JP5544987B2 - 多価カルボン酸縮合体、熱硬化性樹脂組成物、光半導体素子搭載用基板及びその製造方法、並びに光半導体装置 - Google Patents
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Description
本発明の多価カルボン酸縮合体は、カルボキシル基含有化合物を分子間で縮合した多価カルボン酸縮合体であって、水への溶解度が30℃で100g/L以下であるカルボキシル基含有化合物由来の構成単位を有するものである。ここで、本明細書における溶解度は、カルボキシル基含有化合物を30℃で蒸留水に溶解させて得られる飽和水溶液の蒸留水1Lあたりの溶質の重量を指す。
(GPC条件)
ポンプ:L−6200型(株式会社日立製作所製、商品名)
カラム:TSKgel―G5000HXL及びTSKgel−G2000HXL(東ソー株式会社製、商品名)
検出器:L−3300RI型(株式会社日立製作所製、商品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:30℃
流量:1.0mL/分
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂及び(B)硬化剤を含有するものである。
(A)エポキシ樹脂としては、電子部品封止用エポキシ樹脂成形材料で一般に使用されているものを用いることができる。エポキシ樹脂として、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂及びオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のフェノール類とアルデヒド類のノボラック樹脂をエポキシ化したもの、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS及びアルキル置換ビスフェノール等のジグリシジルエーテル、ジアミノジフェニルメタン及びイソシアヌル酸等のポリアミンとエピクロルヒドリンとの反応により得られるグリシジルアミン型エポキシ樹脂、オレフィン結合を過酢酸等の過酸で酸化して得られる線状脂肪族エポキシ樹脂、並びに脂環族エポキシ樹脂が挙げられる。これらは、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
本実施形態に係る硬化剤は、上述の多価カルボン酸縮合体を含むものであればよい。すなわち、硬化剤は、カルボキシル基含有化合物を分子間で縮合した多価カルボン酸縮合体であり、水への溶解度が30℃で100g/L以下であるカルボン酸由来の構成単位を有する多価カルボン酸縮合体を含む。(B)硬化剤が、このような多価カルボン酸縮合体を含むことで、熱硬化性樹脂組成物から形成された硬化物のアルカリ性の脱脂液に対する耐性が向上する。
本発明の熱硬化性樹脂組成物には必要に応じて(C)硬化促進剤を配合することができる。(C)硬化促進剤としては、(A)及び(B)成分間の硬化反応を促進させるような触媒機能を有するものであれば、特に限定されることなく用いることができる。硬化促進剤としては、例えば、アミン化合物、イミダゾール化合物、有機リン化合物、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、第4級アンモニウム塩が挙げられる。これらの硬化促進剤の中でも、アミン化合物、イミダゾール化合物又は有機リン化合物を用いることが好ましい。アミン化合物としては、例えば、1,8−ジアザ−ビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、トリエチレンジアミン、トリ−2,4,6−ジメチルアミノメチルフェノールが挙げられる。また、イミダゾール化合物として、例えば、2−エチル−4−メチルイミダゾールが挙げられる。更に、有機リン化合物としては、例えば、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラ−n−ブチルホスホニウム−o,o−ジエチルホスホロジチオエート、テトラ−n−ブチルホスホニウム−テトラフルオロボレート、テトラ−n−ブチルホスホニウム−テトラフェニルボレートが挙げられる。これらの硬化促進剤は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。
