JP5565605B2 - 複合構造物作製装置 - Google Patents
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Description
前記エアロゾルを前記基材に向けて噴射するノズルと、
前記基材と前記ノズルとの相対位置を制御するアクチュエータとを備え、
前記アクチュエータは駆動機構と伸縮可能なカバーを備え、前記カバーはガス導入部と少なくとも一箇所のガス排出部を有し、前記ガス導入部から前記カバー内部へガスを流入させることで前記カバー内部を前記カバー外部より高い圧力に維持できる複合構造物作製装置とした。
電動モーターと、
前記電動モーターに接続されたボールねじと、
前記ボールねじのねじ軸の外周に螺合されるボールねじナットと、
前記ボールねじを回転可能な状態で収納し、同時にボールねじ以外の前記構成部品を収納する前記筐体と、
前記ボールねじナットと連結され、前記筐体上において任意の機器が搭載された状態で位置変動を生じさせる可動スライダと、
前記筐体内にガスを流入する前記ガス導入部と、
ガスの排出を行うための前記ガス排出部から構成されるアクチュエータとした。
前記電動モーターと、
前記電動モーターに接続されたボールねじと、
前記ボールねじのねじ軸の外周に螺合されるボールねじナットと、
前記ボールねじを回転可能な状態で収納し、同時にボールねじ以外の前記構成部品を収納する前記カバーと、
前記ボールねじナットと連結され、任意の機器が搭載された状態で位置変動を生じさせる可動スライダと、
前記カバー内にガスを流入する前記ガス導入部と、
ガスの排出を行うための前記ガス排出部から構成されるアクチュエータとした。
前記ボールねじナットと前記可動スライダとの連結によって生じる前記ガス排出部を最小限に抑える閉口機構を有するアクチュエータとした。
前記機構によって、ボールねじナットと可動スライダとの連結部以外でのガスの出入りが防止され、前記ガス導入部のみからガスの流入が行われ、前記連結部の前記ガス排出部のみからガスの排出が行われるアクチュエータとした。
電動モーターと、
前記電動モーターに固定された固定部材と、
同じく前記電動モーターに接続された回動部材と、
前記電動モーターと前記固定部材と前記回動部材を収納するカバーと、
前記カバー内にガスを流入するガス導入部と、
ガスの排出を行うためのガス排出部から構成される回転アクチュエータとした。
図1は、本発明の実施の形態にかかる複合構造物形成システムの基本構成を例示するためのブロック図である。すなわち、同図は、複合構造物作製装置の構成を例示するためのブロック図である。
これまでに得られた知見として、微粒子の大きさは、レーザー回折式粒度分布計または走査型電子顕微鏡で測定・観察した場合の平均粒径が0.1マイクロメータ以上、10マイクロメータ以下の範囲であれば、AD法による膜状構造物が得られ、平均粒径が0.1マイクロメータ以下では前記「圧粉体」となる傾向がある。また、10マイクロメータ以上であれば、基材をブラストする傾向があり、AD法に用いる粒子径としては不適当である。
したが、ここで言う制御とは、前記ガス流量およびガス圧の観測、ならびに簡易的な調整だけでもよい。
これまでに得られた知見として、前記筐体内外または前記カバー内外の圧力差が、少なくとも0.1キロパスカル以上であれば防塵効果が得られる傾向にあり、0.3キロパスカル以上がより好ましい。上限値については、筐体またはカバー、およびガス排出部の機械的強度を考慮しながら、アクチュエータの機能を損なわない程度に設定する必要があり、設計仕様に応じて決定される。
2…配管
3…エアロゾル発生機
4…複合構造物形成室
5…ノズル
6…基材
7…アクチュエータ
8…排気ポンプ
9…制御器
10…集塵機構
11…ガスの流れ
31…筐体上面開口部閉口機構
32…ローラー
33…開口部閉口機構固定端
34…開口部閉口機構巻取り軸
41…マグネットシート
42…カバー板
51…伸縮カバー
52…ガイド軸
53…フィルタ機構
54…ガス導入部
55…ガス排出部
71…モーター固定部材
72…回動部材
701…電動モーター
702…ボールねじ
703…ボールねじナット
704…シャフト固定端
705…シャフト支持端
706…可動スライダ
707…筐体
708…配管
709…流量調節弁
710…圧力計/流量計
Claims (4)
- 微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを減圧環境下で基材に衝突させて前記微粒子の構成材料からなる構造物と前記基材との複合構造物を形成する複合構造物作製装置であって、
排気装置が設けられ、減圧環境を形成可能な構造物形成室と、
該構造物形成室内に設けられ、前記エアロゾルを前記基材に向けて噴射するノズルと、
該構造物形成室内に設けられ、前記基材と前記ノズルとの相対位置を制御するアクチュエータとを備え、
前記アクチュエータは、
前記基材を搭載した状態で位置変動を生じさせる可動スライダと、
前記可動スライダを駆動させる駆動機構と、
前記構造物形成室内に飛散した前記微粒子が、前記駆動機構に侵入するのを防止するための筐体またはカバーと、を備え、
前記筐体またはカバーは、ガス導入部と、少なくとも一箇所のガス排出部と、を有し、
前記ガス導入部から前記筐体またはカバー内部へガスを流入させ、前記ガス排出部から前記構造物形成室内に前記ガスを排出させることで、前記ガスの流れを一定の方向に維持したまま、前記筐体またはカバー内部を前記筐体またはカバー外部より高い圧力に維持できることを特徴とした複合構造物作製装置。 - 請求項1に記載の複合構造物作製装置において、前記筐体内または前記カバー内に前記ガス導入部から流入させるガスの流量および圧力の少なくとも一つを制御する制御機構を有することを特徴とする複合構造物作製装置。
- 請求項1または2のいずれかに記載の複合構造物作製装置において、
前記アクチュエータの、前記駆動部は、
前記可動スライダの駆動力を発現する電動モーターと、
前記電動モーターに接続されたボールねじと、
前記ボールねじのねじ軸の外周に螺合され、前記電動モータによって前記ボールねじに沿って位置変化可能に構成されるとともに、前記可動スライダを連結し、前記可動スライダとともに位置変化するボールねじナットと、を備え、
前記筐体またはカバーは、前記ボールねじを回転可能な状態で収納しており、
前記可動スライダは、前記ボールねじナットと連結されており、
前記ガス排出部は、前記筐体と前記可動スライダとの隙間によって構成されることを特徴とする複合構造物作製装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の複合構造物作製装置であって、
前記筐体と前記可動スライダとの隙間によって生じる前記ガス排出部を最小限に抑える閉口機構を有することを特徴とする複合構造物作製装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2009087720A JP5565605B2 (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 複合構造物作製装置 |
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