するにあたっては、まず、セラミックグリーンシート２を形成する場合と同様にして、剥離層５を形成するための誘電体ペーストが調製される。
In forming the
剥離層５を形成するための誘電体ペーストは、好ましくは、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子を含んでいる。
The dielectric paste for forming the
剥離層５を形成するための誘電体ペーストに含まれているバインダは、セラミックグリーンシート２に含まれているバインダと同系であっても、同系でなくてもよいが、同系であることが好ましい。
The binder contained in the dielectric paste for forming the
こうして、誘電体ペーストが調製されると、たとえば、ワイヤーバーコーター（図示せず）を用いて、支持シート４上に、誘電体ペーストが塗布され、剥離層５が形成される。
Thus, when a dielectric paste is prepared, a dielectric paste is apply | coated on the
剥離層５の厚さは、電極層６の厚さ以下であることが好ましく、好ましくは、電極層６の厚さの約６０％以下、さらに好ましくは、電極層６の厚さの約３０％以下である。
The thickness of the
剥離層５を形成すべき支持シート４としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シート４の厚さは、とくに限定されるものではなく、セラミックグリーンシート２を形成すべき支持シート１の厚さと同じであっても、異なっていてもよいが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。
As the
剥離層５の形成後、剥離層５は、たとえば、約５０℃ないし約１００℃で、約１分ないし約１０分にわたって、乾燥される。
After the
剥離層５が乾燥された後、剥離層５の表面上に、焼成後に、内部電極層を構成する電極層６が、所定のパターンで形成される。
After the
電極層６は、約０．１μｍないし約５μｍの厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約０．１μｍないし約１．５μｍである。
The
電極層６を、剥離層５上に形成するに際しては、まず、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、焼成後に、各種導電性金属や合金からなる導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、または、レジネートなどと、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルとを混練して、電極ペーストが調製される。
When the
電極ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、Ｎｉ、Ｎｉ合金あるいはこれらの混合物が、好ましく用いられる。 As a conductor material used when manufacturing the electrode paste, Ni, Ni alloy, or a mixture thereof is preferably used.
導電体材料の平均粒子径は、とくに限定されるものではないが、通常、約０．１μｍないし約２μｍ、好ましくは、約０．２μｍないし約１μｍの導電性材料が用いられる。 The average particle diameter of the conductor material is not particularly limited, but usually a conductive material having a thickness of about 0.1 μm to about 2 μm, preferably about 0.2 μm to about 1 μm is used.
電極層６は、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、電極ペーストを、剥離層５上に印刷することによって形成される。
The
剥離層５の表面上に、所定パターンの有する電極層６を、スクリーン印刷法やグラビア印刷法によって、形成した後に、電極層６が形成されていない剥離層５の表面に、電極層６と相補的なパターンで、スペーサ層が形成される。
After the
図３は、剥離層５の表面上に、電極層６およびスペーサ層が形成された状態を示す略一部断面図である。
FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view showing a state in which the
スペーサ層７は、剥離層５の表面に、電極層６を形成するのに先立って、電極層６が形成されるべき部分を除く剥離層５の表面に形成することもできる。
Prior to forming the
スペーサ層７を形成するにあたっては、セラミックグリーンシート２を作製したときに用いた誘電体ペーストと、実質的に同一組成の誘電体材料の粉末を含む同様な組成の誘電体ペーストが調製され、スクリーン印刷法やグラビア印刷法により、誘電体ペーストが、電極層６が形成されていない剥離層５の表面に、電極層６と相補的なパターンで、印刷される。
In forming the
本実施態様においては、スペーサ層７は、ｔｓ／ｔｅ＝１．１になるように、剥離層５上に形成される。ここに、ｔｓはスペーサ層７の厚さであり、ｔｅは電極層６の厚さである。
In the present embodiment, the
剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された後、支持シート４は、ローラ（図示せず）によって巻き取られる。
After the
本実施態様においては、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７は、接着層を介して、接着されるように構成されており、さらに、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１ならびに電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４とは別の支持シートが用意され、新たに用意された支持シート上に、接着層が形成されて、接着シートが作製される。
In the present embodiment, the ceramic
図４は、支持シートの表面上に、接着層が形成された接着シートの略一部断面図である。 FIG. 4 is a schematic partial cross-sectional view of an adhesive sheet in which an adhesive layer is formed on the surface of the support sheet.
実際には、支持シート９は、長尺状をなし、接着層１０は、長尺状の支持シート９の表面に、連続的に形成される。
Actually, the
接着層１０を形成すべき支持シート９としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、その両表面に、剥離性を改善するために、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シート９の厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。
As the
接着層１０を形成するにあたっては、まず、接着剤溶液が調製される。
In forming the
本実施態様においては、接着剤溶液は、バインダ、誘電体材料の粉末、可塑剤および帯電防止剤と、任意成分として、剥離剤とを含んでいる。 In this embodiment, the adhesive solution contains a binder, a dielectric material powder, a plasticizer and an antistatic agent, and a release agent as an optional component.
接着剤溶液に含まれるバインダは、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系のバインダであることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系でないバインダであってもよい。 The binder contained in the adhesive solution is preferably a binder similar to the binder contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet, but the binder contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet It may be a binder not related to the same.
本実施態様においては、接着剤溶液は、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粒子と実質的に同一の組成を有し、その粒径が、接着層１０の厚さ以下の誘電体材料の粒子を含んでいる。
In this embodiment, the adhesive solution has substantially the same composition as the particles of the dielectric material contained in the ceramic
接着剤溶液中の誘電体材料の粒子のバインダ重量に対する割合は、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料の粒子のバインダ重量に対する割合より小さいことが好ましく、接着剤溶液中の誘電体材料の粒子の含有量は、バインダ重量の０．５重量％ないし２５重量％であることが好ましい。 The ratio of the particles of the dielectric material in the adhesive solution to the binder weight is preferably smaller than the ratio of the particles of the dielectric material contained in the ceramic green sheet to the binder weight, and the dielectric material in the adhesive solution The content of the particles is preferably 0.5% to 25% by weight of the binder weight.
接着剤溶液に含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤と同系の可塑剤であることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系でない可塑剤であってもよい。 The plasticizer contained in the adhesive solution is preferably a plasticizer of the same type as the plasticizer contained in the dielectric paste for forming the ceramic green sheet, but the dielectric paste for forming the ceramic green sheet It may be a plasticizer that is not of the same type as the binder contained.
可塑剤の含有量は、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約２００重量部、好ましくは、約２０重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約５０重量部ないし約１００重量部である。 The content of the plasticizer is about 0 to about 200 parts by weight, preferably about 20 to about 200 parts by weight, and more preferably about 50 to about 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder. Part.
本実施態様において、接着剤溶液は、バインダの０．０１重量％ないし１５重量％の帯電防止剤を含んでいる。 In this embodiment, the adhesive solution contains 0.01% to 15% by weight of the binder antistatic agent.
本実施態様においては、帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤が用いられている。 In this embodiment, an imidazoline surfactant is used as the antistatic agent.
こうして調製された接着剤溶液は、たとえば、バーコータ、エクストルージョンコータ、リバースコータ、ディップコーター、キスコーターなどによって、支持シート９の表面上に塗布され、好ましくは、約０．３μｍ以下、より好ましくは、約０．０２μｍないし約０．３μｍ、さらに好ましくは、約０．０２μｍないし約０．２μｍの厚さを有する接着層１０が形成される。接着層１０の厚さが、約０．０２μｍ未満の場合には、接着力が低下し、一方、接着層１０の厚さが、約０．３μｍを越えると、欠陥（隙間）の発生原因となり、好ましくない。
The adhesive solution thus prepared is applied onto the surface of the
接着層１０は、たとえば、室温（２５℃）ないし約８０℃の温度で、約１分ないし約５分にわたって、乾燥される。接着層１０の乾燥条件は、とくに限定されるものではない。
The
支持シート９の表面に、接着層１０が形成されて形成された接着シート１１は、ローラ（図示せず）によって巻き取られる。本実施態様においては、支持シート９は、その両表面に、剥離性を改善するために、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされているから、ローラによって巻き取ったときに、接着層１０が支持シート９の裏面に接着することが防止される。
The
こうして、支持シート９上に形成された接着層１０は、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写される。
Thus, the
図５は、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置の略断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a transfer device that transfers the
図５に示されるように、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５と、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備えている。
As shown in FIG. 5, the transfer device that transfers the
図５には図示されていないが、転写装置のシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂ、シート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆおよびシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅは、それぞれ、支持シート９、中間シート１９および支持シート４の一縁部を検出するセンサと、支持シート９、中間シート１９および支持シート４の幅方向に沿って、配置され、支持シート９、中間シート１９および支持シート４の長手方向に垂直な面内で、揺動可能なローラを備えており、センサが検出した支持シート９、中間シート１９および支持シート４の一縁部の位置に応じて、ローラを揺動させることによって、支持シート９、中間シート１９および支持シート４の蛇行を修正することができるように構成されている。
Although not shown in FIG. 5, the sheet meandering correction devices 22a and 22b, the sheet meandering correction devices 22c and 22f, and the sheet meandering correction devices 22d and 22e of the transfer apparatus are respectively a
図５には図示されていないが、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されている。
Although not shown in FIG. 5, the sheet tension adjusting roller 23 e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and can support the
本実施態様においては、予熱器２４は、遠赤外線ヒータによって構成されている。 In the present embodiment, the preheater 24 is constituted by a far infrared heater.
本実施態様においては、上方に配置された第一の加圧ローラ１５は、金属ローラによって構成され、下方に配置された第二の加圧ローラ１６は、ゴムローラによって構成されている。
In the present embodiment, the
第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６には、それぞれ、加熱機構（図示せず）が設けられ、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度が、独立して、制御可能に構成されている。
Each of the
支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写するにあたっては、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４が巻回されたローラがセットされる。
When the
さらに、中間シート１９が巻回された中間シート繰り出しローラ２１が転写装置にセットされる。
Further, an intermediate
中間シート１９は、電極層６およびスペーサ層７の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、接着層１０が電極層６およびスペーサ層７の表面に転写された支持シート４を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１１が支持シート４の表面に接着することを防止するものであり、本実施態様においては、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、中間シート１９の接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成される支持シート９と同じ表面処理が施されている。
The
支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２から、接着シート１１が繰り出される。
In transferring the
第一の繰り出しローラ１２から繰り出された接着シート１１は、シート蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
The position of the
第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４が繰り出される。
In synchronization with the feeding of the
第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート４は、シートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂおよび２３ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が予熱される。
The
支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、十分に高い接着強度を有するように、接着層１０を貼り合わせるためには、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７を加熱することが必要であるが、本発明者の研究によれば、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６を加熱し、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６から伝達される熱のみによって、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７を加熱する場合には、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６をきわめて高い温度に設定することが必要になり、その結果、支持シート４の温度が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１を越えたときには、支持シート４が変形しやすくなって、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６から加えられる圧力によって、支持シート４に皺が発生しやすくなることが認められている。
In order to bond the
そこで、図５に示された転写装置においては、支持シート４が接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、電極層６およびスペーサ層７を加熱することによって、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７の接着強度の向上が図られている。
Therefore, in the transfer apparatus shown in FIG. 5, the temperature of the
すなわち、図５に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the transfer device shown in FIG. 5, the temperature of the
接着シート１１および予熱器２４を通過した支持シート４は、それぞれ、支持シート９が上方の第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方の第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
The
支持シート９に形成された接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。
When the
図６は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 6 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図５および図６に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the transfer device shown in FIGS. 5 and 6, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４および表面に、接着層１０が形成された支持シート９の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the
図６に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方に位置する第一の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給され、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４は、支持シート４が、下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触し、電極層６およびスペーサ層７が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
As shown in FIG. 6, the
その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に接着される。
As a result, the
図５および図６に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、電極層６およびスペーサ層７が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７の接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer device shown in FIGS. 5 and 6, the temperature of the
一方、図６に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、支持シート９は、電極層６およびスペーサ層７の表面に接着した接着層１０から剥離されて、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
On the other hand, as shown in FIG. 6, the
接着層１０から、支持シート９を剥離する際、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層１０が、支持シート９に引き付けられ、所望のように、支持シート９を、接着層１０から剥離することが困難になることがあるが、本実施態様においては、接着層１０が、バインダに対して、０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるから、静電気の発生を効果的に防止することが可能になる。
When the
こうして、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０が接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図５に示されるように、支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。
Thus, when the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、接着層１０がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
次いで、図５に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、その表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４が、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。
Next, as shown in FIG. 5, the
本実施態様においては、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とスペーサ層７との接着性を向上させることができ、支持シート９を、接着層１０から剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０が電極層６およびスペーサ層７から剥離することを確実に防止することが可能になる。
In the present embodiment, since the
また、本実施態様においては、中間シート１９は、接着層１０が形成された支持シート９と同じ材料によって形成され、支持シート９と同一の厚さを有し、中間シート１９の接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成された支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を、所望のように、接着層１０の表面に付着させることができる。
In the present embodiment, the
このように、本実施態様においては、接着層１０の表面に、中間シート１９が付着された後に、その表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４が、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られるように構成されているから、支持シート４の巻き取りに際して、接着層１０が支持シート４に接着することがない。
Thus, in this embodiment, after the
次いで、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写される。
Next, the ceramic
図７は、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置の略断面図である。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a transfer device for transferring the ceramic
