JP7142434B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本開示は、アクチュエータに関する。本開示は、より具体的には、差動変圧器を備えたアクチュエータに関する。

航空機等の輸送機器及び各種産業機械では、可動部材を駆動するためにアクチュエータが用いられている。アクチュエータの一種として流体圧式アクチュエータがある。流体圧式アクチュエータは、一般に、シリンダと、当該シリンダの内部空間を２つの圧力室に区画するピストンを有するピストンユニットと、シリンダに対するピストンユニットの位置を検出する位置検出器と、を有している。ピストンユニットには、シリンダの外部へ突出するピストンロッドが設けられており、このピストンロッドが駆動対象の可動部材と連結される。

流体圧式アクチュエータでは、サーボ機構によりピストンユニットの位置が制御される。サーボ機構は、位置検出器により検出されたピストンユニットの位置に基づいて２つの圧力室に供給される作動流体の圧力を調整することで、ピストンユニットのシリンダ内での位置を制御する。

流体圧式アクチュエータに適用可能な位置検出器として、差動変圧器が知られている。特開２０１１－１２７６７４号公報（特許文献１）には、航空機の舵面を駆動するための流体圧式アクチュエータが開示されており、当該アクチュエータにおけるピストンの位置は、差動変圧器の一種である線形可変差動変圧器（ＬＶＤＴ）により検出されている。

ＬＶＤＴは、一般に、ピストン又はピストンロッドに固定された棒状のプローブと、当該プローブの先端に設けられたコアと、シリンダに固定されたコイルアッセンブリと、を備える。コイルアッセンブリは、交流の入力電圧によって励磁される一次コイルと、当該一次コイルの軸方向両側に設けられた一組の二次コイルと、を有している。ＬＶＤＴは、ピストンユニットの変位に応じて、コイルアッセンブリに対するコアの位置が変化するように構成される。このコイルアッセンブリに対するコアの位置の変化により、各二次コイルに生じる誘導電圧の差である差動電圧が変化するため、この差動電圧に基づいてコアの基準位置に対する位置が検出される。コアの基準位置は、差動電圧がゼロとなるヌル点におけるコアの位置である。コアはピストンユニットと一体に移動するため、差動電圧に基づいてピストンユニットの位置を検知することができる。

特開２０１１－１２７６７４号公報

アクチュエータが正常に作動するためには、ＬＶＤＴ等の差動変圧器によりピストンユニットの位置を正しく検出することが必要である。

本開示の目的の一つは、差動変圧器のヘルスモニタリングを行うことが可能なアクチュエータを提供することである。本開示のこれ以外の目的は、本明細書全体を参照することにより明らかとなる。

本発明の一態様によるアクチュエータは、シリンダと、前記シリンダに摺動可能に設けられたピストンユニットと、前記シリンダに対する前記ピストンユニットの位置を検出する差動変圧器と、少なくとも一部が前記差動変圧器内に設けられた閉ループ構造体と、前記閉ループ構造体における物理的な変化を検出するセンサユニットと、を備える。

上記のアクチュエータによれば、センサユニットによって閉ループ構造体における物理的な変化が検出されるので、この検出結果に基づいて差動変圧器の健全性を判断することができる。また、閉ループ構造体により、差動変圧器に対して構造的な冗長性を付与することができる。これにより、差動変圧器に破断が起こりにくくすることができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体を流れる電流または磁束に関する物理量を検出するように構成されている。

上記のアクチュエータによれば、センサユニットによって閉ループ構造体を流れる電流又は磁束を検出することにより、差動変圧器の健全性を判断することができる。例えば、差動変圧器が破断または劣化すると閉ループ構造体の電気抵抗や磁気抵抗が変化するので、差動変圧器内に形成された閉ループ構造体を流れる電流または磁束の変化を検知することにより、差動変圧器の健全性をモニタリングすることができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている。

上記のアクチュエータによれば、センサユニットによって差動変圧器内に形成された閉ループ構造体が開放されたことを検知することにより、差動変圧器の破断または劣化を検知することができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体を流れる電流の電流値に基づいて前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている。

上記のアクチュエータによれば、閉ループ構造体を流れる電流の電流値によって当該閉ループ構造体が開放されたことを検知することにより、差動変圧器の破断または劣化を検知することができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体は、磁性材料からなり、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体からの漏れ磁束を検知することにより前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている。

上記のアクチュエータによれば、閉ループ構造体からの漏れ磁束によって当該閉ループ構造体が開放されたことを検知することにより、差動変圧器の破断または劣化を検知することができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記差動変圧器は、前記ピストンユニットに取り付けられたプローブを有し、前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブに形成されている。

上記のアクチュエータによれば、プローブの破断または劣化を検知することができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体は、前記プローブよりも靱性が高い材料からなる。

上記のアクチュエータによれば、高靱性の閉ループ構造体により、プローブに対して構造的強度を付与することができる。これにより、プローブが破断されにくくなる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記差動変圧器は、前記プローブに設けられたコアを有し、前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアに形成されている。

上記のアクチュエータによれば、コアの破断または劣化も検知することができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体は、前記コアよりも靱性が高い材料からなる。

上記のアクチュエータによれば、高靱性の閉ループ構造体により、コアに対して構造的強度を付与することができる。これにより、コアが破断されにくくなる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアの少なくとも一方に形成された貫通孔内に設けられている。

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器の動作の障害とならないように閉ループ構造体を形成できる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記貫通孔は、第１内径を有する第１孔部分と、前記第１内径よりも小さな第２内径を有する第２孔部分と、を有するように形成され、前記第２孔部分は、前記第１孔部分よりも、前記プローブが前記ピストンユニットに取り付けられる取付位置から遠位に配されている。

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器に溜まった水を貫通孔経由で掻き出すことができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアの少なくとも一方に形成された溝の内部に設けられている。

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器の動作の障害とならないように閉ループ構造体を形成できる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記溝は、第１外径を有する第１溝部分と、前記第１外径よりも大きな第２外径を有する第２溝部分と、を有するように形成され、前記第２溝部分は、前記第１溝部分よりも、前記プローブが前記ピストンユニットに取り付けられる取付位置から遠位に配されている。

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器に溜まった水を溝経由で掻き出すことができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記閉ループ構造体は、前記プローブ及び前記コアの少なくとも一方に螺旋形状に形成されている。

