JP5551510B2 - 電子増倍率の測定方法及び撮像装置 - Google Patents

電子増倍率の測定方法及び撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5551510B2
JP5551510B2 JP2010112204A JP2010112204A JP5551510B2 JP 5551510 B2 JP5551510 B2 JP 5551510B2 JP 2010112204 A JP2010112204 A JP 2010112204A JP 2010112204 A JP2010112204 A JP 2010112204A JP 5551510 B2 JP5551510 B2 JP 5551510B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
multiplication factor
luminance
average value
electron multiplication
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2010112204A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011244076A (ja
Inventor
克秀 伊東
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics KK filed Critical Hamamatsu Photonics KK
Priority to JP2010112204A priority Critical patent/JP5551510B2/ja
Priority to EP11780424.5A priority patent/EP2571253A4/en
Priority to US13/696,889 priority patent/US9148597B2/en
Priority to PCT/JP2011/055253 priority patent/WO2011142167A1/ja
Priority to TW100109451A priority patent/TWI530181B/zh
Publication of JP2011244076A publication Critical patent/JP2011244076A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5551510B2 publication Critical patent/JP5551510B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/713Transfer or readout registers; Split readout registers or multiple readout registers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/63Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to dark current
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/72Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors using frame transfer [FT]

Description

本発明は、電子増倍率の測定方法及び撮像装置に関する。
従来の撮像装置として、電荷増倍手段を有するCMD(Charge Multiplying Detector)−CCD撮像素子を備えたものが知られている。このような撮像装置では、当該装置の劣化等に起因して、ユーザが設定する増倍率と撮像された増倍画像における実際の増倍率との間にずれが生じる場合がある。そこで、このような撮像装置においては、CMD−CCD撮像素子の遮光領域に対応する画素で撮像されて増倍率1で増倍された第1の信号値を記憶し、さらに、該遮光領域に対応する画素で撮像されて所定の増倍率で増倍された第2の信号値を記憶した後、第2の信号値を第1の信号値で除することによって、実際の増倍率を算出する方法が知られている(例えば特許文献1参照)。
特開2003−9000号公報
ところで、上述のような撮像装置においては、増倍率をリアルタイムで測定可能な増倍率の測定方法が求められている。
そこで、本発明は、電子増倍率をリアルタイムで測定可能な電子増倍率の測定方法及び撮像装置を提供することを課題とする。
上記課題を解決するため、本発明に係る電子増倍率の測定方法は、受光部及びオプティカルブラック部を有する電子増倍型撮像素子を備える撮像装置における電子増倍率の測定方法であって、予め設定された所定の電子増倍率で増倍画像を取得する第1工程と、増倍画像において、受光部に対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出する第2工程と、増倍画像において、オプティカルブラック部に対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出する第3工程と、第2及び第3工程で算出した輝度平均値及び輝度分散平均値を用いて、増倍画像の変換係数を算出する第4工程と、第4工程で算出した変換係数、及び基準電子増倍率における変換係数の比から、増倍画像の電子増倍率を求める第5工程と、を備えることを備えることを特徴とする。