図７に示されるように、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５と、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備え、図５に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 7, the transfer of transferring the ceramic
支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が巻回されたローラが、転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、転写装置にセットされる。
In transferring the ceramic
次いで、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。
Next, the
本実施態様においては、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成された支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。
In this embodiment, the surface of the
中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７および接着層１０からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４、剥離層５、剥離層５、電極層６、スペーサ層７および接着層１０が予熱される。
The tension of the laminate composed of the
一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート４の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が繰り出され、第一の繰り出しローラ１２から繰り出された支持シート１は、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
On the other hand, in synchronization with the feeding of the supporting
図７に示された転写装置においては、支持シート４に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度の向上が図られている。
In the transfer apparatus shown in FIG. 7, the
すなわち、図７に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the transfer device shown in FIG. 7, the temperature of the
支持シート１および予熱器２４を通過した支持シート４は、それぞれ、支持シート１が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
The
図８は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 8 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図７および図８に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。
In the transfer apparatus shown in FIGS. 7 and 8, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
その表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１およびその表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７および接着層１０が積層された支持シート４の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the
図８に示されるように、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、支持シート１に加えられる引張り力によって、支持シート１が、上方に位置する第一の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４は、支持シート４が、下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触し、電極層６およびスペーサ層７が、接着層を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。
As shown in FIG. 8, the
その結果、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が接着され、その一方で、図８に示されるように、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート１が、電極層６およびスペーサ層７の表面に接着したセラミックグリーンシート２から剥離される。
As a result, the ceramic
図７および図８に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０の接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer device shown in FIGS. 7 and 8, the temperature of the
セラミックグリーンシート２から剥離された支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られ、一方、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２が電極層６およびスペーサ層７の表面に接着した支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。
The
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、セラミックグリーンシート２がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
さらに、本実施態様においては、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性および接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、セラミックグリーンシート２から、支持シート１を剥離する際に、セラミックグリーンシート２が、支持シート１とともに、接着層１０から剥離することを確実に防止することが可能になる。
Further, in the present embodiment, the
また、本実施態様においては、接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させるように構成されているから、その表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４を、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート４の表面に付着することがなく、したがって、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを、接着層１０を介して、接着して、積層体ユニットを作製する転写装置を、支持シート４の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。
Further, in the present embodiment, since the
さらに、本実施態様においては、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とは、接着層１０を介して、接着され、従来のように、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７に含まれているバインダの粘着力や、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を利用して、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着してはいないから、たとえば、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの低い圧力で、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着することができる。
Further, in the present embodiment, the ceramic
したがって、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を防止することが可能になるから、こうして得られたセラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の積層体を積層して、積層セラミックコンデンサを作製する際の積層精度を向上させることが可能になる。
Therefore, since it becomes possible to prevent the deformation of the ceramic
さらに、本実施態様においては、電極層６および電極層６よりも密度が小さく、圧縮率が高いスペーサ層７が、ｔｓ／ｔｅ＝１．１となるように形成されているから、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２上に転写する際に、加圧によって、スペーサ層７が圧縮され、接着層１０を介して、電極層６およびスペーサ層７と、セラミックグリーンシート２とを確実に接着させることができ、したがって、剥離層５から、支持シート４を剥離するときに、電極層６が、支持シート４とともに、剥離することを確実に防止することが可能になる。
Furthermore, in the present embodiment, the
また、本実施態様においては、支持シート４上に形成された電極層６が乾燥した後に、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２の表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシート２の表面に、電極ペーストを印刷して、電極層６を形成する場合のように、電極ペーストが、セラミックグリーンシート２に含まれているバインダを溶解させ、あるいは、膨潤させることがなく、また、電極ペーストがセラミックグリーンシート２中に染み込むこともなく、所望のように、セラミックグリーンシート２の表面に、電極層６を形成することが可能になる。
In the present embodiment, since the
以上のようにして、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が接着され、セラミックグリーンシート２から、支持シート１が剥離された後、その表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された支持シート４が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。
As described above, the ceramic
こうして、支持シート４の表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された積層体ユニット２０が形成される。
Thus, a
次いで、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと全く同様にして、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写される。
Next, the
図９は、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置の略断面図である。
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of a transfer device that transfers the
図９に示されるように、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４とを備え、図５に示された転写装置および図７に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 9, the transfer device that transfers the
積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、支持シート９の表面に形成された接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート４が巻回された第二の巻き取りローラ１８がセットされる。
In transferring the
次いで、第一の繰り出しローラ１２から、接着シート１１が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
Next, the
第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート４が繰り出される。
In synchronization with the feeding of the
第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート４は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４および積層体ユニット２０が予熱される。
The tension of the
図９に示された転写装置においては、支持シート４に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱することによって、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２の接着強度の向上が図られている。
In the transfer apparatus shown in FIG. 9, the
すなわち、図９に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the transfer device shown in FIG. 9, the temperature of the
接着シート１１および予熱器２４を通過した支持シート４は、それぞれ、支持シート９が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
The
支持シート９に形成された接着層１０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。
When the
図１０は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 10 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図９および図１０に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the transfer device shown in FIGS. 9 and 10, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
その表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート４およびその表面に、接着層１０が形成された支持シート９の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the
図１０に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、その表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート４は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。
As shown in FIG. 10, the
その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着される。
As a result, the
図９および図１０に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、セラミックグリーンシート２が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２の接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer device shown in FIGS. 9 and 10, the temperature of the
一方、図１０に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、その結果、支持シート９が、セラミックグリーンシート２の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
On the other hand, as shown in FIG. 10, the
支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図９に示されるように、支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。
When the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、接着層１０がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
次いで、図９に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、積層体ユニット２０が形成された支持シート４が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。
Next, as shown in FIG. 9, the
本実施態様においては、接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、接着層１０から支持シート９を剥離する際に、接着層１０が、支持シート９とともに、セラミックグリーンシート２から剥離することを確実に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the
以上のようにして得られた積層体ユニット２０が、裁断装置（図示せず）によって、所定のサイズに裁断されて、支持シート４の表面上に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０、セラミックグリーンシート２および接着層１０が積層された所定のサイズを有する積層体ユニット２０が作製される。
The
図１１は、こうして、裁断装置によって、所定のサイズに裁断された積層体ユニット２０の略断面図である。
FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of the
図１１に示されるように、積層体ユニット２０は、支持シート４の表面上に形成され、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を備え、セラミックグリーンシート２上には、接着層１０が転写されている。
As shown in FIG. 11, the
同様にして、支持シート４の表面上に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を積層し、セラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を転写して、それぞれが、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０をセラミックグリーンシート２含み、セラミックグリーンシート２上に、接着層１０が転写された多数の積層体ユニット２０が作製される。
Similarly, the
こうして作製された多数の積層体ユニット２０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０を介して、積層することによって、積層セラミックコンデンサが作製される。
A multilayer ceramic capacitor is fabricated by laminating a large number of
図１２は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。
FIG. 12 is a schematic partial cross-sectional view showing the first step of the stacking process of the
図１２に示されるように、積層体ユニット２０の積層にあたっては、まず、多数の孔３６が形成された基板３５上に、支持体３８がセットされる。
As shown in FIG. 12, when stacking the stacked
支持体３８としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられる。
For example, a polyethylene terephthalate film or the like is used as the
支持体３８は、基板３５に形成された多数の孔３６を介して、エアにより吸引され、基板３５上の所定の位置に固定される。
The
図１３は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。
FIG. 13 is a schematic partial cross-sectional view illustrating a second step of the stacking process of the
次いで、図１３に示されるように、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面が、支持体３８の表面に接触するように、積層体ユニット２０が位置決めされて、積層体ユニット２０の支持シート４が、プレス機などによって、加圧される。
Next, as shown in FIG. 13, the
その結果、積層体ユニット２０が、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０を介して、基板３５上に固定された支持体３８上に接着されて、積層される。
As a result, the
図１４は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。
FIG. 14 is a schematic partial cross-sectional view illustrating a third step of the stacking process of the
積層体ユニット２０が、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０を介して、基板３５上に固定された支持体３８上に接着されて、積層されると、図１４に示されるように、支持シート４が、積層体ユニット２０の剥離層５から剥離される。
When the
本実施態様においては、電極層６およびスペーサ層７が、ｔｓ／ｔｅ＝１．１となるように形成されているので、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、スペーサ層７が圧縮されて、スペーサ層７のみならず、電極層６も、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２の表面に接着され、したがって、積層体ユニット２０の剥離層５から、支持シート４を剥離するときに、電極層６が、支持シート４とともに、セラミックグリーンシート２から剥離することを効果的に防止することができる。
In this embodiment, since the
こうして、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０を介して、基板３５上に固定されている支持体３８上に積層された積層体ユニット２０の剥離層５上に、さらに、積層体ユニット２０が積層される。
In this way, on the
図１５は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。
FIG. 15 is a schematic partial cross-sectional view illustrating a fourth step of the stacking process of the
次いで、図１５に示されるように、セラミックグリーンシート２上に転写された接着層１０の表面が、基板３５に固定された支持体３８に接着された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接触するように、新たな積層体ユニット２０が位置決めされて、新たな積層体ユニット２０の支持シート４が、プレス機などによって、加圧される。
Next, as shown in FIG. 15, the surface of the
その結果、新たな積層体ユニット２０が、セラミックグリーンシート２上に形成された接着層１０を介して、基板３５上に固定されている支持体３８上に接着された積層体ユニット２０上に、積層される。
As a result, a
積層体ユニット２０を作製する過程で、積層体ユニット２０の支持シート４に皺が形成された場合には、積層体ユニット２０を、基板３５上に固定された支持体３８上に積層するために、プレス機などによって、積層体ユニット２０の支持シート４が加圧されたときに、支持シート４の皺が、剥離層５の表面に転写され、さらに、支持体３８上に積層された積層体ユニット２０の剥離層５上に、別の積層体ユニット２０を積層するために、プレス機などによって、積層体ユニット２０の支持シート４が加圧されたときに、支持体３８上に積層された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された皺が、積層すべき積層体ユニット２０の接着層１０やセラミックグリーンシート２の表面に転写されて、多数の積層体ユニット２０を積層する際に、剥離層５や、接着層１０あるいはセラミックグリーンシート２の表面に転写された皺に、エアが保持されるため、多数の積層体ユニット２０を、所望のように、積層して、積層コンデンサを作製することが困難なるが、本実施態様においては、図５および図６に示された転写装置を用いて、接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図７および図８に示された転写装置を用いて、セラミックグリーンシート２を、接着層１０の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図９および図１０に示された転写装置を用いて、接着層１０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写する際に、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、支持シート４の温度が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上にならないように制御し、支持シート４に、皺が生じることが効果的に防止されているから、多数の積層体ユニット２０を、所望のように、積層して、積層コンデンサを作製することができる。
In the process of manufacturing the
図１６は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第五のステップを示す略一部断面図である。
FIG. 16 is a schematic partial cross-sectional view showing a fifth step of the stacking process of the
新たな積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、基板３５上に固定されている支持体３８上に接着された積層体ユニット２０上に、積層されると、図１６に示されるように、新たに積層された積層体ユニット２０の支持シート４が、積層体ユニット２０の剥離層５から剥離される。
When a
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、支持シート４のみを、積層体ユニット２０の剥離層５から、確実に剥離することが可能になる。
In this embodiment, the
同様にして、積層体ユニット２０が、次々に積層されて、所定の数の積層体ユニット２０が、基板３５に固定された支持体３８上に積層されて、積層体ブロックが作製される。
Similarly, the
所定の数の積層体ユニット２０が、基板３５に固定されている支持体３８上に積層されて、積層体ブロックが作製されると、基板３５に固定されている支持体３８上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層された積層体ブロックが、積層セラミックコンデンサの外層上に積層される。
When a predetermined number of the
図１７は、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。
FIG. 17 is a schematic partial cross-sectional view showing a first step of a lamination process in which a laminated body block 50 laminated on a
図１７に示されるように、まず、多数の孔４１が形成された基台４０上に、接着層４２が形成された外層４３がセットされる。 As shown in FIG. 17, first, an outer layer 43 in which an adhesive layer 42 is formed is set on a base 40 in which a large number of holes 41 are formed.