光半導体装置などに利用可能な白色の成形樹脂として用いる場合には、本発明の熱硬化性樹脂組成物に更に(D)白色顔料を含むことが好ましい。(D)白色顔料としては、公知のものを使用することができ、特に限定されない。白色顔料として、例えば、アルミナ、酸化マグネシウム、酸化アンチモン、酸化チタン、酸化ジルコニウム及び無機中空粒子が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上併用することができる。無機中空粒子としては、例えば、珪酸ソーダガラス、アルミ珪酸ガラス、硼珪酸ソーダガラス、シラス(白砂)が挙げられる。白色顔料の粒径は、中心粒径が0.1〜50μmであることが好ましい。この中心粒径が0.1μm未満であると粒子が凝集しやすく分散性が低下する傾向があり、50μmを超えると熱硬化性樹脂組成物からなる硬化物の反射特性が十分に得られ難くなる。
(無機充填材)
熱硬化性樹脂組成物は成形性を調整するために、無機充填材を含むことが好ましい。なお、無機充填剤として、上記白色顔料と同様のものを用いてもよい。無機充填材として、例えば、シリカ、酸化アンチモン、酸化チタン、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、硫酸バリウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、アルミナ、マイカ、ベリリア、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、炭酸アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、焼成クレー等のクレー、タルク、ホウ酸アルミニウム、ホウ酸アルミニウム、炭化ケイ素が挙げられる。熱伝導性、光反射特性、成形性及び難燃性の点から、無機充填剤は、シリカ、アルミナ、酸化マグネシウム、酸化アンチモン、酸化チタン、酸化ジルコニウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウムからなる群から選ばれる2種以上の混合物であることが好ましい。無機充填材の平均粒径は、白色顔料とのパッキング性を向上させる観点から、1〜100μmであることが好ましく、1〜40μmであることがより好ましい。本実施形態の熱硬化性樹脂組成物における無機充填剤の配合量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対して、1〜1000質量部であることが好ましく、1〜800質量部であることがより好ましい。
熱硬化性樹脂組成物には、熱硬化性樹脂成分である(A)〜(C)成分と、(D)白色顔料及び必要に応じて添加される無機充填材との接着性を向上させる観点からカップリング剤を添加することが好ましい。カップリング剤としては、特に限定されないが、例えば、シランカップリング剤及びチタネート系カップリング剤が挙げられる。シランカップリング剤としては、一般にエポキシシラン系、アミノシラン系、カチオニックシラン系、ビニルシラン系、アクリルシラン系、メルカプトシラン系及びこれらの複合系が挙げられ、任意の添加量で用いることができる。なお、カップリング剤の配合量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して5質量%以下であることが好ましい。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、上記した各種成分を均一に分散混合することで得ることができ、その手段や条件等は特に限定されない。熱硬化性樹脂組成物を作製する一般的な方法として、各成分を押出機、ニーダー、ロール、エクストルーダー等によって混練した後、混練物を冷却し、粉砕する方法を挙げることができる。各成分を混練する際には、分散性を向上する観点から、溶融状態で行うことが好ましい。混練の条件は、各成分の種類や配合量により適宜決定すればよく、例えば、15〜100℃で5〜40分間混練することが好ましく、20〜100℃で10〜30分間混練することがより好ましい。混練温度が15℃未満であると、各成分を混練させ難くなり、分散性も低下する傾向にあり、100℃を超えると、樹脂組成物の高分子量化が進行し、樹脂組成物が硬化してしまう可能性がある。また、混練時間が5分未満であると、トランスファー成形時に樹脂バリが発生してしまう可能性がある。混練時間が40分を超えると、樹脂組成物の高分子量化が進行し、樹脂組成物が硬化してしまう可能性がある。
