JP5496922B2 - クロストーク量測定装置、これを用いた色補正装置およびクロストーク量測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、固体撮像素子のクロストーク量を測定するクロストーク量測定装置、これを用いた色補正装置およびクロストーク量測定方法に関するものであり
、特に 、固体撮像素子の隣接画素へのクロストーク量の測定を行う装置に関するものである。

近年、表示画像の高画質化に伴い、ＣＭＯＳやＣＣＤ等の固体撮像素子におけるクロストークの低減が強く要望されている。

このような固体撮像素子、特にＣＭＯＳにおいては、信号が隣接画素へ漏れこむクロストークが生じ易い。主な原因としては、隣接する画素上の位置を通過した入射光が光学的に混入する場合と、シリコン基板内部で発生した光電子が隣接する画素に拡散して電気的に混入する場合がある。

クロストークが生じると、固体撮像素子の各画素の上に色フィルタを搭載した単板カラー固体撮像素子では、隣接する画素間で色フィルタの色が互いに異なるため、隣接する相異なる色用の画素間で互いに色が混ざってしまう混色現象が生じ色再現性を劣化させてしまう。

上記光電変換が行なわれるシリコン単結晶では、照射された光は結晶の中で波長毎に異なる深さで吸収される（表１（光の色と吸収の深さ「ＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージ・センサの基礎と応用」より）を参照）。したがって、例えば空乏層厚が２μｍの場合、波長の短い青、緑の光は空乏層内で光電変換され光電子が電位勾配によりドリフトでＮ領域に集まるが、波長の長い赤の光は空乏層の外で光電変換され光電子が拡散により隣接する光ダイオードに混入する可能性がある。

Furumiyaらのシミュレーション例（下記非特許文献１に記載）では、波長の短い紫の光（４００ｎｍ）は隣接画素にほとんど漏れてこないが、波長の長い赤の光（７００ｎｍ）は隣接画素に漏れてくることが報告されている。
またMutohのシミュレーション例（下記非特許文献２に記載）でも、隣接画素へのクロストーク量が入射光の波長に応じて変化することが報告されている。

しかしながら、下記非特許文献１、２には、隣接画素へのクロストーク量を、例えばＭＴＦ等を用いて簡易に測定することについての記載や示唆は一切なされていない。
一方、下記特許文献３には、スポット光測定装置と画素サイズの大きな撮像素子を用いて行ったクロストーク量の測定結果がＭＴＦとの関係において記載されている。

"High-Sensitivityand No-Crosstalk Pixel Technology for Embedded CMOS Image Sensor" , M. Furumiya et. al, IEEETransactions on Electron Devices, Volume: 48 Issue:10, pp.2221 - 2227, (2001) "3-D Optical and ElectricalSimulation for CMOS Image Sensors", H. Mutoh, IEEETransactions on Electron Devices, Volume: 50 Issue:1, On page(s): 19 - 25(2003) "Pixel Crosstalk and Correlation with Modulation Transfer Function ofCMOS Image Sensor" , M. Estribeau et. al, SPIE Electronic Imaging, Sensors and CameraSystems for Scientific and Industrial Applications VI 巻: 5677 ページ: 98-108 発行: 2005年

しかしながら、上記非特許文献３には、スポット光測定装置と画素サイズの大きな撮像素子を用いて実際に測定した結果しか記載されていない。また、使用されている、装置自体も特殊で非常に高価である。さらに、一般にスポット光測定装置では画素サイズが小さい撮像素子の測定は光のビームスポットを小さくすることに困難を伴うとともに、被測定物である撮像素子を移動させる移動ステージの制御を精度よく行うことが容易ではない。

なお、上記非特許文献３においては、５００ｎｍ〜８００ｎｍの光について水平、垂直方向のＭＴＦ特性を測定し、散乱により電荷が隣接画素に漏れることによって空間ローパスフィルタ(LPF)効果をもたらし、長波長ほどＭＴＦが低下すること、およびナイキスト周波数におけるＭＴＦ値とクロストーク量の関係を測定し、ほぼ比例する関係があると報告している。しかしながら、この文献には、実験による測定結果が示されているだけであり、このような現象をどのように解析し、応用していくかということについては、何ら示唆されていない。