また、上記課題を解決するため、本発明に係る撮像装置は、受光部及びオプティカルブラック部を有する電子増倍型撮像素子を備える撮像装置であって、予め設定された所定の電子増倍率で増倍画像を取得する画像取得部と、増倍画像において、受光部に対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出すると共に、オプティカルブラック部に対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出する輝度算出部と、輝度算出部が算出した輝度平均値及び輝度分散平均値を用いて、増倍画像の変換係数を算出する変換係数算出部と、変換係数算出部が算出した変換係数、及び基準電子増倍率における変換係数の比から、増倍画像の電子増倍率を求める増倍率算出部と、を備えることを特徴とする。
この電子増倍率の測定方法及び撮像装置は、所定の電子増倍率で増倍画像を取得し、取得した増倍画像において、受光部とオプティカルブラック部とにそれぞれ対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出し、算出した輝度平均値及び輝度分散平均値を用いて増倍画像における変換係数を算出する。そして、算出した変換係数と基準増倍率における変換係数とを用いて、増倍画像の電子増倍率を求める。このように、この電子増倍率の測定方法及び撮像装置によれば、受光部とオプティカルブラック部にそれぞれ対応する同じ増倍率の画素を用いて、増倍画像の電子増倍率を求めるので、電子増倍率がリアルタイムで測定可能となる。
また、本発明に係る電子増倍率の測定方法においては、第5工程で求めた電子増倍率が、予め設定された所定の電子増倍率となるように、電子増倍電圧を調整する工程をさらに備えることが好ましい。この電子増倍率の測定方法によれば、上述したように、電子増倍率がリアルタイムで測定可能となる。したがって、求められた電子増倍率が予め設定された所定の電子増倍率となるように電子増倍電圧を調整することで、電子増倍率がリアルタイムで調整可能となる。
また、本発明の電子増倍率の測定方法においては、第5工程で求めた電子増倍率が、予め設定された所定の電子増倍率となるように、増倍画像の輝度値を補正する工程をさらに備えることが好ましい。本発明の電子増倍率の測定方法によれば、上述したように、電子増倍率がリアルタイムで測定可能となる。したがって、求められた電子増倍率が予め設定された所定の電子増倍率となるように増倍画像の輝度値を補正することで、電子増倍率がリアルタイムで調整可能となる。
また、本発明の電子増倍率の測定方法においては、第5工程で求めた電子増倍率を、該電子増倍率に応じた過剰雑音指数を用いて補正する工程をさらに備えることが好ましい。この場合、求めた電子増倍率をこの電子増倍率に応じた過剰雑音指数を用いて補正するので、正確な電子増倍率を得ることができる。
さらに、本発明の電子増倍率の測定方法においては、第1工程では、互いに異なる時刻に撮像された第1及び第2増倍画像を増倍画像として取得し、第2工程では、第1増倍画像と第2増倍画像との加算画像に基づいて、増倍画像における受光部に対応する画素の輝度平均値を算出すると共に、第1増倍画像と第2増倍画像との減算画像に基づいて、増倍画像における受光部に対応する画素の輝度分散平均値を算出し、第3工程では、第1増倍画像と第2増倍画像との加算画像に基づいて、増倍画像におけるオプティカルブラック部に対応する画素の輝度平均値を算出すると共に、第1増倍画像と第2増倍画像との減算画像に基づいて、増倍画像におけるオプティカルブラック部に対応する画素の輝度分散平均値を算出する、ことが好ましい。この場合、増倍画像は、異なる時刻に撮像された2つの増倍画像(第1及び第2増倍画像)を含む。そして、この電子増倍率の測定方法では、増倍画像における受光部及びオプティカルブラック部に対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を、それぞれ2つの増倍画像に基づいて算出する。このため、正確な輝度平均値及び輝度分散平均値を得ることができる。特に、輝度分散平均値は、2つの増倍画像の減算画像に基づいて算出されるため、当該撮像装置のシェーディングの影響が軽減されて、正確な値となる。
本発明によれば、電子増倍率をリアルタイムで測定可能な電子増倍率の測定方法及び撮像装置を提供できる。
本実施形態に係る電子増倍型撮像装置の構成を示すブロック図である。 図1に示された固体撮像素子の構成の一例を示す模式図である。 図1に示されたCPUの機能的な構成を示すブロック図である。 図1に示された電子増倍型撮像装置における電子増倍率の測定方法の手順を示すフローチャートである。 輝度平均値と輝度分散平均値との関係の一例を示すグラフである。 図6(a)は輝度平均値と輝度分散平均値との関係の一例を示すグラフであり、図6(b)は電子増倍率と過剰雑音指数との関係の一例を示すグラフである。 電子増倍率と過剰雑音指数とを対応付ける表の一例である。 本実施形態に係る電子増倍率の測定方法の別の手順の一部を示す図である。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
図1に示されるように、電子増倍型撮像装置1は、電子増倍型の固体撮像素子(電子増倍型撮像素子)10を備えている。この固体撮像素子10は、アレイ状に配列された複数の画素を有し、その各画素において光入射量に応じて生成された電荷信号を出力すると共に、電荷信号を増倍する電子増倍部を有して構成されている。
図2に示されるように、固体撮像素子10は、垂直シフトレジスタからなる撮像部101及び蓄積部102と、水平シフトレジスタ103と、を有するFT(フレームトランスファー)型CCDとして構成されている。撮像部101は、入射光像による画像の取得に用いられるイメージ部(受光部)101aと、所定の遮光部材により遮光されており、光入射の無い部分の輝度のリファレンスとして用いられるオプティカルブラック(OPB)部101bと、を含む。本実施形態では、イメージ部101aは撮像部101の中央に配置されており、OPB部101bはイメージ部101aの縁に沿って配置されている。このような撮像部101は、単位画素100が2次元アレイ状に配列された構造となっている。
蓄積部102は、撮像部101と同様に、単位画素が2次元アレイ状に配列された構造となっている。また、蓄積部102は、撮像部101と水平シフトレジスタ103との間に設けられている。このような蓄積部102は、不透明な金属などによってマスクされて光像の検出には用いられず、撮像部101の各単位画素100で生成された電荷信号の蓄積や、水平シフトレジスタ103への当該電荷信号の転送に用いられる。
このような構成を有する固体撮像素子10では、まず、撮像部101に対して光像が入射されると、複数の画素100のそれぞれにおいて入射光に応じた電荷信号が生成されることにより画像の取得が行われる。次に、撮像部101の各画素100で生成された電荷信号が蓄積部102に蓄積される。続いて、出力レジスタである水平シフトレジスタ103による電荷信号の読み出しが行われる。
固体撮像素子10は、水平シフトレジスタ103に加えて、電子増倍機能を有する電子増倍部である増倍レジスタ105が設けられている。これにより、この固体撮像素子10は、増倍レジスタ105に通常よりも高い電圧を電子増倍電圧として印加しつつ電荷信号を転送することで、電荷信号を所定の電子増倍率で増倍することが可能な電子増倍型CCD(EM−CCD)の構成となっている。このような構成では、撮像部101の各画素100から水平シフトレジスタ103へと転送された電荷信号が、さらに接続レジスタ104を介して増倍レジスタ105に転送されることにより所定の電子増倍率で増倍され、得られた増倍電荷信号が出力端106から画像データとして出力される。
ここで、図1に示されるように、電子増倍型撮像装置1は、冷却器12と放熱器14とをさらに備えている。冷却器12は、暗電流ノイズ等を低減すべく、固体撮像素子10を所定温度まで冷却された状態に保持する。放熱器14は、冷却器12の放熱側に接続されており、ファンによる対流、あるいは水の循環などによって放熱を行う。なお、冷却器12と固体撮像素子10とは、真空封じきり管11内に封入された構成とされている。
また、電子増倍型撮像装置1は、アナログ信号処理部16と、A/D変換部18と、DSP(デジタルシグナルプロセッサ)部20と、ビデオ信号変換部22とをさらに備えている。アナログ信号処理部16は、固体撮像素子10から出力されるアナログの電荷信号に対して必要な信号処理を行う。アナログ信号処理部16で行われる信号処理は、例えば、固体撮像素子10から出力されたアナログビデオ信号(電荷信号)を直流再生すると共に、後段でのA/D変換に適した振幅となるようにアナログビデオ信号を増幅する、といった処理である。
A/D変換部18は、アナログ信号処理部16から出力されたアナログビデオ信号をデジタルビデオ信号に変換して後段のDSP部20へ出力する。DSP部20は、A/D変換部18から出力されたデジタルビデオ信号に信号処理を施し、後段のビデオ信号変換部22へ出力する。ビデオ信号変換部22は、DSP部20から出力される画像データであるデジタルビデオ信号に対して水平、垂直のビデオ同期信号を付加し、電子増倍型撮像装置1から外部へと出力される出力信号としてのデジタルビデオ信号を生成する。
電子増倍型撮像装置1は、CPU24と、タイミング制御部26と、固体撮像素子駆動部28とをさらに備えている。CPU24は、撮像制御処理を実行するCPUであり、DSP部20やタイミング制御部26や固体撮像素子駆動部28等の電子増倍型撮像装置1の各部の動作を制御する。
また、CPU24は、機能的には、図3に示されるように、画像取得部24a、輝度算出部24b、変換係数算出部24c、増倍率算出部24d及び補正部24eを有している。CPU24は、画像取得部24a〜補正部24eが所定の演算を行うことにより、後述する電子増倍率の測定方法の各処理を実行する。
タイミング制御部26は、固体撮像素子10やA/D変換部18等の動作に必要なタイミング信号を生成して出力する。固体撮像素子駆動部28は、タイミング制御部26からのタイミング信号やCPU24からの指示信号等を参照して、撮像部101、蓄積部102、及び各レジスタ103〜105での電荷転送の制御や、増倍レジスタ105に対する電子増倍電圧の条件の制御等を行う。なお、電子増倍型撮像装置1の各部の動作に必要な電圧は、電源部30から供給される。
次に、図4を参照して、電子増倍型撮像装置1における電子増倍率の測定方法について説明する。当該測定方法は、CPU24が電子増倍型撮像装置1の各部を適宜制御すると共に画像取得部24a〜補正部24eが所定の演算を行うことで実行される。
先ず、画像取得部24aが、予め設定された所定の電子増倍率で増倍画像を取得する(第1工程S1)。具体的には、予め設定された所定の電子増倍率で固体撮像素子10により生成された増倍電荷信号を、アナログ信号処理部16で信号処理した後にA/D変換部18でデジタル信号に変換し、増倍画像としてDSP部20のメモリに記憶する。
続いて、輝度算出部24bが、第1工程S1で取得(記憶)された増倍画像において、イメージ部101aに対応する画素の輝度平均値(平均出力カウント数)及び輝度分散平均値(平均出力カウント数の分散)を算出する(第2工程S2)。ここで、増倍画像においてイメージ部101aに対応する画素とは、増倍画像の一部を構成する画素であって、固体撮像素子10のイメージ部101aの各画素100からの電荷信号に対応する画素である。
続いて、輝度算出部24bが、同じく第1工程S1で取得された増倍画像において、OPB部101bに対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出する(第3工程S3)。ここで、増倍画像においてOPB部101bに対応する画素とは、増倍画像の一部を構成する画素であって、固体撮像素子10のOPB部101bの各画素100からの電荷信号に対応する画素である。
続いて、変換係数算出部24cが、第2工程S2及び第3工程S3で算出された輝度平均値及び輝度分散平均値を用いて、第1工程S1で取得された増倍画像の変換係数を算出する(第4工程S4)。ここで、変換係数とは、1の出力カウントが何フォトエレクトロンに相当するかを示す係数であり、次のようにして求めることができる。
輝度分散平均値は、下式に示されるように、輝度平均値の一次関数として表されることが知られている。
Figure 0005551510

ここで、V(I)は輝度分散平均値、CFは変換係数、Iは輝度平均値、rは読み出しノイズである。上式によれば、輝度分散平均値V(I)の傾き(輝度平均値Iの係数)が、変換係数CFの逆数となっている。図5は、一例として複数の画像における輝度平均値と輝度分散平均値とをプロットした図である。図5において、各点を結んだ直線Lが、概ね上式の輝度分散平均値V(I)である。
したがって、この直線Lの傾きを求めて逆数をとれば、変換係数が求められる。そして、この直線Lの傾きは、互いに輝度の異なる2つの増倍画像(或いは画素)の輝度平均値及び輝度分散平均値から求められる。つまり、イメージ部101aに対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値をそれぞれIa及びVaとし、OPB部101bに対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値をそれぞれIb及びVbとすると、下式により変換係数CFが求められる。
Figure 0005551510

続いて、増倍率算出部24dが、上記のようにして第4工程S4で算出された変換係数と、予め保持している基準電子増倍率(例えば1倍)における変換係数とを用いて、第1工程S1で取得された増倍画像の正味の電子増倍率(即ち固体撮像素子10による正味の電子増倍率)を算出する(第5工程S5)。この正味の電子増倍率は、本発明者らの知見によれば、下式により求めることができる。
Figure 0005551510

ここで、上式の正味の電子増倍率における変換係数とは、第4工程S4で算出された変換係数である。以上の工程により、予め設定した所定の電子増倍率で取得された増倍画像の実際の電子増倍率が求められる。なお、求められた電子増倍率は、リアルタイムで数値として出力してもよいし、画像データと共に出力してもよい。
以上説明したように、本実施形態に係る電子増倍率の測定方法では、予め設定された所定の電子増倍率で増倍画像を取得し、取得した増倍画像において、イメージ部101aとOPB部101bとにそれぞれ対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出し、算出した輝度平均値及び輝度分散平均値を用いて増倍画像における変換係数を算出する。そして、算出した変換係数と基準増倍率における変換係数とを用いて、増倍画像の電子増倍率を求める。このように、この電子増倍率の測定方法によれば(即ち電子増倍型撮像装置1によれば)、イメージ部101aとOPB部101bとにそれぞれ対応する同じ増倍率の画素を用いて、増倍画像の電子増倍率を求めるので、電子増倍率がリアルタイムで測定可能となる。
なお、所定の電子増倍率において、輝度の異なる2つの増倍画像を取得し、それぞれの輝度平均値及び輝度分散平均値を算出することで、上記のように変換係数を求めて電子増倍率を求めることもできる。この場合、2つの増倍画像のうちの一方の増倍画像を、シャッタやキャップ等により遮光して取得されるダーク画像としてもよい。しかしながら、本実施形態に係る電子増倍率の測定方法では、このダーク画像として、OPB部101bに対応する画素を利用することにより、シャッタやキャップ等により遮光してダーク画像を取得する必要が無くなると共に、イメージ部101aに対応する画素を併せて利用することにより、1つの増倍画像を基にして電子増倍率を求めることができるため、効率的である。
ここで、輝度平均値と輝度分散平均値と間の直線性は、輝度平均値が大きくなるにつれて、図6(a)に示されるように悪くなる。したがって、予め直線性が悪い輝度平均値を測定し、直線性が悪い輝度平均値では電子増倍率を求めないように、最大輝度平均値を設定しておくことが好ましい。この場合、直線性が悪い最大輝度平均値を超えた輝度平均値で電子増倍率を求めることが防止されるので、電子増倍率を正確に求めることが可能となる。
また、より正確な電子増倍率を求めるためには、過剰雑音指数(エクセスノイズファクター:excess noise factor)を考慮する必要がある。なお、過剰雑音指数とは、電子を増倍する上で発生する増倍揺らぎを示すものである。このような過剰雑音指数は、電子増倍率の変化に伴って変化することが知られている(例えば「PhotonTransfer Methods and Results For Electron Multiplication CCDs, Proceedings ofSPIE Vol.5558,P248-P259」参照)。電子増倍率の変化に伴う過剰雑音指数の変化の一例を図6(b)に示す。図6(b)によれば、過剰雑音指数は、電子増倍率が1倍では1.0であるが、電子増倍率が上昇するに伴って上昇し、電子増倍率が10倍以上ではほぼ1.4となる。
そこで、本実施形態に係る電子増倍率の測定方法は、第5工程S5の後工程として、補正部24eが、第5工程S5で求められた電子増倍率を、この電子増倍率に応じた過剰雑音指数で補正する工程をさらに備えることが好ましい。この場合、第5工程S5で求められた電子増倍率を、その電子増倍率に応じた過剰雑音指数で除することによって、補正後の電子増倍率を求めることができる。このような補正を行うことにより、第1工程S1で取得された増倍画像の実際の電子増倍率を正確に求めることができる。なお、図7に示されるような、電子増倍率と過剰雑音指数とを対応付けたテーブルを予め保持し、それを参照して当該補正を行うことで、より効率的に電子増倍率を補正できる。