外層４３は、基台４０に形成された多数の孔４１を介して、エアにより吸引され、基台４０上の所定の位置に固定される。
The outer layer 43 is sucked by air through a large number of holes 41 formed in the
次いで、図１７に示されるように、多数の孔３６を介して、エアにより吸引され、基板３５上の所定の位置に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０が、最後に積層された積層体ユニット２０の剥離層５の表面が、外層４３上に形成された接着層４２の表面に接触するように、位置決めされる。
Next, as shown in FIG. 17, the laminated body block 50 laminated on the
次いで、エアによる支持体３８の吸引が停止されて、基板３５が、積層体ブロック５０を支持している支持体３８から取り去られる。
Next, the suction of the
基板３５が、支持体３８から取り去られると、プレス機などによって、支持体３８が加圧される。
When the
その結果、積層体ブロック５０が、接着層４２を介して、基台４０上に固定された外層４３上に接着されて、積層される。
As a result, the laminated body block 50 is bonded and laminated on the outer layer 43 fixed on the
図１８は、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。
FIG. 18 is a schematic partial cross-sectional view showing a second step of the lamination process in which the laminated body block 50 laminated on the
積層体ブロック５０が、接着層４２を介して、基台４０上に固定された外層４３上に接着されて、積層されると、図１８に示されるように、支持体３８が、積層体ブロック５０の接着層１０から剥離される。
When the laminated body block 50 is adhered and laminated on the outer layer 43 fixed on the
こうして、接着層４２を介して、基台４０上に固定されている外層４３上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層された積層体ブロック５０が積層される。
Thus, the laminated body block 50 in which a predetermined number of
接着層４２を介して、基台４０上に固定されている外層４３上に、積層体ブロック５０が積層されると、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０の最上の積層体ユニット２０の接着層１０上に、さらに、図１２ないし図１６に示されたステップにしたがって、基板３５に固定されている支持体３８上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層されて、作製された新たな積層体ブロック５０が積層される。
When the laminated body block 50 is laminated on the outer layer 43 fixed on the
図１９は、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。
FIG. 19 is a schematic partial cross-sectional view showing a third step of the lamination process in which the laminated body block 50 laminated on the
図１９に示されるように、多数の孔３６を介して、エアにより吸引され、基板３５上の所定の位置に固定されている支持体３８上に新たに積層された積層体ブロック５０が、最後に積層された積層体ユニット２０の剥離層５の表面が、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０の最上の積層体ユニット２０の接着層１０の表面に接触するように、位置決めされる。
As shown in FIG. 19, the laminated body block 50 newly sucked on the
次いで、エアによる支持体３８の吸引が停止されて、基板３５が、積層体ブロック５０を支持している支持体３８から取り去られる。
Next, the suction of the
基板３５が、支持体３８から取り去られると、プレス機などによって、支持体３８が加圧される。
When the
その結果、新たに積層された積層体ブロック５０が、接着層１０を介して、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０に接着されて、積層される。
As a result, the newly laminated laminate block 50 is bonded and laminated to the laminate block 50 laminated on the outer layer 43 fixed on the
図２０は、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。
FIG. 20 is a schematic partial cross-sectional view showing the fourth step of the lamination process in which the laminated body block 50 laminated on the
新たに積層された積層体ブロック５０が、接着層１０を介して、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０に接着されて、積層されると、図２０に示されるように、支持体３８が、新たに積層された積層体ブロック５０の接着層１０から剥離される。
When the newly laminated laminate block 50 is bonded and laminated to the laminate block 50 laminated on the outer layer 43 fixed on the
こうして、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０上に、接着層１０を介して、新たに積層された積層体ブロック５０が接着されて、積層される。
Thus, the newly laminated laminate block 50 is bonded and laminated on the laminate block 50 laminated on the outer layer 43 fixed on the
同様にして、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０が、次々に積層されて、所定の数の積層体ブロック５０、したがって、所定の数の積層体ユニット２０が、積層セラミックコンデンサの外層４３上に積層される。
Similarly, the laminated body blocks 50 laminated on the
こうして、積層セラミックコンデンサの外層４３上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層されると、他方の外層（図示せず）が、接着層を介して、接着されて、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体が作成される。
Thus, when a predetermined number of
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層体を作製する積層プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。
In this embodiment, the
次いで、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体が、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。
Next, the multilayer body including the predetermined number of
こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。 The ceramic green chip thus produced is placed in a reducing gas atmosphere, the binder is removed, and the ceramic green chip is further fired.
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、セラミックグリーンチップの焼成プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。
In this embodiment, the
次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。 Next, necessary external electrodes and the like are attached to the fired ceramic green chip to produce a multilayer ceramic capacitor.
本実施態様によれば、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とは、接着層１０を介して、接着され、従来のように、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７に含まれているバインダの粘着力や、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を利用して、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着してはいないから、たとえば、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの低い圧力で、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着することができる。
According to this embodiment, the ceramic
したがって、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を防止することが可能になるから、こうして得られたセラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の積層体を積層して、積層セラミックコンデンサを作製する際の積層精度を向上させることが可能になる。
Therefore, since it becomes possible to prevent the deformation of the ceramic
また、本実施態様によれば、支持シート４上に形成された電極層６が乾燥した後に、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２の表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシート２の表面に、電極ペーストを印刷して、電極層６を形成する場合のように、電極ペーストが、セラミックグリーンシート２に含まれているバインダを溶解させ、あるいは、膨潤させることがなく、また、電極ペーストがセラミックグリーンシート２中に染み込むこともなく、所望のように、セラミックグリーンシート２の表面に、電極層６を形成することが可能になる。
Moreover, according to this embodiment, since the
さらに、接着層１０から、支持シート９を剥離する際、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層１０が、支持シート９に引き付けられ、所望のように、支持シート９を、接着層１０から剥離することが困難になることがあるが、本実施態様によれば、接着層１０が、バインダに対して、０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるから、静電気の発生を、効果的に防止することが可能になる。
Further, when the
また、本実施態様によれば、支持シート９に形成された接着層１０を、支持シート４に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する際に、電極層６およびスペーサ層７が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７の接着強度を向上させることが可能になる。
Further, according to this embodiment, when the
さらに、本実施態様によれば、支持シート１に形成されたセラミックグリーンシート２を、電極層６およびスペーサ層７の表面に転写された接着層１０の表面に転写する際に、接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。
Furthermore, according to this embodiment, when the ceramic
また、本実施態様によれば、支持シート９に形成された接着層１０を、支持シート４に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写する際に、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０と積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着強度を向上させることが可能になる。
Further, according to this embodiment, when the
したがって、積層体ユニット２０を作製する過程で、積層体ユニット２０の支持シート４に皺が形成された場合には、積層体ユニット２０を、基板３５上に固定された支持体３８上に積層するために、プレス機などによって、積層体ユニット２０の支持シート４が加圧されたときに、支持シート４の皺が、剥離層５の表面に転写され、さらに、支持体３８上に積層された積層体ユニット２０の剥離層５上に、別の積層体ユニット２０を積層するために、プレス機などによって、積層体ユニット２０の支持シート４が加圧されたときに、支持体３８上に積層された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された皺が、積層すべき積層体ユニット２０の接着層１０やセラミックグリーンシート２の表面に転写されて、多数の積層体ユニット２０を積層する際に、剥離層５や、接着層１０あるいはセラミックグリーンシート２の表面に転写された皺に、エアが保持されるため、多数の積層体ユニット２０を、所望のように、積層して、積層コンデンサを作製することが困難なるが、本実施態様によれば、積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート４に、皺が生じることが効果的に防止されているから、多数の積層体ユニット２０を、所望のように、積層して、積層コンデンサを作製することができる。
Therefore, when a ridge is formed on the
さらに、本実施態様によれば、電極層６および電極層６よりも密度が小さく、圧縮率が高いスペーサ層７が、ｔｓ／ｔｅ＝１．１を満たすように形成されているから、セラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、電極層６およびスペーサ層７上に転写する際に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、スペーサ層７が圧縮されて、スペーサ層７のみならず、電極層６も、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２の表面に確実に接着され、したがって、剥離層５から、支持シート４を剥離するときに、電極層６が、第二の支持シート４とともに、セラミックグリーンシート２から剥離することを効果的に防止することができる。
Furthermore, according to the present embodiment, since the
また、本実施態様によれば、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とスペーサ層７との接着性を向上させることができ、接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７の表面に接着させた後、支持シート９を、接着層１０から剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０が電極層６およびスペーサ層７から剥離することを確実に防止することが可能になる。
In addition, according to the present embodiment, the
さらに、本実施態様によれば、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性および接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、セラミックグリーンシート２を接着層１０に接着させた後に、セラミックグリーンシート２から、支持シート１を剥離する際に、セラミックグリーンシート２が、支持シート１とともに、接着層１０から剥離することを確実に防止することが可能になる。
Furthermore, according to this embodiment, the
また、本実施態様によれば、接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、接着層１０をセラミックグリーンシート２に接着させた後に、接着層１０から支持シート９を剥離する際に、接着層１０が、支持シート９とともに、セラミックグリーンシート２から剥離することを確実に防止することが可能になる。
Further, according to the present embodiment, the
さらに、本実施態様によれば、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ユニット２０を積層する際に、支持シート４のみを、積層体ユニット２０の剥離層５から、確実に剥離することが可能になる。
Furthermore, according to the present embodiment, the
また、本実施態様によれば、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層体を作製する積層プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。
Further, according to this embodiment, the
さらに、本実施態様によれば、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、セラミックグリーンチップの焼成プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。
Furthermore, according to the present embodiment, the
また、本実施態様によれば、接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させるように構成されているから、その表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４を、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート４の表面に付着することがなく、したがって、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを、接着層１０を介して、接着して、積層体ユニットを作製する転写装置を、支持シート４の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。
Moreover, according to this embodiment, since the
さらに、図５、図７および図９に示されるように、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置および積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置は、同一の構成を有しているから、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写するステップ、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写するステップおよび積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するステップを、一つの転写装置を用いて、実行することができ、したがって、製造設備のスペースを大幅に縮小させることが可能になる。
Furthermore, as shown in FIGS. 5, 7, and 9, transfer is performed to transfer the
また、本実施態様によれば、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１２を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。
Further, according to the present embodiment, the surface of the
図２１は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法に用いられる転写装置の略断面図である。 FIG. 21 is a schematic cross-sectional view of a transfer device used in a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to another preferred embodiment of the present invention.
本実施態様にかかる転写装置は、図７に示された転写装置によって作製され、支持シート４の表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写し、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、中間シートを付着させて、巻き取るように構成されている。
The transfer device according to this embodiment is manufactured by the transfer device shown in FIG. 7, and the
図２１に示されるように、本実施態様にかかる転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４とを備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置および図９に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 21, the transfer device according to this embodiment includes a
支持シート４の表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート４が巻回されたローラがセットされる。
The adhesive layer of the
さらに、中間シート１９が巻回された中間シート繰り出しローラ２１が転写装置にセットされる。
Further, an intermediate
中間シート１９は、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、セラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０が転写された積層体ユニット２０を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１１が支持シート４の表面に接着することを防止するものであり、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。
The
次いで、第一の繰り出しローラ１２から、接着シート１１が繰り出され、シート蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
Next, the
第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート４が繰り出される。
In synchronization with the feeding of the
第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート４は、シートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂおよび２３ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４および積層体ユニット２０が予熱される。
The tension of the
図２１に示された転写装置においては、支持シート４に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱することによって、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着強度の向上が図られている。
In the transfer apparatus shown in FIG. 21, the
すなわち、図２１に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
In other words, in the transfer device shown in FIG. 21, the temperature of the
支持シート９および予熱器２４を通過した支持シート４は、それぞれ、支持シート９が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
The
接着層１０を、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。
When the
図２２は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 22 is a schematic enlarged sectional view of the vicinity of the
図２１および図２２に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。
In the transfer device shown in FIGS. 21 and 22, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート４および表面に、接着層１０が形成された支持シート９の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the
図２２に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、その表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート４は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。
As shown in FIG. 22, the
その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体ユニット２０のグリーンシート２の表面に接着される。
As a result, the
図２１および図２２に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、セラミックグリーンシート２が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２の接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer apparatus shown in FIGS. 21 and 22, the temperature of the
図２２に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、支持シート９が、セラミックグリーンシート２の表面に接着した接着層１０から剥離される。
As shown in FIG. 22, the
接着層１０から、支持シート９を剥離する際、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層１０が、支持シート９に引き付けられ、所望のように、支持シート９を、接着層１０から剥離することが困難になることがあるが、本実施態様においては、接着層１０が、バインダに対して、０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるから、静電気の発生を効果的に防止することが可能になる。
When the
接着層１０から剥離された支持シート９は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
The
一方、セラミックグリーンシート２の表面に接着層１０が転写された支持シート４は、図２２に示されるように、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。
On the other hand, the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、接着層１０がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
次いで、図２１に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、支持シート４上に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が、この順に積層された積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。
Next, as shown in FIG. 21, the
本実施態様においては、接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、接着層１０をセラミックグリーンシート２の表面に接着させた後に、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０がセラミックグリーンシート２から剥離することを確実に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the
また、本実施態様においても、中間シート１９は、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。
Also in this embodiment, the
このように、本実施態様においては、接着層１０の表面に、中間シート１９が付着された後に、支持シート４上に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が、この順に積層された積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られるように構成されているから、接着層１０が積層体ユニット２０の支持シート４に接着することがない。
Thus, in this embodiment, after the
こうして、支持シート４上に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が、この順に積層されて、形成された積層体ユニット２０の表面に、接着層１０が転写され、接着層１０の表面に、中間シート１９が付着されて、形成された積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。
Thus, the
一方、こうして作製された積層体とは別に、支持シート１上に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が、この順に積層されて、別の積層体ユニット２０が作製される。
On the other hand, separately from the laminate thus produced, the ceramic
支持シート１上に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が、この順に積層された積層体ユニット２０を作製するにあたっては、まず、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０が転写される。
In producing the
図２３は、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置の略断面図である。
FIG. 23 is a schematic cross-sectional view of a transfer device that transfers the
図２３に示されるように、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５と、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４とを備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置および図２１に示された転写装置を同一の構成を有している。
As shown in FIG. 23, the transfer device that transfers the
支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写するにあたっては、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が巻回されたローラがセットされる。
In transferring the
さらに、中間シート１９が巻回された中間シート繰り出しローラ２１が転写装置にセットされる。
Further, an intermediate
中間シート１９は、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、接着層１０がセラミックグリーンシート２の表面に転写された支持シート１を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１０が支持シート１の表面に接着することを防止するものであり、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。
The
支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２から、接着シート１１が繰り出され、シート蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
In transferring the
第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が繰り出される。
In synchronization with the feeding of the
第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート１は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート１およびセラミックグリーンシート２が予熱される。
The tension of the
図２３に示された転写装置においては、支持シート１に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１が支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱することによって、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着強度の向上が図られている。
In the transfer apparatus shown in FIG. 23, the
すなわち、図２３に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the transfer device shown in FIG. 23, the temperature of the
接着シート１１および予熱器２４を通過した支持シート１は、それぞれ、支持シート９が上方の第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート１が下方の第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に送られる。
The
接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。
When the
図２４は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 24 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図２３および図２４に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the transfer apparatus shown in FIGS. 23 and 24, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１および表面に、接着層１０が形成された支持シート９の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the
図２４に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、セラミックグリーンシート２の表面が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。
As shown in FIG. 24, the
その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に接着される。
As a result, the
図２３および図２４に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、セラミックグリーンシート２が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２の接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer device shown in FIGS. 23 and 24, the temperature of the
一方、図２４に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、支持シート９が、セラミックグリーンシート２の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
On the other hand, as shown in FIG. 24, the
接着層１０から、支持シート９を剥離する際、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層１０が、支持シート９に引き付けられ、所望のように、支持シート９を、接着層１０から剥離することが困難になることがあるが、本実施態様においても、接着層１０が、バインダに対して、０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるから、静電気の発生を効果的に防止することが可能になる。
When the
こうして、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０が接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図２３に示されるように、支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。
In this way, when the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート１の両縁部を支持しつつ、支持シート１を搬送可能に構成されているから、接着層１０がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
次いで、図２３に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。
Next, as shown in FIG. 23, the
本実施態様においては、接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、接着層１０をセラミックグリーンシート２の表面に接着させた後に、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０がセラミックグリーンシート２から剥離することを確実に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the
また、本実施態様においても、中間シート１９は、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を、所望のように、接着層１０の表面に付着させることができる。
Also in this embodiment, the
このように、本実施態様においては、接着層１０の表面に、中間シート１９が付着された後に、その表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート１が、第二の巻き取りローラ１８に巻き取られるように構成されているから、接着層１０が支持シート１に接着することがない。
Thus, in this embodiment, after the
次いで、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写される。
Next, the
図２５は、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置の略断面図である。
FIG. 25 shows a transfer in which the
図２５に示されるように、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート１のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４とを備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置および図２３に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 25, the
支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が巻回されたローラが、転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート１が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、転写装置にセットされる。