本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、まず、固体撮像素子の隣接画素へのクロストーク量を、簡易かつ安価に測定することができるクロストーク量測定装置を提供すること、およびこれに加えて、クロストーク量測定装置を用いた色補正装置およびクロストーク量測定方法を提供することを目的とするものである。

本発明のクロストーク量測定装置は、
被写体を撮像する固体撮像素子のクロストーク量を測定するクロストーク量測定装置において、
該固体撮像素子からの出力に基づき、ＭＴＦ特性を測定するＭＴＦ測定部と、
予めＭＴＦ値とクロストーク量の関係が記憶され、前記ＭＴＦ測定部からのＭＴＦ値に基づき前記クロストーク量を算出するクロストーク量算出部と、
を備えたことを特徴とするものである。

また、前記クロストーク量算出部に記憶される、前記ＭＴＦ値と前記クロストーク量の関係が、被写体としてのＭＴＦ測定用チャートを用いて取得されたデータに基づいて求められることが好ましい。

また、前記固体撮像素子は、少なくとも可視光領域の全域に感度を有するイメージセンサであることが好ましい。

また、本発明の色補正装置は、上記クロストーク量測定装置と、クロストーク量および当該クロストーク量を補償し得る色補正値との関連付けが予め記憶され、入力された被写体の像情報を担持した画像データに対し、該クロストーク量測定装置からの当該画像データのクロストーク量に基づく混色を補正し得る色補正値を算出する色補正値算出部と、当該クロストーク量に係る情報の該色補正値算出部への入力に応じてその色補正値算出部から出力された色補正値に基づき、前記固体撮像素子により受光された被写体像の色補正を行う色補正部と、を備えたことを特徴とするものである。

また、本発明のクロストーク量測定方法は、被写体を撮像する固体撮像素子のクロストーク量を測定するものにおいて、
該測定された被写体の像のＭＴＦ値から、予めメモリに記憶された、ＭＴＦ値とクロストーク量の関係に基づいて、前記クロストーク量が求められるものであり、
前記ＭＴＦ値とクロストーク量の関係は、前記被写体を撮像して得られたＭＴＦ特性から、レンズ形状に依存するＭＴＦ特性、および画素開口におけるアパーチャー効果によるＭＴＦ特性を差し引くことにより得ることを特徴とするものである。

なお、本願明細書において、「ＭＴＦ」との用語は、撮像レンズと固体撮像装置（イメージセンサ）の各部材を組み合わせたシステムについて評価する場合と、個々の部材について評価する場合、のいずれについても用いるものとする。

本発明のクロストーク量測定装置によれば、ＭＴＦ測定部において、固体撮像素子からの出力に基づきＭＴＦ特性を測定し、この後、クロストーク量算出部において、測定されたＭＴＦ値から前記クロストーク量を算出しており、固体撮像装置のクロストーク量自体を測定することなく、測定されたＭＴＦ値からクロストーク量を推定して求めるようにしていることから、固体撮像素子のクロストーク量を簡易かつ安価な装置により算出することができる。

また、本発明の色補正装置によれば、クロストーク量測定装置からの出力値を色補正値算出部に入力した際に、その色補正値算出部から出力される色補正値に基づき、前記固体撮像素子により受光された被写体像の色補正を行うようにしているから、隣接する画素間でクロストークがおきて混色が生じても、簡易かつ安価な被写体像の色補正を行うことができる。

さらに、本発明のクロストーク量測定方法によれば、測定された被写体のＭＴＦ値から、予めメモリに記憶された、ＭＴＦ値とクロストーク量の関係に基づいて、前記クロストーク量を求めるようにしており、また、前記ＭＴＦ値とクロストーク量の関係は、前記被写体を撮像して得られたＭＴＦ特性から、レンズ形状に依存するＭＴＦ特性、および画素開口におけるアパーチャー効果によるＭＴＦ特性を差し引くことにより得ているから、測定処理を簡易かつ安価に行うことができる。