上記のアクチュエータによれば、螺旋形状の閉ループ構造体により、プローブ及びコアの少なくとも一方を補強することができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体における物理的な変化に応じて、点灯、点滅、又は消灯するランプをさらに備える。

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器の破断または劣化をランプで伝達することができる。

本発明の一態様によるアクチュエータにおいて、前記センサユニットは、前記閉ループ構造体における物理的な変化に応じて生成した信号を外部装置に送信するように構成される。

上記のアクチュエータによれば、差動変圧器の破断または劣化を外部装置でモニタリングできる。

本発明の実施形態によって、差動変圧器のヘルスモニタリングを行うことが可能なアクチュエータが提供される。

本発明の一実施形態によるアクチュエータが用いられるシステムを模式的に示す図である。 図１のアクチュエータの断面図である。 図１のアクチュエータが備える差動変圧器を模式的に示す図である。 図３の差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。 図４ａのＩ－Ｉ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。 図５ａのＩＩ－ＩＩ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。 図６ａのＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。 図７ａのＩＶ－ＩＶ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるコアの模式的な断面図である。 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるコアの模式的な断面図である。 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの断面を模式的に示す図である。 本発明の別の実施形態におけるセンサユニットを説明するブロック図である。 本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図である。 図１２ａのＶ－Ｖ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。

以下、添付の図面を適宜参照し、本発明の様々な実施形態を説明する。各図面において共通する構成要素に対しては同一の参照符号が付されている。各図面は、説明の便宜上、必ずしも正確な縮尺で記載されているとは限らない点に留意されたい。

本発明は、シリンダと、当該シリンダに摺動可能に設けられたピストンユニットと、当該ピストンユニットの位置を検出する差動変圧器と、を備えるアクチュエータに適用され得る。図１及び図２を参照して、本発明の一態様によるアクチュエータ及び当該アクチュエータが用いられるシステムについて説明する。

図１は、本発明の一態様によるアクチュエータ１０を作動させることにより航空機の動翼１Ａを駆動する動翼駆動システム１を模式的に示す図であり、図２は、アクチュエータ１０の断面を模式的に示す図である。動翼１Ａは、例えば、補助翼（エルロン）、方向舵（ラダー）、及び昇降舵（エレベータ）などの主操縦翼面、または、フラップ及びスポイラーなどの二次操縦翼面である。動翼駆動システム１は、本発明によるアクチュエータが用いられるシステムの一例である。本発明によるアクチュエータは、動翼駆動システム以外にも様々なシステムにおいて用いられ得る。

動翼駆動システム１は、動翼１Ａを駆動させるためのアクチュエータ１０と、アクチュエータ１０に圧油を供給する油圧源２と、アクチュエータ１０から排出された油を貯留するリザーバ３とを備えている。図示の実施形態において、アクチュエータ１０は、油圧式アクチュエータである。本発明を適用可能なアクチュエータは油圧式アクチュエータには限られないことに留意されたい。例えば、本発明は、圧油以外の作動液体により作動される液体圧式アクチュエータや、圧縮空気により作動される空気圧式アクチュエータにも適用され得る。

アクチュエータ１０は、中空のシリンダ１１と、シリンダ１１内に設けられたピストンユニット１２と、を有する。シリンダ１１は、その長手方向（軸線Ａに沿う方向）の一方が開口し、他方が閉塞されている。シリンダ１１は、第１シリンダ部材１１ａと、第２シリンダ部材１１ｂと、第３シリンダ部材１１ｃと、を有する。第１シリンダ部材１１ａ、第２シリンダ部材１１ｂ、及び第３シリンダ部材１１ｃは、互いに固定されている。

第１シリンダ部材１１ａは、長手方向の一方が開口し他方が閉塞された有底の筒状に形成されている。第３シリンダ部材１１ｃは、長手方向の両端が開口した筒状に形成されており、第１シリンダ部材１１ａの内側に螺合されている。第２シリンダ部材１１ｂは、長手方向の両端が開口した筒状に形成されており、第１シリンダ部材１１ａ及び第３シリンダ部材１１ｃの内側に嵌め合わされている。図示の実施形態では、本明細書で説明されている第１シリンダ部材１１ａ、第２シリンダ部材１１ｂ、及び第３シリンダ部材１１ｃは例示であり、第１シリンダ部材１１ａ、第２シリンダ部材１１ｂ、及び第３シリンダ部材１１ｃの形状、配置、及び接合態様は、本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。シリンダ１１は、第１シリンダ部材１１ａ、第２シリンダ部材１１ｂ、及び第３シリンダ部材１１ｃ以外の部材を含んでもよい。

ピストンユニット１２は、ピストン１３と、ピストン１３に接続されたピストンロッド１４と、ピストンロッド１４に取り付けられたクレビス１５と、を有する。ピストン１３及びピストンロッド１４は、シリンダ１１の内部に配置されている。ピストンロッド１４は、その一部がシリンダ１１の開口を介してシリンダ１１の外部に突出している。

ピストン１３は、円筒形状に形成されている。ピストン１３は、その外周面が第１シリンダ部材１１ａの内周面と当接するように、第１シリンダ部材１１ａの内側に配置されている。これにより、ピストン１３は、シリンダ１１を第１油圧室１９ａおよび第２油圧室１９ｂに区画する。

ピストンロッド１４は、中空の筒状に形成された第１筒状部材１４ａと、第１筒状部材１４ａの一方の端部を閉塞する中実部１４ｂと、中実部１４ｂから第１筒状部材１４ａとは反対側に延びる円筒形状の第２筒状部材１４ｃと、を有する。ピストンロッド１４は、その外周面が第２シリンダ部材１１ｂの内周面と当接するように設けられている。ピストンロッド１４の外周面と第２シリンダ部材１１ｂの内周面との間は、Ｏリング等のシール部材が配されている。このシール部材により、圧油が第１油圧室１９ａ内に封止される。

クレビス１５は、動翼１Ａに回動可能に取り付けられる取付部１５ａと、この取付部１５ａから突出する軸部１５ｂとを有する。軸部１５ｂの外表面には雄ねじが形成されており、第２筒状部材１４ｃの内周面には雌ねじが形成されている。軸部１５ｂは、第２筒状部材１４ｃに螺合されている。軸部１５ｂには、キー部材１６を介して固定リング１７が螺合されている。軸部１５ｂは、固定リング１７により、第２筒状部材１４ｃに締め付けられる。

