JP5547596B2 - アクチュエータ用位置検出器 - Google Patents

Description

本発明は、ロッドに設けられたピストンがシリンダ内で変位することで作動して航空機の機器を駆動するアクチュエータに用いられ、シリンダに対するピストン又はロッドの位置を検出する、アクチュエータ用位置検出器に関する。

従来より、ロッドに設けられたピストンがシリンダ内で変位することで作動して航空機の機器を駆動するアクチュエータにおいては、シリンダに対するピストン又はロッドの位置を検出するアクチュエータ用位置検出器が用いられている。このようなアクチュエータ用位置検出器として、特許文献１に開示されたようなＬＶＤＴ（linear variable differential transformer）を用いることができる。

特許文献１に開示されたＬＶＤＴは、特許文献１の図３に示されるように、１次コイル（primary coil 132）及びその両側に配置された２次コイル（secondary coils 134 and 136）の内側で可動鉄心であるコア（core or armature 20）が変位可能に配置されている。そして、このＬＶＤＴにおいては、２次コイルで発生した誘起電圧に基づく信号として、コアの変位に比例した信号が出力される。また、コアは、一本のシャフトとして形成されたプローブ（shaft 22）の先端に固定され、プローブとともに変位するように構成されている。

米国特許第６６０５９４０号明細書

航空機の機器を駆動するアクチュエータにおいて、特許文献１に開示されたＬＶＤＴをアクチュエータ用位置検出器として用いることで、シリンダに対するピストン又はロッドの位置を検出することができる。この場合、１次コイル及び２次コイルを有するコイルアセンブリがシリンダに対して固定され、コアが先端に設けられたプローブがピストン又はロッドに固定されることになる。

しかしながら、特許文献１に開示されたＬＶＤＴは、一本のシャフトとして形成されたプローブの端部にコアが固定された構造であるため、プローブに破損が生じた場合、ピストン又はロッドの位置を検出することが不能となったり、或いは、誤検出を招いてしまうことになる。このため、冗長化による信頼性の向上が図られるためには、特許文献１に開示のＬＶＤＴを１つのアクチュエータに対して複数設置することが必要となる。しかし、１つのアクチュエータに対して、特許文献１のＬＶＤＴが複数設けられたアクチュエータ用位置検出器を設置する場合、アクチュエータ用位置検出器の構造の大型化及び複雑化を招いてしまうことになり、更に、部品点数及びコストの増大も招いてしまうことになる。

本発明は、上記実情に鑑みることにより、冗長化による信頼性の向上を図ることができるとともに、構造の大型化及び複雑化を抑制し、部品点数及びコストの増大も抑制することができる、アクチュエータ用位置検出器を提供することを目的とする。

上記目的を達成するための第１発明に係るアクチュエータ用位置検出器は、ロッドに設けられたピストンがシリンダ内で変位することで作動して航空機の機器を駆動するアクチュエータに用いられ、シリンダに対するピストン又はロッドの位置を検出する、アクチュエータ用位置検出器に関する。そして、第１発明に係るアクチュエータ用位置検出器は、前記ピストン又は前記ロッドに固定され、前記ピストン及び前記ロッドとともに変位するプローブと、前記プローブに固定されて当該プローブとともに変位する可動鉄心であるコアと、前記シリンダに固定されるとともに前記コアが内側に配置されるケースと、前記ケースに保持されるとともに内側に前記コアが変位可能に配置されるコイルを有し、前記ピストン又は前記ロッドの位置検出信号を出力する位置検出信号出力部と、を備え、前記位置検出信号出力部は、入力電圧が印加されて励磁される１次側のコイルとして設けられた１次コイルと、前記１次コイルが励磁された状態で前記コアが変位することによって誘起電圧が発生する２次側のコイルとして設けられた２次コイルとを有し、前記２次コイルで発生した誘起電圧に基づく信号を前記位置検出信号として出力し、前記プローブは、同心状に配置されるとともに互いに固定された複数のプローブ部材を有し、複数の前記プローブ部材は、それぞれ前記コアに対して互いに固定されていることを特徴とする。

この発明によると、１次コイルが励磁された状態でコアが変位することで２次コイルに誘起電圧が発生し、この誘起電圧に基づく信号がピストン又はロッドの位置検出信号として出力される。そして、本発明によると、コイルの内側で変位するコアを支持するとともにピストン及びロッドとともに変位するプローブが、互いに固定された複数のプローブ部材を有し、これらの複数のプローブ部材がコアに対してそれぞれ固定されている。このため、プローブの多重化が図られることになり、複数のプローブ部材のいずれかにおいて損傷が発生した場合であっても、他のプローブ部材によってコアが正常な状態で支持される。そして、ピストン又はロッドの位置を検出することが不能となったり、或いは、誤検出を招いてしまうことが防止される。よって、冗長化による信頼性の向上が図られることになる。更に、プローブにおける複数のプローブ部材は、同心状に配置されて互いに固定されている。このため、スペース効率良く非常にコンパクトな構造でプローブの多重化が図られることになる。また、プローブがコンパクトに多重化されることで冗長化による信頼性の向上が図られるため、構造の大型化や複雑化を招いてしまうことを抑制でき、部品点数及びコストの増大も抑制することができる。

従って、本発明によると、冗長化による信頼性の向上を図ることができるとともに、構造の大型化及び複雑化を抑制し、部品点数及びコストの増大も抑制することができる、アクチュエータ用位置検出器を提供することができる。

第２発明に係るアクチュエータ用位置検出器は、第１発明のアクチュエータ用位置検出器において、複数の前記プローブ部材が互いに溶接により固定される部分として設けられた第１の溶接部と、複数の前記プローブ部材と前記コアとが互いに溶接により固定される部分として設けられた第２の溶接部とが、異なる溶接部分として設けられていることを特徴とする。

この発明によると、各プローブ部材同士が溶接固定される第１の溶接部と、各プローブ部材とコアとが溶接固定される第２の溶接部とが、異なる溶接部分として設けられているため、プローブ部材同士の溶接に適した溶接条件と、プローブ部材及びコアの溶接に適した溶接条件とを、個別に設定することができる。

第３発明に係るアクチュエータ用位置検出器は、第１発明又は第２発明のアクチュエータ用位置検出器において、複数の前記プローブ部材が互いに固定される部分と、複数の前記プローブ部材と前記コアとが互いに固定される部分とにおいて、溶接によって固定される部分とネジ結合によって固定される部分とが備えられていることを特徴とする。

この発明によると、各プローブ部材同士が固定される部分と、各プローブ部材とコアとが固定される部分とに、溶接によって固定される部分とネジ結合によって固定される部分が設けられているため、固定手段を溶接とネジ結合とに冗長化して設定することができる。これにより、更なる冗長化による信頼性の向上が図られることになる。

第４発明に係るアクチュエータ用位置検出器は、第３発明のアクチュエータ用位置検出器において、複数の前記プローブ部材として、軸状に形成されたインナープローブ部材と、筒状に形成されて前記インナープローブ部材の外側に配置されるとともに当該インナープローブ部材と同心状に配置されたアウタープローブ部材と、が備えられ、前記インナープローブ部材と前記コアとは、ネジ結合によって固定されるとともに、溶接によっても固定され、前記アウタープローブ部材と前記コアとは、溶接によって固定され、前記インナープローブ部材と前記アウタープローブ部材とは、溶接によって固定されていることを特徴とする。

この発明によると、軸状のインナープローブ部材の外側に筒状のアウタープローブ部材が同心状に配置され、コンパクトな構造でプローブの二重化が図られることになる。そして、インナープローブ部材及びアウタープローブ部材と、アウタープローブ部材及びコアとがそれぞれ溶接固定され、インナープローブ部材及びコアが溶接及びネジ結合によって固定される。このため、効率よく固定手段の冗長化も図られることになる。

第５発明に係るアクチュエータ用位置検出器は、第１発明のアクチュエータ用位置検出器において、複数の前記プローブ部材のそれぞれが互いに溶接により固定される溶接部分と、複数の前記プローブ部材と前記コアとが溶接により固定される溶接部分とが、一体の溶接部分として設けられていることを特徴とする。

この発明によると、各プローブ部材同士の溶接部分と各プローブ部材及びコアの溶接部分とが、一体の溶接部分として設けられるため、複数のプローブ部材及びコアの溶接による固定作業を効率よく実施することができる。

第６発明に係るアクチュエータ用位置検出器は、第１発明乃至第５発明のいずれかのアクチュエータ用位置検出器において、前記ケースは、同心状に配置されるとともに互いに固定された複数のケース部材を有していることを特徴とする。

この発明によると、コイルを保持してシリンダに固定されるケースが互いに固定された複数のケース部材を有しているため、ケースの多重化が図られることになる。このため、複数のケース部材のいずれかにおいて損傷が発生した場合であっても、他のケース部材によってコイルが正常な状態で保持される。そして、ピストン又はロッドの位置を検出することが不能となったり、或いは、誤検出を招いてしまうことが防止される。よって、冗長化による信頼性の向上が図られることになる。更に、ケースにおける複数のケース部材は、同心状に配置されて互いに固定されている。このため、スペース効率良く非常にコンパクトな構造でケースの多重化が図られることになる。

第７発明に係るアクチュエータ用位置検出器は、第６発明のアクチュエータ用位置検出器において、複数の前記ケース部材として、筒状に形成されたインナーケース部材と、筒状に形成されて前記インナーケース部材の外側に配置されるとともに当該インナーケース部材と同心状に配置されたアウターケース部材と、が備えられ、前記インナーケース部材と前記第アウターケース部材との間において、前記１次コイル及び前記２次コイルが保持されていることを特徴とする。

この発明によると、筒状のインナーケース部材の外側に筒状のアウターケース部材が同心状に配置され、コンパクトな構造でケースの二重化が図られることになる。また、インナーケース部材とアウターケース部材との間に１次及び２次コイルが保持されるため、二重化が図られたケースにおいてスペース効率よくコイルが配置されることになる。

本発明によると、冗長化による信頼性の向上を図ることができるとともに、構造の大型化及び複雑化を抑制し、部品点数及びコストの増大も抑制することができる、アクチュエータ用位置検出器を提供することができる。

本発明の一実施の形態に係るアクチュエータ用位置検出器が用いられるアクチュエータが航空機の舵面を駆動するシステムについて模式的に示す図である。 図１に示すアクチュエータの断面とアクチュエータ用位置検出器とを示す図である。 図２に示すアクチュエータ用位置検出器について一部断面を含む状態で模式的に示す図である。 図３に示すアクチュエータ用位置検出器におけるプローブ及びコアを示す断面図である。 図４における一部を拡大して示す拡大断面図である。 図３に示すアクチュエータ用位置検出器における位置検出信号出力部のコイルとプローブ及びコアとの位置関係を模式的に示す図である。 図３に示すアクチュエータ用位置検出器における位置検出信号出力部のコイルとプローブ及びコアとの位置関係を模式的に示す図である。 図３に示すアクチュエータ用位置検出器における位置検出信号出力部のコイルとプローブ及びコアとの位置関係を模式的に示す図である。 変形例に係るアクチュエータ用位置検出器におけるプローブ及びコアを示す断面図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。尚、本実施形態は、ロッドに設けられたピストンがシリンダ内で変位することで作動して航空機の機器を駆動するアクチュエータに用いられ、シリンダに対するピストン又はロッドの位置を検出する、アクチュエータ用位置検出器に関して、広く適用することができるものである。

まず、アクチュエータ用位置検出器が用いられるアクチュエータについて説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係るアクチュエータ用位置検出器１が用いられるアクチュエータ１００が航空機の舵面１０１を駆動するシステムについて模式的に示す図である。アクチュエータ１００は、図示しない航空機の舵面１０１を駆動する油圧作動式のアクチュエータとして設けられている。尚、舵面１０１は、航空機の動翼（操縦翼面）として設けられており、例えば、主翼に設けられるエルロン（補助翼）や、水平尾翼に設けられる昇降舵（エレベータ）、垂直尾翼に設けられる方向舵（ラダー）、等として構成される。また、図１では、１つの舵面１０１が複数のアクチュエータ１００によって駆動される形態を例示している。

アクチュエータ１００は、舵面１０１に連結されており、舵面１００を駆動可能なシリンダ機構として構成されている。そして、アクチュエータ１００には、ロッド１０２と、ロッド１０２が軸方向に移動自在な状態で配置されるシリンダ１０３と、ロッド１０２に設けられたピストン１０４とが備えられている。シリンダ１０３内は、ピストン１０４により、一対の油室（１０５ａ、１０５ｂ）に区画されている。このアクチュエータ１００は、一対の油室（１０５ａ、１０５ｂ）に対して圧油が供給及び排出されることで、ロッド１０２に固定されたピストン１０４がシリンダ１０３内で変位することで作動して航空機の機器である舵面１０１を駆動するように構成されている。