本発明の実施形態に係るクロストーク量測定装置を示す概略図である。 画素内蓄積電荷のクロストーク現象をモデル化した図を示すものである。 クロストーク量に応じた、ＬＰＦ効果によるＭＴＦ特性の変化を示すグラフである。 結像レンズの回折効果によるＭＴＦ特性の変化を示すグラフである。 固体撮像素子の画素開口率によるＭＴＦ特性の変化を示すグラフである。 系全体のＭＴＦ特性の変化を示すグラフである。 ナイキスト周波数におけるクロストーク量とＭＴＦの関係を示すグラフである。 本発明の実施形態に係る色補正装置を示す概略図である。

以下、本発明の実施形態に係るクロストーク量測定装置およびクロストーク量測定方法を図面を参照しつつ説明する。

図１は、カメラなどの撮像装置に搭載された、本実施形態に係るクロストーク量測定装置１０を示す概略図であり、被写体３１からの光束を収束させる、撮像レンズ１２、この撮像レンズ１２により収束された光束を受光するＣＭＯＳ（またはＣＣＤ）等の単板型イメージセンサ１３、この単板型イメージセンサ１３からの信号出力のプロセス処理を行うためのプロセス回路１４、このプロセス回路１４からの出力に基づき、ＭＴＦ特性を測定するＭＴＦ測定部１５と、予めＭＴＦ値とクロストーク量の関係が記憶され、前記ＭＴＦ測定部１５において測定されたＭＴＦ値から前記クロストーク量を算出するクロストーク量算出部１６を備えている。なお、ＭＴＦ測定部１５とクロストーク量算出部１６とは、通常、パソコン内におけるＣＰＵ等のハードとＲＯＭ等に格納されたソフトの組み合わせによって構成される。

ところで、クロストーク量算出部１６に予め記憶されるＭＴＦ値とクロストーク量の関係に係る情報は、装置製造時に以下の如くして設定される。

すなわち、まず、テスト用のチャート（インメガチャート（またはスランテッドエッジチャート）等のＭＴＦ測定用に用いられるチャート）１１の像を、撮像レンズ１２によってイメージセンサ１３の受光面上に結像する。イメージセンサ１３において光電変換され、電気信号とされたチャート１１の画像信号は、プロセス回路１４においてプロセス処理がなされる。次に、ＭＴＦ測定部１５において、プロセス処理がなされたチャート１１の画像信号についてＭＴＦ値が算出される。算出されたＭＴＦ値はクロストーク量算出部１６に入力されるが、このクロストーク量算出部１６では、測定されたＭＴＦ値とクロストーク量との関係がテーブル（または計算式）によって関連付けられた状態で記憶されることになる。なお、このテーブル（または計算式）作成のためのクロストーク量の測定は、例えば特開２００６−１２１１６４号公報における、図８等に係る記載等に類似した手法を採用することができる。

このようにして上記関係が設定された後、実際の測定においては、被検体３１の像が、撮像レンズ１２によってイメージセンサ１３の受光面上に結像する。イメージセンサ１３において光電変換され、電気信号とされた被写体３１の画像信号は、プロセス回路１４を介して、ＭＴＦ測定部１５に入力され、ＭＴＦ値が算出される。算出されたＭＴＦ値はクロストーク量算出部１６に入力され、上記の如くして設定されたテーブル（または計算式）によって関連付けられたＭＴＦ値とクロストーク量との関係に基づき、入力されたＭＴＦ値から、クロストーク量が算出される。

なお、装置製造時に用いられる上記チャート１１としては、前述したように、インメガチャートのほかスランテッドエッジチャート等を使用し得るが、クロストークに伴う色収差の発生が大きな問題となっていることから、チャート１１としては、種々の波長の光によって測定可能なように、カラーインメガチャート等の色補正を行い得るようなチャートを用いることが好ましい。

