JP5549342B2 - 反射防止膜、及びこれを有する光学部材 - Google Patents
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Description
本発明の反射防止膜1は、図1に示すように、屈折率1.42〜2.12の基板2上に、前記基板2側から順に第1層〜第8層の膜を順に積層してなり、前記第1層の屈折率が1.60〜2.20、前記第2層の屈折率が2.10〜2.30、前記第3層の屈折率が1.80〜2.20、前記第4層の屈折率が1.42〜1.52、前記第5層の屈折率が1.45〜1.65、前記第6層の屈折率が2.10〜2.30、前記第7層の屈折率が2.10〜2.30、及び前記第8層の屈折率が1.37〜1.42であり、各層の光学膜厚がそれぞれ独立に100〜150 nmである。なお、本願において屈折率は、特に断りのない限り550 nmの波長における値である。
第1層〜第7層は反応性スパッタリング法、イオンビームアシスト蒸着法、反応性イオンプレーティング法のいずれかの方法で成膜するのが好ましく、中でも反応性スパッタリング法が最も好ましい。また必要に応じてこれらの方法を組み合わせて用いても良い。これらの方法は膜厚制御性が良い成膜法なので、製造ごとの膜厚の変動が小さくなり、波長400〜700 nmで製造ばらつきを考慮しても最大反射率が0.2%以下の反射防止特性を有する反射防止膜が得られる。また、これらの方法で形成される膜は従来の真空蒸着法に比べて高い硬度を有するので耐久性に優れた反射防止膜が得られる。第8層は真空蒸着法で形成するのが好ましい。
本発明の反射防止膜を前述の基板に施すことにより、400〜700 nmの可視光帯域において、製造ばらつきを考慮しても最大反射率が0.2%以下の反射防止効果を有する光学部品が得られる。本発明の光学部品は、テレビカメラ、ビデオカメラ、デジタルカメラ、車載カメラ、顕微鏡、望遠鏡等の光学機器に搭載されるレンズ、プリズム、回折素子等に好適である。特に本発明の反射防止膜は耐久性に優れているので、カメラの対物レンズや接眼レンズ等の手に触れやすい部分のレンズに好適である。
本発明の反射防止膜の例として、屈折率1.42の基板上に各層の光学膜厚が全て125.0 nmとなるように第1層〜第8層まで順に積層してなる反射防止膜を設計し、光学薄膜計算シミュレーションにより400〜700 nmの波長域で反射率が最も小さくなるように各層の屈折率を最適化した。最適化された屈折率を表1に示し、その分光反射率の計算結果を図2に示す。
基板の屈折率を表2〜8に示すように1.52〜2.12の間で変更した以外は実施例1と同様にして、実施例2〜8の反射防止膜を設計し、各層の屈折率を最適化した。最適化された屈折率をそれぞれ表2〜8に示し、その分光反射率の計算結果をそれぞれ図3〜9に示す。
BSC7(Nd=1.516)ガラス基板に、実施例1と同様にして第1層〜第8層の反射防止膜を表9に示すように設計した。この反射防止膜の分光反射率の計算結果を図10に示す。
第1層(屈折率1.765)、第3層(屈折率2.077)、第5層(屈折率1.531)及び第7層(屈折率2.212)は、シンクロン社製RAS-1100Cを用いた反応性スパッタリング法により、屈折率2.243のNb2O5と屈折率1.480のSiO2とからなる混合膜として形成した。金属Nbと金属Siとをターゲットにして、アルゴンガスによるスパッタで1 nm以下の超薄膜を形成した後に、ラジカルガンで発生させた酸素ガスの活性種を照射することにより混合金属を酸化し、Nb2O5とSiO2とからなる混合膜を形成した。このスパッタリングと酸素ガスの活性種の照射とを膜厚が125.0 nmになるまで繰り返した。
投入電力:0〜1.6 kw
基板温度:室温
アルゴン導入量:200 sccm
基板ホルダ回転数:100 rpm
超薄膜の厚さ:1 nm以下
投入電力:0〜2.5 kw
基板温度:室温
アルゴン導入量:400 sccm
基板ホルダ回転数:100 rpm
超薄膜の厚さ:1 nm以下
投入電力:2.0 kw
酸素導入量:80 sccm
※ なお成膜は、真空度2.0×10-4Paまで排気してから開始した。
第2層及び第6層のNb2O5からなる厚さ125.0 nmの単独膜は、Nbターゲットのみを用いて反応性スパッタリング法により形成し、第4層のSiO2からなる厚さ125.0 nmの単独膜は、Siターゲットのみを用いて反応性スパッタリング法により形成した。
第8層のMgF2膜は、昭和真空社製SGC-22SAによる電子ビーム蒸着法を用いて形成した。すなわち、蒸発源ルツボにMgF2の顆粒を充填し、第7層まで形成した基板を250℃に加熱し、真空度2.0×10-3Pa、及び成膜速度約40 nm/minにて厚さ125.0 nmに成膜した。
特開2002-14203を参考にして、BSC7(nd=1.516)ガラス基板に、表10に示すように各層の光学膜厚を最適化したTiO2及びSiO2からなる14層の反射防止膜を設計した。その分光反射率の計算結果を図12に示す。
TAFD30(Nd=1.88)ガラス基板上に、表11に示すように各層の屈折率及び光学膜厚を最適化したNb2O5及びSiO2からなる8層の反射防止膜を設計した。その分光反射率の計算結果を図14に示す。
2・・・基板
Claims (6)
- 550 nmの波長において、屈折率1.42〜2.12の基板面上に第1層〜第8層の膜を順に積層してなる8層構成の反射防止膜であって、
前記第1層の屈折率が1.60〜2.20、前記第2層の屈折率が2.10〜2.30、前記第3層の屈折率が1.80〜2.20、前記第4層の屈折率が1.42〜1.52、前記第5層の屈折率が1.45〜1.65、前記第6層の屈折率が2.10〜2.30、前記第7層の屈折率が2.10〜2.30、及び前記第8層の屈折率が1.37〜1.42であり、隣接する層の屈折率が異なり、各層の光学膜厚がそれぞれ独立に100〜150 nmであることを特徴とする反射防止膜。 - 請求項1に記載の反射防止膜であって、前記第1層〜第7層までの各層がそれぞれTiO2、Nb2O5、Ta2O5、CeO2、ZrO2、HfO2、SnO2、In2O3、ZnO、La2O3、Sb2O3、Al2O3及びSiO2からなる群から選ばれた少なくとも1種からなる膜であり、前記第8層がMgF2からなる膜であることを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1又は2に記載の反射防止膜であって、前記第1層〜7層までの各層がそれぞれTiO2、Nb2O5、Ta2O5、CeO2、ZrO2、HfO2、SnO2、In2O3、ZnO、La2O3及びSb2O3からなる群から選ばれた1種の高屈折率材料からなる膜、Al2O3又はSiO2の中屈折率材料からなる膜、又は前記高屈折率材料と前記中屈折率材料との混合膜であることを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の反射防止膜であって、400〜700 nmの波長域において反射率0.2%以下の分光反射特性を有することを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の反射防止膜であって、前記第1層〜第8層の光学膜厚が同じであることを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の反射防止膜を有する光学部材。
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