JP5563869B2 - 光電陰極、電子管及び光電子増倍管 - Google Patents
光電陰極、電子管及び光電子増倍管 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5563869B2 JP5563869B2 JP2010085209A JP2010085209A JP5563869B2 JP 5563869 B2 JP5563869 B2 JP 5563869B2 JP 2010085209 A JP2010085209 A JP 2010085209A JP 2010085209 A JP2010085209 A JP 2010085209A JP 5563869 B2 JP5563869 B2 JP 5563869B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photocathode
- support substrate
- underlayer
- material containing
- photoelectron emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 76
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 44
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 239000002585 base Substances 0.000 claims description 28
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 28
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 20
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 15
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 claims description 13
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N beryllium oxide Inorganic materials O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 10
- FRWYFWZENXDZMU-UHFFFAOYSA-N 2-iodoquinoline Chemical compound C1=CC=CC2=NC(I)=CC=C21 FRWYFWZENXDZMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 8
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims description 6
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims description 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical group [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 2
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 140
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 61
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 35
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 29
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 24
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 18
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 18
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229910000858 La alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/34—Photo-emissive cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/50—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/50—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
- H01J31/506—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output tubes using secondary emission effect
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J40/00—Photoelectric discharge tubes not involving the ionisation of a gas
- H01J40/02—Details
- H01J40/04—Electrodes
- H01J40/06—Photo-emissive cathodes
Landscapes
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Description
Claims (15)
- 光の入射に応答して光電子を放出する光電陰極であって、
支持基板と、
前記支持基板上に設けられた下地層と、
前記下地層上に設けられ、アルカリ金属を含む材料からなる光電子放出層と、を備え、
前記下地層は、酸化ランタンを含む結晶性の材料からなり、前記光電子放出層と接触していることを特徴とする光電陰極。 - 前記下地層の厚さに対する前記光電子放出層の厚さの比は0.06〜400であることを特徴とする請求項1記載の光電陰極。
- 前記光電子放出層は、前記アルカリ金属とアンチモンとの化合物を含む材料からなることを特徴とする請求項1又は2記載の光電陰極。
- 前記光電子放出層は、セシウム、カリウム及びナトリウムの少なくとも1つを前記アルカリ金属として含む材料からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の光電陰極。
- 前記下地層は、前記酸化ランタンと酸化ベリリウムとの混晶を含む材料からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の光電陰極。
- 前記下地層は、前記酸化ランタンと酸化マグネシウムとの混晶を含む材料からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の光電陰極。
- 前記下地層は、前記酸化ランタンと酸化マンガンとの混晶を含む材料からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の光電陰極。
- 前記下地層は、前記酸化ランタンと希土類元素との混晶を含む材料からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の光電陰極。
- 前記下地層は、前記酸化ランタンとアルカリ土類元素との混晶を含む材料からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の光電陰極。
- 前記下地層は、前記酸化ランタンとチタン族元素との混晶を含む材料からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の光電陰極。
- 前記支持基板と前記下地層との間には、酸化ハフニウム及び酸化イットリウムの少なくとも1つを含む材料からなる反射防止膜が設けられていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項記載の光電陰極。
- 前記支持基板は、前記光を透過する材料からなり、
前記光電子放出層は、前記支持基板側から前記光を入射させ、前記支持基板の反対側に前記光電子を放出することを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項記載の光電陰極。 - 前記支持基板は、前記光を遮断する材料からなり、
前記光電子放出層は、前記支持基板の反対側から前記光を入射させ、前記支持基板の反対側に前記光電子を放出することを特徴とする請求項1〜12のいずれか一項記載の光電陰極。 - 請求項1記載の光電陰極と、
前記光電陰極から放出された光電子を収集する陽極と、
前記光電陰極及び前記陽極を収納する容器と、を備えることを特徴とする電子管。 - 請求項1記載の光電陰極と、
前記光電陰極から放出された光電子をカスケード増倍するための電子増倍部と、
前記電子増倍部から放出された二次電子を収集する陽極と、
前記光電陰極、前記電子増倍部及び前記陽極を収納する容器と、を備えることを特徴とする光電子増倍管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010085209A JP5563869B2 (ja) | 2009-04-02 | 2010-04-01 | 光電陰極、電子管及び光電子増倍管 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009090179 | 2009-04-02 | ||
JP2009090179 | 2009-04-02 | ||
JP2010085209A JP5563869B2 (ja) | 2009-04-02 | 2010-04-01 | 光電陰極、電子管及び光電子増倍管 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010257962A JP2010257962A (ja) | 2010-11-11 |
JP5563869B2 true JP5563869B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=42825615