また、ＭＴＦの測定方法は、例えばＩＳＯ１２２３３に準拠した解像度測定方法に基づく方法とすればよい。すなわち、チャート１１を撮像し、イメージセンサ１３よりの信号のステップ応答からインパルス応答を求め、それについてフーリエ変換を施しＭＴＦを求める、等の周知の手法を用いることができる。

本実施形態装置においては、上述したような構成とされていることから、隣接する画素上の位置を通過した入射光が光学的に混入する場合と、シリコン基板内部で発生した光電子が隣接する画素に拡散して電気的に混入する場合のいずれであっても、クロストーク量を簡易かつ正確に算出することができる。特に、装置製造時に用いられるチャート１１をカラーインメガチャートとし、イメージセンサ１３として、少なくとも可視光領域の全域に亘る光を撮像し得るものを用いれば、混色の要因となるクロストーク量とＭＴＦ値との関係を容易かつ正確に把握することができる。

上述した説明からも明らかなように、本願発明は、クロストーク量の大きさがＭＴＦ値の大きさに影響を及ぼすとの知見(M. Estribeau et. al, “Pixel Crosstalk and Correlation with Modulation Transfer Function of CMOS Image Sensor”) に基づきなされたものである。
したがって、装置製造時に、クロストーク量算出部１６において記憶される、ＭＴＦ値とクロストーク量との関係がどのようにして求められるか、について詳しく説明する。

まず、画素内蓄積電荷のクロストークのモデルを図２のように設定する。すなわち、列状に配列された５つの画素１７Ａ〜Ｅにおける入射光量を順に、ｘ（ｎ−２）、ｘ（ｎ−１）、ｘ（ｎ）、ｘ（ｎ＋１）、ｘ（ｎ＋２）とし、射出光量を順に、ｘ´（ｎ−２）、ｘ´（ｎ−１）、ｘ´（ｎ）、ｘ´（ｎ＋１）、ｘ´（ｎ＋２）とし、各画素から隣接する画素への漏れ割合をｋとすると、画素１７Ｃからの読み出し信号ｙ（ｎ）は以下の式（１）で表わされる。

ｙ（ｎ）＝α｛ｋ* ｘ´（ｎ−１）＋（１−２ｋ）* ｘ´（ｎ）＋ｋ* ｘ´（ｎ＋１）｝
……（１）

すなわち、入出力信号の空間周波数の関係が、以下の式（２）で表わされる。
Ｈ（ｚ）＝ｋ＋（１−２ｋ）ｚ^−１＋ｋｚ^−２ ……（２）

このことは、図２に示される系が、｛ｋ、（１−２ｋ）、ｋ｝のローパスフィルタ（ＬＰＦ）であると考えることができる。なお、上記ｋとしては、例えば０．１とする。

次に、図２の系のＬＰＦ効果によるＭＴＦ特性を、図３のグラフにより表す（ただし、クロストーク量を各々２、４、６、８、１０％としたときの計算結果を示す）。また、横軸はＴＶＬ（テレビ本）、縦軸はＭＴＦを表す（図４、５および６において同じ）。このＭＴＦ特性の低下は、クロストークのＬＰＦ効果のみにより生じるものである。

一方、理想レンズの回折（波長を４６０、５３０、７００ｎｍとしたときの計算結果を示す）によるＭＴＦ特性、および画素開口率が水平方向に８２％であるときのＭＴＦ特性を、それぞれ図４，５のグラフにより表す。なお、これら図４、５に示す、ＭＴＦ特性の低下は、クロストーク量の変化とは直接には関係せず、図４に示す、ＭＴＦ特性の低下はレンズ形状に依存するものであり、図５に示すＭＴＦ特性の低下は、画素開口におけるアパーチャー効果によるものである。

図３、図４および図５に示されたＭＴＦ特性を総合したものが図６に表わす総合ＭＴＦ特性（波長５３０ｎｍの場合）であり、実際に測定される態様のＭＴＦ特性に対応するものである。