また、図１の模式図に示すように、航空機の舵面１０１を駆動するアクチュエータ１００の作動を制御するシステムにおいては、アクチュエータ１００における一対の油室（１０５ａ、１０５ｂ）と、油圧源１０６及びリザーバ回路１０７とを連通可能に構成された油圧回路が設けられている。尚、図１では、アクチュエータ１００の作動を制御するシステムとして、舵面１０１を駆動する２つのアクチュエータ（１００、１００）のうちの一方のアクチュエータ１００に対応するシステムを図示しており、他方のアクチュエータ１００に対応するシステムの図示を省略している。

油圧源１０６は、圧油（作動油）を供給する油圧ポンプを備えて構成され、図示しない航空機の機体側に設置されている。そして、リザーバ回路１０７は、油圧源１０６からの圧油として供給された後にアクチュエータ１００から排出される圧油が流入して戻るタンク（図示せず）を備えるとともに、油圧源１０６に連通するように構成されている。尚、２つのアクチュエータ（１００、１００）のうちの一方のアクチュエータ１００に接続された油圧源１０６及びリザーバ回路１０７と独立した系統して設けられた油圧源及びリザーバ回路（図示せず）が、他方のアクチュエータ１００に接続されている。また、油圧源１０６及びリザーバ回路１０７は、舵面１００以外の舵面（図示せず）を駆動するアクチュエータ（図示せず）にも接続されている。

また、油圧源１０６及びリザーバ回路１０７と、アクチュエータ１００との間の油圧回路には、制御弁１０８が設けられている。制御弁１０８は、油圧源１０６からの圧油を供給する油路として設けられた供給油路１０６ａを介して油圧源１０６に接続している。更に、制御弁１０８は、この制御弁１０８から排出された圧油をリザーバ回路１０７に排出する油路として設けられた排出油路１０７ａを介してリザーバ回路１０７に接続している。

また、アクチュエータ１００と制御弁１０８との間には、給排油路（１０９ａ、１０９ｂ）が設けられている。給排油路１０９ａは、制御弁１０８とアクチュエータ１００の一方の油室１０５ａとを接続する油路として設けられ、給排油路１０９ｂは、制御弁１０８とアクチュエータ１００の他方の油室１０５ｂとを接続する油路として設けられている。これらの給排油路（１０９ａ、１０９ｂ）は、油圧源１０６から供給される圧油とリザーバ回路１０７へ排出される圧油とが流動する油路として設けられている。

上記のように、供給油路１０６ａ、排出油路１０７ａ、給排油路（１０９ａ、１０９ｂ）に接続された制御弁１０８は、アクチュエータ１００における一対の油室（１０５ａ、１０５ｂ）のそれぞれへ供給及び排出される圧油の経路を切り替え、アクチュエータ１００の作動を制御する電油サーボ弁として設けられている。この制御弁１０８は、アクチュエータ１００の動作を制御するアクチュエータコントローラ１１１からの指令信号（図１にてＳ１の符号で示す指令信号）に基づいて駆動される。そして、アクチュエータコントローラ１１１は、舵面１０１の動作を指令する更に上位のコンピュータであるフライトコントローラ１１０からの指令信号（図１にてＳ２の符号で示す指令信号）に基づいてアクチュエータ１００を制御する。尚、フライトコントローラ１１０は、例えば、図示しないＣＰＵ（Central Processing Unit）、メモリ、インターフェース等を備えて構成されている。

ここで、アクチュエータ１００の構造について、更に詳しく説明する。図２は、アクチュエータ１００の断面とアクチュエータ用位置検出器１とを示す図であり、アクチュエータ１００の構造及びアクチュエータ用位置検出器１のアクチュエータ１００に対する設置形態を例示する図である。図２に示すように、シリンダ１０３は、第１シリンダ部材１０３ａ、第２シリンダ部材１０３ｂ及び第３シリンダ部材１０３ｃが互いに固定されて一体化されることで形成されている。

第１シリンダ部材１０３ａは、一端側に底部分が設けられて他端側が開口するように形成された筒状の部材として設けられている。第２シリンダ部材１０３ｂは、第１シリンダ部材１０３ａの開口端の内側に嵌合して第１シリンダ部材１０３ａに固定された筒状の部材として設けられている。第３シリンダ部材１０３ｃは、第２シリンダ部材１０３ｂの内側に嵌合して第２シリンダ部材１０３ｂに固定された筒状の部材として設けられている。この第３シリンダ部材１０３ｃの内周壁には、ピストン１０４における筒状部１０４ｂが摺動自在な状態で挿入されている。尚、第１乃至第３シリンダ部材（１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ）は、嵌合に加え、溶接或いはボルト等の固定手段によって更に固定されていてもよい。そして、シリンダ１０３は、第１シリンダ部材１０３ａの底部分において、図示しない航空機の翼に対して回動自在に取り付けられるように構成されている。

シリンダ１０３内において一対の油室（１０５ａ、１０５ｂ）を区画するピストン１０４には、中央に孔が形成された円盤状の部分として設けられた円盤部１０４ａと、筒状に形成されて円盤部１０４ａと一体に形成された筒状部１０４ｂとが設けられている。円盤部１０４ａは、その外周側面において、シリンダ１０３の第１シリンダ部材１０３ａの内周壁に対して摺動自在の状態で、第１シリンダ部材１０３ａの内側に配置されている。筒状部１０４ｂは、円盤部１０４ａにおける一方の端面側から突出するように設けられ、シリンダ１０３の第３シリンダ部材１０３ｃの内周面に摺接自在の状態で第３シリンダ部材１０３ｃを貫通して配置されている。尚、筒状部１０４ｂの内側には、筒状部１０４ｂ内において油室１０５ｂに連通する孔１０４ｃの底部分を閉鎖するように区画する区画部１０４ｄが設けられている。

ロッド１０２には、舵面１０１に対して回動自在に取り付けられる部分として設けられた取付部１０２ａと、この取付部１０２ａから突出する軸状の部分として設けられた軸部１０２ｂとが備えられている。ロッド１０２は、軸部１０２ｂにてピストン１０４の筒状部１０４ｂに対して同軸上で直列に固定される。ロッド１０２とピストン１０４との固定形態は種々の形態を選択することができ、図２の例では、軸部１０２ｂが、筒状部１０４ｂに螺合するとともに、固定リング１１２及びキー部材１１３によって筒状部１０４ｂに固定された形態を例示している。尚、キー部材１１３は、筒状部１０４ｂと軸部１０２ｂとに対してキー結合してこれらの相対回転を規制する部材として設けられている。また、固定リング１１２は、内周に雌ネジ部分が設けられて筒状部１０４ｂに螺合する軸部１０２ｂの雄ネジ部分に対してキー部材１１３の外側で螺合し、筒状部１０４ｂに当接して軸部１０２ｂを筒状部１０４ｂに締め付ける部材として設けられている。

次に、本実施形態に係るアクチュエータ用位置検出器１について詳しく説明する。図３は、アクチュエータ用位置検出器１について一部断面を含む状態で模式的に示す図である。図１乃至図３に示すアクチュエータ用位置検出器１は、アクチュエータ１００に設けられ、シリンダ１０３に対するピストン１０４又はロッド１０２の位置を検出する位置検出器として設けられている。本実施形態では、シリンダ１０３に対するピストン１０４の位置を検出するアクチュエータ用位置検出器１を例示している。アクチュエータ用位置検出器１は、ハウジング１１、プローブ１２、コア１３、ケース１４、位置検出信号出力部１５、等を備えて構成されている。尚、図３においては、ハウジング１１の図示が省略されている。

図２に示すハウジング１１は、ケース１４を収容保持する筒状の構造部材として設けられ、シリンダ１０３の内側に配置され、一方の端部において、第１シリンダ部材１０３ａの底部分に固定されている。尚、後述の位置検出信号出力部１５に通電するための電力ケーブル１６が、ハウジング１１から引き出されるように延びており、この電力ケーブル１６は、第１シリンダ部材１０３ａの底部分を貫通してシリンダ１０３の外側へ延びるように配置されている。また、ハウジング１１におけるシリンダ１０３に固定される側と反対側の端部側には、プローブ１２が突出した状態で配置されている。尚、ハウジング１１とハウジング１１が固定された第１シリンダ部材１０３ａとの間には、圧油の漏出を防ぐ図示しないシール部材が配置されている。また、プローブ１２は、ハウジング１１の端部に対して図示しないシール部材を介して摺動自在に設置されている。

図４は、プローブ１２及びコア１３を示す断面図である。図２乃至図４に示すプローブ１２は、同心状に配置されるとともに互いに固定された複数のプローブ部材（１７、１８）を有している。このプローブ１２は、ピストン１０４に固定され、ピストン１０４及びロッド１０２とともに変位するように構成されている。複数のプローブ部材（１７、１８）は、後述のコア１３に対してそれぞれ固定されている。そして、プローブ１２においては、複数のプローブ部材（１７、１８）として、軸状に形成されたインナープローブ部材１７と筒状に形成されたアウタープローブ部材１８とが備えられている。インナープローブ部材１７及びアウタープローブ部材１８は、例えば、ＳＵＳ３００系ステンレス鋼によって形成されている。

インナープローブ部材１７には、円柱状の軸部分として形成された軸部１７ａと、軸部１７ａに一体形成されるとともにピストン１０４に固定されるピストン固定部１７ｂとが設けられている。軸部１７ａにおけるピストン固定部１７ｂが一体形成された側と反対側である先端側の端部には、段状に縮径して延びる円柱突起状の部分である先端突起部１７ｃが設けられており、この先端突起部１７ｃの外周にはコア１３に螺合する雄ネジ部分が設けられている。

インナープローブ部材１７のピストン固定部１７ｂは、軸部１７ａよりも大径の円柱状の部分として設けられ、その外周にはピストン１０４に螺合する雄ネジ部分が設けられている。ピストン固定部１７ｂの外周の雄ネジ部分は、ピストン１０４の区画部１０４ｄに形成された孔の内周に設けられた雌ネジ部分に螺合するように構成されている。ピストン固定部１７ｂの外周の雄ネジ部分と区画部１０４ｄの孔の内周の雌ネジ部分とが螺合することで、プローブ１２がピストン１０４に固定されることになる。

また、ピストン固定部１７ｂの端部における軸部１７ａに連続する部分には、ピストン固定部１７ｂにおける雄ネジ部分が設けられている部分よりも大径の円盤フランジ状の部分として形成されたフランジ状部１７ｄが設けられている。プローブ１２は、ピストン固定部１７ｄが区画部１０４ｄに螺合してフランジ状部１７ｄが区画部１０４ｄに当接して締め付けられた状態で、ピストン１０４に固定されることになる。

アウタープローブ部材１８は、筒状の部材として形成され、インナープローブ部材１７の軸部１７ａの外側に配置され、インナープローブ部材１７と同心状に配置されている。即ち、アウタープローブ部材１８の内側に軸部１７ａが挿入され、筒状のアウタープローブ部材１８の中心線方向と軸状のインナープローブ部材１７の中心線方向とが一致した状態で、アウタープローブ部材１８がインナープローブ部材１７に対して配置されている。

コア１３は、円柱状の部材として設けられ、プローブ１２に固定されてプローブ１２とともに変位する可動鉄心として構成されている。このコア１３は、例えば、Ｆｅ−Ｎｉの合金であるパーマロイ、或いは、電磁軟鉄によって形成されている。そして、コア１３には、一方の端部側に開口する雌ネジ孔１３ａが形成され、この雌ネジ孔１３ａの内周には、先端突起部１７ｃの外周の雄ネジ部分と螺合する雌ネジ部分が設けられている。

ここで、複数のプローブ部材（１７、１８）同士の固定形態と、複数のプローブ部材（１７、１８）及びコア１３の固定形態とについて説明する。図５は、図４の一部を拡大して示す拡大断面図である。尚、図５（ａ）は、複数のプローブ部材（１７、１８）及びコア１３の固定箇所を拡大して示しており、図５（ｂ）は、複数のプローブ部材（１７、１８）同士の固定箇所を拡大して示している。

図４及び図５に示すように、プローブ１２及びコア１３においては、異なる溶接部分として設けられた第１の溶接部１９と第２の溶接部（２０、２１）とが備えられている。第１の溶接部１９は、複数のプローブ部材（１７、１８）が互いに溶接により固定される部分として設けられている。第２の溶接部（２０、２１）は、複数のプローブ部材（１７、１８）とコア１３とが互いに溶接により固定される部分として設けられている。

本実施形態では、第１の溶接部１９は、アウタープローブ部材１８の端部とインナープローブ部材１７のフランジ状部１７ｄとが溶接によって固定された部分として設けられている。この第１の溶接部１９は、例えば、ろう付けによる溶接、電子ビーム溶接、或いは、ＹＡＧレーザ等を用いるレーザビーム溶接によって、アウタープローブ部材１８の端部とインナープローブ部材１７のフランジ状部１７ｄとを接合する部分として形成されている。