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010085209A Active JP5563869B2 (ja) | 2009-04-02 | 2010-04-01 | 光電陰極、電子管及び光電子増倍管 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8212475B2 (ja) |
JP (1) | JP5563869B2 (ja) |
CN (1) | CN101859672B (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013036576A1 (en) | 2011-09-07 | 2013-03-14 | Kla-Tencor Corporation | Transmissive-reflective photocathode |
CA2887442C (fr) * | 2012-10-12 | 2019-08-06 | Photonis France | Photocathode semi-transparente a taux d'absorption ameliore |
CN104183747A (zh) * | 2013-05-22 | 2014-12-03 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种有机电致发光器件及其制备方法 |
CN103715033A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-09 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种高灵敏度锑碱光电阴极和光电倍增管 |
US9543130B2 (en) * | 2014-11-14 | 2017-01-10 | Kla-Tencor Corporation | Photomultiplier tube (PMT) having a reflective photocathode array |
WO2017128271A1 (en) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | Shenzhen Genorivision Technology Co. Ltd. | A photomultiplier and methods of making it |
JP6395906B1 (ja) * | 2017-06-30 | 2018-09-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子増倍体 |
JP6431574B1 (ja) | 2017-07-12 | 2018-11-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子管 |
CN109830414A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-31 | 中国科学院电子学研究所 | 用于微波真空电子器件的光电阴极及其制备方法 |
WO2020261704A1 (ja) * | 2019-06-26 | 2020-12-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電陰極、電子管、及び、光電陰極の製造方法 |
CN111261489B (zh) * | 2020-01-29 | 2022-03-25 | 北方夜视技术股份有限公司 | 光电倍增管用光电阴极、制备方法及光电倍增管 |
CN111261472B (zh) * | 2020-03-31 | 2022-03-25 | 北方夜视技术股份有限公司 | 低热发射的光电阴极、光电倍增管及其制备方法 |
CN113643956B (zh) * | 2021-08-11 | 2023-09-29 | 长春电子科技学院 | 一种光电子倍增器 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1005708A (en) * | 1960-12-14 | 1965-09-29 | Emi Ltd | Improvements relating to photo electrically sensitive devices |
US3617743A (en) * | 1968-10-23 | 1971-11-02 | Gen Electric | X-ray image convertors utilizing lanthanum and gadolinium oxyhalide luminescent materials activated with terbium |
JPS529499B2 (ja) | 1972-12-18 | 1977-03-16 | ||
FR2498321A1 (fr) * | 1981-01-21 | 1982-07-23 | Labo Electronique Physique | Structure de detection photoelectrique |
US5074899A (en) * | 1984-07-26 | 1991-12-24 | B.V. Optische Industrie "De Oude Delft" | Method for manufacturing an anti-veiling-glare input window for an optical device |
CN1011559B (zh) * | 1985-08-24 | 1991-02-06 | 老代尔夫特光学工业有限公司 | 光学装置的防杂光输入窗及制造该窗的方法 |
JPH052444A (ja) | 1991-06-25 | 1993-01-08 | Nec Corp | キーボードの刻印表示方式 |
JPH0552444A (ja) | 1991-08-20 | 1993-03-02 | Sanyo Electric Co Ltd | エンジン駆動ヒートポンプ装置 |
JP2500209B2 (ja) * | 1991-09-11 | 1996-05-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 反射型光電面および光電子増倍管 |
JP2874701B2 (ja) * | 1991-10-04 | 1999-03-24 | 日亜化学工業株式会社 | 蛍光ランプの作製方法 |
JP3570745B2 (ja) | 1994-06-16 | 2004-09-29 | 三井化学株式会社 | 液晶組成物および液晶素子 |
JP3122327B2 (ja) * | 1995-02-27 | 2001-01-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子放出面の使用方法および電子管の使用方法 |
JPH11339722A (ja) * | 1998-05-28 | 1999-12-10 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 管球およびこの管球を用いた照明器具 |
US6660660B2 (en) * | 2000-10-10 | 2003-12-09 | Asm International, Nv. | Methods for making a dielectric stack in an integrated circuit |
JP4926504B2 (ja) * | 2006-03-08 | 2012-05-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電面、それを備える電子管及び光電面の製造方法 |
JP5342769B2 (ja) | 2006-12-28 | 2013-11-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電陰極、電子管及び光電子増倍管 |
-
2010
- 2010-04-01 US US12/752,678 patent/US8212475B2/en active Active
- 2010-04-01 JP JP2010085209A patent/JP5563869B2/ja active Active
- 2010-04-02 CN CN201010157693.7A patent/CN101859672B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100253218A1 (en) | 2010-10-07 |
CN101859672A (zh) | 2010-10-13 |
US8212475B2 (en) | 2012-07-03 |
JP2010257962A (ja) | 2010-11-11 |
CN101859672B (zh) | 2015-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5563869B2 (ja) | 光電陰極、電子管及び光電子増倍管 | |
JP5342769B2 (ja) | 光電陰極、電子管及び光電子増倍管 | |
JP4926504B2 (ja) | 光電面、それを備える電子管及び光電面の製造方法 | |
JP2008166262A5 (ja) | ||
WO2016104243A1 (ja) | 光電面、光電変換管、イメージインテンシファイア、及び光電子増倍管 | |
JP5308078B2 (ja) | 光電陰極 | |
EP0532358B1 (en) | Reflection type photocathode and photomultiplier using it | |
JP6720427B1 (ja) | 光電陰極、電子管、及び、光電陰極の製造方法 | |
JP5955713B2 (ja) | 光電陰極 | |
JP2007157442A (ja) | 光電子増倍管 | |
EP0567297B1 (en) | Reflection-type photoelectric surface and photomultiplier | |
JP2651329B2 (ja) | 光電子または2次電子放射用陰極 | |
JP5865527B2 (ja) | 光電陰極及び光電子増倍管 | |
JP4975400B2 (ja) | 撮像管 | |
JPH0139620B2 (ja) | ||
JP2014044960A (ja) | 光電陰極 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140520 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5563869 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |