JP5561750B2 - 電子部品載置ステージ、位置決め装置、及び工程処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、電子部品載置ステージ1の外観を示す斜視図である。電子部品載置ステージ1は、電子部品Dに対して工程処理のステージとして、工程処理装置に搭載される。本実施形態の工程処理装置は位置決め装置である。位置決め装置は、電子部品Dの姿勢を適正に補正する。
この電子部品載置ステージ1の作用を図4乃至7を参照しつつ説明する。図4及び5は、圧力吸収部の変位を示す断面図である。図6は、上蓋2cに穿設された開口2fの付近を拡大した断面図である。図7は、シャフト6の下端部の拡大断面図である。
以上のように、電子部品Dが載置される電子部品載置ステージ1、電子部品Dの載置台3に圧力吸収部を備えるようにした。圧力吸収部は、電子部品Dの当該載置台3への当接圧力を吸収するように沈み込み可能となっている。例えば、この圧力吸収部は、縁が固定された板バネ4であり、載置台3がおもて面の中央領域4dに取り付けられ、板バネ4の平面部分が当接圧力によって撓むようになっている。
この電子部品載置ステージ1を位置決め装置に搭載する場合の板バネ4を図8に示す。電子部品Dを載置台3に載置した場合、保持手段100による電子部品Dの保持を維持しつつ、工程処理を施す場合がある。このケースにおいて、電子部品載置ステージ1を位置決め装置に搭載した場合には、θ回転によって載置台3が板バネ4に対して滑ってしまうことを防止する必要がある。
2 架台
2a ベース
2b 支柱
2c 上蓋
2d ステージ面
2e 貫通孔
2f 開口
2g パイプ
2h 引出端子
3 載置台
3a 吸着孔
4 板バネ
4a 隅
4b 中央領域
4c 角穴
4d 中央領域
4e スリット
5 嵩上げ台
6 シャフト
6a ピン体
6b 段部
6c パイプ
6d 引出端子
6e ブロック
7 凹部
8 スプリング
10 スプライン軸
11 継手
12 貫通孔
13 スリーブ本体
20 シャフト
21 継手
22 貫通孔
23 リニアブッシュ
100 保持手段
D 電子部品
Claims (11)
- 電子部品が載置される電子部品載置ステージであって、
前記電子部品の載置台と、
前記載置台がおもて面の中央領域に取り付けられ、前記電子部品の当該載置台への当接圧力を吸収するように沈み込み可能な圧力吸収部となる縁が固定された板バネと、
前記板バネの裏面に取り付けられ、前記板バネの下方に延びるシャフトと、
前記シャフトを支持するスプリングと、
を備え、
前記板バネは、その平面部分が前記当接圧力によって撓み、
前記スプリングは、
前記電子部品が前記載置台に当接していない状態での前記板バネの沈み込みを押し戻すように付勢すること、
を特徴とする電子部品載置ステージ。 - 前記板バネの裏面に取り付けられ、前記板バネの下方に延びるシャフトと、
前記シャフトの下端周面を挟持することで、前記シャフトの倒れを阻止するシャフト支持部と、
を更に備えること、
を特徴とする請求項1記載の電子部品載置ステージ。 - 前記板バネの撓みを前記電子部品の一枚の厚みに規制する規制部をさらに備えること、
を特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品載置ステージ。 - 前記規制部は、
前記板バネの裏面に取り付けられ、前記板バネの下方に延びるシャフトと、
前記シャフトに設けられ、当該シャフトの軸と交差するように拡がる当接面と、
前記当接面よりも前記電子部品の一枚の厚みに相当する距離だけ離れた下方に位置する規制面と、
を備え、
前記板バネの沈み込みに合わせて降りてきた前記シャフトの前記当設面と前記規制面とが接触し、前記板バネの撓みを前記電子部品の一枚の厚みに規制すること、
を特徴とする請求項3記載の電子部品載置ステージ。 - 前記板バネの撓み検出部を更に備えること、
を特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の電子部品載置ステージ。 - 前記撓み検出部は、
前記板バネの初期張力を零に近づけるように、前記板バネの平面を支持するスプリングと、
前記スプリングによって支持された前記板バネの表面で面接触することで塞がれた開口と、
前記開口に連通するパイプと、
を備え、前記パイプ内に圧力を発生させ、前記パイプ内の圧力変化を検出することにより、前記板バネの撓みが検出されること、
を特徴とする請求項5記載の電子部品載置ステージ。 - 前記電子部品を前記載置台へ吸い付ける吸着部を更に備え、
前記吸着部は、
前記載置台の上面に設けられた開口と、
前記開口から前記板バネを通って当該板バネの下方へ延び、負圧を前記開口へ伝達するパイプを有すること、
を特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の電子部品載置ステージ。 - 前記板バネには、複数のスリットが穿設され、
前記スリットは、板バネの中心から外側に向かって略同心円状に配列されていること、
を特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載の電子部品載置ステージ。 - 前記板バネの平面には、非円形穴が形成され、
前記載置台の底面には、前記非円形穴と大きさ及び形状を合わせた非円形足が突出し、
前記非円形足を前記非円形穴に挿入することで、前記載置台が前記板バネに対して回転不能に取り付けられること、
を特徴とする請求項1乃至8の何れかに記載の電子部品載置ステージ。 - 請求項1乃至9の何れかに記載の電子部品載置ステージを移動させる移動機構を備え、
前記載置台に載置された前記電子部品の位置を変更すること、
を特徴とする電子部品の位置決め装置。 - 請求項1乃至9の何れかに記載の電子部品載置ステージを備え、
前記載置台に載置された前記電子部品に対して工程処理を施すこと、
を特徴とする電子部品の工程処理装置。
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