ピストンユニット１２は、シリンダ１１に対してその中心軸Ａに沿って移動可能に設けられている。ピストンユニット１２が中心軸Ａに沿った第１移動方向Ｗ１に移動するとアクチュエータ１０は伸長し、ピストンユニット１２が中心軸Ａ沿った第２移動方向Ｗ２に移動するとアクチュエータ１０は収縮する。図２には、収縮したアクチュエータ１０が示されている。アクチュエータ１０は、第１油圧室１９ａ及び第２油圧室１９ｂに対して圧油が給排されることで作動する。アクチュエータ１０が作動されるとピストン１３がシリンダ１１内で変位することにより、ピストンロッド１４及びクレビス１５を介して動翼１Ａが駆動される。

図示され本明細書で説明されているピストンユニット１２は例示であり、ピストンユニット１２の構成部材の形状、配置、及び接合態様は、本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。例えば、ピストンユニット１２において、ピストンロッド１４とクレビス１５とは一部材として形成されてもよい。

ピストンロッド１４の第１筒状部材１４ａの内部には、ピストンユニット１２の位置を検出する差動変圧器２０が設けられている。差動変圧器２０は、円筒形状のハウジング２０ａを備えており、このハウジング２０ａ内に後述する様々な構成部材を収容している。ハウジング２０ａは、その一方の端部において、第１シリンダ部材１１ａに固定されている。差動変圧器２０からは、電力ケーブル２８がハウジング２０ａの外部に引き出されている。差動変圧器２０の詳細については後述する。

図１に示されているように、アクチュエータ１０と油圧源２およびリザーバ３との間には、制御弁４が設けられている。制御弁４は、油圧源２と油路７ａにより接続されており、リザーバ３とは油路７ｂにより接続されている。また、制御弁４は、油圧アクチュエータ１１の第１油圧室１９ａと油路８ａにより接続されており、油圧アクチュエータ１１の第２油圧室１９ｂと油路８ｂにより接続されている。シリンダ１１は、第１ポート１８ａ及び第２ポート１８ｂを有する。油路８ａは、第１ポート１８ａを介して第１油圧室１９ａと連通し、油路８ｂは、第２ポート１８ｂを介して第２油圧室１９ｂと連通している。

制御弁４は、例えばソレノイドバルブであり、フライトコントローラ５の指令に基づいてアクチュエータコントローラ６から入力される制御信号に基づいて、各油圧室１９ａ，１９ｂへ連通する圧油の経路を切り替え可能に構成される。制御弁４は、例えば、第１油圧室１９ａに油を供給し第２油圧室１９ｂから油を排出する第１連通位置、第１油圧室１９ａから油を排出し第２油圧室１９ｂに油を供給する第２連通位置、および、各油圧室１９ａ，１９ｂへの油の供給および各油圧室１９ａ，１９ｂからの油の排出を遮断する遮断位置に切り替え可能に構成される。

フライトコントローラ５は、差動変圧器２０からの検知信号に基づいてピストンユニット１２の位置を特定し、特定されたピストンユニット１２の位置に基づいて、動翼１Ａの位置が航空機の飛行状態に応じた目標位置となるようにフィードバック制御を行うことができる。

次に、図３をさらに参照して、ピストンユニット１２の位置を検出する差動変圧器２０について説明する。図３は、差動変圧器２０の一部分を拡大して示す模式的な拡大断面図である。図３においては、ハウジング２０ａの図示が省略されている。

図示の実施形態において、差動変圧器２０は、線形可変差動変圧器（ＬＶＤＴ）である。差動変圧器２０は、インナーケース２２ａ、アウターケース２２ｂ、一次コイル２３ａ、一組の二次コイル２３ｂ，２３ｃ、プローブ２４、及びコア２５を有している。

アウターケース２２ｂは、第１アウターケース２２ｂ１と、第２アウターケース２２ｂ２と、を有する。第１アウターケース２２ｂ１及び第２アウターケース２２ｂ２はいずれも円筒形状に形成されている。第２アウターケース２２ｂ２は、第１アウターケース２２ｂ１の内側に設けられている。インナーケース２２ａは、第１アウターケース２２ｂ１の一方の開放端を閉塞する基部２２ａ１と、この基部２２ａ１から中心軸Ａ方向に延伸する円筒形状の円筒部２２ａ２と、を有する。第１アウターケース２２ｂ１の一方の開放端がインナーケース２２ａの基部２２ａ１で閉塞されているため、差動変圧器２０は、有底の筒形状を有する。

一次コイル２３ａ及び二次コイル２３ｂ，２３ｃはそれぞれ、インナーケース２２ａとアウターケース２２ｂとの間に保持されている。これらのコイルは、中心軸Ａに沿って差動変圧器２０の底から開口に向かって、二次コイル２３ｂ、一次コイル２３ａ、二次コイル２３ｃの順に配置されている。

一次コイル２３ａは、交流の入力電圧によって励磁される。二次コイル２３ｂ，２３ｃは、コア２５を介して一次コイル２３ａと磁気結合する。よって、一次コイル２３ａが励磁されることにより、二次コイル２３ｂ，２３ｃには誘導電圧が生じる。

プローブ２４は、中心軸Ａに沿って延伸する棒状のプローブ本体２４ａと、このプローブ２４ａの一端に設けられた固定軸部２４ｂと、を有する。プローブ２４は、固定軸部２４ｂにおいて、ピストンロッド１４に固定される。具体的には、固定軸部２４ｂの外表面には雄ねじが形成されており、図２に示されているようにこの固定軸部２４ｂがピストンロッド１４の中実部１４ｂに螺合されることにより、プローブ２４がピストンロッド１４に固定される。プローブ２４は、ピストンユニット１２と一体に変位するように構成及び配置される。

コア２５は、円柱状に形成され、プローブ２４の先端に固定されている。コア２５は、プローブ２４と一体に変位するように構成及び配置される。コア２５は、例えば、パーマロイ、電磁軟鉄、またはこれら以外の材料から形成される。

