JP5563799B2 - 凹凸パターン検出装置 - Google Patents
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[第5の実施形態]
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[第8の実施形態]
Claims (11)
- 対象物表面の凹凸パターンを検出する凹凸パターン検出装置であって、
複数の光ファイバの第1の端面により構成され、前記対象物表面が接触させられる第1の面、及び、複数の前記光ファイバの第2の端面により構成され、前記第1の面に略平行な第2の面を有するファイバ光学プレートと、
前記ファイバ光学プレートの前記第2の面側に配置され、前記第2の面に対して光を照射する照射手段と、
前記ファイバ光学プレートの前記第2の面側に配置され、前記第2の面から出射された光に基づいて前記凹凸パターンを検出する凹凸パターン検出手段と、
を備え、
前記ファイバ光学プレートは、複数の前記光ファイバと、複数の前記光ファイバの間に配置され、光を吸収する吸収体と、を含み、
複数の前記光ファイバの光軸は、前記第2の面と略直交する所定の面内において第2の面から一方向回りに90°未満の第1の角度をなすように傾斜し、
前記照射手段は、前記所定の面内において前記第2の面から他方向回りに90°未満の第2の角度をなす方向から前記第2の面に対して光を照射し、
前記第1の角度と前記第2の角度とは、前記第2の面から前記光ファイバのコアに入射した光が前記光ファイバのクラッド内に入り込むように設定されており、
前記第1の角度は、63°〜73°の範囲内の角度であり、且つ、前記第2の角度は、5°〜30°の範囲内の角度であることを特徴とする凹凸パターン検出装置。 - 前記ファイバ光学プレートの前記第2の面には、前記光を透過する補強部材が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の凹凸パターン検出装置。
- 前記ファイバ光学プレートの前記第1の面は、前記所定の面と略平行な方向から見た場合に、凸状となる第1の曲面を有していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の凹凸パターン検出装置。
- 前記ファイバ光学プレートの前記第1の面は、前記所定の面と略平行な方向から見た場合に、凹状となる第2の曲面を有していることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の凹凸パターン検出装置。
- 対象物表面の凹凸パターンを検出する凹凸パターン検出装置であって、
複数の光ファイバの第1の端面により構成され、前記対象物表面が接触させられる第1の面、及び、複数の前記光ファイバの第2の端面により構成され、前記第1の面に略平行な第2の面を有するファイバ光学プレートと、
前記ファイバ光学プレートの前記第2の面側に配置され、前記第2の面に対して光を照射する照射手段と、
前記ファイバ光学プレートの前記第2の面側に配置され、前記第2の面から出射された光に基づいて前記凹凸パターンを検出する凹凸パターン検出手段と、
を備え、
複数の前記光ファイバの光軸は、前記第2の面と略直交する所定の面内において第2の面から一方向回りに90°未満の第1の角度をなすように傾斜し、
前記照射手段は、前記所定の面内において前記第2の面から他方向回りに90°未満の第2の角度をなす方向から前記第2の面に対して光を照射し、
前記第1の角度と前記第2の角度とは、前記第2の面から前記光ファイバのコアに入射した光が前記光ファイバのクラッド内に入り込むように設定され、
前記ファイバ光学プレートの前記第1の面は、前記所定の面と略平行な方向から見た場合に、凸状となる第1の曲面を有していることを特徴とする凹凸パターン検出装置。 - 前記第1の角度は、63°〜73°の範囲内の角度であり、且つ、前記第2の角度は、5°〜30°の範囲内の角度であることを特徴とする請求項5に記載の凹凸パターン検出装置。
- 前記ファイバ光学プレートの前記第2の面には、前記光を透過する補強部材が設けられていることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の凹凸パターン検出装置。
- 前記ファイバ光学プレートの前記第1の面は、前記所定の面と略平行な方向から見た場合に、凹状となる第2の曲面を有していることを特徴とする請求項5〜7のうちいずれか一項に記載の凹凸パターン検出装置。
- 対象物表面の凹凸パターンを検出する凹凸パターン検出装置であって、
複数の光ファイバの第1の端面により構成され、前記対象物表面が接触させられる第1の面、及び、複数の前記光ファイバの第2の端面により構成され、前記第1の面に略平行な第2の面を有するファイバ光学プレートと、
前記ファイバ光学プレートの前記第2の面側に配置され、前記第2の面に対して光を照射する照射手段と、
前記ファイバ光学プレートの前記第2の面側に配置され、前記第2の面から出射された光に基づいて前記凹凸パターンを検出する凹凸パターン検出手段と、
を備え、
複数の前記光ファイバの光軸は、前記第2の面と略直交する所定の面内において第2の面から一方向回りに90°未満の第1の角度をなすように傾斜し、
前記照射手段は、前記所定の面内において前記第2の面から他方向回りに90°未満の第2の角度をなす方向から前記第2の面に対して光を照射し、
前記第1の角度と前記第2の角度とは、前記第2の面から前記光ファイバのコアに入射した光が前記光ファイバのクラッド内に入り込むように設定され、
前記ファイバ光学プレートの前記第1の面は、前記所定の面と略平行な方向から見た場合に、凹状となる第2の曲面を有していることを特徴とする凹凸パターン検出装置。 - 前記第1の角度は、63°〜73°の範囲内の角度であり、且つ、前記第2の角度は、5°〜30°の範囲内の角度であることを特徴とする請求項9に記載の凹凸パターン検出装置。
- 前記ファイバ光学プレートの前記第2の面には、前記光を透過する補強部材が設けられていることを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の凹凸パターン検出装置。
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