In transferring the
次いで、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート１が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。
Next, the
本実施態様においては、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。
In the present embodiment, the surface of the
中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート１、セラミックグリーンシート２および接着層１０からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃにより、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート１、セラミックグリーンシート２および接着層１０が予熱される。
The laminate composed of the
一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート１の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
On the other hand, in synchronization with the feeding of the supporting
図２５に示された転写装置においては、支持シート１に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１が支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接着強度の向上が図られている。
In the transfer device shown in FIG. 25, the
すなわち、図２５に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と、接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the transfer device shown in FIG. 25, the temperature of the
支持シート４および予熱器２４を通過した支持シート１は、それぞれ、支持シート４が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート１が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
The
図２６は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 26 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図２５および図２６に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と、接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the transfer device shown in FIGS. 25 and 26, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
表面に、セラミックグリーンシート２および接着層１０が積層された支持シート１および表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the
図２６に示されるように、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４は、支持シート４に加えられる引張り力によって、支持シート４が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、表面に、セラミックグリーンシート２および接着層１０が積層された支持シート１は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、接着層１０の表面が、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。
As shown in FIG. 26, the
その結果、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着され、その一方で、図２６に示されるように、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート４が、セラミックグリーンシート２の表面に接着した電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５から剥離される。
As a result, the
図２５および図２６に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と、接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer device shown in FIGS. 25 and 26, the temperature of the
電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５から剥離された支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
The
一方、接着層１０を介して、電極層６およびスペーサ層７がセラミックグリーンシート２の表面に接着した支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。
On the other hand, the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート１の両縁部を支持しつつ、支持シート１を搬送可能に構成されているから、剥離層５がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
さらに、本実施態様においては、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、電極層６およびスペーサ層７が接着層１０に接着された後に、剥離層５から、支持シート４を剥離する際に、支持シート４とともに、電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５が、接着層１０から剥離することを確実に防止することが可能になる。
Further, in the present embodiment, the
また、本実施態様においては、接着層１０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート５２を付着させるように構成されているから、その表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０および中間シート５２が積層された支持シート１を、ローラ５４によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート１の表面に付着することがなく、したがって、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを、接着層１０を介して、接着して、積層体ユニットを作製する転写装置を、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。
Further, in the present embodiment, since the
さらに、本実施態様においては、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とは、接着層１０を介して、接着され、従来のように、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７に含まれているバインダの粘着力や、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を利用して、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着してはいないから、たとえば、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの低い圧力で、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着することができる。
Further, in the present embodiment, the ceramic
したがって、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を防止することが可能になるから、こうして得られたセラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の積層体を積層して、積層セラミックコンデンサを作製する際の積層精度を向上させることが可能になる。
Therefore, since it becomes possible to prevent the deformation of the ceramic
また、本実施態様においては、電極層６および電極層６よりも密度が小さく、圧縮率が高いスペーサ層７が、ｔｓ／ｔｅ＝１．１となるように形成されているから、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２上に転写する際に、加圧によって、スペーサ層７が圧縮され、接着層１０を介して、電極層６およびスペーサ層７と、セラミックグリーンシート２とを確実に接着させることができ、したがって、剥離層５から、支持シート４を剥離するときに、電極層６が、支持シート４とともに、剥離することを確実に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the
さらに、本実施態様においては、支持シート４上に、形成された電極層６が乾燥した後に、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２の表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシート２の表面に、電極ペーストを印刷して、電極層６を形成する場合のように、電極ペーストが、セラミックグリーンシート２に含まれているバインダを溶解させ、あるいは、膨潤させることがなく、また、電極ペーストがセラミックグリーンシート２中に染み込むこともなく、所望のように、セラミックグリーンシート２の表面に、電極層６を形成することが可能になる。
Furthermore, in this embodiment, since the
以上のようにして、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着され、電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５から、支持シート４が剥離された後、その表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された支持シート１が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。
As described above, the
こうして、支持シート１の表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された積層体ユニット２０が作製される。
In this way, a
次いで、こうして作製された積層体ユニット２０が、図２１および図２２に示された転写装置によって、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２上に転写された接着層１０に、接着されて、２つの積層体ユニット２０が積層され、積層体ユニットセットが作製される。
Next, the
図２７は、図２１および図２２に示された転写装置によって、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２上に転写された接着層１０に、図２５および図２６に示された転写装置によって作製された別の積層体ユニット２０を接着して、２つの積層体ユニット２０を積層し、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製する積層装置の略断面図である。
FIG. 27 is produced by the transfer device shown in FIGS. 25 and 26 on the
図２７に示されるように、積層装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置および図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置および図２５に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 27, the laminating apparatus includes a
図２１および図２２に示された転写装置によって、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２上に転写された接着層１０に、図２５および図２６に示された転写装置によって作製され、支持シート１上に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された別の積層体ユニット２０を接着して、２つの積層体ユニット２０を積層し、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製するにあたっては、第一の繰り出しローラ１２として、図２５および図２６に示された転写装置によって作製され、支持シート１上に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された新たに積層すべき積層体ユニット２０が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、図２１および図２２に示された転写装置によって、作製され、支持シート４上に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が積層された積層体が巻回されたローラが、積層装置にセットされる。
The transfer sheet shown in FIGS. 21 and 22 is used to produce the
次いで、第二の繰り出しローラ１３から、図２１および図２２に示された転写装置によって、作製され、支持シート４上に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が積層された積層体が繰り出されて、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。
Next, a laminate in which the
本実施態様においては、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。
In the present embodiment, the surface of the
中間シート１９が接着層１０から剥離された積層体ユニット２０を含む積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４、積層体ユニット２０および接着層１０が予熱される。
The laminated body including the
一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート４の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、支持シート１と、その上に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａにより、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
On the other hand, in synchronization with the feeding of the
図２７に示された積層装置においては、支持シート４に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、剥離層５と接着層１０の接着強度の向上が図られている。
In the laminating apparatus shown in FIG. 27, the
すなわち、図２７に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the laminating apparatus shown in FIG. 27, the temperature of the
支持シート１および新たに積層すべき積層体ユニット２０からなる積層体ならびに予熱器２４を通過した支持シート４、積層体ユニット２０および接着層１０が積層された積層体は、それぞれ、支持シート１が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
A laminate comprising the
図２８は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 28 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図２７および図２８に示された積層装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the laminating apparatus shown in FIGS. 27 and 28, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
支持シート１および新たに積層すべき積層体ユニット２０からなる積層体ならびに支持シート４、積層体ユニット２０および接着層１０からなる積層体の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the laminate composed of the
図２８に示されるように、支持シート１および新たに積層すべき積層体ユニット２０からなる積層体は、支持シート１に加えられる引張り力によって、支持シート１が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、支持シート４、積層体ユニット２０および接着層１０からなる積層体は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、接着層を介して、セラミックグリーンシート２が、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。
As shown in FIG. 28, the laminate composed of the
その結果、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５が接着されて、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０上に、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０が積層され、その一方で、図２８に示されるように、支持シート１は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート１が、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着した積層体ユニット２０から剥離される。
As a result, the
図２７および図２８に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、剥離層５と接着層１０の接着強度を向上させることが可能になる。
27 and 28, the temperature of the
接着層１０に接着された積層体ユニット２０から剥離された支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
The
一方、接着層１０を介して、２つの積層体ユニット２０が積層された積層体ユニットセットが、その表面に形成された支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。
On the other hand, the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、セラミックグリーンシート２がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
さらに、本実施態様においては、接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることが可能になり、したがって、接着層１０にセラミックグリーンシート２を接着させた後、セラミックグリーンシート２から、支持シート１を剥離する際に、セラミックグリーンシート２が、支持シート１とともに、接着層１０から剥離することを、確実に防止することが可能になる。
Further, in the present embodiment, the
また、本実施態様においては、接着層１０を、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させるように構成されているから、その表面に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４を、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート４の表面に付着することがなく、したがって、積層体ユニット２０を積層する積層装置を、支持シート４の表面に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。
In the present embodiment, since the
次いで、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと全く同様にして、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写される。
Next, the ceramic
図２９は、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する転写装置の略断面図である。
FIG. 29 is a schematic cross-sectional view of a transfer device that transfers the
図２９に示されるように、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置および図２７に示された積層装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 29, the transfer device for transferring the
支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体が巻回された第二の巻き取りローラ１８がセットされる。
In transferring the
次いで、第一の繰り出しローラ１２から、接着シート１１が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
Next, the
第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体が繰り出される。
In synchronism with the feeding of the
第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４および積層体ユニットセットが予熱される。
The laminate composed of the
図２９に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
In the transfer device shown in FIG. 29, the temperature of the
接着シート１１および予熱器２４を通過した支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、それぞれ、支持シート９が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
Each of the laminates including the
支持シート９に形成された接着層１０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。
When the
図３０は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 30 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図２９および図３０に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。
In the transfer apparatus shown in FIGS. 29 and 30, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体および接着シート１１の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the laminated body including the
図３０に示されるように、接着シート１１は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。
As shown in FIG. 30, the
その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着される。
As a result, the
図２９および図３０に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、セラミックグリーンシート２が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer device shown in FIGS. 29 and 30, the temperature of the
一方、図３０に示されるように、接着シート１１は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、支持シート９が、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
On the other hand, as shown in FIG. 30, the
支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図３０に示されるように、支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０からなる積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。
When the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、接着層１０がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
また、本実施態様においては、接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることが可能になり、したがって、セラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を接着させた後、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、接着層１０が、支持シート９とともに、セラミックグリーンシート２から剥離することを確実に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the
次いで、図２９に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。
Next, as shown in FIG. 29, the
さらに、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成され、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０の剥離層５が接着されて、３つの積層体ユニット２０が積層された積層体ユニットセットが、支持シート４上に形成される。
Further, the ceramic
図３１は、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成され、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を積層する積層装置の略断面図である。
FIG. 31 shows the ceramic
図３１に示されるように、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成され、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を積層する積層装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置および図２９に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 31, formed on the
支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成され、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を積層するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、支持シート１と、新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセット、接着層１０および中間シート１９よりなる積層体が巻回されたローラが、積層装置にセットされる。
Formed on the
次いで、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセット、接着層１０および中間シート１９よりなる積層体が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。
Next, a laminate including the
本実施態様においては、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。
In the present embodiment, the surface of the
中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４、積層体ユニットセットおよび接着層１０が予熱される。
The
一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート４の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、支持シート１と、新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａにより、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
On the other hand, in synchronism with the feeding of the
図３１に示された積層装置においては、支持シート４に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、剥離層５と接着層１０の接着強度の向上が図られている。
In the laminating apparatus shown in FIG. 31, the
すなわち、図３１に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the laminating apparatus shown in FIG. 31, the temperature of the
支持シート１と、新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体ならびに予熱器２４を通過した支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体は、それぞれ、支持シート１が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
A laminate comprising the
図３２は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 32 is a schematic enlarged sectional view of the vicinity of the
図３１および図３２に示された積層装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the laminating apparatus shown in FIGS. 31 and 32, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
支持シート１と、新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体ならびに支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the
図３２に示されるように、支持シート１と、新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体は、支持シート１に加えられる引張り力によって、支持シート１が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、接着層を介して、表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２が、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。
As shown in FIG. 32, the laminate composed of the
その結果、支持シート４上に形成された表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５が接着され、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットに、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０が積層され、その一方で、図３２に示されるように、支持シート１は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート１が、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着した積層体ユニット２０から剥離される。
As a result, the
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ユニット２０を積層する際に、支持シート１のみを、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２から、確実に剥離することが可能になる。
In this embodiment, the
図３１および図３２に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、剥離層５と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、剥離層５と接着層１０の接着強度を向上させることが可能になる。
In the laminating apparatus shown in FIGS. 31 and 32, the temperature of the
接着層１０に接着した積層体ユニット２０から剥離された支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
The
一方、接着層１０を介して、互いに積層された３つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットが、その表面に形成された支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。
On the other hand, the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、セラミックグリーンシート２がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
また、本実施態様においては、接着層１０を、積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させるように構成されているから、その表面に、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセット、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４を、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート４の表面に付着することがなく、したがって、積層体ユニット２０を積層して、積層体ユニットセットを作製する積層装置を、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。
In the present embodiment, since the
次いで、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと全く同様にして、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写される。
Next, the ceramic green sheet of the
さらに、支持シート４上に形成された積層体ユニットセット上への積層体ユニット２０の積層および積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面への接着層１０の転写が繰り返され、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットが、支持シート４上に形成されると、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０が転写された後、支持シート４が積層体ユニットセットから剥離され、さらに、裁断装置（図示せず）によって、積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロック５０が形成される。
Furthermore, the
こうして形成された積層体ブロック５０は、多数の孔３６が形成された基板３５上に固定された支持体３８上にセットされ、図１７ないし図２０と全く同様にして、積層セラミックコンデンサの外層上に、所定の数の積層体ブロック５０が積層されて、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体が形成される。
The multilayer block 50 thus formed is set on a
積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート４に皺が形成された場合には、多数の積層体ユニット２０を積層して、支持シート４上に、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ブロック５０を形成する際に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加えられる圧力によって、支持シート４に形成された皺が、剥離層５の表面に転写され、多数の積層体ブロック５０を積層する際に、積層体ブロック５０の剥離層５の表面に転写された皺に、エアが保持され、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層することが困難になるが、本実施態様においては、図５および図６に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図７および図８に示された転写装置を用いて、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７上に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図９および図１０に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図２１および図２２に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図２７および図２８に示された積層装置を用いて、支持シート１上に形成された積層すべき積層体ユニット２０を、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２上に転写された接着層１０に接着させて、２つの積層体ユニット２０を積層し、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図２９および図３０に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図３１および図３２に示された積層装置を用いて、支持シート１上に形成され、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２上に積層して、３つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定して、支持シート４の温度が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上にならないように制御し、支持シート４に、皺が生じることが効果的に防止されているから、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層コンデンサを作製することが可能になる。
When wrinkles are formed on the
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層体を作製する積層プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。
In this embodiment, the
次いで、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体が、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。
Next, the multilayer body including the predetermined number of
こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。 The ceramic green chip thus produced is placed in a reducing gas atmosphere, the binder is removed, and the ceramic green chip is further fired.