本発明の半導体素子搭載用基板は、底面及び壁面から構成される凹部を有し、凹部の底面が光半導体素子搭載部であり、凹部の壁面の少なくとも一部が本発明の熱硬化性樹脂組成物の硬化物からなるものである。図1は、本発明の光半導体素子搭載用基板の一実施形態を示す斜視図である。光半導体素子搭載用基板110は、Ni/Agめっき104が形成された金属配線105と、リフレクター103とを備え、Ni/Agめっき104が形成された金属配線105とリフレクター103とから形成された凹部200を有している。すなわち、凹部200の底面はNi/Agめっき104が形成された金属配線105から構成され、凹部200の壁面はリフレクター103から構成されるものであり、リフレクター103は、上記本発明の熱硬化性樹脂組成物の硬化物からなる成形体である。
通常、熱硬化性樹脂組成物を用いたトランスファー成形によって光半導体搭載用基板を製造しようとした場合、金型設計や成形条件によっては成形時に成形金型の上型と下型との隙間に樹脂組成物が染み出し、樹脂汚れが発生することがある。例えば、金型表面が鏡面仕上げの場合、トランスファー成形時の型締圧(クランプ圧)が低く、トランスファー射出圧が高いと、樹脂汚れが発生しやすい傾向にある。ただし、本発明の熱硬化性樹脂組成物を用いてトランスファー成形を行い樹脂汚れが発生しなかった場合、又は、次工程の光半導体素子の接続が可能である場合には、必ずしも樹脂汚れの除去工程は行う必要がない。
本発明の光半導体装置は、上記光半導体素子搭載用基板と、光半導体素子搭載用基板の凹部内に設けられた光半導体素子と、凹部を充填して光半導体素子を封止する封止樹脂部とを備えるものである。
下記合成例A1及び比較合成例A2において、それぞれ繰り返し単位用モノマーと両末端用のモノマーとを、無水酢酸中で5〜60分にわたって窒素雰囲気下で還流した後、温度を180℃まで上昇させ、窒素気流下、開放系で反応によって生成した酢酸及び水を留去した。揮発成分が認められなくなったところで、反応容器内を減圧しながら180℃の温度で1〜15時間にわたって溶融縮合し、多価カルボン酸縮合体を得た。
(合成例A1)
繰り返し単位:水素化テレフタル酸(東京化成社製);125g
両末端:1,2−無水トリメリット酸(三菱ガス化学社製);126g
(比較合成例A2)
繰り返し単位:水素化テレフタル酸(東京化成社製);125g
両末端:水素化−1,2−無水トリメリット酸(三菱ガス化学社製);126g
合成例A1及び比較合成例A2の多価カルボン酸縮合体の重量平均分子量、粘度及び軟化点を評価した。その結果を表1に示す。
・装置:ポンプ(株式会社日立製作所製、商品名:L−6200型)、カラム(東ソー株式会社製、商品名:TSKgel―G5000HXL、TSKgel−G2000HXL)、検出器(株式会社日立製作所製、商品名:L−3300RI型)
・溶離液:テトラヒドロフラン、流量1.0mL/分
・測定温度:30℃
(実施例1〜6、9及び10、参考例7及び8、比較例1〜10)
表2〜5に示した配合比(質量部)に従い、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤を予備混合した後、残りの成分を加え、ミキサーを用いて十分混合した後、ミキシングロールにより所定条件で溶融混練し、冷却、粉砕を行い、実施例1〜6、9及び10、参考例7及び8並びに比較例1〜10の熱硬化性樹脂組成物を作製した。
得られた熱硬化性樹脂組成物をMTEX社製トランスファー成形機「ATOM−FX」を用い、成形金型温度180℃、成形圧力6.9MPa、キュア時間90秒の条件でトランスファー成形し、下記の評価を行った。評価結果を表2〜5に示す。
上記成形条件で作製した10mm×10mm×3mmのテストピースを用い、水酸化ナトリウム水溶液に浸漬前後の重量を測定し、硬化物のアルカリ水溶液に対する溶出度合いを評価した。浸漬条件は、水酸化ナトリウム水溶液の濃度125g/L、浸漬温度50℃、浸漬時間5分間又は30分間とした。なお、浸漬処理後のテストピースは、浸漬後水洗し、水中で30秒間にわたって超音波処理を行い、再度水洗した後、150℃で30分間乾燥させた後、重量変化を測定した。
重量変化率(%)=(浸漬前のテストピースの重量(g)−浸漬後のテストピースの重量(g))/浸漬前のテストピースの重量(g)×100
得られた熱硬化性樹脂組成物を用い、MTEX社製トランスファー成形機「ATOM−FX」を用い、成形金型温度180℃、クランプ圧力20t、注入圧7MPa、成形時間90秒の条件で成形を行い、光半導体素子搭載用基板を作製した。
A…外観の変化無し。
B…外観変化はほとんどないが、一部溶出あり。
C…硬化物から樹脂成分が溶出して凹凸が発生。
*1:トリスグリシジルイソシアヌレート(エポキシ当量100、日産化学社製、商品名:TEPIC−S)
