JP5507294B2 - 距離測定機能付きの研削盤 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施の形態における距離測定機能付きの研削盤の概略図である。図1に示すように、本実施の形態による研削盤10は、ワークWがセットされるチャック上面11を備えている。チャック上面11は、X方向(図1の左右方向)及びY方向(図1の紙面に垂直な方向)にそれぞれ平行移動可能となっている。さらに、チャック上面11は、XY平面内において、不図示の回転軸まわりに回転可能となっている(Rの自由度をも有している)。
(+11)+60−(33)=+38 (mm)
という値が、Z軸方向において研削砥石12がワークWと接触する時の、研削砥石12の駆動制御部41を介してのZ軸方向制御位置ということになる。一般化すれば、
顕微鏡位置(Z軸方向)+顕微鏡W.D.−顕微鏡基準面・砥石加工面ギャップ
である。
(+21)+60−(33)=+48 (mm)
という値が、Z軸方向において研削砥石12がチャック上面11と接触する時の、研削砥石12の駆動制御部41を介してのZ軸方向制御位置ということになる。
48−0.1/2=47.95(mm)
とすることが好適である。
11 チャック上面
12 研削砥石
13 固定部材
21 顕微鏡
21s 基準面
22 CCDカメラ
23 画像処理装置
23a パネルPC
23b 画像入力ボード
31 NC装置
41 駆動制御部
Claims (3)
- チャック上面にセットされるワークに対して、回転する研削砥石を相対移動させることで当該ワークを研削する研削盤であって、
鉛直方向に移動可能な顕微鏡と、
前記顕微鏡の画像を撮影するCCDカメラと、
前記CCDカメラで撮影された画像を処理することによって、前記顕微鏡の基準面と当該顕微鏡の観察対象物との鉛直方向距離を測定する画像処理装置と、
を備え、
前記画像処理装置は、前記顕微鏡のピントが合っているか否かの程度である鮮鋭度に基づいて、当該顕微鏡の基準面と観察対象物との鉛直方向距離を測定するようになっており、
前記画像処理装置は、NC装置に接続されていて、前記測定時点における前記顕微鏡の基準面に関する座標値を前記NC装置からを取得すると共に、当該座標値と前記測定された鉛直方向距離とに基づいて前記観察対象物の座標値を決定して、当該観察対象物の座標値を前記NC装置に送るようになっており、
前記NC装置は、前記顕微鏡の鉛直方向の移動を制御する駆動制御部に接続されていて、当該駆動制御部を制御するようになっており、
前記NC装置は、前記駆動制御部を介して、前記顕微鏡を鉛直方向に少なくとも1回粗く走査させるようになっており、
前記画像処理装置は、当該粗い走査中の前記顕微鏡の画像を所定の時間間隔で連続的に取得すると共に、取得した各画像の鮮鋭度に基づいて鮮鋭度のピークを示す画像を特定し、当該画像に対応する鉛直方向位置を含む領域を抽出するようになっており、
前記NC装置は、前記駆動制御部を介して、前記領域について前記顕微鏡を鉛直方向に少なくとも1回微細に走査させるようになっており、
前記画像処理装置は、当該微細な走査中の前記顕微鏡の画像を所定の時間間隔で連続的に取得すると共に、取得した各画像の鮮鋭度に基づいて鮮鋭度のピークを示す画像を特定することによって、前記顕微鏡の基準面と前記観察対象物との鉛直方向距離を測定するようになっている
ことを特徴とする距離測定機能付きの研削盤。 - 前記顕微鏡は、研削砥石の回転軸を軸支する部材に固定されており、当該部材と一体に移動するようになっている
ことを特徴とする請求項1に記載の距離測定機能付きの研削盤。 - チャック上面に、鮮鋭度を判別し易くするための鮮鋭度パターンが描かれている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の距離測定機能付きの研削盤。
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