差動変圧器２０においては、ピストンユニット１２の変位に応じてコア２５が中心軸Ａに沿って移動すると、一次コイル２３ａ及び二次コイル２３ｂ，２３ｃに対してコア２５が移動する。一次コイル２３ａが励磁されているときに一次コイル２３ａ及び二次コイル２３ｂ，２３ｃに対するコア２５の位置が変化すると、二次コイル２３ｂに生じる誘導電圧と二次コイル２３ｃに生じる誘導電圧との差である差動電圧が変化するため、この差動電圧に基づいてコアの基準位置に対する位置が検出される。コアの基準位置は、差動電圧がゼロとなるヌル点におけるコアの位置である。コア２５はピストンユニット１２と一体に移動するため、差動電圧に基づいてピストンユニット１２の位置を検知することができる。差動電圧は、フライトコントローラ５またはこれ以外の情報処理ユニットに対して出力される。

本明細書で具体的に説明されている差動変圧器２０は例示であり、差動変圧器２０の構成部材の形状、配置、及び接合態様は、本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。例えば、プローブ２４は螺合以外の方法でピストンロッド１４に接合され得る。また、プローブ２４は、プローブ２４及びコア２５がピストンユニット１２と一体に移動することができる限り、ピストンユニット１２に任意の方法で取り付けられる。

次に、差動変圧器の破断または劣化を検出するための閉ループ構造体及び閉ループ構造体における物理的な変化を検出するセンサユニットについて説明する。アクチュエータ１０には、閉ループ構造を有する閉ループ構造体５０が設けられている。閉ループ構造体５０は、少なくともその一部が差動変圧器２０の内部に設けられる。

閉ループ構造体５０には、閉ループ構造体５０における物理的な変化を検出するセンサユニット３０が設けられる。センサユニット３０により検出される物理量は、閉ループ構造体５０における物理的な変化に応じて変化する。センサユニット３０により検出される物理量は、閉ループ構造体５０に破断または劣化が生じたときに、その破断または劣化の発生の前後で変化する任意の物理量である。例えば、センサユニット３０は、閉ループ構造体５０を流れる電流または磁束に関する物理量を検出することができる。閉ループ構造体５０を流れる電流に関する物理量は、例えば、閉ループ構造体５０に所定の電圧を印加した際に閉ループ構造体５０に流れる電流の電流値である。閉ループ構造体５０を流れる磁束に関する物理量は、例えば、閉ループ構造体５０から漏れ出す漏れ磁束の磁束である。

本発明の一実施形態における閉ループ構造体について、図４ａ及び図４ｂをさらに参照してさらに説明する。図４ａは、本発明の一実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面とセンサユニットとを模式的に示す図であり、図４ｂは、図４ａのＩ－Ｉ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。

図示のように、アクチュエータ１０に設けられている閉ループ構造体５０は、導電性に優れたワイヤ２７、このワイヤ２７に接続された電源３１、及び、この電源３１と直列に設けられたＬＥＤランプ等のランプ３２を備える。図示の実施形態では、センサユニット３０は、電源３１とランプ３２とを含んでいる。センサユニット３０は、アクチュエータ１０に、ピストンユニット１２と一体に移動できるように設けられる。センサユニット３０をピストンユニット１２と一体に移動できるように設けることにより、センサユニット３０をシリンダ１１に設けた場合よりも、ワイヤ２７の長さを短縮することができる。

閉ループ構造体５０においては、電源３１から印可される電圧によって、ワイヤ２７及びランプ３２に電流が流れ、ランプ３２が点灯する。このように、閉ループ構造体５０の閉ループ構造に沿って、電気的な閉回路が構成されている。ワイヤ２７が破断した場合には、閉ループ構造体５０内の電気的な閉回路は開放され、ワイヤ２７及びランプ３２には電流が流れなくなるため、ランプ３２は消灯する。

このように、ランプ３２は、閉ループ構造体５０の一部分を構成するとともに、閉ループ構造体５０の破断の有無を検知するセンサユニット３０の構成部品としても機能する。

図示の実施形態においては、プローブ２４及びコア２５に、ワイヤ２７を挿通させるための穴構造２６が形成されている。この穴構造２６は、第１貫通孔２６ａ、第２貫通孔２６ｂ、第３貫通孔２６ｃ、第４貫通孔２６ｄ、及び第５貫通孔２６ｅを有する。第１貫通孔２６ａ及び第２貫通孔２６ｂは、プローブ２４に形成されている。第１貫通孔２６ａ及び第２貫通孔２６ｂはいずれも、中心軸Ａに沿ってプローブ２４の一端から他端まで延伸している。第３貫通孔２６ｃ及び第４貫通孔２６ｄは、コア２５に形成されている。第３貫通孔２６ｃ及び第４貫通孔２６ｄはいずれも、中心軸Ａに沿ってコア２５の一端から他端まで延伸している。第３貫通孔２６ｃは、第１貫通孔２６ａと連通するように形成されており、第４貫通孔２６ｄは、第２貫通孔２６ｂと連通するように形成されている。また、第３貫通孔２６ｃと第４貫通孔２６ｄとは、中心軸Ａに垂直な方向に伸びる第５貫通孔２６ｅにより接続されている。

第３貫通孔２６ｃ、第４貫通孔２６ｄ、及び第５貫通孔２６ｅは、図４ｂに示されているように、コア２５となる円柱形状の素体を中心軸Ａに沿って半割りとした半割部材２５ａ，２５ｂを準備し、この半割部材２５ａ，２５ｂのそれぞれの接合面に、第３貫通孔２６ｃ、第４貫通孔２６ｄ、及び第５貫通孔２６ｅにそれぞれ対応する形状の溝を形成したのち、当該半割部材２５ａ，２５ｂを互いに接合することで形成される。これと同様に、第１貫通孔２６ａ及び第２貫通孔２６ｂは、プローブ２４となる円柱形状の素体を中心軸Ａに沿って半割りとした半割部材に溝を形成した後、これらの半割部材を接合することで形成される。

ワイヤ２７の一部は、プローブ２４及びコア２５内に、第１貫通孔２６ａ、第３貫通孔２６ｃ、第５貫通孔２６ｅ、第４貫通孔２６ｄ、及び第２貫通孔２６ｂを通過するように配置されている。ワイヤ２７のうちプローブ２４及びコア２５の外側にある部分は、図２に示されているように、固定軸部２４ｂの端部からピストンロッド１４の第２筒状部材１４ｃに入り、この第２筒状部材１４ｃ内を中心軸Ａに沿って案内され、次に、第２シリンダ部材１１ｂと固定リング１７との間の隙間からシリンダ１１の外部に引き出され、シリンダ１１の外部においてセンサユニット３０（具体的には、電源３１及びランプ３２）に接続される。

上記の実施形態では、ワイヤ２７の一部分は、プローブ２４及びコア２５の両方の内部に配置されているが、ワイヤ２７の一部分は、プローブ２４及びコア２５の少なくとも一方の内部に配置されていればよい。ワイヤ２７を流れる電流が漏れ出さないようにするために、プローブ２４及びコア２５のうち少なくともワイヤ２７と接する部位は、絶縁性に優れた絶縁材料から形成される。また、第２シリンダ部材１１ｂのうちワイヤ２７と接する部位も絶縁材料から形成される。

本明細書で説明されているワイヤ２７は例示であり、ワイヤ２７の形状、アクチュエータ１０内における配置、センサユニット３０との接続態様は、本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。

本明細書で説明されているセンサユニット３０は例示であり、センサユニット３０の配置、構成部材、及び閉ループ構造体の物理的な変化の検出原理は本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。

次に、動翼駆動システム１及びアクチュエータ１０の動作について説明する。動作開始時に、ピストンユニット１２は中立位置にあるものとする。このとき、コア２５は、差動電圧がゼロとなる基準位置にある。

アクチュエータコントローラ６は、アクチュエータ１０を収縮させる場合、フライトコントローラ５からの指令に基づいて、制御弁４を第１連通位置とすることで、第１油圧室１９ａに油を供給し第２油圧室１９ｂから油を排出する。これにより、ピストンユニット１２は、中立位置から第２移動方向Ｗ２に移動する。

ピストンユニット１２が第２移動方向Ｗ２への移動を開始すると、コア２５もピストンユニット１２の移動に応じて移動方向Ｗ２へ移動する。これにより、コア２５は、基準位置から二次コイル２３ｂに近づく方向へ移動する。これにより、生じる差動電圧がフライトコントローラ５に出力される。

一方、アクチュエータ１０を伸長させる場合、アクチュエータコントローラ６は、制御弁４を第２連通位置とすることで、第２油圧室１９ｂに油を供給し第１油圧室１９ａから油を排出する。これにより、ピストンユニット１２は、第１移動方向Ｗ１に移動する。

ピストンユニット１２が第１移動方向Ｗ１への移動を開始すると、コア２５もピストンユニット１２の移動に応じて移動方向Ｗ１へ移動する。これにより、コア２５は、二次コイル２３ｃに近づく方向へ移動する。これにより、生じる差動電圧がフライトコントローラ５に出力される。

フライトコントローラ５では、差動電圧に基づいてピストンユニット１２の位置が特定され、この特定されたピストンユニット１２の位置に基づいて、アクチュエータ１０のフィードバック制御が行われる。

以上のように、アクチュエータ１０を作動させると、プローブ２４及びコア２５がピストンロッド１４内を移動する。プローブ２４及びコア２５は、他の部材との焼き付き、応力腐食割れ、またはこれら以外の原因により完全にまたは部分的に破断する可能性がある。

上記実施形態によれば、閉ループ構造体５０の少なくとも一部がプローブ２４及びコア２５の少なくとも一方の内部に設けられており、センサユニット３０により閉ループ構造体５０における物理的な変化を検出することができるため、プローブ２４やコア２５に破断が生じた場合には、この破断により閉ループ構造体５０において生じる物理的な変化をセンサユニット３０で検知することができる。具体的には、プローブ２４やコア２５において、閉ループ構造体５０内の電気的な閉回路が開放される程度の破断または劣化が生じた場合には、センサユニット３０において電源３１により電圧が印加されてもランプ３２が点灯しないため、センサユニット３０により、プローブ２４やコア２５における破断や劣化を検出することができる。

上記実施形態によれば、閉ループ構造体５０を構成するワイヤ２７は、プローブ２４及びコア２５の少なくとも一方に形成された穴構造２６内に設けられているため、差動変圧器２０の動作の障害とならない。

本発明の別の実施形態について、図５ａ及び図５ｂを参照して説明する。図５ａは、本発明の別の実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面とセンサユニットとを模式的に示す図であり、図５ｂは、図５ａのＩＩ－ＩＩ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。図５ａ及び図５ｂに示されている実施形態では、図４ａ及び図４ｂの実施形態におけるコア２５の代わりにコア１２５が設けられている。

コア１２５は、プローブ２４に接続された第１部分１２５ａと、この第１部分に接続された第２部分１２５ｂと、を有する。第１部分１２５ａと第２部分１２５ｂとは一体に形成されている。第２部分１２５ｂは、第１部分１２５ａよりも固定軸部２４ｂから遠位に配されている。

コア１２５の第１部分１２５ａには、コア第１貫通孔１２６ａ及びコア第２貫通孔１２６ｂが形成されている。コア第１貫通孔１２６ａ及びコア第２貫通孔１２６ｂはいずれも、中心軸Ａに沿ってコア１２５の第１部分１２５ａの一端から他端まで延伸している。コア第１貫通孔１２６ａは、プローブ２４に形成された第１貫通孔２６ａと連通しており、コア第２貫通孔１２６ｂは、プローブ２４に形成された第２貫通孔２６ｂと連通している。コア第１貫通孔１２６ａは、第１貫通孔２６ａと同じ内径を有するように形成されてもよく、コア第２貫通孔１２６ｂは、第２貫通孔２６ｂと同じ内径を有するように形成されてもよい。

コア１２５の第２部分１２５ｂには、コア第３貫通孔１２７ａ、コア第４貫通孔１２７ｂ、及び、コア第３貫通孔１２７ａとコア第４貫通孔１２７ｂとを接続するコア第５貫通孔１２７ｃが形成されている。コア第３貫通孔１２７ａ及びコア第４貫通孔１２７ｂはいずれも、中心軸Ａに沿ってコア１２５の第２部分１２５ｂの一端から他端まで延伸している。コア第３貫通孔１２７ａはコア第１貫通孔１２６ａと連通されており、コア第４貫通孔１２７ｂはコア第２貫通孔１２６ｂと連通されている。

コア第３貫通孔１２７ａは、コア第１貫通孔１２６ａよりも小さな内径を有するように形成され、コア第４貫通孔１２７ｂは、コア第２貫通孔１２６ｂよりも小さな内径を有するように形成される。コア第３貫通孔１２７ａの内径がコア第１貫通孔１２６ａの内径よりも小さく、また、コア第４貫通孔１２７ｂの内径がコア第２貫通孔１２６ｂの内径よりも小さいため、第１部分１２５ａと第２部分１２５ｂとの境界には段差が生じる。

上記実施形態によれば、有底の差動変圧器２０の底に溜まった水を、コア第３貫通孔１２７ａとコア第１貫通孔１２６ａとの境界に形成された段差、及び、コア第４貫通孔１２７ｂとコア第２貫通孔１２６ｂとの境界に形成された段差によりトラップし、このトラップされた水をプローブ２４及びコア１２５の第１移動方向Ｗ１への移動によって差動変圧器２０の外部に排出することができる。

本発明のさらに別の実施形態においては、プローブ２４に形成されている第１貫通孔２６ａのうち固定軸部２４ｂから遠位にある部分を小径に形成することにより、上記と同様の原理で、差動変圧器２０の底に溜まった水を差動変圧器２０の外部に排出することができる。

次に、図６ａ及び図６ｂを参照して本発明のさらに別の実施形態について説明する。図６ａは、本発明の別の実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面とセンサユニットとを模式的に示す図であり、図６ｂは、図６ａのＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。図６ａ及び図６ｂに示されている実施形態では、図４ａ及び図４ｂの実施形態におけるプローブ２４の代わりにプローブ２２４が設けられ、コア２５の代わりにコア２２５が設けられている。

プローブ２２４の外表面には、プローブ第１溝２２６ａ及びプローブ第２溝２２６ｂが形成されている。プローブ第１溝２２６ａ及びプローブ第２溝２２６ｂはいずれも、中心軸Ａに沿って延伸している。プローブ第１溝２２６ａ及びプローブ第２溝２２６ｂはいずれも断面Ｖ字形状に形成されている。

コア２２５の外表面には、コア第１溝２２７ａ及びコア第２溝２２７ｂが形成されている。コア第１溝２２７ａ及びコア第２溝２２７ｂはいずれも、中心軸Ａに沿って延伸している。図６ｂに示されているように、コア第１溝２２７ａ及びコア第２溝２２７ｂはいずれも断面Ｖ字形状に形成されている。コア２２５には、コア第１溝２２７ａの底部とコア第２溝２２７ｂの底部とを連結する連結孔２２８が形成されている。

ワイヤ２７は、その一部が、プローブ第１溝２２６ａ、コア第１溝２２７ａ、連結孔２２８、コア第２溝２２７ｂ、及びプローブ第２溝２２６ｂを通過するように配置されている。

当該実施形態によれば、上記の実施形態と同様の原理で、センサユニット３０により、プローブ２２４やコア２２５における破断や劣化を検出することができる。また、閉ループ構造体５０を構成するワイヤ２７は、プローブ２２４及びコア２２５に形成された溝内に設けられているため、差動変圧器２０の動作の障害とならない。

次に、本発明のさらに別の実施形態について、図７ａ及び図７ｂを参照して説明する。図７ａは、本発明の別の実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面とセンサユニットとを模式的に示す図であり、図７ｂは、図７ａのＩＶ－ＩＶ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。図７ａ及び図７ｂに示されている実施形態では、図６ａ及び図６ｂの実施形態におけるコア２２５の代わりにコア３２５が設けられている。

コア３２５は、プローブ２２４に接続された第１部分３２５ａと、この第１部分３２５ａにプローブ２２４と反対側において接続された第２部分３２５ｂと、を有する。第２部分３２５ｂは、第１部分３２５ａよりも固定軸部２４ｂから遠位に配されている。

コア３２５の第１部分３２５ａには、コア第１溝３２７ａ及びコア第２溝３２７ｂが形成されている。コア第１溝３２７ａ及びコア第２溝３２７ｂはいずれも、中心軸Ａに沿ってコア３２５の第１部分３２５ａの一端から他端まで延伸している。

コア３２５の第２部分３２５ｂには、コア第３溝３２９ａ、コア第４溝３２９ｂ、及び、コア第３溝３２９ａとコア第４溝３２９ｂとを接続する連通孔３２８が形成されている。コア第３溝３２９ａ及びコア第４溝３２９ｂはいずれも、中心軸Ａに沿ってコア３２５の第２部分３２５ｂの一端から他端まで延伸している。

コア第３溝３２９ａはコア第１溝３２７ａよりも浅く形成され、コア第４溝３２９ｂはコア第２溝３２７ｂよりも浅く形成されている。これにより、コア３２５の第１部分３２５ａと第２部分３２５ｂとの境界には段差が形成される。

上記実施形態によれば、有底の差動変圧器２０の底に溜まった水を、コア３２５の第１部分３２５ａと第２部分３２５ｂとの境界形成された段差によりトラップし、このトラップされた水をプローブ２２４及びコア３２５の第１移動方向Ｗ１への移動によって差動変圧器２０の外部に排出することができる。

本発明のさらに別の実施形態においては、プローブ２２４に形成されているプローブ第１溝２２６ａ及びプローブ第２溝２２６ｂの各々において、固定軸部２４ｂから遠位にある部分を小径に形成することにより、上記と同様の原理で、差動変圧器２０の底に溜まった水を差動変圧器２０の外部に排出することができる。

ワイヤ２７が配置される溝は、断面Ｖ字形状ではなく、図８及び図９に示されているように、平坦な底部を有していてもよい。

図８は、図６に示されている実施形態の変形例を示す。図８に示されている実施形態においては、図６に示されているコア２２５に代えてコア４２５が設けられている。図８のコア４２５には、コア第１溝２２７ａに代えてコア第１溝４２７ａが形成されており、コア第２溝２２７ｂに代えてコア第２溝４２７ｂが形成されている。コア第１溝４２７ａ及びコア第２溝４２７ｂの底部はそれぞれ、平坦に形成されている。

図９は、図７に示されている実施形態の変形例を示す。図９に示されている実施形態においては、図７に示されているコア３２５に代えてコア５２５が設けられている。図９のコア５２５には、コア３２５のコア第１溝３２７ａ、コア第２溝３２７ｂ、コア第３溝３２９ａ、及びコア第４溝３２９ｂに代えて、コア第１溝５２７ａ、コア第２溝５２７ｂ、コア第３溝５２９ａ、及びコア第４溝５２９ｂがそれぞれ形成されている。コア第１溝５２７ａ、コア第２溝５２７ｂ、コア第３溝５２９ａ、及びコア第４溝５２９ｂの底部はいずれも平坦に形成されている。