*2:メチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体(エポキシ当量181、重量平均分子量10000、日油社製、商品名:CP50M)
*3:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量450、重量平均分子量900、ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名:エピコート1001)
*4:テトラヒドロ無水フタル酸(新日本理化株式会社製、商品名:リカシッドTH)
*5:無水トリメリット酸(三菱ガス化学株式会社製、商品名:TMA)
*6:無水コハク酸(新日本理化株式会社製、商品名:リカシッドSA)
*7:ヘキサヒドロ無水フタル酸(新日本理化株式会社製、商品名リカシッドHH)
*8:テトラ−n−ブチルホスホニウム−o,o−ジエチルホスホロジチエート(日本化学工業社製、商品名:PX−4ET)
*9:テトラ−n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート(日本化学工業社製、商品名:PX−4PB)
*10:トリエトキシアミノシラン(東レダウコーニング社製、商品名:Z6011)
*11:トリメトキシエポキシシラン(東レダウコーニング社製、商品名:S6040)
*12:溶融シリカ(電気化学工業社製、商品名:FB−950)
*13:溶融シリカ(電気化学工業社製、商品名:S0−25R)
*14:中空粒子(住友3M社製、商品名:S60−HS)
*15:酸化チタン(石原産業社製、商品名:CR−63)
Claims (13)
- 前記R x が、シクロブタン、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロへプタン、シクロオクタン、ノルボルネン、ジシクロペンタジエン、アダマンタン、水素化ナフタレン及び水素化ビフェニルからなる群より選ばれる少なくとも1種の環式脂肪族炭化水素から水素原子を除くことにより誘導される2価の基である、請求項1記載の多価カルボン酸縮合体。
- (A)エポキシ樹脂及び(B)硬化剤を含有する熱硬化性樹脂組成物であって、
前記(B)硬化剤が、請求項1〜3のいずれか一項に記載の多価カルボン酸縮合体を含む、熱硬化性樹脂組成物。 - 前記多価カルボン酸縮合体の配合量が、前記(A)エポキシ樹脂100質量部に対して10〜150質量部である、請求項4〜6のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 前記(A)エポキシ樹脂中に含まれるエポキシ基と、当該エポキシ基と反応可能な前記(B)硬化剤中に含まれる酸無水物基との当量比が、1:0.3〜1:1.2である、請求項4〜7のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
- (D)白色顔料を更に含有する、請求項4〜8のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 前記(D)白色顔料が、アルミナ、酸化マグネシウム、酸化アンチモン、酸化チタン、酸化ジルコニウム及び無機中空粒子からなる群より選ばれる少なくとも1種の無機物を含む、請求項9記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 底面及び壁面から構成される凹部を有し、
前記凹部の底面が光半導体素子搭載部であり、前記凹部の壁面の少なくとも一部が請求項4〜10のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物の硬化物からなる、光半導体素子搭載用基板。 - 底面及び壁面から構成される凹部を有する光半導体素子搭載用基板の製造方法であって、
前記凹部の壁面の少なくとも一部を、請求項4〜10のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物を用いて形成する工程を備える、光半導体素子搭載用基板の製造方法。 - 底面及び壁面から構成される凹部を有する光半導体素子搭載用基板と、
前記光半導体素子搭載用基板の凹部内に設けられた光半導体素子と、
前記凹部を充填して前記光半導体素子を封止する封止樹脂部と、
を備え、
前記凹部の壁面の少なくとも一部が、請求項4〜10のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物の硬化物からなる、光半導体装置。
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