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、セラミックグリーンチップの焼成プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。
In this embodiment, the
次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。 Next, necessary external electrodes and the like are attached to the fired ceramic green chip to produce a multilayer ceramic capacitor.
本実施態様によれば、長尺状の支持シート４上に、積層体ユニット２０を次々に積層して、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロック５０を作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ユニット２０を１つづつ、積層して、積層体ブロック５０を作製する場合に比して、積層体ブロック５０の製造効率を大幅に向上させることが可能になる。
According to this embodiment, the
また、本実施態様によれば、支持シート９に形成された接着層１０を、支持シート４の表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写する際に、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０と積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の接着強度を向上させることが可能になる。
Further, according to this embodiment, the
さらに、本実施態様によれば、支持シート４上の積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、支持シート１上に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された別の積層体ユニット２０を接着して、２つの積層体ユニット２０を積層する際に、支持シート４上の積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０が、予熱器２４によって、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、新たに積層すべき積層体ユニット２０の剥離層５と、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、新たに積層すべき積層体ユニット２０の剥離層５と、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。
Furthermore, according to this embodiment, the ceramic
また、本実施態様によれば、接着シート１１の接着層１０を、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に転写する際に、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着シート１１の接着層１０と、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着シート１１の接着層１０と、積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２との接着強度を向上させることが可能になる。
Moreover, according to this embodiment, when the
さらに、本実施態様によれば、支持シート４上の積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート１上に形成された新たに積層されるべき積層体ユニット２０を積層する際に、積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、新たに積層されるべき積層体ユニット２０の剥離層５と、積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、新たに積層されるべき積層体ユニット２０の剥離層５と、積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。
Furthermore, according to the present embodiment, a new layer formed on the
したがって、積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート４に皺が形成された場合には、多数の積層体ユニット２０を積層して、支持シート４上に、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを形成する際に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加えられる圧力によって、支持シート４に形成された皺が、剥離層５の表面に転写され、多数の積層体ブロック５０を積層する際に、積層体ブロック５０の剥離層５の表面に転写された皺に、エアが保持され、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層することが困難になるが、本実施態様によれば、積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート４に、皺が生じることが効果的に防止されているから、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層コンデンサを作製することが可能になる。
Therefore, when a ridge is formed on the
また、本実施態様によれば、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を転写した後、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させているから、表面に、接着層１０が転写された積層体ユニット２０を備えた支持シート４を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取っても、接着層１０が支持シート４に接着することがなく、したがって、積層体ユニット２０を積層する積層装置を、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を転写する転写装置を並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。
In addition, according to the present embodiment, after the
さらに、図２１、図２３、図２５、図２７、図２９および図３１に示されるように、支持シート４の表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２上に転写された接着層１０に、別の積層体ユニット２０を接着して、２つの積層体ユニット２０を積層し、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製する積層装置、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する転写装置および支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成され、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を積層する積層装置は、同一の構成を有しているから、これらのステップを、一つの装置を用いて、実行することができ、したがって、製造設備のスペースを大幅に縮小させることが可能になる。
21, 23, 25, 27, 29, and 31, the
図３３は、本発明の他の好ましい実施態様にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法に用いられる転写装置の略断面図である。 FIG. 33 is a schematic cross-sectional view of a transfer device used in a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to another preferred embodiment of the present invention.
本実施態様にかかる転写装置は、図２１および図２２に示された転写装置によって作製された支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０上に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７を接着させた後に、剥離層５から、支持シート４を剥離して、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５よりなる積層体を作製し、積層体を巻き取るように構成されている。
The transfer device according to this embodiment includes a
図３３に示されるように、本実施態様にかかる転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５と、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置および図３１に示された積層装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 33, the transfer device according to this embodiment includes a
図２１および図２２に示された転写装置によって作製された支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０上に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７を接着させるにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が巻回されたローラが、転写装置にセットされる。
From the
次いで、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。
Next, the
本実施態様においては、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。
In the present embodiment, the surface of the
中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４、剥離層５、剥離層５、電極層６、スペーサ層７および接着層１０が予熱される。
A laminate comprising the
一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
On the other hand, the
図３３に示された転写装置においては、その表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体が形成された支持シート４に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接着強度の向上が図られている。
In the transfer apparatus shown in FIG. 33, a laminate comprising the
すなわち、図３３に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と、接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the transfer apparatus shown in FIG. 33, the temperature of the
表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４ならびに予熱器２４を通過した支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体は、それぞれ、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、積層体の支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
The
図３４は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 34 is a schematic enlarged sectional view of the vicinity of the
図３３および図３４に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と、接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the transfer device shown in FIGS. 33 and 34, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体と、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
A laminate comprising the
図３４に示されるように、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４は、支持シート４に加えられる引張り力によって、支持シート４が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給され、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０が、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
As shown in FIG. 34, the
その結果、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着され、一方で、図３４に示されるように、支持シート４は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート４が、剥離層５から剥離される。
As a result, the
図３３および図３４に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と、接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer device shown in FIGS. 33 and 34, the temperature of the
剥離層５から剥離された支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られ、一方、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着されて、形成された支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。
The
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、電極層６およびスペーサ層７がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
さらに、本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、支持シート４のみを、剥離層５から、確実に剥離することが可能になる。
Further, in the present embodiment, the
次いで、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写される。
Next, the
図３５は、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置の略断面図である。
FIG. 35 shows the
図３５に示されるように、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置および図３３に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 35, the
支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、積層装置にセットされる。
さらに、中間シート１９が巻回された中間シート繰り出しローラ１９ａが転写装置にセットされる。
Further, an intermediate sheet feeding roller 19a around which the
中間シート１９は、積層体の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、剥離層５の表面に、接着層１０が転写された積層体を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１１が支持シート４の表面に接着することを防止するものであり、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。
The
次いで、第一の繰り出しローラ１２から、接着シート１１が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
Next, the
第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体が繰り出される。
In synchronization with the feeding of the
第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５が予熱される。
図３５に示された転写装置においては、支持シート４に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、剥離層５を加熱することによって、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と剥離層５との接着強度の向上が図られている。
In the transfer apparatus shown in FIG. 35, the
すなわち、図３５に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the transfer apparatus shown in FIG. 35, the temperature of the
接着シート１１ならびに予熱器２４を通過した支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体は、それぞれ、支持シート９が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
支持シート９に形成された接着層１０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。
When the
図３６は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 36 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図３５および図３６に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the transfer apparatus shown in FIGS. 35 and 36, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
支持シート４、積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５からなる積層体ならびに接着シート１１の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the laminate including the
図３６に示されるように、接着シート１１は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給され、支持シート４、積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５からなる積層体は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体の表面の剥離層５が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
As shown in FIG. 36, the
その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体の表面の剥離層５の表面に接着される。
As a result, the
図３５および図３６に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、剥離層５が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer apparatus shown in FIGS. 35 and 36, the temperature of the
一方、図３６に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、その結果、支持シート９が、積層体の剥離層５の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
On the other hand, as shown in FIG. 36, the
本実施態様においては、スペーサ層７、接着層１０および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性および接着層１０と剥離層５との接着性を向上させることができ、したがって、積層体の剥離層５の表面に、接着層１０を接着した後、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０が積層体の剥離層５から剥離し、あるいは、積層体の電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５が、積層体の接着層１０から剥離することを確実に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the
支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体の剥離層５の表面に接着され、剥離層５の表面に接着した接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図３５に示されるように、接着層１０が転写された積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。
When the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、接着層１０がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
さらに、図３５に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。
Further, as shown in FIG. 35, the
さらに、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５および接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２が接着され、接着層１０に接着したセラミックグリーンシート２から、支持シート１が剥離されて、セラミックグリーンシート２が接着層１０の表面に転写される。
Furthermore, the
図３７は、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５および接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２を接着し、接着層１０に接着したセラミックグリーンシート２から、支持シート１を剥離して、セラミックグリーンシート２を接着層１０の表面に転写する転写装置の略断面図である。
FIG. 37 shows the
図３７に示されるように、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５および接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２を接着し、接着層１０に接着したセラミックグリーンシート２から、支持シート１を剥離して、セラミックグリーンシート２を接着層１０の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート１のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置、図３３に示された転写装置および図３５に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 37, the
支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５および接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２を接着するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が巻回されたローラが、転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、転写装置にセットされる。
次いで、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。
Next, from the
本実施態様においては、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。
In the present embodiment, the surface of the
中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５ならびに接着層１０からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃにより、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５および接着層１０が予熱される。
一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
On the other hand, the
図３７に示された転写装置においては、支持シート４に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０の接着強度の向上が図られている。
In the transfer device shown in FIG. 37, the
すなわち、図３７に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the transfer device shown in FIG. 37, the temperature of the
支持シート１および予熱器２４を通過した支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５ならびに接着層１０からなる積層体は、それぞれ、支持シート１が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
図３８は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 38 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図３７および図３８に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the transfer device shown in FIGS. 37 and 38, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
支持シート４、積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５および接着層１０からなる積層体ならびに表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
Supply speed of the
図３８に示されるように、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、支持シート１に加えられる引張り力によって、支持シート１が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給され、支持シート４、積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５および接着層１０からなる積層体は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、剥離層５の表面に転写された接着層１０が、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
As shown in FIG. 38, the
その結果、剥離層５の表面に転写された接着層１０に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が接着され、その一方で、図３８に示されるように、支持シート１は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート１が、接着層１０に接着したセラミックグリーンシート２から剥離される。
As a result, the ceramic
こうして、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットが作製される。
In this way, the two
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、支持シート１のみを、セラミックグリーンシート２から、確実に剥離することが可能になる。
In this embodiment, the
また、図３７および図３８に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が設定され、接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０の接着強度を向上させることが可能になる。
37 and FIG. 38, the temperature of the
接着層１０に接着したセラミックグリーンシート２から剥離された支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
The
一方、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットは、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。
On the other hand, two
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート１の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、セラミックグリーンシート２がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
さらに、本実施態様においては、接着層１０を、積層体の剥離層５の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させるように構成されているから、剥離層５の表面に、接着層１０が転写された積層体を第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート４の表面に付着することがなく、したがって、積層体の接着層１０に、セラミックグリーンシート２を転写する転写装置を、積層体の剥離層５の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。
Furthermore, in the present embodiment, since the
こうして、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に、さらに、接着シート１１の接着層１０が転写される。
In this way, the two
図３９は、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置の略断面図である。
In FIG. 39, two
図３９に示されるように、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置、図３３に示された転写装置、図３５に示された転写装置および図３７に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 39, two
支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットが巻回された第二の巻き取りローラ１８が、積層装置にセットされる。
A laminate in which two
さらに、中間シート１９が巻回された中間シート繰り出しローラ１９ａが転写装置にセットされる。
Further, an intermediate sheet feeding roller 19a around which the
中間シート１９は、積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０が転写された積層体ユニットセットを、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１１が支持シート４の表面に接着することを防止するものであり、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。
The
次いで、第一の繰り出しローラ１２から、支持シート９上に接着層１０が形成された接着シート１１が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
Next, the
第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体が繰り出される。
In synchronism with the feeding of the
第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４および２つの積層体ユニットセットが予熱される。
The laminated body composed of the laminated body unit set including the
図３９に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
In the transfer apparatus shown in FIG. 39, the temperature of the
接着シート１１および予熱器２４を通過した支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、それぞれ、支持シート９が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
Each of the laminates including the
支持シート９に形成された接着層１０を、積層体ユニットセットの表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。
When the
図４０は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 40 is a schematic enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
図３９および図４０に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。