これと同様に、プローブ２２４の外表面に形成されるワイヤ２７を収容するための溝も、図８及び図９に示されているように、平坦な底部を有する形状に形成されてもよい。

次に、本発明のさらに別の実施形態について、図１０を参照して説明する。図１０は、本発明の別の実施形態による差動変圧器に備えられているプローブ及びコアの断面を模式的に示す図である。図１０に示されている実施形態では、図７ａ及び図７ｂの実施形態におけるプローブ２２４の代わりにプローブ６２４が設けられ、コア３２５の代わりにコア６２５が設けられている。

図示のように、プローブ６２４の外表面には、螺旋形状のプローブ溝６２４ａが二重に形成されており、コア６２５の外表面には、螺旋形状のコア溝６２５ａが二重に形成されている。図示のように、プローブ溝６２４ａ及びコア溝６２５ａは、中心軸Ａの周りに巻回されながら中心軸Ａの方向に並進する螺旋形状に形成されている。

このプローブ溝６２４ａ及びコア溝６２５ａ内には導電材料からなるワイヤ１２７が設けられている。ワイヤ１２７は、二重螺旋であるプローブ溝６２４ａの一方の螺旋経路内をコア６２５の方向に向かって延伸し、次に二重螺旋であるコア溝６２５ａの一方の螺旋経路内をコア６２５の先端に向かって延伸し、コア溝６２５ａの先端で折り返される。ワイヤ１２７は、コア溝６２５ａの先端で折り返された後、コア溝６２５ａの他方の螺旋経路内をプローブ６２４に向かって延伸し、次に、プローブ溝６２４ａの他方の螺旋経路内をプローブ６２４の基端に向かって延伸する。このように配されたワイヤ１２７の両端部を引き出して、センサユニット３０に接続することにより、閉回路構造が形成される。

図１０に示されている実施形態によれば、螺旋形状のワイヤ１２７により、プローブ６２４及びコア６２５を補強することができる。

次に、センサユニットの変形例について説明する。上記のように、センサユニット３０は、閉ループ構造体５０またはそれ以外の本発明に適用される閉ループ構造体における物理的な変化を検出するように構成される。センサユニット３０の変形例の一つを図１１に示す。図１１は、本発明の別の実施形態におけるセンサユニット３０を説明するブロック図である。

図１１に示されている実施形態におけるセンサユニット３０は、電源３１と直列に接続された電流センサ３３と、コントローラ３４と、ＬＥＤランプ等のランプ３２と、を備えている。

電流センサ３３は、ワイヤ２７を流れる電流の電流値を検出し、検出した電流値をコントローラ３４に出力するように構成される。

コントローラ３４は、各種の演算処理を行うＣＰＵと、各種プログラム及び各種データを格納するメモリと、電流センサ３３、ランプ３２、及びこれら以外の機器と接続される機器インタフェースと、外部装置４０と通信を行うための通信インタフェースと、を備える。

一実施形態において、コントローラ３４は、電流センサ３３からの電流値に基づいて、閉ループ構造体５０に破断及び劣化の少なくとも一方が発生したことを特定できるように構成されてもよい。コントローラ３４は、例えば、電流センサ３３からの電流値が、所定の下限値よりも低くなったときに、閉ループ構造体５０に破断または劣化が起こったと判定するように構成される。閉ループ構造体５０が開放されたときには、ワイヤ２７を流れる電流はゼロとなるため、コントローラ３４は、電流センサ３３からの電流値がゼロとなったときに閉ループ構造体５０が開放されたと判定するように構成されてもよい。

コントローラ３４は、閉ループ構造体５０に破断または劣化が起こったと判定したときに、ランプ３２を点灯又は点滅させるように構成されてもよい。ランプ３２は、正常時に点灯しており、閉ループ構造体５０に破断または劣化が起こった場合に、コントローラ３４の制御により消灯するように構成されてもよい。

コントローラ３４は、その通信インタフェースを介して、各種データを外部装置４０に送信することができる。例えば、コントローラ３４は、電流センサ３３からの電流値またはそれ以外の閉ループ構造体５０の物理的な変化に応じて生成される信号を外部装置４０に送信することができる。閉ループ構造体５０の物理的な変化に応じて生成される信号は、電流センサ３３以外の様々なセンサにより検出される閉ループ構造体５０の物理的な状態を表す様々な物理量を示す信号であってもよい。コントローラ３４と外部装置４０との間の通信リンクは、無線リンクであってもよく、有線リンクであってもよい。コントローラ３４は、閉ループ構造体５０に破断または劣化が起こったと判定したときに、異常検出信号を外部装置４０に対して送信するように構成されてもよい。異常検出信号は、閉ループ構造
体５０に破断または劣化が起こったことを示す信号である。

オペレータは、外部装置４０において、コントローラ３４から受信したデータを用いて、差動変圧器２０の破断または劣化をモニタリングすることができる。

次に、図１２ａ及び図１２ｂを参照して、センサユニット３０において閉ループ構造体を流れる磁束に関する物理量が検出される実施形態について説明する。図１２ａは、本発明の別の実施形態における差動変圧器が備えるプローブ及びコアの模式的な断面図であり、図１２ｂは、図１２ａのＶ－Ｖ線に沿った断面を模式的に示す断面図である。図示の実施形態における差動変圧器は、プローブ７２４と、コア７２５と、一部分がプローブ７２４及びコア７２５の内部に設けられた閉ループ構造体１５０と、を備える。

図示のように、プローブ７２４及びコア７２５には、磁性材料からなる閉ループ構造体１５０の一部が埋め込まれている。閉ループ構造体１５０は、その全体がプローブ７２４及びコア７２５の少なくとも一方の内部に埋め込まれていてもよい。閉ループ構造体１５０は、磁性材料から成る構造体であり、閉ループ構造を有するように形成される。閉ループ構造体１５０に沿って閉磁路が構成されるようにするため、プローブ７２４及びコア７２５のうち少なくとも閉ループ構造体１５０と接する部位は、非磁性材料から形成される。

閉ループ構造体１５０の周囲には、コイル３７が巻回されている。コイル３７には、電源３６が接続されている。コイル３７は、電源３６から印可される交流電圧によって励磁されるように構成されている。励磁されたコイル３７から発生する磁束は、閉ループ構造体１５０に沿って形成される閉磁路を通過する。

