JP5552834B2 - カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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(製造装置)
図1は第1の実施形態に用いられる熱CVD装置5の概略図を示す。図1に示すように、熱CVD装置は、内部に熱CVD雰囲気が形成される中空状のチャンバー6と、チャンバー6の内部に配置されシリコン基板を配置及び加熱する断面Tの字状のステージ8と、チャンバー6内を減圧する真空ポンプ9と、チャンバー6内に流路管11を介して炭素源ガス及びキャリアガスを供給するガス供給手段10と、を有する。
金属微粒子としては、カーボンナノチューブの作製において触媒作用を有するものであれば特に制限はないが、鉄、コバルト、ニッケル及びそれらを含む合金もしくは酸化物からなる群から選択された粒子を用いることができる。
粒径中央値D50:7.8nm、
体積平均径MV:8.6nm、
個数平均径MN:6.1nm、
標準偏差SD:3.2nm
を満たすものを用いることができる。
(イ)基礎基板として図2(a)に示すようなシリコン基板1を用意し、そのシリコン基板1を例えば超音波洗浄器により洗浄する。
(ホ)以上により、カーボンナノチューブが製造される。
(実施例1)
以下の基礎基板、触媒溶液を用いて、以下の条件の下、第1の実施形態に係る製造方法に準じて、カーボンナノチューブ(試料1)を製造した。
触媒溶液の濃度を0.1重量%としたことを除き、実施例1と同様の方法によりカーボンナノチューブ(試料2)を製造した。
触媒溶液の濃度を0.9重量%としたことを除き、実施例1と同様の方法によりカーボンナノチューブ(試料3)を製造した。
以下の条件でカーボンナノチューブを製造した。得られた結果を図5(a)〜(c)に示す。
第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
図6は第2の実施形態に用いられるプラズマCVD装置15の概略図を示す。
(イ)〜(ハ)第1の実施形態の工程(イ)〜(ハ)と同様にして、図2(b)の基板30を製造する。
図7(a)〜(c)に示すように製造した基板31を用いた点と、(プラズマ)CVD処理条件を以下のようにした点を除き、第2の実施形態に係る製造方法に準じて、カーボンナノチューブ(試料6)を製造した。
図2(a)(b)のように製造した基板30を用いたことを除き、実施例6と同様にして、カーボンナノチューブ(試料7)を製造した。
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
例えば、上述の(ハ)工程においては、自然乾燥により基板30を製造したが、触媒溶液を滴下した後、ホットプレート等で基板を加熱乾燥させてもよい。その際の好ましい加熱条件は、加熱温度300℃程度、加熱時間5分程度である。触媒溶液を加熱乾燥させることで、カーボンナノチューブが製造しやすくなるという効果が得られる。
上述の(ハ)工程においては、図2に示すように基礎基板であるシリコン基板1上に金属微粒子層2を設けた。しかし、図7(a)に示すように、基礎基板1を用意した後、図7(b)に示すように、基礎基板1上にゼオライト層3を設けた後、図7(c)に示すように、ゼオライト層3を挟んで基礎基板1上に金属微粒子を滴下して金属微粒子層2を設けてもよい。
2…金属微粒子層
3…ゼオライト層
30、31…基板
Claims (8)
- 活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ前記基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、
前記基板をチャンバー内に配置し前記基板にプラズマCVD処理しカーボンナノチューブを製造する工程と
を含み、
前記カーボンナノチューブを製造する工程では、基板加熱温度(℃)を700℃〜800℃、水素流量を64〜96sccm、メタン流量を18〜22sccm、成長時間を9〜11分とすることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 前記カーボンナノチューブを製造する工程では、バイアス電圧を10〜50Vとすることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記カーボンナノチューブを製造する工程では、直径5nm以上のカーボンナノチューブを製造することを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記金属微粒子は、平均粒径が6nm以上9nm以下であることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記金属微粒子が、鉄、コバルト、ニッケル及びそれらを含む合金もしくは酸化物からなる群から選択された粒子であることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記基板を製造する工程において、前記基礎基板上にゼオライト層を設けた後、前記ゼオライト層を挟んで前記基礎基板上に前記金属微粒子層を形成することを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記基板を製造する工程において、前記基礎基板上に前記触媒溶液を滴下した後に、前記触媒溶液を加熱乾燥させることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記金属微粒子は、動的光散乱法を用いた平均粒径が3nm以上10nm以下、標準偏差SDが4nm以下であることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
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