In the transfer apparatus shown in FIGS. 39 and 40, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体および接着シート１１の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
The supply speed of the laminated body including the
図４０に示されるように、接着シート１１は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給され、支持シート４と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
As shown in FIG. 40, the
その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着される。
As a result, the
図３９および図４０に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定され、セラミックグリーンシート２が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer apparatus shown in FIGS. 39 and 40, the temperature of the
一方、図４０に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、その結果、支持シート９が、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
On the other hand, as shown in FIG. 40, the
本実施態様においては、接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることが可能になり、したがって、セラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を接着させた後、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、接着層１０が、支持シート９とともに、セラミックグリーンシート２から剥離することを確実に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the
支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図４０に示されるように、支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０からなる積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。
The
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、接着層１０がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
さらに、図３９に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、支持シート４、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。
Further, as shown in FIG. 39, the
さらに、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着され、次いで、剥離層５から支持シート４が剥離されて、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０上に、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が転写される。
Further, the support sheet is applied to the
図４１は、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７を接着し、次いで、剥離層５から支持シート４を剥離して、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０上に、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を転写する転写装置の略断面図である。
FIG. 41 shows the
図４１に示されるように、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７を接着し、次いで、剥離層５から支持シート４を剥離して、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０上に、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、予熱器２４を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置、図３３に示された転写装置、図３５に示された転写装置、図３７に示された転写装置および図３９に示された転写装置と同一の構成を有している。
As shown in FIG. 41, the adhesion transferred to the surface of the ceramic
支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７を接着するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０と、接着層１０の表面に付着された中間シート１９とからなる積層体が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、転写装置にセットされる。
On the
次いで、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０と、接着層１０の表面に付着された中間シート１９とからなる積層体が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。
Next, the two
本実施態様においては、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。
In the present embodiment, the surface of the
中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０とからなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、予熱器２４内に送られて、支持シート４、積層体ユニットセットおよび接着層１０が予熱される。
On the
一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０とからなる積層体の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が繰り出され、蛇行修正デバイス２２ａにより、必要に応じて、その幅方向の位置が調整される。
On the other hand, on the
図４１に示された転写装置においては、その表面に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０とからなる積層体が形成された支持シート４に接触する第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、予熱器２４により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、予熱器２４の温度条件が制御されており、それによって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０の接着強度の向上が図られている。
In the transfer apparatus shown in FIG. 41, two
すなわち、図４１に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、αおよび予熱器２４の温度条件は実験的に決定され、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。
That is, in the transfer apparatus shown in FIG. 41, the temperature of the
表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４と、予熱器２４を通過した支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０とからなる積層体は、それぞれ、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、積層体の支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
On the
図４２は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。
FIG. 42 is a schematic enlarged sectional view of the vicinity of the
図４１および図４２に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定されるとともに、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、かつ、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１およびαが、予熱器２４の温度条件とともに、設定されている。
In the transfer apparatus shown in FIGS. 41 and 42, as described above, the temperature of the
また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
The nip pressure between the
支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０とからなる積層体ならびに表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。
Two
図４２に示されるように、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４は、支持シート４に加えられる引張り力によって、支持シート４が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給され、一方、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０とからなる積層体は、支持シート４が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０が、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。
As shown in FIG. 42, the
その結果、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着され、一方で、図４２に示されるように、支持シート４は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート４が、剥離層５から剥離される。
As a result, the
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、支持シート４のみを、剥離層５から、確実に剥離することが可能になる。
In this embodiment, the
図４１および図４２に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）以下（ここに、αは、第一の加圧ローラ１５の温度がＴ１に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定されたときに、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能なように決定される。）に設定されるとともに、予熱器２４ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度、第二の加圧ローラ１６の温度および予熱器２４の温度条件が、設定され、接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０の接着強度を向上させることが可能になる。
In the transfer device shown in FIGS. 41 and 42, the temperature of the
剥離層５から剥離された支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。
The
一方、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着されて、形成された支持シート４、積層体ユニット２０、接着層１０、積層体ユニット２０、接着層１０、電極層５、スペーサ層７および剥離層５からなる積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。
On the other hand, the
本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、剥離層５がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the sheet tension adjusting roller 23e has a substantially H-shaped cross section along the longitudinal direction, and is configured to be able to transport the
さらに、図３５および図３６に示された転写装置を用いて、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと同様にして、支持シート４、積層体ユニット２０、接着層１０、積層体ユニット２０、接着層１０、電極層５、スペーサ層７および剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写され、図３７および図３８に示された転写装置を用いて、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を転写したのと同様にして、支持シート４、積層体ユニット２０、接着層１０、積層体ユニット２０、接着層１０、電極層５、スペーサ層７および剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に、さらに、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が転写されて、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む３つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットが作製され、図３９および図４０に示された転写装置を用いて、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと同様にして、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む３つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に、さらに、接着シート１１の接着層１０が転写される。
Furthermore, using the transfer device shown in FIGS. 35 and 36, the
さらに、同様にして、支持シート４上に形成された積層体ユニットセット上への積層体ユニット２０の積層および積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面への接着層１０の転写が繰り返され、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットが、支持シート４上に形成されると、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０が転写され、次いで、裁断装置（図示せず）によって、支持シート４および積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断され、積層体ブロック５０が形成される。
Further, in the same manner, the
こうして形成された積層体ブロック５０は、図１７ないし図２０と全く同様にして、多数の孔３６が形成された基板３５上に固定された支持体３８上にセットされ、積層セラミックコンデンサの外層上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層されて、積層体が形成される。
The laminated body block 50 formed in this way is set on a
積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート４に皺が形成された場合には、多数の積層体ユニット２０を積層して、支持シート４上に、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを形成する際に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加えられる圧力によって、支持シート４に形成された皺が、剥離層５の表面に転写され、多数の積層体ブロック５０を積層する際に、積層体ブロック５０の剥離層５の表面に転写された皺に、エアが保持され、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層することが困難になるが、本実施態様においては、図５および図６に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図７および図８に示された転写装置を用いて、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７上に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図９および図１０に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図２１および図２２に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図３３および図３４に示された転写装置を用いて、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０上に、支持シート４上に形成された電極層６、スペーサ層７および剥離層５を転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図３５および図３６に示された転写装置を用いて、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図３７および図３８に示された転写装置を用いて、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５および接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２を転写するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図３９および図４０に示された転写装置を用いて、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、図４１および図４２に示された転写装置を用いて、支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、支持シート４上に形成された電極層６、スペーサ層７および剥離層５を転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度をＴ１に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ１＋α）以下に設定して、支持シート４の温度が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上にならないように制御し、支持シート４に、皺が生じることが効果的に防止されているから、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層コンデンサを作製することが可能になる。
When wrinkles are formed on the
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層体を作製する積層プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。
In this embodiment, the
次いで、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体が、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。
Next, the multilayer body including the predetermined number of
こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。 The ceramic green chip thus produced is placed in a reducing gas atmosphere, the binder is removed, and the ceramic green chip is further fired.
本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、セラミックグリーンチップの焼成プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。
In this embodiment, the
次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。 Next, necessary external electrodes and the like are attached to the fired ceramic green chip to produce a multilayer ceramic capacitor.
本実施態様によれば、長尺状の支持シート４上に形成された積層体ユニット２０の表面上に、接着層１０の転写、電極層６、スペーサ層７および剥離層５の転写、接着層１０の転写ならびにセラミックグリーンシート２の転写を繰り返して、積層体ユニット２０を次々に積層して、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロック５０を作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ユニット２０を１つづつ、積層して、積層体ブロック５０を作製する場合に比して、積層体ブロック５０の製造効率を大幅に向上させることが可能になる。
According to this embodiment, the transfer of the
さらに、本実施態様によれば、支持シート４上の積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、支持シート４上に形成された電極層５、スペーサ層７および剥離層５を転写する際に、支持シート４上の積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、支持シート４上に形成された電極層５およびスペーサ層７と、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、支持シート４上に形成された電極層５およびスペーサ層７と、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。
Furthermore, according to this embodiment, the
また、本実施態様によれば、接着シート１１の接着層１０を、支持シート４の表面に形成された積層体の剥離層５の表面に転写する際に、支持シート４の表面に形成された積層体の剥離層５が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着シート１１の接着層１０と、支持シート４の表面に形成された積層体の剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着シート１１の接着層１０と、積層体の剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。
Moreover, according to this embodiment, when the
さらに、本実施態様によれば、支持シート４上に形成された積層体の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を転写する際に、積層体の剥離層５の表面に転写された接着層１０が、予熱器２４により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２と、積層体の剥離層５の表面に転写された接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２と、積層体の剥離層５の表面に転写された接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。
Furthermore, according to this embodiment, the ceramic
また、本実施態様によれば、接着シート１１の接着層１０を、支持シート４上に、接着層１０を介して、積層された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に転写する際に、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２が、予熱器２４によって、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着シート１１の接着層１０と、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着シート１１の接着層１０と、支持シート４の表面に形成された積層体ユニットセットのセラミックグリーンシート２との接着強度を向上させることが可能になる。
Further, according to this embodiment, the
さらに、本実施態様によれば、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、支持シート４上に、接着層１０を介して、積層された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットと、接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に転写する際に、支持シート４上に、接着層１０を介して、積層された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットと、接着層１０からなる積層体の接着層１０が、予熱器２４によって、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７と、支持シート４上に、接着層１０を介して、積層された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットと接着層１０からなる積層体の接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７と、支持シート４上に、接着層１０を介して、積層された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットと接着層１０からなる積層体の接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。
Furthermore, according to this embodiment, two laminates in which the
したがって、積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート４に皺が形成された場合には、多数の積層体ユニット２０を積層して、支持シート４上に、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを形成する際に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加えられる圧力によって、支持シート４に形成された皺が、剥離層５の表面に転写され、多数の積層体ブロック５０を積層する際に、積層体ブロック５０の剥離層５の表面に転写された皺に、エアが保持され、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層することが困難になるが、本実施態様によれば、積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート４に、皺が生じることが効果的に防止されているから、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層コンデンサを作製することが可能になる。
Therefore, when a ridge is formed on the
また、本実施態様によれば、積層体の表面に、接着層１０を転写した後、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させているから、表面に、接着層１０が転写された積層体を備えた支持シート４を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取っても、接着層１０が支持シート４に接着することがなく、したがって、積層体ユニット２０を積層する転写装置を、積層体の表面に、接着層１０を転写する転写装置を並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。
In addition, according to the present embodiment, since the
さらに、図３３、図３５、図３７、図３９、図４１に示されるように、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０上に、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を転写する転写装置、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７ならびに剥離層５からなる積層体の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む積層体ユニット２０、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５および接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２を転写する転写装置、支持シート４上に、それぞれ、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットの表面側に位置するセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置ならびに支持シート４上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を転写する転写装置は、同一の構成を有しているから、これらのステップを、一つの装置を用いて、実行することができ、したがって、製造設備のスペースを大幅に縮小させることが可能になる。
Furthermore, as shown in FIGS. 33, 35, 37, 39, and 41, a laminate including the
以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例および比較例を掲げる。 Hereinafter, examples and comparative examples will be given to clarify the effects of the present invention.
実施例
セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストの調製
以下の組成を有する誘電体粉末を調製した。
Example
Preparation of Dielectric Paste for Ceramic Green Sheet A dielectric powder having the following composition was prepared.
ＢａＴｉＯ３粉末（堺化学工業株式会社製：商品名「ＢＴ−０２」）
１００重量部
ＭｇＣＯ３ ０．７２重量部
ＭｎＯ ０．１３重量部
（Ｂａ０．６Ｃａ０．４）ＳｉＯ３ １．５重量部
Ｙ２Ｏ３ １．０重量部
こうして調製した誘電体粉末１００重量部に対して、以下の組成を有する有機ビヒクルを加え、ボールミルを用いて、２０時間にわたって、混合し、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製した。
BaTiO 3 powder (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd .: trade name “BT-02”)
100 parts by weight MgCO 3 0.72 parts by weight MnO 0.13 parts by weight (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 1.5 parts by weight Y 2 O 3 1.0 part by weight The dielectric powder thus prepared 100 parts by weight An organic vehicle having the following composition was added to the part, and mixed for 20 hours using a ball mill to prepare a dielectric paste for ceramic green sheets.
ポリビニルブチラール樹脂（バインダ） ６重量部
フタル酸ビス（２エチルヘキシル） ３重量部
（ＤＯＰ：可塑剤）
エタノール ７８重量部
ｎ−プロパノール ７８重量部
キシレン １４重量部
ミネラルスピリット ７重量部
分散剤 ０．７重量部
剥離層用の誘電体ペーストの調製
ＢａＴｉＯ３粉末（堺化学工業株式会社製：商品名「ＢＴ−０１」）を用いた以外は、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製したのと、全く同様にして、誘電体ペーストを調製し、エタノールと、プロパノールと、キシレンの混合溶液（混合比４２．５：４２．５：１５）によって、誘電体ペーストを希釈して、剥離層用の誘電体ペーストを調製した。
Polyvinyl butyral resin (binder) 6 parts by weight Bis (2-ethylhexyl)
Ethanol 78 parts by weight n-propanol 78 parts by weight Xylene 14 parts by
Preparation of Dielectric Paste for Release Layer Except for using BaTiO 3 powder (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd .: trade name “BT-01”), it is exactly the same as the dielectric paste for ceramic green sheet was prepared. The dielectric paste is prepared by diluting the dielectric paste with a mixed solution of ethanol, propanol and xylene (mixing ratio 42.5: 42.5: 15). Was prepared.