本実施形態におけるセンサユニット３０は、磁気センサ３８とコントローラ３４とを備えている。磁気センサ３８は、閉ループ構造体１５０からの漏れ磁束を検出するように構成される。磁気センサ３８は、例えば、ホール素子である。磁気センサ３８の検出値は、コントローラ３４に対して出力される。

コントローラ３４は、磁気センサ３８からの検出値が、所定の上限値よりも高くなったときに、閉ループ構造体１５０に破断または劣化が起こったと判定するように構成されてもよい。閉ループ構造体１５０に破断または劣化が起こったときには、閉ループ構造体１５０の磁気抵抗が高くなるため、閉ループ構造体１５０からその外部への磁束の漏れが発生しやすくなる。磁気センサ３８の検出値は、閉ループ構造体１５０からの漏れ磁束またはその磁束密度を示すため、コントローラ３４は、磁気センサ３８の検出値が上限値よりも高くなったときに、閉ループ構造体１５０に破断または劣化が起こったと判定することができる。

センサユニット３０は、ランプを備えてもよい。コントローラ３４は、閉ループ構造体１５０に破断または劣化が起こったと判定したときに、当該ランプを点灯、消灯、または点滅させるように構成されてもよい。

コントローラ３４は、磁気センサ３８の検出値を外部装置４０に送信するように構成されてもよい。コントローラ３４は、閉ループ構造体１５０に破断または劣化が起こったと判定したときに、異常検出信号を外部装置４０に対して送信するように構成されてもよい。

本発明の一実施形態において、閉ループ構造体５０は、プローブ２４、プローブ２２４、及びプローブ６２４よりも靱性が高い材料から形成されてもよい。閉ループ構造体１５０は、プローブ７２４よりも靱性が高い材料から形成されてもよい。閉ループ構造体５０は、コア２５、コア１２５、コア２２５、コア３２５、コア４２５、コア５２５、及びコア６２５よりも靱性が高い材料から形成されてもよい。閉ループ構造体１５０は、コア７２５よりも靱性が高い材料から形成されてもよい。このように閉ループ構造体５０及び閉ループ構造体１５０を高靱性の材料から形成することにより、各プローブ及び各コアに構造的冗長性を付与することができるので、各プローブ及び各コアが破断しにくくなる。

本明細書で説明された各構成要素の寸法、材料、及び配置は、実施形態中で明示的に説明されたものに限定されず、この各構成要素は、本発明の範囲に含まれうる任意の寸法、材料、及び配置を有するように変形することができる。また、本明細書において明示的に説明していない構成要素を、説明した実施形態に付加することもできるし、各実施形態において説明した構成要素の一部を省略することもできる。

例えば、本明細書で明示的に説明されたアクチュエータ１０及び差動変圧器２０の構成部材の具体的な形状及び配置は例示である。本発明の趣旨に反しない限り、アクチュエータ１０及び差動変圧器２０の各構成部材の形状、配置、及び機能は、適宜変更され得る。

コントローラ３４により行われる制御及び演算の一部は、フライトコントローラ５及びアクチュエータコントローラ６の少なくとも一方で実行されてもよい。コントローラ３４により行われる制御及び演算の一部又は全部は、システム１に備えられる又はシステム１の外部にある複数のコントローラによって分散して実行されてもよい。

センサユニット３０により検出される物理量は、本明細書で明示的に挙げられたものには限定されない。例えば、センサユニット３０で検出される物理量には、閉ループ構造体５０、閉ループ構造体１５０、またはこれら以外の本発明に適用可能な閉ループ構造体の電気抵抗、電気容量、磁気抵抗、及びこれら以外の閉ループ構造体５０に破断または劣化が生じたときにその破断または劣化の発生の前後で変化する任意の物理量が含まれ得る。

１０ アクチュエータ
１１ シリンダ
１２ ピストンユニット
２０ 差動変圧器
２４，２２４，６２４，７２４ プローブ
２５，１２５，２２５，３２５，４２５，５２５，６２５，７２５ コア
２７，１２７ ワイヤ
３０ センサユニット
３１，３６ 電源
３２ ランプ
３３ 電流センサ
３７ コイル
３８ 磁気センサ
４０ 外部装置
５０，１５０ 閉ループ構造体
１２５ａ，３２５ａ 第１部分
１２５ｂ，３２５ｂ 第２部分
１２６ａ コア第１貫通孔
１２６ｂ コア第２貫通孔
１２７ａ コア第３貫通孔
１２７ｂ コア第４貫通孔
２２６ａ プローブ第１溝
２２６ｂ プローブ第２溝
２２７ａ，３２７ａ，４２７ａ，５２７ａ コア第１溝
２２７ｂ，３２７ｂ，４２７ｂ，５２７ｂ コア第２溝
３２５ａ 第１部分
３２５ｂ 第２部分
３２９ａ，５２９ａ コア第３溝
３２９ｂ，５２９ｂ コア第４溝
６２４ａ プローブ溝
６２５ａ コア溝

Claims (9)

1. シリンダと、
   前記シリンダに摺動可能に設けられたピストンユニットと、
   前記ピストンユニットに取り付けられたプローブを有しており、前記シリンダに対する前記ピストンユニットの位置を検出する差動変圧器と、
   少なくとも一部が前記プローブ内に設けられた閉ループ構造体と、
   前記閉ループ構造体における物理的な変化を検出するセンサユニットと、
   を備えるアクチュエータ。
2. 前記センサユニットは、前記閉ループ構造体を流れる電流または磁束に関する物理量を検出するように構成されている、請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記センサユニットは、前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている、請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記センサユニットは、前記閉ループ構造体を流れる電流の電流値に基づいて前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている、請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記閉ループ構造体は、磁性材料からなり、
   前記センサユニットは、前記閉ループ構造体からの漏れ磁束を検知することにより前記閉ループ構造体が開放されたことを検知するように構成されている、
   請求項３に記載のアクチュエータ。
6. 前記閉ループ構造体は、前記プローブよりも靱性が高い材料からなる、請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 前記差動変圧器は、前記プローブに設けられたコアを有し、
   前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブ及び前記コアに形成されている、
   請求項５または請求項６に記載のアクチュエータ。
8. 前記閉ループ構造体は、前記コアよりも靱性が高い材料からなる、請求項７に記載のアクチュエータ。
9. 前記閉ループ構造体の少なくとも一部は、前記プローブに形成された貫通孔内に設けられている、
   請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のアクチュエータ。

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