なお、ＴＶＬの最大値は２１６０本とされ、スーパーハイビジョンの走査線数４３２０本の１/２となっている。

このように、図６に示す総合ＭＴＦ特性は各ＭＴＦ特性を総合したものであり、実際にはこのように各種ＭＴＦ特性が重畳された形式（掛け合わせた形式）となるので、測定されたＭＴＦ特性からクロストークのＬＰＦ効果のみが反映されたＭＴＦ特性を得るためには、図６に示すような総合ＭＴＦ特性を、図４に示すようなレンズ形状に依存するＭＴＦ特性、および図５に示すような画素開口におけるアパーチャー効果によるＭＴＦ特性により除算することにより、図３に示すような、クロストークのＬＰＦ効果のみが反映されたＭＴＦ特性を得ることができる。

上述した、図４に示す、理想レンズの回折効果によるＭＴＦ特性（MTF_dif（μ））は下記条件式（３）によって表わされる。

また、上記図５に示す、画素開口におけるアパーチャー効果によるＭＴＦ特性（MTF_apt（μ））は下記条件式（４）により表わされる。

したがって、図６に示す総合ＭＴＦ特性（MTF_total（μ））は、下記条件式（５）で表わされる。
MTF_total（μ）＝ MTF_dif（μ）×MTF_apt（μ）× MTF_lpf（μ） ……（５）

また、より厳密には、各種ＭＴＦ特性の中には、現実のレンズ自体のＭＴＦ特性（MTF_lens（μ））も加える必要があることから、実際の総合ＭＴＦ特性（MTF_total（μ））は、下記条件式（６）で表わされることが好ましい。
MTF_total（μ）＝ MTF_dif（μ）×MTF_apt（μ）× MTF_lens（μ）× MTF_lpf（μ）
……（６）

したがって、上記条件式（５）または条件式（６）を用い、測定により得られた総合ＭＴＦ特性（MTF_total（μ））から逆算して、クロストークのＬＰＦ効果のみが反映されたＭＴＦ特性（MTF_lpf（μ））を得る。

なお、MTF_lens（μ）については、別途レンズ単体で測定した結果を用いてもかまわない。また、クロストークのＬＰＦ効果が反映されたＭＴＦ特性（MTF_lpf（μ））は下記条件式（７）によって表わされる。

このようにして得られたクロストークのＬＰＦ効果のみが反映されたＭＴＦ特性から、所定の周波数、例えば、ナイキスト周波数（ＴＶＬ＝２１６０本に相当）において、ＭＴＦ値とクロストーク量（％）との関係を抽出し、それをテーブルまたは近似式の形式で算出部１６に格納しておくことにより、ＭＴＦ測定部１５からのＭＴＦ値の入力に基づきクロストーク量算出部１６からクロストーク量を出力することができる。

以下、上記クロストーク量算出部１６における演算処理の具体的な内容について付言する。

図６のナイキスト周波数（ＴＶＬ＝２１６０本に相当）におけるＭＴＦの値をクロストーク量によってプロットしたものを図７に表す（波長λ＝４６０、５３０、７００ｎｍにおける各場合）。その代表的な数値（ＣＴ＝０％の場合とＣＴ＝１０％の場合）を表２に示す。

表２からも明らかなように、クロストーク量が０％から１０％に増えると、色（光の波長）の変化に応じて、ＭＴＦが相対値で０．１３〜０．１８ポイント低下し、クロストーク量が０％のときの方が、クロストーク量が１０％のときよりも色（光の波長）の変化に応じたＭＴＦの変化量が大きい。これにより、ナイキスト周波数等のなるべく高い周波数におけるＭＴＦの値を測定することにより、クロストーク量を推定し、測定することが可能となる。

さらに既測定のクロストーク量のデータを使用することにより、色（光の波長）の変化に応じて変化するＭＴＦの変化量の相対値に基づいてクロストーク量を推定し、測定することができ、これにより、レンズの影響などを受けずにクロストーク量を推定することが可能となる。

