JP5546938B2 - 観察点特定機能付きの工作機械 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施の形態における観察点特定機能付きの研削盤(工作機械)の概略図である。図2は、図1のテレセントリック光学系顕微鏡システムとその周辺要素を示す概略図である。
(+11)+60−(33)=+38 (mm)
という値が、Z軸方向において研削砥石12がワークWと接触する時の、研削砥石12の駆動制御部41を介してのZ軸方向制御位置ということになる。一般化すれば、
テレセントリック光学系顕微鏡システム位置(Z軸方向)+テレセントリック光学系顕微鏡システムW.D.−テレセントリック光学系顕微鏡システム基準面・砥石加工面ギャップ
である。
(+21)+60−(33)=+48 (mm)
という値が、Z軸方向において研削砥石12がチャック上面11と接触する時の、研削砥石12の駆動制御部41を介してのZ軸方向制御位置ということになる。
48−0.1/2=47.95(mm)
とすることが好適である。
11 チャック上面
12 研削砥石
13 固定部材
21 テレセントリック光学系顕微鏡システム
21s 基準面
21a 落射照明用の光源
21p 第1プリズム
21w 落射照明用の光路
22 CCDカメラ
23 画像処理装置
23a パネルPC
23b 画像入力ボード
31 NC装置
41 駆動制御部
51 ダイシングテープ
61 第2プリズム
62 スポット光源(赤色レーザ光源)
63 シャッタ
Claims (5)
- 落射照明用の光源と光路とが設けられたテレセントリック光学系顕微鏡システムと、
前記テレセントリック光学系顕微鏡システムの画像を撮影するCCDカメラと、
前記CCDカメラで撮影された画像を処理することによって前記テレセントリック光学系顕微鏡システムの観察対象物を観察する画像処理装置と、
前記落射照明用の光路にスポット光を合流させるスポット光源と、
を備え、
前記スポット光の前記観察対象物上の照射位置を当該観察対象物の観察点として特定できるようになっており、
前記画像処理装置は、前記テレセントリック光学系顕微鏡システムのピントが合っているか否かの程度である鮮鋭度に基づいて、当該テレセントリック光学系顕微鏡システムの基準面と前記観察対象物との鉛直方向距離を測定するようになっており、
前記画像処理装置は、NC装置に接続されていて、前記テレセントリック光学系顕微鏡システムの基準面に関する座標値を前記NC装置からを取得すると共に、当該座標値と前記測定された鉛直方向距離とに基づいて前記観察対象物の座標値を決定して、当該観察対象物の座標値を前記NC装置に送るようになっており、
前記NC装置は、前記テレセントリック光学系顕微鏡システムの鉛直方向の移動を制御する駆動制御部に接続されていて、当該駆動制御部を制御するようになっており、
前記NC装置は、前記駆動制御部を介して、前記テレセントリック光学系顕微鏡システムを鉛直方向に少なくとも1回粗く走査させるようになっており、
前記画像処理装置は、当該粗い走査中の前記テレセントリック光学系顕微鏡システムの画像を所定の時間間隔で連続的に取得すると共に、取得した各画像の鮮鋭度に基づいて鮮鋭度のピークを示す画像を特定し、当該画像に対応する鉛直方向位置を含む領域を抽出するようになっており、
前記NC装置は、前記駆動制御部を介して、前記領域について前記テレセントリック光学系顕微鏡システムを鉛直方向に少なくとも1回微細に走査させるようになっており、
前記画像処理装置は、当該微細な走査中の前記テレセントリック光学系顕微鏡システムの画像を所定の時間間隔で連続的に取得すると共に、取得した各画像の鮮鋭度に基づいて鮮鋭度のピークを示す画像を特定することによって、前記テレセントリック光学系顕微鏡システムの基準面と前記観察対象物との鉛直方向距離を測定するようになっている
ことを特徴とする観察点特定機能付きの工作機械。 - 前記落射照明用の光路に、プリズムが設けられており、
前記スポット光源は、前記プリズムを介して前記落射照明用の光路にスポット光を合流させるようになっている
ことを特徴とする請求項1に記載の観察点特定機能付きの工作機械。 - 前記スポット光源は、レーザ光源である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の観察点特定機能付きの工作機械。 - 前記スポット光源は、可視の有色光の光源である
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の観察点特定機能付きの工作機械。 - 前記スポット光源は、赤色光の光源である
ことを特徴とする請求項4に記載の観察点特定機能付きの工作機械。
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