JP5569279B2 - 異物検出用パターン及び半導体装置 - Google Patents
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Description
第1実施形態による異物検出用パターンについて図1乃至図5を用いて説明する。
第2実施形態による異物検出用パターンについて図6を用いて説明する。図1乃至図5に示す第1実施形態による異物検出用パターンと同一の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し又は簡潔にする。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
前記複数の角部を除いたL字型パターンは、除いた前記角部の位置が直線上に並ぶように離間して配置されている
ことを特徴とする異物検出用パターン。
前記複数の角部を除いたL字型パターンは、同じ向きに並べられている
ことを特徴とする異物検出用パターン。
前記複数の角部を除いたL字型パターンは、互いに反対方向を向いた前記角部を除いたL字型パターンを含む
ことを特徴とする異物検出用パターン。
互いに反対方向を向いた前記角部を除いたL字型パターンは、除いた前記角部が向き合うように配置されている
ことを特徴とする異物検出用パターン。
複数の前記直線上に並ぶように配置された前記複数の角部を除いたL字型パターンを含む
ことを特徴とする異物検出用パターン。
複数の前記直線は、1点で交差している
ことを特徴とする異物検出用パターン。
複数の前記直線は、直交している
ことを特徴とする異物検出用パターン
(付記8) 付記7記載の異物検出用パターンにおいて、
複数の前記直線は、45度の角度で交差している
ことを特徴とする異物検出用パターン
(付記9) 基板上に形成された複数の角部を除いたL字型パターンを有し、前記複数の角部を除いたL字型パターンが、除いた前記角部の位置が直線上に並ぶように離間して配置されている異物検出用パターンと、
前記基板上に形成され、前記異物検出用パターンと同じ材料で形成されたデバイスパターンと
を有することを特徴とする半導体装置。
前記基板上に形成された複数の角部を除いたL字型パターンを有し、前記複数の角部を除いたL字型パターンが、除いた前記角部の位置が直線上に並ぶように離間して配置されている異物検出用パターンと
を有することを特徴とする欠陥検査用基板。
ことを特徴とする異物検出方法。
12、14…パターン
12a,14a…パターンの端部
16…角部
18…角
20a、20b、20c、20d、20e、20f、20g、20h…領域
30,40…半導体ウェーハ
42…TEGチップ
44…プロセスモニタ形成領域
46a,46b,46c,46d,48…異物検出用パターン
Claims (8)
- 基板上に形成された複数の角部を除いたL字型パターンを有し、
前記複数の角部を除いたL字型パターンは、除いた前記角部の位置が直線上に並ぶように離間して配置されている
ことを特徴とする異物検出用パターン。 - 請求項1記載の異物検出用パターンにおいて、
前記複数の角部を除いたL字型パターンは、同じ向きに並べられている
ことを特徴とする異物検出用パターン。 - 請求項1記載の異物検出用パターンにおいて、
前記複数の角部を除いたL字型パターンは、互いに反対方向を向いた前記角部を除いたL字型パターンを含む
ことを特徴とする異物検出用パターン。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異物検出用パターンにおいて、
複数の直線上に並ぶように配置された前記複数の角部を除いたL字型パターンを含む
ことを特徴とする異物検出用パターン。 - 請求項4記載の異物検出用パターンにおいて、
複数の前記直線は、1点で交差している
ことを特徴とする異物検出用パターン。 - 基板上に形成された複数の角部を除いたL字型パターンを有し、前記複数の角部を除いたL字型パターンが、除いた前記角部の位置が直線上に並ぶように離間して配置されている異物検出用パターンと、
前記基板上に形成され、前記異物検出用パターンと同じ材料で形成されたデバイスパターンと
を有することを特徴とする半導体装置。 - 基板と、
前記基板上に形成された複数の角部を除いたL字型パターンを有し、前記複数の角部を除いたL字型パターンが、除いた前記角部の位置が直線上に並ぶように離間して配置されている異物検出用パターンと
を有することを特徴とする欠陥検査用基板。 - 複数の角部を除いたL字型パターンを有し、前記複数の角部を除いたL字型パターンが、除いた前記角部の位置が直線上に並ぶように離間して配置されている異物検出用パターンが形成された基板を用いて異物を検出する
ことを特徴とする異物検出方法。
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JP2010203025A JP5569279B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | 異物検出用パターン及び半導体装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012059998A JP2012059998A (ja) | 2012-03-22 |
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JP2010203025A Active JP5569279B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | 異物検出用パターン及び半導体装置 |
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Families Citing this family (1)
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JP2011124448A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-23 | Renesas Electronics Corp | 液浸露光装置及びその洗浄方法 |
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- 2010-09-10 JP JP2010203025A patent/JP5569279B2/ja active Active
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