JP5556335B2 - 超接合半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以上説明した本発明の実施例によれば、熱拡散時間とエピタキシャル成長の回数を削減し、生産効率を改善できるので、低コストで並列pn層を形成することができる超接合半導体装置を安価に製造することができる。
2 n+型エピタキシャル層
3 ノンドープエピタキシャル層
4 nカラム
4a n型イオン注入領域
5 pカラム
5a p型イオン注入領域
6 レジストマスク
7 ガードリング
8 フィールド絶縁膜
10 並列pn層
13 pベース領域
14 n+ソース領域
15 ゲート絶縁膜
16 ゲート電極
17 エミッタ電極
100 素子活性部
200 周縁耐圧構造部
Claims (5)
- 高濃度第一導電型半導体基板上に、エピタキシャル層を成長させる第一工程と、該エピタキシャル層に、シリコン結晶への拡散係数がボロンより大きい第一導電型不純物元素のイオン注入によるイオン注入層の形成と、異なる加速電圧による2回以上の前記ボロンのイオン注入によるイオン注入層を選択的に形成する第二工程と、前記第一および第二工程を1回以上繰り返して前記エピタキシャル層を所定の積層厚さにする第三工程と、イオン注入された不純物を熱拡散温度による不純物拡散によって、前記半導体基板の主面に垂直な方向では前記不純物が前記エピタキシャル層内にそれぞれ連続し、前記主面に平行な方向では相互に隣接する第一導電型領域と第二導電型領域からなる並列pn層を形成してドリフト層とする第四工程を有することを特徴とする超接合半導体装置の製造方法。
- 前記第二工程において、前記第一導電型不純物元素がセレンまたは硫黄であることを特徴とする請求項1記載の超接合半導体装置の製造方法。
- 前記第二工程において、異なる加速電圧とともに複数のドーズ量を組み合わせてボロンをイオン注入することにより、第二導電型領域に不純物濃度勾配を設けることを特徴とする請求項1または2記載の超接合半導体装置の製造方法。
- 前記第二工程において、異なる加速電圧によるボロンのイオン注入が7回行われることを特徴とする請求項3記載の超接合半導体装置の製造方法。
- 前記超接合半導体装置が超接合MOSFETであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の超接合半導体装置の製造方法。
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