次に、本発明の実施形態に係る色補正装置２０を図面を参照しつつ説明する。
図８は、本実施形態に係る色補正装置２０を示す概略図であり、クロストーク量測定装置１０、クロストーク量測定装置１０から出力されたクロストーク量とこのクロストーク量を補償し得る色補正値との関連付けが予め記憶されている色補正値算出部２１と、このクロストーク量測定装置１０からの出力値を該色補正値算出部２１に入力せしめた際に、その色補正値算出部２１から出力された色補正値に基づき、イメージセンサ１３´により受光されプロセス回路を介して入力された被写体像の色補正を行う色補正部２２を備えている。なお、色補正値算出部２１と色補正部２２とは、通常、パソコン内におけるＣＰＵ等のハードとＲＯＭ等に格納されたソフトの組み合わせによって構成される。

また、この場合、装置製造時に、クロストーク量測定装置１０で使用されるチャート１１はカラーのインメガチャートが用いられ、クロストーク量測定装置１０で使用されるイメージセンサ１３としては、少なくとも可視光領域の全域に亘る波長範囲で感度を有するものを用いることが肝要である。

また、上記色補正値とクロストーク量との関係に係る情報は以下の如くして設定される。
すなわち、装置製造時には、クロストーク量測定装置１０からの、上記チャート１１を用いて得られたクロストーク量情報が、色補正値算出部２１に入力され、クロストーク量と、このクロストーク量により発生する混色を補償し得る色補正値との関係が、テーブル（または計算式）によって関連付けられた状態で記憶される。なお、このテーブル（または計算式）作成のためのクロストーク量の測定は、例えば上記特許文献１に係る記載等に類似した手法を採用することができる。

また、この色補正値算出部２１では、ＭＴＦ値をクロストーク量ごとに測定または計算によって求め、この求めたクロストーク量に基づいて、イメージセンサ１３から出力される画像信号中からクロストーク成分（混色成分）を低減させ、その画像信号を色補正するような補正係数を、例えばテーブルにして色補正値算出部２１に記憶させる。なお、上記補正係数を決定する演算は、例えば外部の演算手段によって行うか、またはデータ記憶用のメモリの内部にクロストーク補正係数決定部のような演算手段を設けることにより行う。

一方、実際の測定時においては、クロストーク量測定装置１０から出力された、被写体３１のクロストーク量の測定情報は、色補正値算出部２１に入力され、この色補正値算出部２１で、クロストーク量と、このクロストーク量により発生する混色を補償し得る色補正値との関係を、上記の如くして設定されたテーブル（または計算式）に基づき、入力されたクロストーク量から色補正値が算出される。

この色補正値算出部２１から出力された色補正値データは、色補正部２２に入力される。この色補正部２２においては、撮像レンズ１２´を介してイメージセンサ１３´で撮像された被写体３１の像が入力されると、この被写体３１の像に対して上記色補正値に基づく色補正がなされ、これにより、クロストークに応じて発生している混色が改善される。

なお、さらに説明すれば、イメージセンサ１３の出力側には、ＣＤＳ（Correlate Double Sampling ）回路およびＡＧＣ〔Automatic Gain Control〕回路からなるＣＤＳ／ＡＧＣ回路（図示せず）が接続されている。このＣＤＳ／ＡＧＣ回路によって、アナログサンプル値信号から画像信号成分を抽出し、それを増幅して出力する。さらにＣＤＳ／ＡＧＣ回路の出力側にはＡ／Ｄ変換器が接続されている。

このＡ／Ｄ変換器の出力側には、上記デジタルデータ画像信号を入力して、いわゆるビデオプロセス処理を行うデジタル信号処理手段が接続されている。このデジタル信号処理手段は、例えば、色信号処理回路（色分離、ＲＧＢマトリクス、γ補正を行う回路等）、輝度信号処理回路（Ｙフィルタ、エンハンサ、γ補正を行う回路等）、信号処理回路（ＮＴＳＣ／ＰＡＬ色変調、同期付加を行うエンコーダ処理等を行う回路等）、同期信号発生回路（上記信号処理回路と外部タイミングジェネレータに同期信号を供給する回路等）、外部のマイクロコンピュータとのインターフェース回路（外部マイクロコンピュータとの間で画像情報、パラメータを入出力する回路等）、さらには上記色補正値算出部２１および色補正部２２とで構成されている。