また、第２の溶接部（２０、２１）として、アウタープローブ部材１８とコア１３とを接合する部分である第２の溶接部２０と、インナープローブ部材１７とコア１３とを接合する部分である第２の溶接部２１とが設けられている。そして、第２の溶接部２０は、アウタープローブ部材１８の端部とコア１３の端部とが溶接によって固定された部分として設けられている。第２の溶接部２１は、インナープローブ部材１７における先端突起部１７ｃの根元部分とコア１３の端部とが溶接によって固定された部分として設けられている。

尚、インナープローブ部材１７における先端突起部１７ｃの根元部分には、切欠き状に形成された溝１７ｅが設けられている。そして、第２の溶接部２１が形成される際には、先端突起部１７ｃにコア１３の雌ネジ穴１３ａが螺合した状態で、溝部１７ｅを介して溶接が行われることになる。第２の溶接部（２０、２１）は、例えば、ろう付けによる溶接、電子ビーム溶接、或いは、ＹＡＧレーザ等を用いるレーザビーム溶接によって、アウタープローブ部材１８及びインナープローブ部材１７のそれぞれとコア１３とをそれぞれ接合する部分として形成される。

複数のプローブ部材（１７、１８）同士の固定と、複数のプローブ部材（１７、１８）及びコア１３の固定とが行われる際には、まず、インナープローブ部材１７の軸部１７ａのアウタープローブ部材１８への挿入が行われる。軸部１７ａがフランジ状部１７でアウタープローブ部材１８に当接した状態となるまで軸部１７ａがアウタープローブ部材１８に挿入されると、先端突起部１７ｃのコア１３の雌ネジ穴１３ａへの螺合が行われ、インナープローブ部材１７とコア１３とがネジ結合される。

上記の状態において、インナープローブ部材１７とアウタープローブ部材１８との溶接が行われて、第１の溶接部１９が形成され、インナープローブ部材１７とアウタープローブ部材１８とが互いに固定される。そして、インナープローブ部材１７とコア１３との溶接が行われて、第２の溶接部２１が形成され、インナープローブ部材１７とコア１３とが溶接によっても互いに固定される。更に、アウタープローブ部材１８とコア１３との溶接が行われて、第２の溶接部２０が形成され、アウタープローブ部材１８とコア１３とが溶接によって互いに固定される。

上記のように、インナープローブ部材１７とコア１３とは、ネジ結合によって固定されるとともに、溶接によっても固定される。そして、アウタープローブ部材１８とコア１３とは、溶接によって固定される。更に、インナープローブ部材１７とアウタープローブ部材１８とは、溶接によって固定される。これにより、プローブ１２及びコア１３には、複数のプローブ部材（１７、１８）が互いに固定される部分と、複数のプローブ部材（１７、１８）とコア１３とが互いに固定される部分とにおいて、溶接によって固定される部分（第１の溶接部１９、第２の溶接部（２０、２１））と、ネジ結合によって固定される部分（先端突起部１７ｃと雌ネジ孔１３ａとの螺合部分）とが備えられている。

図３に示す位置検出信号出力部１５は、後述のケース１４に保持されるとともに内側にコア１３が変位可能に配置されるコイル（２２、２３）を有し、ピストン１０４の位置検出信号を出力する回路として設けられている。そして、上記のコイルとして、位置検出信号出力部１５は、コア１３によって磁気的に結合されるように配置された１次コイル２２と２次コイル２３（２３ａ、２３ｂ）とを有している。１次コイル２２は、交流の入力電圧が印加されて励磁される１次側のコイルとして設けられている。２次コイル２３は、１次コイル２２が励磁された状態でコア１３が変位することによって誘起電圧が発生する２次側のコイルとして設けられている。

図６は、位置検出信号出力部１５の１次コイル２２及び２次コイル２３と、プローブ１２及びコア１３との位置関係を模式的に示す図である。図３及び図６に示すように、１次コイル２２は、プローブ１２の軸方向と平行な方向におけるケース１４の略中央部分にてケース１４に保持されている。そして、１次コイル２２は、コア１３及びプローブ１２に対してそれらの径方向の外側において周方向に螺旋状に巻かれたコイルとして構成され、両端が交流電源２４に接続されている。

図３及び図６に示すように、２次コイル２３として、２次コイル２３ａと２次コイル２３ｂとが備えられている。そして、２次コイル２３ａ及び２次コイル２３ｂは、プローブ１２の軸方向と平行な方向における１次コイル２２の両側にてそれぞれケース１４に保持されている。尚、２次コイル２３ａは、１次コイル２２に対して、プローブ１２の軸方向と平行な方向においてピストン固定部１７ｂと反対側に配置されている。一方、２次コイル２３ｂは、１次コイル２２に対して、プローブ１２の軸方向と平行な方向においてピストン固定部１７ｂ側に配置されている。

また、２次コイル２３ａ及び２次コイル２３ｂは、コア１３及びプローブ１２に対してそれらの径方向の外側において周方向で同じ方向に螺旋状に巻かれたコイルとして構成されている。２次コイル２３ａ及び２次コイル２３ｂにおいては、プローブ１２の軸方向と平行な方向においてピストン固定部１７ｂ側に配置された端部である２次コイル２３ａの一端と、プローブ１２の軸方向と平行な方向においてピストン固定部１７ｂ側に配置された端部である２次コイル２３ｂの一端とが、接続されている。これにより、２次コイル２３ａ及び２次コイル２３ｂは、１次コイル２２が励磁された状態でコア１３が所定の方向に変位することによって発生する誘起電圧の位相が逆位相となるように構成されている。

また、プローブ１２の軸方向と平行な方向においてピストン固定部１７ｂと反対側に配置された端部である２次コイル２３ａの他端（図６にて点Ａ１で示す２次コイル２３ａの端部）と、プローブ１２の軸方向と平行な方向においてピストン固定部１７ｂと反対側に配置された端部である２次コイル２３ｂの他端（図６にて点Ａ２で示す２次コイル２３ｂの端部）との間での電圧差が、２次コイル２３（２３ａ、２３ｂ）で発生した誘起電圧に基づく電圧信号として出力されることになる。そして、この電圧信号は、コア１３の変位に比例して出力されるため、コア１３が固定されたプローブ１２が更に固定されたピストン１０４の位置に比例したピストン１０４の位置検出信号として、出力されることになる。