接着剤ペーストの調製
以下の組成を有する有機ビヒクルを調製し、得られた有機ビヒクルを、メチルエチルケトンによって、１０倍に希釈して、接着剤用のペーストを調製した。
Preparation of Adhesive Paste An organic vehicle having the following composition was prepared, and the obtained organic vehicle was diluted 10-fold with methyl ethyl ketone to prepare an adhesive paste.
ポリビニルブチラール樹脂（バインダ） １００重量部
フタル酸ビス（２エチルヘキシル） ５０重量部
（ＤＯＰ：可塑剤）
メチルエチルケトン ９００重量部
電極用のペーストの調製
１００重量部の平均粒径が０．２μｍのＮｉ粒子に対して、以下の組成の溶液を加え、ボールミルによって、２０時間にわたり、混合して、スラリーを得た。
Polyvinyl butyral resin (binder) 100 parts by weight Bis (2-ethylhexyl) phthalate 50 parts by weight (DOP: plasticizer)
900 parts by weight of methyl ethyl ketone
Preparation of Electrode Paste A solution having the following composition was added to 100 parts by weight of Ni particles having an average particle diameter of 0.2 μm and mixed by a ball mill for 20 hours to obtain a slurry.
ＢａＴｉＯ３粉末（堺化学工業株式会社製：商品名「ＢＴ−０１」）
２０重量部
有機ビヒクル ５８重量部
フタル酸ビス（２エチルヘキシル） ５０重量部
（ＤＯＰ：可塑剤）
ターピネオール ５重量部
分散剤 １重量部
アセトン ４５重量部
ここに、有機ビヒクルは、８重量部のポリビニルブチラール樹脂を、９２重量部のターピネオールに溶解して、調製した。
BaTiO 3 powder (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd .: trade name “BT-01”)
20 parts by weight Organic vehicle 58 parts by weight Bis (2-ethylhexyl) phthalate 50 parts by weight (DOP: plasticizer)
こうして得られたスラリーを、４０℃で、加熱し、攪拌して、余剰のアセトンを揮発させ、電極層用のペーストを調製した。 The slurry thus obtained was heated at 40 ° C. and stirred to volatilize excess acetone to prepare an electrode layer paste.
スペーサ層用の誘電体ペーストの調製
セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製するのに用いた誘電体粉末１００重量部に対して、以下の組成を有する溶液を加え、ボールミルを用いて、２０時間にわたり、混合して、スラリーを得た。
Preparation of Dielectric Paste for Spacer Layer A solution having the following composition was added to 100 parts by weight of dielectric powder used to prepare a dielectric paste for ceramic green sheet, and the ball paste was used for 20 hours. And mixed to obtain a slurry.
有機ビヒクル ７１重量部
フタル酸ビス（２エチルヘキシル） ５０重量部
（ＤＯＰ：可塑剤）
ターピネオール ５重量部
分散剤 １重量部
アセトン ６４重量部
ここに、有機ビヒクルは、８重量部のポリビニルブチラール樹脂を、９２重量部のターピネオールに溶解して、調製した。
Organic vehicle 71 parts by weight Bis (2-ethylhexyl) phthalate 50 parts by weight (DOP: plasticizer)
こうして得られたスラリーを、４０℃で、加熱し、攪拌して、余剰のアセトンを揮発させ、スペーサ層用のペーストを調製した。 The slurry thus obtained was heated at 40 ° C. and stirred to volatilize excess acetone to prepare a spacer layer paste.
セラミックグリーンシートの作製
ワイヤーバーコーターを用いて、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを塗布し、乾燥させ、１．０μｍの厚さのセラミックグリーンシートを作製した。
Production of Ceramic Green Sheet Using a wire bar coater, a dielectric paste for ceramic green sheet was applied to the surface of the first polyethylene terephthalate film and dried to produce a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm. .
剥離層、電極層およびスペーサ層の形成
ワイヤーバーコーターを用いて、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、剥離層用の誘電体ペーストを塗布して、乾燥させ、０．２μｍの厚さの剥離層を形成した。
Formation of Release Layer, Electrode Layer, and Spacer Layer Using a wire bar coater, the surface of the second polyethylene terephthalate film is coated with a dielectric paste for release layer, dried, and peeled off to a thickness of 0.2 μm. A layer was formed.
こうして形成された剥離層の表面に、スクリーン印刷法を用いて、所定のパターンで、電極層用のペーストを印刷し、１．０μｍの厚さの電極層を形成した。 On the surface of the release layer thus formed, an electrode layer paste was printed in a predetermined pattern using a screen printing method to form an electrode layer having a thickness of 1.0 μm.
次いで、電極層が形成されていない剥離層の表面に、スクリーン印刷法を用いて、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層用の誘電体ペーストを印刷して、１．２μｍの厚さのスペーサ層を形成した。 Next, a dielectric paste for the spacer layer is printed on the surface of the release layer where the electrode layer is not formed using a screen printing method in a pattern complementary to the electrode layer. A spacer layer was formed.
接着層の形成
第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの両表面に、シリコン樹脂を塗布して、剥離性改善処理を施した後、ワイヤーバーコーターを用いて、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、接着剤ペーストを塗布し、０．１μｍの厚さの接着層を形成した。
Formation of adhesive layer After applying a silicone resin to both surfaces of the third polyethylene terephthalate film and performing a peelability improving treatment, an adhesive is applied to the surface of the third polyethylene terephthalate film using a wire bar coater. The paste was applied to form an adhesive layer having a thickness of 0.1 μm.
接着層の転写
図５および図６に示された転写装置を用いて、電極層およびスペーサ層の表面に、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に形成された接着層を接着し、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離して、電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した。
Transfer of Adhesive Layer Using the transfer device shown in FIGS. 5 and 6, the adhesive layer formed on the surface of the third polyethylene terephthalate film is bonded to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer, and the third polyethylene The terephthalate film was peeled off, and the adhesive layer was transferred to the surfaces of the electrode layer and the spacer layer.
予熱器としては、接着層と電極層およびスペーサ層が接触すべき位置から、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムの搬送経路に沿って、２０ｃｍだけ上流側に配置された遠赤外線ヒータを用いた。 As the preheater, a far-infrared heater disposed 20 cm upstream from the position where the adhesive layer, the electrode layer, and the spacer layer should contact each other along the transport path of the second polyethylene terephthalate film was used.
また、第一の加圧ローラの温度は１００℃に、第二の加圧ローラの温度は８５℃に、予熱器である遠赤外線ヒータの加熱温度は８０℃に、それぞれ、設定した。 The temperature of the first pressure roller was set to 100 ° C., the temperature of the second pressure roller was set to 85 ° C., and the heating temperature of the far-infrared heater as a preheater was set to 80 ° C.
第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラのニップ圧力は、１ＭＰａであった。 The nip pressure between the first pressure roller and the second pressure roller was 1 MPa.
このとき、接着層の表面の中央部および両縁部に、サーモラベルを貼着し、接着層と、電極層およびスペーサ層との接触面の温度を測定したところ、８０℃であった。 At this time, when the thermolabel was stuck on the center part and both edges of the surface of the adhesive layer, and the temperature of the contact surface between the adhesive layer, the electrode layer and the spacer layer was measured, it was 80 ° C.
電極層およびスペーサ層の表面へのセラミックグリーンシートの転写
図７および図８に示された転写装置を用いて、電極層およびスペーサ層の表面に形成された接着層を介して、電極層およびスペーサ層と、セラミックグリーンシートを接着するとともに、セラミックグリーンシートから、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した。
Transfer of Ceramic Green Sheet to Surface of Electrode Layer and Spacer Layer Using the transfer device shown in FIGS. 7 and 8, the electrode layer and the spacer are passed through an adhesive layer formed on the surface of the electrode layer and the spacer layer. The layer and the ceramic green sheet were bonded together, and the first polyethylene terephthalate film was peeled from the ceramic green sheet.
第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラのニップ圧力は５ＭＰａで、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの温度、予熱器の温度は、接着層の転写時と同様に設定した。 The nip pressure between the first pressure roller and the second pressure roller is 5 MPa, and the temperature of the first pressure roller and the second pressure roller and the temperature of the preheater are the same as those during the transfer of the adhesive layer. Set.
接着層の転写時と同様に、セラミックグリーンシートの表面の中央部および両縁部に、サーモラベルを貼着し、セラミックグリーンシートと接着層との接触面の温度を測定したところ、８０℃であった。 As in the transfer of the adhesive layer, a thermolabel was attached to the center and both edges of the surface of the ceramic green sheet, and the temperature of the contact surface between the ceramic green sheet and the adhesive layer was measured. there were.
接着層の転写
さらに、ワイヤーバーコーターを用いて、両表面に、シリコン樹脂を塗布して、剥離性改善処理を施した第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、接着剤ペーストを塗布して、０．１μｍの厚さの接着層を形成し、図９および図１０に示された転写装置を用いて、接着層を介して、電極層およびスペーサ層上に転写されたセラミックグリーンシートの表面に、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に形成された接着層を接着し、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離して、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写し、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシートおよび接着層が積層された積層体ユニットを作製した。
Transfer of adhesive layer Further, using a wire bar coater, a silicone resin was applied to both surfaces, and an adhesive paste was applied to the surface of the third polyethylene terephthalate film that had been subjected to the peel improvement treatment. An adhesive layer having a thickness of 1 μm is formed, and on the surface of the ceramic green sheet transferred onto the electrode layer and the spacer layer through the adhesive layer using the transfer device shown in FIG. 9 and FIG. Adhere the adhesive layer formed on the surface of the third polyethylene terephthalate film, peel off the third polyethylene terephthalate film, transfer the adhesive layer to the surface of the ceramic green sheet, the surface of the second polyethylene terephthalate film A laminate unit in which a release layer, an electrode layer, a spacer layer, an adhesive layer, a ceramic green sheet and an adhesive layer are laminated. To prepare a door.
第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラのニップ圧力は５ＭＰａで、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの温度、予熱器の温度は、電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写したときと同様に設定した。 The nip pressure of the first pressure roller and the second pressure roller is 5 MPa, the temperature of the first pressure roller and the second pressure roller, and the temperature of the preheater are applied to the surface of the electrode layer and the spacer layer. The setting was the same as when the adhesive layer was transferred.
電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写したときと同様に、接着層の表面の中央部および両縁部に、サーモラベルを貼着し、接着層とセラミックグリーンシートとの接触面の温度を測定したところ、８０℃であった。 In the same manner as when the adhesive layer is transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer, a thermolabel is attached to the center and both edges of the surface of the adhesive layer, and the contact surface between the adhesive layer and the ceramic green sheet is adhered. It was 80 degreeC when temperature was measured.
表面粗さ計を用いて、こうして得られた積層体ユニットの第二のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面のろ波中心線うねり（Ｗｃａ）を、ＪＩＳ Ｂ０６１０にしたがって、測定したところ、２．４１で、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムに皺の発生はほとんど認められなかった。 Using a surface roughness meter, the filtered centerline waviness (Wca) of the surface of the second polyethylene terephthalate film of the laminate unit thus obtained was measured according to JIS B0610. Almost no wrinkle was observed in the second polyethylene terephthalate film.
さらに、積層体ユニットから、１０ｍｍ×１０ｍｍの試験片を切り出し、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面および接着層の表面に、両面テープを貼着して、８ｍｍ／分の速度で、２枚の両面テープを引き離して、積層体ユニットの接着強度を測定したところ、３５．８３Ｎ／ｃｍ２で、十分な接着強度が得られていることが判明した。 Further, a 10 mm × 10 mm test piece was cut out from the laminate unit, and a double-sided tape was stuck on the surface of the second polyethylene terephthalate film and the surface of the adhesive layer. When the tape was pulled apart and the adhesive strength of the laminate unit was measured, it was found that sufficient adhesive strength was obtained at 35.83 N / cm 2 .
比較例
電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際、電極層およびスペーサ層の表面に形成された接着層上に、セラミックグリーンシートを転写した際ならびにセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際に、予熱器をオフし、第二の加圧ローラの温度を１００℃に設定した点を除き、実施例と同様にして、積層体ユニットを作成した。
Comparative Example When the adhesive layer is transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer, the ceramic green sheet is transferred onto the adhesive layer formed on the surface of the electrode layer and the spacer layer, and the surface is adhered to the surface of the ceramic green sheet. When transferring the layer, a laminate unit was prepared in the same manner as in the example except that the preheater was turned off and the temperature of the second pressure roller was set to 100 ° C.
電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際の接着層と、電極層およびスペーサ層との接触面の温度、電極層およびスペーサ層の表面に形成された接着層上に、セラミックグリーンシートを転写した際のセラミックグリーンシートと接着層との接触面の温度ならびにセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際の接着層とセラミックグリーンシートとの接触面の温度は、いずれも、８０℃であった。 When the adhesive layer is transferred to the surface of the electrode layer and spacer layer, the temperature of the contact surface between the adhesive layer and the electrode layer and spacer layer, the ceramic green on the adhesive layer formed on the surface of the electrode layer and spacer layer, The temperature of the contact surface between the ceramic green sheet and the adhesive layer when the sheet is transferred and the temperature of the contact surface between the adhesive layer and the ceramic green sheet when the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet are both It was 80 ° C.
実施例と同様にして、得られた積層体ユニットの第二のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面のろ波中心線うねり（Ｗｃａ）を、ＪＩＳ Ｂ０６１０にしたがって、測定したところ、１３．８９で、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムに、きわめて多くの皺が発生したことが認められた。 In the same manner as in the examples, the filtered center line waviness (Wca) of the surface of the second polyethylene terephthalate film of the obtained laminate unit was measured according to JIS B0610. It was recognized that a very large amount of wrinkles occurred in the polyethylene terephthalate film.