なお、この色補正装置２０において、実際の被写体を撮像する場合に用いられる撮像レンズ１２´およびイメージセンサ１３´は、色補正値を求めるために用いられた撮像レンズ１２およびイメージセンサ１３と同一のものを用いることが好ましい。

なお、本発明のクロストーク量測定装置およびこれを用いた色補正装置としては上記実施形態のものに限られるものではなく、その他の種々の態様の変更が可能である。例えば、上記実施形態においては、ＭＴＦ測定用チャートとして、カラーインメガチャートを用いるようにしているが、その他のカラーチャートを用いるようにしてもよく、また、色補正がそれほど問題とならないような場合には、白黒のインメガチャート等のチャートを用いるようにしてもよい。

また、上記実施形態においては、光電子の拡散によるＭＴＦ低下のモデルとして、読み出し信号を、自身の画素信号と隣接画素からの漏れ信号とを加算した信号であるとし、入出力信号の空間周波数の相対関係を隣接する複数の画素信号からなるＬＰＦであるとして推定処理を行うようにしており、この複数の画素の数を３つとしているが、例えば５つあるいは９つとすることも可能であり、それ以外の複数の数とすることが可能である。

さらに、上記実施形態においては、単板型ＣＭＯＳを用いているが、本発明の装置は単板型ＣＣＤについても同様に適用でき、さらに３板型のＣＭＯＳやＣＣＤを用いることを排除するものではない。

１０ クロストーク量測定装置
１１ チャート
１２、１２´ 撮像レンズ
１３、１３´ イメージセンサ
１４、１４´ プロセス回路
１５ ＭＴＦ測定部
１６ クロストーク量算出部
１７Ａ〜Ｅ 画素
２０ 色補正装置
２１ 色補正値算出部
２２ 色補正部
３１ 被写体

Claims (5)

1. 被写体を撮像する固体撮像素子のクロストーク量を測定するクロストーク量測定装置において、
   該固体撮像素子からの出力に基づき、ＭＴＦ特性を測定するＭＴＦ測定部と、
   予めＭＴＦ値とクロストーク量の関係が記憶され、前記ＭＴＦ測定部からのＭＴＦ値に基づき前記クロストーク量を算出するクロストーク量算出部と、
   を備えたことを特徴とするクロストーク量測定装置。
2. 前記クロストーク量算出部に記憶される、前記ＭＴＦ値と前記クロストーク量の関係は、被写体としてのＭＴＦ測定用チャートを用いて取得されたデータに基づいて求められることを特徴とする請求項１記載のクロストーク量測定装置。
3. 前記固体撮像素子は、少なくとも可視光領域の全域に感度を有するイメージセンサであることを特徴とする請求項１または２記載のクロストーク量測定装置。
4. 請求項１〜３のうちいずれかに記載のクロストーク量測定装置と、クロストーク量および当該クロストーク量を補償し得る色補正値との関連付けが予め記憶され、入力された被写体の像情報を担持した画像データに対し、該クロストーク量測定装置からの当該画像データのクロストーク量に基づく混色を補正し得る色補正値を算出する色補正値算出部と、当該クロストーク量に係る情報の該色補正値算出部への入力に応じてその色補正値算出部から出力された色補正値により、前記固体撮像素子によって受光された被写体像の色補正を行う色補正部と、
   を備えたことを特徴とする色補正装置。
5. 被写体を撮像する固体撮像素子のクロストーク量を測定するクロストーク量測定方法において、
   該測定された被写体の像のＭＴＦ値から、予めメモリに記憶された、ＭＴＦ値とクロストーク量の関係に基づいて、前記クロストーク量が求められるものであり、
   前記ＭＴＦ値とクロストーク量の関係は、前記被写体を撮像して得られたＭＴＦ特性から、レンズ形状に依存するＭＴＦ特性、および画素開口におけるアパーチャー効果によるＭＴＦ特性を差し引くことにより得ることを特徴とするクロストーク量測定方法。
   

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