図７及び図８は、図６と同様に、１次コイル２２及び２次コイル２３と、プローブ１２及びコア１３との位置関係を模式的に示す図である。そして、図６は、コア１３が１次コイル２２の内側で２次コイル２３ａ及び２次コイル２３ｂから等距離の位置である中央位置に位置した状態の模式図である。図７は、ロッド１０２がシリンダ１０３に向かって変位する際のピストン１０４の変位に伴って、コア１３が、上記の中央位置から、プローブ１２の軸方向と平行な方向において２次コイル２３ａ側に向かって変位した状態の模式図である。図８は、ロッド１０２がシリンダ１０３から突出する方向に変位する際のピストン１０４の変位に伴って、コア１３が、上記の中央位置から、プローブ１２の軸方向と平行な方向において２次コイル２３ａ側に向かって変位した状態の模式図である。

コア１３が図６に示す中央位置の状態では、１次コイル２２及び２次コイル２３ａの磁気的結合の度合と、１次コイル２２及び２次コイル２３ｂの磁気的結合の度合とが等しくなり、２次コイル２３ａに誘起される交流電圧と、２次コイル２３ｂに誘起される交流電圧とが等しくなる。このため、点Ａ１で示す２次コイル２３ａの他端と点Ａ２で示す２次コイル２３ｂの他端との間の電圧差がゼロとなり、２次コイル２３からの出力がゼロとなる。尚、例えば、舵面１０１が中立位置でピストン１０４が全ストロークの中間位置に位置した所定の状態で、コア１３が上記の中央位置に位置するようにプローブ１２の寸法等が設定されている。これにより、２次コイル２３からの出力がゼロのときに、ピストン１０４が所定の中間位置に位置していることを検出した位置検出信号が、位置検出信号出力部１５から出力されることになる。

図７に示すようにコア１３が２次コイル２３ａ側に変位した状態では、１次コイル２２及び２次コイル２３ａの磁気的結合度が、１次コイル２２及び２次コイル２３ｂの磁気的結合度よりも強くなり、２次コイル２３ａに誘起される交流電圧と、２次コイル２３ｂに誘起される交流電圧とに、差が生じることになる。このため、その差に比例した交流電圧が、点Ａ１で示す２次コイル２３ａの他端と点Ａ２で示す２次コイル２３ｂの他端との間において生じ、２次コイル２３から出力される。これにより、コア１３が上記の中央位置から２次コイル２３ａ側に変位した変位量に比例した電圧信号が２次コイル２３から出力され、ピストン１０４の所定の中間位置からの変位量を検出した位置検出信号が、位置検出信号出力部１５から出力されることになる。

一方、図８に示すようにコア１３が２次コイル２３ｂ側に変位した状態では、１次コイル２２及び２次コイル２３ｂの磁気的結合度が、１次コイル２２及び２次コイル２３ａの磁気的結合度よりも強くなり、２次コイル２３ｂに誘起される交流電圧と、２次コイル２３ａに誘起される交流電圧とに、差が生じることになる。このため、その差に比例した交流電圧が、点Ａ１で示す２次コイル２３ａの他端と点Ａ２で示す２次コイル２３ｂの他端との間において生じ、２次コイル２３から出力される。これにより、コア１３が上記の中央位置から２次コイル２３ｂ側に変位した変位量に比例した電圧信号が２次コイル２３から出力され、ピストン１０４の所定の中間位置からの変位量を検出した位置検出信号が、位置検出信号出力部１５から出力されることになる。

尚、コア１３が２次コイル２３ａ側に変位した状態と２次コイル２３ｂ側に変位した状態とでは、２次コイル２３から出力される電圧の位相が逆となる。これに基づき、位置検出信号出力部１５は、コア１３の中央位置から２次コイル２３ａ側の変位と２次コイル２３ｂ側の変位とを正負が逆の変位として検出し、ピストン１０４の位置検出信号を出力するように構成されている。また、位置検出信号出力部１５から出力されたピストン１０４の位置検出信号（図１にてＳ３の符号で示す信号）は、フライトコントローラ１１０に対して入力される。尚、フライトコントローラ１１０は、アクチュエータ用位置検出器１の位置検出信号出力部１５からの位置検出信号に基づいて、舵面１００の位置が航空機の飛行状態に応じた目標位置となるように、舵面１００の位置のフィードバック制御を行うように構成されている。

図３に示すケース１４は、ハウジング１１とともにシリンダ１０３の第１シリンダ部材１０３ａに固定され、プローブ１２の先端側で支持されたコア１３が内側に配置される筒状の構造体として構成されている。そして、ケース１４は、前述のように、１次コイル２２及び２次コイル２３（２３ａ、２３ｂ）を保持するように構成されている。また、ケース１４は、同心状に配置されるとともに互いに固定された複数のケース部材（２５、２６）を有している。

ケース１４においては、複数のケース部材（２５、２６）として、筒状に形成されたインナーケース部材２５と、筒状に形成されてインナーケース部材２５の外側に配置されたアウターケース部材２６とが備えられている。インナーケース部材２５及びアウターケース部材２６は、例えば、ＳＵＳ３００系ステンレス鋼によって形成されている。また、これらのインナーケース部材２５とアウターケース部材２６との間において、１次コイル２２及び２次コイル２３（２３ａ、２３ｂ）が保持されている。

インナーケース部材２５は、一端側に底部分が設けられて他端側が開口するように形成された筒状の部材として設けられている。そして、プローブ１２の先端側で支持されたコア１３は、インナーケース部材２５の他端側の開口からこのインナーケース部材２５の内側に挿入されて配置される。また、インナーケース部材２５の外周には、プローブ１２の軸方向と平行な方向に配置されるインナーケース部材２５の長手方向に沿って、一端側の底部分側から他端側の開口側にかけて、２次コイル２３ａ、１次コイル２２、２次コイル２３ｂがこの順番で配置されている。

インナーケース部材２５の外側に配置されるアウターケース部材２６は、インナーケース部材２５と同心状に配置されている。即ち、筒状のアウターケース部材２６の中心線方向と筒状のインナーケース部材２５の中心線方向とが一致した状態で、アウターケース部材２６がインナーケース部材２５に対して配置されている。