また、本実施形態に係る電子増倍率の測定方法においては、第1工程S1で、図8に示されるように、画像取得部24aが、互いに異なる(可能ならば連続した)時刻に撮像された第1増倍画像(例えば1フレーム前の画像)A及び第2増倍画像(例えば現在の画像)Bを増倍画像ABとして取得することができる。このとき、画像取得部24aは、第1増倍画像Aと第2増倍画像Bとの加算画像Cを生成してDSP部20のメモリに記憶すると共に、第1増倍画像Aと第2増倍画像Bとの減算画像Dを生成してDSP部20のメモリに記憶する。なお、第1増倍画像A及び第2増倍画像Bは、同一の電子増倍率及び光量で撮像されたものである。また、第1増倍画像A、第2増倍画像B、加算画像C及び減算画像Dは、それぞれ、イメージ部101aに対応する画素の領域102aと、OPB部101bに対応する画素の領域102bと、を含む。
この場合、第2工程S2以降の各工程は以下のようになる。先ず、第2工程S2では、輝度算出部24bが、加算画像Cに基づいて、増倍画像ABのイメージ部101aに対応する画素の(即ち領域102aの)輝度平均値を算出すると共に、減算画像Dに基づいて、増倍画像ABのイメージ部101aに対応する画素の輝度分散平均値を算出する。具体的には、輝度算出部24bは、加算画像Cのイメージ部101aに対応する画素の輝度平均値を算出し、それを2で割って得られる値を、増倍画像ABのイメージ部101aに対応する画素の輝度平均値Iaとする。また、輝度算出部24bは、減算画像Dのイメージ部101aに対応する画素の輝度分散平均値を算出し、それを2で割って得られる値を、増倍画像ABのイメージ部101aに対応する画素の輝度分散平均値Vaとする。
続いて、第3工程S3では、輝度算出部24bが、加算画像Cに基づいて、増倍画像ABのOPB部101bに対応する画素の(即ち領域102bの)輝度平均を算出すると共に、減算画像Dに基づいて、増倍画像ABのOPB部101bに対応する画素の輝度分散平均を算出する。具体的には、輝度算出部24bは、加算画像CのOPB部101bに対応する画素の輝度平均値を算出し、それを2で割って得られる値を、増倍画像ABのOPB部101bに対応する画素の輝度平均値Ibとする。また、輝度算出部24bは、減算画像DのOPB部101bに対応する画素の輝度分散平均値を算出し、それを2で割って得られる値を、増倍画像ABのOPB部101bに対応する画素の輝度分散平均値Vbとする。
そして、上記のようにして算出された輝度平均値Ia,Ib及び輝度分散平均値Va,Vbを用いて変換係数算出部24cが変換係数CFを算出し(第4工程S4)、増倍率算出部24dが増倍画像ABの正味の電子増倍率を算出する(第5工程S5)。
このように、第1工程S1で第1増倍画像A及び第2増倍画像Bの2つの増倍画像を取得し、第2工程S2及び第3工程S3でこれらの増倍画像の加算及び減算画像を利用することによって、増倍画像ABの正確な輝度平均値及び輝度分散平均値を得ることができる。特に、輝度分散平均値は、2つの画像の減算画像に基づいて算出されるため、被写体やレンズや電子増倍型撮像装置1等のシェーディングの影響が排除されて、正確な値となる。また、仮に、イメージ部101aに入射される光の量が不均一な場合でも、正確な電子増倍率を求めることが可能となる。
また、本実施形態に係る電子増倍率の測定方法は、第5工程の後工程として、第5工程S5で求められた電子増倍率が予め設定された所定の電子増倍率と異なる場合に(即ち、実際の電子増倍率と設定された電子増倍率とが異なる場合に)、第5工程S5で求められた電子増倍率が予め設定された所定の電子増倍率となるように、補正部24eが電子増倍電圧を調整する工程を備えることができる。
或いは、本実施形態に係る電子増倍率の測定方法は、第5工程の後工程として、第5工程S5で求められた電子増倍率が予め設定された所定の電子増倍率と異なる場合、第5工程S5で求められた電子増倍率が予め設定された所定の電子増倍率となるように、補正部24eが増倍画像の輝度値を補正する工程を備えることができる。
これらの工程を備える場合、上述した第1工程S1〜第5工程S5により電子増倍率がリアルタイムで測定可能であることから、電子増倍率がリアルタイムで調整可能となる。
なお、上記実施形態における各画像の記憶は、DSP部20のメモリに限らず、例えば、電子増倍型撮像装置1に接続されたHDD等の外部記憶装置で行われてもよい。
1…電子増倍型撮像装置、10…固体撮像素子、24a…画像取得部、24b…輝度算出部、24c…変換係数算出部、24d…増倍率算出部、101a…イメージ部、101b…OPB部。