さらに、実施例と同様の方法によって、積層体ユニットの接着強度を測定したところ、３５．７５Ｎ／ｃｍ２で、十分な接着強度が得られていることが判明した。 Furthermore, when the adhesive strength of the laminate unit was measured by the same method as in the example, it was found that sufficient adhesive strength was obtained at 35.75 N / cm 2 .
比較例においては、電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際の接着層と、電極層およびスペーサ層との接触面の温度、電極層およびスペーサ層の表面に形成された接着層上に、セラミックグリーンシートを転写した際のセラミックグリーンシートと接着層との接触面の温度ならびにセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際の接着層とセラミックグリーンシートとの接触面の温度は、いずれも、８０℃で、十分に高かったため、積層体ユニットの接着強度が十分に高くなったが、その一方で、第二の加圧ローラの温度を１００℃に設定したため、電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際、電極層およびスペーサ層の表面に形成された接着層上に、セラミックグリーンシートを転写した際ならびにセラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際に、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムの温度がガラス転移温度Ｔｇを越え、その結果、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムに、きわめて多くの皺が発生したものと考えられる。 In the comparative example, the adhesive layer when the adhesive layer is transferred to the surface of the electrode layer and the spacer layer, the temperature of the contact surface between the electrode layer and the spacer layer, the adhesive layer formed on the surface of the electrode layer and the spacer layer Above, the temperature of the contact surface between the ceramic green sheet and the adhesive layer when the ceramic green sheet is transferred, and the temperature of the contact surface between the adhesive layer and the ceramic green sheet when the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet Since both were sufficiently high at 80 ° C., the adhesive strength of the laminate unit was sufficiently high. On the other hand, since the temperature of the second pressure roller was set to 100 ° C., the electrode layer and When the adhesive layer is transferred onto the surface of the spacer layer, when the ceramic green sheet is transferred onto the adhesive layer formed on the surface of the electrode layer and the spacer layer, and When the adhesive layer is transferred to the surface of the ceramic green sheet, the temperature of the second polyethylene terephthalate film exceeds the glass transition temperature Tg, and as a result, an extremely large amount of wrinkles is generated in the second polyethylene terephthalate film. it is conceivable that.
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。 The present invention is not limited to the above embodiments and examples, and various modifications can be made within the scope of the invention described in the claims, and these are also included in the scope of the present invention. It goes without saying that it is a thing.
たとえば、図３３ないし図４２に示された実施態様においては、３以上の積層体ユニット２０が積層された積層体ユニットセットの表面に、接着層１０を転写した後、裁断装置（図示せず）によって、支持シート４および積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断し、積層体ブロック５０を形成して、３以上の積層体ユニット２０を含む積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に、積層するように構成されているが、図３９および図４０に示された転写装置によって、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面に、接着層１０を形成した後、支持シート４および積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断し、積層体ブロック５０を形成して、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に、積層するように構成することもできる。
For example, in the embodiment shown in FIGS. 33 to 42, after the
さらに、図５および図６に示された転写装置、図９および図１０に示された転写装置、図２１および図２２に示された転写装置、図２３および図２４に示された転写装置、図２９および図３０に示された転写装置、図３５および図３６に示された転写装置ならびに図３９および図４０に示された転写装置は、それぞれ、支持シート９の表面に形成された接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７、セラミックグリーンシート２あるいは剥離層５の表面に接着した後、ただちに、支持シート９を、接着層１０から剥離するように構成されているが、支持シート９の表面に形成された接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７、セラミックグリーンシート２あるいは剥離層５の表面に接着した後、ただちに、支持シート９を、接着層１０から剥離することは必ずしも必要でなく、接着装置を用いて、支持シート９の表面に形成された接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７、セラミックグリーンシート２あるいは剥離層５の表面に接着して、積層体を形成し、積層体をローラに巻き取った後、積層体をローラから繰り出す際に、中間シート１９を、中間シート巻き取りローラ１４によって、接着層１０から剥離させて、巻き取ったのと同様にして、支持シート９を、接着層１０から剥離するように構成することもできる。
Further, the transfer device shown in FIGS. 5 and 6, the transfer device shown in FIGS. 9 and 10, the transfer device shown in FIGS. 21 and 22, the transfer device shown in FIGS. 23 and 24, 29 and 30, the transfer device shown in FIGS. 35 and 36, and the transfer device shown in FIGS. 39 and 40 are respectively adhesive layers formed on the surface of the
また、図７および図８に示された転写装置ならびに図３７および図３８に示された転写装置は、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート１を、セラミックグリーンシート２から剥離するように構成されているが、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート１を、セラミックグリーンシート２から剥離することは必ずしも必要でなく、接着装置を用いて、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０に接着して、積層体を形成し、積層体をローラに巻き取った後、積層体をローラから繰り出す際に、中間シート１９を、中間シート巻き取りローラ１４によって、接着層１０から剥離させて、巻き取ったのと同様にして、支持シート１を、セラミックグリーンシート２から剥離するように構成することもできる。
The transfer device shown in FIGS. 7 and 8 and the transfer device shown in FIGS. 37 and 38, after bonding the ceramic
さらに、図２５および図２６に示された転写装置、図３３および図３４に示された転写装置ならびに図４１および図４２に示された転写装置は、それぞれ、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート４を、剥離層５から剥離するように構成されているが、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート４を、剥離層５から剥離することは必ずしも必要でなく、接着装置を用いて、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０に接着して、積層体を形成し、積層体をローラに巻き取った後、積層体をローラから繰り出す際に、中間シート１９を、中間シート巻き取りローラ１４によって、接着層１０から剥離させて、巻き取ったのと同様にして、支持シート４を、剥離層５から剥離するように構成することもできる。
Furthermore, the transfer device shown in FIGS. 25 and 26, the transfer device shown in FIGS. 33 and 34, and the transfer device shown in FIGS. 41 and 42 are respectively formed on the
また、図２７および図２８に示された積層装置ならびに図３１および図３２に示された積層装置は、支持シート１の表面に形成された積層体ユニット２０の剥離層５を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート１を、積層体ユニット２０から剥離するように構成されているが、支持シート１の表面に形成された積層体ユニット２０の剥離層５を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート１を、積層体ユニット２０から剥離することは必ずしも必要でなく、接着装置を用いて、支持シート１の表面に形成された積層体ユニット２０の剥離層５を、接着層１０に接着して、積層体を形成し、積層体をローラに巻き取った後、積層体をローラから繰り出す際に、中間シート１９を、中間シート巻き取りローラ１４によって、接着層１０から剥離させて、巻き取ったのと同様にして、支持シート１を、積層体ユニット２０から剥離するように構成することもできる。
In addition, the laminating apparatus shown in FIGS. 27 and 28 and the laminating apparatus shown in FIGS. 31 and 32 provide the
さらに、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置、図３３に示された転写装置、図３５に示された転写装置、図３７に示された転写装置、図３９に示された転写装置および図４１に示された転写装置は、シート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂ、シート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆおよびシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅを備えているが、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置、図３３に示された転写装置、図３５に示された転写装置、図３７に示された転写装置、図３９に示された転写装置および図４１に示された転写装置が、シート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂ、シート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆおよびシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅを備えていることは必ずしも必要でなく、シート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂ、シート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆまたはシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅは、支持シート１、支持シート４、支持シート９あるいは中間シート１９の搬送経路が長く、支持シート１、支持シート４、支持シート９あるいは中間シート１９の蛇行が生じやすい部分に設けられていれば足りる。
Furthermore, the transfer device shown in FIG. 5, the transfer device shown in FIG. 7, the transfer device shown in FIG. 9, the transfer device shown in FIG. 21, the transfer device shown in FIG. 27, the laminating apparatus shown in FIG. 27, the transferring apparatus shown in FIG. 29, the laminating apparatus shown in FIG. 31, the transferring apparatus shown in FIG. 33, and the transferring apparatus shown in FIG. 37, the transfer apparatus shown in FIG. 39, and the transfer apparatus shown in FIG. 41 include sheet meandering correction devices 22a and 22b, sheet meandering correction devices 22c and 22f, and sheet meandering correction device 22d. 22e, the transfer device shown in FIG. 5, the transfer device shown in FIG. 7, the transfer device shown in FIG. 9, the transfer device shown in FIG. 21, and the transfer device shown in FIG. Transfer device, transfer device shown in FIG. 25, shown in FIG. 29, the transfer device shown in FIG. 29, the stacking device shown in FIG. 31, the transfer device shown in FIG. 33, the transfer device shown in FIG. 35, the transfer device shown in FIG. The transfer apparatus shown in FIG. 39 and the transfer apparatus shown in FIG. 41 are not necessarily provided with the sheet meander correction devices 22a and 22b, the sheet meander correction devices 22c and 22f, and the sheet meander correction devices 22d and 22e. The sheet meandering correction devices 22a and 22b, the sheet meandering correction devices 22c and 22f, or the sheet meandering correction devices 22d and 22e have a long conveying path for the
さらに、前記実施態様においては、接着層１０が形成された支持シート９と同じ材料によって形成され、支持シート９と同一の厚さを有し、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成された支持シート９と同じ表面処理が施されている中間シート１９が用いられているが、接着層１０が形成された支持シート９と同じ材料によって形成され、支持シート９と同一の厚さを有し、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成された支持シート９と同じ表面処理が施されている中間シート１９を用いることは必ずしも必要でなく、接着層１０に付着されるべき表面に、高さ１μｍないし１０μｍの凹凸が形成されたシートを、中間シート１９として用い、あるいは、ガーレー透気度が１００００ｓ／５０ｍｌ未満のシートを、中間シート１９として用いて、エアを、接着層１０と中間シート１９の間の空間から速やかに排出させるようにして、中間シート１９に皺が生じることを防止するとともに、中間シート１９が付着された積層体が巻き取り時に蛇行することを防止することもできる。
Furthermore, in the said embodiment, it forms with the same material as the
さらに、前記実施態様においては、セラミックグリーンシート２あるいは電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０を転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させて、積層体を巻き取り、同一の構成を有する転写装置を用いて、積層体ユニット２０あるいは積層体ユニットセットを作製するように構成されているが、十分に長い製造ラインを設けるスペースが存在する場合には、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させて、積層体を巻き取ることなく、連続的に、転写操作および接着操作を繰り返して、積層体ユニット２０あるいは積層体ユニットセットを作製することもでき、あるいは、製造ラインを設けるべきスペースの長さに応じて、二またはそれ以上の転写装置を一ラインに配置し、一ラインの転写装置における接着層１０の転写完了時にのみ、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させて、積層体をローラに巻き取り、別のラインの転写装置に、巻き取ったローラをセットして、次の転写操作および接着操作を実行するようにしてもよい。
Furthermore, in the above embodiment, after the
また、前記実施態様においては、接着層１０が、バインダの０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるが、接着層１０が、バインダの０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいることは必ずしも必要でない。本発明において、接着層１０のための帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤を用いることが最も好ましいが、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤、カルボン酸アミジン塩系界面活性剤などの他の両性界面活性剤も、接着層１０のための帯電防止剤として、好ましく用いることができ、さらに、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、２−３ブタンジオール、グリセリンなどを、接着層１０のための帯電防止剤として、用いることもできる。
In the above embodiment, the
さらに、前記実施態様においては、接着剤溶液中に、イミダゾリン系界面活性剤を添加しているが、接着剤溶液中に、イミダゾリン系界面活性剤などの帯電防止剤を添加することは必ずしも必要でない。 Further, in the above embodiment, an imidazoline surfactant is added to the adhesive solution, but it is not always necessary to add an antistatic agent such as an imidazoline surfactant to the adhesive solution. .
また、前記実施態様においては、剥離層５の表面に、電極層６およびスペーサ層７を、ｔｓ／ｔｅ＝１．１となるように形成している（ｔｓはスペーサ層７の厚さであり、ｔｅは電極層６の厚さである。）が、０．７≦ｔｓ／ｔｅ≦１．３となるように、好ましくは、０．８≦ｔｓ／ｔｅ≦１．１、さらに好ましくは、０．９≦ｔｓ／ｔｅ≦１．１となるように、電極層６およびスペーサ層７を形成すればよく、電極層６およびスペーサ層７を、ｔｓ／ｔｅ＝１．１となるように形成することは必ずしも必要でない。
In the above embodiment, the
１ 第一の支持シート
２ セラミックグリーンシート
３ 第二の支持シート
５ 剥離層
６ 電極層
７ スペーサ層
９ 第三の支持シート
１０ 接着層
１１ 接着シート
１２ 第一の繰り出しローラ
１３ 第二の繰り出しローラ
１４ 中間シート巻き取りローラ
１５、１６ 加圧ローラ
１７ 第一の巻き取りローラ
１８ 第二の巻き取りローラ
１９ 中間シート
２０ 積層体ユニット
２１ 中間シート繰り出しローラ
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆ シート蛇行修正デバイス
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆ シートテンション調整ローラ
２４ 予熱器
３５ 基板
３６ 孔
３８ 支持体
４０ 基台
４１ 孔
４２ 接着層
４３ 積層セラミックコンデンサの外層
５０ 積層体ブロック
DESCRIPTION OF
Claims (20)
And a meandering adjustment device that is provided in a conveyance path of the intermediate sheet between the second feeding roller and the intermediate sheet take-up roller and adjusts a conveyance position in the width direction of the intermediate sheet. The multilayer electronic component manufacturing apparatus according to claim 19, wherein the apparatus is a laminated electronic component manufacturing apparatus.
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