尚、本実施形態では、アウターケース部材２６は２層構造の筒状の部材として設けられ、このアウターケース部材２６を更に構成する部材として、外側に配置された第１アウターケース部材２６ａと内側に配置された第２アウターケース部材２６ｂとが設けられている。第１アウターケース部材２６ａ及び第２アウターケース部材２６ｂは、いずれも筒状に形成されている。そして、第１アウターケース部材２６ａの内側に第２アウターケース部材２６ｂが挿入され、第１アウターケース部材２６ａの内周面に第２アウターケース部材２６ｂの外周面が支持された状態で、第１アウターケース部材２６ａと第２アウターケース部材２６ｂとが固定されている。また、第２アウターケース部材２６ｂは、その内周面が１次コイル２２及び２次コイル２３の外周面を支持するように、配置されている。

また、ケース１４においては、インナーケース部材２５と第１アウターケース部材２６ａとは、例えば、ろう付けによる溶接、電子ビーム溶接、或いは、ＹＡＧレーザ等を用いるレーザビーム溶接によって互いに固定されている。そして、第１アウターケース部材２６ａと第２アウターケース部材２６ｂとについても、例えば、ろう付けによる溶接、電子ビーム溶接、或いは、ＹＡＧレーザ等を用いるレーザビーム溶接によって互いに固定されている。

上述したように、アクチュエータ用位置検出器１によると、１次コイル２２が励磁された状態でコア１３が変位することで２次コイル２３に誘起電圧が発生し、シリンダ１０３に対するピストン１０４の位置が検出されることになる。そして、２次コイル２３に生じた誘起電圧に基づく信号がピストン１０４の位置検出信号としてフライトコントローラ１１０に対して出力される。

また、アクチュエータ用位置検出器１によると、コイル（２２、２３）の内側で変位するコア１３を支持するとともにピストン１０４及びロッド１０２とともに変位するプローブ１２が、互いに固定された複数のプローブ部材（１７、１８）を有し、これらの複数のプローブ部材（１７、１８）がコア１３に対してそれぞれ固定されている。このため、プローブ１２の多重化が図られることになり、複数のプローブ部（１７、１８）のいずれかにおいて損傷が発生した場合であっても、他のプローブ部材によってコア１３が正常な状態で支持される。そして、ピストン１０４の位置を検出することが不能となったり、或いは、誤検出を招いてしまうことが防止される。よって、冗長化による信頼性の向上が図られることになる。更に、プローブ１２における複数のプローブ部材（１７、１８）は、同心状に配置されて互いに固定されている。このため、スペース効率良く非常にコンパクトな構造でプローブ１２の多重化が図られることになる。また、プローブ１２がコンパクトに多重化されることで冗長化による信頼性の向上が図られるため、構造の大型化や複雑化を招いてしまうことを抑制でき、部品点数及びコストの増大も抑制することができる。

従って、本実施形態によると、冗長化による信頼性の向上を図ることができるとともに、構造の大型化及び複雑化を抑制し、部品点数及びコストの増大も抑制することができる、アクチュエータ用位置検出器１を提供することができる。

また、アクチュエータ用位置検出器１によると、各プローブ部材（１７、１８）同士が溶接固定される第１の溶接部１９と、各プローブ部材（１７、１８）とコア１３とが溶接固定される第２の溶接部（２０、２１）とが、異なる溶接部分として設けられているため、プローブ部材（１７、１８）同士の溶接に適した溶接条件と、プローブ部材（１７、１８）及びコア１３の溶接に適した溶接条件とを、個別に設定することができる。

また、アクチュエータ用位置検出器１によると、各プローブ部材（１７、１８）同士が固定される部分と、各プローブ部材（１７、１８）とコア１３とが固定される部分とに、溶接によって固定される部分とネジ結合によって固定される部分が設けられているため、固定手段を溶接とネジ結合とに冗長化して設定することができる。これにより、更なる冗長化による信頼性の向上が図られることになる。

また、アクチュエータ用位置検出器１によると、軸状のインナープローブ部材１７の外側に筒状のアウタープローブ部材１８が同心状に配置され、コンパクトな構造でプローブ１２の二重化が図られることになる。そして、インナープローブ部材１７及びアウタープローブ部材１８と、アウタープローブ部材１８及びコア１３とがそれぞれ溶接固定され、インナープローブ部材１７及びコア１３が溶接及びネジ結合によって固定される。このため、効率よく固定手段の冗長化も図られることになる。

また、アクチュエータ用位置検出器１によると、コイル（２２、２３）を保持してシリンダ１０３に固定されるケース１４が互いに固定された複数のケース部材（２５、２６）を有しているため、ケース１４の多重化が図られることになる。このため、複数のケース部材（２５、２６）のいずれかにおいて損傷が発生した場合であっても、他のケース部材によってコイル（２２、２３）が正常な状態で保持される。そして、ピストン１０４の位置を検出することが不能となったり、或いは、誤検出を招いてしまうことが防止される。よって、冗長化による信頼性の向上が図られることになる。更に、ケース１４における複数のケース部材（２５、２６）は、同心状に配置されて互いに固定されている。このため、スペース効率良く非常にコンパクトな構造でケース１４の多重化が図られることになる。

また、アクチュエータ用位置検出器１によると、筒状のインナーケース部材２５の外側に筒状のアウターケース部材２６が同心状に配置され、コンパクトな構造でケース１４の二重化が図られることになる。また、インナーケース部材２５とアウターケース部材２６との間に１次コイル２２及び２次コイル２３が保持されるため、二重化が図られたケース１４においてスペース効率よくコイル（２２、２３）が配置されることになる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々に変更して実施することができる。例えば、次のような変形例を実施してもよい。

（１）前述の実施形態においては、航空機の機器として舵面を例にとって説明したが、この通りでなくてもよい。アクチュエータ用位置検出器が用いられるアクチュエータが駆動する航空機の機器としては、舵面以外の機器であってもよく、例えば、航空機におけるランディングギア（降着装置）等の脚（航空機の機体を地上で支持する機構）であってもよい。

（２）前述の実施形態においては、アクチュエータ用位置検出器がアクチュエータの内部に設置される形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよい。アクチュエータ用位置検出器は、アクチュエータの外側でアクチュエータに対して設置されてもよい。

（３）前述の実施形態においては、プローブがピストンに固定されてピストンの位置を検出するアクチュエータ用位置検出器の形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよい。プローブがロッドに固定され、ロッドの位置を検出するアクチュエータ用位置検出器を実施してもよい。