Claims (6)

  1. 受光部及びオプティカルブラック部を有する電子増倍型撮像素子を備える撮像装置における電子増倍率の測定方法であって、
    予め設定された所定の電子増倍率で増倍画像を取得する第1工程と、
    前記増倍画像において、前記受光部に対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出する第2工程と、
    前記増倍画像において、前記オプティカルブラック部に対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出する第3工程と、
    前記第2及び前記第3工程で算出した前記輝度平均値及び前記輝度分散平均値を用いて、前記増倍画像の変換係数を算出する第4工程と、
    前記第4工程で算出した前記変換係数、及び基準電子増倍率における変換係数の比から、前記増倍画像の電子増倍率を求める第5工程と、
    を備えることを特徴とする電子増倍率の測定方法。
  2. 前記第5工程で求めた前記電子増倍率が、予め設定された前記所定の電子増倍率となるように、電子増倍電圧を調整する工程をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の電子増倍率の測定方法。
  3. 前記第5工程で求めた前記電子増倍率が、予め設定された前記所定の電子増倍率となるように、前記増倍画像の輝度値を補正する工程をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の電子増倍率の測定方法。
  4. 前記第5工程で求めた前記電子増倍率を、該電子増倍率に応じた過剰雑音指数を用いて補正する工程をさらに備えることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項記載の電子増倍率の測定方法。
  5. 前記第1工程では、互いに異なる時刻に撮像された第1及び第2増倍画像を前記増倍画像として取得し、
    前記第2工程では、前記第1増倍画像と前記第2増倍画像との加算画像に基づいて、前記増倍画像における前記受光部に対応する画素の輝度平均値を算出すると共に、前記第1増倍画像と前記第2増倍画像との減算画像に基づいて、前記増倍画像における前記受光部に対応する画素の輝度分散平均値を算出し、
    前記第3工程では、前記第1増倍画像と前記第2増倍画像との加算画像に基づいて、前記増倍画像における前記オプティカルブラック部に対応する画素の輝度平均値を算出すると共に、前記第1増倍画像と前記第2増倍画像との減算画像に基づいて、前記増倍画像における前記オプティカルブラック部に対応する画素の輝度分散平均値を算出する、
    ことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項記載の電子増倍率の測定方法。
  6. 受光部及びオプティカルブラック部を有する電子増倍型撮像素子を備える撮像装置であって、
    予め設定された所定の電子増倍率で増倍画像を取得する画像取得部と、
    前記増倍画像において、前記受光部に対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出すると共に、前記オプティカルブラック部に対応する画素の輝度平均値及び輝度分散平均値を算出する輝度算出部と、
    前記輝度算出部が算出した前記輝度平均値及び前記輝度分散平均値を用いて、前記増倍画像の変換係数を算出する変換係数算出部と、
    前記変換係数算出部が算出した前記変換係数、及び基準電子増倍率における変換係数の比から、前記増倍画像の電子増倍率を求める増倍率算出部と、
    を備えることを特徴とする撮像装置。
JP2010112204A 2010-05-14 2010-05-14 電子増倍率の測定方法及び撮像装置 Expired - Fee Related JP5551510B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010112204A JP5551510B2 (ja) 2010-05-14 2010-05-14 電子増倍率の測定方法及び撮像装置
EP11780424.5A EP2571253A4 (en) 2010-05-14 2011-03-07 METHOD FOR MEASURING ELECTRON MULTIPLICATION FACTORS AND IMAGE RECORDING DEVICE
US13/696,889 US9148597B2 (en) 2010-05-14 2011-03-07 Electron multiplication factor measurement method and image capture device
PCT/JP2011/055253 WO2011142167A1 (ja) 2010-05-14 2011-03-07 電子増倍率の測定方法及び撮像装置
TW100109451A TWI530181B (zh) 2010-05-14 2011-03-18 Measurement method of electronic multiplication rate and image pickup device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010112204A JP5551510B2 (ja) 2010-05-14 2010-05-14 電子増倍率の測定方法及び撮像装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011244076A JP2011244076A (ja) 2011-12-01
JP5551510B2 true JP5551510B2 (ja) 2014-07-16