（４）前述の実施形態においては、複数のプローブ部材として、インナープローブ部材及びアウタープローブ部材の２つのプローブ部材が備えられている形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよい。複数のプローブ部材として３つ以上のプローブ部材が備えられているプローブが設けられたアクチュエータ用位置検出器を実施してもよい。尚、複数のプローブ部材については、同心状に配置されて互いに固定されていればよく、前述の実施形態で例示した形状に限らずに種々変更して実施してもよい。

（５）前述の実施形態においては、ケースにおいて複数のケース部材が備えられている形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよく、ケース部材を１つのみ有するケースが設けられたアクチュエータ用位置検出器を実施してもよい。また、ケースに複数のケース部材が設けられる場合においては、前述の実施形態で例示した形態に限らず、ケース部材の形状や数を種々変更して実施してもよい。

（６）複数のプローブ部材同士の固定形態と、複数のプローブ部材及びコアの固定形態とについては、前述の実施形態で例示した形態に限らず、種々変更して実施してもよい。例えば、図９に示す変形例を実施してもよい。図９は、変形例に係るアクチュエータ用位置検出器におけるプローブ及びコアを示す断面図である。図９に示すプローブ１２及びコア１３は、前述の実施形態におけるプローブ１２及びコア１３と同様に構成されているが、複数のプローブ部材（１７、１８）同士の固定形態と、複数のプローブ部材（１７、１８）及びコア１３の固定形態とにおいて、前述の実施形態とは異なっている。尚、前述の実施形態と同様に構成される要素については、図９において同一の符号を付すことで、説明を省略する。

図９に示す変形例においては、インナープローブ部材１７における先端突起部１７ｃの根元部分に、切欠き状に形成された溝１７ｅが設けられている。そして、この溝１７ｅを介して溶接が行われることで溶接部分２７が形成され、この溶接部分２７によって、インナープローブ部材１７とアウタープローブ部材１８とコア１３とが接合されて固定されている。即ち、この変形例に係るアクチュエータ用位置検出器においては、複数のプローブ部材（１７、１８）のそれぞれが互いに溶接により固定される溶接部分と、複数のプローブ部材（１７、１８）とコア１３とが溶接により固定される溶接部分とが、一体の溶接部分２７として設けられている。

この変形例によると、各プローブ部材（１７、１８）同士の溶接部分と各プローブ部材（１７、１８）及びコア１３の溶接部分とが、一体の溶接部分２７として設けられるため、複数のプローブ部材（１７、１８）及びコア１３の溶接による固定作業を効率よく実施することができる。

本発明は、ロッドに設けられたピストンがシリンダ内で変位することで作動して航空機の機器を駆動するアクチュエータに用いられ、シリンダに対するピストン又はロッドの位置を検出する、アクチュエータ用位置検出器として、広く適用することができるものである。

１ アクチュエータ用位置検出器
１２ プローブ
１３ コア
１４ ケース
１５ 位置検出信号出力部
１７ インナープローブ部材
１８ アウタープローブ部材
２２ １次コイル
２３、２３ａ、２３ｂ ２次コイル

Claims (7)

1. ロッドに設けられたピストンがシリンダ内で変位することで作動して航空機の機器を駆動するアクチュエータに用いられ、シリンダに対するピストン又はロッドの位置を検出する、アクチュエータ用位置検出器であって、
   前記ピストン又は前記ロッドに固定され、前記ピストン及び前記ロッドとともに変位するプローブと、
   前記プローブに固定されて当該プローブとともに変位する可動鉄心であるコアと、
   前記シリンダに固定されるとともに前記コアが内側に配置されるケースと、
   前記ケースに保持されるとともに内側に前記コアが変位可能に配置されるコイルを有し、前記ピストン又は前記ロッドの位置検出信号を出力する位置検出信号出力部と、
   を備え、
   前記位置検出信号出力部は、入力電圧が印加されて励磁される１次側のコイルとして設けられた１次コイルと、前記１次コイルが励磁された状態で前記コアが変位することによって誘起電圧が発生する２次側のコイルとして設けられた２次コイルとを有し、前記２次コイルで発生した誘起電圧に基づく信号を前記位置検出信号として出力し、
   前記プローブは、同心状に配置されるとともに互いに固定された複数のプローブ部材を有し、
   複数の前記プローブ部材は、それぞれ前記コアに対して互いに固定されていることを特徴とする、アクチュエータ用位置検出器。
2. 請求項１に記載のアクチュエータ用位置検出器であって、
   複数の前記プローブ部材が互いに溶接により固定される部分として設けられた第１の溶接部と、複数の前記プローブ部材と前記コアとが互いに溶接により固定される部分として設けられた第２の溶接部とが、異なる溶接部分として設けられていることを特徴とする、アクチュエータ用位置検出器。
3. 請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ用位置検出器であって、
   複数の前記プローブ部材が互いに固定される部分と、複数の前記プローブ部材と前記コアとが互いに固定される部分とにおいて、溶接によって固定される部分とネジ結合によって固定される部分とが備えられていることを特徴とする、アクチュエータ用位置検出器。
4. 請求項３に記載のアクチュエータ用位置検出器であって、
   複数の前記プローブ部材として、軸状に形成されたインナープローブ部材と、筒状に形成されて前記インナープローブ部材の外側に配置されるとともに当該インナープローブ部材と同心状に配置されたアウタープローブ部材と、が備えられ、
   前記インナープローブ部材と前記コアとは、ネジ結合によって固定されるとともに、溶接によっても固定され、
   前記アウタープローブ部材と前記コアとは、溶接によって固定され、
   前記インナープローブ部材と前記アウタープローブ部材とは、溶接によって固定されていることを特徴とする、アクチュエータ用位置検出器。
5. 請求項１に記載のアクチュエータ用位置検出器であって、
   複数の前記プローブ部材のそれぞれが互いに溶接により固定される溶接部分と、複数の前記プローブ部材と前記コアとが溶接により固定される溶接部分とが、一体の溶接部分として設けられていることを特徴とする、アクチュエータ用位置検出器。
6. 請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のアクチュエータ用位置検出器であって、
   前記ケースは、同心状に配置されるとともに互いに固定された複数のケース部材を有していることを特徴とする、アクチュエータ用位置検出器。
7. 請求項６に記載のアクチュエータ用位置検出器であって、
   複数の前記ケース部材として、筒状に形成されたインナーケース部材と、筒状に形成されて前記インナーケース部材の外側に配置されるとともに当該インナーケース部材と同心状に配置されたアウターケース部材と、が備えられ、
   前記インナーケース部材と前記第アウターケース部材との間において、前記１次コイル及び前記２次コイルが保持されていることを特徴とする、アクチュエータ用位置検出器。
   

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