Family

ID=44914225

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010112204A Expired - Fee Related JP5551510B2 (ja) 2010-05-14 2010-05-14 電子増倍率の測定方法及び撮像装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9148597B2 (ja)
EP (1) EP2571253A4 (ja)
JP (1) JP5551510B2 (ja)
TW (1) TWI530181B (ja)
WO (1) WO2011142167A1 (ja)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003009000A (ja) * 2001-06-21 2003-01-10 Fuji Photo Film Co Ltd 撮像装置
JP2003158679A (ja) * 2001-08-20 2003-05-30 Fuji Photo Film Co Ltd 電荷増倍型固体電子撮像装置およびその制御方法
GB0501149D0 (en) 2005-01-20 2005-02-23 Andor Technology Plc Automatic calibration of electron multiplying CCds
JP2006324614A (ja) * 2005-05-16 2006-11-30 Koji Eto 高ダイナミックレンジ画素周辺記録型撮像素子
JP2008271049A (ja) * 2007-04-18 2008-11-06 Hamamatsu Photonics Kk 撮像装置及びそのゲイン調整方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2571253A1 (en) 2013-03-20
WO2011142167A1 (ja) 2011-11-17
TWI530181B (zh) 2016-04-11
US20130050475A1 (en) 2013-02-28
EP2571253A4 (en) 2014-06-25
JP2011244076A (ja) 2011-12-01
TW201141208A (en) 2011-11-16
US9148597B2 (en) 2015-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2014065056A1 (ja) 撮像装置、および画像処理方法、並びにプログラム
US7907194B2 (en) Imaging apparatus and gain adjusting method for the same
TW200939742A (en) One-step black level calibration for image sensors
JP2009284424A (ja) 撮像装置、撮像方法及びプログラム
WO2007091369A1 (ja) 固定パターン雑音除去装置、固体撮像装置、電子機器、及び固定パターン雑音除去プログラム
JP5520833B2 (ja) 撮像方法および撮像装置
JP5547548B2 (ja) 電子増倍率の測定方法
JP5207926B2 (ja) 撮像装置及びその制御方法
JP5013718B2 (ja) 放射線画像取得装置及び方法
JP4110044B2 (ja) 画像撮像方法
JP6270400B2 (ja) 画像処理装置、画像処理方法及び画像処理プログラム
JP5551510B2 (ja) 電子増倍率の測定方法及び撮像装置
JP5496922B2 (ja) クロストーク量測定装置、これを用いた色補正装置およびクロストーク量測定方法
JP7236282B2 (ja) 画像処理装置及び方法、及び撮像装置
JP5588729B2 (ja) 画像信号処理装置
JP5355726B2 (ja) 撮影装置、画像処理装置、撮影システム、放射線撮影装置および画像処理方法
JP2017076875A (ja) 撮像装置及び撮像装置の補正方法
JP5720213B2 (ja) 撮像装置
TW200525745A (en) Signal processing method and image acquiring device
JP5271201B2 (ja) 画像信号処理装置及び撮像装置
JP2010166479A (ja) 撮像装置及び撮像画像の補正方法
JP5421703B2 (ja) 画像信号処理装置および撮像装置
JP2013115547A (ja) 撮像装置及びその制御方法
JP2011055336A (ja) 撮像装置及び信号処理方法
JP2007228259A (ja) 信号処理装置及び撮像装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140107

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140228

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140520

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140522

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5551510

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees